CN111007961A - 触控基板及其制作方法、显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种触控基板及其制作方法、显示装置，属于触控技术领域。其中，触控基板包括：衬底基板；位于所述衬底基板上的触控电极架桥；位于所述触控电极架桥远离所述衬底基板一侧的多个第一绝缘图形，相邻所述第一绝缘图形之间间隔一定距离。通过本发明的技术方案，能够保证触控基板的良率。
Description
技术领域
本发明涉及触控技术领域，特别是指一种触控基板及其制作方法、显示装置。
背景技术
现有触控基板在贴合柔性电路板时，边缘弯折膜层应力无处释放，容易导致绝缘层断裂，当裂纹较重时会延伸至触控区域，导致触控功能失效。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种触控基板及其制作方法、显示装置，能够保证触控基板的良率。
为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：
一方面，提供一种触控基板，包括：
衬底基板；
位于所述衬底基板上的触控电极架桥；
位于所述触控电极架桥远离所述衬底基板一侧的多个第一绝缘图形，相邻所述第一绝缘图形之间间隔一定距离。
可选地，还包括：
位于相邻的所述第一绝缘图形之间的第二绝缘图形。
可选地，所述第一绝缘图形采用无机绝缘材料，所述第二绝缘图形采用有机绝缘材料。
可选地，所述第一绝缘图形远离所述衬底基板一侧的表面与所述第二绝缘图形远离所述衬底基板一侧的表面位于同一水平面。
可选地，还包括：
位于所述第一绝缘图形远离所述衬底基板一侧的触控电极；
所述触控电极在所述衬底基板上的正投影位于所述第一绝缘图形在所述衬底基板上的正投影内。
本发明的实施例还提供了一种显示装置，包括显示基板和位于所述显示基板出光侧的触控基板，所述触控基板采用如上所述的触控基板。
本发明的实施例还提供了一种触控基板的制作方法，包括：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成触控电极架桥；
在所述触控电极架桥远离所述衬底基板的一侧形成多个第一绝缘图形，相邻所述第一绝缘图形之间间隔一定距离。
可选地，还包括：
在相邻的所述第一绝缘图形之间形成第二绝缘图形。
可选地，形成所述第一绝缘图形和所述第二绝缘图形包括：
在所述触控电极架桥远离所述衬底基板的一侧利用无机绝缘材料形成第一绝缘层，对所述第一绝缘层进行构图形成多个所述第一绝缘图形；
利用有机绝缘材料形成第二绝缘层，对所述第二绝缘层进行构图形成多个所述第二绝缘图形。
可选地，还包括：
在所述第一绝缘图形上形成触控电极，所述触控电极在所述衬底基板上的正投影位于所述第一绝缘图形在所述衬底基板上的正投影内。
本发明的实施例具有以下有益效果：
上述方案中，覆盖触控电极架桥的不是一整层的绝缘层，而是多个间隔一定距离设置的第一绝缘图形，这样在触控基板贴合柔性电路板时，边缘弯折膜层的应力可以经由第一绝缘图形之间的间隙释放，防止触控基板弯折时裂纹的发生，从而提升触控基板的良率。
附图说明
图1为现有技术在衬底基板上形成触控电极架桥的示意图；
图2为图1在AA方向上的截面示意图；
图3为现有技术形成覆盖触控电极架桥的整层的绝缘层的示意图；
图4为图3在AA方向上的截面示意图；
图5为现有技术形成触控电极的示意图；
图6为图5在AA方向上的截面示意图；
图7为本发明实施例在衬底基板上形成触控电极架桥和第一绝缘图形的示意图；
图8为图7在AA方向上的截面示意图；
图9为本发明实施例形成第二绝缘图形的示意图；
图10为图9在AA方向上的截面示意图；
图11为本发明实施例形成触控电极的示意图；
图12为图11在AA方向上的截面示意图。
附图标记
1 衬底基板
2 触控电极架桥
3 绝缘层
4 过孔
5 触控电极
61 第一绝缘图形
62 第二绝缘图形
具体实施方式
为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
如图1-图6所示，现有触控基板的制作方法包括以下步骤：
步骤1、如图1和图2所示，在衬底基板1上形成触控电极架桥2；
步骤2、如图3和图4所示，形成覆盖触控电极架桥2的整层的绝缘层3，绝缘层3包括有暴露出触控电极架桥2的过孔4；
步骤3、如图5和图6所示，形成触控电极5，相邻触控电极5通过贯穿绝缘层3的过孔4与触控电极架桥5连接。
现有触控基板中，是在触控电极架桥上覆盖整层的绝缘层，只有在触控电极架桥位置处设置有过孔，触控基板在贴合柔性电路板时，边缘弯折膜层应力无处释放，容易导致绝缘层断裂，当裂纹较重时会延伸至触控区域，导致触控功能失效；在触控基板集成显示功能时，当裂纹较重时会延伸至显示区域，水汽通过裂纹进入显示区使得发光器件失效，形成黑点不良。
本发明的实施例针对上述问题，提供一种触控基板及其制作方法、显示装置，能够保证触控基板的良率。
本发明的实施例提供一种触控基板，如图7-图12所示，包括：
衬底基板1；
位于衬底基板1上的触控电极架桥2；
位于触控电极架桥2远离衬底基板1一侧的多个第一绝缘图形61，相邻第一绝缘图形61之间间隔一定距离。
本实施例中，覆盖触控电极架桥的不是一整层的绝缘层，而是多个间隔一定距离设置的第一绝缘图形，这样在触控基板贴合柔性电路板时，边缘弯折膜层的应力可以经由第一绝缘图形之间的间隙释放，防止触控基板弯折时裂纹的发生，从而提升触控基板的良率。
其中，衬底基板1可以为刚性基板也可以为柔性基板，在衬底基板1为柔性基板时，可以实现柔性的触控基板，在柔性的触控基板弯曲时，弯折膜层的应力可以经由第一绝缘图形61之间的间隙释放，不会导致第一绝缘图形61出现裂纹，
其中，第一绝缘图形61可以采用氧化物、氮化物或者氧氮化合物等无机绝缘材料，对应的反应气体是SiH4、NH3、N2或SiH2Cl2、NH3、N2。如图7-图12所示，第一绝缘图形61覆盖触控电极架桥2，第一绝缘图形61包括有暴露出触控电极架桥2的过孔4。
进一步地，如图9-图12所示，本实施例的触控基板还包括：
位于相邻的第一绝缘图形61之间的第二绝缘图形62，第一绝缘图形61可以与第二绝缘图形62共同组成平坦的表面，有利于后续制程的进行。第二绝缘图形62与第一绝缘图形61的材质可以相同，也可以不同，由于第一绝缘图形61与第二绝缘图形62不是一个整体，而是相互独立的，这样在触控基板弯折时，弯折膜层的应力可以经由第一绝缘图形61与第二绝缘图形62之间的间隙释放，防止弯折时裂纹的发生，从而提升触控基板的良率。
一具体示例中，在第一绝缘图形61与第二绝缘图形62的材质不同时，第一绝缘图形可以采用无机绝缘材料，第二绝缘图形采用可以有机绝缘材料，比如聚酰亚胺、光刻胶等。
为了给后续制程提供平坦的表面，优选地，第一绝缘图形61远离衬底基板1一侧的表面与第二绝缘图形62远离衬底基板1一侧的表面位于同一水平面。
进一步地，如图11和图12所示，触控基板还包括：
位于第一绝缘图形61远离衬底基板1一侧的触控电极5；
触控电极5在衬底基板1上的正投影位于第一绝缘图形61在衬底基板1上的正投影内。
具体地，触控电极5在衬底基板1上可以沿第一方向和第二方向阵列排布，第一方向上的相邻触控电极5之间可以直接连接，第二方向上的相邻触控电极5之间通过触控电极架桥2连接，如图11所示，本实施例中第一方向可以为列方向，第二方向可以为行方向。
第一绝缘图形61的尺寸可以根据需要进行设计，但需要保证触控电极5在衬底基板1上的正投影位于第一绝缘图形61在衬底基板1上的正投影内，并且在触控基板弯折时弯折膜层的应力可以得到有效地释放。
本发明的实施例还提供了一种显示装置，包括显示基板和位于显示基板出光侧的触控基板，触控基板采用如上的触控基板。
本实施例的触控基板中，覆盖触控电极架桥的不是一整层的绝缘层，而是多个间隔一定距离设置的第一绝缘图形，这样在触控基板贴合柔性电路板时，边缘弯折膜层的应力可以经由第一绝缘图形之间的间隙释放，防止触控基板弯折时裂纹的发生，从而提升触控基板的良率。
该显示装置包括但不限于：射频单元、网络模块、音频输出单元、输入单元、传感器、显示单元、用户输入单元、接口单元、存储器、处理器、以及电源等部件。本领域技术人员可以理解，上述显示装置的结构并不构成对显示装置的限定，显示装置可以包括上述更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。在本发明实施例中，显示装置包括但不限于显示器、手机、平板电脑、电视机、可穿戴电子设备、导航显示设备等。
显示装置可以为：电视、显示器、数码相框、手机、平板电脑等任何具有显示功能的产品或部件，其中，显示装置还包括柔性电路板、印刷电路板和背板。
本发明的实施例还提供了一种触控基板的制作方法，包括：
提供一衬底基板；
在衬底基板上形成触控电极架桥；
在触控电极架桥远离衬底基板的一侧形成多个第一绝缘图形，相邻第一绝缘图形之间间隔一定距离。
本实施例制作的触控基板中，覆盖触控电极架桥的不是一整层的绝缘层，而是多个间隔一定距离设置的第一绝缘图形，这样在触控基板贴合柔性电路板时，边缘弯折膜层的应力可以经由第一绝缘图形之间的间隙释放，防止触控基板弯折时裂纹的发生，从而提升触控基板的良率。
可选地，触控基板的制作方法还包括：
在相邻的第一绝缘图形之间形成第二绝缘图形，第一绝缘图形61可以与第二绝缘图形62共同组成平坦的表面，有利于后续制程的进行。第二绝缘图形62与第一绝缘图形61的材质可以相同，也可以不同，由于第一绝缘图形61与第二绝缘图形62不是一个整体，而是相互独立的，这样在触控基板弯折时，弯折膜层的应力可以经由第一绝缘图形61与第二绝缘图形62之间的间隙释放，防止弯折时裂纹的发生，从而提升触控基板的良率。
一具体示例中，在第一绝缘图形61与第二绝缘图形62的材质不同时，第一绝缘图形可以采用无机绝缘材料，第二绝缘图形采用可以有机绝缘材料，比如聚酰亚胺、光刻胶等。形成第一绝缘图形和第二绝缘图形包括：
在触控电极架桥远离衬底基板的一侧利用无机绝缘材料形成第一绝缘层，对第一绝缘层进行构图形成多个第一绝缘图形；
利用有机绝缘材料形成第二绝缘层，对第二绝缘层进行构图形成多个第二绝缘图形。为了给后续制程提供平坦的表面，优选地，第一绝缘图形61远离衬底基板1一侧的表面与第二绝缘图形62远离衬底基板1一侧的表面位于同一水平面。
进一步地，触控基板的制作方法还包括：
在第一绝缘图形上形成触控电极，触控电极在衬底基板上的正投影位于第一绝缘图形在衬底基板上的正投影内。
一具体实施例中，如图7-图12所示，触控基板的制作方法包括以下步骤：
步骤1、如图7和图8所示，提供一衬底基板1，在衬底基板1上形成触控电极架桥2的图形；
其中，衬底基板1可以采用柔性基板也可以采用刚性基板。刚性基板可以为玻璃基板或石英基板，柔性基板可以为聚酰亚胺基板。
具体地，在衬底基板1上采用溅射或热蒸发的方法沉积厚度约为
的金属层，金属层可以是Cu，Al，Ag，Mo，Cr，Nd，Ni，Mn，Ti，Ta，W等金属以及这些金属的合金，在金属层上涂覆一层光刻胶，采用掩膜板对光刻胶进行曝光，使光刻胶形成光刻胶未保留区域和光刻胶保留区域，其中，光刻胶保留区域对应于触控电极架桥2的图形所在区域，光刻胶未保留区域对应于上述图形以外的区域；进行显影处理，光刻胶未保留区域的光刻胶被完全去除，光刻胶保留区域的光刻胶厚度保持不变；通过刻蚀工艺完全刻蚀掉光刻胶未保留区域的金属层，剥离剩余的光刻胶，形成触控电极架桥2的图形。
步骤2、如图7和图8所示，形成第一绝缘图形61；
具体地，可以采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在完成步骤1的衬底基板1上沉积厚度为
的绝缘层，绝缘层可以选用氧化物、氮化物或者氧氮化合物，对应的反应气体是SiH4、NH3、N2或SiH2Cl2、NH3、N2，对绝缘层进行构图，形成第一绝缘图形61，第一绝缘图形61包括暴露出触控电极架桥2的过孔4。
步骤3、如图9和图10所示，形成第二绝缘图形62；
具体地，可以在完成步骤2的衬底基板1上涂覆一层厚度约为
的有机树脂，有机树脂可以是苯并环丁烯(BCB)，也可以是其他的有机感光材料，曝光显影后，形成第二绝缘图形62，第二绝缘图形62填充第一绝缘图形61之间的间隙，第二绝缘图形62远离衬底基板1的一侧表面与第一绝缘图形61远离衬底基板1的一侧表面齐平。
步骤4、如图11和图12所示，形成触控电极5。
具体地，在完成步骤3的衬底基板1上通过溅射或热蒸发的方法沉积厚度约为
的透明导电层，透明导电层可以是ITO、IZO或者其他的透明金属氧化物，在透明导电层上涂覆一层光刻胶，采用掩膜板对光刻胶进行曝光，使光刻胶形成光刻胶未保留区域和光刻胶保留区域，其中，光刻胶保留区域对应于触控电极5的图形所在区域，光刻胶未保留区域对应于上述图形以外的区域；进行显影处理，光刻胶未保留区域的光刻胶被完全去除，光刻胶保留区域的光刻胶厚度保持不变；通过刻蚀工艺完全刻蚀掉光刻胶未保留区域的透明导电层薄膜，剥离剩余的光刻胶，形成触控电极5的图形，触控电极5的图形如图11所示，触控电极5通过过孔4与触控电极架桥2连接。
在本发明各方法实施例中，所述各步骤的序号并不能用于限定各步骤的先后顺序，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，对各步骤的先后变化也在本发明的保护范围之内。
需要说明，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于实施例而言，由于其基本相似于产品实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见产品实施例的部分说明即可。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。
在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种触控基板，其特征在于，包括：
衬底基板；
位于所述衬底基板上的触控电极架桥；
位于所述触控电极架桥远离所述衬底基板一侧的多个第一绝缘图形，相邻所述第一绝缘图形之间间隔一定距离。
2.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，还包括：
位于相邻的所述第一绝缘图形之间的第二绝缘图形。
3.根据权利要求2所述的触控基板，其特征在于，
所述第一绝缘图形采用无机绝缘材料，所述第二绝缘图形采用有机绝缘材料。
4.根据权利要求2所述的触控基板，其特征在于，
所述第一绝缘图形远离所述衬底基板一侧的表面与所述第二绝缘图形远离所述衬底基板一侧的表面位于同一水平面。
5.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，还包括：
位于所述第一绝缘图形远离所述衬底基板一侧的触控电极；
所述触控电极在所述衬底基板上的正投影位于所述第一绝缘图形在所述衬底基板上的正投影内。
6.一种显示装置，其特征在于，包括显示基板和位于所述显示基板出光侧的触控基板，所述触控基板采用如权利要求1-5中任一项所述的触控基板。
7.一种触控基板的制作方法，其特征在于，包括：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成触控电极架桥；
在所述触控电极架桥远离所述衬底基板的一侧形成多个第一绝缘图形，相邻所述第一绝缘图形之间间隔一定距离。
8.根据权利要求7所述的触控基板的制作方法，其特征在于，还包括：
在相邻的所述第一绝缘图形之间形成第二绝缘图形。
9.根据权利要求8所述的触控基板的制作方法，其特征在于，形成所述第一绝缘图形和所述第二绝缘图形包括：
在所述触控电极架桥远离所述衬底基板的一侧利用无机绝缘材料形成第一绝缘层，对所述第一绝缘层进行构图形成多个所述第一绝缘图形；
利用有机绝缘材料形成第二绝缘层，对所述第二绝缘层进行构图形成多个所述第二绝缘图形。
10.根据权利要求7所述的触控基板的制作方法，其特征在于，还包括：
在所述第一绝缘图形上形成触控电极，所述触控电极在所述衬底基板上的正投影位于所述第一绝缘图形在所述衬底基板上的正投影内。
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