CN111594581A - 挠曲啮合式齿轮装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于提供一种能够抑制空程并且能够抑制外齿轮的内周面和起振体轴承的外圈之间的微动磨损的挠曲啮合式齿轮装置及其制造方法。本发明的挠曲啮合式齿轮装置(1)具备：起振体(30A)；外齿轮(32)，被起振体挠曲变形；内齿轮(41G、42G)，与外齿轮啮合；及起振体轴承(31)，配置于外齿轮与起振体之间。并且，起振体轴承(31)具有外圈(31a)和多个滚动体(31b)，外圈在其内周面和外周面具有涂层(C)，涂层构成为具有如下性质，即，在挠曲啮合式齿轮装置进行运行时，通过滚动体的滚动，滚动面(H)上的涂层被去除。

Description

挠曲啮合式齿轮装置及其制造方法

本申请主张基于2019年2月20日申请的日本专利申请第2019-028024号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种挠曲啮合式齿轮装置及其制造方法。

背景技术

以往，有一种具备挠曲变形的外齿轮的挠曲啮合式齿轮装置(例如，参考专利文献1)。该外齿轮构成为，经由起振体轴承内嵌有起振体并且通过该起振体在内侧进行旋转而挠曲变形。而且，外齿轮与具有刚性的内齿轮啮合。

专利文献1：日本特开2018-096510号公报

以往，有时存在挠曲变形的外齿轮和起振体轴承的外圈之间的跑合性低的情况，若跑合程度低，则会产生微动磨损等从而会产生磨粉。该磨粉或磨损内齿轮和外齿轮，会产生空程变大的课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够抑制外齿轮与起振体轴承的外圈之间的微动磨损并且能够抑制空程变大的挠曲啮合式齿轮装置及其制造方法。

本发明的一种挠曲啮合式齿轮装置具备：起振体；外齿轮，被所述起振体挠曲变形；内齿轮，与所述外齿轮啮合；及起振体轴承，配置于所述外齿轮与所述起振体之间，其中，

所述起振体轴承具有外圈和多个滚动体，

所述外圈在其外周面和内周面具有涂层，

所述外圈的内周面上的涂层构成为具有如下性质：在所述挠曲啮合式齿轮装置进行运行时，通过所述滚动体的滚动，滚动面上的涂层被去除。

本发明的另一挠曲啮合式齿轮装置具备：起振体；外齿轮，被所述起振体挠曲变形；内齿轮，与所述外齿轮啮合；及起振体轴承，配置于所述外齿轮与所述起振体之间，其中，

所述起振体轴承具有外圈和多个滚动体，

所述外圈构成为在其外周面和内周面中除了所述滚动体的滚动面以外的部分具有涂层，在所述滚动面上则不具有所述涂层。

本发明提供一种挠曲啮合式齿轮装置的制造方法，所述挠曲啮合式齿轮装置具备：起振体；外齿轮，被所述起振体挠曲变形；内齿轮，与所述外齿轮啮合；及起振体轴承，配置于所述外齿轮与所述起振体之间，所述挠曲啮合式齿轮装置的制造方法包括：

涂覆工序，在所述起振体轴承的外圈的至少外周面和内周面实施涂层；及

组装工序，将包含所述外圈上实施有涂层的所述起振体轴承在内的多个部件组装而构成所述挠曲啮合式齿轮装置，

在所述涂覆工序中，实施如下涂层，即，通过使所组装的所述挠曲啮合式齿轮装置进行运行，所述外圈的滚动面上的涂层能够基于所述起振体轴承的滚动体的滚动被去除的涂层。

根据本发明，提供一种能够抑制外齿轮与起振体轴承的外圈之间的微动磨损并且能够抑制空程变大的挠曲啮合式齿轮装置及其制造方法。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的挠曲啮合式齿轮装置的剖视图。

图2是表示第一实施方式的起振体轴承的外圈的立体图。

图3是表示在滚动面没有涂层的起振体轴承的外圈的立体图。

图4是用于说明空程的说明图。

图5是用于说明第一实施方式的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法的流程图。

图6是用于说明第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法的流程图。

图中：1-挠曲啮合式齿轮装置，30-起振体轴，30A-起振体，31-起振体轴承，31a-外圈，31b-滚动体(滚子)，32-外齿轮，41G、42G-内齿轮，C-涂层，H-滚动面，O1-旋转轴。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。

(第一实施方式)

图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的挠曲啮合式齿轮装置的剖视图。图2是表示第一实施方式的起振体轴承31的外圈31a的立体图。图3是表示在滚动面H没有涂层的起振体轴承31的外圈31a的放大立体图。

第一实施方式的挠曲啮合式齿轮装置1是将未使外齿轮32和起振体轴承31的外圈31a跑合(未进行跑合运转)的状态作为制造后的产品状态(出厂时的状态)的减速装置。挠曲啮合式齿轮装置1具备起振体轴30、起振体轴承31、外齿轮32、内齿轮41G、内齿轮42G、外壳43、第1罩体44、第2罩体45、轴承46、轴承47、主轴承48、止动环51及止动环52。

起振体轴30为以旋转轴O1为中心进行旋转的空心筒状的轴，且其具有与旋转轴O1垂直的剖面的外形为非圆形(例如，椭圆形)的起振体30A及设置于起振体30A的轴向两侧的轴部30B、30C。椭圆形并非一定是几何学上严格意义上的椭圆，其包含大致椭圆。轴部30B、30C为与旋转轴O1垂直的剖面的外形为圆形的轴。

另外，在以下说明中，将与旋转轴O1平行的方向称为轴向。

两个内齿轮41G、42G沿轴向排列并且与外齿轮32啮合。其中一个内齿轮41G通过在具有刚性的第1内齿轮部件41的内周的一部分上设置齿而构成。另一个内齿轮42G通过在具有刚性的第2内齿轮部件42的内周的一部分上设置齿而构成。

外齿轮32为具有挠性的金属制的圆筒状部件，在其外周设置有齿。

起振体轴承31例如为滚子轴承，且其设置于起振体30A与外齿轮32之间。起振体30A和外齿轮32经由起振体轴承31能够相对旋转。

起振体轴承31具有嵌入于外齿轮32的内侧的外圈31a、多个滚动体(滚子)31b及保持多个滚动体31b的保持器31c。

多个滚动体31b具有：第1组滚动体31b，配置于一个内齿轮41G的径向内侧且沿周向排列；及第2组滚动体31b，配置于另一个内齿轮42G的径向内侧且沿周向排列。这些滚动体31b将起振体30A的外周面和外圈31a的内周面作为滚动面而进行滚动。起振体轴承31也可以具有与起振体30A分体形成的内圈。

外圈31a沿轴向排列设置有两个，其中一个外圈31a的内周面与沿周向排列的第1组滚动体31b抵接，另一个外圈31a的内周面与沿周向排列的第2组滚动体31b抵接。

这些外圈31a均具有金属制的圆筒状部件及设置于该圆筒状部件的至少内周面及外周面的涂层C。在本实施方式中，对外圈31a的包括内周面、外周面及轴向端面等在内的整个表面实施了涂层。涂层C以大致相同的厚度形成于外圈31a的内周面及外周面。

涂层C具有如下性质：例如通过跑合运转，在比较短的时间内，外圈31a内周面的与滚动体31b的抵接面(滚动面H)的涂层通过滚动体31b的滚动被去除。图3中示出了只有外圈31a内周面中的滚动体31b的滚动面H的涂层C通过滚动体31b的滚动而被去除的跑合运转之后的状态。

作为具有上述性质(即，滚动面H的涂层通过比较短时间的运行而被去除的性质)的涂层C，例如可以使用磷酸锰覆膜。并且，作为具有上述性质的涂层C，例如可以使用钼覆膜、氟树脂覆膜、石墨覆膜或磷酸盐覆膜，但并不只限定于此。钼覆膜的具体成分的一例为MoS₂(二氧化钼)。氟树脂覆膜的具体成分的一例为PTFE(聚四氟乙烯)。石墨覆膜的具体成分的一例为石墨。作为磷酸盐覆膜的具体成分的一例，可以使用磷酸铁、磷酸锌或磷酸锰。

作为涂层优选使用即便脱落的涂层啮入到外齿轮32的内周面与外圈31a的外周面之间或外齿轮32与内齿轮41G、42G的齿面之间也不损伤这些部件的软质的涂层，但并不只限定于此。

包含外齿轮32和内齿轮41G、42G在内的各部件具有如下尺寸：在起振体轴承31的外圈31a的滚动面H具有涂层的状态下，外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙成为负的尺寸。齿隙也可以成为0。

而且，包含外齿轮32和内齿轮41G、42G在内的各部件具有如下尺寸：在起振体轴承31的外圈31a的滚动面H的涂层被去除的状态下，外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙成为正的尺寸。

齿隙为负意味着，内齿轮41G、42G的齿面与外齿轮32的齿面之间施加有预负荷的状态。通过进行挠曲啮合式齿轮装置的跑合运转而从起振体轴承31的外圈31a的滚动面H去除涂层，从而能够使外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙成为较小的正值。

另外，上述齿隙是指：位于相当于非圆形的起振体30A的最大直径的部分的径向外侧的外齿轮32的齿与内齿轮41G、42G的齿啮合时的齿隙。

外圈31a的内周面的涂层C和外周面的涂层C为相同成分。外圈31a的内周面的涂层C和外周面的涂层C可以是同时实施的涂层。

外圈31a的外周面的涂层C存在于外齿轮32的内周面与外圈31a的外周面之间，避免外齿轮32的内周面与外圈31a的涂层C下的金属部分直接接触，从而抑制在该部分产生微动磨损。其结果，能够抑制磨粉的产生，还能够抑制外齿轮32及内齿轮41G、42G的磨损，能够抑制空程的增大。

止动环51、52配置于外齿轮32及起振体轴承31的轴向两侧，从而限制外齿轮32及起振体轴承31沿轴向移动。

外壳43覆盖内齿轮42G的外周侧。在外壳43的内周部形成有主轴承48的外圈部43o，外壳43经由主轴承48将第2内齿轮部件42支承为旋转自如。外壳43例如通过螺栓等连结部件而与第1内齿轮部件41连结在一起。

第1罩体44与第1内齿轮部件41连结在一起，并且从轴向上的输出相反侧覆盖外齿轮32与内齿轮41G的啮合部位。

在此，将与对象部件连结而向对象部件输出被减速的运动的一侧称为输出侧，将轴向上的与输出侧相反的一侧称为输出相反侧。在第1罩体44与起振体轴30的轴部30B之间配置有轴承46，起振体轴30旋转自如地支承于第1罩体44。

第2罩体45与第2内齿轮部件42连结在一起，并且从轴向上的输出侧覆盖外齿轮32与内齿轮42G的啮合部位。第2罩体45及第2内齿轮部件42与输出被减速的运动的对象部件连结。在第2罩体45与起振体轴30的轴部30C之间配置有轴承47，起振体轴30旋转自如地支承于第2罩体45。

＜减速动作＞

若从省略图示的马达等输入旋转运动使得起振体轴30旋转，则起振体30A的运动传递至外齿轮32。此时，外齿轮32被限制为沿着起振体30A的外周面的形状，从轴向观察时，其挠曲成具有长轴部分和短轴部分的椭圆形状。而且，外齿轮32在长轴部分与被固定的第1内齿轮部件41的内齿啮合。因此，外齿轮32不会以与起振体30A相同的转速进行旋转，而是起振体30A在外齿轮32的内侧相对旋转。并且，随着该相对旋转，外齿轮32以其长轴位置和短轴位置沿周向移动的方式挠曲变形。该变形的周期与起振体轴30的旋转周期成比例。

在外齿轮32挠曲变形时，其长轴位置移动，因此外齿轮32与内齿轮41G的啮合位置沿旋转方向发生变化。在此，若外齿轮32的齿数为100且内齿轮41G的齿数为102，则啮合位置每转一圈，外齿轮32与内齿轮41G的啮合齿依次错开，由此外齿轮32进行旋转(自转)。若设为上述的齿数，则起振体轴30的旋转运动以100:2的减速比减速后传递至外齿轮32。

另一方面，外齿轮32还与另一个内齿轮42G啮合，因此通过起振体轴30的旋转，外齿轮32与内齿轮42G啮合位置也沿旋转方向发生变化。另一方面，由于内齿轮42G的齿数和外齿轮32的齿数一致，因此外齿轮32和内齿轮42G并不相对旋转，而是外齿轮32的旋转运动以1:1的减速比传递至内齿轮42G。由此，起振体轴30的旋转运动以100:2的减速比减速后传递至第2内齿部件42及第2罩体45。并且，该减速后的旋转运动输出至对象部件。

在产品出厂之后且在正式运行之前的、起振体轴承31的外圈31a的滚动面H具有涂层的状态下，内齿轮41G、42G的齿面与外齿轮32的齿面之间施加有预负荷，因此，能够对起振体轴30输入比较大的转矩来进行跑合运转。若通过跑合运转去除了起振体轴承31的外圈31a的滚动面H上的涂层，则可以利用通常的转矩进行运行，并且外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙量成为正，因而能够实现空程小的挠曲啮合式齿轮装置1。

在滚动面H的涂层被去除的状态下，第一实施方式的挠曲啮合式齿轮装置1的空程为0.15arc·min～3arc·min，更优选为0.15arc·min～1arc·min。在SI单位系统中，1[arc·min]为π/(180·60)[rad]。

图4是用于说明空程的说明图。若固定减速装置的输入轴(高速轴)并从输出轴(低速轴)侧缓慢施加负荷直至额定转矩并且测定去载为止的负荷及低速轴的位移(扭转角)并表示出其关系，则可获得如图4所示的刚性的滞后回线。空程被定义为转矩成为额定转矩±3％的点的扭转角。在挠曲啮合式齿轮装置1中，输入轴相当于起振体轴30，输出轴相当于第2罩体45及第2内齿轮部件42。

＜挠曲啮合式齿轮装置的制造方法＞

图5是用于说明第一实施方式的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法的流程图。

第一实施方式的挠曲啮合式齿轮装置1的制造方法包括如下工序：涂覆工序(步骤S1)，对未实施涂层的起振体轴承31的外圈31a实施涂层；及组装工序(步骤S2)，组合包含外圈31a在内的多个部件来组装挠曲啮合式齿轮装置1。

在涂覆工序中，只需对外圈31a的至少外周面和内周面实施涂层即可，但也可以对包含轴向端面在内的整个表面实施涂层。

通过这种制造方法，只需通过之后的短时间的跑合运转即可实现空程小的减速运动并且制造出能够抑制外齿轮32与外圈31a之间的微动磨损的挠曲啮合式齿轮装置1。另外，在挠曲啮合式齿轮装置1出厂后在客户处进行跑合运转时，并非必需要进行与正常运行明确区别的跑合运转。在将挠曲啮合式齿轮装置1组装于对象机械后开始正常运行的情况下，起振体轴承31的外圈31a的滚动面H的涂层被去除为止的运行期间兼作跑合运转。

＜实施方式的效果＞

如上，根据本实施方式的挠曲啮合式齿轮装置1，起振体轴承31的外圈31a在外周面和内周面具有涂层。而且，该涂层具有如下性质：在挠曲啮合式齿轮装置1进行运行时，通过起振体轴承31的各滚动体31b的滚动，外圈31a的滚动面H上的涂层被去除。因此，通过上述涂层，能够提高外齿轮32与起振体轴承31的外圈31a之间的跑合性。

跑合性是指：通过外齿轮32和起振体轴承31的外圈31a彼此之间的动作，动作性得到改善的性质；及外齿轮32的内周面或外圈31a的外周面的覆膜的状态接近理想状态的性质。

通过跑合性的提高，只需使挠曲啮合式齿轮装置1运行比较短的时间即可使外齿轮32的内周面与外圈31a的外周面跑合。

而且，通过外圈31a的外周面的涂层，能够抑制外齿轮32与起振体轴承31的外圈31a之间的微动磨损。通过抑制微动磨损，能够抑制从该部分产生的磨粉给外齿轮32的齿面及内齿轮41G、42G的齿面带来不良影响，并且能够抑制挠曲啮合式齿轮装置1的空程受到磨粉的影响而变大的现象。上述的基于涂层的跑合性的提高在将润滑脂用作润滑剂时尤其有效。使用润滑脂时，润滑剂不容易浸入到外齿轮32的内周面与起振体轴承31的外圈31a的外周面之间，难以维持各个面上的润滑性。因此，通过基于涂层提高跑合性，能够确保润滑性，并且能够实现外齿轮32与起振体轴承31的外圈31a之间的顺畅的动作。

而且，根据本实施方式的挠曲啮合式齿轮装置1，在起振体轴承31的外圈31a的滚动面H上存在涂层C的状态下，外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙成为负。通过该结构，能够使外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙在滚动面的涂层被去除之后成为非常小。

并且，在外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙成为0时，能够使外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙在滚动面的涂层被去除之后成为非常小。

而且，外齿轮32和内齿轮41G、42G具有如下尺寸：在起振体轴承31的外圈31a的滚动面H上没有涂层的状态下，外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙成为正的尺寸。通过采用这种结构，在外齿轮32与起振体轴承31的外圈31a跑合后的状态下，能够使在外齿轮32与内齿轮41G、42G之间产生的旋转负荷变小并且使它们之间的齿隙变小。

而且，根据本实施方式的挠曲啮合式齿轮装置1，在起振体轴承31的外圈31a的滚动面H上没有涂层的状态下，空程为0.15arc·min～3arc·min。通过本实施方式的结构，能够实现具有上述非常小的空程的挠曲啮合式齿轮装置1。

(第二实施方式)

第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置与第一实施方式的不同点在于，在制造后的产品状态(出厂时的状态)下起振体轴承31的外圈31a的滚动面H不具有涂层，而其他构成要件则与第一实施方式相同。下面，对相同的部分省略详细说明。

第二实施方式的起振体轴承31的外圈31a在外周面和内周面中除了滚动面H(参考图3)以外的部分具有涂层C。在第二实施方式中，外圈31a的内周面的滚动面H上不具有涂层。涂层的成分与第一实施方式的涂层相同。

外齿轮32与内齿轮41G、42G具有如下尺寸：在起振体轴承31的外圈31a的滚动面H上没有涂层的状态下，外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙成为正的尺寸。而且，在第二实施方式中，假设起振体轴承31的外圈31a的滚动面H上也具有与内周面的除了滚动面H以外的部分的涂层C相同厚度的涂层C，则外齿轮32和内齿轮41G、42G也具有彼此之间的齿隙成为负的尺寸。并且，此时，齿隙也可以成为0。

第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置与第一实施方式同样地进行减速动作。第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置在产品出厂之后，无需进行跑合运转即可进行正式运行，外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙量在产品出厂时就小，能够实现小的空程。

第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置的空程为0.15arc·min～3arc·min，更优选为0.15arc·min～1arc·min。

＜挠曲啮合式齿轮装置的制造方法＞

图6是用于说明第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法的流程图。

与第一实施方式的制造方法相同，第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法也包括：涂覆工序(步骤S11)，对未实施涂层的起振体轴承31的外圈31a的表面实施涂层；及组装工序(步骤S12)，组合包含外圈31a在内的多个部件来组装挠曲啮合式齿轮装置1。

在涂覆工序中，只需对外圈31a的至少外周面和内周面实施涂层即可，但也可以对包含轴向端面在内的整个表面实施涂层。并且，对外圈31a的内周面的滚动面H也实施涂层。

而且，第二实施方式的制造方法还包括涂层去除工序(步骤S13)，其在组装工序之后，使所组装的挠曲啮合式齿轮装置1运行规定时间(例如，跑合运转)从而去除外圈31a的滚动面H上的涂层。

通过这种制造方法，能够制造出空程小且能够抑制外齿轮32与外圈31a之间的微动磨损的挠曲啮合式齿轮装置1。

如上，根据第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置，起振体轴承31的外圈31a的外周面和内周面中除了滚动面H以外的部分具有涂层C，在滚动面H则不具有涂层。

根据该结构，由于在外圈31a的外周面实施有涂层C，因此，即使将外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙设定为非常小，也能够获得外齿轮32与内齿轮41G、42G的良好的啮合。外齿轮32与内齿轮41G、42G之间的齿隙能够维持较小的状态。由此，能够实现空程小的挠曲啮合式齿轮装置。

而且，通过外圈31a的外周面上的涂层C，能够抑制外齿轮32与起振体轴承31的外圈31a之间的微动磨损。通过抑制微动磨损，能够抑制从该部分产生的磨粉给外齿轮32的齿面及内齿轮41G、42G的齿面带来不良影响，并且能够抑制挠曲啮合式齿轮装置1的空程受到磨粉的影响而变大的现象。此外，能够获得与第一实施方式相同的效果。

而且，根据第二实施方式的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法，通过组装工序之后的涂层去除工序，可获得产品出厂就能够实施空程小的正式运行的效果。

以上，对本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明并不只限于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，作为挠曲啮合式齿轮装置，示出了所谓的筒型结构，但并不只限定于此，本发明所涉及的挠曲啮合式齿轮装置例如也可以是所谓的杯型或礼帽型的挠曲啮合式齿轮装置。并且，在上述实施方式中，对起振体轴承31的外圈31a的包括滚动面H在内的整体实施涂层之后使其运行从而去除了滚动面H的涂层。但是，并不只限定于此，例如，也可以在对外圈31a进行涂覆时，对滚动面H的区域进行掩盖，从而使滚动面H不具有涂层。

并且，起振体轴承31例示了滚子轴承，但并不只限定于此，也可以使用球轴承、滚针轴承等具有滚动体的各种轴承。

此外，实施方式中示出的细节可在不脱离发明宗旨的范围内进行适当改变。

Claims (7)

1.一种挠曲啮合式齿轮装置，其具备：起振体；外齿轮，被所述起振体挠曲变形；内齿轮，与所述外齿轮啮合；及起振体轴承，配置于所述外齿轮与所述起振体之间，所述挠曲啮合式齿轮装置的特征在于，

所述起振体轴承具有外圈和多个滚动体，

所述外圈在其外周面和内周面具有涂层，

所述外圈的内周面上的涂层具有如下性质：在所述挠曲啮合式齿轮装置进行运行时，通过所述滚动体的滚动，滚动面上的涂层被去除。

2.一种挠曲啮合式齿轮装置，其具备：起振体；外齿轮，被所述起振体挠曲变形；内齿轮，与所述外齿轮啮合；及起振体轴承，配置于所述外齿轮与所述起振体之间，所述挠曲啮合式齿轮装置的特征在于，

所述起振体轴承具有外圈和多个滚动体，

所述外圈在其外周面和内周面中除了所述滚动体的滚动面以外的部分具有涂层，在所述滚动面上不具有所述涂层。

3.根据权利要求1或2所述的挠曲啮合式齿轮装置，其特征在于，

在所述外圈的所述滚动面具有所述涂层的状态下，所述外齿轮与所述内齿轮之间的齿隙成为负。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的挠曲啮合式齿轮装置，其特征在于，

在所述外圈的所述滚动面不具有所述涂层的状态下，所述外齿轮与所述内齿轮之间的齿隙成为正。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的挠曲啮合式齿轮装置，其特征在于，

在所述外圈的所述滚动面不具有所述涂层的状态下，所述挠曲啮合式齿轮装置的空程为0.15arc·min～3arc·min。

6.一种挠曲啮合式齿轮装置的制造方法，所述挠曲啮合式齿轮装置具备：起振体；外齿轮，被所述起振体挠曲变形；内齿轮，与所述外齿轮啮合；及起振体轴承，配置于所述外齿轮与所述起振体之间，所述挠曲啮合式齿轮装置的制造方法的特征在于，包括如下工序：

涂覆工序，在所述起振体轴承的外圈的至少外周面和内周面实施涂层；及

组装工序，将包括所述外圈上实施有涂层的所述起振体轴承在内的多个部件组装而构成所述挠曲啮合式齿轮装置，

在所述涂覆工序中，实施如下涂层，即，通过使所组装的所述挠曲啮合式齿轮装置进行运行，所述外圈的滚动面上的涂层能够基于所述起振体轴承的滚动体的滚动而被去除的涂层。

7.根据权利要求6所述的挠曲啮合式齿轮装置的制造方法，其特征在于，还包括：

涂层去除工序，通过使所组装的所述挠曲啮合式齿轮装置运行规定时间，去除所述外圈的所述滚动面上的所述涂层。

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