CN109940792A - 搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法。搬送装置(20)包含成形对象物保持部(28)，所述成形对象物保持部(28)包括：成形对象物载置部(25)，载置成形对象物(S)；以及多个端缘限制构件(27)，其是设置于成形对象物载置部(25)的周缘或所述成形对象物载置部(25)的外侧并用以限制成形对象物(S)的端缘的构件，且能够朝成形对象物载置部(25)的内部的方向移动。树脂成形装置(10)包括搬送装置(20)、以及成形模(15)，所述成形模(15)包含具有安装成形对象物(S)的成形对象物安装部(1511A)的第一模(上模(151))、以及与所述第一模相向配置的第二模(下模(152))。

Description

搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法

技术领域

本发明涉及一种将成形对象物搬送至树脂成形装置的成形模的搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法。

背景技术

盛行使用成形模对基板等成形对象物进行树脂成形。为了将成形对象物安装于成形模的成形对象物安装部而使用了如下的树脂成形装置：所述树脂成形装置设置有将成形对象物搬送(搬入)至成形模的第1模与第2模之间的搬送装置。例如在专利文献1中，记载有通过利用多个支撑部对成形对象物的侧部进行支撑而将成形对象物的横向上的位置固定，以使所述位置与设置于作为第2模的上模的下表面的成形对象物安装部(箝位面)对准的方式将搬送装置(装运机(loader))搬入至成形对象物安装部的正下方后，从设置于成形对象物安装部的吸附孔抽吸气体，由此将成形对象物安装于成形对象物安装部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开2013-153146号公报(图15)

发明内容

发明所要解决的问题

成形对象物的外廓尺寸有时会因加工时产生的加工误差等而产生偏差。因此，存在如下情况：不能利用搬送装置的支撑部对成形对象物的侧部进行支撑，或者支撑部与成形对象物之间的间隙变大。此种情况下，存在如下担忧：不能利用搬送装置对成形对象物进行搬送，或者在将成形对象物安装于成形对象物安装部时，安装位置产生偏离。

因此，本发明的课题在于提供一种即便在成形对象物的外廓尺寸上产生偏差，也能够搬送成形对象物，且能够抑制朝向成形模的成形对象物安装部的安装位置的偏离的搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法。

解决问题的技术手段

为了解决上述课题而成的本发明的搬送装置是将成形对象物搬送至树脂成形装置的成形模的装置，包含成形对象物保持部，

所述成形对象物保持部包括：成形对象物载置部，载置所述成形对象物；以及多个端缘限制构件，其是设置于所述成形对象物载置部的周缘或所述成形对象物载置部的外侧并用以限制所述成形对象物的端缘的构件，且能够朝所述成形对象物载置部的内部的方向移动。

本发明的树脂成形装置包括：

所述搬送装置；以及

成形模，包含具有安装所述成形对象物的成形对象物安装部的第1模、以及与所述第1模相向配置的第2模。

本发明的树脂成形品制造方法包括：

搬入时成形对象物保持工序，将成形对象物载置于搬送装置的成形对象物保持部中所设置的成形对象物载置部，使设置于所述成形对象物载置部的周缘或所述成形对象物载置部的外侧并对所述成形对象物的端缘进行限制的多个端缘限制构件朝所述成形对象物载置部的内部的方向移动，由此将所述成形对象物保持于所述成形对象物保持部；

成形对象物搬入工序，以使所述成形对象物载置部的位置与成形模的成形对象物安装部对准的方式使所述成形对象物保持部移动，当将所述成形对象物安装于所述成形对象物安装部后，使所述成形对象物保持部移动至所述成形模的外部，所述成形模包含具有安装成形对象物的所述成形对象物安装部的第1模及与所述第1模相向配置的第2模；以及

树脂成形工序，在将所述第1模与所述第2模合模后，对所述成形对象物进行树脂成形。

发明的效果

根据本发明，即便在每个成形对象物的外廓尺寸上产生偏差，也能够搬送成形对象物，且能够抑制朝向成形模的成形对象物安装部的安装位置的偏离。

附图说明

图1是表示本发明的搬送装置以及树脂成形装置的一实施方式的概略图。

图2(a)是表示本实施方式的搬送装置的整体的俯视图，图2(b)是A-A'纵剖面图，图2(c)是B-B'纵剖面图。

图3(a)是表示本实施方式的搬送装置的升降架的俯视图，图3(b)是表示本实施方式的搬送装置的转动架的俯视图。

图4(a)及图4(b)是表示伴随转动架的转动的端缘限制构件的动向的图，图4(a)是表示端缘限制构件朝成形对象物载置部的内部的方向移动的情况的图，图4(b)是表示端缘限制构件朝成形对象物载置部的外部的方向移动的情况的图。

图5是表示本实施方式的搬送装置及树脂成形装置中的端缘限制构件的纵剖面图。

图6(a-1)～图6(b-2)是表示本实施方式的搬送装置及树脂成形装置中的转动架及端缘限制构件的动作的俯视图，图6(a-1)是表示使端缘限制构件朝成形对象物载置部的外部的方向移动的动作的图，图6(a-2)是图6(a-1)的局部放大图，图6(b-1)是表示使端缘限制构件朝成形对象物载置部的内部的方向移动的动作的图，图6(b-2)是图6(b-1)的局部放大图。

图7(a)～图7(f)是表示本实施方式的搬送装置以及成形模等的动作的图，图7(a)是表示朝上模与下模之间搬入搬送装置的图，图7(b)是表示搬送装置上升的图，图7(c)表示朝成形对象物安装部安装成形对象物的图，图7(d)是表示朝腔室铺设脱模膜以及供给树脂材料的图，图7(e)是表示合模的状态的图，图7(f)是表示开模的状态的图。

图8(a)及图8(b)是表示图7(a)～图7(f)所示的搬送装置以及成形模等的动作的后续的图，图8(a)是表示朝上模与下模之间搬入搬送装置的图，图8(b)是表示搬送装置上升的图。

图9(a)是表示第1变形例的搬送装置的俯视图，图9(b)是B-B'纵剖面图。

图10是表示第2变形例的搬送装置的成形对象物载置部及端缘限制构件的俯视图。

图11(a)是表示第3变形例的搬送装置的俯视图，图11(b)是表示第3变形例的搬送装置的侧面图。

图12是表示第3变形例的搬送装置的动作的侧面图。

图13(a)是表示施力构件控制部的变形例的构成的平面图，图13(b)是表示施力构件停止(OFF)的状态的平面图。

图14(a)是表示施力构件控制部的另一变形例的平面图，图14(b)是表示施力构件停止(OFF)的状态的平面图。

图15是表示具有本实施方式的搬送装置以及树脂成形装置的树脂成形单元的构成的概略图。

符号的说明

10：树脂成形装置；

15：成形模；

16：轨；

20、20B、20C、20D：搬送装置(搬送机构)；

21、21B、21D：底架；

22、22B、22D：升降架；

23：转动架；

24：非转动架；

25、25B、25C、25D：成形对象物载置部；

26、26B、26D：升降机构；

27、27A、27B、27C、27D：端缘限制构件；

28：成形对象物保持部；

29：夹具；

30：树脂成形单元；

31：材料接收模块；

32：成形模块；

33：支出模块；

35：搬送轨；

101：压缩成形装置；

111：衬底；

112：系杆；

113：曲柄连杆；

121：可动台板；

122：固定台板；

141：隔热材；

142：加热器；

151：上模(第1模)；

152：下模(第2模)；

211：凸状轨；

221：轴体；

222、222A：端缘限制构件引导凹部；

225、225A：止动件；

226A、226B：槽；

231：孔；

232、232A：端缘限制构件引导长孔；

234：扭转弹簧；

235：切口；

242、252、252C：端缘限制构件穿过孔；

252B：端缘限制构件收容孔；

271：端缘限制构件本体；

272、272C：端缘限制构件收容部；

273、2253A：弹性构件；

275B、275C：端缘限制构件移动部；

276B：连结杆；

311：成形对象物接收部；

312：树脂材料供给装置；

331：树脂成形品保持部；

1511：成形对象物安装部；

1512：气体抽吸孔；

1513：气体抽吸管；

1521：周壁构件；

1522：底面构件；

1523：弹性构件；

2241、2242、2243、2244：定位件；

2251A、2251B：杆；

2252A：辊；

2252B：钩；

C：腔室；

F：脱模膜；

P：树脂材料；

PS：树脂成形品；

S、S'：成形对象物；

SC：切口；

r₁、r₂、r₃、r₄；距离；

A-A'、B-B'：剖线。

具体实施方式

在本发明的搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法中，将成形对象物载置于成形对象物载置部，并使端缘限制构件朝所述成形对象物载置部的内部的方向移动，由此将成形对象物保持于成形对象物保持部。如此通过使用能够移动的端缘限制构件，即便在成形对象物的外廓尺寸上产生偏差，也能够保持成形对象物。另外，因能够以减小端缘限制构件与成形对象物之间的间隙的方式使端缘限制构件移动，从而能够抑制将成形对象物安装于成形对象物安装部的位置产生偏离。

端缘限制构件的形状并无特别限定。另外，成形对象物的种类及形状也无特别限定。作为能够应用本发明的成形对象物的种类，可列举半导体芯片、电路基板、引线框架、玻璃基板、金属基板等，作为成形对象物的形状，可列举圆形、矩形以及其他的多边形、椭圆形等。

本发明的树脂成形品制造方法还可包括：

搬出时成形对象物保持工序，在所述树脂成形工序后使所述第1模与所述第2模开模，以使所述成形对象物载置部的位置与所述成形对象物安装部对准的方式使所述成形对象物保持部移动，将进行了树脂成形而被安装于成形对象物安装部的所述成形对象物载置于所述成形对象物载置部，使所述端缘限制构件朝所述成形对象物载置部的内部的方向移动，由此将所述成形对象物保持于所述成形对象物保持部；以及

搬出工序，使所述成形对象物保持部移动至所述成形模的外部。

成形对象物的外廓尺寸的偏差除上述加工时产生的加工误差这一原因以外，例如也基于以下的原因而产生。第1原因的例子是起因于成形对象物的热膨胀。在树脂成形时第1模及第2模已升温至能够进行树脂成形的温度，因此成形对象物的温度在刚刚进行树脂成形后变得高于成形前的温度。为了提高生产效率，需要在温度充分下降前将成形对象物从成形对象物安装部卸下并搬出至成形模的外侧，因此成形对象物在搬出时，与搬入时相比产生热膨胀，从而在搬入时与搬出时外廓尺寸不同。另外，若成形对象物的材质不同则热膨胀率不同，因此成形对象物的外廓尺寸也因成形对象物的材质而不同。关于第2原因的例子，列举在进行以下所述的二次成型(overmold)的情况下产生的问题。二次成型是指进行树脂成形直至比成形对象物更靠外侧为止，且当进行在比经树脂密封的芯片更靠外侧处也设置配线或输入输出端子的扇出型封装时等使用。进行了二次成型的成形对象物的形状变得大于原来的形状，因此成形对象物的外廓尺寸在搬入时与搬出时不同。根据本发明的搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法，在所述第1原因及第2原因的例子中的任一者中均能对成形对象物进行保持，且能够抑制将成形对象物安装于成形对象物安装部的位置产生偏离。

另外，在所述第1原因及第2原因的例子中，在成形对象物朝成形模的搬入时与从成形模中搬出成形对象物时成形对象物的外廓尺寸不同，因此在专利文献1中记载的树脂成形装置中，与搬入用的搬送装置(装运机)独立地具备搬出用的搬送装置(卸载机(offloader))，从而成为树脂成形装置的成本上升的因素。与此相对，在本发明的搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法中，在搬入时与搬出时使用相同的搬送装置，因此能够抑制成本。

在本发明的搬送装置以及树脂成形装置中，理想的是所述成形对象物保持部还包括施力构件，所述施力构件对所述多个端缘限制构件朝所述方向(成形对象物载置部的内部的方向)进行施力。另外，在本发明的树脂成形品制造方法中，理想的是在将成形对象物保持于所述成形对象物保持部的状态下，利用施力构件对所述多个端缘限制构件在所述方向上进行施力。由此，在将成形对象物保持于成形对象物保持部期间，通过利用施力构件朝成形对象物载置部的内部的方向被施力的多个端缘限制构件而成形对象物得以保持，因此能够更稳定地对成形对象物进行保持。例如，存在如下情况：当成形对象物保持部及其所保持的成形对象物靠近已升温的第1模及第2模时，成形对象物保持部及成形对象物分别与各自的热膨胀率对应地产生膨胀。即便是此种情况，也能够通过对多个端缘限制构件朝成形对象物载置部的内部的方向进行施力来稳定地保持成形对象物。

在本发明的搬送装置中，可采用包括如下构件的构成：

板状的转动构件，绕转动中心进行转动；

端缘限制构件引导长孔，在所述转动构件上相对于多个所述端缘限制构件的各者而各设置一个，供所述端缘限制构件插通，且能够使所述端缘限制构件移动；以及

端缘限制构件移动限制部，相对于多个所述端缘限制构件的各者而各设置一个，将所述端缘限制构件能够移动的方向限制在穿过所述端缘限制构件与所述转动中心的直线上。此种搬送装置能够用于本发明的树脂成形装置以及树脂成形品制造方法。

根据具有所述转动构件、端缘限制构件引导长孔、以及端缘限制构件移动限制部的构成，通过使转动构件绕转动中心进行转动，端缘限制构件在端缘限制构件引导长孔内的位置发生变化，伴随于此，端缘限制构件以与转动中心的距离发生变化的方式在穿过所述端缘限制构件与所述转动中心的直线上进行移动。由此，能够使端缘限制构件朝成形对象物载置部的内部的方向、或所述方向的相反方向移动。

所述端缘限制构件引导长孔能够采用如下构成：连结所述端缘限制构件引导长孔的宽度方向上的中心的宽度方向中心线上的一点和所述转动中心的距离与不同于所述一点的所述宽度方向中心线上的一点和所述转动中心的距离不同。由此，当利用转动构件的转动而端缘限制构件在端缘限制构件引导长孔内的所述两个点之间进行移动时，所述两个点与转动中心的距离彼此不同，因此端缘限制构件在穿过所述端缘限制构件与所述转动中心的直线上进行移动。此处所谓的“宽度方向”是指将端缘限制构件引导长孔的外缘上的某一点、与从所述点夹持所述端缘限制构件引导长孔的内部而位于最短距离的所述外缘上的另一点连结的方向。

能够采用如下构成：所述端缘限制构件引导长孔以所述宽度方向中心线上的点与所述转动中心的距离随着所述点从所述宽度方向中心线的一端朝向另一端而增加的方式形成。由此，当使转动构件以俯视时顺时针或逆时针的任一方向进行转动时，端缘限制构件以靠近转动中心的方式进行移动，当使转动构件进行反方向转动时，端缘限制构件以远离转动中心的方式进行移动。

在具有所述施力构件的搬送装置以及树脂成形装置中，理想的是还包括施力构件控制部，所述施力构件控制部使所述施力构件的作动开始/停止(ON/OFF)。另外，在进行使用所述施力构件的操作的树脂成形品制造方法的所述搬入时成形对象物保持工序(及所述搬出时成形对象物保持工序)中，理想的是在将成形对象物载置于所述成形对象物载置部之前，使所述施力构件的作动停止，在将所述成形对象物载置于所述成形对象物载置部后，使所述施力构件的作动开始。由此，在将成形对象物载置于成形对象物载置部时，多个端缘限制构件不会利用施力构件朝成形对象物载置部的内部的方向被施力，因此能够在确保所述多个端缘限制构件与成形对象物之间的间隙的同时，将成形对象物载置于成形对象物载置部。

在本发明的搬送装置以及树脂成形装置中，理想的是全部的所述多个端缘限制构件能够连动地在所述方向上进行移动。另外，在本发明的树脂成形品制造方法中，理想的是在使所述多个端缘限制构件在所述方向上进行移动时，使全部的所述多个端缘限制构件连动地在所述方向上进行移动。由此，能够将成形对象物保持于成形对象物保持部的中央附近，从而能够提高朝成形对象物安装部的安装位置的精度。

理想的是在与载置于所述成形对象物载置部的所述成形对象物上所设置的切口(凹口(notch))对应的位置设置有所述多个端缘限制构件中的一个。由此，通过使切口的位置对准所述端缘限制构件来将所述成形对象物载置于所述成形对象物载置部，能够确定成形对象物载置部上的成形对象物的方向。

以下，使用图1～图15对本发明的搬送装置、树脂成形装置以及树脂成形品制造方法的更具体的实施方式进行说明。

(1)本实施方式的搬送装置以及树脂成形装置的构成

图1中，用概略图表示作为本发明的一实施方式的搬送装置(搬送机构)20、及作为本发明的一实施方式的且具有所述搬送装置20的树脂成形装置10的整体构成。所述树脂成形装置10是进行压缩成形的装置，且包括：衬底111、直立设置于衬底111上的四根(图1中仅示出两根，在纵深方向上设置有其余两根)系杆(tie bar)112、以能够进行上下移动的方式保持于系杆112的可动台板121、固定于系杆112的上端的固定台板122、以及设置于衬底111上的使可动台板121上下移动的曲柄连杆113。另外，树脂成形装置10在可动台板121的上表面具备下模152，在固定台板122的下表面具备上模151。由所述上模151与下模152构成一组成形模15。

上模151相当于所述第1模，且下表面成为保持成形对象物的成形对象物安装部1511，在所述成形对象物安装部1511上设置有气体抽吸孔1512。在上模151与固定台板122之间，在靠近上模151处设置有加热器142，在靠近固定台板122处设置有隔热材141。气体抽吸孔1512经由设置于上模151及加热器142内的气体抽吸管1513而连接于真空泵(未图示)。

下模152相当于所述第2模，且具有包含平面形状(俯视时)为圆形的框的周壁构件1521、装入至周壁构件1521的框内的且平面形状为圆形的底面构件1522、以及设置于周壁构件1521的下表面的弹性构件1523。由所述周壁构件1521及底面构件1522所包围的空间成为供给树脂材料的腔室C。再者，周壁构件1521的框及底面构件1522的形状能够根据制造的树脂成形品的形状而设为圆形以外的长方形等形状。在下模152与可动台板121之间，在靠近下模152处设置有加热器142，在靠近可动台板121处设置有隔热材141。利用至此为止所述的各构成要素来构成压缩成形装置101。

搬送装置20在成形模15为开模的状态下，能够在上模151和下模152之间(成形模15内)的成形对象物安装部1511的正下方的位置与成形模15的外侧之间沿横向进行移动，且在上表面具有载置成形对象物S的成形对象物载置部25。在本实施方式中，载置于成形对象物载置部25的成形对象物S为板状，且设为圆形的基板。

使用图2(a)～图5对搬送装置20的构成进行详细说明。

图2(a)是搬送装置20的整体的俯视图，图2(b)是图2(a)所示的A-A'纵剖面的图，图2(c)是图2(a)所示的B-B'纵剖面的图。搬送装置20具有底架21、升降架22、转动架(转动构件)23、非转动架24、成形对象物载置部25、升降机构26、以及端缘限制构件27。在本实施方式中，设置有十个端缘限制构件27，其中的九个以相等间隔(40°间隔)配置于圆周上。剩下的一个端缘限制构件27A配置于所述九个中邻接的两个端缘限制构件27之间，且配置于比所述圆周略靠内侧处。再者，此处所示的端缘限制构件27的个数只是一例，并不限定于此。升降架22、转动架23、非转动架24及成形对象物载置部25从下方起按照此顺序重叠设置，且均是平面形状的外廓为相同大小的圆形。升降架22设置于底架21上。

底架21在平面形状的一个方向(图2(a)的横向)上具有延伸至比升降架22等的外廓的圆更靠外侧处的形状。在底架21的所述一个方向上的两端的下表面设置有一对凸状轨211，所述一对凸状轨211在与所述一个方向正交的方向(图2(a)的纵向，图2(b)的与纸面垂直的方向)上延伸。在树脂成形装置10中，设置有与所述凸状轨211对应的轨16(在图2(a)～图2(c)中未图示。参照后述的图7(a)～图7(f))，搬送装置20的整体被这些轨引导而在成形模15内侧与成形模15外侧之间进行移动。

图3(a)中表示升降架22的俯视图，图3(b)中表示转动架23的俯视图。在升降架22的上表面的中心突出有轴体221。在转动架23的中心设置有供轴体221插通的孔231，转动架23以所述轴体221为转动中心进行转动。

在升降架22上设置有十个端缘限制构件引导凹部222，其中的九个沿着外廓的圆周以40°间隔设置于比升降架22的外廓稍靠内侧处(图2(c)、图3(a))。剩下的一个端缘限制构件引导凹部222A配置于所述九个中邻接的两个端缘限制构件引导凹部222之间，且配置于比所述九个端缘限制构件引导凹部222略靠内侧处。配置端缘限制构件引导凹部222A的圆周方向上的位置只要在将成形对象物安装于成形模时，与想要配置成形对象物中所设置的切口(凹口)的位置(想要面向切口的方向)对准而任意设定即可。一个端缘限制构件27所具有的圆筒状的端缘限制构件收容部272(后述)的下表面附近被保持于一个端缘限制构件引导凹部222(包含端缘限制构件引导凹部222A)中。端缘限制构件引导凹部222的与转动中心相交的直线(图3(a)中的点划线)延伸方向上的两端的距离设定地比端缘限制构件收容部272的直径大。另外，将端缘限制构件引导凹部222的与所述直线垂直的方向上的宽度设定地比所述距离短，且比端缘限制构件收容部272的直径稍大，以使端缘限制构件收容部272几乎不会在与所述直线垂直的方向上进行移动，且能够在所述直线的方向上进行移动。由此，端缘限制构件27以被端缘限制构件引导凹部222引导而在所述直线延伸的方向上进行移动的方式被限制。所述端缘限制构件引导凹部222相当于所述端缘限制构件移动限制部。

转动架23为板状，且设置有十个端缘限制构件引导长孔232，其中的九个沿着外廓的圆周以40°间隔设置于比转动架23的外廓稍靠内侧处(图3(b))。剩下的一个端缘限制构件引导长孔232A配置于所述九个中邻接的两个端缘限制构件引导长孔232之间，且配置于比所述九个端缘限制构件引导长孔232略靠转动架23的内侧处。在各端缘限制构件引导长孔232中，各插通一个保持于升降架22的端缘限制构件引导凹部222中的端缘限制构件27，其中在端缘限制构件引导长孔232A中插通端缘限制构件27A。端缘限制构件引导长孔232在与转动中心相交的直线延伸的方向上具有比端缘限制构件收容部272的直径略大的宽度。端缘限制构件引导长孔232中，将在所插通的端缘限制构件27在端缘限制构件引导长孔232的长边方向上进行移动的期间中端缘限制构件本体271描绘的轨迹(图3(b)中的粗线)规定为“宽度方向中心线”。以从所述宽度方向中心线的左端朝向右端(此处，左右是在端缘限制构件引导长孔232位于比转动中心更靠图3(b)所说的正上方的位置的情况下规定)，端缘限制构件引导长孔232与转动架23的转动中心(孔231的中心)的距离(在端缘限制构件引导长孔232的左端设为r₁，在右端设为r₂。另外，将端缘限制构件引导长孔232的左端设为“r₁端”，将右端设为“r₂端”)逐渐减少(因而r₁>r₂)的方式，相对于以所述转动中心为中心的圆的切线方向而倾斜地设置端缘限制构件引导长孔232。除端缘限制构件引导长孔232A以外的九个端缘限制构件引导长孔232以相同形状且以相对于切线方向而相同的斜率设置。端缘限制构件引导长孔232A以从宽度方向中心线的左端朝向右端(定义与其他端缘限制构件引导长孔232的情况相同，在图3(b)中所描绘的端缘限制构件引导长孔232A的位置下是从右端朝向左端)，与转动架23的转动中心的距离从r₃逐渐减少至r₄(r₃>r₄，r₁>r₃，r₂>r₄)的方式相对于切线方向而倾斜。将端缘限制构件引导长孔232A的左端设为“r₃端”，将右端设为“r₄端”。

利用此种构成，当使转动架23在俯视时逆时针(以下，“逆时针”及“顺时针”是在俯视时规定)转动时，各端缘限制构件27的位置从端缘限制构件引导长孔232内的r₁端侧移动至r₂端侧(在端缘限制构件引导长孔232A中是从r₃端侧移动至r₄端侧)，由此端缘限制构件27(27A)与转动中心的距离逐渐变小而朝成形对象物载置部25的内部的方向(存在转动中心的方向)移动(图4(a))。另一方面，当使转动架23顺时针转动时，各端缘限制构件27的位置从端缘限制构件引导长孔232内的r₂端侧移动至r₁端侧(在端缘限制构件引导长孔232A中是从r₄端侧移动至r₃端侧)，由此端缘限制构件27(27A)与转动中心的距离逐渐变大而朝成形对象物载置部25的外部的方向移动(图4(b))。此处，除端缘限制构件引导长孔232A以外的九个端缘限制构件引导长孔232以相同形状且以相对于切线方向而相同的斜率设置，由此在所述朝成形对象物载置部25的内部的方向及外部的方向的移动中，在除端缘限制构件27A以外的九个端缘限制构件27之间维持与转动中心的距离相等的状态。端缘限制构件27A以与其他端缘限制构件27相比与转动中心的距离更近的方式移动。

在升降架22上设置有在使转动架23逆时针转动的方向上进行施力的扭转弹簧234。由此，端缘限制构件27朝成形对象物载置部25的内部的方向被施力。所述扭转弹簧234及转动架23相当于所述施力构件。再者，施力构件不限定于扭转弹簧，也能够使用使转动架23逆时针转动的气缸或伺服马达等。

在转动架23的外缘设置有一处切口235。另外，在升降架22的外缘设置有止动件225。止动件225利用弹簧朝切口235侧被施力，且设置于当使转动架23顺时针转动一整圈时卡合于切口235的位置。如上所述，转动架23利用扭转弹簧234而在逆时针转动(即，使端缘限制构件27朝成形对象物载置部25的内部的方向移动)的方向上被施力，但通过使止动件225卡合于切口235，能够使转动架23在顺时针转动一整圈(即，使端缘限制构件27朝成形对象物载置部25的外部的方向移动)的状态下停止。而且，通过使经卡合的止动件225从切口235中脱离，转动架23利用扭转弹簧234的作用而逆时针转动。所述止动件225及切口235相当于使施力构件的作动开始/停止的施力构件控制部。止动件225的位置或方向并无特别限定。

非转动架24及成形对象物载置部25中在分别对应于升降架22的端缘限制构件引导凹部222的位置，设置有具有与所述端缘限制构件引导凹部222相同平面形状的端缘限制构件穿过孔242及端缘限制构件穿过孔252(图2(c))。

升降机构26是设置于底架21的上表面，且使升降架22上升及下降的机构。伴随升降架22的上升及下降，设置于升降架22上的转动架23、非转动架24及成形对象物载置部25也上升及下降。

如图5所示，端缘限制构件27具有端缘限制构件本体271、上文所述的圆筒状的端缘限制构件收容部272、以及弹性构件273。端缘限制构件本体271是直径比端缘限制构件收容部272的圆筒小的圆柱状的构件。弹性构件273对端缘限制构件本体271的下端进行支撑，且设置于端缘限制构件收容部272内的底部。当按压端缘限制构件本体271的上端时，弹性构件273被压缩而所述上端下降。当解除所述按压时，弹性构件273伸长，所述上端回到原来的位置。当端缘限制构件本体271的上端位于所述原来的位置时，所述上端穿过端缘限制构件穿过孔252而突出至比成形对象物载置部25的上表面更靠上侧处。另一方面，端缘限制构件收容部272的上端位于比成形对象物载置部25的上表面更靠下侧处。成形对象物载置部25与端缘限制构件27合并构成成形对象物保持部28。

在升降架22上设置有用以在成形模15内使搬送装置20与上模151的横向上的位置对准的四个板状的定位件2241～定位件2244。定位件2241～定位件2244以如下方式配置：当使搬送装置20从上模151的下方上升时，定位件2241～定位件2244中的各一个分别抵接于上模151的四个侧面。

(2)本实施方式的搬送装置及树脂成形装置的动作以及本实施方式的树脂成形品制造方法

接着，使用图6(a-1)～图8(b)对搬送装置20及树脂成形装置10的动作、以及本发明的树脂成形品制造方法的实施方式进行说明。再者，在图7(a)～图7(f)以及图8(a)及图8(b)中，表示从图1的右方向观察树脂成形装置10的图。

首先，使搬送装置20沿着与设置于底架21的凸状轨211卡合的设置于树脂成形装置10中的轨16而移动至成形对象物的拆装位置。

接着，使转动架23顺时针转动来使止动件225卡合于切口235。由此，端缘限制构件27移动至成形对象物载置部25的外部侧(图6(a-1)、图6(a-2))。在所述状态下，将圆板状的成形对象物(半导体芯片)S配置于成形对象物载置部25的上表面中的由九个端缘限制构件27所包围的区域的内侧。此处，在成形对象物S的外缘设置有一处切口SC，使所述切口SC的位置对准端缘限制构件27A的位置(图6(a-1))。在所述状态下，各端缘限制构件27(包含端缘限制构件27A)未抵接于成形对象物S的外缘。

接着，使止动件225从切口235中脱离，并利用扭转弹簧234的作用而使转动架23逆时针转动。由此，十个端缘限制构件27连动地朝成形对象物载置部25的内部的方向移动。而且，通过端缘限制构件27的端缘限制构件本体271抵接于成形对象物S的外缘，转动架23的转动停止(因而，转动架23不一定逆时针转动一整圈)，成形对象物S被保持于成形对象物载置部25(图6(b-1)、图6(b-2))。如此，通过多个端缘限制构件27连动地抵接于成形对象物载置部25的外缘，成形对象物S被保持于成形对象物载置部25的中央，能够抑制成形对象物S的位置偏离。另外，即便因加工误差等而在成形对象物S的外廓尺寸上存在偏差，也能够通过端缘限制构件27进行移动来保持成形对象物S，能够抑制安装位置的偏离。进而，端缘限制构件27中的配置于切口SC的位置的端缘限制构件27A与所述切口SC卡合，由此成形对象物S的圆周方向上的位置也如规定，从而能够确定成形对象物载置部25上的成形对象物S的方向。至此，搬入时成形对象物保持工序完成。

在如此将成形对象物S载置于成形对象物载置部25后，使搬送装置20沿着轨16在上模151与下模152之间进行移动，以使成形对象物载置部25与上模151的成形对象物安装部1511的位置对准(图7(a))。

在所述位置，利用升降机构26使包含成形对象物载置部25的比升降架22更靠上侧的部分升降，来使载置于成形对象物载置部25的成形对象物S抵接于成形对象物安装部1511(图7(b))。此时，端缘限制构件本体271的上端比成形对象物S先抵接于成形对象物安装部1511，其后当利用升降机构26进一步上升时，弹性构件273被压缩，由此与成形对象物载置部25的上表面的相对位置下降。因此，能够使成形对象物S不被端缘限制构件27干扰地抵接于成形对象物安装部1511。

在如此成形对象物S抵接于成形对象物安装部1511的状态下，利用真空泵从气体抽吸孔1512抽吸气体，由此成形对象物被安装于成形对象物安装部1511。继续从气体抽吸孔1512抽吸气体直至后述的停止时为止。而且，使转动架23顺时针转动来使端缘限制构件27朝成形对象物载置部25的外侧的方向移动，在利用升降机构26使成形对象物载置部25等下降后，使搬送装置20移动至成形模15的外侧(图7(c))。至此，成形对象物搬入工序完成。

接着，利用未图示的脱模膜铺设机构将脱模膜F铺设于下模152的腔室C的内表面后，利用未图示的树脂材料供给机构将包含热硬化性树脂的树脂材料P供给至腔室C内(图7(d))。所述脱模膜铺设机构及树脂材料供给机构在现有的树脂成形装置中已被广泛使用，因而省略详细的说明。树脂材料P利用从加热器142供给的热而在腔室C内熔融。

在腔室C内的树脂材料P熔融后，利用曲柄连杆113来使可动台板121上升。由此，可动台板121上的下模152抵接于上模151并按压所述上模151，从而上模151被固定于固定台板122，由此上模151与下模152合模(图7(e))。在所述状态下经过规定时间后，树脂材料P硬化，获得在成形对象物S的表面进行树脂成型而成的树脂成形品PS。至此，树脂成形工序完成。

其后，通过利用曲柄连杆113使可动台板121下降，来使成形模15开模(图7(f))。继而，在上模151与下模152之间对搬送装置20进行搬送，以使成形对象物载置部25与上模151的成形对象物安装部1511的位置对准(图8(a))。而且，在通过使转动架23朝右方向转动来使端缘限制构件27移动至成形对象物载置部25的外部侧的状态(图6(a-1)、图6(a-2))下，利用升降机构26使成形对象物载置部25等上升，来使成形对象物载置部25的上表面抵接于树脂成形品PS的下表面(图8(b))。接着，停止从气体抽吸孔1512抽吸气体，并利用升降机构26使成形对象物载置部25等下降。

进而，通过使转动架23逆时针转动，来使端缘限制构件27朝成形对象物载置部25的内部侧移动(图6(b-1)、图6(b-2))而抵接于树脂成形品PS的外缘。由此，在成形对象物S的表面进行树脂成型而成的树脂成形品PS成为保持于成形对象物保持部28的状态。此时，树脂成形品PS还未被充分冷却，有时外廓尺寸会比树脂成形前的成形对象物S大，但即便是在此种情况下，也能够通过端缘限制构件27进行移动来保持树脂成形品PS。同样地，进行树脂成型至比成形对象物S的外廓更靠外侧为止而成的二次成型的树脂成形品PS也能够通过端缘限制构件27进行移动而保持。至此，搬出时成形对象物保持工序完成。

其后，使搬送装置20移动至成形模15的外侧(搬出工序)。然后，在通过使转动架23朝右转动而使端缘限制构件27移动至成形对象物载置部25的外部侧的状态下，从成形对象物载置部25卸下树脂成形品PS，由此一个树脂成形品PS的制造结束。

至此为止所叙述的搬送装置20的动作、具体来说转动架23的转动、沿着轨16的移动、及利用升降机构26的成形对象物载置部25等的升降可使用动力自动地进行，也可由操作者手动进行。

(3)本实施方式的搬送装置的变形例

使用图9(a)～图11(b)来表示本实施方式的搬送装置的变形例。所述变形例的搬送装置均能够在上述实施方式的树脂成形装置10中用来代替搬送装置20。

图9(a)表示第1变形例的搬送装置20B的俯视图，图9(b)表示第1变形例的搬送装置20B的纵剖面图。本变形例中的搬送装置20B不具有转动架及非转动架，而是在升降架22B上直接设置有圆形的成形对象物载置部25B。在成形对象物载置部25B上设置有九个端缘限制构件收容孔252B，在各端缘限制构件收容孔252B中各设置有一个端缘限制构件27B及端缘限制构件移动部275B。端缘限制构件27B与端缘限制构件移动部275B是通过连结杆276B而连结。端缘限制构件移动部275B使端缘限制构件27B在成形对象物载置部25B的内部(中央)侧及外部侧移动。各端缘限制构件移动部275B进行连动，且以成形对象物载置部25B的中心与各端缘限制构件27B的距离变得相等的方式被控制部(未图示)控制。另外，搬送装置20B具有与上文所述的搬送装置20中所设置的底架同样的底架21B、以及使升降架22B升降的升降机构26B。再者，此例中虽省略，但也可与上述实施方式中的端缘限制构件27A同样地，在对应于成形对象物的切口的位置设置端缘限制构件及端缘限制构件收容孔。另外，端缘限制构件移动部275B可为气缸或伺服马达等。

关于搬送装置20B的详细的动作，除端缘限制构件27B利用端缘限制构件移动部275B而在成形对象物载置部25B的内部侧及外部侧移动这一方面以外，与上文所述的搬送装置20相同。

图10中，针对第2变形例的搬送装置20C来表示成形对象物载置部25C及端缘限制构件27C的上表面。

成形对象物载置部25C在俯视时具有正方形的形状，在比所述正方形的四条边更靠内侧处，分别并列地设置有各两个、合计设置有八个端缘限制构件穿过孔252C。在各端缘限制构件穿过孔252C中分别穿过有各一个端缘限制构件27C。端缘限制构件27C包含与上文所述同样的端缘限制构件本体、端缘限制构件收容部及弹性构件。端缘限制构件穿过孔252C呈如下的平面形状：与端缘限制构件收容部272C的直径相比，从所述正方形的中央更朝向边延伸，且在与此垂直的方向上具有大致相同的大小。

在各端缘限制构件穿过孔252C中分别设置有与第1变形例的端缘限制构件移动部275B同样的端缘限制构件移动部275C。

第2变形例的树脂成形装置在将正方形的板状的成形对象物S'载置于成形对象物载置部25C后，使端缘限制构件27C朝成形对象物载置部25C的内部的方向移动，在利用端缘限制构件27C保持成形对象物S'的外缘的状态下，进行成形对象物S'朝成形模的搬入及树脂成形品从成形模的搬出。关于搬送装置20C的详细的动作，除端缘限制构件27C的动作与第1变形例的搬送装置20B相同以外，与上文所述的搬送装置20的动作相同。

图11(a)中表示第3变形例的搬送装置20D的俯视图，图11(b)中表示第3变形例的搬送装置20D的纵剖面图。本变形例中的搬送装置20D在升降架22D上直接设置有圆形的成形对象物载置部25D。在升降架22D的下方设置有与上文所述的搬送装置20中所设置的构件同样的底架21D、以及使升降架22D升降的升降机构26D。在成形对象物载置部25D的上表面设置有四个包含可挠性销的端缘限制构件27D。端缘限制构件27D以等间隔(每隔90°)配置于直径比圆形的成形对象物S略大的圆周上。各端缘限制构件27D上分别设置有载置于升降架22、且配置于成形对象物载置部25D的外侧的夹具29。夹具29是以与成形对象物载置部25D的上表面平行的轴为中心进行转动的棒状材，且以朝所述上表面的射影朝向成形对象物载置部25D的中心的方式配置。当夹具29的一端通过转动而下降时与端缘限制构件27D接触，将端缘限制构件27D朝向成形对象物载置部25D的中心推出。

在利用第3变形例中的搬送装置20D对成形对象物S进行搬送时，将圆形的成形对象物S载置于成形对象物载置部25D后，使夹具29转动，由此成形对象物载置部25D的中心侧的夹具29的端部下降，将包含可挠性销的端缘限制构件27D朝向所述中心侧推出(图12)。由此，将端缘限制构件27D压抵至成形对象物S的端部而使成形对象物S固定于成形对象物载置部25D。此处，通过使四个夹具29同步，能够将成形对象物S配置于成形对象物载置部25D的中央。

本发明并不限定于上述实施方式以及变形例。例如，在上述实施方式中以使用压缩成形装置的情况为例进行了说明，但即便使用移送(转注(transfer))成形装置来代替压缩成形装置，也能够采用具备与上述同样的搬送装置20、搬送装置20B、搬送装置20C、搬送装置20D的构成。

能够使用以下的止动件225A以及槽226A来代替搬送装置20中所设置的包含止动件225以及切口235的施力构件控制部。图13(a)中，针对设置有止动件225A以及槽226A的搬送装置20而放大地表示升降架22的上表面的一部分。止动件225A具有安装于转动架23，且在从转动架23的中心朝向外侧的方向上延伸的杆2251A、连接于杆2251A的辊2252A、对杆2251A朝升降架22的中心的方向施力的弹性构件2253A。槽226A设置于升降架22且具有分别朝升降架22的中心的方向及与升降架22的中心的方向垂直的方向延伸的L字状的形状。辊2252A嵌入至槽226A。

在所述构成中，当使转动架23转动时，伴随于此，杆2251A也转动。而且，当使转动架23顺时针转动一整圈时，即当使端缘限制构件27移动至最外侧时，辊2252A到达槽226A的朝升降架22的中心的方向延伸的部分的外侧的端部。接着，杆2251A利用弹性构件2253A被施力，由此辊2252A被拉入至槽226A的所述部分(图13(b))。如此，转动架23的转动被槽226A的所述部分限制，从而转动架23得以固定。由此，端缘限制构件27在最外侧的位置得以固定。而且，当将杆2251A拉向外侧的方向时，转动的限制被解除，然后通过扭转弹簧234的作用，转动架23逆时针转动，端缘限制构件27移动至内侧而对成形对象物S的端缘进行限制。

或者，如图14(a)所示，也可使用如下的施力构件控制部：其将能够绕轴转动的杆2251B安装于转动架23，在杆2251B上设置有钩2252B，并在升降架22中设置有槽226B。所述情况下，当使转动架23顺时针转动一整圈时，通过使杆2251B绕轴进行转动而将钩2252B嵌入至槽226B(图14(a))，由此来限制转动架23的转动。

另外，在上述实施方式中，表示了相对于一组压缩成形装置而设置一台搬送装置的例子，但也可在多组压缩成形装置中共用一台搬送装置。在成形对象物朝成形模的安装与从成形模中搬出树脂成形品之间需要用以进行树脂成形的时间，因此，能够利用所述用以进行树脂成形的时间来将成形对象物安装于另一压缩成形装置的成形模、或者从另一成形模中搬出树脂成形品。由此，能够抑制搬送装置所需的成本。

作为在多组压缩成形装置中共用一台搬送装置的例子，可列举以下所述的图15所示的树脂成形单元30。所述树脂成形单元30具有一台材料接收模块31、多台成形模块32、以及一台支出模块33。材料接收模块31是用以从外部接收树脂材料P以及成形对象物S并送出至成形模块32的装置，且具有成形对象物接收部311以及树脂材料供给装置312。一台成形模块32具有上述实施方式的树脂成形装置10中的压缩成形装置101。在图15中示出了三台成形模块32，但在树脂成形单元30中可设置任意台数的成形模块32。另外，即使在已组成树脂成形单元30并开始使用后也能够增减成形模块32。支出模块33从成形模块33中搬入利用成形模块32制造的树脂成形品PS并进行保持，且具有树脂成形品保持部331。搬送装置20沿着树脂成形单元30内所设置的搬送轨35，将成形对象物从材料接收模块31内的成形对象物接收部31搬入至成形模块32内的成形模的成形对象物安装部，且将利用成形模块32所成形的树脂成形品从成形对象物安装部搬出至支出模块33内的树脂成形品保持部331。此外，在树脂成形单元30中设置树脂材料搬送装置，所述树脂材料搬送装置将树脂材料P从材料接收模块31内的树脂材料供给装置312搬送至成形模块32内的成形模的腔室。

Claims (18)

1.一种搬送装置，其是将成形对象物搬送至树脂成形装置的成形模中的装置，所述搬送装置的特征在于，包含成形对象物保持部，

所述成形对象物保持部包括：成形对象物载置部，载置所述成形对象物；以及多个端缘限制构件，其是设置于所述成形对象物载置部的周缘或所述成形对象物载置部的外侧并用以限制所述成形对象物的端缘的构件，且能够朝所述成形对象物载置部的内部的方向移动。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述成形对象物保持部还包括施力构件，所述施力构件对所述多个端缘限制构件在所述方向上进行施力。

3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，还包括施力构件控制部，所述施力构件控制部使所述施力构件的作动开始/停止。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送装置，其特征在于包括：

板状的转动构件，绕转动中心进行转动；

端缘限制构件引导长孔，在所述转动构件上相对于多个所述端缘限制构件的各者而各设置一个，供所述端缘限制构件插通，且能够使所述端缘限制构件移动；以及

端缘限制构件移动限制部，相对于多个所述端缘限制构件的各者而各设置一个，将所述端缘限制构件能够移动的方向限制在穿过所述端缘限制构件与所述转动中心的直线上。

5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，在所述端缘限制构件引导长孔内，宽度方向中心线上的一点和所述转动中心的距离，与不同于所述一点的所述宽度方向中心线上的另一点和所述转动中心的距离不同，所述宽度方向中心线为连结所述端缘限制构件引导长孔的宽度方向上的中心而成。

6.根据权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，以所述宽度方向中心线上的点与所述转动中心的距离随着所述点从所述宽度方向中心线的一端朝向另一端而增加的方式形成所述端缘限制构件引导长孔。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，所述多个端缘限制构件全部都能够连动地在所述方向上进行移动。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，在与载置于所述成形对象物载置部的所述成形对象物上所设置的切口对应的位置，设置有所述多个端缘限制构件中的一个。

9.一种树脂成形装置，其特征在于，包括：

根据权利要求1至8中任一项所述的搬送装置；以及

成形模，包含具有安装所述成形对象物的成形对象物安装部的第1模、以及与所述第1模相向配置的第2模。

10.一种树脂成形品制造方法，其特征在于，包括：

搬入时成形对象物保持工序，将成形对象物载置于搬送装置的成形对象物保持部中所设置的成形对象物载置部，使设置于所述成形对象物载置部的周缘或所述成形对象物载置部的外侧并对所述成形对象物的端缘进行限制的多个端缘限制构件朝所述成形物载置部的内部的方向移动，由此将所述成形对象物保持于所述成形对象物保持部；

成形对象物搬入工序，以使所述成形对象物载置部的位置与成形模的成形对象物安装部对准的方式使所述成形对象物保持部移动，当将所述成形对象物安装于所述成形对象物安装部后，使所述成形对象物保持部移动至所述成形模的外部，所述成形模包含具有安装成形对象物的所述成形对象物安装部的第1模及与所述第1模相向配置的第2模；以及

树脂成形工序，在将所述第1模与所述第2模合模后，对所述成形对象物进行树脂成形。

11.根据权利要求10所述的树脂成形品制造方法，其特征在于，在将成形对象物保持于所述成形对象物保持部的状态下，利用施力构件对所述多个端缘限制构件在所述方向上进行施力。

12.根据权利要求11所述的树脂成形品制造方法，其特征在于，在将成形对象物载置于所述成形对象物载置部之前，使所述施力构件的作动停止，在将所述成形对象物载置于所述成形对象物载置部之后，使所述施力构件的作动开始。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的树脂成形品制造方法，其特征在于，使用板状的转动构件、端缘限制构件引导长孔、及端缘限制构件移动限制部，所述板状的转动构件绕转动中心进行转动，所述端缘限制构件引导长孔在所述转动构件上相对于多个所述端缘限制构件的各者而各设置一个，供所述端缘限制构件插通，且能够使所述端缘限制构件移动，所述端缘限制构件移动限制部相对于多个所述端缘限制构件的各者而各设置一个，且将所述端缘限制构件能够移动的方向限制在穿过所述端缘限制构件与所述转动中心的直线上，且

在所述搬入时成形对象物保持工序中，通过使所述转动构件进行转动而使所述端缘限制构件朝所述成形对象物载置部的内部的方向移动。

14.根据权利要求13所述的树脂成形品制造方法，其特征在于，在所述端缘限制构件引导长孔内，连结所述端缘限制构件引导长孔的宽度方向上的中心的宽度方向中心线上的一点和所述转动中心的距离与不同于所述一点的所述宽度方向中心线上的一点和所述转动中心的距离不同。

15.根据权利要求14所述的树脂成形品制造方法，其特征在于，以所述宽度方向中心线上的点与所述转动中心的距离随着所述点从所述宽度方向中心线的一端朝向另一端而增加的方式形成所述端缘限制构件引导长孔。

16.根据权利要求10至12中任一项所述的树脂成形品制造方法，其特征在于，在使所述多个端缘限制构件在所述方向上进行移动时，使全部的所述多个端缘限制构件能够连动地在所述方向上进行移动。

17.根据权利要求10至12中任一项所述的树脂成形品制造方法，其特征在于，在所述搬入时成形对象物保持工序中，使设置于所述成形对象物的切口的位置对准所述多个端缘限制构件中的一个而将所述成形对象物载置于所述成形对象物载置部。

18.根据权利要求10至12中任一项所述的树脂成形品制造方法，其特征在于还包括：

搬出时成形对象物保持工序，在所述树脂成形工序后使所述第1模与所述第2模开模，以使所述成形对象物载置部的位置与所述成形对象物安装部对准的方式使所述成形对象物保持部移动，将进行了树脂成形而被安装于成形对象物安装部的所述成形对象物载置于所述成形对象物载置部，使所述端缘限制构件朝所述成形对象物载置部的内部的方向移动，由此将所述成形对象物保持于所述成形对象物保持部；以及

搬出工序，使所述成形对象物保持部移动至所述成形模的外部。