CN117261271B - 掩模版贴膜方法、装置及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质，掩模版贴膜装置包括基座、膜层组件和定位机构，基座上可拆卸地连接有掩模版；膜层组件设置于基座，膜层组件的周向形成有孔口朝外的定位孔，定位孔沿水平方向延伸；膜层组件内形成有容胶腔，膜层组件的顶部和底部分别形成有与容胶腔连通的第一通孔和第二通孔，且第二通孔对应掩模版的位置设置；定位机构设置于基座，定位机构通过定位孔与膜层组件可拆卸地连接，定位机构用于驱动膜层组件相对掩模版升降。本发明通过定位机构和膜层组件，确认掩模版的图形区不存在微尘颗粒后，再固化液态胶体的操作提供了操作条件，降低了移除膜层组件的工艺难度，避免膜层组件报废，提高了掩模版产品的生产效率。

Description

掩模版贴膜方法、装置及存储介质

技术领域

本发明涉及掩模版技术领域，尤其涉及一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质。

背景技术

掩模版在生产过程中，为了防止微尘颗粒掉落在图形区表面，需要在掩模版出货前进行贴膜操作，贴膜后的掩模版需要再次放入自动光学检测设备AOI进行检测，确保被膜层组件即pellecle膜所保护的图形区表面无微尘颗粒污染。

相关技术中，在实际生产过程中，膜层组件通过高分子粘接剂粘贴在掩模版表面后再次进行AOI扫描，经常发现被膜层组件保护的图形区表面存在微尘颗粒污染的情况，这种情况下，需要先将固定在掩模版表面的膜层组件移除，才能对掩模版表面的微尘颗粒进行清洁，具体操作过程为：掩模版生产完成后上AOI检测，若检测后发现无缺陷和微尘颗粒，接着将膜层组件粘贴在掩模版的图形面，保护主图形区，贴完膜层组件后，带膜的掩模版继续在AOI设备中进行检测，如果检测通过，则打包出货，如果检测不通过，首先需要移除粘贴在掩模版表面的膜层组件，其次，如果掩模版表面有胶水残留，需要人工去除掩模版表面的残胶，接着上清洗设备清洗，AOI检验，若检测后发现无缺陷和微尘颗粒，接着将膜层组件粘贴在掩模版的图形面，保护主图形区，贴完膜层组件后，带膜的掩模版继续在AOI设备中进行检测，如果检测通过，则打包出货，如果检测不通过，则反复重复上述步骤直到贴膜后无缺陷。

但是，通过人工对残留在掩模版表面的部分胶水进行清除时，容易导致掩模版被划伤报废，在移除掩模版上的膜层组件的过程中，移除操作工艺复杂，移除过程风险较大，极容易导致膜层组件报废。

发明内容

本发明的主要目的在于：提供一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质，旨在解决现有技术中对残留在掩模版表面的部分胶水进行清除时，极容易导致膜层组件报废的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种掩模版贴膜装置，包括：

基座，所述基座上可拆卸地连接有所述掩模版；

膜层组件，所述膜层组件设置于所述基座的上方，所述膜层组件的周向形成有孔口朝外的定位孔，且所述定位孔沿水平方向延伸；所述膜层组件内形成有容胶腔，所述膜层组件的顶部和底部分别形成有与所述容胶腔连通的第一通孔和第二通孔，且所述第二通孔对应所述掩模版的位置设置；所述第二通孔的孔径小于所述第一通孔的孔径；

定位机构，所述定位机构设置于所述基座，所述定位机构通过所述定位孔与所述膜层组件可拆卸地连接，所述定位机构用于驱动所述膜层组件相对所述掩模版升降。

可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述第二通孔的数量为多个，多个所述第二通孔沿所述膜层组件的周向分布，且所述第二通孔的孔口朝向所述掩模版设置。

可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述定位孔的数量为多个，多个所述定位孔间隔设置且分布于所述膜层组件的相对两侧。

可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述膜层组件包括膜框和膜体，所述膜体设置于所述膜框，所述膜框的周向形成有所述定位孔，所述膜框内形成有所述容胶腔，所述膜框的顶部和底部分别形成有所述第一通孔和所述第二通孔。

可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述定位机构包括升降组件和伸缩组件，所述升降组件的固定端设置于所述基座，所述升降组件的升降端通过所述伸缩组件与所述定位孔可拆卸地连接，所述升降组件用于驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降。

可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述伸缩组件的连接端与所述升降组件的升降端连接，所述伸缩组件的伸缩端对应所述定位孔的位置设置，所述伸缩组件的伸缩端可在伸入所述定位孔的连接位置与脱出所述定位孔的释放位置之间往复移动。

可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述伸缩组件的伸缩端设置有定位模块，所述定位模块的感应端沿水平方向设置，所述定位模块用于在所述伸缩端伸入所述定位孔之前，感应所述定位孔的位置。

可选地，上述掩模版贴膜装置中，所述伸缩组件的连接端设置有感应模块，所述感应模块的感应端沿竖直方向设置，所述感应模块用于在所述升降组件驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降时，感应所述膜层组件与所述掩模版之间的距离。

第二方面，本发明提供了一种掩模版贴膜方法，应用如上述的掩模版贴膜装置，所述方法包括：

将所述掩模版连接于所述基座，并利用所述定位机构驱动所述膜层组件朝靠近所述掩模版的方向下降；

获取所述膜层组件与所述掩模版之间的间距，形成待填充间隙；

当所述膜层组件与所述掩模版之间的间距满足预设间距时，打开所述第一通孔，使所述容胶腔中的胶体自所述第二通孔流出并填充于所述待填充间隙中，形成液膜层；

检测并判断所述掩模版是否存在缺陷；

若否，则固化所述液膜层，完成所述掩模版的贴膜过程；

若是，则利用所述定位机构驱动所述膜层组件朝靠近远离所述掩模版的方向上升，清洗所述掩模版上的所述液膜层，并对所述掩模版再次贴膜，直至所述掩模版不存在所述缺陷。

第三方面，本发明提供了一种计算机可读存储介质所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，实现如上述的掩模版贴膜方法的步骤。

本发明提供的上述一个或多个技术方案，可以具有如下优点或至少实现了如下技术效果：

本发明提出的一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质，通过定位机构和膜层组件，在打开膜层组件的第一通孔并利用容胶腔和第二通孔向掩模版和膜层组件之间的间隙填充液态胶体并经AOI检测后，若掩模版的图形区存在微尘颗粒，利用定位机构驱动膜层组件远离掩模版，并对液态胶体直接进行清洗即可去除液态胶体，再重新利用定位机构和膜层组件对掩模版进行贴膜直至掩模版的图形区不存在微尘颗粒即可，膜层组件使用于粘接其与掩模版的液态胶体能够准确的覆盖于指定区域，且可在不固化液态胶体的情况下稳定液态胶体的位置，为确认掩模版的图形区不存在微尘颗粒后，再固化液态胶体的操作提供了操作条件，由于液态胶体易于被清理，通过人工对残留在掩模版表面的部分胶水进行清除时，不会划伤掩模版，降低了移除膜层组件的工艺难度，降低了移除膜层组件的操作风险，避免膜层组件报废，控制了掩模版产品的生产成本，且提高了掩模版产品的生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例掩模版贴膜装置一视角的结构示意图；

图2为本发明一实施例掩模版贴膜装置另一视角的结构示意图；

图3为本发明一实施例涉及的膜层组件和掩模版的位置关系示意图；

图4为本发明一实施例涉及的定位孔的分布示意图；

图5为本发明一实施例涉及的第一通孔的分布示意图；

图6为本发明一实施例掩模版贴膜方法的流程示意图。

附图标号说明：

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，在本发明实施例中，所有方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后……）仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本发明中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者系统中还存在另外的相同要素。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通，也可以是两个元件的相互作用关系。

在本发明中，若有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本发明中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“组件”、“件”、“部件”或“单元”的后缀仅为了有利于本发明的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或“单元”可以混合地使用。

对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。另外，各个实施例的技术方案可以相互结合，但是，是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时，应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

下面结合一些具体实施方式进一步阐述本发明的发明构思。

本发明提出一种掩模版贴膜方法、装置及存储介质。

参照图1至图5，图1为本发明一实施例掩模版贴膜装置一视角的结构示意图；图2为本发明一实施例掩模版贴膜装置另一视角的结构示意图；图3为本发明一实施例涉及的膜层组件和掩模版的位置关系示意图；图4为本发明一实施例涉及的定位孔的分布示意图；图5为本发明一实施例涉及的第一通孔的分布示意图。

在本发明一实施例中，如图1至图5所示，一种掩模版贴膜装置包括基座100、膜层组件300和定位机构400，基座100上可拆卸地连接有掩模版200；膜层组件300设置于基座100的上方，膜层组件300的周向形成有孔口朝外的定位孔301，且定位孔301沿水平方向延伸；膜层组件300内形成有容胶腔，膜层组件300的顶部和底部分别形成有与容胶腔连通的第一通孔302和第二通孔，且第二通孔对应掩模版200的位置设置；第二通孔的孔径小于第一通孔302的孔径；定位机构400设置于基座100，定位机构400通过定位孔301与膜层组件300可拆卸地连接，定位机构400用于驱动膜层组件300相对掩模版200升降。

需要说明的是，膜层组件300可以为现有技术中的Pellicle膜，即一种掩模版200保护薄膜，贴附在掩模版200表面，使其不受微尘污染；掩模版200是一种由表面记载着图形、文字等信息的金属层薄膜或光阻层薄膜，材质为高纯度融石英或其它材质的玻璃载板组合而成模具；第一通孔302为气孔，第二通孔为现有技术中的微孔。

应当理解的是，利用本掩模版贴膜装置对掩模版200进行贴膜的过程为：将待贴膜的掩模版200放置于基座100并使膜层组件300的位置与掩模版200的图形区相对应后，利用可拆卸地连接有膜层组件300的定位机构400驱动膜层组件300朝靠近掩模版200的方向下降，在膜层组件300与掩模版200之间的间距满足预设间距时，即在膜层组件300与掩模版200之间形成有待填充的间隙后，打开膜层组件300顶部的第一通孔302，使容胶腔中的液态胶体经膜层组件300底部的第二通孔从容胶腔中流至膜层组件300与掩模版200之间的间隙，经AOI检测无缺陷后，对液态胶体进行固化，完成掩模版200的贴膜加工，若经AOI检测存在缺陷，则将液态胶体进行清洗，并重复上述步骤，直至掩模版200经AOI检测无缺陷。

作为定位机构400的一种可选实施方式，定位机构400具有可在水平方向伸缩的伸缩端和可在竖直方向升降的升降端，定位机构400通过定位孔301与膜层组件300可拆卸地连接的方式为：利用定位机构400的伸缩端，使定位机构400的伸缩端在水平方向伸长以插入与其相对应的定位孔301中，使定位机构400与膜层组件300连接；同理，利用定位机构400的伸缩端，使定位机构400的伸缩端在水平方向缩短以从与其相对应的定位孔301中脱离，使定位机构400释放膜层组件300。

作为膜层组件300的一种可选实施方式，在对掩模版200进行贴膜操作之前，容胶腔内预存有现有技术中的液态胶体，在容胶腔预存有液态胶体时，第一通孔302处于关闭状态，在大气压以及液体张力的作用下，液态胶体不会从第二通孔中流出，在利用定位机构400完成定位作业后，定位机构400驱动膜层组件300朝靠近掩模版200的方向下降，当膜层组件300与掩模版200之间的间距满足预设间距时，打开第一通孔302，充注在容胶腔内部的液态胶体在重力的作用下顺着膜框310膜层组件300底部的第二通孔缓慢流出，经过一定的时间后，掩模版200与膜层组件300底部之间的间隙被液态胶体填充，形成液膜层600，此时，再关闭膜层组件300顶部的第一通孔302，在外界大气压、分子间作用力、表面张力等多种因素的作用下，可以使液态胶体仅处于膜层组件300与掩模版200之间的间隙中而不会四处溢流，再通过AOI检测而无缺陷后，让液态胶体在特定的环境如紫外光、高温等其他条件下固化，从而完成对掩模版200的贴膜过程。

作为膜层组件300的另一种可选实施方式，还可以通过控制液态胶体的属性参数如粘度等来进一步防止液态胶体的溢流，以精准控制液态胶体在从容胶空间经第二通孔填充至膜层组件300和掩模版200之间时的流动范围，提高掩模版200的产品精度和良率。

值得注意的是，基座100包括底托110、导轨120和固定组件130，导轨120可拆卸地连接于底托110，固定组件130可滑动地连接于导轨120，掩模版200可拆卸地被固定组件130夹持于膜层组件300的下方，定位机构400设置于底托110上；其中，固定组件130包括现有技术中的夹持件和支座，夹持件安装于支座的顶端，导轨120穿设于支座内，夹持件在夹持状态和松弛状态之间可切换，当夹持件处于夹持状态时，掩模版200被夹持于支座朝向膜层组件300的一侧。

作为基座100的一种可选实施方式，当掩模版200与膜层组件300底部之间的间隙被液态胶体填充后，将底托110拆卸，让掩模版200和膜层组件300以及填充于两者之间的液态胶体在AOI检测设备中进项缺陷检测，若检测结果无微尘颗粒，则将固定组件130和导轨120同掩模版200和膜层组件300以及填充于两者之间的液态胶体一起放置在特定的环境中，使液态胶体固化形成固化的液膜层600，固化后，使固定组件130释放掩模版200即可。若AOI检测后仍混入微尘颗粒，通过装置反向操作即使定位机构400驱动膜层组件300朝远离掩模版200的方向上升，并卸下膜层组件300，取下掩模版200，此时掩模版200上未固化的液体胶水可以通过清洗设备轻易去除，后重述上述实施例中的步骤即可。

本发明技术方案通过定位机构400和膜层组件300，在打开膜层组件300的第一通孔302并利用容胶腔和第二通孔向掩模版200和膜层组件300之间的间隙填充液态胶体并经AOI检测后，若掩模版200的图形区存在微尘颗粒，利用定位机构400驱动膜层组件300远离掩模版200，并对液态胶体直接进行清洗即可去除液态胶体，再重新利用定位机构400和膜层组件300对掩模版200进行贴膜直至掩模版200的图形区不存在微尘颗粒即可，膜层组件300使用于粘接其与掩模版200的液态胶体能够准确的覆盖于指定区域，且可在不固化液态胶体的情况下稳定液态胶体的位置，为确认掩模版200的图形区不存在微尘颗粒后，再固化液态胶体的操作提供了操作条件，由于液态胶体易于被清理，通过人工对残留在掩模版200表面的部分胶水进行清除时，不会划伤掩模版200，降低了移除膜层组件300的工艺难度，降低了移除膜层组件300的操作风险，避免膜层组件300报废，控制了掩模版200产品的生产成本，且提高了掩模版200产品的生产效率。

在一实施例中，第二通孔的数量为多个，多个第二通孔沿膜层组件300的周向分布，且第二通孔的孔口朝向掩模版200设置。

需要说明的是，为了确保容胶腔中的液态胶体能够覆盖于膜层组件300与掩模版200之间的指定区域，多个第二通孔间隔设置，且多个第二通孔沿掩模版200图形区的周缘合围于掩模版200图形区的外侧，或者，多个第二通孔沿膜层组件300的周缘合围于膜层组件300的外侧。

在一实施例中，定位孔301的数量为多个，多个定位孔301间隔设置且分布于膜层组件300的相对两侧。

需要说明的是，为确保定位机构400在与膜层组件300连接时的稳定性，定位孔301的数量为多个，此时，定位机构400与膜层组件300的连接端亦为多个，即上述实施例中的伸缩端的数量为多个，定位机构400的伸缩端的数量与定位孔301的数量一致且一一对应设置，在定位机构400与膜层组件300连接时，各伸缩端伸入其对应的定位孔301中。

继续参照图4和图5。

在一实施例中，如图4和图5所示，膜层组件300包括膜框310和膜体320，膜体320设置于膜框310，膜框310的周向形成有定位孔301，膜框310内形成有容胶腔，膜框310的顶部和底部分别形成有第一通孔302和第二通孔。

需要说明的是，膜层组件300可以为现有技术中的pellecle膜结构。

应当理解的是，膜框310底部的第二通孔设置于膜体320的外侧，或者，膜框310底部的第二通孔同时贯穿包覆于膜框310的膜体320和膜框310。

作为本实施例的一种可选实施方式，为便于控制容胶腔中液态胶体，第一通孔302的数量为一个，通过开闭一个第一通孔302，即可对应的控制液态胶体从第二通孔流出或静止于容胶腔中。

在一实施例中，定位机构400包括升降组件410和伸缩组件420，升降组件410的固定端设置于基座100，升降组件410的升降端通过伸缩组件420与定位孔301可拆卸地连接，升降组件410用于驱动伸缩组件420带动膜层组件300相对掩模版200升降。

需要说明的是，伸缩组件420可以为现有技术中可伸长或缩短的伸缩杆如电动推杆，升降组件410可以为现有技术中可升降的升降杆如电动推杆。

应当理解的是，伸缩组件420的伸缩端形成上述实施例中定位机构400的伸缩端，其实施方式与上述实施例中的伸缩端相同，故此处不再赘述，同理，升降组件410的升降端形成上述实施例中定位机构400的升降端，其实施方式与上述实施例中的升降端相同，故此处不再赘述。

在一实施例中，伸缩组件420的连接端与升降组件410的升降端连接，伸缩组件420的伸缩端对应定位孔301的位置设置，伸缩组件420的伸缩端可在伸入定位孔301的连接位置与脱出定位孔301的释放位置之间往复移动。

需要说明的是，伸缩组件420的连接端与升降组件410的相对位置是始终保持不变的，伸缩组件420的伸缩端在伸缩时是相对于其连接端而运动的。

应当理解的是，伸缩组件420的伸缩端的尺寸与定位孔301的尺寸相适配。

在一实施例中，伸缩组件420的伸缩端设置有定位模块，定位模块的感应端沿水平方向设置，定位模块用于在伸缩端伸入定位孔301之前，感应定位孔301的位置。

需要说明的是，定位模块可以为现有技术中的雷达。

应当理解的是，在blank经过曝光，显影刻蚀，清洗，测量，检测等步骤，当成品掩模版200经过AOI初步检测通过后，将掩模版200置于基座100中，通过定位模块确定定位孔301的中心位置后，再控制伸缩组件420的伸缩端伸长，使伸缩组件420的伸缩端对准膜框310上定位孔301的中心处，接着由固定组件130将掩模版200夹持固定，以提高定位机构400对膜层组件300的贴膜加工精度。

继续参照图1。

在一实施例中，如图1所示，伸缩组件420的连接端设置有感应模块500，感应模块500的感应端沿竖直方向设置，感应模块500用于在升降组件410驱动伸缩组件420带动膜层组件300相对掩模版200升降时，感应膜层组件300与掩模版200之间的距离。

需要说明的是，感应模块500可以为现有技术中的线性传感器。

应当理解的是，在通过升降组件410驱动膜层组件300下降以靠近掩模版200图形区的过程中，膜框310底部与掩模版200表面之间的距离不断缩小，设置于伸缩组件420连接端上的感应模块500可以获取膜框310底部与掩模版200表面之间的间距，当膜框310底部与掩模版200表面之间的间距达到预设间距后，制动伸缩组件420、升降组件410和固定组件130，此时，掩模版200与膜层组件300的相对位置保持固定，从而确保了膜层组件300的容胶腔中的液态胶体的填充精度。

基于同一发明构思，本发明还提出一种掩模版贴膜方法。

继续参照图1至图5，并参照图6，图6为本发明一实施例掩模版贴膜方法的流程示意图。

本实施例中，如图1至图6所示，一种掩模版贴膜方法，应用如上述实施例中的掩模版贴膜装置，所述方法包括如下步骤：

步骤S10：将所述掩模版200连接于所述基座100，并利用所述定位机构400驱动所述膜层组件300朝靠近所述掩模版200的方向下降；

步骤S20：获取所述膜层组件300与所述掩模版200之间的间距，形成待填充间隙；

步骤S30：当所述膜层组件300与所述掩模版200之间的间距满足预设间距时，打开所述第一通孔302，使所述容胶腔中的胶体自所述第二通孔流出并填充于所述待填充间隙中，形成液膜层600；

步骤S40：检测并判断所述掩模版200是否存在缺陷；

步骤S50：若否，则固化所述液膜层600，形成固化液膜层，以将所述膜层组件300连接于所述掩模板200上，完成所述掩模版200的贴膜过程；

步骤S60：若是，则利用所述定位机构400驱动所述膜层组件300朝靠近远离所述掩模版200的方向上升，清洗所述掩模版200上的所述液膜层600，并对所述掩模版200再次贴膜，直至所述掩模版200不存在所述缺陷。

需要说明的是，该掩模版200贴膜装置的具体结构参照上述实施例，由于本掩模版200贴膜方法采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

应当理解的是，在步骤S10中，首先让blank经过曝光，显影刻蚀，清洗，测量，检测等步骤，当形成有图形区的掩模版200经过AOI初步检测通过后，将掩模版200置于基座100中，通过上述实施例中的定位模块精确控制定位机构400的伸缩端对准pellicle膜的膜框310上定位孔301的中心，利用位于掩模版200四周的固定组件130固定掩模版200，通过与上述实施例中的伸缩组件420、升降组件410、感应模块500和定位模块电连接的控制单元控制升降组件410的升降端进行向远离掩模版200的方向上升预设距离，再控制伸缩组件420的伸缩端的沿水平方向伸长，以将需要贴附的膜层组件300固定在伸缩组件420的伸缩端上，控制升降组件410的升降端向靠近掩模版200的方向下降，缩小膜框310底部与掩模版200表面的距离，位于伸缩组件420连接端的距离传感器即感应模块500可以精准控制膜框310底部与掩模版200表面的距离，当距离达到预设间距后，装置所有位置锁死，此时掩模版200与pellicle膜的相对位置保持固定。

在步骤S40至S60的过程中，打开pellicle膜框310上端的第一通孔302，充注在膜框310内部即容胶腔中的液态胶体在重力的作用下顺着膜框310底部的第二通孔缓慢流出，一段时间后，掩模版200与膜框310底部的间隙被液态胶体填充，形成液膜层600，此时关闭膜框310上方的第一通孔302，在外界大气压，分子间作用力，表面张力等多从因素，可以使液态胶体不会四处溢流；当上述步骤完成后，让装有基座100的掩模版200在AOI检测设备中进项缺陷检测，若检测结果无微尘颗粒，则将装置放置在特定的环境中，让液体胶水在如紫外光、高温或其他特定的环境中固化，固化后，去除基座100即可。若AOI检测后仍混入微尘颗粒，通过装置反向操作卸下膜层组件300，取下掩模版200，此时掩模版200上未固化的液态胶体可以通过清洗设备轻易去除，后重述上述步即可。

值得注意的是，由于在液态胶体填充于膜层组件300与掩模版200之间的间隙后，在进行AOI检测时，填充于膜层组件300与掩模版200之间的液态胶体始终处于液态，仅在AOI检测结果为无微尘颗粒时，才对液态胶体进行固化，相较于传统工艺中清洗固态胶体的方式更利于操作，且不用使用利器剥离掩模版200上的固态胶体，避免在胶体的清洗过程中划伤掩模版200，降低了掩模版200的报废率，且提高了掩模版200的贴膜效率。

此外，本发明实施例还提出一种计算机存储介质，存储介质上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如上文的掩模版贴膜方法的步骤。因此，这里将不再进行赘述。另外，对采用相同方法的有益效果描述，也不再进行赘述。对于本申请所涉及的计算机可读存储介质实施例中未披露的技术细节，请参照本申请方法实施例的描述。确定为示例，程序指令可被部署为在一个计算设备上执行，或者在位于一个地点的多个计算设备上执行，又或者，在分布在多个地点且通过通信网络互连的多个计算设备上执行。

最后还需要说明的是，上述本发明实施例序号仅为了描述，不代表实施例的优劣。以上实施例仅为本发明的可选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种掩模版贴膜方法，其特征在于，应用于掩模版贴膜装置，所述掩模版贴膜装置，包括基座、膜层组件和定位机构，所述基座上可拆卸地连接有所述掩模版；所述膜层组件设置于所述基座的上方，所述膜层组件的周向形成有孔口朝外的定位孔，且所述定位孔沿水平方向延伸；所述膜层组件内形成有容胶腔，所述膜层组件的顶部和底部分别形成有与所述容胶腔连通的第一通孔和第二通孔，且所述第二通孔对应所述掩模版的位置设置；所述第二通孔的孔径小于所述第一通孔的孔径；所述定位机构设置于所述基座，所述定位机构通过所述定位孔与所述膜层组件可拆卸地连接，所述定位机构用于驱动所述膜层组件相对所述掩模版升降；

所述方法包括：

将所述掩模版连接于所述基座，并利用所述定位机构驱动所述膜层组件朝靠近所述掩模版的方向下降；

获取所述膜层组件与所述掩模版之间的间距，形成待填充间隙；

当所述膜层组件与所述掩模版之间的间距满足预设间距时，打开所述第一通孔，使所述容胶腔中的液态胶体自所述第二通孔流出并填充于所述待填充间隙中；

关闭所述膜层组件顶部的所述第一通孔，使所述液态胶体仅处于所述膜层组件与所述掩模版之间的间隙中，以形成液膜层；

检测并判断所述掩模版是否存在缺陷；

若否，则固化所述液膜层，完成所述掩模版的贴膜过程；

若是，则利用所述定位机构驱动所述膜层组件朝靠近远离所述掩模版的方向上升，清洗所述掩模版上的所述液膜层，并对所述掩模版再次贴膜，直至所述掩模版不存在所述缺陷。

2.如权利要求1所述的掩模版贴膜方法，其特征在于，所述第二通孔的数量为多个，多个所述第二通孔沿所述膜层组件的周向分布，且所述第二通孔的孔口朝向所述掩模版设置。

3.如权利要求1所述的掩模版贴膜方法，其特征在于，所述定位孔的数量为多个，多个所述定位孔间隔设置且分布于所述膜层组件的相对两侧。

4.如权利要求1所述的掩模版贴膜方法，其特征在于，所述膜层组件包括膜框和膜体，所述膜体设置于所述膜框，所述膜框的周向形成有所述定位孔，所述膜框内形成有所述容胶腔，所述膜框的顶部和底部分别形成有所述第一通孔和所述第二通孔。

5.如权利要求1至4任一项所述的掩模版贴膜方法，其特征在于，所述定位机构包括升降组件和伸缩组件，所述升降组件的固定端设置于所述基座，所述升降组件的升降端通过所述伸缩组件与所述定位孔可拆卸地连接，所述升降组件用于驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降。

6.如权利要求5所述的掩模版贴膜方法，其特征在于，所述伸缩组件的连接端与所述升降组件的升降端连接，所述伸缩组件的伸缩端对应所述定位孔的位置设置，所述伸缩组件的伸缩端可在伸入所述定位孔的连接位置与脱出所述定位孔的释放位置之间往复移动。

7.如权利要求6所述的掩模版贴膜方法，其特征在于，所述伸缩组件的伸缩端设置有定位模块，所述定位模块的感应端沿水平方向设置，所述定位模块用于在所述伸缩端伸入所述定位孔之前，感应所述定位孔的位置。

8.如权利要求5所述的掩模版贴膜方法，其特征在于，所述伸缩组件的连接端设置有感应模块，所述感应模块的感应端沿竖直方向设置，所述感应模块用于在所述升降组件驱动所述伸缩组件带动所述膜层组件相对所述掩模版升降时，感应所述膜层组件与所述掩模版之间的距离。

9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，实现如权利要求1所述的掩模版贴膜方法的步骤。