CN109979970B - 有机发光显示面板及使用其的有机发光显示设备 - Google Patents
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Abstract
公开了一种有机发光显示面板及使用其的有机发光显示设备,其中,开关晶体管和驱动晶体管被设置在彼此不同的各自的层上。为此,有机发光显示面板包括:基板,所述基板由多个像素隔开;驱动晶体管,其被设置在所述像素的第一像素中并以顶栅型设置在所述基板上;第一绝缘膜,其用于覆盖所述驱动晶体管;开关晶体管,其以顶栅型设置在所述第一绝缘膜上;第二绝缘膜,其用于覆盖所述第一绝缘膜和所述开关晶体管;平坦化膜,其被设置在所述第二绝缘膜上;有机发光二极管,其被设置在所述平坦化膜上并且与所述驱动晶体管的驱动第一导体连接。
Description
技术领域
本公开涉及一种有机发光显示面板和使用该有机发光显示面板的有机发光显示设备。
背景技术
有机发光显示设备使用自发光器件,并且具有低功耗,因此已广泛用作平板显示设备。
图1是示出现有技术的有机发光显示设备的截面的示例图。
有机发光显示设备的每个像素基本上可用两个晶体管和一个电容器操作。
例如,如图1所示,现有技术的有机发光显示设备的每一个像素包括:与选通线和数据线连接的开关晶体管Tsw,包括阳极31、发光层32和阴极32的有机发光二极管30,连接到阳极31和开关晶体管Tsw的驱动晶体管Tdr,以及形成在驱动晶体管的源极和栅极之间的存储电容器Cst。在这种情况下,驱动晶体管Tdr和开关晶体管Tsw形成在同一层上。
为了提高有机发光显示设备的图像均匀性和可靠性,构成有机发光显示设备的每个像素的像素驱动器可进一步包括补偿电路,该补偿电路包括至少一个晶体管。
当在像素驱动器中进一步提供补偿电路时,像素驱动器需要附加线和附加接触孔。因此,像素驱动器的面积可能增加,或者可能无法在被设置为特定宽度的像素驱动器中设置所有元件。特别地,当以高分辨率实现有机发光显示设备时,由补偿电路引起的空间限制问题多。
例如,通过补偿电路的空间限制减小了存储电容器的面积,从而可使驱动晶体管的性能或补偿电路的性能劣化。
另外,由于附加接触孔引起的接触孔数量的增加可能导致工艺缺陷。
即使没有设置补偿电路,但是由于以高分辨率实现有机发光显示设备,因此也可能出现存储电容器的面积减小,驱动晶体管的性能劣化,导致工艺缺陷,并产生空间限制的问题。
发明内容
鉴于上述问题做出了本公开,本公开的目的是提供一种有机发光显示面板和使用该有机发光显示面板的有机发光显示设备,其中开关晶体管和驱动晶体管被设置在彼此不同的各自的层上。
根据本公开的一方面,上述和其他目的可通过提供一种有机发光显示面板来实现,该有机发光显示面板包括:由多个像素划分的基板,被设置在多个像素的第一像素中并以顶栅型设置在基板上的驱动晶体管,用于覆盖驱动晶体管的第一绝缘膜,以顶栅型设置在第一绝缘膜上的开关晶体管,用于覆盖第一绝缘膜和开关晶体管的第二绝缘膜,被设置在第二绝缘膜上的平坦化膜,以及被设置在平坦化膜上并与驱动晶体管的驱动第一导体连接的有机发光二极管。在这种情况下,被设置在第一绝缘膜上的开关线包括构成开关晶体管的开关第一导体、开关第二导体和开关有源层。开关第二导体与驱动晶体管的驱动栅极连接。
根据本公开的另一方面,提供了一种有机发光显示设备,该有机发光显示设备包括有机发光显示板,用于向被设置在有机发光显示面板中的选通线提供选通脉冲的选通驱动器,用于向被设置在有机发光显示面板中的数据线提供数据电压的数据驱动器,以及用于控制选通驱动器和数据驱动器的控制器。
附记1.一种有机发光显示面板,所述有机发光显示面板包括:
基板,所述基板由多个像素隔开;
驱动晶体管,所述驱动晶体管被设置在所述多个像素的第一像素中并以顶栅型设置在所述基板上;
第一绝缘膜,所述第一绝缘膜用于覆盖所述驱动晶体管;
开关晶体管,所述开关晶体管以顶栅型设置在所述第一绝缘膜上;
第二绝缘膜,所述第二绝缘膜用于覆盖所述第一绝缘膜和所述开关晶体管;
平坦化膜,所述平坦化膜被设置在所述第二绝缘膜上;
有机发光二极管,所述有机发光二极管被设置在所述平坦化膜上并且与所述驱动晶体管的驱动第一导体连接;以及
开关线,所述开关线被设置在所述第一绝缘膜上并且包括构成所述开关晶体管的开关第一导体、开关第二导体和开关有源层,
其中,所述开关第二导体与所述驱动晶体管的驱动栅极连接。
附记2.根据附记1所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在所述第一绝缘膜与所述基板之间的驱动线,其中,所述驱动线包括构成所述驱动晶体管的驱动有源层、驱动第二导体和所述驱动第一导体。
附记3.根据附记1所述的有机发光显示面板,其中,所述开关第二导体通过被设置在所述第一绝缘膜上的第一接触孔与所述驱动栅极连接。
附记4.根据附记1所述的有机发光显示面板,其中,用于与所述开关第二导体一起形成存储电容器的存储电容器电极被设置在所述第二绝缘膜上,并且所述存储电容器电极通过被设置在所述第二绝缘膜上的第二接触孔和被设置在所述第一绝缘膜上的第三接触孔与所述驱动第一导体连接。
附记5.根据附记4所述的有机发光显示面板,其中,所述存储电容器电极将所述驱动第一导体和所述有机发光二极管连接。
附记6.根据附记1所述的有机发光显示面板,其中,用于遮蔽光的遮光层(lightshield)被设置在与所述基板的所述驱动晶体管对应的区域中,并且所述第一绝缘膜被设置在覆盖所述遮光层的缓冲层上。
附记7.根据附记6所述的有机发光显示面板,其中,所述驱动第一导体通过被设置在所述缓冲层上的第四接触孔与所述遮光层连接。
附记8.根据附记2所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在所述第一像素中的感测晶体管,该感测晶体管连接在所述驱动第一导体与感测线之间,
其中,被设置在所述第一像素中的所述感测晶体管包括:
感测第一导体,其从所述驱动线延伸;
感测有源层,其被设置在与所述感测第一导体相同的层上并且与所述感测第一导体连接;以及
感测第二导体,其被设置在与所述感测有源层相同的层上并且与所述感测有源层连接以及与所述感测线连接。
附记9.根据附记8所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在与所述第一像素相邻的第二像素中的感测晶体管,并且该感测晶体管与被设置在所述第一像素中的感测晶体管相对应,
其中,被设置在所述第二像素的感测晶体管包括感测第一导体、感测有源层和感测第二导体,被设置在所述第二像素的感测晶体管中的感测第一导体、感测有源层和感测第二导体对应于被设置在所述第一像素中的感测第一导体、感测有源层以及感测第二导体,并且
被设置在所述第一像素的感测第二导体与被设置在所述第二像素的感测第二导体在同一层上连接。
附记10.根据附记9所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在所述第一绝缘膜与所述基板之间的缓冲层,其中,所述感测线被设置在所述缓冲层与所述基板之间,并且被设置在所述第一像素中的感测第二导体和被设置在所述第二像素的感测第二导体通过被设置在所述缓冲层上的第五接触孔与所述感测线连接。
附记11.根据附记2所述的有机发光显示面板,其中,所述开关第二导体和所述驱动第一导体通过在该开关第二导体与该驱动第一导体之间插入所述第一绝缘膜而彼此交叠。
附记12.一种有机发光显示设备,所述有机发光显示设备包括:
根据附记1-11中的任一个所述的有机发光显示面板;
选通驱动器,所述选通驱动器用于向被设置在所述有机发光显示面板中的选通线提供选通脉冲;
数据驱动器,所述数据驱动器用于向被设置在所述有机发光显示面板中的数据线提供数据电压;以及
控制器,所述控制器用于控制所述选通驱动器和所述数据驱动器。
附记13.根据附记12所述的有机发光显示设备,所述有机发光显示设备还包括被设置在所述第一绝缘膜与所述基板之间的驱动线,其中,所述驱动线包括构成所述驱动晶体管的驱动有源层、驱动第二导体和所述驱动第一导体。
附记14.根据附记12所述的有机发光显示设备,其中,所述开关第二导体通过被设置在所述第一绝缘膜上的第一接触孔与所述驱动栅极连接。
附记15.根据附记12所述的有机发光显示设备,其中,用于与所述开关第二导体一起形成存储电容器的存储电容器电极被设置在所述第二绝缘膜上,并且所述存储电容器电极通过被设置在所述第二绝缘膜上的第二接触孔和被设置在所述第一绝缘膜上的第三接触孔与所述驱动第一导体连接。
附记16.根据附记15所述的有机发光显示设备,其中,所述存储电容器电极将所述驱动第一导体和所述有机发光二极管连接。
附记17.根据附记12所述的有机发光显示设备,用于遮蔽光的遮光层被设置在与所述基板的所述驱动晶体管对应的区域中,并且所述第一绝缘膜被设置在覆盖所述遮光层的缓冲层上。
附记18.根据附记17所述的有机发光显示设备,其中,所述驱动第一导体通过被设置在所述缓冲层上的第四接触孔与所述遮光层连接。
附记19.根据附记13所述的有机发光显示设备,所述有机发光显示设备还包括被设置在所述第一像素中的感测晶体管,该感测晶体管连接在所述驱动第一导体与感测线之间,
其中,被设置在所述第一像素中的所述感测晶体管包括:
感测第一导体,其从所述驱动线延伸;
感测有源层,其被设置在与所述感测第一导体相同的层上并且与所述感测第一导体连接;以及
感测第二导体,其被设置在与所述感测有源层相同的层上并且与所述感测有源层连接以及与所述感测线连接。
附记20.根据附记19所述的有机发光显示设备,所述有机发光显示面板还包括被设置在与所述第一像素相邻的第二像素中的感测晶体管,并且该感测晶体管与被设置在所述第一像素中的感测晶体管相对应,
其中,被设置在所述第二像素的感测晶体管包括感测第一导体、感测有源层和感测第二导体,被设置在所述第二像素的感测晶体管中的感测第一导体、感测有源层和感测第二导体对应于被设置在所述第一像素中的感测第一导体、感测有源层以及感测第二导体,并且
被设置在所述第一像素的感测第二导体与被设置在所述第二像素的感测第二导体在同一层上连接。
附图说明
根据以下结合附图的详细描述,将更清楚地理解本公开的上述和其他目的、特征和其他优点,在附图中:
图1是示出根据现有技术的有机发光显示面板的示例图;
图2是示出根据本公开的有机发光显示面板的示例性图;
图3是示出被设置在根据本公开的有机发光显示面板中的两个相邻像素的示意图;
图4是示出被设置在根据本公开的有机发光显示面板中的两个像素的平面图;
图5A是示出沿图4中所示的线A-A'截取的截面的示例图;
图5B是示出沿图4中所示的线C-C'截取的截面的示例图;
图6是示出沿图4中所示的线B-B'截取的横截的示例图;
图7是示出被设置在根据本公开的有机发光显示面板中的两个相邻像素的平面和被设置在现有技术中的有机发光显示面板中的两个相邻像素的平面的示例图;以及
图8A至图16B是示出制造根据本公开的有机发光显示面板的方法的示例图。
具体实施方式
通过以下参照附图描述的实施方式,将阐明本公开的优点和特征及其实现方法。然而,本公开可通过不同的形式实施,并且不应该被解释为限于这里阐述的实施方式。相反,提供这些实施方式是为了使本公开彻底和完整,并且将本公开的范围完全传达给本领域技术人员。此外,本公开仅由权利要求的范围限定。
在本说明书中,在可能的情况下,在所有附图中将使用相同的附图标记来指代相同或相似的部件。
用于描述本公开的实施方式的附图中公开的形状、尺寸、比率、角度和数量仅仅是示例,因此,本公开不限于所示出的细节。在整个说明书中,相似的附图标记指代相似的元件。在以下描述中,当确定相关已知功能或配置的详细描述不必要地模糊本公开的重点时,将省略详细描述。在使用本说明书中描述的“包含”、“具有”和“包括”的情况下,除非使用“仅”,否则可添加另一部分。除非另有相反的说明,否则单数形式的术语可以报考复数形式
在构造元件时,尽管没有明确的描述,但是该元件被解释为包括误差范围。
在描述位置关系时,例如,当位置关系被描述为“在…上面”、“在…上方”、“在…下面”和“在…旁边”时,除非使用“紧邻”或“直接”,否则可在两个部分之间布置一个或更多个部分。
在描述时间关系时,例如,当时间顺序被描述为“在…之后”、“在…后”、“下一个”和“在…之前”时,除非使用“刚好”或“直接”,否则可包括不连续的情况。
术语“至少一个”应该被理解为包括一个或更多个相关所列项的任何和所有组合。例如,例如,“第一项、第二项和第三项中的至少一个”的含义表示从第一项、第二项和第三项中的两个或更多个中提出的所有项的组合以及第一项、第二项或第三项。
应当理解,尽管这里可使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件,但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件与另一个元件。例如,第一元件可以被称为第二元件,并且类似地,第二元件可以被称为第一元件,而不脱离本公开的范围。
如本领域技术人员可充分理解的,本公开的各种实施方式的特征可部分地或整体地彼此连接或者彼此组合,并且可彼此不同地相互操作并且在技术上驱动。本公开的实施方式可彼此独立地执行,或者可以以相互依存关系一起执行。
在下文中,将参照附图详细描述本公开的优选实施方式。在下文中,作为本公开的示例,将描述被设置有N型晶体管的有机发光显示面板。然而,根据本公开的有机发光显示面板可被设置有P型晶体管、或者可被设置有N型晶体管和P型晶体管的混合类型。因此,考虑到N型晶体管或P型晶体管,可在以下描述中进行各种改进。
图2是示出根据本公开的有机发光显示面板的示例性图,图3是示出被设置在根据本公开的有机发光显示面板中的两个相邻像素的示意图。
如图2所示,根据本公开的有机发光显示设备包括:有机发光显示面板100,该有机发光显示面板100用于输出图像,在其上形成由选通线GL1至GLg和数据线DL1至DLd限定的像素110;选通驱动器200,该选通驱动器200用于顺序地向被设置在有机发光显示面板100中的选通线GL1至GLg提供选通脉冲;数据驱动器300,该数据驱动器300用于向被设置在有机发光显示面板100中的数据线DL1至DLd提供数据电压;以及控制器400,该控制器400用于控制选通驱动器200和数据驱动器300。
有机发光显示面板100的结构和功能将在下面进行描述。
有机发光显示面板100包括被提供选通脉冲的选通线GL1至GLg,被提供数据电压的数据线DL1至DLd,由选通线GL1至GLg和数据线DL1至DLd限定的像素110,其中在每个像素110中提供至少两个薄膜晶体管(下文中,简称为晶体管)。
如图3所述,被设置在有机发光显示面板100中的每个像素110包括用于输出光的有机发光二极管OLED、以及用于驱动有机发光二极管OLED的像素驱动器PD。
在每个像素110中形成用于向像素驱动器PD提供驱动信号的信号线DL、GL、PLA、PLB、SL和SPL。
数据电压Vdata被提供给数据线DL,选通脉冲GP被提供给选通线GL,第一驱动电压EVDD被提供给第一电压供应线PLA,第二驱动电压EVSS被提供(supply)给第二电压供应线PLB,感测电压Vini被提供给感测线SL,并且用于导通或截止感测晶体管Tsw2的感测脉冲SP被提供给感测脉冲线SPL。第一驱动电压从第一驱动电压供应部分提供,第二驱动电压从第二驱动电压供应部分提供。
如图3所示,像素驱动器PD可包括:开关晶体管Tsw1,该开关晶体管Tsw1与选通线GL和数据线DL连接;驱动晶体管Tdr,该驱动晶体管Tdr用于根据通过开关晶体管Tsw1发送的数据电压Vdata控制输出到有机发光二极管OLED的电流的大小;以及感测晶体管Tsw2,该感测晶体管Tsw2用于感测驱动晶体管Tdr的特性。感测晶体管Tsw2可以是补偿电路,并且还可在补偿电路中提供除了感测晶体管Tsw2和电容器之外的另一晶体管。除了上述元件之外,像素驱动器PD还可包括用于控制驱动晶体管Tdr的发光定时的发光晶体管和用于其他目的的晶体管。
存储电容器Cst形成在驱动晶体管的栅极和有机发光二极管OLED的阳极之间。
开关晶体管Tsw1通过提供给选通线GL的选通脉冲导通,从而将提供给数据线DL的数据电压发送到驱动晶体管Tdr的栅极。
感测晶体管Tsw2与感测线SL及有机发光二极管OLED与驱动晶体管Tdr之间的第一节点n1连接,从而通过感测脉冲SP导通或截止,并且感测驱动晶体管的特性。如图3所示,虽然感测晶体管Tsw2可与感测线SL一对一连接,但是被设置在彼此相邻的第一像素111和第二像素112中的两个感测晶体管Tsw2可共享一条感测线SL。另外,例如,如果红色像素、绿色像素、蓝色像素和白色像素构成单位像素,则被设置在一个单位像素中的四个感测晶体管Tsw2可共享被设置在该单位像素中一条感测线SL。
连接到驱动晶体管Tdr的栅极的第二节点n2与开关晶体管Tsw1连接。存储电容器Cst形成在第二节点n2与第一节点n1之间。如果存储电容器Cst的电容(下文中,简称为存储电容)增加,则可改善驱动晶体管Cst的驱动特性,并且可提高感测晶体管Tsw2的感测灵敏度。
除了图3所示的结构之外,像素驱动器PD可通过进一步包括晶体管和电容器的多种结构形成。
被设置在像素驱动器PD中的晶体管可由氧化物薄膜晶体管、非晶硅晶体管、多晶硅薄膜晶体管和低温硅薄膜晶体管中的至少一种组成。
也可在设置有像素的显示区域以外的非显示区域中设置晶体管。例如,如果选通驱动器200被嵌入在有机发光显示面板100的非显示区域中,并且被设置在像素驱动器PD中的晶体管由氧化物薄膜晶体管组成,则构成选通驱动器200的晶体管也可由氧化物薄膜晶体管组成。因此,被设置在有机发光显示面板中的所有晶体管可通过相同的工艺生成。
下面,将参照图3至图16详细描述根据本公开的有机发光显示面板100的详细结构。
控制器400的功能如下。
控制器400通过使用诸如垂直同步信号、水平同步信号和时钟的从外部系统提供的定时信号输出用于控制选通驱动器200的选通控制信号GCS和用于控制数据驱动器300的数据控制信号DCS。控制器400在对输入图像数据进行采样之后重新调整从外部系统输入的输入图像数据,并将经重新调整的数字图像数据Data提供给数据驱动器300。
数据驱动器300的功能如下。
数据驱动器300将从控制器400输入的图像数据Data转换为模拟数据电压,并且在选通脉冲GP被提供给选通线GL的每一个水平周期将一条水平线的数据电压Vdata发送到数据线DL1至DLd。
选通驱动器200的功能如下。
响应于从控制器400输入的选通控制信号GCS,选通驱动器200将选通脉冲顺序地提供给有机发光显示面板100的选通线GL1至GLg。因此,形成在输入了选通脉冲的每个像素中的开关晶体管Tsw1可导通,从而可将图像输出到每个像素110。选通驱动器200可独立于有机发光显示面板100形成,并且可以以各种方式被设置为与有机发光显示面板100电连接。选通驱动器200可被设置为将选通驱动器200封装在有机发光显示面板100中的面板内栅极(GIP)方式。
在上述描述中,尽管数据驱动器300、选通驱动器200和控制器400被独立设置,但是数据驱动器300和选通驱动器200中的至少任何一个可与控制器400一起被设置在单个主体中。
图4是示出被设置在根据本公开的有机发光显示面板中的两个像素的平面图,图5A是示出沿图4中所示的线A-A'截取的截面的示例图,图5B是示出沿图4中所示的线C-C'截取的截面的示例图。在下文中,作为本公开的示例,将描述由使用氧化物半导体层的晶体管组成的有机发光显示面板。
如图3至图5B所示,根据本公开的有机发光显示面板100包括:由多个像素110隔开的基板101,被设置在像素的第一像素111中并以顶栅型设置在基板101上的驱动晶体管Tdr,用于覆盖驱动晶体管Tdr的第一绝缘膜104,以顶栅型设置在第一绝缘膜104上的开关晶体管Tsw1,覆盖第一绝缘膜104和开关晶体管Tsw1的第二绝缘膜105,被设置在第二绝缘膜105上的平坦化膜106,以及被设置在平坦化膜106上并与驱动晶体管的驱动第一导体120a连接的有机发光二极管OLED。除了上述元件外,有机发光显示面板100的第一像素111可以进一步包括用于遮蔽进入驱动晶体管Tdr的光的遮光层102,被设置在遮光层102和第一绝缘膜104之间的缓冲层103,用于与第一导体120a一起形成存储电容器Cst的存储电容器电极108,以及用于感测驱动晶体管Tdr的特性变化的感测晶体管Tsw2。在下文中,将按适当顺序描述被设置在第一像素111中的元件。
首先,基板101可以是玻璃基板,或者可以是塑料基板。多个像素110被设置在基板101中。
接下来,驱动晶体管Tdr被设置在基板101上。驱动晶体管Tdr被形成为顶栅型。
例如,包括构成驱动晶体管Tdr的驱动有源层120c、驱动第二导体120b和驱动第一导体120a的驱动线120可被设置在第一绝缘膜104和基板101之间。在图5A中,设置了有机发光显示面板,其中在第一绝缘膜104和基板101之间还设置了缓冲层103。在这种情况下,驱动线120可被设置在缓冲层103上。
驱动栅极绝缘膜121被设置在驱动有源层120c上以与驱动有源层120c交叠,并且驱动栅极122被设置在驱动栅极绝缘膜121上以与驱动栅极绝缘膜121交叠。
驱动有源层120c由氧化物半导体形成。驱动第一导体120a和驱动第二导体120b是从氧化物半导体变型的导体。例如,在对应于驱动有源层120c、驱动第一导体120a和驱动第二导体120b的区域中形成氧化物半导体之后,如果将等离子体注入到对应于驱动第一导体120a和驱动第二导体120b的区域中,则氧化物半导体被导体化,由此形成驱动第一导体120a和驱动第二导体120b。
尽管驱动第二导体120b通过第一电压供应线(PLA)172与第一驱动电压供应部分连接,但是由于驱动第二导体120b在除了沿图4中的线A-A'截取的截面之外的区域中连接到第一电压供应线(PLA)172,驱动第二导体120b和第一电压供应线(PLA)172在图5A中彼此不连接。而且,由于驱动第二导体120b不包括在沿图4的线A-A'截取的截面中,所以在图5A中省略了驱动第二导体120b。
接下来,第一绝缘膜104覆盖驱动晶体管Tdr。特别地,第一绝缘膜104完全覆盖驱动线120。第一绝缘膜104由有机材料或无机材料形成,并且可由至少一层组成。
接下来,开关晶体管Tsw1被设置在第一绝缘膜104上。开关晶体管Tsw1被形成为顶栅型。
例如,在第一绝缘膜104上设置包括构成开关晶体管Tsw1的开关第一导体130a、开关第二导体130b和开关有源层130c的开关线130。
在这种情况下,开关第二导体130b与驱动栅极122连接。为此,第一接触孔H1被设置在第一绝缘膜104上,并且开关第二导体130b通过被设置在第一绝缘膜104上的第一接触孔H1与驱动栅极122连接。
尽管开关第一导体130a与数据线DL连接,但由于数据线DL不包括在沿图4的线A-A'截取的截面中,因此在图5A和图5B中未示出数据线DL与开关第一导体130a连接。
开关栅极绝缘膜131被设置在开关有源层130c上以与开关有源层130c交叠,并且开关栅极132被设置在开关栅极绝缘膜131上以与开关栅极绝缘膜131交叠。
尽管开关栅极132与选通线(GL)173连接,但由于选通线(GL)173在除了沿图4中的线A-A'截取的截面之外的区域中与开关栅极132连接,开关栅极132和选通线(GL)173在图5A中彼此不连接。
开关有源层130c由氧化物半导体形成。开关第一导体130a和开关第二导体130b是从氧化物半导体变型的导体。例如,在对应于开关有源层130c、开关第一导体130a和开关第二导体130b的区域中形成氧化物半导体之后,如果将等离子体注入对应于开关第一导体130a和开关第二导体130b的区域,则氧化物半导体导通,从而形成开关第一导体130a和开关第二导体130b。
接下来,第二绝缘膜105覆盖第一绝缘膜104和开关晶体管Tsw1。第二绝缘膜105由有机材料或无机材料形成,并且可由至少一层形成。存储电容器电极108可被形成在第二绝缘膜105上。另外,可形成各种电极。例如,在图4、图5A和图5B中,附图标记171是与如上所述的发光晶体管的栅极连接的发光控制线。可使发光晶体管导通或截止的控制信号可通过发光控制线171被提供给发光晶体管的栅极。
接下来,平坦化膜106被设置在第二绝缘膜105上。平坦化膜106由有机材料或无机材料形成,并且可由至少一层组成。
平坦化膜106可用于对驱动晶体管Tdr和开关晶体管Tsw1的上端进行平坦化。
接下来,有机发光二极管OLED被设置在平坦化膜106上,并且与驱动晶体管Tdr的驱动第一导体120a连接。
有机发光二极管OLED包括阳极141、发光层142和阴极143。
构成有机发光二极管OLED的阳极141与驱动第一导体120a连接。有机发光二极管OLED由堤层107包围。像素可分别由堤层107划分。
接下来,存储电容器电极108被设置在第二绝缘膜105上,并与开关第二导体130b一起形成存储电容器。由于开关第二导体130b不是在图4的线A-A'中的第四接触孔H4附近形成,所以开关第二导体130b(也就是开关线130)在图5A中断开。然而,由于在图4的线C-C'中连续形成开关线,所以在图5B中连续形成开关第二导体130b。
存储电容器电极108与驱动第一导体120a连接。为此,第二接触孔H2被设置在第二绝缘膜105上,并且第三接触孔H3被设置在第一绝缘膜104上。存储电容器电极108通过第二接触孔H2和第三接触孔H3与驱动第一导体120a连接。
存储电容器电极108将驱动第一导体120a与有机发光二极管OLED连接。为此,在平坦化膜106上形成第六接触孔H6。阳极141通过第六接触孔H6与存储电容器电极108连接,存储电容器电极108通过第二接触孔H2和第三接触孔H3与驱动第一导体120a连接。因此,阳极141可与驱动第一导体120a连接。
最后,遮光层102可被设置在基板101的对应于驱动晶体管Tdr的区域中。可在遮光层102和基板101之间设置缓冲层。遮光层102由金属制成。
遮光层102被缓冲层103覆盖,并且第一绝缘膜104被设置在缓冲层103上。缓冲层103由有机材料或无机材料形成,并且可由至少一层组成。
由于在遮光层102没有与其他电极连接而是浮置的情况下可以改变驱动晶体管Tdr的特性,因此遮光层102可与驱动第一导体120a连接。为此,在缓冲层103上形成第四接触孔H4,并且驱动第一导体120a可通过第四接触孔H4与遮光层102连接。
图6是示出沿图4中所示的线B-B'截取的截面的示例图。在图6中,(a)是示出在现有技术的有机发光显示面板内的两个相邻像素P3和P4中设置的感测晶体管的截面的示例图,并且(b)是示出设置在图3中所示的第一像素111和第二像素112中的感测晶体管Tsw2的截面的示例图。具体地,在图6的(b)中示出了与感测线SL连接的构成感测晶体管Tsw2的感测第二导体120d。
如上所述,用于感测驱动晶体管Tdr的特性变化的感测晶体管Tsw2可进一步被设置在根据本公开的有机发光显示面板100中。
如图3和图6的(b)所示,被设置在第一像素111中的感测晶体管Tsw2可连接在驱动第一导体120a和感测线SL之间。
感测晶体管Tsw2包括从驱动线120延伸的感测第一导体,被设置在与感测第一导体相同的层上并与感测第一导体连接的感测有源层,以及被设置在与感测有源层相同的层上、与感测有源层连接并与感测线SL连接的感测第二导体120d。感测第一导体和感测第二导体120d是导体,并且感测有源层可由氧化物半导体制成。由于构成感测晶体管Tsw2的感测第一导体和感测有源层没有包括在沿图4的B-B'线截取的截面中,因此感测第一导体和感测有源层未在图6的(b)中示出。对应于感测第二导体120d的电极12d仅在图6的(a)中示出。在图6的(b)中,附图标记174表示图4中所示的数据线,附图标记130表示图4中所示的开关线。
驱动线120还包括感测第一导体、感测有源层和感测第二导体120d。也就是说,被设置在缓冲层103中的驱动线120可包括驱动晶体管Trd和感测晶体管Tsw2。
与被设置在第一像素111中的感测晶体管Tsw2对应的感测晶体管Tsw2也被设置在与第一像素111相邻的第二像素112中。
被设置在第二像素112中的感测晶体管Tsw2包括对应于被设置在第一像素111中的感测第一导体、感测有源层和感测第二导体120d的感测第一导体、感测有源层和感测第二导体120e。
在这种情况下,如图6的(b)所示,被设置在第一像111中的感测第二导体120d和被设置在第二像素的感测第二导体120e在同一层(例如缓冲层103)上相互连接。
为了将被设置在第一像素111中的感测第二导体120d和被设置在第二像素112中的感测第二导体120e与感测线SL连接,缓冲层103可被设置在第一绝缘膜104和基板101之间,感测线SL可被设置在缓冲层103和基板101之间,并且被设置在第一像素111中的感测第二导体120d和被设置在第二像素112中的感测第二导体120e通过被设置在缓冲层103上的第五接触孔H5与感测线SL连接。
也就是说,如果感测晶体管Tsw2被设置在根据本发明的有机发光显示面板的每个像素中,如图6的(b)所示,被设置在相邻像素中的感测第二导体120d和120e在同一层(例如,缓冲层103)上彼此连接,并且驱动线120包括感测第二导体120d和120e。
在这种情况下,假设第一像素111和第二像素112是有机发光显示面板100的第n水平线中的像素,图4顶部所示的感测第二导体120d和120e与形成在第n-1水平线中的驱动线120连接,其中第n-1水平线被设置在第n水平线上。
更详细地说,形成在第n-1水平线上的感测第二导体120d和120e与形成驱动晶体管Tdr的驱动线120连接,其中驱动晶体管Tdr形成在第n水平线上。
如上所述,在本公开中,如图6的(b)所示,共同连接到一条感测线SL并被设置在它们各自的像素中的感测第二导体120d和120e被连续地设置在同一层上而没有单独的桥接部。因此,在第一绝缘膜104和第二绝缘膜105上不需要用于将桥接部与感测第二导体120d和120e连接的接触孔。
然而,在现有技术的有机发光显示面板中,如图6的(a)所示,由于共同连接到一条感测线SL并被设置在它们各自的像素中的感测第二导体120d和120e通过桥接部13彼此连接,所以应该在覆盖感测第二导体12d和12e的第一绝缘膜14和第二绝缘膜15上设置接触孔。
更详细地说,在本公开中,由于共同连接到一条感测线SL并被设置在它们各自的像素中的感测第二导体120d和120e不需要通过桥接部13彼此连接,因此不需要用于连接桥接部的接触孔。因此,根据本公开的有机发光显示面板的接触孔的数量可小于现有技术的有机发光显示面板的接触孔的数量。结果,可容易地设计高分辨率的布局,可简化有机发光显示面板的制造工艺,并且可减少在接触孔的制造工艺中可能发生的缺陷。
图7是示出被设置在根据本公开的有机发光显示面板中的两个相邻像素的平面和被设置在现有技术中的有机发光显示面板中的两个相邻像素的平面的示例图。在图7中,(a)是示出现有技术中的有机发光显示面板中的两个相邻像素P5和P6的平面的示例图,以及(b)是示出根据本公开的有机发光显示面板的两个相邻像素111和112的平面的示例图。特别地,图7的(b)示出了与图4所示的平面相同的平面。
如参照图4至图6所描述的,与现有技术的有机发光显示面板100相比,在根据本公开的有机发光显示面板100中,可减少接触孔的数量。
而且,即使在将图1所示的现有技术的有机发光显示面板与根据图5A和图5B所示的本公开的有机发光显示面板100进行比较的情况下,根据本公开的有机发光显示面板100的接触孔的数量也小于现有技术的有机发光显示面板的接触孔的数量。
在根据本公开的有机发光显示面板100中,如上所述,存储电容器电极108和开关第二导体130b可形成存储电容器Cst,并且与存储电容器电极108连接的驱动第一导体120a和开关第二导体130b可形成存储电容器Cst。
如上所述,在根据本公开的有机发光显示面板中,可减少接触孔的数量,从而与现有技术相比可增加驱动第一导体120a的面积和开关第二导体130b的面积。
因此,根据图7的(b)所示的本公开的有机发光显示面板100的存储电容器的面积X可比图7的(a)所示的现有技术的有机发光显示面板的存储电容器的面积Y增大很多。
随着存储电容器Cst的面积增加,可提高驱动晶体管Tdr的性能和感测晶体管Tsw2的性能。
图8A至图16B是示出制造根据本公开的有机发光显示面板的方法的示例图。在图8至图16B中,图8A、图9A、图10A、图11A、图12A、图13A、图14A、图15A和图16A示出了有机发光显示板的两个像素111和112的平面,特别是图4和图7的(b)所示的平面。而且,在图8A至图16B中,图8B、图9B、图10B、图11B、图12B、图13B、图14B、图15B和图16B示出了像素中的一个(例如,沿图4的线A-A'截取的第一像素111)的截面。在下文中,将参照图8A至图16B描述用于形成图5A中所示的截面的方法以及图7的(b)和图4中所示的平面的方法。在以下描述中,将省略或简要描述与参照图2至图7进行的描述相同或相似的描述。
首先,如图8A和图8B所示,金属材料被设置在基板101上,并且遮光层102由金属材料形成。如图8A所示,用作各种配线的线以及形成在驱动晶体管Tdr的下端的遮光层102可通过金属材料形成在基板101上。例如,数据线(DL)174可与遮光层102一起形成在基板101上。
遮光层102和由金属材料形成的线被缓冲层103覆盖。
接下来,如图9A和9B所示,用于部分地暴露遮光层102的第四接触孔H4形成在缓冲层103上。
接下来,如图10A和10B所示,氧化物半导体120M被形成在缓冲层103上,并通过第四接触孔H4与遮光层102连接。
接下来,如图11A和11B所示,在氧化物半导体120M上形成驱动栅极绝缘膜121和驱动栅极122。
如果使用驱动栅极绝缘膜121和驱动栅极122作为掩模将等离子体照射到氧化物半导体120M中,则氧化物半导体120M变为导体。由于与氧化物半导体120M的驱动栅极122和驱动栅极绝缘膜121交叠的区域不受等离子体的影响,因此该区域被保持为氧化物半导体并且变为驱动有源层120c。氧化物半导体120M的导体区域包括驱动第一导体120a和驱动第二导体120b。
驱动有源层120c、驱动第一导体120a、驱动第二导体120b、驱动栅极绝缘膜121和驱动栅极122形成驱动晶体管Tdr。
驱动有源层120c、驱动第一导体120a和驱动第二导体120b形成驱动线120。
接下来,如图12A和12B所示,在驱动线120、驱动晶体管Tdr和缓冲层103上形成第一绝缘膜104,在第一绝缘膜104上形成用于部分地暴露驱动栅极122的第一接触孔H1。
除了第一接触孔H1之外,还在第一绝缘膜104上形成用于各种目的的接触孔。
接下来,如图13A和13B所示,氧化物半导体130M被形成在第一绝缘膜104上,并通过第一接触孔H1与驱动栅极122连接。
接下来,如图14A和14B所示,在氧化物半导体130M上形成开关栅极绝缘膜131和开关栅极132。
如果使用开关栅极绝缘膜131和开关栅极132作为掩模将等离子体照射到氧化物半导体130M中,则氧化物半导体130M变为导体。由于与氧化物半导体130M的开关栅极132和开关栅极绝缘膜131交叠的区域不受等离子体的影响,因此该区域被保持为氧化物半导体并且变为开关有源层130c。氧化物半导体130M的导体区域包括开关第一导体130a和开关第二导体130b。
开关有源层130c、开关第一导体130a、开关第二导体130b、开关栅极绝缘膜131和开关栅极132形成开关晶体管Tsw1。
开关有源层130c、开关第一导体130a和开关第二导体130b形成开关线130。
接下来,如图15A和图15B所示,在开关线130、开关晶体管Tsw1和第一绝缘膜104上形成第二绝缘膜105。在第二绝缘膜105上形成用于部分地暴露第一绝缘膜104的第二接触孔H2。
除了第二接触孔H2和第三接触孔H3之外,还在第二绝缘膜105和第一绝缘膜104上形成用于各种目的的接触孔。接下来,如图16A和16B所示,在第二绝缘膜105上形成存储电容器电极108。存储电容器电极108通过第二接触孔H2和第三接触孔H3与驱动第一导体120a连接。
发光控制线171、第一电压供应线(PLA)172和选通线(GL)173可形成在第二绝缘膜105上。在这种情况下,选通线(GL)173与开关栅极132连接。如上所述,尽管开关栅极132与选通线(GL)173连接,但是由于选通线(GL)173在沿图4中的线A-A'截取的截面之外的区域中与开关栅极132连接,因此在图16B中,开关栅极132和选通线(GL)173不相互连接。
最后,如图5A和5B所示,在存储电容器电极108和第二绝缘膜105上形成平坦化膜106,在平坦化膜106上形成第六接触孔H6,在平坦化膜106上形成包括阳极141、发光层142和阴极143的有机发光二极管OLED。阳极141通过接触孔H6与存储电容器电极108连接。由于存储电容器电极108与驱动第一导体120a连接,所以阳极141与驱动第一导体120a连接。
有机发光二极管OLED由被设置在平坦化膜106上的堤层107包围,并且像素可由堤层107隔开。
在通过上述工艺制造的根据本发明的有机发光显示面板中,开关晶体管Tsw1和驱动晶体管Tdr可被设置在它们各自的层上,由此,可简化每个像素的像素驱动器PD的布置结构。
而且,根据本公开,由于存储电容器Cst可另外形成在由于布置结构的简化和桥接部的省略而剩余的空间中,可增加存储电容,因此可改善驱动晶体管的性能和补偿电路的性能。
如上所述,根据本公开,可获得以下效果和优点。
根据本公开,开关晶体管和驱动晶体管可被设置在彼此不同的各自的层上,从而可简化每个像素的像素驱动器的布置结构。
特别地,由于可省略用于连接像素驱动器的各个元件的桥接部,因此与现有技术相比可减少接触孔的数量。因此,可容易地设计高分辨率的布局。
而且,根据本公开,由于存储电容器可另外形成在由于布置结构的简化和桥接部的省略而剩余的空间中,可增加存储电容,因此可改善驱动晶体管的性能和补偿电路的性能。例如,基于200ppi或更高的高分辨率,根据本公开,现有存储电容可增加到三倍或更多。
除了如上所述的本公开的效果之外,本领域技术人员将从本公开的以上描述中清楚地理解本公开的其他优点和特征。
对于本领域技术人员来说显而易见的是,上述本公开不限于上述实施方式和附图,在不脱离本公开的精神或范围的情况下,可在本公开中进行各种替换,修改和变化。因此,本公开的范围由所附权利要求限定,并且旨在从权利要求的含义、范围和等同概念导出的所有变型或修改都落入本公开的范围内。
可组合上述各种实施方式以提供进一步的实施方式。本说明书中提及和/或在申请数据表中列出的所有美国专利、美国专利申请公开、美国专利申请、外国专利、外国专利申请和非专利出版物均通过引用整体并入本文。如果需要,可修改实施方式的各方面以采用各种专利、申请和公开的思想来提供进一步的实施方式。
根据以上详细描述,可对实施方式进行上述和其他改变。通常,在所附权利要求中,所使用的术语不应被解释为将权利要求限制于说明书和权利要求中公开的特定实施方式,而应被解释为包括所有可能的实施方式以及这些权利要求享有的等同物的全部范围。因此,权利要求不受本公开的限制。
Claims (20)
1.一种有机发光显示面板,所述有机发光显示面板包括:
基板,所述基板由多个像素隔开;
驱动晶体管,所述驱动晶体管被设置在所述多个像素的第一像素中并以顶栅型设置在所述基板上;
第一绝缘膜,所述第一绝缘膜用于覆盖所述驱动晶体管;
开关晶体管,所述开关晶体管以顶栅型设置在所述第一绝缘膜上;
第二绝缘膜,所述第二绝缘膜用于覆盖所述第一绝缘膜和所述开关晶体管;
平坦化膜,所述平坦化膜被设置在所述第二绝缘膜上;
有机发光二极管,所述有机发光二极管被设置在所述平坦化膜上并且与所述驱动晶体管的驱动第一导体连接;以及
开关线,所述开关线被设置在所述第一绝缘膜上并且包括构成所述开关晶体管的开关第一导体、开关第二导体和开关有源层,
其中,所述开关第二导体与所述驱动晶体管的驱动栅极连接,并且
其中,用于与所述开关第二导体一起形成存储电容器的存储电容器电极被设置在所述第二绝缘膜上,并且所述存储电容器电极与所述驱动第一导体连接。
2.根据权利要求1所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在所述第一绝缘膜与所述基板之间的驱动线,其中,所述驱动线包括构成所述驱动晶体管的驱动有源层、驱动第二导体和所述驱动第一导体。
3.根据权利要求1所述的有机发光显示面板,其中,所述开关第二导体通过被设置在所述第一绝缘膜上的第一接触孔与所述驱动栅极连接。
4.根据权利要求1所述的有机发光显示面板,其中,所述存储电容器电极通过被设置在所述第二绝缘膜上的第二接触孔和被设置在所述第一绝缘膜上的第三接触孔与所述驱动第一导体连接。
5.根据权利要求4所述的有机发光显示面板,其中,所述存储电容器电极将所述驱动第一导体和所述有机发光二极管连接。
6.根据权利要求1所述的有机发光显示面板,其中,用于遮蔽光的遮光层被设置在与所述基板的所述驱动晶体管对应的区域中,并且所述第一绝缘膜被设置在覆盖所述遮光层的缓冲层上。
7.根据权利要求6所述的有机发光显示面板,其中,所述驱动第一导体通过被设置在所述缓冲层上的第四接触孔与所述遮光层连接。
8.根据权利要求2所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在所述第一像素中的感测晶体管,该感测晶体管连接在所述驱动第一导体与感测线之间,
其中,被设置在所述第一像素中的所述感测晶体管包括:
感测第一导体,其从所述驱动线延伸;
感测有源层,其被设置在与所述感测第一导体相同的层上并且与所述感测第一导体连接;以及
感测第二导体,其被设置在与所述感测有源层相同的层上并且与所述感测有源层连接以及与所述感测线连接。
9.根据权利要求8所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在与所述第一像素相邻的第二像素中的感测晶体管,并且该感测晶体管与被设置在所述第一像素中的感测晶体管相对应,
其中,被设置在所述第二像素的感测晶体管包括感测第一导体、感测有源层和感测第二导体,被设置在所述第二像素的感测晶体管中的感测第一导体、感测有源层和感测第二导体对应于被设置在所述第一像素中的感测第一导体、感测有源层以及感测第二导体,并且
被设置在所述第一像素的感测第二导体与被设置在所述第二像素的感测第二导体在同一层上连接。
10.根据权利要求9所述的有机发光显示面板,所述有机发光显示面板还包括被设置在所述第一绝缘膜与所述基板之间的缓冲层,其中,所述感测线被设置在所述缓冲层与所述基板之间,并且被设置在所述第一像素中的感测第二导体和被设置在所述第二像素的感测第二导体通过被设置在所述缓冲层上的第五接触孔与所述感测线连接。
11.根据权利要求2所述的有机发光显示面板,其中,所述开关第二导体和所述驱动第一导体通过在该开关第二导体与该驱动第一导体之间插入所述第一绝缘膜而彼此交叠。
12.一种有机发光显示设备,所述有机发光显示设备包括:
根据权利要求1-11中的任一项所述的有机发光显示面板;
选通驱动器,所述选通驱动器用于向被设置在所述有机发光显示面板中的选通线提供选通脉冲;
数据驱动器,所述数据驱动器用于向被设置在所述有机发光显示面板中的数据线提供数据电压;以及
控制器,所述控制器用于控制所述选通驱动器和所述数据驱动器。
13.根据权利要求12所述的有机发光显示设备,所述有机发光显示设备还包括被设置在所述第一绝缘膜与所述基板之间的驱动线,其中,所述驱动线包括构成所述驱动晶体管的驱动有源层、驱动第二导体和所述驱动第一导体。
14.根据权利要求12所述的有机发光显示设备,其中,所述开关第二导体通过被设置在所述第一绝缘膜上的第一接触孔与所述驱动栅极连接。
15.根据权利要求12所述的有机发光显示设备,其中,所述存储电容器电极通过被设置在所述第二绝缘膜上的第二接触孔和被设置在所述第一绝缘膜上的第三接触孔与所述驱动第一导体连接。
16.根据权利要求15所述的有机发光显示设备,其中,所述存储电容器电极将所述驱动第一导体和所述有机发光二极管连接。
17.根据权利要求12所述的有机发光显示设备,用于遮蔽光的遮光层被设置在与所述基板的所述驱动晶体管对应的区域中,并且所述第一绝缘膜被设置在覆盖所述遮光层的缓冲层上。
18.根据权利要求17所述的有机发光显示设备,其中,所述驱动第一导体通过被设置在所述缓冲层上的第四接触孔与所述遮光层连接。
19.根据权利要求13所述的有机发光显示设备,所述有机发光显示设备还包括被设置在所述第一像素中的感测晶体管,该感测晶体管连接在所述驱动第一导体与感测线之间,
其中,被设置在所述第一像素中的所述感测晶体管包括:
感测第一导体,其从所述驱动线延伸;
感测有源层,其被设置在与所述感测第一导体相同的层上并且与所述感测第一导体连接;以及
感测第二导体,其被设置在与所述感测有源层相同的层上并且与所述感测有源层连接以及与所述感测线连接。
20.根据权利要求19所述的有机发光显示设备,所述有机发光显示面板还包括被设置在与所述第一像素相邻的第二像素中的感测晶体管,并且该感测晶体管与被设置在所述第一像素中的感测晶体管相对应,
其中,被设置在所述第二像素的感测晶体管包括感测第一导体、感测有源层和感测第二导体,被设置在所述第二像素的感测晶体管中的感测第一导体、感测有源层和感测第二导体对应于被设置在所述第一像素中的感测第一导体、感测有源层以及感测第二导体,并且
被设置在所述第一像素的感测第二导体与被设置在所述第二像素的感测第二导体在同一层上连接。
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