CN203422554U

CN203422554U - 一种光掩模板贴膜装置

Info

Publication number: CN203422554U
Application number: CN201320468817.2U
Authority: CN
Inventors: 凌震军
Original assignee: Toppan Photomasks Co Ltd Shanghai
Current assignee: Toppan Photomasks Co Ltd Shanghai
Priority date: 2013-08-01
Filing date: 2013-08-01
Publication date: 2014-02-05
Anticipated expiration: 2023-08-01

Abstract

本实用新型提供一种光掩模板贴膜装置，所述光掩模板贴膜装置至少包括：底座；可调支架，设于所述底座上，且所述可调支架的中心具有一容置空间；用来放置待贴保护膜的膜片槽，设于所述容置空间内；用于支撑光掩模板的弹性支点，设于所述可调支架上；活动压板，压于所述光掩模板上；所述活动压板包括：至少两个压条、第一压板和第二压板。通过活动压板压于光掩模板上，使光掩模板表面为机械受力且受力较为均匀，防止光掩模板与膜框之间出现缝隙；另外，由于手指不直接接触光掩模板，光掩模板上无手指印，外观美观，而且利用该贴膜装置进行贴膜工艺，工艺受控，成品率也高。该光掩模板贴膜装置结构简单，适合工业化应用。

Description

一种光掩模板贴膜装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种光掩模板贴膜装置。

背景技术

光刻工艺是半导体器件制造过程中非常重要的一道工序，所谓光刻工艺就是将光掩模板上的图案转移到晶圆上的过程。光掩模板是在玻璃或石英板底板表层镀铬，加工完成后，在光掩模板的表面上形成半导体器件的电路图形。随着投影光刻机的发展，光掩模板的使用寿命得到很大的延长，这也促进了高质量的光掩模板的发展。但是，在生产线上，光掩模板使用一段时间后，光掩模板上可能或有灰尘和划痕，曝光时这些灰尘和划痕会产生影像，导致晶圆上产生缺陷，造成晶圆良品率降低。

通常，光掩模板上会架设一层保护的薄膜，这层薄膜是一层在框架上拉伸平铺的无色有机聚合物薄膜，光掩模板上贴上薄膜之后，环境中的灰尘就会附着在薄膜表面，薄膜通过框架与光掩模板保持一定的距离，保证了灰尘不会在光掩模板的焦平面上，灰尘对于曝光光源来说是透明的。

因此，在光掩模板表面贴装保护膜非常重要，这也是光掩模板出货前的最后一道工序，现有的3*5吋的光掩模板贴膜装置如图1和图2所示，其中，图1为现有光掩模板贴膜装置的俯视图，图2为现有光掩模板贴膜装置的右视图。现有的光掩模板贴膜装置的结构至少包括：底座1A、可调支架2A、膜片槽3A和弹性支点4A。首先，先把保护膜放入到膜片槽3A中，膜面朝下，膜框朝上；然后，把光掩模板6A放置到可调支架2A上的弹性支点4A上；接着，通过调节可调支架2A上的旋钮22A来调节支架的位置，使光掩模板6A和膜框的对准标记重合；最后双手按住光掩模板6A的上下两边，用力往下压并保持一定的时间，使膜框上的胶与光掩模板6A粘合。使用现有的贴膜装置完成的贴膜，由于是手工操作，用力的大小和均匀性不同，膜框和光掩模板之间会有出现缝隙，导致灰尘进入光掩模板，影响产品生产良率，并且手工贴膜后光掩模板的四个边角上会留有非常明显的手指印，影响产品的美观。

因此，提供一种改进的光掩模板贴膜装置实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光掩模板贴膜装置，用于解决现有技术中贴膜后光掩模板上留有手指印、膜框和光掩模板之间由于受力不均产生间隙的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光掩模板贴膜装置，所述光掩模板贴膜装置至少包括：

底座；

可调支架，设于所述底座上，且所述可调支架的中心具有一容置空间；

用来放置待贴保护膜的膜片槽，设于所述容置空间内；

用于支撑光掩模板的弹性支点，设于所述可调支架上；

活动压板，压于所述光掩模板上。

优选地，所述底座包括支撑腿和设于所述支撑腿上的工作台。

优选地，所述弹性支点为压缩弹簧。

优选地，所述保护膜包括膜面和膜框，所述膜面粘结在膜框底部；所述膜框顶部涂有胶且与待贴膜的光掩模板对准。

优选地，所述活动压板包括：至少两个压条、第一压板和第二压板；所述压条固定于所述第一压板的下表面边缘；所述第二压条固定于第一压条的下表面。

优选地，每一个压条的下表面为斜面，所述斜面压于光掩模板上表面边缘的棱边上；所述斜面的倾斜角为α，0°＜α＜90°。

优选地，所述斜面的倾斜角α为15°。

优选地，所述压条的材料为聚四氟乙烯。

优选地，所述第二压板的一端设有限位部件，另一端与所述底座固定连接；所述第二压板与底座连接的一端上还设有旋转轴。

优选地，所述第一压板和第二压板均为合金材质。

如上所述，本实用新型提供的光掩模板贴膜装置，至少包括：底座；可调支架，设于所述底座上，且所述可调支架的中心具有一容置空间；用来放置待贴保护膜的膜片槽，设于所述容置空间内；用于支撑光掩模板的弹性支点，设于所述可调支架上；活动压板，压于所述光掩模板上。通过活动压板压于光掩模板上，使光掩模板表面为机械受力且受力较为均匀，防止光掩模板与膜框之间出现缝隙；另外，由于手指不直接接触光掩模板，光掩模板上无手指印，外观美观，而且利用该贴膜装置进行贴膜工艺，工艺受控，成品率也高。该光掩模板贴膜装置结构简单，适合工业化应用。

附图说明

图1为现有技术中的光掩模板贴膜装置的俯视图。

图2为现有技术中的光掩模板贴膜装置的右视图。

图3为本发明的光掩模板贴膜装置中待贴的保护膜结构侧视图。

图4为本发明的光掩模板贴膜装置中待贴的保护膜结构俯视图。

图5为本发明的光掩模板贴膜装置的俯视图。

图6为本发明的光掩模板贴膜装置的右视图。

元件标号说明

1,1A 底座

2,2A 可调支架

21 容置空间

22,22A 旋钮

3,3A 膜片槽

31 对准孔

4,4A 弹性支点

5 活动压板

51 压条

52 第一压板

53 第二压板

531 限位部件

532 旋转轴

6,6A 光掩模板

7 定位销

8 保护膜

81 膜面

82 膜框

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图5和图6所示，本实用新型提供一种光掩模板贴膜装置，所述光掩模板贴膜装置至少包括：底座1、可调支架2、膜片槽3、弹性支点4、及活动压板5。

优选地，所述底座1包括支撑腿和工作台，所述工作台设于支撑腿上。

所述可调支架2设于所述底座1上，进一步地，所述可调支架2设于所述底座2的工作台上，并且所述可调支架2的中心具有一容置空间21，如图5所示。优选地，在可调支架2上还设有定位销7，可防止光掩模板6掉落。在所述可调支架2的侧面还装设有用于调节可调支架2的的旋钮22，通过调节旋钮22使可调支架2在底座1的工作台上移动，直至可调支架2达到所需的位置。

所述膜片槽3用来放置待贴保护膜8，且所述膜片槽3设于所述可调支架2中心的容置空间21内。所述保护膜8包括膜面81和膜框82，如图3和图4所示，所述膜面81朝下，粘结在膜框82底部，所述膜框82顶部涂有胶且与待贴膜的光掩模板6对准。所述膜片槽3中还具有两个对准孔31，用于后续使膜片槽3上的膜框82与光掩模板6位置对准。

所述弹性支点4设于所述可调支架2上，用于支撑光掩模板6。优选地，所述弹性支点4包括但不限于压缩弹簧，也可以是其他合适的弹性部件。本实施例中，所述弹性支点4为压缩弹簧。

所述活动压板5压于所述光掩模板6上。进一步地，所述活动压板5包括：至少两个压条51、第一压板52和第二压板53。

其中，所述压条51固定于所述第一压板52的下表面边缘，当活动压板5压于光掩模板6上时，压条51直接和光掩模板6的上表面边缘接触。更进一步地，每一个压条51的下表面为斜面，所述斜面压于光掩模板6上表面边缘的棱边上；所述斜面的倾斜角为α，其中，0°＜α＜90°，如图6所示。本实施例中，所述斜面的倾斜角为15°。由于只有光掩模板6的上表面边缘的棱边和压条51接触，可以进一步保证光掩模板6表面洁净。

优选地，所述压条51的材料包括但不限于聚四氟乙烯，也可以是其他合适的柔性材料。本实施例中，所述压条51的材料为聚四氟乙烯。

所述第二压板53固定于第一压板52的下表面，优选地，所述第二压板53的一端设有限位部件531，另一端与所述底座1固定连接；所述第二压板53与底座1连接的一端上还设有旋转轴532。优选地，所述限位部件531为限位螺钉。将光掩模板6放置在弹性支点4上后，第二压板53带动压条51和第一压板52旋转，从而使压条51和第一压板52压于光掩模板上。而活动压板4将光掩模板6压到极限位置后，通过限位部件531可以将光掩模板6保持在极限位置上一段时间，确保光掩模板6与膜框82顶部充分粘结在一起。优选地，施加在光掩模板6上的压力范围可以为30～50牛顿。保持的时间可以为5～10秒。本实施例中，施加在光掩模板6上压力为40牛顿。保持的时间范围为10秒。

另外，所述第一压板52和第二压板53均为合金材质，但不限于此。本实施例中，所述第一压板52和第二压板53均为铝合金。

本实用新型提供的光掩模板贴膜装置在实际工艺中的使用步骤如下：

首先，把保护膜8放入膜片槽3中，使膜面81在下，膜框82在上；

其次，把光掩模板6放置到可调支架2上的弹性支点4上；

然后，旋转可调支架2侧面的旋钮22，使可调支架2移动，可调支架2带动光掩模板6移动，直至光掩模板6上的对准标记（未予以图示）和膜片槽的对准孔31在垂直方向上对准；

接着，翻下活动压板5，在40牛顿的压力慢慢下压活动压板5，直至光掩模板6到达限位部件531限定的极限位置，并保持10秒，使膜框82顶部的胶完全粘合住光掩模板6；

最后，取出贴有保护膜8的光掩模板6放入洁净盒中，完成贴膜。

综上所述，本实用新型提供一种光掩模板贴膜装置，所述光掩模板贴膜装置至少包括：底座；可调支架，设于所述底座上，且所述可调支架的中心具有一容置空间；用来放置待贴保护膜的膜片槽，设于所述容置空间内；用于支撑光掩模板的弹性支点，设于所述可调支架上；活动压板，压于所述光掩模板上；所述活动压板包括：至少四个压条、第一压板和第二压板。通过活动压板压于光掩模板上，使光掩模板表面为机械受力且受力较为均匀，防止光掩模板与膜框之间出现缝隙；另外，由于手指不直接接触光掩模板，光掩模板上无手指印，外观美观，而且利用该贴膜装置进行贴膜工艺，工艺受控，成品率也高。该光掩模板贴膜装置结构简单，适合工业化应用。

所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims

1.一种光掩模板贴膜装置，用于在光掩模板表面贴装保护膜，其特征在于，所述光掩模板贴膜装置至少包括：

底座；

用来放置待贴保护膜的膜片槽，设于所述容置空间内；

用于支撑光掩模板的弹性支点，设于所述可调支架上；

活动压板，压于所述光掩模板上。

2.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述底座包括支撑腿和设于所述支撑腿上的工作台。

3.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述弹性支点为压缩弹簧。

4.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述保护膜包括膜面和膜框，所述膜面粘结在膜框底部；所述膜框顶部涂有胶且与待贴膜的光掩模板对准。

5.根据权利要求1所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述活动压板包括：至少两个压条、第一压板和第二压板；所述压条固定于所述第一压板的下表面边缘；所述第二压条固定于第一压条的下表面。

6.根据权利要求5所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：每一个压条的下表面为斜面，所述斜面压于光掩模板上表面边缘的棱边上；所述斜面的倾斜角为α，0°＜α＜90°。

7.根据权利要求6所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述斜面的倾斜角α为15°。

8.根据权利要求5或6所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述压条的材料为聚四氟乙烯。

9.根据权利要求5所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述第二压板的一端设有限位部件，另一端与所述底座固定连接；所述第二压板与底座连接的一端上还设有旋转轴。

10.根据权利要求5所述的光掩模板贴膜装置，其特征在于：所述第一压板和第二压板均为合金材质。