CN103774101A - 超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法 - Google Patents
超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103774101A CN103774101A CN201410051665.5A CN201410051665A CN103774101A CN 103774101 A CN103774101 A CN 103774101A CN 201410051665 A CN201410051665 A CN 201410051665A CN 103774101 A CN103774101 A CN 103774101A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- powder
- thermospray
- pipe target
- oxygen content
- ultra low
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
本发明属于靶材制造技术领域,具体涉及一种超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法。金属粉体的选用,将热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中,金属粉体采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂,对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得超低氧含量热喷涂管靶。制备的超低氧含量热喷涂管靶的氧含量为1-2000ppm,纯度为99-99.999%,平均粒径为1-100微米,孔隙率为0.1-3%。本发明设计合理,简单易行,适用于工业化生产,制备的超低氧含量热喷涂管靶具有超低的氧含量、细小的晶粒和高的致密度。
Description
技术领域
本发明属于靶材制造技术领域,具体涉及一种超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法。
背景技术
物理气相沉积方法是目前成长最快,应用最广的国际主流镀膜工艺,广泛应用于半导体芯片、液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微型元器件、磁记录装置、光记录装置、光学镀膜、抗磨损和抗腐蚀的表面改性等行业。物理气相沉积所用到的核心材料就是靶材,靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单而言,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关,随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进,靶材技术也应随之变化。
靶材质量的评判标准主要有如下方面:
(1)原材料的纯度:材料的纯度一般要求到2N5(99.5%)以上,特别是氧含量、碳含量的控制;
(2)金属的微观结构的控制,即晶粒、晶向(织构)的控制,获得晶粒细小,晶粒取向一致的靶材更有利于溅射;
(3)异形金属间大尺寸的高端焊接:只有焊接强度达到一定的要求才能获得靶材更好的导热、导电性能,并且不会出现在溅射过程脱落的现象;
(4)精密的机加工:由于溅射靶材在高真空的条件下使用,并要配以复杂的电极及气体通道,其精密加工技术极为重要;
(5)产品的清洗与封装:高真空下工作的靶材必须经过严格的清洗,不能有任何尘埃及有机物覆着。
由于有溅射面积大和溅射效率高的要求,Low-E玻璃镀膜行业用的靶材逐步采用管状靶材,它较平面靶材具有更高的材料利用率。一般而言平面靶材的材料利用率只有20%-30%,而管状靶材的材料利用率可以达到70%-80%,在Low-E玻璃行业得到广泛的应用。
氧含量是靶材质量的重要的评判标准,低的氧含量可以让靶材具有更好的成膜性能,Low-E玻璃行业可以让薄膜具有更好的透光率,达到更高的节能标准,在平板显示行业可以获得更好的透光率和导电性。氧含量的控制主要侧重两个方面,即原材料的氧含量及生产过程氧的引入。
发明内容
本发明的目的是提供一种超低氧含量热喷涂管靶,具有超低的氧含量、细小的晶粒和高的致密度;本发明同时提供了超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,设计合理,简单易行,适用于工业化生产。
本发明所述的超低氧含量热喷涂管靶的氧含量为1-2000ppm,纯度为99-99.999%,平均粒径为1-100微米,孔隙率为0.1-3%。
所述的超低氧含量热喷涂管靶的材质是镍铬(Ni-Cr)、硅铝(Si-Al)、锌锡(Zn-Sn)、锌铝(Zn-Al)、锡(Sn)、钛(Ti)、铬(Cr)或铌(Nb)中的一种。
本发明所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,步骤如下:
(1)金属粉体的选用,
(2)将热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中,金属粉体采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂;
(3)对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得超低氧含量热喷涂管靶。
步骤(1)中所述的金属粉体是镍粉、铬粉、硅粉、铝粉、锌粉、锡粉、钛粉或铌粉中的一种或两种。
步骤(1)中所述的金属粉体的选用是当金属粉体中含有铝粉、锌粉或锡粉时,直接选用D50为20-80微米、纯度为99.5-99.999%、氧含量为1-1000ppm的铝粉、锌粉或锡粉;当金属粉体中含有镍粉、铬粉、硅粉、钛粉或铌粉时,将镍粉、铬粉、硅粉、钛粉或铌粉放入推板窑炉中进行氢气还原处理,获得氧含量为1-1000ppm的镍粉、铬粉、硅粉、钛粉或铌粉。
所述的氢气还原处理中氢气纯度为99.9-99.999%,还原温度为600-1400度,还原时间为2-10小时。
步骤(2)中所述的金属粉体为镍粉、铬粉、硅粉、铝粉、锌粉、锡粉、钛粉或铌粉中的一种时,直接取用;金属粉体为镍粉、铬粉、硅粉、铝粉、锌粉、锡粉、钛粉或铌粉中的两种时,用三维混料机对粉体进行混粉。
所述的混粉时间为5-60分钟。
步骤(2)中所述的喷涂时间为24-72小时。
本发明与现有技术相比,具有如下有益效果:
本发明设计合理,简单易行,适用于工业化生产,制备的超低氧含量热喷涂管靶具有超低的氧含量、细小的晶粒和高的致密度。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明做进一步描述。
实施例1
(1)选用D50=48微米的镍粉和铬粉,纯度为99.5%;将镍粉和铬粉放入推板窑炉中进行氢气还原处理,氢气纯度为99.9%,还原温度为1250度,还原时间为4小时,获得氧含量分别为177ppm、268ppm的粉体原料;
(2)用三维混料机对粉体进行混粉,混粉时间为20分钟;对热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中,采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂,喷涂时间为48小时;
(3)对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得氧含量为718ppm的热喷涂管靶。
实施例2
(1)选用D50=25微米的锌粉和铝粉,纯度为99.5%,粉体的氧含量分别为371ppm、422ppm;
(2)用三维混料机对粉体进行混粉,混粉时间为10分钟;对热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中,采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂,喷涂时间为36小时;
(3)对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得氧含量为966ppm的热喷涂管靶。
实施例3
(1)选用D50=65微米的铬粉,纯度为99.5%;将粉体放入推板窑炉中进行氢气还原处理,氢气纯度为99.9%,还原温度为1250度,还原时间为4小时,获得氧含量为311ppm的粉体原料;
(2)对热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中,采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂,喷涂时间为52小时;
(3)对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得氧含量为879ppm的热喷涂管靶。
对比例1
(1)选用D50=48微米的镍粉和铬粉,纯度为99.5%;
(2)用三维混料机对粉体进行混粉,混粉时间为20分钟;
(3)采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂,喷涂时间为48小时;
(4)对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得氧含量为6548ppm的热喷涂管靶。
Claims (9)
1.一种超低氧含量热喷涂管靶,其特征在于所述的超低氧含量热喷涂管靶的氧含量为1-2000ppm,纯度为99-99.999%,平均粒径为1-100微米,孔隙率为0.1-3%。
2.根据权利要求1所述的超低氧含量热喷涂管靶,其特征在于所述的超低氧含量热喷涂管靶的材质是镍铬、硅铝、锌锡、锌铝、锡、钛、铬或铌中的一种。
3.一种权利要求1或2所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,其特征在于步骤如下:
(1)金属粉体的选用,
(2)将热喷涂设备及喷涂基体置入氩气保护气氛中,金属粉体采用等离子热喷涂的方式对工件进行喷涂;
(3)对喷涂完毕的工件进行精密机械加工,即获得超低氧含量热喷涂管靶。
4.根据权利要求3所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,其特征在于步骤(1)中所述的金属粉体是镍粉、铬粉、硅粉、铝粉、锌粉、锡粉、钛粉或铌粉中的一种或两种。
5.根据权利要求4所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,其特征在于步骤(1)中所述的金属粉体的选用是当金属粉体中含有铝粉、锌粉或锡粉时,直接选用D50为20-80微米、纯度为99.5-99.999%、氧含量为1-1000ppm的铝粉、锌粉或锡粉;当金属粉体中含有镍粉、铬粉、硅粉、钛粉或铌粉时,将镍粉、铬粉、硅粉、钛粉或铌粉放入推板窑炉中进行氢气还原处理,获得氧含量为1-1000ppm的镍粉、铬粉、硅粉、钛粉或铌粉。
6.根据权利要求5所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,其特征在于所述的氢气还原处理中氢气纯度为99.9-99.999%,还原温度为600-1400度,还原时间为2-10小时。
7.根据权利要求3所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,其特征在于步骤(2)中所述的金属粉体为镍粉、铬粉、硅粉、铝粉、锌粉、锡粉、钛粉或铌粉中的一种时,直接取用;金属粉体为镍粉、铬粉、硅粉、铝粉、锌粉、锡粉、钛粉或铌粉中的两种时,用三维混料机对粉体进行混粉。
8.根据权利要求7所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,其特征在于所述的混粉时间为5-60分钟。
9.根据权利要求3所述的超低氧含量热喷涂管靶的制备方法,其特征在于步骤(2)中所述的喷涂时间为24-72小时。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410051665.5A CN103774101A (zh) | 2014-02-14 | 2014-02-14 | 超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410051665.5A CN103774101A (zh) | 2014-02-14 | 2014-02-14 | 超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103774101A true CN103774101A (zh) | 2014-05-07 |
Family
ID=50566844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410051665.5A Pending CN103774101A (zh) | 2014-02-14 | 2014-02-14 | 超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103774101A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110453186A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-11-15 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法 |
CN112962049A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 | 一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102286717A (zh) * | 2011-09-01 | 2011-12-21 | 基迈克材料科技(苏州)有限公司 | 以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法 |
CN102388159A (zh) * | 2009-04-10 | 2012-03-21 | 圣戈班涂敷技术公司 | 钼基靶和通过热喷镀制备靶的方法 |
CN102677005A (zh) * | 2012-05-21 | 2012-09-19 | 烟台希尔德新材料有限公司 | 一种大型高致密铬靶的制造方法 |
-
2014
- 2014-02-14 CN CN201410051665.5A patent/CN103774101A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102388159A (zh) * | 2009-04-10 | 2012-03-21 | 圣戈班涂敷技术公司 | 钼基靶和通过热喷镀制备靶的方法 |
CN102286717A (zh) * | 2011-09-01 | 2011-12-21 | 基迈克材料科技(苏州)有限公司 | 以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法 |
CN102677005A (zh) * | 2012-05-21 | 2012-09-19 | 烟台希尔德新材料有限公司 | 一种大型高致密铬靶的制造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110453186A (zh) * | 2019-08-05 | 2019-11-15 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法 |
CN112962049A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 山东昊轩电子陶瓷材料有限公司 | 一种超低氧含量热喷涂管靶的生产工艺 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103060793A (zh) | 一种以冷喷涂方法制备的难熔金属旋转溅射靶材 | |
CN104416160B (zh) | 高致密度氧化锌基靶材及其制备方法 | |
CN104775097A (zh) | 一种低电阻率微硼掺杂旋转溅射硅靶材及其制备方法 | |
CN100485082C (zh) | 一种直流磁控共溅射法制备ZnO:Al透明导电薄膜的方法 | |
CN101985735A (zh) | 一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜 | |
CN102174689A (zh) | Fzo/金属/fzo透明导电薄膜及其制备方法 | |
CN105063559A (zh) | 增强光电性能Zr元素掺杂AZO靶材 | |
CN104818465A (zh) | 铜铟镓旋转靶材及采用可控气氛冷喷涂制备铜铟镓旋转靶材的方法 | |
CN105908139A (zh) | 电子部件用层叠布线膜和被覆层形成用溅射靶材 | |
JP4779798B2 (ja) | 酸化物焼結体、ターゲット、およびそれを用いて得られる透明導電膜 | |
CN105603354A (zh) | 电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法 | |
CN101654770B (zh) | 一种在柔性基材上制备氧化铟锡导电膜的生产工艺 | |
CN103774101A (zh) | 超低氧含量热喷涂管靶及其制备方法 | |
CN105349951A (zh) | 采用等离子喷涂工艺制备锌合金氧化物靶材的方法 | |
CN105986233A (zh) | 电子部件用层叠布线膜和覆盖层形成用溅射靶材 | |
CN106282924B (zh) | 一种具有(400)晶面择优的铟锡氧化物薄膜材料的制备方法 | |
EP2616566A1 (en) | Improved method of co-sputtering alloys and compounds using a dual c-mag cathode arrangement and corresponding apparatus | |
CN114436642A (zh) | 一种氧化铟锡合金靶材的制备方法 | |
CN105039917B (zh) | 一种具有蓝宝石表层的玻璃镜片及其制备方法 | |
CN103613286A (zh) | 一种金色薄膜的制备方法 | |
CN105058923A (zh) | 增强镀膜玻璃耐磨和耐腐蚀性能的溅射靶材及制造方法 | |
CN206244651U (zh) | 可钢化高透低辐射镀膜玻璃 | |
CN105063557A (zh) | 一种定向增加ito导电膜阻值的方法 | |
CN103981497B (zh) | 一种柔性衬底ZnS薄膜的制备方法 | |
CN102719789B (zh) | 一种复合薄膜及其镀膜方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20140507 |