CN111025843A - 一种新型5寸掩模版贴膜工具 - Google Patents

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CN111025843A
CN111025843A CN201911347730.8A CN201911347730A CN111025843A CN 111025843 A CN111025843 A CN 111025843A CN 201911347730 A CN201911347730 A CN 201911347730A CN 111025843 A CN111025843 A CN 111025843A
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薛文卿
华卫群
季书凤
杨长华
张月圆
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Wuxi Zhongwei Mask Electronics Co ltd
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    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G—PHYSICS
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    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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Abstract

本发明公开了一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架、定位兼导向块和压力杆，定位兼导向块分布于中央镂空的主体支架的四周，压力杆设置在主体支架四角上；所述压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应。主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。本发明设计科学合理，操作简单方便，本发明解决了人工使用四根手指来按压掩模基板，取而代之地使用四根压力杆可以在掩模基板四角压力均匀，且不会因手指按压留下痕迹。

Description

一种新型5寸掩模版贴膜工具
技术领域
本发明涉及掩模制版技术领域，尤其涉及一种新型5寸掩模版贴膜工具。
背景技术
半导体集成电路制造工艺已经进入14-16纳米量产阶段，因此需要更先进的光刻技术刻出更细的线宽和更复杂的图案。光刻工艺中，需要用到一种模板来对图形进行转印和复制，这种模板称之为光掩模板(又称光罩，以下统称为掩模板)。掩模板是一条纽带连接设计公司和晶园制造，目前晶圆厂光刻工艺中还无法实现无掩模光刻，因此掩模板是集成电路制造中极为关键的一环。由此需求掩模板的线宽越来越细，精度要求也是越来越高，些许颗粒沾污就直接影响掩模版质量。
掩模基板的主要制作流程为曝光、PEB、显影、硬烘、刻蚀、去胶、检测、贴膜等，后端工序贴膜尤为重要，直接影响产品成品率。保护膜可以防止污染物掉落在掩模版上，降低掩模清洗周期，提高掩模使用寿命。
现有技术中，作业员平时用手直接按压掩模版表面，有时手指印残留在掩模版上无法消除，导致返工，需要拆下掩模版保护膜、清洗等不必要的返工工序。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术中作业员平时用手直接按压掩模版表面会残留手指印的缺陷，提供一种新型5寸掩模版贴膜工具。
为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：
本发明一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架、定位兼导向块和压力杆，所述定位兼导向块分布于中央镂空的主体支架的四周，导向杆从上沿着贴膜基座慢慢向下，确保四根压力杆按压在掩模版四个角上，使得保护膜均匀而牢固地粘在掩模版上；所述压力杆设置在主体支架四角上；所述压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应。主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。
进一步的，在左右两个定位兼导向块上设置有把手。双手可以把压力均匀传递给4根压力杆，基本保持保护膜和需要贴膜的掩模版平衡。
进一步的，所述定位兼导向块的尺寸与掩模版贴膜基座尺寸相匹配。
进一步的，所述定位兼导向块内层镀镍，外层镀塑料，摩擦时不产生颗粒。
进一步的，压力杆采用PMMA材质，和掩模基板表面重压和摩擦不产生颗粒和痕迹。
进一步的，压力杆长度长于双面贴膜总厚度与贴膜基座内弹簧压缩长度之和，从而可以满足单面和双面贴膜需求。
进一步的，5寸掩模版贴膜工具的尺寸略大于5寸贴膜基座的尺寸。
进一步的，所述定位兼导向块的长度略长于贴膜基座内弹簧压缩长度。
采用上述新型5寸掩模版贴膜工具的贴膜方法，包括以下步骤：
S1、把贴膜工具放置工作台中央；
S2、对贴膜工具进行清洁和放置在顺手位置，准备后续操作；
S3、把掩模版保护膜平整地放置在贴膜支座上；
S4、把掩模版保护膜上的粘合带保护薄膜轻轻撕开；
S5、把需要粘贴保护膜的掩模版轻轻放置在保护膜架上；
S6、检查掩模版平整放置在保护膜架上；
S7、轻轻拿起新型5寸掩模版贴膜工具，使得定位兼导向块慢慢套在贴膜支座上；
S8、然后，双手同时用力慢慢按压，使掩模版和保护膜粘合在一起；
S9、把新型5寸掩模版贴膜工具放回原来位置，取出已经贴好保护膜的掩模版，立即放置在保护料盒中。
本发明所达到的有益效果是：本发明设计科学合理，操作简单方便，本发明解决了人工使用四根手指来按压掩模基板，取而代之地使用四根压力杆可以在掩模基板四角压力均匀，且不会因手指按压留下痕迹。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例
如图1所示，本发明一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架1、定位兼导向块2和压力杆3，压力杆3设置在主体支架四角上，压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应；定位兼导向块3分布在中央镂空的主体支架1的四周，从上沿着贴膜基座慢慢向下，确保四根压力杆3按压在掩模版四个角上，使得保护膜均匀而牢固地粘在掩模版上；主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。
在左右两个定位兼导向块上设置有把手4。双手可以把压力均匀传递给4根压力杆，基本保持保护膜和需要贴膜的掩模版平衡。定位兼导向块的尺寸与掩模版贴膜基座尺寸相匹配。定位兼导向块摩擦时不产生颗粒。压力杆和掩模基板表面重压和摩擦不产生颗粒和痕迹。压力杆长度长于双面贴膜总厚度与贴膜基座内弹簧压缩长度之和，从而可以满足单面和双面贴膜需求。
本发明的5寸掩模版贴膜工具的尺寸略大于5寸贴膜基座的尺寸，定位兼导向块的长度略长于贴膜基座内弹簧压缩长度。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，包括中央镂空的主体支架(1)、定位兼导向块(2)和压力杆(3)，所述定位兼导向块(2)分布于中央镂空的主体支架(1)的四周，所述压力杆(3)设置在主体支架(1)四角上，分别与5寸掩模版四个角位置对应。
2.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，在左右两个定位兼导向块(2)上设置有把手(4)。
3.如权利要求1一种新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，所述定位兼导向块的尺寸与掩模版贴膜基座尺寸相匹配。
4.如权利要求1一种新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，所述定位兼导向块(2)的内层镀镍，外层镀塑料。
5.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具，压力杆(4)采用PMMA材质，和掩模基板表面重压和摩擦不产生颗粒和痕迹。
6.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具，压力杆(4)长度长于双面贴膜总厚度与贴膜基座内弹簧压缩长度之和。
7.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具，5寸掩模版贴膜工具的尺寸略大于5寸贴膜基座的尺寸。
8.如权利要求1所述的一种新型5寸掩模版贴膜工具，所述定位兼导向块的长度略长于贴膜基座内弹簧压缩长度。
9.一种新型5寸掩模版贴膜工具的贴膜方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、把贴膜工具放置工作台中央；
S2、对贴膜工具进行清洁和放置在顺手位置，准备后续操作；
S3、把掩模版保护膜平整地放置在贴膜支座上；
S4、把掩模版保护膜上的粘合带保护薄膜轻轻撕开；
S5、把需要粘贴保护膜的掩模版轻轻放置在保护膜架上；
S6、检查掩模版平整放置在保护膜架上；
S7、轻轻拿起新型5寸掩模版贴膜工具，使得定位兼导向块慢慢套在贴膜支座上；
S8、然后，双手同时用力慢慢按压，使掩模版和保护膜粘合在一起；
S9、把新型5寸掩模版贴膜工具放回原来位置，取出已经贴好保护膜的掩模版，立即放置在保护料盒中。
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