KR20150009846A - 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20150009846A KR20130084292A KR20130084292A KR20150009846A KR 20150009846 A KR20150009846 A KR 20150009846A KR 20130084292 A KR20130084292 A KR 20130084292A KR 20130084292 A KR20130084292 A KR 20130084292A KR 20150009846 A KR20150009846 A KR 20150009846A
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명에 의한 터치 스크린 패널의 제조 방법은, 기판 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막의 일면에 오목부와 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 요철 패턴의 오목부 내에 상기 오목부에 대응하는 형상을 갖는 감지전극들을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

터치 스크린 패널 및 그 제조 방법{Touch Screen Panel and Fabricating Method Thereof}
본 발명의 실시예는 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 플렉서블(flexible)한 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
터치 스크린 패널은 영상표시장치 등의 화면에 나타난 지시 내용을 사람의 손 또는 물체로 선택하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 입력장치이다.
이를 위해, 터치 스크린 패널은 영상표시장치의 전면(front face)에 구비되어 사람의 손 또는 물체에 직접 접촉된 접촉위치를 전기적 신호로 변환한다. 이에 따라, 접촉위치에서 선택된 지시 내용이 입력신호로 받아들여진다.
이와 같은 터치 스크린 패널은 일반적으로 액정표시장치, 유기전계 발광 표시장치와 같은 영상표시장치의 외면에 부착되어 제품화되는 경우가 많다. 따라서, 상기 터치 스크린 패널은 높은 투명도 및 얇은 두께의 특성이 요구된다.
또한, 최근 들어 플렉서블한 영상표시장치가 개발되고 있는 추세이며, 이 경우 상기 플렉서블 영상표시장치 상에 부착되는 터치 스크린 패널 역시 플렉서블한 특성이 요구된다.
일반적으로, 터치 스크린 패널은 감지전극들이 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명 도전성 물질을 사용하여 기판 상에 형성되는데, 플렉서블 터치 스크린 패널의 경우, 굴곡 또는 변형에 의해 감지전극들에 크랙(Crack)이 발생하여 내구성이 떨어지고 구동불량이 유발될 수 있는 문제점이 있다.
따라서, 유연한 플렉서블 특성을 가지면서 다양한 굴곡 또는 변형 환경에서도 쉽게 손상되지 않는 터치 스크린 패널이 요구된다.
따라서, 본 발명의 목적은 감지전극들의 손상을 방지하기 위한 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널의 제조 방법은, 기판 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막의 일면에 오목부와 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 요철 패턴의 오목부 내에 상기 오목부에 대응하는 형상을 갖는 감지전극들을 형성하는 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 상기 오목부는 상기 기판과 평행하는 저면, 및 상기 저면과 교차하는 방향으로 연장된 측면 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감지전극들은 상기 오목부의 저면과 측면에 각각 대응되는 저면부와 측면부를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 저면부와 상기 측면부의 두께 및 너비는 동일할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감지전극들은 기판의 활성 영역에 형성되며 제1 방향을 따라 배열된 제1 감지전극들, 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열된 제2 감지전극들을 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감지전극들은 메쉬 구조일 수 있다.
일부 실시예에서, 서로 인접한 제2 감지전극들을 전기적으로 연결하는 브리지 패턴들을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 절연막은 상기 브리지 패턴들이 형성된 기판 상에 형성될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 절연막은 일부가 개구되어 상기 브리지 패턴들의 양 단부를 노출시키는 브리지 연결부를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 브리지 연결부는 상기 요철 패턴과 동시에 패터닝될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 브리지 패턴들을 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 제1 도전막을 형성하는 단계; 및 상기 제1 도전막을 노광 및 현상하여 상기 제2 감지전극들의 연결부와 중첩되는 상기 브리지 패턴들을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 요철 패턴을 형성하는 단계는, 상기 절연막을 포토리소그래피 공정 또는 임프린팅 공정으로 패터닝할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감지전극들을 형성하는 단계는, 상기 요철 패턴을 갖는 절연막 상에 제2 도전막을 형성하는 단계; 및 상기 요철 패턴의 볼록부 상에 위치한 제2 도전막만을 선별적으로 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 제2 도전막은 스퍼터링 공정으로 증착되고, 상기 증착된 제2 도전막은 전자선 리소그래피 공정으로 패터닝될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 기판은 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리아미드(polyamide, PA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 트리아세틸셀룰로오스(triacetylcellulose, TAC) 및 폴리에테르술폰(polyehtersulfone, PES)으로 구성된 군에서 선택된 하나 이상의 재료로 형성된 박막형 필름기판일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널은, 기판; 상기 기판 상에 형성되며, 일면에 오목부와 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 갖는 절연막; 및 기 요철 패턴의 오목부 내에 형성되고, 상기 오목부에 대응하는 형상을 갖는 감지전극들을 포함한다.
일부 실시예에서, 상기 오목부는 상기 기판과 평행하는 저면, 및 상기 저면과 교차하는 방향으로 연장된 측면 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감지전극들은 상기 오목부의 저면과 측면에 각각 대응되는 저면부와 측면부를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 저면부와 상기 측면부의 두께 및 너비는 동일할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 기판 상에 요철 패턴을 갖는 절연막을 형성하고 상기 요철 패턴의 오목부 내에 감지전극들을 형성함으로써, 상기 절연막이 감지전극들을 보호하는 역할을 수행하도록 하여 감지전극들의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 감지전극들은 상기 오목부에 대응하는 형상을 가짐으로써, 감지전극들의 너비가 증가되어 전기적 저항이 감소하고 터치 성능이 향상된다.
도 1은 터치 스크린 패널의 일례를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 감지전극들을 도시한 부분 확대도이다.
도 3a는 도 2의 감지전극들의 연결부를 확대 도시한 사시도이며, 도 3b는 도 3a의 I-I'선을 절취한 단면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 요철 패턴의 변형 실시예들이다.
도 5a 내지 도 5f는 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 터치 스크린 패널의 일례를 개략적으로 도시한 평면도이고,
도 1을 참조하면, 본 발명의 터치 스크린 패널은 기판(10), 절연막(20), 감지전극들(30) 및 외곽 배선들(40)을 포함할 수 있다.
기판(10)은 영상 표시영역과 중첩되고 감지전극들(30)이 형성되어 터치 입력이 가능한 활성 영역(AA)과, 상기 활성 영역(AA)의 외곽부에 위치하고 외곽 배선들(40)이 형성되는 비활성 영역(NA)으로 구분될 수 있다. 여기서, 비활성 영역(NA)은 영상 비표시영역과 중첩되는 차광 영역으로서, 영상이 표시되는 활성 영역(AA)을 둘러싸는 형태를 가질 수 있다.
기판(10)은 디스플레이 패널의 상부 기판 또는 터치 스크린 패널의 전면에 구비되는 윈도우 기판일 수 있다. 기판(10)은 플렉서블 특성을 가지며 투명하면서도 고 내열성 및 내 화학성의 특성을 갖는 물질로 구현될 수 있다. 예컨대, 기판(10)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리아미드(polyamide, PA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 트리아세틸셀룰로오스(triacetylcellulose, TAC) 및 폴리에테르술폰(polyehtersulfone, PES)으로 구성된 군에서 선택된 하나 이상의 재료로 형성된 박막형 필름기판일 수 있다.
절연막(20)은 기판(20) 상에 형성되며, 활성 영역(AA)과 중첩되도록 형성될 수 있다. 또한, 절연막(20)은 일면에 오목부와 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 갖는다. 요철 패턴은 감지전극들(30)을 형성하기 위한 패턴으로서, 오목부가 감지전극들(30)과 중첩되도록 형성된다. 요철 패턴에 대하여는 후술되는 도 3a 및 도 3b를 참조하여 자세히 설명하도록 한다.
감지전극들(30)은 절연막(20) 상에 형성되며, 활성영역(AA)에 분산되어 배치된다. 감지전극들(30)은 서로 다른 방향을 따라 전기적으로 연결된 제1 감지전극들(31)과 제2 감지전극들(32)을 포함할 수 있다. 제1 감지전극들(31)은 제1 방향(D1)을 따라 전기적으로 연결되는 다수의 라인들로 형성될 수 있다. 제2 감지전극들(21)은 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)을 따라 전기적으로 연결되는 다수의 라인들로 형성될 수 있다.
즉, 제1 감지전극들(31)과 제2 감지전극들(32)은 서로 교번적으로 배치되어 서로 다른 방향을 따라 연결된다. 예컨대, 제1 감지전극들(31)은 행 방향(수평 방향)을 따라 연결되도록 형성되어 행 라인 단위로 각각의 외곽 배선들(40)과 연결되고, 제2 감지전극들(32)은 열 방향(수직 방향)을 따라 연결되도록 형성되어 열 라인 단위로 각각의 외곽 배선들(40)과 연결될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)은 절연막(20) 상의 동일 레이어에 형성됨을 개시하고 있으나, 다른 실시예에서 서로 다른 레이어에 형성될 수도 있다. 예컨대, 상기 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)은 기판을 사이에 두고 기판의 양면에 각각 형성된 절연막 상에 형성될 수 있다. 또는 상기 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)은 서로 다른 기판의 마주보는 면에 형성된 각각의 절연막 상에 형성될 수 있다.
또한, 본 실시예에서 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)은 다이아몬드 형상임을 예시하고 있으나, 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)의 재질 및 형상은 다양한 변형예를 가질 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 및 제2 감지전극들(31, 32)은 미세 금속 라인들로 구현되는 금속 메쉬(metal mesh) 패턴으로 형성될 수 있다. 즉, 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)은 면 전극이 아닌 다수의 선형 전극이 교차하는 메쉬 구조를 가질 수 있다. 여기서, 선형 전극들의 배열형태는 반드시 직교 형태로 제한되는 것은 아니며, 서로 사선으로 교차하거나 중첩되도록 배열될 수도 있다.
다른 실시예에서, 감지전극들(30)은 빛이 투과될 수 있도록 인듐-주석 산화물(Indium Tin Oxide; ITO)과 같은 투명 도전물질로 형성될 수 있다.
상기 감지전극들(30)에 대해서는 후술되는 도 2를 참조하여 자세히 설명하도록 한다.
외곽 배선들(40)은 제1 감지전극들(31) 및 제2 감지전극들(32)을 각각 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)을 따른 라인 단위로 외부의 구동회로와 연결하기 위한 것으로, 예컨대, 각각 행 라인 단위 및 열 라인 단위의 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)과 전기적으로 연결되어, 이들을 위치검출회로와 같은 외부의 구동회로와 연결한다.
이러한 외곽 배선들(40)은 영상이 표시되는 활성영역(AA)을 피해 터치 스크린 패널 외곽의 비활성영역(NA)에 배치되는 것으로, 재료 선택의 폭이 넓어 감지전극들(30)의 형성에 이용되는 투명전극물질 외에도 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴(Mo/Al/Mo) 등의 저저항 금속물질로 형성될 수 있다.
전술한 바와 같은 터치 스크린 패널은 정전용량 방식의 터치 스크린 패널로, 사람의 손 또는 스타일러스 펜 등과 같은 접촉물체가 접촉되면, 감지전극들(30)로부터 외곽 배선들(40)을 경유하여 구동회로 측으로 접촉위치에 따른 정전용량의 변화가 전달된다. 다음으로, X 및 Y 입력처리회로(미도시) 등에 의해 정전용량의 변화가 전기적 신호로 변환됨에 의해 접촉위치가 파악된다.
도 2는 도 1의 감지전극들을 도시한 부분 확대도이며, 도 3a는 도 2의 감지전극들의 연결부를 확대 도시한 사시도이며, 도 3b는 도 3a의 I-I'선을 절취한 단면도이다.
편의상, 도 2에서는 인접한 두 개의 제1 감지전극들(31)과 제2 감지전극들(32)만을 도시하기로 한다. 하지만, 실제의 터치 스크린 패널은 도 2에 도시된 구조가 활성영역(AA) 내에 반복적으로 배치되는 구조를 가진다.
도 2, 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 제1 및 제2 감지전극들(31, 32)은 다수의 선형 전극이 교차하는 메쉬 구조를 가진다. 제1 감지전극들(31)은 제1 연결부(31a)를 통해 제1 방향(D1)으로 연결된다. 제2 감지전극들(32)은 제1 감지전극들(31)의 사이에 각각이 분리된 패턴을 갖도록 형성되되 브리지 패턴들(BP)에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.
다른 실시예에서, 제1 감지전극들(31)은 제2 감지전극들(32)의 사이에 각각이 분리된 패턴을 갖도록 형성되되 브리지 패턴들(BP)에 의해 제1 방향(D1)을 따른 라인 단위로 연결될 수 있는데, 이는 선택적인 사항이며 본 실시예에서는 제2 감지전극들(32)이 분리된 패턴을 갖는 예를 중심으로 설명하기로 한다.
브리지 패턴(BP)들은 제2 감지전극들(32)의 제2 연결부(32a)에 중첩되도록 기판(10) 상에 패터닝된다.
절연막(20)은 상기 브리지 패턴들(BP)이 형성된 기판(10) 상에 형성되고, 오목부(CP1)와 볼록부(CP2)를 포함하는 요철 패턴(CP)이 패터닝된다. 특히, 오목부(CP1)는 감지전극들(30)과 중첩되도록 형성된다.
절연막(20)은 일부가 개구되어 브리지 패턴들(BP)의 양 단부를 노출시키는 브리지 연결부(BC)를 포함할 수 있다. 브리지 연결부(BC)는 요철 패턴(CP)과 동시에 패터닝되는 것이 바람직하다.
감지전극들(30)은 기판(10)에 직접적으로 형성되지 않고, 절연막(20) 상에 형성되는데, 요철 패턴(CP)의 오목부(CP1) 내에 상기 오목부(CP1)에 대응하는 형상을 갖는 것이 특징적이다. 즉, 감지전극들(30)은 일정한 두께로 오목부(CP1)의 내부 면을 모두 커버하도록 형성된다.
감지전극들(30) 중 인접한 제2 감지전극들(32)의 단부에 위치한 제2 연결부(32a)는 서로 분리되어 이격되고, 상기 분리된 두 개의 제2 연결부(32a) 사이를 제1 연결부(31a)가 가로지른다. 브리지 패턴들(BP)은 제2 감지전극들(32)의 하부에서 두 개의 제2 연결부(32a)와 중첩되며, 절연막(20)이 개구된 브리지 연결부(BC)를 통해 제2 연결부(32a)와 노출된 브리지 패턴들(BP)이 접촉한다.
활성영역(AA)은 디스플레이 패널 측으로부터의 영상이 가시화될 수 있도록 투명하게 구현되어야 하므로, 감지전극들(30)과 브리지 패턴들(BP)은 투명전극물질로 형성되거나 혹은 불투명한 저저항 금속물질로 형성되되 가시화가 방지될 수 있도록 그 폭이나 두께, 길이 등이 조절될 수 있다.
본 실시예의 감지전극들(30)은 메쉬 구조의 미세한 선형 전극으로 구성되므로, 불투명한 금속 재질로 형성되되 그 폭이 매우 좁으므로 가시화가 방지될 수 잇다.
한편, 설계구조에 따라서는 감지전극들(30)을 보호하기 위해 감지전극들(30)의 상부에 전면적으로 제2 절연막(미도시)이 더 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 기판(10) 상에 요철 패턴(CP)을 갖는 절연막(20)을 형성하고 상기 요철 패턴(CP)의 오목부(CP1) 내에 감지전극들(30)을 형성함으로써, 상기 절연막(20)이 감지전극들(30)을 보호하는 역할을 수행하도록 하여 감지전극들(30)의 손상을 방지할 수 있다.
도 4a 내지 도 4d는 요철 패턴의 변형 실시예들이다.
도 4a 및 도 4d를 참조하면, 요철 패턴(CP)은 오목부(CP1)와 볼록부(CP2)를 포함한다. 볼록부(CP2)는 절연막(20)의 상면에 해당하고, 오목부(CP1)는 절연막(20)의 일부가 제거되어 두께가 감소된 영역을 지칭한다. 오목부(CP1)는 기판(10)과 평행하는 저면(BS), 및 상기 저면(BS)과 교차하는 방향으로 연장된 측면(SS) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
감지전극들(30)은 요철 패턴(CP)의 오목부(CP1) 내에 상기 오목부(CP1)에 대응하는 형상을 갖도록 형성된다. 감지전극들(30)은 상기 오목부(CP1)의 저면(BS)과 측면(SS)에 각각 대응되는 저면부(35)와 측면부(36)를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 저면부(35)와 측면부(36)의 두께 및 너비는 동일할 수 있다.
오목부(CP1)가 정사각형 형상일 경우, 감지전극들(30)은 저면부(35)와 저면부(35) 양측의 두 측면부(36)로 구성되며, 오목부(CP1)의 너비와 동일한 너비를 갖는 플랫한 형상의 감지전극들에 비해 너비가 대략 3배 증가될 수 있다.
다른 실시예로서, 오목부(CP1)가 직사각형 형상일 경우, 감지전극들(30b)의 너비가 증가되는 폭은 줄어드나, 절연막(20)의 두께를 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
또 다른 실시예들로서, 오목부(CP1)는 삼각형 또는 원형 형상을 가질 수 있는데, 이 경우 요철 패턴(CP) 및 감지전극들(30c, 30d)의 균일한 형성이 용이할 수 있다.
요철 패턴(CP) 및 감지전극들(30)의 형상은 다양한 변형 실시예를 가질 수 있으며, 본 발명이 전술된 실시예에 한정되는 것은 아니다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 감지전극들(30)은 오목부(CP1)에 대응하는 형상을 가짐으로써, 감지전극들(30)의 너비가 증가되어 전기적 저항이 감소하고 터치 성능이 향상될 수 있다.
도 5a 내지 도 5f는 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 기판(10) 상에 제1 도전막(CL1)을 형성하고, 제1 도전막(CL1)을 노광 및 현상하여 제2 감지전극들(32)의 제2 연결부(32a)와 중첩되는 브리지 패턴들(BP)을 형성한다.
구체적으로, 브리지 패턴들(BP)은 금속성의 제1 도전막(CL1)을 증착한 후 패터닝 공정을 거쳐 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 도전막(CL1)은 스퍼터링(sputtering) 공정으로 증착될 수 있고, 패터닝 단계에서는 브리지 패턴들(BP)에 대응하는 패턴이 형성된 마스크(미도시)를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정이 수행될 수 있다.
여기서, 제1 도전막(CL1)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Al-doped ZnO), 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube: CNT), 전도성 고분자(PEDOT), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 투명잉크 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
스퍼터링 공정은 물리기상증착(Physical Vapor Deposition, PVD), 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 또는 플라즈마 화학기상증착(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)을 포함할 수 있다
도 5c 및 도 5d를 참조하면, 브리지 패턴들(BP)이 형성된 기판(10) 상에 절연막(20)을 형성하고, 상기 절연막(20)을 포토리소그래피 공정 또는 임프린팅(Imprinting) 공정으로 패터닝하여 요철 패턴(CP)을 형성한다. 여기서, 절연막(20)의 일부가 개구되어 브리지 패턴들(BP)의 양 단부를 노출시키는 브리지 연결부(BC)가 동시에 패터닝될 수 있다.
구체적으로, 요철 패턴(CP)과 브리지 연결부(BC)는 요철 패턴(CP)과 브리지 연결부(BC)에 대응하는 패턴이 형성된 마스크(미도시)를 이용한 노광, 현상 및 식각 공정이 수행됨으로써 형성될 수 있다.
다른 실시예로서, 요철 패턴(CP)과 브리지 연결부(BC)는 요철 패턴(CP)과 브리지 연결부(BC)에 대응하는 패턴이 형성된 하드 스탬프(미도시)를 이용한 임프린팅 공정이 수행됨으로써 형성될 수 있다. 임프린팅 공정은 하드 스탬프로 절연막(20)을 압착하여 형상을 만드는 공정이므로, 노광, 현상 및 식각 공정을 필요로 하는 포토리소그래피 방식에 비해 공정이 간소화되는 효과가 있다.
도 5e 및 도 5f를 참조하면, 상기 요철 패턴(CP)을 갖는 절연막(20) 상에 제2 도전막(CL2)을 형성하고, 상기 요철 패턴(CP)의 볼록부(CP2) 상에 위치한 제2 도전막(CL2)만을 선별적으로 제거하여 감지전극들(30)을 형성한다.
구체적으로, 감지전극들(30)은 금속성의 제2 도전막(CL2)을 증착한 후 볼록부(CP2) 상에 위치한 제2 도전막(CL2)만을 선별적으로 제거하는 패터닝 공정을 거쳐 형성될 수 있다. 예컨대, 제2 도전막(CL2)은 스퍼터링(sputtering) 공정으로 증착될 수 있고, 패터닝 단계에서는 오목부(CP1) 또는 볼록부(CP2)에 대응하는 패턴이 형성된 마스크(미도시)를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정이 수행될 수 있다.
여기서, 제2 도전막(CL2)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), AZO(Al-doped ZnO), 탄소나노튜브(Carbon Nano Tube: CNT), 전도성 고분자(PEDOT), 은(Ag) 또는 구리(Cu) 투명잉크 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
제2 도전막(CL2)의 증착단계에서 요철 패턴(CP) 내의 저면과 측면에 균일한 성막을 위해서 기판(10)을 틸트시키는 공정이 필요할 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10: 기판 AA: 활성 영역
NA: 비활성 영역 20: 절연막
CP: 요철 패턴 CP1: 오목부
CP2: 볼록부 BC: 브리지 연결부
30: 감지전극들 31: 제1 감지전극들
32: 제2 감지전극들 31a: 제1 연결부
32a: 제2 연결부 35: 저면부
36: 측면부 BP: 브리지 패턴들
40: 외곽 배선들

Claims (19)

  1. 기판 상에 절연막을 형성하는 단계;
    상기 절연막의 일면에 오목부와 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 요철 패턴의 오목부 내에 상기 오목부에 대응하는 형상을 갖는 감지전극들을 형성하는 단계를 포함하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 오목부는 상기 기판과 평행하는 저면, 및 상기 저면과 교차하는 방향으로 연장된 측면 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 감지전극들은 상기 오목부의 저면과 측면에 각각 대응되는 저면부와 측면부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 저면부와 상기 측면부의 두께 및 너비는 동일함을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 감지전극들은 기판의 활성 영역에 형성되며 제1 방향을 따라 배열된 제1 감지전극들, 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열된 제2 감지전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 감지전극들은 메쉬 구조인 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    서로 인접한 제2 감지전극들을 전기적으로 연결하는 브리지 패턴들을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 절연막은 상기 브리지 패턴들이 형성된 기판 상에 형성됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 절연막은 일부가 개구되어 상기 브리지 패턴들의 양 단부를 노출시키는 브리지 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 브리지 연결부는 상기 요철 패턴과 동시에 패터닝됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  11. 제 7 항에 있어서, 상기 브리지 패턴들을 형성하는 단계는,
    상기 기판 상에 제1 도전막을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 도전막을 노광 및 현상하여 상기 제2 감지전극들의 연결부와 중첩되는 상기 브리지 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  12. 제 1 항에 있어서, 상기 요철 패턴을 형성하는 단계는,
    상기 절연막이 포토리소그래피 공정 또는 임프린팅 공정으로 패터닝됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  13. 제 1 항에 있어서, 상기 감지전극들을 형성하는 단계는,
    상기 요철 패턴을 갖는 절연막 상에 제2 도전막을 형성하는 단계; 및
    상기 요철 패턴의 볼록부 상에 위치한 제2 도전막만을 선별적으로 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제2 도전막은 스퍼터링 공정으로 증착되고, 상기 증착된 제2 도전막은 전자선 리소그래피 공정으로 패터닝됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  15. 제1 항에 있어서, 상기 기판은
    폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리아미드(polyamide, PA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 트리아세틸셀룰로오스(triacetylcellulose, TAC) 및 폴리에테르술폰(polyehtersulfone, PES)으로 구성된 군에서 선택된 하나 이상의 재료로 형성된 박막형 필름기판인 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  16. 기판;
    상기 기판 상에 형성되며, 일면에 오목부와 볼록부를 포함하는 요철 패턴을 갖는 절연막; 및
    상기 요철 패턴의 오목부 내에 형성되고, 상기 오목부에 대응하는 형상을 갖는 감지전극들을 포함하는 터치 스크린 패널.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 오목부는 상기 기판과 평행하는 저면, 및 상기 저면과 교차하는 방향으로 연장된 측면 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 감지전극들은 상기 오목부의 저면과 측면에 각각 대응되는 저면부와 측면부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 저면부와 상기 측면부의 두께 및 너비는 동일함을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.

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