CN208400818U - 一种手摇式晶圆贴膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种手摇式晶圆贴膜机，包括贴膜机贴膜机构、固定机构和保护膜测量枝杆，所述保护膜测量枝杆的一端固定连接有保护膜测量压板，所述保护膜测量枝杆的外表面设置有保护膜测量弹簧，且保护膜测量弹簧与保护膜测量压板和贴膜机贴膜机构均固定连接；通过设计了安装在保护膜收卷轴上表面的保护膜测量压板以及保护膜测量压板上表面两端的具有刻度的保护膜测量枝杆便于测量套在保护膜收卷轴上的保护膜的剩余量，解决了现有的手摇式晶圆贴膜机在使用过程中，由于其本身结构为非透明的缘故，从而导致使用者无法在外部直接观测出机器内部的剩余保护膜的多少，以至于无法及时更换和适当使用的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆技术领域，具体涉及一种手摇式晶圆贴膜机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%。硅是由石英砂所精练出来的，晶圆便是硅元素加以纯化，接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆。硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。而手摇式晶圆贴膜机的型号可分为：8英寸圆晶、12英寸圆晶。
现有的手摇式晶圆贴膜机在使用时，由于其本身结构的缘故，从而导致无法在外部直接观测出其内部的剩余保护膜的剩余，且现有的手摇式晶圆贴膜机由于其本身较为轻便，从而导致其在使用者用力时易发生滑动的问题，为此我们提出一种手摇式晶圆贴膜机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种手摇式晶圆贴膜机，以解决上述背景技术中提出现有的手摇式晶圆贴膜机在使用时，由于其本身结构的缘故，从而导致无法在外部直接观测出其内部的剩余保护膜的剩余，且现有的手摇式晶圆贴膜机由于其本身较为轻便，从而导致其在使用者用力时易发生滑动的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种手摇式晶圆贴膜机，包括贴膜机贴膜机构、固定机构和保护膜测量枝杆，所述保护膜测量枝杆的一端固定连接有保护膜测量压板，所述保护膜测量枝杆的外表面设置有保护膜测量弹簧，且保护膜测量弹簧与保护膜测量压板和贴膜机贴膜机构均固定连接。
优选的，所述贴膜机贴膜机构包括保护膜后盖板、压膜手轮、覆膜基座、贴膜盖板、贴膜机外壳和控制按钮，且控制按钮与贴膜机外壳通过凹槽卡合固定连接，所述贴膜盖板与贴膜机外壳通过转轴转动连接，所述压膜手轮与贴膜盖板通过轴承转动连接，所述覆膜基座与贴膜机外壳通过凹槽卡合滑动连接，所述保护膜后盖板与贴膜机外壳通过铰链转动连接。
优选的，所述固定机构包括贴膜机外壳、吸盘顶柱和贴膜机套筒，且吸盘顶柱与贴膜机外壳通过粘胶粘黏固定连接，套筒弹簧与贴膜机外壳通过焊接固定连接，所述套筒弹簧与贴膜机套筒通过焊接固定连接。
优选的，所述保护膜测量枝杆的高度等于保护膜后盖板的高度，且保护膜测量枝杆的外表面设置有刻度。
优选的，所述保护膜测量压板的剖面形状为三分之一圆环。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
（1）通过设计了安装在保护膜收卷轴上表面的保护膜测量压板以及保护膜测量压板上表面两端的保护膜测量枝杆便于测量套在保护膜收卷轴上的保护膜的剩余量，解决了现有的手摇式晶圆贴膜机在使用时，由于其本身结构的缘故，从而导致无法在外部直接观测出其内部的剩余保护膜的剩余的问题。
（2）通过设计了安装在贴膜机外壳下表面的吸盘顶柱和贴膜机套筒便于固定整个装置，解决了现有的手摇式晶圆贴膜机由于其本身较为轻便，从而导致其在使用者用力时易发生滑动的问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的保护膜后盖板部分剖视结构示意图；
图3为本实用新型的贴膜机套筒部分剖视结构示意图；
图中：1、保护膜测量枝杆；2、保护膜后盖板；3、压膜手轮；4、覆膜基座；5、贴膜盖板；6、贴膜机外壳；7、贴膜机套筒；8、控制按钮；9、保护膜测量压板；10、保护膜测量弹簧；11、保护膜收卷轴；12、套筒弹簧；13、吸盘顶柱。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
请参阅图1、图2和图3，本实用新型提供一种技术方案：一种手摇式晶圆贴膜机，包括贴膜机贴膜机构、固定机构和保护膜测量枝杆1，保护膜测量枝杆1的一端通过焊接固定连接有保护膜测量压板9，保护膜测量枝杆1的外表面设置有保护膜测量弹簧10，且保护膜测量弹簧10与保护膜测量压板9和贴膜机贴膜机构均通过焊接固定连接。
为了便于使用该装置，本实施例中，优选的，贴膜机贴膜机构包括保护膜后盖板2、压膜手轮3、覆膜基座4、贴膜盖板5、贴膜机外壳6和控制按钮8，且控制按钮8与贴膜机外壳6通过凹槽卡合固定连接，贴膜盖板5与贴膜机外壳6通过转轴转动连接，压膜手轮3与贴膜盖板5通过轴承转动连接，覆膜基座4与贴膜机外壳6通过凹槽卡合滑动连接，保护膜后盖板2与贴膜机外壳6通过铰链转动连接。
为了便于固定该装置，本实施例中，优选的，固定机构包括贴膜机外壳6、吸盘顶柱13和贴膜机套筒7，且吸盘顶柱13与贴膜机外壳6通过粘胶粘黏固定连接，套筒弹簧12与贴膜机外壳6通过焊接固定连接，套筒弹簧12与贴膜机套筒7通过焊接固定连接。
为了便于测量，本实施例中，优选的，保护膜测量枝杆1的高度等于保护膜后盖板2的高度，且保护膜测量枝杆1的外表面设置有刻度。
为了便于紧贴保护膜，本实施例中，优选的，保护膜测量压板9的剖面形状为三分之一圆环。
实施例2
请参阅图1、图2和图3，本实用新型提供一种技术方案：一种手摇式晶圆贴膜机，包括贴膜机贴膜机构、固定机构和保护膜测量枝杆1，保护膜测量枝杆1的一端通过螺栓固定连接有保护膜测量压板9，保护膜测量枝杆1的外表面设置有保护膜测量弹簧10，且保护膜测量弹簧10与保护膜测量压板9和贴膜机贴膜机构均通过螺栓固定连接。
为了便于使用该装置，本实施例中，优选的，贴膜机贴膜机构包括保护膜后盖板2、压膜手轮3、覆膜基座4、贴膜盖板5、贴膜机外壳6和控制按钮8，且控制按钮8与贴膜机外壳6通过凹槽卡合固定连接，贴膜盖板5与贴膜机外壳6通过转轴转动连接，压膜手轮3与贴膜盖板5通过轴承转动连接，覆膜基座4与贴膜机外壳6通过凹槽卡合滑动连接，保护膜后盖板2与贴膜机外壳6通过铰链转动连接。
为了便于固定该装置，本实施例中，优选的，固定机构包括贴膜机外壳6、吸盘顶柱13和贴膜机套筒7，且吸盘顶柱13与贴膜机外壳6通过粘胶粘黏固定连接，套筒弹簧12与贴膜机外壳6通过焊接固定连接，套筒弹簧12与贴膜机套筒7通过焊接固定连接。
为了便于测量，本实施例中，优选的，保护膜测量枝杆1的高度等于保护膜后盖板2的高度的一点一倍，且保护膜测量枝杆1的外表面设置有刻度。
为了便于紧贴保护膜，本实施例中，优选的，保护膜测量压板9的剖面形状为三分之一圆环。
本实用新型的工作原理及使用流程：该装置安装完成后，向上拉动保护膜测量枝杆1，使得保护膜测量压板9不再接触保护膜收卷轴11，然后再将保护膜套在保护膜收卷轴11的外表面，然后松开保护膜测量枝杆1，由于保护膜测量弹簧10的存在，保护膜测量压板9会紧贴保护膜的外表面，然后盖合保护膜后盖板2，再将该装置放置于指定位置处，并按压该装置，在该装置受到按压之后，吸盘顶柱13便于从贴膜机套筒7的下表面伸出，并吸附在桌面之上，然后即可正常使用该装置，而在该装置使用过程中，由于保护膜测量弹簧10的存在，即使保护膜逐渐减少，但保护膜测量压板9依旧能够贴覆在保护膜的表面，而这时，保护膜测量枝杆1不断下降，使用者即可通过保护膜测量枝杆1表面的刻度来判断保护膜测量枝杆1下降的程度，从而间接观察保护膜的剩余。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种手摇式晶圆贴膜机，包括贴膜机贴膜机构、固定机构和保护膜测量枝杆（1），其特征在于：所述保护膜测量枝杆（1）的一端固定连接有保护膜测量压板（9），所述保护膜测量枝杆（1）的外表面设置有保护膜测量弹簧（10），且保护膜测量弹簧（10）与保护膜测量压板（9）和贴膜机贴膜机构均固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述贴膜机贴膜机构包括保护膜后盖板（2）、压膜手轮（3）、覆膜基座（4）、贴膜盖板（5）、贴膜机外壳（6）和控制按钮（8），且控制按钮（8）与贴膜机外壳（6）通过凹槽卡合固定连接，所述贴膜盖板（5）与贴膜机外壳（6）通过转轴转动连接，所述压膜手轮（3）与贴膜盖板（5）通过轴承转动连接，所述覆膜基座（4）与贴膜机外壳（6）通过凹槽卡合滑动连接，所述保护膜后盖板（2）与贴膜机外壳（6）通过铰链转动连接。
3.根据权利要求2所述的一种手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述固定机构包括贴膜机外壳（6）、吸盘顶柱（13）和贴膜机套筒（7），且吸盘顶柱（13）与贴膜机外壳（6）通过粘胶粘黏固定连接，套筒弹簧（12）与贴膜机外壳（6）通过焊接固定连接，所述套筒弹簧（12）与贴膜机套筒（7）通过焊接固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述保护膜测量枝杆（1）的高度等于保护膜后盖板（2）的高度，且保护膜测量枝杆（1）的外表面设置有刻度。
5.根据权利要求1所述的一种手摇式晶圆贴膜机，其特征在于：所述保护膜测量压板（9）的剖面形状为三分之一圆环。
Priority Applications (1)
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| CN201821034437.7U CN208400818U (zh) | 2018-07-02 | 2018-07-02 | 一种手摇式晶圆贴膜机 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111025843A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-17 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 一种新型5寸掩模版贴膜工具 |
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2018
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