CN211603837U - 一种新型5寸掩模版贴膜工具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架、定位兼导向块和压力杆，定位兼导向块分布于中央镂空的主体支架的四周，压力杆设置在主体支架四角上；所述压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应。主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。本实用新型设计科学合理，操作简单方便，本实用新型解决了人工使用四根手指来按压掩模基板，取而代之地使用四根压力杆可以在掩模基板四角压力均匀，且不会因手指按压留下痕迹。
Description
技术领域
本实用新型涉及掩模制版技术领域，尤其涉及一种新型5寸掩模版贴膜工具。
背景技术
半导体集成电路制造工艺已经进入14-16纳米量产阶段，因此需要更先进的光刻技术刻出更细的线宽和更复杂的图案。光刻工艺中，需要用到一种模板来对图形进行转印和复制，这种模板称之为光掩模板(又称光罩，以下统称为掩模板)。掩模板是一条纽带连接设计公司和晶园制造，目前晶圆厂光刻工艺中还无法实现无掩模光刻，因此掩模板是集成电路制造中极为关键的一环。由此需求掩模板的线宽越来越细，精度要求也是越来越高，些许颗粒沾污就直接影响掩模版质量。
掩模基板的主要制作流程为曝光、PEB、显影、硬烘、刻蚀、去胶、检测、贴膜等，后端工序贴膜尤为重要，直接影响产品成品率。保护膜可以防止污染物掉落在掩模版上，降低掩模清洗周期，提高掩模使用寿命。
现有技术中，作业员平时用手直接按压掩模版表面，有时手指印残留在掩模版上无法消除，导致返工，需要拆下掩模版保护膜、清洗等不必要的返工工序。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术中作业员平时用手直接按压掩模版表面会残留手指印的缺陷，提供一种新型5寸掩模版贴膜工具。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
本实用新型一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架、定位兼导向块和压力杆，所述定位兼导向块分布于中央镂空的主体支架的四周，导向杆从上沿着贴膜基座慢慢向下，确保四根压力杆按压在掩模版四个角上，使得保护膜均匀而牢固地粘在掩模版上；所述压力杆设置在主体支架四角上；所述压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应。主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。
进一步的，在左右两个定位兼导向块上设置有把手。双手可以把压力均匀传递给4根压力杆，基本保持保护膜和需要贴膜的掩模版平衡。
进一步的，所述定位兼导向块的尺寸与掩模版贴膜基座尺寸相匹配。
进一步的，所述定位兼导向块内层镀镍，外层镀塑料，摩擦时不产生颗粒。
进一步的，压力杆采用PMMA材质，和掩模基板表面重压和摩擦不产生颗粒和痕迹。
进一步的，压力杆长度长于双面贴膜总厚度与贴膜基座内弹簧压缩长度之和，从而可以满足单面和双面贴膜需求。
进一步的，5寸掩模版贴膜工具的尺寸略大于5寸贴膜基座的尺寸。
进一步的，所述定位兼导向块的长度略长于贴膜基座内弹簧压缩长度。
本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型设计科学合理，操作简单方便，本实用新型解决了人工使用四根手指来按压掩模基板，取而代之地使用四根压力杆可以在掩模基板四角压力均匀，且不会因手指按压留下痕迹。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
在附图中：
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例
如图1所示，本实用新型一种新型5寸掩模版贴膜工具，包括中央镂空的主体支架1、定位兼导向块2和压力杆3，压力杆3设置在主体支架四角上，压力杆分别与5寸掩模版四个角位置对应；定位兼导向块3分布在中央镂空的主体支架1的四周，从上沿着贴膜基座慢慢向下，确保四根压力杆3按压在掩模版四个角上，使得保护膜均匀而牢固地粘在掩模版上；主体支架的中央镂处可以观察贴膜工具的4个压力杆和5寸掩模版四个角位置是否对应。
在左右两个定位兼导向块上设置有把手4。双手可以把压力均匀传递给4根压力杆，基本保持保护膜和需要贴膜的掩模版平衡。定位兼导向块的尺寸与掩模版贴膜基座尺寸相匹配。定位兼导向块摩擦时不产生颗粒。压力杆和掩模基板表面重压和摩擦不产生颗粒和痕迹。压力杆长度长于双面贴膜总厚度与贴膜基座内弹簧压缩长度之和，从而可以满足单面和双面贴膜需求。
本实用新型的5寸掩模版贴膜工具的尺寸略大于5寸贴膜基座的尺寸，定位兼导向块的长度略长于贴膜基座内弹簧压缩长度。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，包括中央镂空的主体支架(1)、定位兼导向块(2)和压力杆(3)，所述定位兼导向块(2)分布于中央镂空的主体支架(1)的四周，所述压力杆(3)设置在主体支架(1)四角上，分别与5寸掩模版四个角位置对应。
2.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，在左右两个定位兼导向块(2)上设置有把手(4)。
3.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，所述定位兼导向块的尺寸与掩模版贴膜基座尺寸相匹配。
4.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，所述定位兼导向块(2)的内层镀镍，外层镀塑料。
5.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，压力杆(3)采用PMMA材质，和掩模基板表面重压和摩擦不产生颗粒和痕迹。
6.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，压力杆(3)长度长于双面贴膜总厚度与贴膜基座内弹簧压缩长度之和。
7.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，5寸掩模版贴膜工具的尺寸略大于5寸贴膜基座的尺寸。
8.如权利要求1所述的新型5寸掩模版贴膜工具，其特征在于，所述定位兼导向块的长度略长于贴膜基座内弹簧压缩长度。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922349613.7U CN211603837U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种新型5寸掩模版贴膜工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922349613.7U CN211603837U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种新型5寸掩模版贴膜工具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN211603837U true CN211603837U (zh) | 2020-09-29 |
Family
ID=72595089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922349613.7U Active CN211603837U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种新型5寸掩模版贴膜工具 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN211603837U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111025843A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-17 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 一种新型5寸掩模版贴膜工具 |
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2019
- 2019-12-24 CN CN201922349613.7U patent/CN211603837U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN111025843A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-17 | 无锡中微掩模电子有限公司 | 一种新型5寸掩模版贴膜工具 |
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