CN106909251B - 触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置 - Google Patents

触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置，包括在基板上形成黑矩阵边框；在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层；在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层；剥离可视区内的可剥离胶层和金属层；在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏。本发明可以由现有的5道光罩工艺减少至4道光罩工艺(减少一道光罩工艺)，从而解决制程工艺复杂的问题，有效提升光罩制程产能，降低产品开发及生产成本。而且利用可剥胶直接去除可视区内的金属层，可以有效避免传统曝光、蚀刻工艺造成的可视区内的金属残留。

Description

触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置
技术领域
本发明涉及触摸屏技术领域，特别是指一种触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置。
背景技术
OGS(One glass solution)结构：在保护玻璃上直接形成ITO导电膜及传感器的技术，则玻璃基板同时起到保护玻璃和触摸传感器的双重作用。从技术层面来看，OGS触摸屏具备以下优势：结构简单，轻、薄、透光性好；由于省掉一片玻璃基板以及贴合工序，利于降低生产成本、提高产品良率。
但是，在现有的触摸屏制作工艺中，完成ITO Bridge结构OGS触摸屏制作工艺，最少需要5道光罩，分别为BM→ITO Bridge→Metal Trace→OC→ITO Pattern，但是由于高世代线石英光罩价格较高，造成产品开发及生产成本偏高。而且，ITO Bridge工艺和MetalTrace工艺是触摸屏工艺中的关键制程，也是电性功能不良的高发制程，在5道光罩制作工艺中ITO Bridge工艺和Metal Trace工艺需要分开进行光刻，这会增加电性功能不良的发生几率，同时也会增加光刻工艺设备稼动负担。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提出一种触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置，以解决制程工艺复杂，ITO Bridge和Metal Trace工艺需要分开进行光刻的问题。
基于上述目的，本发明提供的触摸屏的制作方法，包括以下步骤：
在基板上形成黑矩阵边框；
在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层；
在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层；
剥离可视区内的可剥离胶层和金属层；
在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏。
在本发明的一些实施例中，所述在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏的步骤包括：
在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上形成透明导电材料；
对形成有透明导电材料的基板进行透明导电材料的光刻和金属层的光刻，形成透明导电材料桥点、透明导电材料引线和金属引线。
在本发明的一些实施例中，所述在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏的步骤还包括：
在光刻后的基板上形成绝缘层。
在本发明的一些实施例中，所述在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏的步骤还包括：
在形成有绝缘层的基板的可视区内形成电极层，制作得到触摸屏。
在本发明的一些实施例中，所述在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层的步骤包括：
采用网版印刷工艺在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层。
在本发明的一些实施例中，所述可剥离胶层的厚度大于黑矩阵边框的高度。
在本发明的一些实施例中，所述剥离可视区内的可剥离胶层和金属层的步骤包括：
在可视区内的金属层上粘附粘贴条；
揭起所述粘贴条，使可视区内的可剥离胶层与基板分离，从而剥离可视区内的可剥离胶层和金属层。
在本发明的一些实施例中，所述粘贴条与金属层之间的粘结力大于可剥离胶层与基板之间的粘结力，所述金属层与可剥离胶层之间的粘结力大于可剥离胶层与基板之间的粘结力。
本发明还提供一种触摸屏，所述触摸屏根据上述任意一个实施例中的触摸屏的制作方法制作得到。
本发明还提供一种显示装置，包括上述任意一个实施例中的触摸屏。
从上面所述可以看出，本发明提供的制作方法，通过先在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层，然后在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层，再剥离可视区内的可剥离胶层和金属层，可以由现有的5道光罩工艺减少至4道光罩工艺(减少一道光罩工艺)，从而解决制程工艺复杂的问题，有效提升光罩制程产能，降低产品开发及生产成本。在本发明提供的制作方法中，ITO Bridge工艺和Metal Trace工艺在一次光罩制程中完成，无需将两个工序分开进行光刻，从而降低电性功能不良的发生几率，同时也减轻光刻工艺设备稼动负担。而且利用可剥胶直接去除可视区内的金属层，可以有效避免传统曝光、蚀刻工艺造成的可视区内的金属残留。
附图说明
图1为本发明实施例的触摸屏的结构示意图；
图2为本发明一个实施例的触摸屏的制作方法的流程图；
图3为本发明实施例在基板上形成黑矩阵边框的结构示意图；
图4为本发明实施例在可视区内形成可剥离胶层的结构示意图；
图5为本发明实施例在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层的结构示意图；
图6为本发明实施例剥离可视区内的可剥离胶层和金属层的结构示意图；
图7为本发明另一个实施例的触摸屏的制作方法的流程图；
图8为本发明实施例在基板上形成透明导电材料的结构示意图；
图9为本发明实施例在透明导电材料上形成光阻的结构示意图；
图10为本发明实施例对透明导电材料进行蚀刻的结构示意图；
图11为本发明实施例对金属层进行蚀刻的结构示意图；
图12为本发明实施例剥离光阻的结构示意图；
图13为本发明实施例在基板上形成绝缘层的结构示意图；
图14为本发明实施例在基板上形成电极层的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。
如图1所示，其为本发明实施例的触摸屏的结构示意图，所述触摸屏的边框设置有黑矩阵边框1，所述黑矩阵边框1围成的区域为可视区2。作为本发明的一个实施例，如图2所示，所述触摸屏的制作方法包括以下步骤：
步骤11：在基板上形成黑矩阵边框；
步骤12：在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层；
步骤13：在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层；
步骤14：剥离可视区内的可剥离胶层和金属层；
步骤15：在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏。
可见，本发明提供的触摸屏的制作方法通过先在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层，然后在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层，再剥离可视区内的可剥离胶层和金属层，可以由现有的5道光罩工艺减少至4道光罩工艺(减少一道光罩工艺)，从而解决制程工艺复杂的问题，有效提升光罩制程产能，降低产品开发及生产成本。而且，本发明提供的触摸屏的制作方法利用可剥胶直接去除可视区内的金属层，可以有效避免传统曝光、蚀刻工艺造成的可视区内的金属残留。
下面对图2所述的触摸屏的制作方法进行详细描述，包括以下步骤：
步骤11：在基板上形成黑矩阵边框。
具体地，参考图3，其为本发明实施例在基板上形成黑矩阵边框的结构示意图，在该步骤中，可在基板3上采用现有技术沉积黑矩阵材料，并通过掩膜工艺形成黑矩阵边框1。所述黑矩阵边框1主要用于遮挡屏幕周边的光线、以及金属线的排布。其中，所述黑矩阵边框1围成的区域为可视区2。
步骤12：在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层。
具体地，参考图4，其为本发明实施例在可视区内形成可剥离胶层的结构示意图，在形成有黑矩阵边框1的基板3的可视区2内形成可剥离胶层201。需要说明的是，所述基板3一般选用玻璃基板，那么所述可剥离胶层201可以容易地与基板3剥离开来。
作为本发明的一个实施例，可以采用网版印刷工艺在形成有黑矩阵边框1的基板2的可视区2内形成可剥离胶层201，既便于在可视区2内形成可剥离胶层201，也有利于形成均匀一致的可剥离胶层201。当然，也可以采用其他方式在可视区2内形成可剥离胶层201，并不限于网版印刷工艺。
可选地，所述可剥离胶层201的厚度与可剥离胶层201的厚度不同，以便于剥离可视区2内的可剥离胶层和金属层。作为本发明的又一个实施例，所述可剥离胶层201的厚度大于黑矩阵边框1的高度，使可视区2边界处的金属层202与黑矩阵边框1边界处的金属层202具有界限(参见图5)，以便于剥离可视区2内的可剥离胶层201和金属层202。作为本发明的再一个实施例，所述可剥离胶层201的厚度小于黑矩阵边框1的高度，使可视区2边界处的金属层202与黑矩阵边框1边界处的金属层202具有界限(参见图5)，以便于剥离可视区2内的可剥离胶层201和金属层202。
步骤13：在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层。
具体地，参考图5，其为本发明实施例在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层的结构示意图，在该步骤中，可以采用金属沉积或者金属溅射工艺在黑矩阵边框1和可剥离胶层201上同时形成金属层202，即可以采用同一工艺在黑矩阵边框1和可剥离胶层201上形成金属层202，显著简化了触摸屏的制作工艺。在该步骤中，可采用现有金属引线所用的材料，例如：金属钼(Mo)等。
步骤14：剥离可视区内的可剥离胶层和金属层。
具体地，参考图6，其为本发明实施例剥离可视区内的可剥离胶层和金属层的结构示意图，由于所述可剥离胶层201可以容易地与基板3剥离开来，所以位于可剥离胶层201上的金属层202随着可剥离胶层201与基板3剥离，也从基板3上剥离下来，从而得到如图6所示的结构。可见，本发明提供的触摸屏的制作方法利用可剥胶直接去除可视区内的金属层，可以有效避免传统曝光、蚀刻工艺造成的可视区内的金属残留。
作为本发明的一个实施例，所述剥离可视区内的可剥离胶层和金属层的步骤可以包括：
在可视区内的金属层上粘附粘贴条；
揭起所述粘贴条，使可视区内的可剥离胶层与基板分离，从而剥离可视区内的可剥离胶层和金属层。
因此，本发明提供的触摸屏的制作方法通过揭起可视区2内的金属层202上的粘度较大的粘贴条(未示出)，将可视区2内的可剥离胶层201和金属层202与基板3分离，从而剥离可视区2内的可剥离胶层201和金属层202。
作为本发明的再一个实施例，所述粘贴条与金属层之间的粘结力大于可剥离胶层与基板之间的粘结力，所述金属层与可剥离胶层之间的粘结力大于可剥离胶层与基板之间的粘结力，以保证粘贴条完整地将可剥离胶层与基板分离，从而剥离可视区内的可剥离胶层和金属层。
步骤15：在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏。
具体地，在如图6所示结构的基础上，继续后续的光刻工艺，形成透明导电材料桥点、透明导电材料引线、金属引线、绝缘层、电极层等，从而制作得到触摸屏。
由此可见，本发明提供的触摸屏的制作方法通过先在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层，然后在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层，再剥离可视区内的可剥离胶层和金属层，可以由现有的5道光罩工艺减少至4道光罩工艺(减少一道光罩工艺)，从而解决制程工艺复杂的问题，有效提升光罩制程产能，降低产品开发及生产成本。
作为本发明的另一个实施例，如图7所示，所述触摸屏的制作方法包括以下步骤：
步骤21：在基板上形成黑矩阵边框；
步骤22：在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层；
步骤23：在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层；
步骤24：剥离可视区内的可剥离胶层和金属层；
步骤25：在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上形成透明导电材料；对形成有透明导电材料的基板进行透明导电材料的光刻和金属层的光刻，形成透明导电材料桥点、透明导电材料引线和金属引线；
步骤26：在光刻后的基板上形成绝缘层；
步骤27：在形成有绝缘层的基板的可视区内形成电极层，制作得到触摸屏。
下面对图7所述的触摸屏的制作方法进行详细描述。
步骤21、步骤22、步骤23、步骤24可与前文相同，在此不再赘述。
步骤25：在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上形成透明导电材料；对形成有透明导电材料的基板进行透明导电材料的光刻和金属层的光刻，形成透明导电材料桥点、透明导电材料引线和金属引线。
具体地，参考图8，其为本发明实施例在基板上形成透明导电材料的结构示意图，在剥离了可剥离胶层和金属层的基板3上沉积透明导电材料203，例如氧化铟锡(ITO)，即在可视区2内和黑矩阵边框1上均沉积透明导电材料203。参考图9，其为本发明实施例在透明导电材料上形成光阻的结构示意图，参考图10，其为本发明实施例对透明导电材料进行蚀刻的结构示意图，参考图11，为本发明实施例对金属层进行蚀刻的结构示意图。如图9-11所示，先经过掩膜版曝光显影，在透明导电材料203上形成光阻204(蚀刻时，光阻204对可视区2内的透明导电材料203及黑矩阵边框1上的透明导电材料203和金属层202起保护作用)，然后对可视区2内的透明导电材料203和黑矩阵边框1上的透明导电材料203进行蚀刻，形成透明导电材料桥点205和透明导电材料引线206，随后，继续对金属层202进行蚀刻，形成金属引线207。最后，剥离光阻204，如图12所示。
在该步骤中，可视区内的可剥离胶层和金属层后的光刻工艺，ITO Bridge工艺和Metal Trace工艺在一次光罩制程中完成，无需将两个工序分开进行光刻，从而降低电性功能不良的发生几率，同时也减轻光刻工艺设备稼动负担。
步骤26：在光刻后的基板上形成绝缘层。
具体地，参考图13，其为本发明实施例在基板上形成绝缘层的结构示意图，在如图12所示结构的基础上沉积绝缘材料，例如SiNx或者SiO2，形成绝缘层208，所述绝缘材料也可以为有机绝缘材料，所述绝缘层208为透明导电材料架桥并保护黑矩阵边框上的金属引线207，防止金属氧化。
步骤27：在形成有绝缘层的基板的可视区内形成电极层，制作得到触摸屏。
具体地，参考图14，其为本发明实施例在基板上形成电极层的结构示意图，在如图13所示结构的基础上，在形成有绝缘层208的基板的可视区内形成电极层209，从而制作得到触摸屏。所述电极层209可以通过沉积、光刻透明导电材料203(例如氧化铟锡)制作得到。
本发明还提供一种触摸屏，所述触摸屏根据上述任意一个实施例中的触摸屏的制作方法制作得到。通过本发明提供的触摸屏的制作方法制作得到的触摸屏具有结构稳定，良品率高的优点。
本发明还提供一种显示装置，包括上述任意一个实施例中的触摸屏。
由此可见，本发明提供的制作方法，通过先在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层，然后在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层，再剥离可视区内的可剥离胶层和金属层，可以由现有的5道光罩工艺减少至4道光罩工艺(减少一道光罩工艺)，从而解决制程工艺复杂的问题，有效提升光罩制程产能，降低产品开发及生产成本。
在本发明提供的制作方法中，ITO Bridge工艺和Metal Trace工艺在一次光罩制程中完成，无需将两个工序分开进行光刻，从而降低电性功能不良的发生几率，同时也减轻光刻工艺设备稼动负担。而且利用可剥胶直接去除可视区内的金属层，可以有效避免传统曝光、蚀刻工艺造成的可视区内的金属残留。
所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本发明的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上所述的本发明的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种触摸屏的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
在基板上形成黑矩阵边框；
在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层；
在黑矩阵边框和可剥离胶层上形成金属层；
剥离可视区内的可剥离胶层和金属层；
在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏；
所述剥离可视区内的可剥离胶层和金属层的步骤包括：
在可视区内的金属层上粘附粘贴条；
揭起所述粘贴条，使可视区内的可剥离胶层与基板分离，从而剥离可视区内的可剥离胶层和金属层；
所述在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏的步骤包括：
在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上形成透明导电材料；
对形成有透明导电材料的基板进行透明导电材料的光刻和金属层的光刻，形成透明导电材料桥点、透明导电材料引线和金属引线。
2.根据权利要求1所述的触摸屏的制作方法，其特征在于，所述在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏的步骤还包括：
在光刻后的基板上形成绝缘层。
3.根据权利要求2所述的触摸屏的制作方法，其特征在于，所述在剥离了可剥离胶层和金属层的基板上进行光刻，制作得到触摸屏的步骤还包括：
在形成有绝缘层的基板的可视区内形成电极层，制作得到触摸屏。
4.根据权利要求1所述的触摸屏的制作方法，其特征在于，所述在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层的步骤包括：
采用网版印刷工艺在形成有黑矩阵边框的基板的可视区内形成可剥离胶层。
5.根据权利要求1所述的触摸屏的制作方法，其特征在于，所述可剥离胶层的厚度大于黑矩阵边框的高度。
6.根据权利要求1所述的触摸屏的制作方法，其特征在于，所述粘贴条与金属层之间的粘结力大于可剥离胶层与基板之间的粘结力，所述金属层与可剥离胶层之间的粘结力大于可剥离胶层与基板之间的粘结力。
7.一种触摸屏，其特征在于，所述触摸屏根据权利要求1-6中任意一项所述的触摸屏的制作方法制作得到。
8.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求7所述的触摸屏。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106909251B (zh) * 2017-03-02 2020-01-17 合肥鑫晟光电科技有限公司 触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置
CN111124165B (zh) * 2018-10-30 2022-09-20 江西卓讯微电子有限公司 一种触控屏制作方法
CN110149765B (zh) * 2019-04-26 2020-06-05 信利光电股份有限公司 一种在电路衬底上制作保护膜层的方法
CN111984138A (zh) * 2019-05-22 2020-11-24 英属维尔京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 触控面板及其制作方法
CN111007961B (zh) * 2019-12-19 2024-03-29 京东方科技集团股份有限公司 触控基板及其制作方法、显示装置
KR102302803B1 (ko) * 2019-12-27 2021-09-16 엘지디스플레이 주식회사 터치 디스플레이 패널
WO2022134020A1 (zh) * 2020-12-25 2022-06-30 京东方科技集团股份有限公司 触控基板的制造方法、触控基板、基板以及触控装置
CN113333226B (zh) * 2021-04-20 2022-11-22 梅卡曼德（北京）机器人科技有限公司 基于玻璃贴条的玻璃涂胶方法、系统、设备和介质
TWI778884B (zh) * 2021-12-06 2022-09-21 王士華 同平面感測器
CN116676571B (zh) * 2023-04-26 2024-01-19 武汉敏芯半导体股份有限公司 一种电极制作方法、电极和半导体器件

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102621736A (zh) * 2012-04-09 2012-08-01 友达光电股份有限公司 一种对触控面板中的黑矩阵进行图案化的方法
CN102855042A (zh) * 2012-09-03 2013-01-02 福建华映显示科技有限公司 触控面板的制造方法
CN103455203A (zh) * 2013-08-30 2013-12-18 京东方科技集团股份有限公司 触摸屏、其制作方法及显示装置
CN103500036A (zh) * 2013-08-30 2014-01-08 京东方科技集团股份有限公司 触摸屏、其制作方法及显示装置
EP2743805A2 (en) * 2012-12-14 2014-06-18 Shanghai Tianma Micro-electronics Co., Ltd. Color filter substrate for in-cell touch panel and manufacturing method thereof.
CN106293294A (zh) * 2016-08-09 2017-01-04 京东方科技集团股份有限公司 一种触控模组及其制作方法、显示面板和显示装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103186275B (zh) * 2011-12-31 2015-09-30 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制作方法
CN104391609B (zh) * 2014-12-17 2017-11-10 合肥鑫晟光电科技有限公司 具有单层ito的触控传感器及其制造方法和触控屏
CN105589598B (zh) 2015-12-24 2019-05-17 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 一种图案化石墨烯的制造方法
CN106909251B (zh) 2017-03-02 2020-01-17 合肥鑫晟光电科技有限公司 触摸屏的制作方法、触摸屏和显示装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102621736A (zh) * 2012-04-09 2012-08-01 友达光电股份有限公司 一种对触控面板中的黑矩阵进行图案化的方法
CN102855042A (zh) * 2012-09-03 2013-01-02 福建华映显示科技有限公司 触控面板的制造方法
EP2743805A2 (en) * 2012-12-14 2014-06-18 Shanghai Tianma Micro-electronics Co., Ltd. Color filter substrate for in-cell touch panel and manufacturing method thereof.
CN103455203A (zh) * 2013-08-30 2013-12-18 京东方科技集团股份有限公司 触摸屏、其制作方法及显示装置
CN103500036A (zh) * 2013-08-30 2014-01-08 京东方科技集团股份有限公司 触摸屏、其制作方法及显示装置
CN106293294A (zh) * 2016-08-09 2017-01-04 京东方科技集团股份有限公司 一种触控模组及其制作方法、显示面板和显示装置

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