CN110453186A - 一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法。这种旋转镍铬合金靶材是通过以下的方法制得:1)制备平均粒径D50为20μm~100μm的镍铬粉末;2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管,对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理;3)转动靶材基管,将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面,制得靶材;4)将冷喷涂后的靶材进行机加工,制得旋转镍铬合金靶材成品。本发明制备旋转镍铬合金靶材的方法工艺简单、操作方便、合金成分范围宽,适合大规模工业生产。所制得的靶材纯度高,相对密度大,氧含量低,晶粒尺寸均匀性好。
Description
技术领域
本发明涉及一种旋转靶材,特别涉及一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法。
背景技术
靶材作为溅射镀膜中的重要耗材,其质量直接关系镀膜产品的优劣。影响靶材质量的主要因素是:靶材致密度、晶粒尺寸大小及均匀性等。靶材致密度越高,放电现象越弱,性能越好。对于同一成分的靶材来说,晶粒尺寸小的溅射速率较快且均匀性好的,薄膜厚度分布也相对均匀。
目前镍铬合金靶材主要应用于低辐射玻璃、半导体、光通讯工业等行业。随着通讯行业、新能源行业的技术升级,特别是5G等对于性能提升的迫切需求,高品质合金靶材的附加值必然升高,市场前景较为光明。
现阶段镍铬合金靶材大部分使用热喷涂工艺,由于镍、铬极易氧化,靶材氧含量较高,其氧含量达到15000-30000ppm,密度90-95%,粉末利用率55-60%。
发明内容
为了克服现有技术热喷涂工艺制备镍铬合金靶材存在的问题,本发明的目的在于提供一种低氧含量(氧含量≤1500ppm)的旋转镍铬合金靶材及其制备方法,这种旋转镍铬合金靶材是通过冷喷涂工艺制成。
本发明所采取的技术方案是:
本发明提供了一种旋转镍铬合金靶材的制备方法。这种旋转镍铬合金靶材的制备方法包括以下步骤:
1)制备镍铬粉末:制备平均粒径D50为20μm~100μm的镍铬粉末;
2)准备基管:以不锈钢管或钛管作为靶材基管,对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理;
3)冷喷涂:转动靶材基管,将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面,制得靶材;
4)成型:将冷喷涂后的靶材进行机加工,制得旋转镍铬合金靶材成品。
优选的,这种制备方法的步骤1)中,镍铬粉末除Ni、Cr外的其他元素总含量≤0.5wt%,Ni含量为20wt%~80wt%,余量为Cr。
优选的,这种制备方法的步骤1)中,镍铬粉末的纯度≥99.5%。
优选的,这种制备方法的步骤2)中,以304无磁不锈钢管作为靶材基管。
优选的,这种制备方法的步骤2)中,表面喷砂处理是指采用磨料对靶材基管表面进行喷砂,去除靶材基管表面污垢和氧化层;进一步的,表面喷砂处理所用的磨料选自白刚玉、铸钢砂、钢丝切丸中的一种或多种,优选的磨料为铸钢砂。
优选的,这种制备方法的步骤2)中,打底处理的方式选自电弧喷涂、火焰喷涂或等离子喷涂;进一步的,打底处理所用的原料选自丝材或粉末,其中,所用的丝材选自铜铝丝、铜镍丝、镍铝丝、蒙乃尔丝中的一种或多种;所用的粉末选自镍包铝复合粉和/或铝包镍复合粉。
优选的,这种制备方法的步骤2)中,打底处理的方式为电弧喷涂;进一步优选的,打底处理的方式为铜镍丝电弧喷涂或铜铝丝电弧喷涂。
优选的,这种制备方法的步骤2)中,打底处理后靶材基管表面粗糙度Ra为200μm~500μm;进一步优选的,打底处理后靶材基管表面粗糙度Ra为280μm~350μm。
这种制备方法的步骤3)具体是,将打底处理后的靶材基管安装在传动设备上,使其自转,将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面,沉积形成涂层。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,靶材基管绕其中心轴转动。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,靶材基管的转速为100r/min~150r/min;进一步优选的,靶材基管的转速为110r/min~130r/min。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,喷枪在靶材基管的水平方向上相对往返移动。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,喷枪的移动速度为25mm/s~40mm/s;进一步优选的,喷枪的移动速度为30mm/s~35mm/s。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,冷喷涂的工艺条件如下:主气压力为2MPa~8MPa;载气压力为3MPa~8.5MPa;主气加热温度为300℃~1000℃;喷涂距离为20mm~100mm;进一步优选的,主气压力为4MPa~6MPa;载气压力为4.5MPa~7MPa;主气加热温度为600℃~800℃;喷涂距离为30mm~50mm。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,冷喷涂所用的主气和载气分别独立选自氮气或惰性气体;进一步优选的,冷喷涂所用的主气和载气分别独立选自氮气或氦气;再进一步优选的,冷喷涂所用的主气和载气均采用氮气。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,冷喷涂时设有冷却装置进行冷却。设有冷却装置的目的是减少基管及涂层受热膨胀。进一步优选的,冷却装置包括水冷装置或气冷装置,其中,水冷装置为在靶材基管内部通入循环水,水温为5℃~40℃;气冷装置为在靶材基管周围设有风刀,气冷所用的气体为低温压缩空气或氮气;进一步优选的,冷喷涂时设有水冷装置冷却,所用的水为常温水。
优选的,这种制备方法的步骤3)中,冷喷涂时还将除尘风口对应喷枪的圆周区域且随喷枪来回移动,收集未沉积的镍铬粉末。通过除尘风口收集未沉积的镍铬粉末,可以防止镍铬粉末掺杂入涂层中,保证材料的密度和纯度。
本发明还提供了一种如上述方法制得的旋转镍铬合金靶材。
优选的,这种旋转镍铬合金靶材的氧含量≤1500ppm。
本发明的有益效果是:
本发明制备旋转镍铬合金靶材的方法工艺简单、操作方便、合金成分范围宽,适合大规模工业生产。所制得的靶材纯度高(≥99.5%),相对密度大(≥95%),尺寸不受限制,厚度可达到3~12mm,长度可达到4000mm,氧含量低(≤1500ppm),晶粒尺寸均匀性好。
本发明采用的是冷喷涂工艺,减少了氧气及其他杂质的介入,氧含量低于传统喷涂技术;同时冷喷涂温度低,低于材料熔点,形成的涂层成分均匀,晶粒尺寸小。产品的良率高,粉末利用率高,易于大规模生产。
附图说明
图1是实施例3的靶材内部显微图片。
具体实施方式
本发明低氧含量旋转镍铬合金靶材的制备方法,具体包括以下步骤:
1)制备镍铬粉末:镍铬粉末的粒度要求为D50是20μm~100μm,纯度≥99.5%,除Ni、Cr外其他元素总含量≤0.5wt%,镍含量为20wt%~80wt%,其余为铬;
2)准备基管:优选304无磁不锈钢管作为靶材基管,使用铸钢砂对基管表面进行喷砂处理,然后再使用铜镍丝电弧打底,经打底处理后的基管表面粗糙度Ra为200~500μm。
3)冷喷涂:将打底处理后的靶材基管安装在设备上,调节电机使其绕中心轴转动,同时冷喷涂喷枪在水平方向上相对往返运动。调节压力和温度,镍铬粉末通过冷喷涂喷枪高速溅射到基管表面沉积形成涂层,得到靶材。冷喷涂的工艺参数如下:主气压力为2MPa~8MPa;载气压力为3MPa~8.5MPa;主气加热温度为300℃~1000℃;喷涂距离为20mm~100mm;靶材基管的转速为100r/min~150r/min;喷枪的移动速度为25mm/s~40mm/s。考虑成本及运输存储因素,所用的主气和载气均为氮气。靶材基管内部通入循环水,所用的水为常温水,通过常温水冷却的方式进行冷却,减少基管及涂层受热膨胀。同时,将除尘风口正对喷枪这一圆周区域且跟随喷枪来回移动,便于收集未沉积的粉末,防止掺杂入涂层中,保证密度和纯度。
4)成型:将冷喷涂完成后的靶材进行机加工成需要的尺寸和精度,制得低氧含量(氧含量≤1500ppm)的成品。
以下再通过具体的实施例对本发明的内容作进一步详细的说明。实施例中所用的原料如无特殊说明,均可从常规商业途径得到。
实施例1
本例为304不锈钢管上制备镍铬合金靶材(质量比Ni:Cr=30:70),制备方法具体如下:
1)制造中位粒径D50为35μm的镍铬合金粉末,其中镍铬的质量比为30:70,纯度为99.5%。
2)选用内径80mm、外径89mm、管长650mm的304不锈钢管作为靶材基管,加工不锈钢管,防护密封面及单槽后,使用铸钢砂进行喷砂处理;再使用铜镍丝电弧打底,粗糙度经测量为280μm-320μm。
3)将打底处理后的靶材基管安装在传动设备上,调节电机使其绕中心轴转动,转速为120r/min;启动冷喷涂设备,冷喷涂喷枪在水平方向上相对往返运动,通入常温水为循环冷却水。同时除尘风口正对喷枪这一圆周区域且跟随喷枪来回移动,便于收集未沉积的粉末。镍铬粉末通过冷喷涂喷枪高速溅射到基管表面沉积形成涂层,得到靶材。冷喷涂的工艺参数如下:主气压力为4.5MPa;载气压力为5MPa;主气加热温度为700℃;喷涂距离为45mm;喷枪的移动速度为30mm/s。
4)将冷喷涂完成后的靶材进行机加工,制得成品。
经检测,涂层结构致密,成分均匀,无裂纹及坑点。靶材各指标如下:厚度为4mm,密度97%,氧含量1100ppm,粉末利用率66%。
实施例2
本例为304不锈钢管上制备镍铬合金靶材(质量比Ni:Cr=50:50),制备方法具体如下:
1)制造中位粒径D50为38μm的镍铬合金粉末,其中镍铬的质量比为50:50,纯度为99.7%。
2)选用内径125mm、外径133mm、管长1550mm的304不锈钢管作为靶材基管,加工不锈钢管,防护密封面及单槽后,使用铸钢砂进行喷砂处理;再使用铜铝丝电弧打底,粗糙度经测量为300μm-350μm。
3)将打底处理后的靶材基管安装在传动设备上,调节电机使其绕中心轴转动,转速为120r/min;启动冷喷涂设备,冷喷涂喷枪在水平方向上相对往返运动,通入常温水为循环冷却水。同时除尘风口正对喷枪这一圆周区域且跟随喷枪来回移动,便于收集未沉积的粉末。镍铬粉末通过冷喷涂喷枪高速溅射到基管表面沉积形成涂层,得到靶材。冷喷涂的工艺参数如下:主气压力为5MPa;载气压力为5.6MPa;主气加热温度为750℃;喷涂距离为40mm;喷枪的移动速度为35mm/s。
4)将冷喷涂完成后的靶材进行机加工,制得成品。
经检测,涂层结构致密,成分均匀,无裂纹及坑点。靶材各指标如下:厚度为6mm,密度98%,氧含量850ppm,粉末利用率70%。
实施例3
本例为304不锈钢管上制备镍铬合金靶材(质量比Ni:Cr=80:20),制备方法具体如下:
1)制造中位粒径D50为45μm的镍铬合金粉末,其中镍铬的质量比为80:20,纯度为99.9%。
2)选用内径125mm、外径133mm、管长2100mm的304不锈钢管作为靶材基管,经铸钢砂喷砂及铜镍丝电弧打底后,粗糙度经测量为320μm-360μm。
3)将处理后的靶材基管安装在传动设备上,调节电机使其绕中心轴转动,转速为120r/min;再启动冷喷涂设备,冷喷涂喷枪在水平方向上相对往返运动,通入常温水为循环冷却水。同时除尘风口正对喷枪这一圆周区域且跟随喷枪来回移动,便于收集未沉积的粉末。镍铬粉末通过冷喷涂喷枪高速溅射到基管表面沉积形成涂层,得到靶材。冷喷涂的工艺参数如下:主气压力为5MPa;载气压力为5.5MPa;主气加热温度为750℃;喷涂距离为40mm;喷枪的移动速度为35mm/s。
4)将冷喷涂完成后的靶材进行机加工,制得成品。
经检测,涂层结构致密,成分均匀,无裂纹及坑点。靶材各指标如下:厚度为5mm,密度97%,氧含量750ppm,粉末利用率75%。
附图1是实施例3制成的镍铬合金靶材内部显微图片。
对实施例3制成的靶材进行手持式XRF检测,随机选取涂层表面的两个点,检测结果如表1所示。
表1实施例3手持式XRF检测结果
从图1的显微图片及表1的检测结果可以看出,实施例3制成的镍铬合金靶材成分均匀。
现有热喷涂工艺制成的镍铬合金靶材氧含量达到15000ppm~30000ppm,密度90%~95%,粉末利用率55%~60%。可见,本发明制成的镍铬合金靶材与现有技术相比,氧含量更低,相对密度更大,粉末利用率更高。
上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制,其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种旋转镍铬合金靶材的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
1)制备镍铬粉末:制备平均粒径D50为20μm~100μm的镍铬粉末;
2)准备基管:以不锈钢管或钛管作为靶材基管,对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理;
3)冷喷涂:转动靶材基管,将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面,制得靶材;
4)成型:将冷喷涂后的靶材进行机加工,制得旋转镍铬合金靶材成品。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤1)中,镍铬粉末除Ni、Cr外的其他元素总含量≤0.5wt%,Ni含量为20wt%~80wt%,余量为Cr。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤2)中,表面喷砂处理是指采用磨料对靶材基管表面进行喷砂,去除靶材基管表面污垢和氧化层。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤2)中,打底处理的方式选自电弧喷涂、火焰喷涂或等离子喷涂。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述步骤2)中,打底处理后靶材基管表面粗糙度Ra为200μm~500μm。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤3)中,靶材基管绕其中心轴转动,喷枪在靶材基管的水平方向上相对往返移动。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述步骤3)中,冷喷涂的工艺条件如下:主气压力为2MPa~8MPa;载气压力为3MPa~8.5MPa;主气加热温度为300℃~1000℃;喷涂距离为20mm~100mm;所述主气和载气分别独立选自氮气或惰性气体。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于:所述步骤3)中,冷喷涂时还将除尘风口对应喷枪的圆周区域且随喷枪来回移动,收集未沉积的镍铬粉末。
9.一种如权利要求1~8任一项所述方法制得的旋转镍铬合金靶材。
10.根据权利要求9所述的一种旋转镍铬合金靶材,其特征在于:所述旋转镍铬合金靶材的氧含量≤1500ppm。
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