CN111386249B - 玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构及套件加热机构 - Google Patents

玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构及套件加热机构 Download PDF

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Abstract

本发明目的在于提供能够抑制运转率的降低、维护成本的增大的玻璃体的制造装置。一种使具有多孔质部的套件脱水并进行透明玻璃化而制造玻璃体的玻璃体的制造装置，其具备：第一加热炉，其具备收容套件的炉心管、和第一加热器，脱水气体被供给至炉心管内，并且利用第一加热器在比多孔质部的软化点低的第一处理温度下对套件进行加热；第二加热炉，其具备以收容套件的方式构成的结构体、和第二加热器，并且利用第二加热器在软化点以上的第二处理温度下对套件进行加热；以及搬运容器，其构成为能够分别与第一加热炉以及第二加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，收容并保持套件，并在第一加热炉与第二加热炉之间搬运套件。

Description

玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构及套件 加热机构
技术领域
本发明涉及玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构、以及套件加热机构。
背景技术
石英玻璃系光纤通常通过将作为由石英系玻璃构成的玻璃体即光纤母材拉丝而制造。在制造该光纤母材时，例如使用OVD(Outside Vapor-phase Deposition)法。在使用OVD法的情况下，在由石英系玻璃构成的目标棒的外周堆积石英玻璃微粒子，呈层状形成多孔质部而制作套件(ス一ト)。之后，为了除去多孔质部所包含的羟基，将套件在脱水气体环境下加热，实施所谓的脱水处理。脱水处理在比构成套件的石英玻璃的软化点低的温度下实施。之后，对套件实施在软化点以上的温度下加热的玻璃化处理。由此，在多孔质部中，存在于内部的空孔消失，而成为透明的玻璃(以下记载为适当透明玻璃化)。
脱水处理与玻璃化处理在相同或者不同的加热炉内进行。另外，加热炉通常具备由石英玻璃构成的炉心管(例如专利文献1、2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-345869号公报
专利文献2：日本特开2007-153708号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，玻璃化处理在软化点以上的温度下进行，因此由石英玻璃构成的炉心管有可能软化而变形或者失透。在炉心管变形或者失透的情况下，需要进行更换炉心管等维护，因此成为加热炉以及包括加热炉的玻璃体的制造装置整体的运转率降低、维护成本的增大的重要因素。
另一方面，可以考虑将脱水处理与玻璃化处理在不同的加热炉内进行。在该情况下，例如，可以考虑在具备在玻璃化处理温度下具有耐热性的炉心管的加热炉中进行玻璃化处理的方法。然而，在该方法中，在从进行脱水处理的脱水加热炉向进行玻璃化处理的玻璃化加热炉转移套件时，有可能使大气流入脱水加热炉。当大气流入脱水加热炉时，大气的水分与脱水气体反应而生成腐蚀性物质，该腐蚀性物质有可能损伤脱水加热炉。另外，腐蚀性物质有可能附着于套件，并与套件一起被运送至玻璃化加热炉。并且，存在如下可能性：在脱水加热炉中生成的腐蚀性物质向外部漏出、或者脱水气体漏出而与大气的水分反应而在脱水加热炉的外部生成腐蚀性物质，从而损伤脱水加热炉、其他设备。
本发明是鉴于上述情况而完成的，目的在于提供能够抑制运转率的降低、维护成本的增大的玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构、以及套件加热机构。
用于解决课题的方案
为了解决上述的课题并达成目的，本发明的一方案所涉及的玻璃体的制造装置是将具有多孔质部的套件脱水并进行透明玻璃化而制造玻璃体的制造装置，其特征在于，具备：第一加热炉，其具备收容所述套件的炉心管、和第一加热器，脱水气体被供给至所述炉心管内，并且利用所述第一加热器在比所述多孔质部的软化点低的第一处理温度下对所述套件进行加热；第二加热炉，其具备以收容所述套件的方式构成的结构体、和第二加热器，并且利用所述第二加热器在所述软化点以上的第二处理温度下对所述套件进行加热；以及搬运容器，其构成为能够分别与所述第一加热炉以及所述第二加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，收容并保持所述套件，并在所述第一加热炉与所述第二加热炉之间搬运所述套件。
在上述的发明的基础上，本发明的一方案所涉及的玻璃体的制造装置的特征在于，所述结构体配置于炉体内，并由碳材料或者陶瓷材料构成。
在上述的发明的基础上，本发明的一方案所涉及的玻璃体的制造装置的特征在于，所述结构体为炉心管。
本发明的一方案所涉及的玻璃体的制造方法的特征在于，在第一加热炉中，将具有多孔质部的套件收容于由玻璃构成的炉心管内，向所述炉心管内供给脱水气体，并在比所述多孔质部的软化点低的第一处理温度下对所述套件进行加热，使搬运容器与所述第一加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，将所述套件收容并保持于所述搬运容器，并且向第二加热炉搬运，使所述搬运容器与所述第二加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，将所述套件收容于结构体内，并且在所述软化点以上的第二处理温度下对所述套件进行加热。
本发明的一方案所涉及的套件搬运机构是在第一加热炉与第二加热炉之间搬运套件的套件搬运机构，其特征在于，具备：搬运容器，其收纳所述套件；以及移动机构，其将所述搬运容器向所述第一加热炉的上方的位置以及所述第二加热炉的上方的位置移动，所述搬运容器具备：操作机构，其能够在所述搬运容器内使所述套件升降；气密机构，其能够使所述搬运容器内成为气密状态；以及连接部，其构成为能够与所述第一加热炉或者所述第二加热炉连接。
在上述的发明的基础上，本发明的一方案所涉及的套件搬运机构的特征在于，所述套件搬运机构进一步具备旋转机构，所述旋转机构使所述套件的玻璃棒的两端以上下的方式配置，从而使所述套件成为立起的状态。
本发明的一方案所涉及的套件加热机构是使具有多孔质部的套件成为光纤母材的套件加热机构，其特征在于，具备：第一加热炉，其具有收容所述套件的炉心管、第一加热器、向所述炉心管内供给脱水气体的第一气体供给机构、以及将所述脱水气体排出的第一气体排出机构，并且在所述脱水气体的环境下利用所述第一加热器在比所述多孔质部的软化点低的第一处理温度下对所述套件进行加热；以及第二加热炉，其具有以收容所述套件的方式构成的结构体、第二加热器、向所述结构体内供给非活性气体的第二气体供给机构、以及将所述非活性气体排出的第二气体排出机构，并且在所述非活性气体的环境下利用所述第二加热器在所述软化点以上的第二处理温度下对所述套件进行加热。
发明效果
根据本发明，起到如下效果：可以实现能够抑制运转率的降低、维护成本的增大的玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构、以及套件加热机构。
附图说明
图1是示出实施方式所涉及的玻璃体的制造装置的结构的示意图。
图2A是示出脱水加热炉的结构的示意图。
图2B是示出玻璃化加热炉的结构的示意图。
图3是说明玻璃体的制造方法的示意图。
图4是说明玻璃体的制造方法的示意图。
图5是说明玻璃体的制造方法的示意图。
图6是说明玻璃体的制造方法的示意图。
图7是说明玻璃体的制造方法的示意图。
图8是说明玻璃体的制造方法的示意图。
图9是说明玻璃体的制造方法的示意图。
图10是说明玻璃体的制造方法的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，本发明并不被该实施方式限定。另外，在附图的记载中，对相同或者对应的要素适当标注相同的附图标记。
图1是示出实施方式所涉及的玻璃体的制造装置的结构的示意图。该制造装置100至少具备作为第一加热炉的脱水加热炉10、作为第二加热炉的玻璃化加热炉20、作为搬运容器的搬运腔室30、以及保管库40。
首先，对搬运腔室30进行说明。搬运腔室30例如由不锈钢等金属构成，并具备操作机构31、连接部32、以及排出泵33。另外，搬运腔室30构成为能够借助未图示的移动机构向位置P1、脱水加热炉10的上方的位置P2、玻璃化加热炉20的上方的位置P3、保管库40的上方的位置P4自如地移动。
操作机构31构成为能够在搬运腔室30的内部升降。关于操作机构31在后文详述。
连接部32设置于搬运腔室30的一端，并具备凸缘部32a。另外，连接部32具备截止阀等截止机构，该截止机构构成能够使搬运腔室30的内部成为气密状态的气密机构。
另外，通过气体供给机构而向搬运腔室30内供给作为非活性气体(例如氮气)的气体G1。另外，搬运腔室30内的气体作为气体G2而通过排出泵33向洗涤器等排出气体处理装置排出。
接下来，参照图2A对脱水加热炉10的结构、以及参照图2B对玻璃化加热炉20的结构分别进行说明。图2A所示的脱水加热炉10是用于对套件1实施脱水处理的加热炉。图2B所示的玻璃化加热炉20是用于对实施了脱水处理的套件1实施玻璃化处理、并使其成为作为玻璃体的光纤母材的加热炉。由脱水加热炉10以及玻璃化加热炉20构成加热套件1的套件加热机构。套件1包括玻璃棒1a、以及形成于玻璃棒1a的外周的多孔质部1b。玻璃棒1a是在具备芯部以及形成于该芯部的外周的包层部的石英系玻璃的芯母材的两端连接由石英玻璃构成的虚拟棒(dummy rod)而成的结构。多孔质部1b在玻璃化处理后与芯母材的包层部成为一体而形成光纤母材的包层部。套件1例如是在通过VAD(Vapor-phase AxialDeposition)法制作后玻璃化了的芯母材连接玻璃棒来作为玻璃棒1a、且使用该玻璃棒1a并通过OVD法在玻璃棒1a的外周设置多孔质部1b而成的。
如图2A所示，脱水加热炉10至少具备炉体11、作为第一加热器的加热器12、马弗管13、炉心管14、以及排出泵15。脱水加热炉10将套件1在比多孔质部1b的软化点低的第一处理温度下加热而脱水。
炉体11收容加热器12、马弗管13、炉心管14、以及未图示的隔热构件，例如由不锈钢等金属构成。加热器12以包围炉心管14的外周的方式、并且沿着炉心管14的长度方向配置有多个，例如由石墨等碳材料构成。马弗管13以包围炉心管14的方式配置于加热器12与炉心管14之间。隔热构件以包围加热器12、马弗管13以及炉心管14的外周的方式适当配置，例如由石墨等碳材料构成。炉心管14由石英玻璃构成，并以能够在内部空间S1收容套件1的方式构成。
在脱水处理时，通过作为第一气体供给机构的气体供给部17，而向炉体11内的炉心管14的外侧的区域供给作为非活性气体(例如氮气)的气体G3。另外，通过气体供给部17而向炉心管14内供给作为非活性气体(例如氮气)与脱水气体(例如氯气、氟、亚硫酰氯(SOCl2))的混合气体的气体G4。炉体11内的炉心管14的外侧的气体作为气体G5、炉心管14内的气体作为气体G6而分别通过作为第一气体排出机构的排出泵15而向洗涤器等排出气体处理装置排出。
另外，在脱水加热炉10的上部设置有构成为能够与搬运腔室30的连接部32连接的连接部16。连接部16具备能够与连接部32的凸缘部32a连接的凸缘部16a。并且，连接部16具备截止阀等截止机构(未图示)，以能够使脱水加热炉10的炉体11以及炉心管14的内部相对于大气成为气密状态。连接部16与搬运腔室30的连接部32能够在维持相对于大气的气密性的同时进行连接。需要说明的是，为了使相对于大气的气密性可靠，也可以设置密封机构。使用凸缘部16a、32a将连接部16与连接部32连接并紧固，若使各自所具备的截止机构为打开状态，则套件1和操作机构31能够通过截止机构而在搬运腔室30与脱水加热炉10之间移动。连接部16构成为能够保持从搬运腔室30移动来的操作机构31。操作机构31在脱水加热炉10中以把持套件1的玻璃棒1a的一端而使套件1绕玻璃棒1a的中心轴旋转的方式进行操作。需要说明的是，使操作机构31旋转的机构可以设置于脱水加热炉10的内部，若能够使炉体11以及炉心管14内相对于大气气密则也可以设置于脱水加热炉10的外部。
如图2B所示，玻璃化加热炉20至少具备炉体21、作为第二加热器的加热器22、马弗管23、以及真空排出泵等排出泵25。玻璃化加热炉20将套件1在多孔质部1b的软化点以上的第二处理温度下加热而使多孔质部1b透明玻璃化。
炉体21收容加热器22、马弗管23、以及未图示的隔热构件，例如由不锈钢等金属构成。加热器22例如由石墨等碳材料构成。作为结构体的马弗管23以能够在内部空间S2收容套件1的方式配置于加热器22的内周侧。隔热构件以包围加热器22以及马弗管23的外周的方式适当配置。马弗管23以及隔热构件由在第二处理温度下具有耐热性的材质构成，例如由石墨等碳材料构成。在此，在第二处理温度下具有耐热性是指即使在第二处理温度下也维持不变形的程度的机械特性。
在玻璃化处理时，炉体21内的气体作为气体G7而通过作为第二气体排出机构的排出泵25向洗涤器等排出气体处理装置排出。另外，用于使内部的压力返回到规定的压力等的气体G8通过作为第二气体供给机构的气体供给部27而导入炉体21。
另外，在玻璃化加热炉20的上部设置有以能够连接搬运腔室30的连接部32的方式构成的连接部26。连接部26具备能够与连接部32的凸缘部32a连接的凸缘部26a。并且，连接部26具备截止阀等截止机构(未图示)，以能够使玻璃化加热炉20的炉体21的内部相对于大气成为气密状态。连接部26与搬运腔室30的连接部32能够在维持相对于大气的气密性的同时进行连接。需要说明的是，为了使相对于大气的气密性可靠，也可以设置密封机构。使用凸缘部26a、32a将连接部26与连接部32连接并紧固，若使各自所具备的截止机构为打开状态，则套件1和操作机构31能够通过截止机构而在搬运腔室30与玻璃化加热炉20之间移动。连接部26构成为能够保持从搬运腔室30移动来的操作机构31。操作机构31在玻璃化加热炉20中以把持套件1的玻璃棒1a的一端而使套件1绕玻璃棒1a的中心轴旋转的方式进行操作。需要说明的是，使操作机构31旋转的机构可以设置于玻璃化加热炉20的内部，若能够使炉体21内相对于大气气密则也可以设置于玻璃化加热炉20的外部。
保管库40将对套件1进行脱水处理以及玻璃化处理而生成的光纤母材进行缓冷并保管。需要说明的是，也可以将保管库40构成为第二个玻璃化加热炉。
(制造方法)
接着，使用图3～图10对使用了制造装置100的光纤母材的制造方法进行说明。首先，如图3所示，将制作的套件1载置于作为输送装置的台车50。台车50在地板F行驶而向配置于制造装置100的附近的旋转机构60输送套件1。在此，套件1为了防止破损等，而在保持于保持器具70的状态下被输送。另外，搬运腔室30位于位置P1。
接下来，如图4所示，旋转机构60使保持于保持器具70的套件1以玻璃棒1a的两端成为上下配置的方式旋转而处于立起的状态。接下来，连接部32的截止机构被设为打开状态，使搬运腔室30的操作机构31把持套件1的玻璃棒1a的一端并使其上升。由此套件1被收容并保持于搬运腔室30内。在收容后将连接部32的截止机构设为关闭状态，使搬运腔室30的内部成为气密状态。之后，一边通过排出泵33将搬运腔室30的内部的大气排出，一边向搬运腔室30的内部供给气体G1(例如，非活性气体)而成为规定的环境。另一方面，也预先使脱水加热炉10的炉心管14的内部为非活性气体环境。此时，优选设为干燥环境。干燥环境是指所包含的水分量充分少或者不包含水分的环境。另外，也可以预先使搬运腔室30以及炉心管14的内部设为减压状态。
接下来，如图5所示，搬运腔室30从位置P1向位置P2移动。并且，搬运腔室30的连接部32与脱水加热炉10的连接部16利用凸缘部16a、32a和密封机构在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，需要说明的是，此时，也可以在连接部32与连接部16之间插入作为接头的凸缘构件，通过与凸缘部连接的排出泵、气体导入机构而将凸缘构件内减压或者以非活性气体置换。之后，连接部32以及连接部16各自的截止机构被设为打开状态，搬运腔室30的内部与脱水加热炉10的炉心管14的内部在维持相对于大气的气密性的状态下连通。接下来，操作机构31使套件1下降而导入脱水加热炉10内。操作机构31也导入脱水加热炉10内，并保持于连接部16。在将套件1导入而收容于炉心管14内、且将操作机构31保持于连接部16后，连接部32以及连接部16各自的截止机构被设为关闭状态。之后，搬运腔室30与脱水加热炉10的连接被切断。这样一来，套件1不会暴露于大气而从搬运腔室30导入脱水加热炉10。
接下来，如图6所示，脱水加热炉10将借助操作机构31旋转的套件1由加热器12在第一处理温度下加热规定时间而脱水。在脱水处理时供给气体G3和气体G4。第一温度例如为1100℃～1250℃之间的温度。另外，炉心管14内的气体G4的压力例如为大气压，但也可以是减压状态，也可以是比大气压略高的加压状态。需要说明的是，脱水处理也可以通过两个阶段进行。在该情况下，例如可以首先作为第一脱水处理在1100℃下将加热进行规定时间，接下来作为第二脱水处理在1250℃下将加热进行规定时间。脱水处理中，搬运腔室30例如向位置P4移动，成为待机状态。
当脱水处理结束时，如图7所示，搬运腔室30向位置P2移动，搬运腔室30的连接部32与脱水加热炉10的连接部16在维持相对于大气的气密性的同时进行连接。之后，连接部32以及连接部16各自的截止机构被设为打开状态，搬运腔室30的内部与脱水加热炉10的炉心管14的内部在维持相对于大气的气密性的状态下连通。接下来，把持脱水处理后的套件1的操作机构31在搬运腔室30内移动、上升，并将套件1导入搬运腔室30内。在套件1被导入并被收容于搬运腔室30内后，连接部32以及连接部16各自的截止机构被设为关闭状态。之后，搬运腔室30与脱水加热炉10的连接被切断。需要说明的是，在收容脱水处理后的套件1前，搬运腔室30内在非活性气体的干燥环境下被设为大气压或者减压状态。
由此，能够防止脱水加热炉10的炉心管14内的气体G4所包含的脱水气体暴露于大气。其结果是，能够抑制发生脱水气体与大气中的水分反应而产生腐蚀性物质的情况。例如，在脱水气体为氯气的情况下产生的腐蚀性物质为盐酸。因此，抑制由腐蚀性物质引起的制造装置100的脱水加热炉10、玻璃化加热炉20、及其他设备的损伤，从而能够抑制制造装置100的运转率的降低、维护成本的增大。
接下来，如图8所示，搬运腔室30向位置P3移动。并且，搬运腔室30的连接部32与玻璃化加热炉20的连接部26通过凸缘部26a、32a和密封机构而在维持相对于大气的气密性的同时进行连接。需要说明的是，此时，也可以在连接部32与连接部26之间插入作为接头的凸缘构件，并通过与凸缘部连接的排出泵、气体导入机构而将凸缘构件内减压或者以非活性气体置换。之后，连接部32以及连接部26各自的截止机构被设为打开状态，搬运腔室30的内部与玻璃化加热炉20的内部空间S2在维持相对于大气的气密性的状态下连通。接下来，操作机构31使套件1下降而导入玻璃化加热炉20内。操作机构31也被导入玻璃化加热炉20内，并被保持于连接部26。在套件1被导入并被收容于内部空间S2、且操作机构31被保持于连接部26后，连接部32以及连接部26各自的截止机构被设为关闭状态。之后，搬运腔室30与玻璃化加热炉20的连接被切断。这样一来，套件1被从搬运腔室30导入玻璃化加热炉20而不会暴露于大气。这样，由搬运腔室30以及移动机构构成将套件1在脱水加热炉10与玻璃化加热炉20之间搬运的套件搬运机构。
接下来，玻璃化加热炉20将借助操作机构31而旋转的套件1由加热器22在第二处理温度下加热规定时间而使多孔质部1b透明玻璃化。第二温度例如为1400℃。玻璃化加热炉20内例如减压为比大气压低的气压。但是，也可以在玻璃化处理时向玻璃化加热炉20内供给非活性气体，并在大气压下加热，而进行透明玻璃化处理。玻璃化处理中，搬运腔室30例如向位置P4移动，成为待机状态。
当玻璃化处理结束时，如图9所示，搬运腔室30向位置P3移动，搬运腔室30的连接部32与玻璃化加热炉20的连接部26在维持相对于大气的气密性的同时进行连接。之后，连接部32以及连接部26各自的截止机构被设为打开状态，搬运腔室30的内部与玻璃化加热炉20的内部空间S2在维持相对于大气的气密性的状态下连通。接下来，把持玻璃化处理后的光纤母材2的操作机构31在搬运腔室30内移动、上升，并将光纤母材2导入搬运腔室30内。需要说明的是，光纤母材2包括玻璃棒1a、以及形成于玻璃棒1a的外周的玻璃部2b。玻璃部2b是多孔质部1b透明玻璃化而成的。在光纤母材2被导入并被收容于搬运腔室30内后，连接部32以及连接部26各自的截止机构被设为关闭状态。之后，搬运腔室30与玻璃化加热炉20的连接被切断。
即，在套件1、光纤母材2在搬运腔室30与脱水加热炉10或者玻璃化加热炉20之间移动时，必须设为非活性环境下或者减压状态，从而不会暴露于大气。
在此，玻璃化加热炉20在内部不具备由石英构成的炉心管，马弗管23在第二处理温度下具有耐热性，因此能够防止如具备由石英构成的炉心管的情况那样发生变形、失透的问题。其结果是，能够抑制制造装置100的运转率的降低、维护成本的增大。
另外，对于由石英构成的炉心管，应处理的套件越大型化，则越需要以能够收容该套件的方式大型化，但因大型化引起的高价格化显著。然而，玻璃化加热炉20在内部不具备由石英构成的炉心管，因此能够抑制在使玻璃化加热炉20大型化时花费的成本。
另外，在套件1导入时、光纤母材2导出时也能够将玻璃化加热炉20的内部相对于大气维持在气密状态，因此能够抑制大气流入而使加热器22、马弗管23、隔热构件腐蚀而劣化的情况。其结果是，能够抑制制造装置100的运转率的降低、维护成本的增大。
之后，如图10所示，搬运腔室30向位置P4移动，操作机构31使光纤母材2下降而导入保管库40内。
需要说明的是，在上述实施方式中，玻璃化加热炉的结构体为马弗管且由碳材料构成，但只要是在第二处理温度下具有耐热性的材质即可，例如也可以是由陶瓷材料构成的结构体。另外，结构体也可以是炉心管。在结构体是炉心管的情况下，炉心管与脱水加热炉的炉心管同样地配置于炉体内，并在炉心管与加热器之间另外配置马弗管。另外，隔热构件与脱水加热炉的隔热构件同样地配置于炉体内。
另外，在上述实施方式中，作为玻璃体而制造了光纤母材，但也可以制造光纤母材以外的玻璃体。
另外，本发明并不被上述实施方式限定。将上述的各构成要素适当组合而构成的方式也包含于本发明。另外，进一步的效果、变形例能够由本领域技术人员容易地导出。因而，本发明的更加广范的方案并不局限于上述的实施方式，而能够进行各种变更。
工业实用性
如以上那样，本发明所涉及的玻璃体的制造装置、玻璃体的制造方法、套件搬运机构、以及套件加热机构在光纤母材的制造中是有用的。
附图标记说明：
1 套件
1a 玻璃棒
1b 多孔质部
2 光纤母材
2b 玻璃部
10 脱水加热炉
11、21 炉体
12、22 加热器
13、23 马弗管
14 炉心管
15、25、33 排出泵
16、26、32 连接部
17、27 气体供给部
20 玻璃化加热炉
30 搬运腔室
31 操作机构
16a、26a、32a 凸缘部
40 保管库
50 台车
60 旋转机构
70 保持器具
100 制造装置
F 地板
G1、G2、G3、G4、G5、G6、G7、G8 气体
S1、S2 内部空间。

Claims (7)

1.一种玻璃体的制造装置，其将具有多孔质部的套件脱水并进行透明玻璃化而制造玻璃体，所述玻璃体的制造装置的特征在于，具备：
第一加热炉，其具备收容所述套件的炉心管、和第一加热器，脱水气体被供给至所述炉心管内，并且利用所述第一加热器在比所述多孔质部的软化点低的第一处理温度下对所述套件进行加热；
第二加热炉，其具备以收容所述套件的方式构成的结构体、和第二加热器，并且利用所述第二加热器在所述软化点以上的第二处理温度下对所述套件进行加热；以及
搬运容器，其构成为能够分别与所述第一加热炉以及所述第二加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，收容并保持所述套件，并在所述第一加热炉与所述第二加热炉之间搬运所述套件，
所述第一加热炉、所述第二加热炉、以及所述搬运容器分别具备维持相对于大气的气密性的截止机构，
所述搬运容器具备与所述套件一起在所述第一加热炉或所述第二加热炉中移动的操作机构。
2.根据权利要求1所述的玻璃体的制造装置，其特征在于，
所述结构体配置于炉体内，并由碳材料或者陶瓷材料构成。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃体的制造装置，其特征在于，
所述结构体为炉心管。
4.一种玻璃体的制造方法，其特征在于，
在第一加热炉中，将具有多孔质部的套件收容于由玻璃构成的炉心管内，向所述炉心管内供给脱水气体，并在比所述多孔质部的软化点低的第一处理温度下对所述套件进行加热，
使搬运容器与所述第一加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，将所述套件收容并保持于所述搬运容器，并且向第二加热炉搬运，
使所述搬运容器与所述第二加热炉在维持相对于大气的气密性的同时进行连接，将所述套件收容于结构体内，在维持相对于大气的气密性的同时使所述搬运容器与所述第二加热炉的连接切断，并且在所述软化点以上的第二处理温度下对所述套件进行加热。
5.一种套件搬运机构，其在第一加热炉与第二加热炉之间搬运套件，所述套件搬运机构的特征在于，
具备：搬运容器，其收纳所述套件；以及移动机构，其将所述搬运容器向所述第一加热炉的上方的位置以及所述第二加热炉的上方的位置移动，
所述搬运容器具备：
操作机构，其能够使所述套件升降，并且在利用所述第一加热炉对所述套件进行加热的情况下，所述操作机构与所述套件一起被导入所述第一加热炉内后，所述套件被加热，并且，在利用所述第二加热炉对所述套件进行加热的情况下，所述操作机构与所述套件一起被导入所述第二加热炉内后，所述套件被加热；
气密机构，其能够使所述搬运容器内成为气密状态；以及
连接部，其构成为能够与所述第一加热炉或者所述第二加热炉连接。
6.根据权利要求5所述的套件搬运机构，其特征在于，
所述套件搬运机构进一步具备旋转机构，所述旋转机构使所述套件的玻璃棒的两端以上下的方式配置，从而使所述套件成为立起的状态。
7.一种套件加热机构，其使具有多孔质部的套件成为光纤母材，所述套件加热机构的特征在于，具备：
第一加热炉，其具有收容所述套件的炉心管、第一加热器、向所述炉心管内供给脱水气体的第一气体供给机构、以及将所述脱水气体排出的第一气体排出机构，并且在所述脱水气体的环境下利用所述第一加热器在比所述多孔质部的软化点低的第一处理温度下对所述套件进行加热；以及
第二加热炉，其具有以收容所述套件的方式构成的结构体、第二加热器、向所述结构体内供给非活性气体的第二气体供给机构、以及将所述非活性气体排出的第二气体排出机构，并且在所述非活性气体的环境下利用所述第二加热器在所述软化点以上的第二处理温度下对所述套件进行加热，
所述第一加热炉以及所述第二加热炉分别具备维持相对于大气的气密性的截止机构。
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