TWI839110B - 樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種能夠取出被收容於搬送構件中的成形對象物來進行樹脂成形的樹脂成形裝置。本發明的樹脂成形裝置包括：取出機構，自收容有成形對象物的搬送構件中取出所述成形對象物；第一成形對象物搬送機構，將自所述搬送構件中取出的所述成形對象物搬送至成形模具；搬送構件收容部，能夠收容所述成形對象物已被取出的所述搬送構件；搬送構件搬送機構，將所述成形對象物已被取出的所述搬送構件搬送至所述搬送構件收容部；合模機構，對已搬送有所述成形對象物的所述成形模具進行合模以進行樹脂成形；第二成形對象物搬送機構，自所述成形模具中搬出成形後的所述成形對象物；以及成形對象物收容機構，將自所述成形模具搬出的所述成形對象物收容至被收容於所述搬送構件收容部中的所述搬送構件。

Description

樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法

本發明是有關於一種樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法的技術。

一般而言，已知有將電路基板等的多個成形對象物收容至搬送構件而統一搬送的技術。而且，專利文獻1中揭示了在將多個電路基板收容於被稱作載舟（boat）的搬送構件的狀態下進行模製步驟的技術。 [現有技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：韓國公開專利第10-2016-0081289號公報

[發明所欲解決之課題] 專利文獻1所記載的技術中，在模製步驟中，將收容有多個成形對象物的搬送構件供給至成形模具而進行樹脂成形。因而，由於必須將搬送構件收容至成形模具，因此成形模具有可能大型化。而且，專利文獻1所記載的技術中，藉由相對於成形模具進行搬送構件的對位，從而間接地進行成形對象物相對於成形模具的對位。因此，成形對象物相對於成形模具的位置精度有可能下降。因此，正尋求一種可取出收容於搬送構件中的成形對象物來進行樹脂成形，隨後再次將成形對象物收容至搬送構件的技術。

本發明是有鑒於如上所述的狀況而完成，其欲解決之課題在於提供一種樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法，可取出被收容於搬送構件中的成形對象物來進行樹脂成形，隨後再次將成形對象物收容至搬送構件。 [解決課題之手段]

本發明所欲解決之課題如上所述，為了解決該課題，本發明的樹脂成形裝置包括：取出機構，自收容有成形對象物的搬送構件中取出所述成形對象物；第一成形對象物搬送機構，將自所述搬送構件中取出的所述成形對象物搬送至成形模具；搬送構件收容部，能夠收容所述成形對象物已被取出的所述搬送構件；搬送構件搬送機構，將所述成形對象物已被取出的所述搬送構件搬送至所述搬送構件收容部；合模機構，對已搬送有所述成形對象物的所述成形模具進行合模以進行樹脂成形；第二成形對象物搬送機構，自所述成形模具中搬出成形後的所述成形對象物；以及成形對象物收容機構，將自所述成形模具搬出的所述成形對象物收容至被收容於所述搬送構件收容部中的所述搬送構件。

而且，本發明的樹脂成形品的製造方法使用所述樹脂成形裝置，所述樹脂成形品的製造方法包括：取出步驟，自所述搬送構件中取出所述成形對象物；成形對象物搬送步驟，將藉由所述取出步驟而取出的所述成形對象物搬送至所述成形模具；搬送構件搬送步驟，搬送所述成形對象物已被取出的所述搬送構件；樹脂成形步驟，對藉由所述成形對象物搬送步驟而搬送至所述成形模具的所述成形對象物進行樹脂成形；以及成形對象物收容步驟，將藉由所述樹脂成形步驟進行了樹脂成形的所述成形對象物收容至藉由所述搬送構件搬送步驟而搬送的所述搬送構件。 [發明的效果]

根據本發明，可取出被收容於搬送構件中的成形對象物來進行樹脂成形，隨後再次將成形對象物收容至搬送構件。

以下，將圖中所示的箭頭U、箭頭D、箭頭L、箭頭R、箭頭F以及箭頭B所表示的方向分別定義為上方向、下方向、左方向、右方向、前方向以及後方向來進行說明。

＜樹脂成形裝置1的整體結構＞ 首先，使用圖1來說明本實施方式的樹脂成形裝置1的結構。樹脂成形裝置1是對半導體晶片等的電子元件（以下記載為「晶片」）進行樹脂密封以製造樹脂成形品的裝置。尤其，本實施方式中，例示了利用轉移模塑法來進行樹脂成形的樹脂成形裝置1。

樹脂成形裝置1包括供給模組A、樹脂成形模組B以及搬出模組C以作為構成元件。各構成元件相對於其他構成元件可拆裝且可更換。

＜供給模組A＞ 供給模組A將固定晶片的基板2以及圓柱狀的樹脂料錠T供給至樹脂成形模組B。再者，基板2為本發明的成形對象物的一實施方式。作為基板2，可使用各種基板（引線框架、環氧玻璃製基板、陶瓷製基板、樹脂製基板、金屬製基板等）。供給模組A主要包括載架搬入部11、基板排列載台12、取出機構30、載架載台13、裝載器40、載架搬送單元50、載架移送部60、第一攝影機14以及控制部15。

載架搬入部11是配置自外部向供給模組A搬入的載架3的部分。載架搬入部11可接納收容有基板2的載架3，並載置於上表面。

此處，使用圖2來說明基板2以及可收容基板2的載架3。載架3是可收容基板2的構件。再者，載架3為本發明的搬送構件的一實施方式。載架3形成為大致矩形的板狀。在載架3，設有貫穿孔3a、銷3b以及碼3c。

貫穿孔3a是以貫穿載架3的方式而形成。貫穿孔3a是以沿載架3的長邊方向排列三個的方式而形成。銷3b進行被收容於載架3的基板2的定位。銷3b是以自載架3的表面（上表面）朝上方突出的方式而形成。銷3b以包圍貫穿孔3a的周圍的方式而設有多個。藉由在銷3b的內側收容基板2，從而可將基板2配置於與貫穿孔3a相向的位置。本實施方式的載架3可收容三個基板2。

在載架3的上表面設有碼3c。碼3c是表示可識別載架3的資訊的識別符。作為碼3c，例如可使用條形碼或二次元碼等。

在基板2的上表面設有碼2a。碼2a是表示可識別基板2的資訊的識別符。作為碼2a，可與載架3的碼3c同樣地使用二次元碼等。

圖1所示的基板排列載台12是配置自載架3取出的基板2的部分。再者，基板排列載台12為本發明的載置部的一實施方式。基板排列載台12可將多個基板2排列載置於上表面。本實施方式中，在基板排列載台12上，沿前後方向排列三列、沿左右方向排列兩列，從而排列配置有合計六個基板2（參照圖10的（b））。基板排列載台12中的基板2的排列與後述的成形模具16中的基板2的排列對應。即，本實施方式的成形模具16可一次對六個基板2進行樹脂成形。基板排列載台12被配置於載架搬入部11的後方。

取出機構30自載架搬入部11的載架3取出基板2，並配置於基板排列載台12。如圖3所示，取出機構30主要包括吸附保持部31、夾持器32以及按壓部33。

吸附保持部31對被載置於載架搬入部11的基板2進行吸附保持。吸附保持部31可經由載架3的貫穿孔3a而自下方吸附基板2。吸附保持部31可藉由未圖示的升降機構而上下移動。藉此，吸附保持部31可將所吸附的基板2自載架3朝上方提起。

夾持器32保持並搬送基板2。夾持器32包括左右一對以及前後一對側視L字狀的構件。夾持器32能以自左右以及前後這四方向夾著的方式來保持基板2。而且，夾持器32可藉由未圖示的移動機構而移動。

按壓部33自上方按壓由夾持器32所保持的基板2。按壓部33被配置於夾持器32的內側。按壓部33被載放於基板2之上，藉此，可藉由自重來按壓基板2。

在藉由取出機構30自載架搬入部11的載架3取出基板2的情況下，首先如圖3的（a）所示，藉由吸附保持部31來保持基板2。接下來，如圖3的（b）所示，保持有作為對象的基板2的吸附保持部31上升而提起基板2。接下來，解除吸附保持部31所進行的吸附，藉由夾持器32來保持基板2。進而，藉由按壓部33自上方按壓基板2。藉此，可利用夾持器32來穩定地保持基板2。

接下來，如圖3的（c）所示，夾持器32移動至基板排列載台12，並在規定的場所解除基板2的保持。藉此，可使基板2載置於基板排列載台12上。藉由重覆此種夾持器32的動作，可自載架搬入部11的載架3取出基板2並排列於基板排列載台12。

圖1所示的載架載台13是在載架搬入部11中配置基板2已被取出的載架3的部分。載架載台13可將自載架搬入部11移送的載架3載置於上表面。

裝載器40將排列於基板排列載台12的基板2搬送至樹脂成形模組B。而且，裝載器40自未圖示的樹脂供給裝置接納並保持樹脂料錠T，並與基板2一同搬送至樹脂成形模組B。此處，裝載器40先接納基板2或樹脂料錠T的哪個皆可，而且，亦可同時接納基板2以及樹脂料錠T。即，裝載器40接納基板2以及樹脂料錠T的時機並無特別限定。再者，裝載器40為本發明的第一成形對象物搬送機構的一實施方式。裝載器40被配置於樹脂成形裝置1的後部。裝載器40可沿著遍及樹脂成形裝置1的左右兩端部而延伸的軌道X而左右移動。如圖4所示，裝載器40主要包括本體部41、頭42以及夾持器43。

本體部41是構成裝載器40的主要結構體的部分。本體部41構成為，可沿著軌道X（參照圖1）左右移動。本實施方式的本體部41為了穩定地支持後述的頭42而形成為，前上部朝前方伸出。本體部41中的朝前方伸出的部分在前後方向上與基板排列載台12的後部重疊。

頭42是設置後述的夾持器43的部分。頭42以可相對於本體部41而前後移動的方式受到支持。

夾持器43保持並搬送基板2。夾持器43設有與排列於基板排列載台12的多個基板2對應的數量。本實施方式中，以與六個基板2對應的方式而設有六個夾持器43。

在藉由裝載器40將基板排列載台12的基板2搬送至樹脂成形模組B的情況下，首先，裝載器40沿著軌道X（參照圖1）移動，並停止於基板排列載台12的背後。接下來，如圖4所示，頭42相對於本體部41而朝前方移動，以使基板排列載台12上的基板2與夾持器43上下相向。接下來，各夾持器43保持對應的基板2，頭42相對於本體部41而朝後方移動。

裝載器40在保持有基板2的狀態下沿著軌道X（參照圖1）朝右方移動，藉此，可將基板2搬送至樹脂成形模組B。而且，裝載器40在樹脂成形模組B的成形模具16之上解除基板2的保持，藉此，可將基板2搬入至成形模具16。

再者，本實施方式中省略詳細說明，但裝載器40亦將被用於樹脂成形的樹脂料錠T與基板2同時搬入至成形模具16。

圖1所示的載架搬送單元50將配置於載架載台13的載架3搬送至搬出模組C。再者，載架搬送單元50為本發明的搬送構件搬送機構的一實施方式。載架搬送單元50被配置於樹脂成形裝置1的後部。載架搬送單元50可沿著軌道X左右移動。本實施方式中，載架搬送單元50構成為，與裝載器40一體地左右移動。即，至少在沿著軌道X的移動區域中，裝載器40與載架搬送單元50能夠一同移動。藉此，可將用於使裝載器40以及載架搬送單元50左右移動的移動機構（未圖示）共用化。如圖5所示，載架搬送單元50主要包括本體部51、可動載台52以及載架載置部53。

本體部51是構成載架搬送單元50的主要結構體的部分。本體部51構成為，可沿著軌道X（參照圖1）左右移動。

可動載台52是設置後述的載架載置部53的部分。可動載台52被設於本體部51的上部。可動載台52以可相對於本體部51而前後移動的方式受到支持。

載架載置部53是載置自載架載台13接納的載架3的部分。載架載置部53被設於可動載台52的上部。本實施方式中，載架載置部53以前後排列的方式配置有兩個。

載架移送部60將載架3自載架載台13移送至載架搬送單元50。如圖5所示，載架移送部60主要包括頭61以及吸附保持部62。

頭61是設置後述的吸附保持部62的部分。頭61以可藉由未圖示的移動機構而移動的方式受到支持。

吸附保持部62吸附並保持載架3。吸附保持部62被設於頭61的下部。

在藉由載架搬送單元50將載架載台13的載架3搬送至搬出模組C的情況下，首先，載架搬送單元50沿著軌道X（參照圖1）移動，並停止於載架載台13的背後。接下來，如圖5所示，藉由載架移送部60的吸附保持部62來保持載架載台13的載架3，並將其載置於載架搬送單元50的載架載置部53。此時，可動載台52適當地前後移動，以使載架載置部53移動至可載置載架3的位置。

載架搬送單元50在兩個載架載置部53分別載置有載架3的狀態下沿著軌道X（參照圖1）朝右方移動，藉此，可將載架3搬送至搬出模組C。被搬送至搬出模組C的載架3被收容於後述的載架收容部80。

第一攝影機14用於讀取基板2的碼2a以及載架3的碼3c。再者，第一攝影機14為本發明的讀取部以及第一讀取部的一實施方式。第一攝影機14在供給模組A中被配置於可對收容有基板2的載架3進行拍攝的位置。本實施方式中，第一攝影機14被配置於可對配置於載架搬入部11的載架3進行拍攝的位置。

控制部15對樹脂成形裝置1的各模組的動作進行控制。藉由控制部15來控制供給模組A、樹脂成形模組B以及搬出模組C的動作。而且，可使用控制部15來任意變更（調整）各模組的動作。而且，控制部15可對由第一攝影機14以及後述的第二攝影機20所獲取的基板2以及載架3的資訊進行管理。

再者，本實施方式中，表示了將控制部15設於供給模組A的示例，但亦可將控制部15設於其他模組。而且，亦可設置多個控制部15。例如，亦可對應於每個模組或每個裝置來設置控制部15，一邊使各模組等的動作彼此聯動一邊各別地進行控制。

＜樹脂成形模組B＞ 樹脂成形模組B對被固定於基板2的晶片進行樹脂密封。本實施方式中，樹脂成形模組B排列配置有兩個。藉由兩個樹脂成形模組B來並行地進行基板2的樹脂密封，藉此，可提高樹脂成形品的製造效率。樹脂成形模組B主要包括成形模具16以及合模機構17。

成形模具16使用熔融的樹脂材料對被固定於基板2的晶片進行樹脂密封。成形模具16包括上下一對模具，即下模以及上模。在成形模具16，設有加熱器等的加熱部（未圖示）。

合模機構17藉由使成形模具16的下模上下移動，從而對成形模具16進行合模或開模。

＜搬出模組C＞ 搬出模組C自樹脂成形模組B接納經樹脂密封的基板2並予以搬出。搬出模組C主要包括卸載器70、已成形基板排列載台18、載架收容部80、載架搬出部19、成形對象物收容機構90以及第二攝影機20。

卸載器70保持在樹脂成形模組B中經樹脂密封的基板2並搬送至搬出模組C的已成形基板排列載台18。再者，卸載器70為本發明的第二成形對象物搬送機構的一實施方式。卸載器70被配置於樹脂成形裝置1的後部。卸載器70可沿著軌道X而左右移動。

已成形基板排列載台18是配置自樹脂成形模組B搬送來的已成形的基板2的部分。已成形基板排列載台18可將多個基板2排列載置於上表面。

在藉由卸載器70將經樹脂密封的基板2搬送至搬出模組C的情況下，首先，卸載器70沿著軌道X移動至樹脂成形模組B，並吸附保持利用成形模具16進行了樹脂成形的基板2。接下來，卸載器70沿著軌道X移動至搬出模組C，將已成形的基板2配置於已成形基板排列載台18上。

載架收容部80收容在供給模組A中基板2已被取出的載架3。再者，載架收容部80為本發明的搬送構件收容部的一實施方式。如圖6所示，載架收容部80主要包括本體部81、轉動支持部82、轉動連結部83以及提起部84。

本體部81是構成載架收容部80的主要結構體的部分。本體部81包括以前後相向的方式而配置的多個支柱81a。再者，儘管在圖6中未圖示，但支柱81a沿紙面縱深方向排列配置有多個。本體部81將支柱81a的上部彼此連接，藉此形成為下方開放的框狀。

轉動支持部82是支持載架3的部分。轉動支持部82是以自前後的支柱81a朝向本體部81的內側突出的方式而設。轉動支持部82經由後述的轉動連結部83而連結於支柱81a。轉動支持部82以沿上下方向等間隔地排列的方式設有多個。設於前後的支柱81a的轉動支持部82以處於彼此對應的位置（相同的高度）的方式而配置。

轉動連結部83是將轉動支持部82以可相對於支柱81a而上下轉動的方式予以連結的部分。轉動連結部83以轉動支持部82能夠自朝向大致水平的方向的狀態自如轉動至朝向大致垂直的方向的狀態的方式來支持轉動支持部82。藉此，轉動支持部82在未施加外力的狀態下因自重朝下方轉動而朝向大致水平的方向。而且，當對轉動支持部82施加朝上的外力時，轉動支持部82可朝上方轉動。

提起部84用於將載架3載置於轉動支持部82。提起部84包括：以前後相向的方式配置的支柱84a、以及以自前後的支柱84a朝向內側突出的方式而設的支持部84b。支持部84b以沿上下方向等間隔地排列的方式設有多個。支持部84b的上下方向的間隔形成為，與設於本體部81的轉動支持部82的上下方向的間隔相同。

提起部84可藉由未圖示的驅動機構，相對於本體部81而相對地朝前後方向以及上下方向移動。具體而言，如圖6的（a）所圖示般，提起部84反覆進行下述的一連串動作，即，水平移動至支持部84b突出至本體部81的內側的位置為止，在此狀態下朝上方移動，朝向本體部81的外側水平移動並下降。再者，提起部84與本體部81是以不會彼此干涉的方式而配置。

而且，載架收容部80可藉由未圖示的驅動機構而整體上沿前後方向以及上下方向移動。藉此，載架收容部80可移動至容易收容載架3的位置。具體而言，如圖6所示，載架收容部80可移動至自上方相對於載置有載架3的載架載置部53而相向的位置為止。

圖1所示的載架搬出部19是配置自搬出模組C朝外部搬出的載架3的部分。載架搬出部19可將自載架收容部80接納的載架3載置於上表面。在被載置於載架搬出部19的載架3，藉由後述的成形對象物收容機構90來收容已成形的基板2。收容有已成形的基板2的載架3自載架搬出部19被搬出至外部。

成形對象物收容機構90將載置於已成形基板排列載台18的基板2收容至配置於載架搬出部19的載架3。作為成形對象物收容機構90，例如可與取出機構30（參照圖3）同樣地，使用可保持並搬送基板2的機構。再者，成形對象物收容機構90的結構的詳細說明將省略。

第二攝影機20用於讀取已成形的基板2的碼2a以及載架3的碼3c。再者，第二攝影機20為本發明的讀取部以及第二讀取部的一實施方式。第二攝影機20在搬出模組C中被配置於可對已成形的基板2、以及收容已成形的基板2的載架3進行拍攝的位置。本實施方式中，第二攝影機20被配置於可對配置於載架搬出部19的載架3進行拍攝的位置。

＜樹脂成形裝置1的動作概要＞ 以下，使用圖7至圖9來說明如上所述般構成的樹脂成形裝置1的動作（使用樹脂成形裝置1的樹脂成形品的製造方法）的概要。再者，圖8以及圖9所示的塗黑箭頭表示載架3移動的樣子。而且，空心箭頭表示基板2移動的樣子。

如圖7所示，本實施方式的樹脂成形品的製造方法主要包含搬入步驟S1、第一讀取步驟S2、取出步驟S3、搬送步驟S4、樹脂成形步驟S5、已成形基板取出步驟S6、成形對象物收容步驟S7、第二讀取步驟S8以及搬出步驟S9。再者，為了方便說明，圖7中逐個依序記載了各步驟，但實際上亦存在同時執行不同步驟的動作，或者多次反覆執行特定步驟的情況。

首先，執行搬入步驟S1。搬入步驟S1是自外部將載架3搬入至樹脂成形裝置1的步驟。搬入步驟S1中，收容有基板2的載架3被搬入至供給模組A的載架搬入部11（參照圖8）。

接下來，執行第一讀取步驟S2。第一讀取步驟S2是對載架3的碼3c、以及收容於載架3的基板2的碼2a進行讀取的步驟。第一讀取步驟S2中，第一攝影機14對被搬入至載架搬入部11的載架3以及基板2進行拍攝。控制部15自第一攝影機14所拍攝的影像中讀取載架3的碼3c以及基板2的碼2a，以識別載架3以及基板2。控制部15將載架3與被收容於該載架3中的基板2的對應關係相關聯地予以記憶。即，控制部15記憶哪個基板2被收容於載架3中。

接下來，執行取出步驟S3。取出步驟S3是自載架3取出基板2的步驟。取出步驟S3中，取出機構30自載架搬入部11的載架3取出基板2，並將基板2排列配置於基板排列載台12上（參照圖8）。本實施方式中，可在基板排列載台12上配置六個基板2，因此將自兩個載架3將合計六個基板2取出至基板排列載台12。

此處，對取出步驟S3中的、基板2向基板排列載台12的配置順序進行說明。如圖4所示，裝載器40的本體部41以朝前方伸出的方式而形成。因此，在裝載器40位於基板排列載台12背後的狀態下，有時取出機構30與裝載器40會發生干涉，而無法將基板2配置於基板排列載台12的靠近裝載器40的位置（後部）。例如本實施方式中，如圖4所示，前後三列中的最後側的列的基板2的配置位置與裝載器40的本體部41重疊，因此在將基板2配置於最後側的列（圖10的（b）的（1）以及（2）的位置）時，取出機構30與裝載器40有可能發生干涉。

再者，本實施方式中舉出了裝載器40的本體部41與基板2的配置位置發生重疊的示例，但即便在裝載器40與基板2的配置位置不重疊的情況下，亦料想取出機構30與裝載器40發生干涉的情況。

因此在取出步驟S3中，在自第一個載架3取出基板2時，如圖10的（a）所示，裝載器40自基板排列載台12的背後退避至朝右方偏離的退避位置。在此狀態下，取出機構30不會與裝載器40發生干涉。在此狀態下，取出機構30將基板2取出至基板排列載台12。

此時，取出機構30自靠近裝載器40的一側（後側）開始依序配置基板2。例如本實施方式中，如圖10的（b）所示，自基板排列載台12的後側開始依序設定有（1）～（6）的配置順序。即，自第一個載架3取出的三個基板2將配置於（1）～（3）的位置。藉此，可將基板2配置於取出機構30與裝載器40有可能發生干涉的（1）以及（2）的位置。

再者，裝載器40在自基板排列載台12退避至朝右方偏離的位置時，自未圖示的樹脂供給裝置接納樹脂料錠T。如此，利用退避的時間作為用於接納樹脂料錠T的時間，藉此，可提高生產效率。

當來自第一個載架3的三個基板2被取出至基板排列載台12時，裝載器40以及載架搬送單元50一體地朝左方移動。藉此，裝載器40移動至可接納基板排列載台12的基板2的位置（基板排列載台12的背後），並且載架搬送單元50移動至可接納載架載台13的載架3的位置（載架載台13的背後）。

而且，基板2已被取出的第一個載架3藉由適當的移動機構而自載架搬入部11移動至載架載台13。

在第一個載架3自載架搬入部11移動至載架載台13後，再次執行搬入步驟S1、第一讀取步驟S2以及取出步驟S3。藉此，將被收容於第二個載架3的基板2取出至基板排列載台12，從而在基板排列載台12上排列六個基板2。

再者，此時，裝載器40位於基板排列載台12的背後，因此基板排列載台12的最後側的列（圖10的（b）的（1）以及（2）的位置）將與裝載器40的本體部41發生重疊，但該列已配置有自第一個載架3取出的基板2。即，自第二個載架3取出的基板2不會被配置於基板排列載台12的最後側的列，因此無取出機構30與裝載器40發生干涉之虞。

接下來，執行搬送步驟S4。搬送步驟S4是將基板2搬送至成形模具16，並且將載架3搬送至載架收容部80的步驟。再者，搬送步驟S4為本發明的成形對象物搬送步驟以及搬送構件搬送步驟的一實施方式。搬送步驟S4中，裝載器40保持排列於基板排列載台12的六個基板2（參照圖4）。而且，藉由載架移送部60，將載架載台13的載架3移送至載架搬送單元50的載架載置部53（參照圖5）。此時，兩個載架3被分別載置於兩個載架載置部53。

接下來，如圖8所示，裝載器40以及載架搬送單元50一體地朝右方移動。裝載器40在樹脂成形模組B中，將基板2以及樹脂料錠T傳送至成形模具16。隨後，裝載器40以及載架搬送單元50進一步朝右方移動。在搬出模組C中，載架收容部80自載架搬送單元50接納載架3。

此處，使用圖6來說明在搬送步驟S4中載架收容部80接納載架3的樣子。在載架收容部80接納載架3的情況下，首先如圖6的（a）所示，載架收容部80移動至載架載置部53的上方。

接下來，如圖6的（b）所示，提起部84移動至本體部81的內側後，朝上方移動。藉此，設於最下方的支持部84b自下方提起載架載置部53的載架3。藉由被提起的載架3，轉動支持部82自下方被上推，轉動支持部82朝上方轉動。

當載架3被提起至轉動支持部82的上方時，如圖6的（c）所示，轉動支持部82因自重而再次恢復為大致水平的姿勢。在此狀態下，載架3被載置於轉動支持部82上，提起部84退避至本體部81的外側。如此，載架載置部53的載架3由設於載架收容部80的最下方的轉動支持部82予以支持。

而且，此時，已收容於載架收容部80的載架3亦將被提起部84的另一支持部84b提起至上一段（上一個轉動支持部82）。即，搬送至搬出模組C的載架3被收容於載架收容部80的最下段，並且每當有其他載架3搬送來時，逐段地移動至上段。

如此，被搬送至搬出模組C的多個載架3將基於搬送而來的次序而自載架收容部80的上段開始依序排列收容。藉由如此般在樹脂成形裝置1中設置載架收容部80而確保多個載架3的收容場所，從而可不停歇地向樹脂成形裝置1內搬入基板2（載架3），因此可防止待機時間的產生，實現樹脂成形品的生產效率的提高。而且，載架3是依照搬送的順序自上起排列收容，因此作業員容易直觀地掌握載架3的搬送順序，從而可有效率地進行載架3的確認作業等。

所述的搬入步驟S1直至搬送步驟S4為止的各步驟是根據樹脂成形模組B的數量而反覆執行。例如本實施方式中，設有兩個樹脂成形模組B，因此反覆執行至基板2被搬送至兩個樹脂成形模組B的成形模具16為止。

接下來，執行樹脂成形步驟S5。樹脂成形步驟S5是對被搬送至成形模具16的基板2進行樹脂成形的步驟。樹脂成形步驟S5中，合模機構17使下模上升而對成形模具16進行合模。然後，藉由成形模具16的加熱部（未圖示）對樹脂料錠T進行加熱以使其熔融，使用所生成的熔融樹脂來對基板2進行樹脂密封。

接下來，執行已成形基板取出步驟S6。已成形基板取出步驟S6是將藉由成形模具16進行了樹脂成形的基板2自成形模具16中取出的步驟。已成形基板取出步驟S6中卸載器70保持利用成形模具16進行了樹脂成形的基板2，並沿著軌道X移動至搬出模組C，將已成形的基板2配置於已成形基板排列載台18（參照圖9）。

再者，在如本實施方式般設有多個樹脂成形模組B（成形模具16）的情況下，卸載器70在搬送步驟S4中自先搬送有基板2的成形模具16開始依序進行已成形的基板2的搬出。藉此，在後述的成形對象物收容步驟S7中，可維持基板2與載架3的對應關係。

接下來，執行成形對象物收容步驟S7。成形對象物收容步驟S7是將已成形的基板2收容至載架3的步驟。在成形對象物收容步驟S7中，首先藉由適當的移動機構，將收容於載架收容部80的載架3取出至載架搬出部19。此時，取出被收容於載架收容部80的載架3中的、被收容在最上段的載架3。接下來，藉由成形對象物收容機構90，將載置於已成形基板排列載台18的基板2收容至配置於載架搬出部19的載架3。

接下來，執行第二讀取步驟S8。第二讀取步驟S8是對載架3的碼3c、以及被收容於載架3的已成形的基板2的碼2a進行讀取的步驟。第二讀取步驟S8中，第二攝影機20對收容有已成形的基板2的載架3進行拍攝。控制部15自第二攝影機20所拍攝的影像中讀取載架3的碼3c、以及已成形的基板2的碼2a，以識別載架3以及基板2。而且，控制部15判定載架3與已成形的基板2的對應關係與在第一讀取步驟S2中所記憶的對應關係是否一致。若載架3與基板2的對應關係不一致，則控制部15例如對作業員發出警告，或者停止樹脂成形裝置1的動作。

接下來，執行搬出步驟S9。搬出步驟S9是將載架3自樹脂成形裝置1搬出至外部的步驟。搬出步驟S9中，將收容有已成形的基板2的載架3自搬出模組C的載架搬出部19搬出至外部（參照圖9）。

如上所述，本實施方式的樹脂成形裝置1中，可將收容於載架3的基板2自載架3取出而進行樹脂成形。藉此，可抑制成形模具16的大型化。而且，可相對於成形模具16直接進行基板2的定位，因此可實現基板2的位置精度的提高。

而且，本實施方式的樹脂成形裝置1可將樹脂成形後的基板2再次收容至載架3。此時，基板2被收容至與在樹脂成形前所收容的載架3相同的載架3。藉此，例如可使用載架3來進行基板2的管理（例如批次管理等）。

以上，對本發明的實施方式進行了說明，但本發明並不限定於所述實施方式，可在申請專利範圍所記載的發明的技術思想範圍內進行適當的變更。

例如，所述各實施方式中例示的各構件的結構（形狀或個數等）並無特別限定而可任意變更。作為一例，裝載器40或卸載器70對基板2的保持方法並無特別限定。而且，載架搬送單元50對載架3的保持方法並無特別限定。而且，藉由各裝置一次搬送的基板2以及載架3的個數、或者基板排列載台12以及成形模具16中的基板2的排列等可任意變更。

而且，本實施方式中，表示了對基板2以及載架3分別賦予有二次元碼等的碼的示例，但本發明並不限於此，可使用其他的各種識別符。例如，亦可使用字符串或色彩等來作為識別符，或者亦可使用可耐受樹脂成形裝置1中的環境（熱、載荷等）的積體電路（Integrated Circuit，IC）標籤來作為識別符。再者，在使用IC標籤的情況下，可取代第一攝影機14等而使用可與IC標籤進行通訊的通訊機器來讀取識別符的資訊。

而且，本實施方式中所示的讀取步驟（第一讀取步驟S2以及第二讀取步驟S8）為一例，基板2的碼2a以及載架3的碼3c的讀取能夠在任意的場所以及任意的時機進行。作為一例，本實施方式中，示出了利用第二攝影機20來讀取自載架收容部80取出的載架3的碼3c的示例（參照第二讀取步驟S8），但亦可讀取在搬送步驟S4中收容至載架收容部80的載架3的碼3c。藉此，可對被收容至載架收容部80的載架3進行識別，以掌握載架3是否被收容至適當位置等。

除此以外，亦可使用第二攝影機20來讀取被收容至載架3之前的已成形的基板2（被載置於已成形基板排列載台18的基板2）的碼2a。而且，亦可使用第一攝影機14來讀取被配置於基板排列載台12的基板2的碼2a或被配置於載架載台13的載架3的碼3c。

而且，本實施方式中所示的載架收容部80（參照圖6）為一例，載架收容部80的具體結構可任意變更。例如亦可如圖11所示的載架收容部80的變形例般，將載架3收容至無法轉動的多段的支持部80a而非可轉動的轉動支持部82。此時，例如可根據搬送來的載架3的高度使載架收容部80上下適當升降，自側方將載架3收納至各支持部80a。此時，理想的是，亦基於搬送來的載架3的次序而自載架收容部80的上段（或者下段）開始依序收容載架3。

而且，本實施方式中，表示了在一個載架3收容三個基板2，利用一個成形模具16對六個基板2（利用兩個載架3而搬入的基板2）進行成形的示例，但這是一例，可收容至載架3的基板2的個數與可利用一個成形模具16來同時成形的基板2的個數可任意變更。例如亦可為，在一個載架3可收容三個基板2，與此相對，將可利用一個成形模具16來成形的基板2的個數設為八個、十個、十二個等。即便如此般變更可收容至載架3的基板2的個數與可利用成形模具16來成形的基板2的個數的關係，亦可藉由本實施方式的樹脂成形裝置1而在成形前後維持基板2與載架3的對應關係。即，樹脂成形裝置1中，將基板2已被取出的載架3依序收容至載架收容部80，並將已成形的基板2依序收容至載架3，因此基板2與載架3的對應關係得以維持。進而，樹脂成形裝置1中，可藉由第一攝影機14以及第二攝影機20來確認基板2與載架3的對應關係，因此可更切實地維持基板2與載架3的對應關係。

而且，本實施方式中例示的樹脂成形裝置1的動作為一例，本發明並不限於此。即，樹脂成形裝置1的各部的動作順序或動作形態可任意變更。

＜附註＞ 本揭示的第一側面的樹脂成形裝置1包括： 取出機構30，自收容有基板2（成形對象物）的載架3（搬送構件）中取出所述基板2； 裝載器40（第一成形對象物搬送機構），將自所述載架3取出的所述基板2搬送至成形模具16； 載架收容部80（搬送構件收容部），能夠收容所述基板2已被取出的所述載架3； 載架搬送單元50（搬送構件搬送機構），將所述基板2已被取出的所述載架3搬送至所述載架收容部80； 合模機構17，對已搬送有所述基板2的所述成形模具16進行合模以進行樹脂成形； 卸載器70（第二成形對象物搬送機構），自所述成形模具16中搬出成形後的所述基板2；以及 成形對象物收容機構，將自所述成形模具16搬出的所述基板2收容至被收容於所述載架收容部80中的所述載架3。 根據本揭示的第一方面的樹脂成形裝置1，可取出被收容於載架3的基板2而進行樹脂成形，隨後，再次將基板2收容至載架3。藉此，可抑制成形模具16的大型化。而且，可相對於成形模具16直接進行基板2的定位，因此可實現基板2的位置精度的提高。

在依據第一方面的第二方面的樹脂成形裝置1中， 所述裝載器40與所述載架搬送單元50能夠在至少一部分的移動區域中一同移動。 根據本揭示的第二方面的樹脂成形裝置1，藉由裝載器40與載架搬送單元50共用移動區域，從而可抑制樹脂成形裝置1的大型化。

依據第一方面或第二方面的第三方面的樹脂成形裝置1包括： 讀取部（第一攝影機14、第二攝影機20），能夠讀取對所述載架3與所述基板2的至少一者所賦予的識別符（碼3c、碼2a）。 根據本揭示的第三方面的樹脂成形裝置1，可對載架3與基板2的至少一者進行識別管理。藉此，容易確認基板2或載架3的搬送或成形等是否已無問題地進行。

依據第一方面或第二方面的第四方面的樹脂成形裝置1包括： 第一攝影機14（第一讀取部），能夠讀取對成形前的所述基板2、以及收容有成形前的所述基板2的所述載架3所賦予的識別符；以及 第二攝影機20（第二讀取部），能夠讀取對成形後的所述基板2、以及收容成形後的所述基板2的所述載架3所賦予的識別符。 根據本揭示的第四方面的樹脂成形裝置1，可確認成形前後的基板2與載架3的對應關係。藉此，容易在成形前後維持基板2與載架3的對應關係，因此例如容易進行使用載架3的基板2的管理（例如批次管理等）。

在依據第一方面至第四方面中的任一方面的第五方面的樹脂成形裝置1中， 所述載架收容部80能夠基於藉由所述載架搬送單元50進行搬送的次序來收容多個所述載架3。 根據本揭示的第五方面的樹脂成形裝置1，可依照搬送的次序來收容載架3，因此載架3的次序的管理或掌握變得容易。

依據第一方面至第五方面中的任一方面的第六側面的樹脂成形裝置1包括： 基板排列載台12（載置部），載置由所述取出機構30所取出的所述基板2， 所述取出機構30將自所述載架3取出的所述基板2以不會與所述裝載器40發生干涉的方式載置於所述基板排列載台12。 根據本揭示的第五方面的樹脂成形裝置1，可防止取出基板2時的與裝載器40的干涉。

在依據第六方面的第七方面的樹脂成形裝置1中， 所述取出機構30在所述裝載器40退避至退避位置時，將所述基板2載置於所述基板排列載台12的規定位置。 根據本揭示的第七方面的樹脂成形裝置1，可防止取出基板2時的與裝載器40的干涉。

本揭示的第八方面的樹脂成形品的製造方法使用依據第一方面至第七方面中的任一方面的樹脂成形裝置，所述樹脂成形品的製造方法包括： 取出步驟S3，自所述載架3取出所述基板2； 搬送步驟S4（成形對象物搬送步驟），將藉由所述取出步驟S3而取出的所述基板2搬送至所述成形模具16； 搬送步驟S4（搬送構件搬送步驟），搬送所述基板2已被取出的所述載架3； 樹脂成形步驟S5，對藉由所述搬送步驟S4而搬送至所述成形模具16的所述基板2進行樹脂成形；以及 成形對象物收容步驟S7，將藉由所述樹脂成形步驟S5進行了樹脂成形的所述基板2收容至藉由所述搬送步驟S4而搬送的所述載架3。 根據本揭示的第八方面的樹脂成形品的製造方法，可取出被收容於載架3的基板2而進行樹脂成形。藉此，可抑制成形模具16的大型化。而且，可相對於成形模具16直接進行基板2的定位，因此可實現基板2的位置精度的提高。

1:樹脂成形裝置 2:基板 2a、3c:碼 3:載架 3a:貫穿孔 3b:銷 11:載架搬入部 12:基板排列載台 13:載架載台 14:第一攝影機 15:控制部 16:成形模具 17:合模機構 18:已成形基板排列載台 19:載架搬出部 20:第二攝影機 30:取出機構 31:吸附保持部 32、43:夾持器 33:按壓部 40:裝載器 41、51、81:本體部 42、61:頭 50:載架搬送單元 52:可動載台 53:載架載置部 60:載架移送部 62:吸附保持部 70:卸載器 80:載架收容部 80a、84b:支持部 81a、84a:支柱 82:轉動支持部 83:轉動連結部 84:提起部 90:成形對象物收容機構 A:供給模組 B:樹脂成形模組、箭頭 C:搬出模組 D、F、L、R、U:箭頭 S1:搬入步驟 S2:第一讀取步驟 S3:取出步驟 S4:搬送步驟 S5:樹脂成形步驟 S6:已成形基板取出步驟 S7:成形對象物收容步驟 S8:第二讀取步驟 S9:搬出步驟 T:樹脂料錠 X:軌道

圖1是表示一實施方式的樹脂成形裝置的整體結構的平面圖。 圖2的（a）是表示載架以及基板的立體圖。圖2的（b）是表示載架以及基板的平面圖。 圖3的（a）是表示藉由取出機構而吸附保持有基板的樣子的正面局部剖面圖。圖3的（b）是表示藉由取出機構的夾持器保持有基板的樣子的正面局部剖面圖。圖3的（c）是表示基板被載置於基板排列載台的樣子的正面圖。 圖4是表示基板排列載台以及裝載器的側面圖。 圖5是表示載架搬送單元以及載架移送部的側面圖。 圖6的（a）是表示載架收容部的側面圖。圖6的（b）是表示載架被提起的樣子的側面圖。圖6的（c）是表示載架被載置於轉動支持部的樣子的側面圖。 圖7是表示樹脂成形品的製造方法的流程圖。 圖8是表示直至進行樹脂成形為止的基板以及載架的搬送的樣子的平面圖。 圖9是表示樹脂成形後的基板以及載架的搬送的樣子的平面圖。 圖10的（a）是表示裝載器退避至退避位置的樣子的平面圖。圖10的（b）是表示基板排列載台中的基板的配置順序的平面圖。 圖11是表示載架收容部的變形例的側面圖。

1:樹脂成形裝置

2:基板

3:載架

11:載架搬入部

12:基板排列載台

13:載架載台

14:第一攝影機

15:控制部

16:成形模具

17:合模機構

18:已成形基板排列載台

19:載架搬出部

20:第二攝影機

30:取出機構

40:裝載器

50:載架搬送單元

60:載架移送部

70:卸載器

80:載架收容部

90:成形對象物收容機構

A:供給模組

B:樹脂成形模組、箭頭

C:搬出模組

F、L、R:箭頭

T:樹脂料錠

X:軌道

Claims (10)

1. 一種樹脂成形裝置，包括：取出機構，自收容有成形對象物的搬送構件中取出所述成形對象物；第一成形對象物搬送機構，將自所述搬送構件中取出的所述成形對象物搬送至成形模具；搬送構件收容部，能夠收容所述成形對象物已被取出的所述搬送構件；搬送構件搬送機構，將所述成形對象物已被取出的所述搬送構件搬送至所述搬送構件收容部；合模機構，對已搬送有所述成形對象物的所述成形模具進行合模以進行樹脂成形；第二成形對象物搬送機構，自所述成形模具中搬出成形後的所述成形對象物；以及成形對象物收容機構，將自所述成形模具搬出的所述成形對象物收容至被收容於所述搬送構件收容部中的所述搬送構件。
2. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，其中所述第一成形對象物搬送機構與所述搬送構件搬送機構能夠在至少一部分移動區域中一同移動。
3. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，包括：讀取部，能夠讀取對所述搬送構件與所述成形對象物的至少一者所賦予的識別符。
4. 如請求項2所述的樹脂成形裝置，包括：讀取部，能夠讀取對所述搬送構件與所述成形對象物的至少一者所賦予的識別符。
5. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，包括：第一讀取部，能夠讀取對成形前的所述成形對象物、以及收容有成形前的所述成形對象物的所述搬送構件所賦予的識別符；以及第二讀取部，能夠讀取對成形後的所述成形對象物、以及收容成形後的所述成形對象物的所述搬送構件所賦予的識別符。
6. 如請求項2所述的樹脂成形裝置，包括：第一讀取部，能夠讀取對成形前的所述成形對象物、以及收容有成形前的所述成形對象物的所述搬送構件所賦予的識別符；以及第二讀取部，能夠讀取對成形後的所述成形對象物、以及收容成形後的所述成形對象物的所述搬送構件所賦予的識別符。
7. 如請求項1至請求項6中任一項所述的樹脂成形裝置，其中所述搬送構件收容部能夠基於藉由所述搬送構件搬送機構進行搬送的次序來收容多個所述搬送構件。
8. 如請求項1至請求項6中任一項所述的樹脂成形裝置，包括：載置部，載置由所述取出機構所取出的所述成形對象物， 所述取出機構將自所述搬送構件中取出的所述成形對象物以不會與所述第一成形對象物搬送機構發生干涉的方式載置於所述載置部。
9. 如請求項8所述的樹脂成形裝置，其中所述取出機構在所述第一成形對象物搬送機構退避至退避位置時，將所述成形對象物載置於所述載置部的規定位置。
10. 一種樹脂成形品的製造方法，使用如請求項1至請求項9中任一項所述的樹脂成形裝置，所述樹脂成形品的製造方法包括：取出步驟，自所述搬送構件中取出所述成形對象物；成形對象物搬送步驟，將藉由所述取出步驟而取出的所述成形對象物搬送至所述成形模具；搬送構件搬送步驟，搬送所述成形對象物已被取出的所述搬送構件；樹脂成形步驟，對藉由所述成形對象物搬送步驟而搬送至所述成形模具的所述成形對象物進行樹脂成形；以及成形對象物收容步驟，將藉由所述樹脂成形步驟進行了樹脂成形的所述成形對象物收容至藉由所述搬送構件搬送步驟而搬送的所述搬送構件。

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