CN201858954U - 一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置 - Google Patents
一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201858954U CN201858954U CN2010205794828U CN201020579482U CN201858954U CN 201858954 U CN201858954 U CN 201858954U CN 2010205794828 U CN2010205794828 U CN 2010205794828U CN 201020579482 U CN201020579482 U CN 201020579482U CN 201858954 U CN201858954 U CN 201858954U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- module
- information acquisition
- surface flatness
- acquisition module
- input end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置，包括座体、三个测量表，所述三个测量表相互平行的设置在所述座体上，其中，还包括检测装置，所述检测装置包括信息采集模块、对比模块及显示模块，所述信息采集模块的输入端分别与所述测量表相连，输出端与所述对比模块的输入端相连，所述对比模块的输出端与所述显示模块相连，使用时，信息采集模块将采集的数据送到对比模块，通过对比模块比较，直接反映在显示模块上，这样不仅使用方便，而且测量的数据精确，从而保证了研磨盘表面平整度的精确性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种测量装置，特别涉及一种研磨盘内周面平整度的测量装置，属于硅片加工的技术领域。
背景技术
由于硅片是比较精细的产品，其精度要求较高，因此，对其研磨工具——研磨盘的精度也很高。通常研磨盘表面的精度超出范围（9.6S：0.01mm；4S/4B/6S/6B：0.005mm），就要将其用修盘机进行修正，以免影响硅片的加工精度。传统对研磨盘表面平整度的测量，通常是使用一个测量表对该研磨盘表面不同位置进行测量，并分别记录下相应的数据，再由人工对相应的数据进行比较，以获得该研磨盘表面平面的精度。该方法不仅操作复杂，效率低；而且结果不精确，使硅片的加工次品率难以下降，极大影响了硅片的工厂化生产。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种测量精确、结构简单且使用方便的硅片研磨盘表面平整度的测量装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置，包括座体、三个测量表，所述三个测量表相互平行的设置在所述座体上，其中，还包括检测装置，所述检测装置包括信息采集模块、对比模块及显示模块，所述信息采集模块的输入端分别与所述测量表相连，输出端与所述对比模块的输入端相连，所述对比模块的输出端与所述显示模块相连。
上述一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置，其中，所述测量表为千分表。
由于本实用新型还包括检测装置，所述检测装置包括信息采集模块、对比模块及显示模块，所述信息采集模块的输入端分别与所述测量表相连，输出端与所述对比模块的输入端相连，所述对比模块的输出端与所述显示模块相连，使用时，信息采集模块将采集的数据送到对比模块，通过对比模块比较，直接反映在显示模块上，这样不仅使用方便，而且测量的数据精确，从而保证了研磨盘表面平整度的精确性；另外，由于所述测量表为千分表，方便更换，且成本较优低。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
为了解决上述技术问题，本实用新型一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置，包括座体1、三个测量表2，检测装置3，所述三个测量表2相互平行的设置在所述座体1上，所述检测装置3包括信息采集模块31、对比模块32及显示模块33，所述信息采集模块31的输入端分别与所述测量表2相连，输出端与所述对比模块32的输入端相连，所述对比模块32的输出端与所述显示模块33相连。使用时，信息采集模块31将采集的数据送到对比模块32，通过对比模块32比较，直接反映在显示模块33上，这样不仅使用方便，而且测量的数据精确，从而保证了研磨盘表面平整度的精确性。本实施例中，优选所述测量表2为千分表。由于所述测量表3为千分表，方便更换，且成本较优低。
这里本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上述实施例中，因此，本实用新型不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本实用新型保护的范围内。
Claims (2)
1.一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置，包括座体、三个测量表，所述三个测量表相互平行的设置在所述座体上，其特征在于，还包括检测装置，所述检测装置包括信息采集模块、对比模块及显示模块，所述信息采集模块的输入端分别与所述测量表相连，输出端与所述对比模块的输入端相连，所述对比模块的输出端与所述显示模块相连。
2.如权利要求1所述一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置，其特征在于，所述测量表为千分表。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010205794828U CN201858954U (zh) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010205794828U CN201858954U (zh) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201858954U true CN201858954U (zh) | 2011-06-08 |
Family
ID=44104759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010205794828U Expired - Fee Related CN201858954U (zh) | 2010-10-27 | 2010-10-27 | 一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201858954U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113701674A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-26 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法 |
| CN115488711A (zh) * | 2022-09-16 | 2022-12-20 | 成都青洋电子材料有限公司 | 一种调整研磨机磨盘平整度的测试仪以及调整方法 |
-
2010
- 2010-10-27 CN CN2010205794828U patent/CN201858954U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113701674A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-26 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法 |
| CN113701674B (zh) * | 2021-07-29 | 2023-11-17 | 蚌埠高华电子股份有限公司 | 液晶玻璃基板研磨盘平坦度辅助检测装置及检测方法 |
| CN115488711A (zh) * | 2022-09-16 | 2022-12-20 | 成都青洋电子材料有限公司 | 一种调整研磨机磨盘平整度的测试仪以及调整方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203177771U (zh) | 测量零件长度的量具 | |
| CN201858954U (zh) | 一种硅片研磨盘表面平整度的测量装置 | |
| CN201858971U (zh) | 一种硅片研磨盘内周面平整度的测量装置 | |
| CN205228425U (zh) | 垂直度测量仪器 | |
| CN202648606U (zh) | 一种洗衣机控制面板直线度测量装置 | |
| CN202994823U (zh) | 一种简易风向测量仪 | |
| CN202770375U (zh) | 一种滑动式检测机构 | |
| CN202420355U (zh) | 一种联轴器用百分表测量装置 | |
| CN201720739U (zh) | 轴承套圈测量工装 | |
| CN202734695U (zh) | 中心孔距数显卡尺 | |
| CN202470981U (zh) | 螺杆转子测量工具 | |
| CN202255161U (zh) | 电子数显深度尺 | |
| CN202420408U (zh) | 直角测量治具 | |
| CN201497483U (zh) | 一种晶片研磨下盘面平整度测量装置 | |
| CN204788182U (zh) | 一种磁瓦圆弧测试工装 | |
| CN202734745U (zh) | 一种洗衣机顶盖板直线度测量装置 | |
| CN103175988A (zh) | 简易风向测量仪 | |
| CN202166399U (zh) | 一种垂直度测量治具 | |
| CN203981101U (zh) | 硅片偏心测试仪 | |
| CN205919775U (zh) | 用于测量玻璃抛光盘面的测量工具 | |
| CN202734732U (zh) | 圆杆胎纹深度尺 | |
| CN202938889U (zh) | 一种带数显装置的焦利秤 | |
| CN201449235U (zh) | 一种crt玻锥定位块高度测量仪 | |
| CN201885666U (zh) | 一种面型检定仪 | |
| CN202614172U (zh) | 一种测量偏摆量的数显测量仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110608 Termination date: 20121027 |