CN108447889B - 触控面板、其制备方法和触控显示装置 - Google Patents
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Abstract
本公开显示技术领域，提出了一种触控面板。该触控面板包括第一绝缘层、触控图案层、第二绝缘层以及图案匹配层；触控图案层设于第一绝缘层之上，触控图案层包括多个横向分布的驱动通道、多个纵向分布的检测通道以及位于多个驱动通道与多个检测通道之间的多个间隔区，同一纵向的检测通道连接为一体，驱动通道位于两个相邻的检测通道之间；第二绝缘层设于触控图案层之上，第二绝缘层在间隔区位置形成凹陷区；图案匹配层设于第二绝缘层之上，图案匹配层的材料与触控图案层的材料相同，图案匹配层的厚度与触控图案层的厚度一致，图案匹配层在第二绝缘层上的正投影与凹陷区重合。该触控面板的出射光线均匀，在显示阶段，触控图案不会被人眼观察到。
Description
技术领域
本公开涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种触控面板、触控面板的制备方法和安装有该触控面板的触控显示装置。
背景技术
随着有源矩阵有机发光二极体技术的发展，用户对屏幕的分辨率要求越来越高。因此，对屏幕的光学显示效果也提出了更苛刻的要求。
现有的触控显示屏大多为单层多点互容式触控屏，该触控屏将驱动通道与检测通道设置在一层形成单层触控设计，虽然省去了一道制程，节约了成本，但将驱动通道与检测通道同层布局导致触控膜层必须图案化，直接导致在画面显示阶段，该触控图案能够被人眼观察到，从而造成屏幕显示效果不佳、影响体验的问题。
因此，有必要研究一种触控面板、触控面板的制备方法和安装有该触控面板的触控显示装置。
需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于克服上述现有技术的触控图案能够被人眼观察到的不足，提供一种触控图案不会被人眼观察到的触控面板、触控面板的制备方法和安装有该触控面板的触控显示装置。
根据本公开的一个方面，提供一种触控面板，包括：
第一绝缘层；
触控图案层，设于所述第一绝缘层之上，所述触控图案层包括多个横向分布的驱动通道、多个纵向分布的检测通道以及位于多个所述驱动通道与多个所述检测通道之间的多个间隔区，同一纵向的所述检测通道连接为一体，所述驱动通道位于两个相邻的所述检测通道之间；
第二绝缘层，设于所述触控图案层之上，所述第二绝缘层在所述间隔区位置形成凹陷区；
图案匹配层，设于所述第二绝缘层之上，所述图案匹配层的材料与所述触控图案层的材料相同，所述图案匹配层的厚度与所述触控图案层的厚度一致，所述图案匹配层在所述第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合。
在本公开的一种示例性实施例中，所述驱动通道的侧面与所述第一绝缘层形成第一夹角，所述第一夹角为锐角；所述检测通道的侧面与所述第一绝缘层形成第二夹角，所述第二夹角为锐角。
在本公开的一种示例性实施例中，所述第一夹角小于等于65°，所述第二夹角小于等于65°。
在本公开的一种示例性实施例中，位于所述驱动通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第一夹角相同，位于所述检测通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第二夹角相同。
在本公开的一种示例性实施例中，所述触控面板还包括：
多个连接孔，设于所述驱动通道；
多个连接导线，贯穿其中两个所述连接孔，能够连接相邻的两个所述驱动通道。
根据本公开的一个方面，提供一种触控显示装置，包括：
上述任意一项所述的触控面板。
根据本公开的一个方面，提供一种触控面板的制备方法，包括：
在第一绝缘层之上形成触控图案层，所述触控图案层包括多个横向分布的驱动通道、多个纵向分布的检测通道以及位于多个所述驱动通道与多个所述检测通道之间的多个间隔区，同一纵向的所述检测通道连接为一体，所述驱动通道位于两个相邻的所述检测通道之间；
在所述触控图案层之上形成第二绝缘层，所述第二绝缘层在所述间隔区位置形成凹陷区；
在所述第二绝缘层之上形成图案匹配层，所述图案匹配层的材料与所述触控图案层的材料相同，所述图案匹配层的厚度与所述触控图案层的厚度一致，所述图案匹配层在第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合。
在本公开的一种示例性实施例中，在形成所述触控图案层之后，所述制备方法还包括：
对所述驱动通道的侧面以及所述检测通道的侧面进行刻蚀处理，使所述驱动通道的侧面与所述第一绝缘层形成第一夹角，所述第一夹角为锐角，以及使所述检测通道的侧面与所述第一绝缘层形成第二夹角，所述第二夹角为锐角。
在本公开的一种示例性实施例中，所述第一夹角小于等于65°，所述第二夹角小于等于65°。
在本公开的一种示例性实施例中，在形成所述第二绝缘层之后，所述述制备方法还包括：
对所述第二绝缘层进行刻蚀处理，使位于所述驱动通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第一夹角相同，使位于所述检测通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第二夹角相同。
在本公开的一种示例性实施例中，在所述第二绝缘层之上形成图案匹配层，包括：
通过蒸镀或溅射在所述第二绝缘层之上形成匹配层；
将所述匹配层进行光刻形成所述图案匹配层。
在本公开的一种示例性实施例中，在所述第二绝缘层之上形成图案匹配层，包括：
在基板之上形成图案匹配层；
通过转印工艺将图案匹配层转印在所述第二绝缘层之上。
在本公开的一种示例性实施例中，所述制备方法还包括：
在所述驱动通道上打孔，并通过导线连接相邻的两个所述驱动通道。
本公开的触控面板，在触控图案层之上设置有第二绝缘层，且第二绝缘层在间隔区位置形成凹陷区；在第二绝缘层之上设置有图案匹配层，图案匹配层的材料与触控图案层的材料相同，图案匹配层的厚度与触控图案层的厚度一致，图案匹配层在第二绝缘层上的正投影与凹陷区重合。一方面，从触控图案层以及第二绝缘层穿过的光线与从第二绝缘层以及图案匹配层穿过的光线，两种光线通过的膜层的厚度以及材料是相同的，使整个面板的出射光线较为均匀，因此，在显示阶段，触控图案不会被人眼观察到。另一方面，在第二绝缘层之上设置有图案匹配层，形成较为平整的平面，便于设置其余的膜层。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示意性示出单层多点互容式触控屏的触控图案层的结构图。
图2示意性示出本公开的触控面板的剖切面的结构图。
图3示意性示出本公开的触控面板的俯视结构图。
图4示意性示出本公开的触控面板的制备方法的流程图。
图中：
1、第一绝缘层；
2、驱动通道；
3、检测通道；
4、间隔区；
5、第二绝缘层；
6、图案匹配层；
7、连接孔；
8、连接导线；
α、第一夹角；
β、第二夹角。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
参照图1所示的单层多点互容式触控屏的触控图案层的结构图。触控图案层可以包括多个横向分布的驱动通道2、多个纵向分布的检测通道3以及位于多个驱动通道2与多个检测通道3之间的多个间隔区4，同一纵向的检测通道连接为一体，驱动通道位于两个相邻的所述检测通道之间。此时形成的多个驱动通道2之间是互不连接的，多个驱动通道2是通过后续的桥接方式连接的，在同一纵向排列的多个检测通道3是互相连接的。
本示例实施方式中首先提供了一种触控面板，参照图2所示的触控面板的剖切面的结构示意图。该触控面板可以包括第一绝缘层1、触控图案层、第二绝缘层5以及图案匹配层6；触控图案层设于所述第一绝缘层1之上，所述触控图案层可以包括多个驱动通道2、多个检测通道3以及位于多个所述驱动通道2与多个所述检测通道3之间的多个间隔区4；第二绝缘层5设于所述触控图案层之上，所述第二绝缘层5在所述间隔区4位置形成凹陷区；图案匹配层6设于所述第二绝缘层5之上，所述图案匹配层6的材料与所述触控图案层的材料相同，所述图案匹配层6的厚度与所述触控图案层的厚度一致，所述图案匹配层6在所述第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合。
根据本示例实施方式中的触控面板，一方面，从触控图案层以及第二绝缘层5穿过的光线与从第二绝缘层5以及图案匹配层6穿过的光线，两种光线通过的膜层的厚度以及材料是相同的，使整个面板的出射光线较为均匀，因此，在显示阶段，触控图案不会被人眼观察到。另一方面，在第二绝缘层5之上设置有图案匹配层6，形成较为平整的平面，便于设置其余的膜层。
下面，将对本示例实施方式中的触控面板进行进一步的说明。
在本示例实施方式中，第一绝缘层1的材质可以为玻璃，当然也可以是透明树脂材料。
触控图案层设于所述第一绝缘层1之上，所述触控图案层可以包括多个横向分布的驱动通道2、多个纵向分布的检测通道3以及位于多个所述驱动通道2与多个所述检测通道3之间的多个间隔区4，同一纵向的所述检测通道连接为一体，所述驱动通道位于两个相邻的所述检测通道之间。具体而言，检测通道3的大概形状为菱形，纵向相邻的两个检测通道3之间连接为一体；驱动通道2的大概形状也为菱形，驱动通道2设于四个相邻的检测通道3形成的基本为菱形的空间内。
在本示例实施方式中，在第一绝缘层1的一侧进行镀膜，然后按照触控图案层的要求对膜层进行刻蚀工艺形成触控图案层。触控图案层的厚度大约为1500埃米。
触控图案层的与第一绝缘层1接触的一面为底面，触控图案层的远离第一绝缘层1的一面为顶面，连接于底面与顶面之间的为侧面。在对膜层进行刻蚀工艺形成触控图案层时，对触控图案层的侧面进行刻蚀，使形成的驱动通道2的侧面与第一绝缘层1形成第一夹角α，第一夹角α为锐角；使形成的检测通道3的侧面与第一绝缘层1形成第二夹角β，第二夹角β为锐角。即使驱动通道2的顶面的面积小于其底面的面积，检测通道3的顶面的面积也小于其底面的面积。
具体而言，第一夹角α小于等于65°，第二夹角β小于等于65°。第一夹角α以及第二夹角β的角度值较小，方便第二绝缘层5的爬坡，而且第二绝缘层5不易断开。当然，本领域技术人员可以理解的是，第一夹角α以及第二夹角β可以设置为70°或80°，只要小于90°即可。第一夹角α与第二夹角β角度值可以相同，方便对刻蚀时间以及流程的控制，当然，第一夹角α与第二夹角β角度值也可以不相同。
第二绝缘层5设于触控图案层之上，第二绝缘层5在所述间隔区4位置形成凹陷区。
在本示例实施方式中，第二绝缘层5覆盖整个触控图案层，即不仅覆盖驱动通道2以及检测通道3，而且覆盖驱动通道2与检测通道3之间的间隔区4。由于间隔区4域没有别的膜层，第二绝缘层5直接覆盖在第一绝缘层1之上，因此，会在间隔区4位置形成凹陷区。第二绝缘层5的可以为无机绝缘膜，如氮化硅、氧化硅等等，或有机绝缘膜，如各种树脂材料。
而且第二绝缘层5可以满足如下要求：位于驱动通道2侧面的第二绝缘层5的远离触控图案层的一侧面与第一绝缘层1形成的夹角与所述第一夹角α相同，位于检测通道3侧面的第二绝缘层5的远离触控图案层的一侧面与第一绝缘层1形成的夹角与第二夹角β相同。即可以使位于驱动通道2侧面的第二绝缘层5的厚度保持均匀，位于检测通道3侧面的第二绝缘层5的厚度保持均匀。也就是使位于驱动通道2侧面的第二绝缘层5的两侧面保持平行，位于检测通道3侧面的第二绝缘层5的两侧面保持平行。能够使通过第二绝缘层5的入射角度相同的光线保持相同的折射角度，进一步提高出射光路均匀性。
如果第二绝缘层5不满足上述要求，可以通过刻蚀方法进行微调，即对厚度较厚的地方进行刻蚀，使第二绝缘层5满足上述要求。
图案匹配层6设于第二绝缘层5之上，图案匹配层6的材料与触控图案层的材料相同，图案匹配层6的厚度与触控图案层的厚度一致，图案匹配层6在第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合。
在本示例实施方式中，可以通过蒸镀或溅射在第二绝缘层5之上形成匹配层；将匹配层进行光刻形成图案匹配层6。也可以在一基板之上直接形成图案匹配层6；然后通过转印工艺将图案匹配层6转印在第二绝缘层5之上。图案匹配层6不进行电信号连接。
图案匹配层6在第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合，图案匹配层6上有与第二绝缘层5的凹陷区相同的倾斜角度。图案匹配层6与第二绝缘层5的凹陷区完全贴合并填补凹陷区。驱动通道2的侧面设置为倾斜状，检测通道3的侧面也设置为倾斜状，第二绝缘层5的凹陷区的侧面也设置为倾斜状，从而使图案匹配层6与第二绝缘层5接触的部分也形成倾斜状。通过间隔区4的光线会通过一部分图案匹配层6和\或通过一部分触控图案层，能够避免光线单独穿过第二绝缘层5，减少介质导致的光线折射、反射、不均匀等等，即使存在一些不均匀也是逐渐变化的，而且差别很小，使人眼很难观察到，进一步增加出射光路均匀性，避免触控图案被人眼观察到。
图案匹配层6的材料与触控图案层的材料相同，使相同入射角的光线通过图案匹配层6以及触控图案层的折射角度是相同的。图案匹配层6的厚度与触控图案层的厚度一致，使相同入射角的光线通过图案匹配层6以及触控图案层后的偏移距离是相同的。
触控面板还可以包括多个连接孔7以及多个连接导线8，多个连接孔7设于所述驱动通道2；多个连接导线8贯穿其中两个所述连接孔7，能够连接相邻的两个所述驱动通道2。
参照图3所示的触控面板的俯视结构示意图。在本示例实施方式中，由于多个驱动通道2之间是互不连接的，在每个驱动通道2上设置有两个连接孔7，连接导线8的一端贯穿相邻两个驱动通道2的其中一个驱动通道2上的一个连接孔7，连接导线8的另一端贯穿相邻两个驱动通道2的另一个驱动通道2上的另一个连接孔7，将相邻两个驱动通道2连接。
进一步的，本公开还提供了一种触控显示装置，该触控显示装置可以包括上述触控面板。该触控面板的具体结构上面已经进行了详细描述，此处不再赘述。
进一步的，本示例实施方式还提供了用于制备上述触控面板的触控面板的制备方法。参照图4所示的触控面板的制备方法的流程图。该触控面板的制备方法可以包括以下步骤：
步骤S10，在第一绝缘层1之上形成触控图案层，所述触控图案层可以包括多个横向分布的驱动通道2、多个纵向分布的检测通道3以及位于多个所述驱动通道2与多个所述检测通道3之间的多个间隔区4，同一纵向的所述检测通道连接为一体，所述驱动通道位于两个相邻的所述检测通道之间。
步骤S20，在所述触控图案层之上形成第二绝缘层5，所述第二绝缘层5在所述间隔区4位置形成凹陷区。
步骤S30，在所述第二绝缘层5之上形成图案匹配层6，所述图案匹配层6的材料与所述触控图案层的材料相同，所述图案匹配层6的厚度与所述触控图案层的厚度一致，所述图案匹配层6在第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合。
在本示例实施方式中，在形成所述触控图案层之后，所述制备方法还可以包括：对所述驱动通道2的侧面以及所述检测通道3的侧面进行刻蚀处理，使所述驱动通道2的侧面与所述第一绝缘层1形成第一夹角α，所述第一夹角α为锐角，以及使所述检测通道3的侧面与所述第一绝缘层1形成第二夹角β，所述第二夹角β为锐角。
在本示例实施方式中，所述第一夹角α小于等于65°，所述第二夹角β小于等于65°。
在本示例实施方式中，在形成所述第二绝缘层5之后，所述述制备方法还可以包括：对所述第二绝缘层5进行刻蚀处理，使位于所述驱动通道2侧面的第二绝缘层5的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层1形成的夹角与所述第一夹角α相同，使位于所述检测通道3侧面的第二绝缘层5的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层1形成的夹角与所述第二夹角β相同。
在本示例实施方式中，在所述第二绝缘层5之上形成图案匹配层6，可以包括：通过蒸镀或溅射在所述第二绝缘层5之上形成匹配层；将所述匹配层进行光刻形成所述图案匹配层6。
在本示例实施方式中，在所述第二绝缘层5之上形成图案匹配层6，可以包括：在基板之上形成图案匹配层6；通过转印工艺将图案匹配层6转印在所述第二绝缘层5之上。
在本示例实施方式中，所述制备方法还可以包括：在所述驱动通道2上打孔，并通过导线连接相邻的两个所述驱动通道2。
此外，尽管在附图中以特定顺序描述了本公开中方法的各个步骤，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些步骤，或是必须执行全部所示的步骤才能实现期望的结果。附加的或备选的，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，以及/或者将一个步骤分解为多个步骤执行等。
上述触控面板的制备方法中各步骤的具体细节已经在对应的触控面板中进行了详细的描述，因此此处不再赘述。
虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“顶”“底”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“顶”的组件将会成为在“底”的组件。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。
本说明书中，用语“一个”、“一”、“该”和“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”和“第三”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。
Claims (13)
1.一种触控面板，其特征在于，包括：
第一绝缘层；
触控图案层，设于所述第一绝缘层之上，所述触控图案层包括多个横向分布的驱动通道、多个纵向分布的检测通道以及位于多个所述驱动通道与多个所述检测通道之间的多个间隔区，同一纵向的所述检测通道连接为一体，所述驱动通道位于两个相邻的所述检测通道之间；
第二绝缘层，设于所述触控图案层之上，所述第二绝缘层在所述间隔区位置形成凹陷区；
图案匹配层，设于所述第二绝缘层之上，所述图案匹配层的材料与所述触控图案层的材料相同，所述图案匹配层的厚度与所述触控图案层的厚度一致，所述图案匹配层在所述第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合。
2.根据权利要求1所述的触控面板，其特征在于，所述驱动通道的侧面与所述第一绝缘层形成第一夹角，所述第一夹角为锐角；所述检测通道的侧面与所述第一绝缘层形成第二夹角，所述第二夹角为锐角。
3.根据权利要求2所述的触控面板，其特征在于，所述第一夹角小于等于65°，所述第二夹角小于等于65°。
4.根据权利要求2所述的触控面板，其特征在于，位于所述驱动通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第一夹角相同，位于所述检测通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第二夹角相同。
5.根据权利要求1所述的触控面板，其特征在于，所述触控面板还包括：
多个连接孔，设于所述驱动通道；
多个连接导线，贯穿其中两个所述连接孔，能够连接相邻的两个所述驱动通道。
6.一种触控显示装置，其特征在于，包括：
权利要求1～5任意一项所述的触控面板。
7.一种触控面板的制备方法，其特征在于，包括：
在第一绝缘层之上形成触控图案层，所述触控图案层包括多个横向分布的驱动通道、多个纵向分布的检测通道以及位于多个所述驱动通道与多个所述检测通道之间的多个间隔区，同一纵向的所述检测通道连接为一体，所述驱动通道位于两个相邻的所述检测通道之间；
在所述触控图案层之上形成第二绝缘层，所述第二绝缘层在所述间隔区位置形成凹陷区；
在所述第二绝缘层之上形成图案匹配层，所述图案匹配层的材料与所述触控图案层的材料相同，所述图案匹配层的厚度与所述触控图案层的厚度一致，所述图案匹配层在所述第二绝缘层上的正投影与所述凹陷区重合。
8.根据权利要求7所述的触控面板的制备方法，其特征在于，在形成所述触控图案层之后，所述制备方法还包括：
对所述驱动通道的侧面以及所述检测通道的侧面进行刻蚀处理，使所述驱动通道的侧面与所述第一绝缘层形成第一夹角，所述第一夹角为锐角，以及使所述检测通道的侧面与所述第一绝缘层形成第二夹角，所述第二夹角为锐角。
9.根据权利要求8所述的触控面板的制备方法，其特征在于，所述第一夹角小于等于65°，所述第二夹角小于等于65°。
10.根据权利要求8所述的触控面板的制备方法，其特征在于，在形成所述第二绝缘层之后，所述述制备方法还包括：
对所述第二绝缘层进行刻蚀处理，使位于所述驱动通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第一夹角相同，使位于所述检测通道侧面的第二绝缘层的远离所述触控图案层的一侧面与所述第一绝缘层形成的夹角与所述第二夹角相同。
11.根据权利要求7所述的触控面板的制备方法，其特征在于，在所述第二绝缘层之上形成图案匹配层，包括：
通过蒸镀或溅射在所述第二绝缘层之上形成匹配层；
将所述匹配层进行光刻形成所述图案匹配层。
12.根据权利要求7所述的触控面板的制备方法，其特征在于，在所述第二绝缘层之上形成图案匹配层，包括：
在基板之上形成图案匹配层；
通过转印工艺将图案匹配层转印在所述第二绝缘层之上。
13.根据权利要求7所述的触控面板的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：
在所述驱动通道上打孔，并通过导线连接相邻的两个所述驱动通道。
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