CN110715793B - 载物台、物性测定装置及测定方法 - Google Patents
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- 230000000704 physical effect Effects 0.000 title claims abstract description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims abstract description 180
- 239000010408 film Substances 0.000 description 124
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 43
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 32
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 30
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 30
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 29
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 27
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 27
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 15
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 12
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 9
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 4
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 4
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 229920005994 diacetyl cellulose Polymers 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229920008347 Cellulose acetate propionate Polymers 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000003522 acrylic cement Substances 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 2
- 229920005601 base polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 2
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 2
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 2
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 239000002969 artificial stone Substances 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011254 layer-forming composition Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000003094 microcapsule Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001289 polyvinyl ether Polymers 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004447 silicone coating Substances 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000002335 surface treatment layer Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/04—Optical benches therefor
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0228—Testing optical properties by measuring refractive power
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/025—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by determining the shape of the object to be tested
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract
本发明涉及载物台、物性测定装置及测定方法。一种载物台,其是用于测定光学膜的物性值的载物台,其部分接触面积率在上述载物台的光学膜载置面的全部区域中为45%以下。
Description
技术领域
本发明涉及载物台、物性测定装置及测定方法。
背景技术
作为基板测定用载物台,已知具有平面的基板载置面的载物台(JP2009-88477A1)。另外,作为玻璃基板的检查装置,已知具备水平地支撑玻璃基板的多个突出支撑部的检查装置(JP2008-151714号A1)。
发明内容
发明要解决的课题
具有粘合性的光学膜一般刚性低,因此,在载置于载物台时,会有在从载物台卸下光学膜时使光学膜发生损伤或物性值发生变化的情况。
本发明的目的在于,提供即使是具有粘合性的光学膜也能容易地从载物台卸下的载物台。
用于解决课题的手段
本发明提供以下的载物台、物性测定装置及测定方法。
[1]一种载物台,其是用于测定光学膜的物性值的载物台,其部分接触面积率在上述载物台的光学膜载置面的全部区域中为45%以下。
在此,部分接触面积率利用以下的方法(1)来测定。
方法(1):
(a)在由具有发色剂层的A膜和具有显色剂层的C膜构成的压敏纸5中,按照A膜的发色剂层与C膜的显色剂层接触的方式进行重叠。
(b)将载物台以光学膜载置面朝上的方式设置在平坦的台上。
(c)将压敏纸载置于载物台的光学膜载置面上。
(d)将平坦的铁板(纵32mm、横32mm、厚度4mm、32g)和在该铁板上的重物(21kg)分别耗时5秒钟轻轻地放置在载置于载物台的光学膜载置面上的压敏纸上。
(e)重物载置经过2分钟后,分别将重物、平坦的铁板及压敏纸轻轻地移除。
(f)对发色的C膜的发色区域的面积进行测定。
(g)求出相对于平坦铁板的面积的发色区域的面积作为部分接触面积率。
予以说明,作为由上述A膜和C膜构成的压敏纸,可列举例如富士胶片公司制的压力测定膜“Prescale”极超低压用(LLLW)。
[2]根据[1]所述的载物台,其中,上述载物台在光学膜载置面具有突起。
[3]根据[2]所述的载物台,其中,上述突起在上述载物台的纵向或横向上以0.5mm以上且30mm以下的间隔进行配置。
在此,上述突起只要在纵向及横向的任一方向上以上述间隔进行配置即可,也可以在两方向上均以上述间隔进行配置。
[4]一种光学膜的物性测定装置,其具备[1]~[3]中任一项所述的载物台。
[5]一种测定方法,其是光学膜的物性值的测定方法,其包括:在[1]~[3]中任一项所述的载物台上载置光学膜的工序;对载置于上述载物台的光学膜的物性值进行测定的工序;以及从载物台卸下上述光学膜的工序。
发明的效果
根据本发明,可以提供即使是具有粘合性的光学膜也能容易地从载物台卸下的载物台。
附图说明
图1是表示用于测定部分接触面积率的方法(1)的示意性剖视图。
图2是表示本发明的第一实施方式涉及的载物台的示意性剖视图及俯视图。
图3是表示本发明的第二实施方式涉及的载物台的示意性剖视图及俯视图。
图4是表示本发明的第三实施方式涉及的载物台的示意性剖视图及俯视图。
图5是表示要载置于本发明的载物台的光学膜的示意性剖视图。
图6是表示本发明的一个方式涉及的物性测定装置的示意性剖视图。
附图标记说明
1发色剂层、2 A膜、3显色剂层、4 C膜、5压敏纸、6平坦的台、7光学膜载置面、8载物台、9平坦的铁板、10重物、12发色区域、200载物台、201载置台、202四棱锥状突起、203四棱锥状突起的高度、204,205四棱锥状突起的间隔、300载物台、301载置台、302圆锥状突起、303圆锥状突起的高度、304,305圆锥状突起的间隔、400载物台、401载置台、402线状突起、403线状突起的高度、404,405线状突起的间隔、500光学膜、501防护膜、502偏振片、503偏振片保护膜、504粘合剂层、505分离膜、600物性测定装置、601突起、602载物台、603具备激光光源的光学头、604个人电脑、605光学膜
具体实施方式
<载物台>
本发明的一个方式涉及的载物台是用于测定光学膜的物性值的载物台,其部分接触面积率在载物台的光学膜载置面的全部区域中为45%以下。部分接触面积率按照后述的方法(1)来测定。
载置于物性测定装置的载物台的光学膜通常在物性测定结束后从载物台卸下。例如,在使用一台测定装置进行多个光学膜的物性测定的情况下或者对光学膜的两个面进行物性测定的情况下,为了更换为别的光学膜或颠倒光学膜的表面和背面而从测定装置暂时卸下完成了物性测定的光学膜。在光学膜具有粘合性的情况下,有时因光学膜与载物台的光学膜载置面密合而在如上述那样将其卸下时光学膜的一部分发生破损,或者因光学膜所具有的物性发生变化、光学膜的物性产生偏差而无法测定正确的物性。
根据本发明,通过使部分接触面积率在载物台的光学膜载置面的全部区域中为45%以下,从而与以往的光学膜载置面平坦的载物台相比,光学膜与载物台的接触面积更小,即使在将具有粘合性的光学膜以使具有粘合性的面与载物台的载置面接触的方式进行载置的情况下,也能容易地卸下光学膜。因此,能够抑制光学膜的破损或物性的变化,能够进行精度高的测定。
一般而言,光学膜会在膜端部发生卷曲,为了对这样的卷曲进行评价,有时将光学膜载置于载物台而进行卷曲量的测定。在使光学膜的具有粘合性的面与载物台接触而进行载置的情况下,若卷曲量小,则光学膜与载物台接触的面积变大,因此存在光学膜与载物台容易密合的倾向。然而,根据本发明的载物台,即使是这样的卷曲量小的光学膜,也容易抑制光学膜与载物台的密合,因此存在容易卸下光学膜的倾向。
另外,后述的带防护膜的光学膜或带粘合剂层的光学膜有时在贴合有防护膜或分离膜的状态下进行物性测定后,剥离防护膜或分离膜,制成具有粘合性的光学膜,使这样的光学膜的具有粘合性的面与载物台的光学膜载置面接触而载置于载物台上,进行物性测定。即使在这样的情况下,根据本发明的载物台,也能够抑制光学膜与载物台的附着,存在容易从载物台卸下而不使光学膜破损或不使物性变化的倾向。
从与光学膜的附着性的观点出发,部分接触面积率优选为44%以下,更优选为40%以下。另一方面,部分接触面积率适宜为例如1%以上,从光学膜在载物台上的载置稳定性的观点出发,优选为5%以上,更优选为10%以上。
部分接触面积率按照方法(1)来测定。以下,参照附图对方法(1)进行说明,但本发明并不受以下的实施方式的限定。在以下的全部附图中,为了容易理解各构成要素,适当调整比例尺来表示,附图所示的各构成要素的比例尺和实际的构成要素的比例尺未必一致。
图1中示出的方法(1)具有以下的工序:
(a)在由具有发色剂层1的A膜2和具有显色剂层3的C膜4构成的压敏纸5中,按照A膜2的发色剂层1与C膜4的显色剂层3接触的方式进行重叠。
(b)将载物台8以光学膜载置面7朝上的方式设置在平坦的台6上。
(c)按照C膜4与光学膜载置面7接触的方式将压敏纸5载置于载物台8上。
(d)将平坦的铁板9(纵32mm、横32mm、厚度4mm、32g)和在该铁板上的重物10(21kg)分别耗时5秒钟轻轻地放置在载置于载物台8的光学膜载置面7上的压敏纸5上。
(e)从载置重物10起经过2分钟后,分别将重物10、铁板9及压敏纸5轻轻地拆除。
(f)对发色的C膜4的发色区域12的面积进行测定。
(g)求出相对于铁板9的面积的发色区域12的面积作为部分接触面积率。
工序(a)中使用的压敏纸5可以为如下类型的压敏纸:发色剂层1的微囊因压力而破坏,其中的无色染料吸附于显色剂,发生化学反应而发红色。作为这样的压敏纸的市售品的例子,可列举压力测定膜“Prescale”极超低压用(LLLW)(富士胶片株式会社)等。
在工序(e)中,作为对C膜4的发色区域12的面积进行测定的方法,可列举例如:将发色的C膜4直接用与个人电脑连接的图像扫描器进行读取,对于所读取的图像使用压力图像分析系统测定发色面积的方法;使用数码相机等对发色的C膜4进行拍摄,将所拍摄的图像读取入个人电脑,使用压力图像分析系统测定发色面积的方法等。图像扫描器可以使用例如FUJI FILM PRESCALE PRESSUREGRAPH FPD-9270(富士胶片株式会社)等。将发色的C膜4使用图像扫描器进行读取的条件可以为例如温度23℃、湿度65RH%、分辨率0.125mm。压力图像分析系统可以使用例如FPD-8010J(富士胶片株式会社)。
部分接触面积率在光学膜载置面7的全部区域中进行测定。在全部区域中进行测定的方法可列举例如:将载物台的光学膜载置面7分割为与铁板9的大小相同大小的格子状的区域,对各区域均进行部分接触面积率的测定的方法等。在上述方法中,在分割为格子状时,针对未成为与铁板9的大小相同大小的格子的区域,只要以包含该区域的方式测定部分接触面积率即可,此时,也可以包含与其他分割成格子状的区域重复的区域。
载物台的按照下述方法(2)测定的总接触面积率可以为45%,优选为44%,更优选为40%以下。在总接触面积率为45%以下的情况下,存在容易从载物台卸下而不使光学膜破损或不使物性变化的倾向。
方法(2):
(a)对载物台的光学膜载置面的全部区域按照方法(1)测定部分接触面积率。
(b)将所求得的部分接触面积率的平均值设为总接触面积率。
从与光学膜的附着性的观点出发,总接触面积率优选为35%以下,更优选为30%以下。总接触面积率可以为例如5%以上,从光学膜在载物台上的载置稳定性的观点出发,优选为8%以上,更优选为10%以上。
作为将部分接触面积率在载物台的光学膜载置面的全部区域中设为45%以下的方法,可列举例如在载物台的光学膜载置面设置用于支撑光学膜的突起的方法。
本发明的一个方式涉及的载物台可以在光学膜载置面上具有多个突起。作为突起的形状,可以为例如锥状突起、棒状突起(以下将它们统称为“点状突起”)、线状突起等。锥状突起的突起形状可以为例如四棱锥状(金字塔状)、圆锥状等。在载物台具有突起的情况下,被突起支撑的光学膜可以为水平。光学膜一般刚性低,因此,在未被突起均匀支撑的情况下存在难以进行正确的物性测定的倾向。因此,在突起为点状突起的情况下,从均匀地支撑光学膜的观点出发,突起优选相互以均匀的间隔进行配置。在载物台具有突起的情况下,在载物台的纵向或横向的至少一个方向,可以以例如0.5mm以上且30mm以下的间隔进行配置,优选以1mm以上且15mm以下的间隔进行配置。
突起的高度可以为例如0.5mm以上且100mm以下,优选为0.5mm以上且50mm以下,更优选为1mm以上且10mm以下。该高度是指从载置台的表面起在垂直方向上到突起的最高点为止的距离。
构成载物台的材质适宜为例如金属、树脂(塑料)、陶瓷、橡胶、天然石、人工石、木材,优选为橡胶、树脂等。可以根据测定的物性、光学膜的种类来改变材质。另外,突起和载物台可以为互不相同的材质。可以对载物台的载置面实施抗静电处理或抗反射处理等。
载物台的尺寸为能够正确且稳定地进行物性测定的尺寸,可以为与光学膜的尺寸对应的尺寸,可以为例如35mm×35mm以上且1000mm×1000mm以下等,优选为100mm×100mm以上且350mm×300mm以下。对载物台从与载置面垂直的方向上观察到的形状并无特别限定,可以为例如方形状,优选为长方形及正方形,更优选为长方形。在载物台具有突起的情况下,不包括突起在内的载物台的厚度(载置台的厚度)可以为例如1mm以上且100cm以下,优选为5mm以上且30cm以下。
载物台的剥离力可以为例如0.0N/25mm以上且2.0N/25mm以下,优选为0.0N/25mm以上且1N/25mm以下。在剥离力为这样的范围内的情况下,存在容易从载物台卸下光学膜的倾向。剥离力可以按照后述实施例一栏中说明的测定方法进行测定。
(第一实施方式)
本发明的第一实施方式涉及的载物台在载置台上具有四棱锥状突起。以下,参照附图对第一实施方式涉及的载物台进行说明。
图2a是在载置台201上具有四棱锥状突起202的载物台200的示意性剖视图。四棱锥状突起202的底面为正方形。
图2b是从与光学膜载置面垂直的上方观察时的载物台200的示意图。
四棱锥状突起可以在载置台上相互以均匀的间隔进行配置,也可以不规则地配置。在四棱锥状突起在载置台上相互以均匀的间隔进行配置的情况下,可以按照构成四棱锥的底面的边彼此邻接的方式进行配置,也可以相互均匀地等间隔分离地进行配置。在图2中,四棱锥状突起202按照构成四棱锥的底面的边彼此邻接的方式进行配置。
每32mm×32mm的四棱锥状突起202的个数(密度)通常为4个以上且2000个以下,从光学膜的均匀支撑性及附着性的观点出发,优选为30根以上且1000根以下,更优选为70根以上且500根以下。
四棱锥状突起的前端的形状并无特别限定,可以为四棱锥的顶点,也可以加工成在载置光学膜时不对光学膜造成损伤的形状、例如半球形状或者与光学膜载置面平行的平面等。在图2中,四棱锥状突起202的前端为四棱锥的顶点。
四棱锥状突起202的每个前端与光学膜接触的面积(以下也称作接触面积)可以为例如0.5mm2以上且450mm2以下,优选为10mm2以上且400mm2以下,更优选为50mm2以上且300mm2以下。接触面积为上述的方法(1)中求得的C膜的发色区域的面积除以在平坦的铁板内存在的突起的个数所得的值。
四棱锥状突起202的高度203可以为例如0.1mm以上且30mm以下,优选为0.5mm以上且15mm以下,更优选为1mm以上且10mm以下。高度203是指从四棱锥状突起202的最高点起在向下的铅垂方向上到载置台201的表面为止的距离。
四棱锥状突起202的间隔204、205可以为例如0.5mm以上且30mm以下,优选为1mm以上且15mm以下,更优选为1.5mm以上且10mm以下。间隔204、205为邻接的四棱锥状突起202的最高点与最高点之间的距离。在四棱锥的底面为长方形的情况下,间隔204、205为互不相同的值。
(第二实施方式)
本发明的第二实施方式涉及的载物台在载置台上具有圆锥状突起。以下,参照附图对第二实施方式涉及的载物台进行说明。图3a是在载置台301上具有圆锥状突起302的载物台300的示意性剖视图。圆锥状突起302的底面为圆形。图3b是从与光学膜载置面垂直的上方观察时的载物台300的示意图。
圆锥状突起可以在载置台上以相互均匀的间隔进行配置,也可以不规则地进行配置。在圆锥状突起在载置台上以相互均匀的间隔进行配置的情况下,可以按照载置面上的位置成为平面格子的交点的方式进行配置。平面格子可以为例如正方格子、斜方格子、矩形格子。在图3中,圆锥状突起302配置在正方格子的交点上。
每32mm×32mm的圆锥状突起302的个数(密度)通常为4个以上且2000个以下,从光学膜的均匀支撑性及附着性的观点出发,优选为30根以上且1000根以下,更优选为70根以上且500根以下。
圆锥状突起的前端的形状并无特别限定,可以为圆锥的顶点,也可以加工成在载置光学膜时不对光学膜造成损伤的形状、半球形状、与光学膜载置面平行的平面等。在图3中,圆锥状突起302的前端为圆锥的顶点。
圆锥状突起302的每个前端与光学膜接触的面积可以为例如0.5mm2以上且450mm2以下,优选为10mm2以上且400mm2以下,更优选为50mm2以上且300mm2以下。接触面积为上述的方法(1)中求得的C膜的发色区域的面积除以在平坦的铁板内存在的突起的个数所得的值。
圆锥状突起302的高度303可以为例如0.1mm以上且100mm以下,优选为0.5mm以上且50mm以下,更优选为1mm以上且10mm以下。高度303是指从圆锥状突起302的最高点起在向下的铅垂方向上到载置台301的表面为止的距离。
圆锥状突起302的间隔304、305分别可以为例如0.5mm以上且30mm以下,优选为1mm以上且16mm以下,更优选为4mm以上且10mm以下。间隔304、305是指相邻的圆锥状突起302的最高点与最高点之间的距离。
予以说明,突起为棒状突起的情况也可以与针对上述圆锥状突起的配置、数量(密度)、前端的形状、前端加工成平面时的面积、前端与光学膜接触的面积、高度、间隔而例示的例子分别相同。
(第三实施方式)
接着,对本发明的第三实施方式涉及的载物台进行说明。第三实施方式涉及的载物台在载置台上具有线状突起。图4a是在载置台401上具有线状突起402的载物台400的示意性剖视图。图4b是从与光学膜载置面垂直的上方观察时的载物台400的示意图。
线状突起可以在载置台上相互以均匀的间隔进行配置,也可以不规则地进行配置。在线状突起在载置台上相互以均匀的间隔进行配置的情况下,可以按照成为平面格子的方式相互交叉地配置,也可以相互平行地配置成条状。平面格子可以为例如正方格子、斜方格子、矩形格子。在图4中,线状突起402按照成为正方格子的方式相互交叉地配置。
每32mm×32mm的线状突起402的根数(密度)通常为4根以上且100根以下,从光学膜的均匀支撑性及附着性的观点出发,优选为8根以上且50根以下,更优选为16根以上且40根以下。
在线状突起相互平行地配置的情况下,每32mm×32mm的线状突起的数量通常为2根以上且50根以下,从光学膜的均匀支撑性及附着性的观点出发,优选为4根以上且40根以下,更优选为8根以上且30根以下。
就线状突起而言,从抑制光学膜的损伤的观点出发,与光学膜载置面垂直的方向的截面形状可以具有曲率,其形状可以为半圆形、半椭圆形等。在图4中,线状突起402的上述截面形状具有曲率,其曲率半径406为例如0.0mm以上且16mm以下,优选为1mm以上且5mm以下。
线状突起的宽度可以为例如0.1mm以上且5mm以下,优选为0.3mm以上且3mm以下,更优选为0.5mm以上且2mm以下。在线状突起的宽度为上述范围内的情况下,存在光学膜的支撑性变得良好且容易抑制光学膜与载物台的密合的倾向。
线状突起402的间隔404、405可以为例如0.5mm以上且32mm以下,优选为1mm以上且16mm以下,更优选为4mm以上且10mm以下。间隔404、405是指邻接的线状突起402的最高点与最高点之间的距离。在线状突起402按照成为斜方格子、矩形格子的方式相互交叉地进行配置的情况下,间隔404、405可以为互不相同的值。
在线状突起按照形成斜方格子的方式进行配置的情况下,就线状突起交叉的角度而言,格子内的较小的角度可以为例如10度以上且不足90度,优选为30度以上且80度以下,更优选为45度以上且75度以下。
线状突起402的高度403可以为例如0.5mm以上且100mm以下,优选为0.5mm以上且50mm以下,更优选为1mm以上且10mm以下。高度403是指从载置台401的表面起在垂直方向上到线状突起402的最高点为止的距离。
(光学膜)
作为光学膜,可列举例如在基材膜上形成有硬涂层或液晶层等的膜、偏振片、偏振片保护膜、反射膜、半透射型反射膜、增亮膜、光学补偿膜、带防眩功能的膜等,也可以是将它们组合2种以上而成的光学膜。光学膜可以是包含偏振片的多层膜、即偏振板。另外,光学膜也可以是在以上例示的膜或偏振板的一个面上贴合有防护膜的光学膜(以下也称作带防护膜的光学膜)、或者在一个面上形成粘合剂层且在该粘合剂层上贴合有分离膜的光学膜(以下也称作带粘合剂层的光学膜)。
(基材膜)
基材膜的材料及厚度并无特别限定,并且可以为单层,也可以为多层,可以为由玻璃或树脂形成的膜。其中,优选树脂膜。就本发明的载物台而言,即使是如树脂膜那样的刚性低、容易挠曲的膜,也能适当地测定物性。作为构成树脂膜的树脂,可列举例如:聚乙烯、聚丙烯、降冰片烯系聚合物等聚烯烃;环状烯烃系树脂;聚乙烯醇;聚对苯二甲酸乙二醇酯;聚甲基丙烯酸酯;聚丙烯酸酯;三乙酰基纤维素、二乙酰基纤维素及乙酸丙酸纤维素等纤维素酯;聚萘二甲酸乙二醇酯;聚碳酸酯;聚砜;聚醚砜;聚醚酮;聚苯硫醚;聚苯醚;聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺等塑料。其中,优选环状烯烃系树脂、纤维素酯基材及聚酰亚胺。这些高分子可以单独使用或混合使用2种以上。(甲基)丙烯酸是指甲基丙烯酸或丙烯酸中的任一者。(甲基)丙烯酸酯等的(甲基)也为同样的含义。
(硬涂层)
硬涂层可以形成在基材膜的一个面上,也可以形成在两个面上。硬涂层可以为例如紫外线固化型树脂的固化层。作为紫外线固化型树脂,可列举例如丙烯酸系树脂、硅酮系树脂、聚酯系树脂、聚氨酯系树脂、酰胺系树脂、环氧系树脂等。为了提高强度,硬涂层可以包含添加剂。添加剂并无限定,可列举无机系微粒、有机系微粒或它们的混合物。
(液晶层)
液晶层为由包含聚合性液晶化合物的组合物(以下也称作液晶层形成用组合物)的固化膜构成的层,也可以为相位差层。还可以通过使液晶层形成用组合物中进一步包含二色性色素而制成偏振层。液晶层形成用组合物可以进一步包含溶剂、聚合引发剂、光敏化剂、阻聚剂、流平剂及密合性提高剂等。
(偏振片)
偏振片通常经过如下工序来制造:将聚乙烯醇系树脂膜进行单轴拉伸的工序;通过将聚乙烯醇系树脂膜用二色性色素进行染色而使该二色性色素吸附的工序;将吸附有二色性色素的聚乙烯醇系树脂膜用硼酸水溶液进行处理的工序;以及在基于硼酸水溶液的处理后进行水洗的工序。可以将该偏振片直接作为偏振板来使用,也可以在其单面或双面贴合透明保护膜后作为偏振板来使用。这样得到的偏振片的厚度优选为2μm以上且40μm以下。
(偏振片保护膜)
偏振片保护膜可以层叠于偏振片的单面或双面,可以为具有透光性的(优选光学上透明的)树脂膜。作为构成树脂膜的树脂,可列举例如:聚乙烯、聚丙烯、降冰片烯系聚合物等聚烯烃;环状烯烃系树脂;聚乙烯醇;聚对苯二甲酸乙二醇酯;聚甲基丙烯酸酯;聚丙烯酸酯;三乙酰基纤维素、二乙酰基纤维素及乙酸丙酸纤维素等纤维素酯;聚萘二甲酸乙二醇酯;聚碳酸酯;聚砜;聚醚砜;聚醚酮;聚苯硫醚;聚苯醚;聚酰亚胺、聚酰亚胺酰胺等塑料。其中,优选聚烯烃系树脂、纤维素酯系树脂。偏振片保护膜的厚度可以为例如1μm以上且100μm以下,优选为5μm以上且60μm以下,更优选为5μm以上且50μm以下。
保护膜的至少任一者可以是在其外表面(与偏振片相反一侧的面)上具备硬涂层、防眩层、光扩散层、相位差层(具有1/4波长的相位差值的相位差层等)、抗反射层、抗静电层、防污层之类的表面处理层(涂层)或光学层的保护膜。
保护膜可以借助例如粘接剂层与偏振片贴合。作为形成粘接剂层的粘接剂,可以使用水系粘接剂、活性能量射线固化性粘接剂或热固化性粘接剂,优选为水系粘接剂、活性能量射线固化性粘接剂。
(粘合剂层)
粘合剂层可以具有将光学膜贴合于例如显示装置的图像显示元件等的作用。粘合剂层是指包含粘合剂的层。粘合剂是柔软的橡胶状,并通过将其自身粘贴于光学膜或液晶层等被粘物来体现粘接性,称之为所谓的压敏型粘接剂。另外,活性能量射线固化型粘合剂可以通过照射能量射线来调整交联度或粘接力。
作为粘合剂,可以无特别限制地使用以往公知的光学透明性优异的粘合剂,可以使用具有丙烯酸系、聚氨酯系、硅酮系、聚乙烯基醚系等的基础聚合物的粘合剂。另外,也可以为活性能量射线固化型粘合剂、热固化型粘合剂等。其中,优选以透明性、粘合力、再剥离性(以下也称作再加工性)、耐候性、耐热性等优异的丙烯酸系树脂作为基础聚合物的粘合剂。粘合层优选包含:含有(甲基)丙烯酸系树脂、交联剂、硅烷化合物的粘合剂组合物的反应产物。
在粘合剂组合物中配合多官能性丙烯酸酯等紫外线固化性化合物而制成活性能量射线固化型粘合剂,在形成活性能量射线固化型粘合剂的粘合层后,照射紫外线使其固化,从而制成更硬的粘合层也是有用的。活性能量射线固化型粘合剂具有受到紫外线或电子射线等能量射线的照射而固化的性质。
活性能量射线固化型粘合剂是具有如下性质的粘合剂:由于即使在能量射线照射前也具有粘合性,因此能够与光学膜或液晶层等被粘物密合,并且能够利用能量射线的照射而固化来调整密合力。
活性能量射线固化型粘合剂一般包含丙烯酸系粘合剂和能量射线聚合性化合物作为主成分。通常还配合有交联剂,并且,也可以根据需要而配合光聚合引发剂或光敏化剂等。粘合剂层的厚度可以为例如3μm以上且100μm以下,优选为20μm以上且50μm以下。
光学膜通常为单片体,其尺寸是能够载置于载物台并对要测定的物性适当地进行测定那样的尺寸,可以为例如35mm×35mm以上且1000mm×1000mm以下等,优选为100mm×100mm以上且350mm×300mm以下。
(防护膜)
出于保护光学膜的表面免受损伤或污物影响的目的而使用防护膜。防护膜是例如将层叠体贴合于显示装置等后被剥离除去的膜。
防护膜可以由例如透明树脂膜构成。作为树脂膜的材质,并无特别限定,可列举例如:环状聚烯烃系树脂膜;由三乙酰基纤维素、二乙酰基纤维素之类的树脂构成的乙酸纤维素系树脂膜;由聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯之类的树脂构成的聚酯系树脂膜;聚碳酸酯系树脂膜;(甲基)丙烯酸系树脂膜;聚丙烯系树脂膜等本领域中公知的膜。
防护膜的厚度可以为例如5μm以上且200μm以下,从层叠体的薄型化的观点出发,优选为10μm以上且150μm以下,更优选为20μm以上且100μm以下。
防护膜为了与光学膜贴合而可以在树脂膜的一个面上具有粘合剂层。防护膜也可以不具有粘合剂层。即,防护膜可以为自粘合性的膜。
(分离膜)
分离膜能够与粘合剂层剥离,可以作为支撑在分离膜上形成的粘合剂层、并保护粘合剂层的膜而发挥作用。构成分离膜的膜可以为公知的剥离膜或剥离纸等,也可以为上述防护膜中使用的树脂膜。另外,还可以是对树脂膜实施了硅酮涂敷等脱模处理的分离膜。
光学膜的厚度在例如无分离膜的情况下通常可以为0.5μm以上且400μm以下。另外,光学膜的厚度在无防护膜的情况下通常可以为0.5μm以上且350μm以下。
图5是供于物性测定的光学膜的示意性剖视图。图5所示的光学膜500依次层叠有防护膜501、偏振片502、偏振片保护膜503、粘合剂层504、分离膜505。
作为光学膜的物性,可列举例如卷曲量、厚度、反射率、透射率、表面粗糙度、色度、硬度等。本发明的载物台适合在测定这样的物性时载置光学膜。另外,载物台还可以用于光学膜的缺陷检查、反射不均或透射不均等外观检查等。
<物性测定装置>
本发明的另一个方式涉及的物性测定装置是具备上述载物台的光学膜的物性测定装置。作为物性测定装置,可列举例如激光位移计、透射率计、硬度计、接触式膜厚计、色度计、卷曲量测定装置、基板检查装置等,但是并不受这些装置的限定。在物性测定装置中,载物台可以被设置成可动式,也可以被设置成固定于底座。另外,也可以在载物台上安装可动式的测定设备。进而,也可以在已有的物性测定装置的载物台上重叠安装本发明的载物台。物性测定装置中使用的载物台及光学膜的例示或优选的方式与上述载物台及光学膜的说明中的例示或优选的方式相同。
图6是物性测定装置600的示意性剖视图。物性测定装置600是具备具有突起601的载物台602、具有激光光源的光学头603、与其连接的个人电脑604的激光位移计,在载物台602的突起601上水平地载置有光学膜605。在物性测定结束后从载物台602卸下光学膜605时,存在即使在光学膜605具有粘合性的情况下也不易受到损伤或物性值不易发生变化的倾向。
<物性值的测定方法>
本发明的另一个方式涉及的物性值的测定方法为光学膜的物性值的测定方法。物性值的测定方法包括:在上述载物台上载置光学膜的工序;对载置于载物台的光学膜的物性值进行测定的工序;以及从载物台卸下光学膜的工序。
在载物台上载置光学膜的工序中,通常,光学膜按照使进行物性测定的表面在载物台的载置面上呈现水平的方式进行载置。光学膜的刚性低,因此在载物台的载置面上设有突起时,理想的是光学膜按照不被突起损伤的方式轻轻地载置。
作为所测定的物性值,可以为卷曲量、厚度、反射率、透射率、表面粗糙度、色度、硬度等。也可以对光学膜的缺陷、反射不均、透射不均等外观等进行评价。
在从载物台卸下光学膜的工序中,本发明的载物台的部分接触面积率为45%以下,因此光学膜与载物台的密合性低,存在即使在光学膜具有粘合性的情况下即使卸下光学膜也不易受到损伤或物性值不易发生变化的倾向。
示出实施例及比较例对本发明进行更具体地说明,但本发明并不受这些例子的限定。
实施例
〔部分接触面积率〕
载物台的部分接触面积率按照以下的方法来测定。
(A)在由A膜(具备发色剂层)和C膜(具备显色剂层)构成的压敏纸〔富士胶片株式会社制、压力测定膜“Prescale”极超低压用(LLLW)〕中,按照A膜的发色剂层与C膜的显色剂层接触的方式进行重叠。
(B)将载物台以光学膜载置面朝上的方式设置于平坦的台上。
(C)在使A膜和C膜重叠的状态下将压敏纸放置于载物台的光学膜载置面上。
(D)在载置于光学膜载置面上的压敏纸上放置平坦的铁板(纵32mm、横32mm、厚度4mm、32g),再在其上轻轻地放置重物(21kg)。
(E)在重物载置经过2分钟后,分别将重物、铁板及压敏纸轻轻地移除。
(F)使用图像扫描器(富士胶片株式会社制、FUJI FILM PRESCALE PRESSUREGRAPHFPD-9270),将发色的C膜以图像的形式读取至个人电脑中。
读取条件:23℃、湿度65RH%、分辨率0.125mm。
(G)对于读入的图像用压力图像分析系统(富士胶片株式会社制、FPD-8010J)测定了发色面积。
(H)所测定的发色面积除以测定面积(施加了重物载荷的面积:32mm×32mm),作为该测定面积的部分接触率(%)。
(I)对测定载物台的全部区域,求得部分接触面积率。
予以说明,实施例中使用的测定载物台是测定面积(32mm×32mm)内的结构(突起的配置)在全体中重复而成的结构,因此,总接触面积和部分接触面积相同。
〔卷曲量〕
将光学膜按照其凸侧与载物台接触的方式载置在载物台上,将光学膜的4角从载物台上浮的上浮量的平均值设为卷曲量。
〔光学膜〕
准备依次层叠以下的防护膜、偏振片、偏振片保护膜、粘合剂层、分离膜并且按照分离膜侧呈凸状的方式进行卷曲的光学膜。
防护膜(PET膜)
偏振片(单轴拉伸后的聚乙烯醇系树脂膜)
偏振片保护膜(三乙酰基纤维素)
粘合剂层(丙烯酸系粘合剂)
分离膜(PET膜)
〔载物台1〕
邻接地配置有四棱锥状突起的橡胶制载物台。
突起高度:1mm
突起间隔:2.8mm
突起根数:每32mm×32mm为126根
载物台尺寸:纵150mm、横200mm
部分接触面积率:5%
〔载物台2〕
以正方格子状配置有线状突起的树脂制载物台。
突起高度:1mm
突起间隔:3mm
突起宽度:1mm
突起根数:每32mm×32mm为20根
载物台尺寸:纵150mm、横200mm
部分接触面积率:44%
〔载物台3〕
平坦的橡胶制抗静电垫。
载物台尺寸:纵150mm、横200mm
部分接触面积率:100%
〔实施例1〕
使用载物台1,在其上将上述光学膜按照其分离膜侧(凸侧)与载物台1接触的方式进行载置,用尺子测定了其卷曲量。将结果示于表1中。
接着,从光学膜剥离分离膜而使粘接粘合剂层露出,按照使露出的粘接粘合剂层成为载物台侧的方式载置于载物台1上。之后,从载物台1卸下光学膜。光学膜能够容易地卸下。另外,卸下后的光学膜的卷曲程度用尺子进行了测定,结果与载置前同样。
〔实施例2〕
将实施例1中使用的载物台1变换为载物台2,与实施例1同样地测定了上述光学膜的卷曲量。将结果示于表1中。
接着,从光学膜剥离分离膜而使粘接粘合剂层露出,按照使露出的粘接粘合剂层成为载物台侧的方式载置于载物台2上。之后,从载物台2卸下光学膜。能够从载物台2容易地卸下光学膜。另外,卸下后的光学膜的卷曲程度用尺子进行了测定,结果与载置前同样。
〔比较例1〕
为了使用载物台3来测定上述光学膜的卷曲量而将光学膜载置于载物台3上时,光学膜与载物台3的密合面积逐渐扩大而使卷曲量发生变化,最终光学膜的全体与载物台3密合,因此放弃了卷曲量的测定。接着,从光学膜剥离防护膜而使粘接粘合剂层露出,按照使露出的粘接粘合剂层成为载物台侧的方式载置于载物台3上。之后,从载物台3卸下光学膜。对多个光学膜进行了同样的操作,结果是有的光学膜破裂。另外,卸下的光学膜的表观的翘曲与载置前明显不同。
[表1]
部分接触面积率(%) | 卷曲量(mm) | |
实施例1 | 5 | 15 |
实施例2 | 44 | 15 |
比较例1 | 100 | 无法测定 |
Claims (3)
1.一种载物台,其是用于测定光学膜的物性值的载物台,其部分接触面积率在所述载物台的光学膜载置面的全部区域中为45%以下,
所述载物台在所述光学膜载置面具有突起,
所述突起相互以均匀的间隔进行配置,并且,所述突起在所述载物台的纵向或横向上以0.5mm以上且30mm以下的间隔进行配置,
所述突起为点状突起或线状突起,
所述线状突起的与所述光学膜载置面垂直的方向的截面形状具有曲率。
2.一种光学膜的物性测定装置,其具备权利要求1所述的载物台。
3.一种测定方法,其是光学膜的物性值的测定方法,其包括:
在权利要求1所述的载物台上载置光学膜的工序;
对载置于所述载物台的光学膜的物性值进行测定的工序;以及
从载物台卸下所述光学膜的工序。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018-132392 | 2018-07-12 | ||
JP2018132392 | 2018-07-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110715793A CN110715793A (zh) | 2020-01-21 |
CN110715793B true CN110715793B (zh) | 2023-11-28 |
Family
ID=69210093
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910617937.6A Active CN110715793B (zh) | 2018-07-12 | 2019-07-09 | 载物台、物性测定装置及测定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7343314B2 (zh) |
KR (1) | KR20200007690A (zh) |
CN (1) | CN110715793B (zh) |
TW (1) | TW202022360A (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN116465826B (zh) * | 2023-03-15 | 2023-10-24 | 东阳市诰源闪光材料有限公司 | 一种用于光学膜偏光率测试装置及测试方法 |
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-
2019
- 2019-07-03 JP JP2019124424A patent/JP7343314B2/ja active Active
- 2019-07-09 CN CN201910617937.6A patent/CN110715793B/zh active Active
- 2019-07-10 KR KR1020190083139A patent/KR20200007690A/ko unknown
- 2019-07-10 TW TW108124299A patent/TW202022360A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110715793A (zh) | 2020-01-21 |
JP7343314B2 (ja) | 2023-09-12 |
JP2020016645A (ja) | 2020-01-30 |
KR20200007690A (ko) | 2020-01-22 |
TW202022360A (zh) | 2020-06-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |