CN109909575A - 回流装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供的回流装置具备在顶面侧配置处理对象物的平板状的加热板、以及配置于加热板的下侧并对加热板进行加热的加热机构，在该回流装置中，即使将加热板的厚度变薄，也能够以短时间使加热后的加热板冷却；回流装置(1)具备：载置处理对象物的平板状的加热板(6)、配置于加热板(6)的下侧并对加热板(6)进行加热的加热机构、收容加热板(6)和加热机构的腔室(8)、以及用于冷却加热后的加热板(6)的冷却机构(9)；在加热板(6)的内部形成有供冷却用流体通过的流体流道(10)，冷却机构(9)向流体流道(10)供给冷却用喷雾。

Description

回流装置

技术领域

本发明涉及的是用于将例如电子器件通过软钎焊焊接于电路板上的回流装置。

背景技术

目前，已知有用于将电源模块(Power Module)通过软钎焊焊接于电路板(基板)上的回流装置(回流软钎焊装置)(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的回流装置具备载置电路板的平板状的加热板、以及收容加热板的软钎焊槽。软钎焊槽中经由配管连接有真空泵。加热板上经由配管连接有蒸汽发生槽。蒸汽发生槽的底部配置有加热器，加热器的上面固定有装有惰性液体的惰性液体箱。蒸汽发生槽使惰性液体产生蒸汽。

在专利文献1记载的回流装置中，加热板的内部形成有供蒸汽发生槽所产生的蒸汽通过的流道。加热板利用从加热板的内部的流道中通过的蒸汽而被加热。在专利文献1记载的回流装置中，在利用蒸汽发生槽所产生的蒸汽加热加热板而使电源模块与电路板之间的软钎料熔融后，使蒸汽发生槽停止，从而使熔融的软钎料凝固。另外，在专利文献1中还记载有下述内容，即：也可以在使电源模块与电路板之间的软钎料熔融后，通过将软钎料熔点以下的气体或液体导入加热板内部的流道中，从而将加热板冷却而促进熔融后的软钎料的凝固。

【现有技术文献】

【专利文献】

专利文献1：国际公开公报第2012/70264号

除了专利文献1中记载的回流装置之外，目前已知还有如下回流装置，即：通过嵌入加热板中的筒形加热器等对加热板进行加热，并且将冷却板推至加热板的下表面而将加热板冷却的回流装置(以下将该回流装置作为“回流装置A”)，通过配置于加热板下侧的红外线灯加热器等加热机构对加热板进行加热，并且将冷气送入收容有加热板和加热机构的腔室中而将加热板冷却的回流装置(以下将该回流装置作为“回流装置B”)，以及具备通过配置于加热板下侧的红外线灯加热器等加热机构对加热板进行加热的加热室、和将加热后的加热板冷却的冷却室，并且将载置有电路板的加热板在加热室中加热后转移至冷却室从而将加热板冷却的回流装置(以下将该回流装置作为“回流装置C”)。

本申请发明人对于能够以短时间加热加热板且能够以短时间将加热后的加热板冷却、并且能够降低成本的新型回流装置的结构进行了研究。在上述回流装置A中具有能够利用冷却板以短时间使加热后的加热板冷却这一优点。另一方面，在回流装置A中存在加热板的加热耗费时间这一缺点。

另外，在上述回流装置B中具有能够以短时间加热加热板的优点、以及由于装置的结构简单而能够降低装置的成本的优点。另一方面，在回流装置B中存在加热后的加热板的冷却耗费时间这一缺点。进而，在上述回流装置C中具有能够以短时间加热加热板的优点、以及能够使加热后的加热板在冷却室中以短时间冷却的优点。另一方面，在回流装置C中存在由于设有加热室和冷却室而导致装置成本变高这一缺点。

本申请发明人决定从回流装置A～C中采用虽然加热板的冷却耗费时间但能够以短时间加热加热板且能够降低成本的回流装置B的基本结构，作为新型回流装置的基本结构。在此，在回流装置B中，通过配置于加热板的下侧的加热机构对加热板进行加热。因此，在回流装置B中，为了能够将加热机构的热迅速地传递至载置于加热板上的电路板而优选厚度薄的加热板。

另外，本申请发明人对于下述情况进行了研究，即：在回流装置B中，为了使加热后的加热板在短时间内冷却而促进熔融的软钎料的凝固，取代将冷气送入腔室中而在加热板的内部形成流体的流道，并且使冷却用流体在加热板的内部所形成的流道中流动，从而使加热后的加热板冷却。具体而言，对于下述情况进行了研究，即：为了高效冷却加热板以使熔融的软钎料的凝固速度有效提高，而使导热系数高于气体的液体在加热板的内部的流道中流动。

然而，根据本申请发明人的研究明确了：即使欲使冷却用的液体在厚度薄的加热板内部形成的流道中流动，液体也难以在流道中流动。具体而言，根据本申请发明人的研究明确了：当使液体流入为了使软钎料熔融而变为高温的加热板的流道中时，流入的液体被急剧加热而蒸发，从而产生蒸汽爆发。另外，根据本申请发明人的研究明确了：由于厚度薄的加热板的内部形成的流道变窄，因此，当在加热板的流道中产生蒸汽爆发时，流道的内部压力变高从而冷却用的流体难以在流道中流动。另外还明确了：由于即使欲使冷却用的液体在厚度薄的加热板的内部形成的流道中流动，液体也难以在流道中流动，因此加热后的加热板难以被冷却。

发明内容

因此，本发明的课题在于提供一种回流装置，该回流装置具备在顶面侧配置处理对象物的平板状的加热板、和配置于加热板的下侧并对加热板进行加热的加热机构，在该回流装置中，即使将加热板的厚度变薄，也能够以短时间使加热后的加热板冷却。

为了解决上述课题，本发明的回流装置的特征在于，具备：在顶面侧配置处理对象物的平板状的加热板、配置于加热板的下侧并对加热板进行加热的加热机构、收容加热板和加热机构的腔室、以及用于冷却加热后的加热板的冷却机构，并且，在加热板的内部形成有供冷却用流体通过的流体流道，冷却机构向流体流道供给冷却用喷雾。

在本发明的回流装置中，作为雾状的液体的喷雾被供给至加热板的内部的流体流道中，这与将液体直接供给至流体流道中的情况相比，供给至流体流道中的流体所含的每单位体积的液体量少。因此，在本发明中能够抑制喷雾流入变为高温的加热板的流体流道时的蒸汽爆发的产生。因此，在本发明中，即使加热板变薄而使流体流道变窄，也能够抑制喷雾流入变为高温的加热板的流体流道时的流体流道的内部压力的上升，因此冷却用流体在流体流道中容易流动。即，在本发明中，即使加热板变薄而使流体流道变窄，另外即使将冷却效率高于气体的喷雾供给至加热板的流体流道中，冷却用流体在流体流道中也容易流动。因此，在本发明中，即使将加热板的厚度变薄，也能够以短时间使加热后的加热板冷却。

在本发明中，喷雾优选为雾状的水。如此构成时，能够容易且廉价地得到作为喷雾来源的液体。因此，能够降低回流装置的运行成本。

在本发明中优选：冷却机构具备喷射喷雾的喷雾喷嘴、收容液体的罐、将罐中的液体供给至喷雾喷嘴的泵、以及将压缩气体供给至喷雾喷嘴的气体供给机构，并且，从喷雾喷嘴喷射出的喷雾被供给至流体流道中。如此构成时，能够以比较简单的构成将喷雾供给至流体流道中。

在本发明中优选：冷却机构具备流量调节阀，该流量调节阀配置于喷雾喷嘴与罐之间的配管路径上并对供给至喷雾喷嘴的液体的流量进行调整。如此构成时，能够根据加热板的温度对喷雾中所含的每单位体积的液体量进行调整。因此，能够在加热板的冷却刚刚开始后等加热板的温度高时，通过减少喷雾中所含的每单位体积的液体量，而有效地抑制喷雾流入流体流道时的蒸汽爆发的产生。另外，能够在加热板的冷却持续进行时等加热板的温度低时，通过增加喷雾中所含的每单位体积的液体量，而以更短时间使加热板冷却。

在本发明中优选：回流装置具备将从流体流道排出的流体进行冷却的流体冷却机构、以及将从流体流道排出并经流体冷却机构冷却后的流体分离为气体和液体的气液分离机构，并且，通过气液分离机构而分离出的液体被返回罐中。如此构成时，向罐中补充液体的频率变低。因此，回流装置的使用性能提升。

在本发明中优选：当将与加热板的厚度方向垂直的规定方向设为第一方向时，形成流体流道的一端的流体的流入口和形成流体流道的另一端的流体的流出口分别配置于加热板的第一方向的两端侧，并且，流体在流体流道中从流入口朝向流出口以不蜿蜒的方式朝向一个方向流动。如此构成时，与流体在流体流道中蜿蜒流动的情况相比，能够减小流体流道作用于流体的阻力，由此能够提高流经流体流道的流体的速度。因此，能够减小流入流入口的流体(喷雾)的温度与从流出口流出的流体的温度之差。因此，能够使加热板被冷却时的加热板的第一方向一端侧的温度与加热板的第一方向另一端侧的温度之差变小，从而能够抑制加热板的温度不均。

在本发明中优选：当将第一方向的一侧作为第二方向、将第二方向的反方向即第一方向的另一侧作为第三方向时，在加热板上，作为流入口而形成有配置于加热板的第二方向端侧的第一流入口和配置于加热板的第三方向端侧的第二流入口，并且，作为流出口而形成有配置于加热板的第三方向端侧的第一流出口和配置于加热板的第二方向端侧的第二流出口，并且，作为流体流道而形成有具有第一流入口和第一流出口的第一流体流道和具有第二流入口和第二流出口的第二流体流道。如此构成时，能够进一步减小加热板被冷却时的加热板的第二方向端侧的温度与加热板的第三方向端侧的温度之差。因此，能够有效地抑制加热板被冷却时的加热板的温度不均。

在本发明中，例如将处理对象物直接载置于加热板上。该情况下，变得容易对处理对象物进行加热。

在本发明中也可以形成为：回流装置具备载置处理对象物的载置部件，并且，载置部件与加热板分开形成并载置于加热板上。如此构成时，能够利用与加热板不同的材料形成载置部件。因此，能够提高形成载置部件的材料的选择自由度。另外，如此构成时，例如可以通过机器人将载置于载置部件上的处理对象物连同载置部件一起转移至其他装置上。进而，如此构成时，例如在根据处理对象物的大小或形状等而于载置部件上形成用于将处理对象物进行定位的定位部时，能够容易地将载置于加热板上的载置部件更换为形成有与欲利用回流装置进行处理的处理对象物的大小或形状等相适应的适当的定位部的载置部件。

在本发明中优选：在加热板的避开流体流道的部位上形成有沿上下方向贯通的贯通孔。如此构成时，即使载置部件被载置于加热板上，也能够利用加热机构高效地对载置于加热板上的载置部件进行加热。

(发明效果)

如上所述，在本发明中，回流装置具备在顶面侧配置处理对象物的平板状的加热板、以及配置于加热板的下侧并对加热板进行加热的加热机构，并且，在该回流装置中，即使将加热板的厚度变薄，也能够以短时间使加热后的加热板冷却。

附图说明

图1是用于说明本发明实施方式涉及的回流装置的构成的装置结构图。

图2是用于说明图1所示的腔室的内部构成的图。

图3是图1所示的加热板等的俯视图。

图4是图3所示的加热板和连接部件的侧视图。

图5是图4所示的下加热板的俯视图。

图6是图4所示的连接部件的剖视图。

图7是本发明其他实施方式涉及的加热板的俯视图。

图8是图7所示的加热板和载置部件的侧视图。

(符号说明)

1…回流装置

3…电路板(处理对象物)

6…加热板

6a…贯通孔

7…加热机构

8…腔室

9…冷却机构

10…流体流道

13…喷雾喷嘴

14…罐

15…泵

16…气体供给机构

17…流量调节阀

19…流体冷却机构

20…气液分离机构

28…流入口

28A…第一流入口

28B…第二流入口

29…流出口

29A…第一流出口

29B…第二流出口

35…载置部件

X…第一方向

X1…第二方向

X2…第三方向

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(回流装置的构成)

图1是用于说明本发明实施方式涉及的回流装置1的构成的装置结构图。图2是用于说明图1所示的腔室8的内部构成的图。

本方式的回流装置1是用于将电源模块等电子器件2通过软钎焊焊接于陶瓷基板等电路板3上的回流软钎焊装置。在软钎焊之前的电路板3上，隔着软钎料4载置有电子器件2，电子器件2通过回流装置1被实施软钎焊从而安装在电路板3上。回流装置1具备：在顶面侧配置电路板3的平板状的加热板6、配置于加热板6的下侧并对加热板6进行加热的加热机构7、收容加热板6和加热机构7的腔室8、以及用于冷却加热后的加热板6的冷却机构9。在本方式中，隔着软钎料4载置有电子器件2的电路板3成为处理对象物。另外，在本方式中，电路板3直接载置于加热板6上。即，在本方式中，处理对象物直接载置于加热板6上。

加热机构7例如为红外线灯加热器(Infrared Lamp Heater)。在加热板6的下侧配置有多个加热机构7，以对加热板6均匀加热。加热机构7将加热板6加热至例如250℃～450℃左右。在腔室8中连接有省略图示的真空泵，从而能够使腔室8的内部压力为负压(使腔室8的内部为真空状态)。在加热板6的内部形成有供冷却用流体通过的流体流道10。关于加热板6的具体构成，之后进行说明。

冷却机构9向流体流道10供给冷却用喷雾。本方式的喷雾为雾状的水。冷却机构9具备：喷射喷雾的喷雾喷嘴13、收容作为喷雾来源的液体(即水)的罐14、将罐14中的水供给至喷雾喷嘴13的泵(加压泵)15、向喷雾喷嘴13供给压缩气体的气体供给机构16、以及配置于喷雾喷嘴13与罐14之间的配管路径上的流量调节阀17。在本方式中，从喷雾喷嘴13喷射出的喷雾被供给至流体流道10中。具体而言，从喷雾喷嘴13喷射出的喷雾在通过了连接喷雾喷嘴13和加热板6的配管18之后被供给至流体流道10中。加热后的加热板6主要利用被供给至流体流道10的喷雾中的水分蒸发时的气化热而被冷却。

另外，在本方式中，当按下省略图示的冷却按钮时，冷却机构9开始向流体流道10供给喷雾。另外，当之后再次按下冷却按钮时，由冷却机构9实施的向流体流道10的喷雾供给停止。或者，在本方式中设定用于自动进行从加热机构7执行的加热板6的加热至冷却机构9执行的加热板6的冷却的程序，根据该程序使冷却机构9自动开始向流体流道10的喷雾供给，并且自动停止由冷却机构9实施的向流体流道10的喷雾供给。

气体供给机构16例如为压缩机。本方式的气体供给机构16向喷雾喷嘴13供给压缩空气。流量调节阀17配置于喷雾喷嘴13与泵15之间，对供给至喷雾喷嘴13的水量进行调整。本方式的流量调节阀17为比例控制电磁阀。流量调节阀17根据加热板6的温度对供给至喷雾喷嘴13的水量进行调整。具体而言，在加热板6上安装有检测加热板6的温度的热电偶等温度传感器25，流量调节阀17根据温度传感器25的检测结果，对供给至喷雾喷嘴13的水量自动进行调整。

更为具体而言，在本方式中，预先设定与温度传感器25所检测的温度相适应的流量调节阀17的流量。例如，预先设定与各温度范围相适应的五个等级的流量调节阀17的流量，即：温度传感器25检测的温度为350℃以上时的流量调节阀17的流量、温度传感器25检测的温度为300℃以上且小于350℃时的流量调节阀17的流量、温度传感器25检测的温度为250℃以上且小于300℃时的流量调节阀17的流量、温度传感器25检测的温度为150℃以上且小于250℃时的流量调节阀17的流量、以及温度传感器25检测的温度小于150℃时的流量调节阀17的流量。由冷却机构9实施的向流体流道10的喷雾供给开始后的流量调节阀17的流量，根据温度传感器25的检测结果而自动被调整。

另外，回流装置1具备：将从流体流道10排出的流体冷却的流体冷却机构19、以及将从流体流道10排出并经流体冷却机构19冷却后的流体分离为气体和液体的气液分离机构20。流体冷却机构19为水冷式换热器。流体冷却机构19具备：装有冷却水等冷却用液体的冷却槽21、以及使冷却冷却槽21中的液体用的冷却水等冷却介质循环的冷风装置(循环机构)22。从流体流道10排出的流体从冷却槽21中配置的配管中通过。另外，从流体流道10排出的流体为蒸汽。即，从流体流道10排出的流体为水蒸汽。在从流体流道10排出的水蒸汽中，根据加热板6的温度有时也会含有水滴。

气液分离机构20是将被流体冷却机构19冷却并从流体冷却机构19排出的流体分离为水和空气的分水器。气液分离机构20的液体排出口经由规定的配管与罐14连接，通过气液分离机构20而分离出的液体(即水)被返回罐14中。气液分离机构20的气体排出口经由规定的配管与用于除去气体中的水分的雾过滤器(Mist Filter)23连接。从雾过滤器23通过的气体(即空气)被排入大气中，利用雾过滤器23而从空气中除去的水被返回罐14中。

在回流装置1中，在使腔室8的内部呈真空的状态下，利用加热机构7对加热板6进行加热而使软钎料4熔融。另外，在使软钎料4熔融后，向流体流道10供给冷却用喷雾而将加热板6冷却，并使熔融的软钎料4凝固，从而将电子器件2通过软钎焊焊接于电路板3上。

(加热板和连接部件的构成)

图3是图1所示的加热板6等的俯视图。图4是图3所示的加热板6和连接部件31、32的侧视图。图5是图4所示的下加热板27的俯视图。图6是图4所示的连接部件31的剖视图。

加热板6形成为大致长方形的薄平板状。以加热板6的厚度方向与上下方向(垂直方向)一致的方式配置加热板6。另外，加热板6由在上下方向上重叠的上加热板26和下加热板27这两块加热板构成。上加热板26配置于下加热板27的上侧。在加热板6的内部形成有四条流体流道10。具体而言，当将沿着形成为大致长方形的加热板6的长边延伸的方向(图3、图5的X方向)设为“前后方向”、且将沿着加热板6的短边延伸的方向(图3、图5的Y方向)设为“左右方向”时，在加热板6的内部形成有在左右方向上呈等间隔排列的四条流体流道10。

在以下的说明中，将前后方向的一侧(图3等的X1方向侧)设为“前”侧，其相反侧即前后方向的另一侧(图3等的X2方向侧)设为“后”侧，并将左右方向的一侧(图3等的Y1方向侧)设为“右”侧，其相反侧即左右方向的另一侧(图3等的Y2方向侧)设为“左”侧。本方式的前后方向(X方向)为与加热板6的厚度方向垂直的第一方向，前方向(X1方向)为第一方向的一侧、即第二方向，后方向(X2方向)为第二方向的反方向、即第三方向。

上加热板26和下加热板27由铬铜形成。即，加热板6由铬铜形成。另外，上加热板26和下加热板27形成为大致长方形的薄平板状。上加热板26的外形和下加热板27的外形为相同形状。上加热板26的下表面和下加热板27的上表面被接合。具体而言，通过使用银焊料的硬钎焊而使上加热板26的下表面和下加热板27的上表面接合。

下加热板27的厚度大于上加热板26的厚度。例如，上加热板26的厚度为1(mm)左右，下加热板27的厚度为3(mm)左右。另外，在本方式中，上加热板26通过将三块薄板在左右方向上接合而形成，下加热板27通过将两块薄板在左右方向上接合而形成。另外，在上加热板26和下加热板27上实施了防锈处理。

在下加热板27上形成有从下加热板27的上表面朝向下侧凹陷的流体通过槽27a。具体而言，在下加热板27上形成有沿左右方向以等间隔排列的四个流体通过槽27a。在本方式中，由流体通过槽27a和上加热板26的下表面构成流体流道10。另外，在下加热板27上形成有形成流体流道10的一端的流入口28、和形成流体流道10的另一端的流体的流出口29。流入口28和流出口29在上下方向上贯通下加热板27。

流入口28和流出口29分别形成于下加热板27的前后方向的两端部。即，流入口28和流出口29分别配置于加热板6的前后方向的两端侧。具体而言，当将四条流体流道10中配置于左侧的两条流体流道10的流入口28设为“流入口28A”、将这两条流体流道10的流出口29设为“流出口29A”、并且将其余的两条流体流道10(配置于右侧的两条流体流道10)的流入口28设为“流入口28B”、将这两条流体流道10的流出口29设为“流出口29B”时，流入口28A和流出口29B配置于加热板6的前端侧，流入口28B和流出口29A配置于加热板6的后端侧。

即，流入口28A形成于下加热板27的前端部，并且流出口29A形成于下加热板27的后端部，四个流体通过槽27a中配置于左侧的两个流体通过槽27a的前端与流入口28A相连，且这两个流体通过槽27a的后端与流出口29A相连。另外，流入口28B形成于下加热板27的后端部，并且流出口29B形成于下加热板27的前端部，其余两个流体通过槽27a的后端与流入口28B相连，这两个流体通过槽27a的前端与流出口29B相连。

在流体流道10中，流体从流入口28朝向流出口29以不蜿蜒的方式朝向一个方向流动。具体而言，在配置于左侧的两条流体流道10中，流体从流入口28A朝向流出口29A以不蜿蜒的方式朝向后方向流动，在配置于右侧的两条流体流道10中，流体从流入口28B朝向流出口29B以不蜿蜒的方式朝向前方向流动。即，流体在配置于左侧的两条流体流道10中流动的方向与流体在配置于右侧的两条流体流道10中流动的方向为相反方向。本方式的流入口28A为第一流入口，流入口28B为第二流入口，流出口29A为第一流出口，流出口29B为第二流出口。另外，在本方式中，配置于左侧的两条流体流道10为第一流体流道，配置于右侧的两条流体流道10为第二流体流道。

流体通过槽27a由以下各部构成：即，以在左右方向上分离的状态配置的右侧槽部27b和左侧槽部27c、构成流体通过槽27a的前端部且使右侧槽部27b的前端部与左侧槽部27c的前端部汇流的汇流槽部27d、以及构成流体通过槽27a的后端部且使右侧槽部27b的后端部与左侧槽部27c的后端部汇流的汇流槽部27e。即，流体通过槽27a从流体通过槽27a的前端朝向后端经过暂时的朝向左右方向的分岔后再次汇流。

右侧槽部27b由在前后方向上延伸的三条细长的槽构成。三条槽之间形成为补强用的加强筋27f。左侧槽部27c也同样由在前后方向上延伸的三条细长的槽构成，且三条槽之间形成为补强用的加强筋27f。另外，在右侧槽部27b中的前后方向的中途位置处形成有使三条槽彼此相连的连接槽27g。同样地，在左侧槽部27c中的前后方向的中途位置处形成有使三条槽彼此相连的连接槽27g。另外，如上所述，上加热板26的下表面和下加热板27的上表面被接合，且加强筋27f的上端面也与上加热板26的下表面接合。

在加热板6前端部的下表面的左侧处固定有在内部形成有流体的流道的连接部件31。在连接部件31上，形成有供从喷雾喷嘴13喷射出的喷雾流入的一个流入口31a、以及分别与两个流入口28A相连的两个流出口31b(参照图6)。流入口31a与配管18相连。从流入口31a流入的喷雾分别从两个流出口31b流出，并供给至配置于左侧的两条流体流道10中。即，在本方式中，使用共同的连接部件31将喷雾供给至两条流体流道10中。同样地，在加热板6后端部的下表面的右侧处固定有连接部件31。在该连接部件31处，流出口31b分别与两个流入口28B相连，从流入口31a流入的喷雾分别从两个流出口31b流出，并供给至配置于右侧的两条流体流道10中。

另外，在加热板6后端部的下表面的左侧处固定有与连接部件31同样地构成的连接部件32。在连接部件32上形成有分别与两个流出口29A相连的两个流入口、以及使流体朝向流体冷却机构19流出的一个流出口32a。从配置于左侧的两条流体流道10排出并流入连接部件32的流体，从流出口32a朝向流体冷却机构19流出。即，在本方式中，使用共同的连接部件32将流体从两条流体流道10中排出。同样地，在加热板6前端部的下表面的右侧处固定有连接部件32。在该连接部件32处，从配置于右侧的两条流体流道10排出并流入连接部件32的流体，从流出口32a朝向流体冷却机构19流出。

(本方式的主要效果)

如以上所说明，在本方式中，作为雾状的水的喷雾被供给至加热板6的内部的流体流道10中，这与将液状的水直接供给至流体流道10中的情况相比，供给至流体流道10中的流体所含的每单位体积的水分量少。因此，在本方式中能够抑制喷雾流入变为高温的加热板6的流体流道10时的水蒸汽爆发的产生。因此，在本方式中，即使加热板6变薄而使流体流道10变窄(即，即使流体流道10的高度变低)，也能够抑制喷雾流入变为高温的加热板6的流体流道10时的流体流道10的内部压力的上升，因此冷却用流体在流体流道10中容易流动。即，在本方式中，即使加热板6变薄而使流体流道10变窄，另外即使将冷却效率高于气体的喷雾供给至流体流道10中，冷却用流体在流体流道10中也容易流动。因此，在本方式中，即使将加热板6的厚度变薄，也能够以短时间使加热后的加热板6冷却。

在本方式中，对供给至喷雾喷嘴13的水量进行调整的流量调节阀17被配置于喷雾喷嘴13与泵15之间。因此，在本方式中，能够根据加热板6的温度而对喷雾中所含的每单位体积的水量进行调整。因此，在本方式中，能够在加热板6的冷却刚刚开始后等加热板6的温度高时，通过减少喷雾中所含的每单位体积的水量，而有效地抑制喷雾流入流体流道10时的水蒸汽爆发的产生。另外，能够在加热板6的冷却持续进行时等加热板6的温度低时，通过增加喷雾中所含的每单位体积的水量，而以更短时间使加热板6冷却。

在本方式中，从流体流道10排出并通过气液分离机构20分离出的水被返回罐14中。因此，在本方式中向罐14中补充水的频率变低。因此，在本方式中回流装置1的使用性能提升。另外，在本方式中，由于加热板6由铬铜形成，因此，即使将加热板6的厚度变薄，也能够抑制喷雾流入变为高温的加热板6的流体流道10时的加热板6的变形。

在本方式中，在配置于左侧的两条流体流道10中，流体从流入口28A朝向流出口29A以不蜿蜒的方式朝向后方向流动，在配置于右侧的两条流体流道10中，流体从流入口28B朝向流出口29B以不蜿蜒的方式朝向前方向流动。因此，在本方式中，与流体在流体流道10中蜿蜒流动的情况相比，能够减小流体流道10作用于流体的阻力，因此能够提高流经流体流道10的流体的速度。因此，在本方式中，能够减小流入流入口28的流体(喷雾)的温度与从流出口29流出的流体的温度之差。因此，在本方式中，能够使加热板6被冷却时的加热板6前端侧的温度与加热板6后端侧的温度之差变小，从而能够抑制加热板6的温度不均。

尤其在本方式中，由于流体在配置于左侧的两条流体流道10中流动的方向与流体在配置于右侧的两条流体流道10中流动的方向为相反方向，因此能够进一步减小加热板6被冷却时的加热板6前端侧的温度与加热板6后端侧的温度之差。因此，在本方式中能够有效地抑制加热板6的温度不均。

(回流装置的变形例)

图7是本发明其他实施方式涉及的加热板6的俯视图。图8是图7所示的加热板6和载置部件35的侧视图。另外，在图7、图8中，对于与上述方式同样的构成赋予同一符号。

在上述方式中，回流装置1也可以具备载置电路板3(即，载置处理对象物)的载置部件35。载置部件35与加热板6分开形成并载置于加热板6上。载置部件35例如利用与加热板6相同的材料形成。在载置部件35上，根据电路板3的大小或形状等而形成有用于将电路板3进行定位的定位部(图示省略)。另外，在该变形例中，回流装置1具备在左右方向上被分开的两块加热板6，并且两块加热板6各自形成有两条流体流道10。两块加热板6以在左右方向上隔开间隔的状态被配置。载置部件35例如载置于两块加热板6上。另外，也可以不在载置部件35上形成定位部。该情况下，载置部件35例如形成为平板状。另外，在该变形例中，加热板6也由上加热板26和下加热板27构成。

在加热板6的避开流体流道10的部位上，形成有沿上下方向贯通的贯通孔6a。在该变形例中，如图7所示，在一块加热板6上，两条流体流道10之间形成有贯通孔6a，并且右侧槽部27b与左侧槽部27c之间也形成有贯通孔6a。即，一块加热板6上形成有三个贯通孔6a。贯通孔6a沿前后方向形成为细长的长孔状。另外，贯通孔6a沿前后方向形成于形成有右侧槽部27b和左侧槽部27c的部分的大致整个区域中。

在该变形例中，由于载置部件35与加热板6分开形成，因此可以使用与加热板6不同的材料形成载置部件35。因此，能够提高形成载置部件35的材料的选择自由度。另外，在该变形例中，由于载置部件35与加热板6分开形成并载置于加热板6上，因此能够例如通过机器人将载置于载置部件35上的电路板3连同载置部件35一起转移至其他装置上。

进而，在该变形例中，由于载置部件35与加热板6分开形成并载置于加热板6上，因此，在载置部件35上形成有定位部时，能够容易地将载置于加热板6上的载置部件35更换为形成有与欲利用回流装置1进行处理的电路板3的大小或形状等相适应的适当定位部的载置部件35。另外，在该变形例中，由于加热板6上形成有贯通孔6a，因此能够利用加热机构7高效地对载置于加热板6上的载置部件35进行加热。

(其他实施方式)

在上述方式中，作为供给至流体流道10的喷雾来源的液体也可以为水以外的液体。另外，在上述方式中，从气体供给机构16供给至喷雾喷嘴13的压缩气体也可以为压缩空气以外的压缩气体。但是，若作为供给至流体流道10的喷雾来源的液体为水，则作为喷雾来源的液体能够容易且廉价地得到，因此能够降低回流装置1的运行成本。另外，若从气体供给机构16供给至喷雾喷嘴13的压缩气体为压缩空气，则也能够降低回流装置1的运行成本。

在上述方式中，流体在配置于左侧的两条流体流道10中流动的方向与流体在配置于右侧的两条流体流道10中流动的方向也可以为相同方向。另外，在上述方式中，加热板6上形成的流体流道10的数量可以为三个以下，也可以为五个以上。进而，在上述方式中，也可以以使流经流体流道10的流体蜿蜒流动的方式形成流体流道10。

在上述方式中，加热板6也可以由铬铜以外的铜合金形成。另外，加热板6也可以为导热系数高的碳板等。另外，在上述方式中，流量调节阀17也可以为手动阀。另外，在上述方式中，冷却机构9也可以不具备流量调节阀17。进而，在上述方式中，回流装置1是用于将电子器件2通过软钎焊焊接于电路板3上的回流软钎焊装置，但回流装置1也可以是使用于其他用途中的回流装置。

Claims (10)

1.一种回流装置，其特征在于，

具备：在顶面侧配置处理对象物的平板状的加热板、配置于所述加热板的下侧并对所述加热板进行加热的加热机构、收容所述加热板和所述加热机构的腔室、以及用于冷却加热后的所述加热板的冷却机构，

在所述加热板的内部形成有供冷却用流体通过的流体流道，

所述冷却机构向所述流体流道供给冷却用喷雾。

2.如权利要求1所述的回流装置，其特征在于，所述喷雾为雾状的水。

3.如权利要求1或2所述的回流装置，其特征在于，

所述冷却机构具备：喷射所述喷雾的喷雾喷嘴、收容液体的罐、将所述罐中的液体供给至所述喷雾喷嘴的泵、以及向所述喷雾喷嘴供给压缩气体的气体供给机构，

从所述喷雾喷嘴喷射出的所述喷雾被供给至所述流体流道中。

4.如权利要求3所述的回流装置，其特征在于，

所述冷却机构具备流量调节阀，该流量调节阀配置于所述喷雾喷嘴与所述罐之间的配管路径上并对供给至所述喷雾喷嘴的液体的流量进行调整。

5.如权利要求3所述的回流装置，其特征在于，

所述回流装置具备：将从所述流体流道排出的流体进行冷却的流体冷却机构、以及将从流体流道排出并经所述流体冷却机构冷却后的流体分离为气体和液体的气液分离机构，

通过所述气液分离机构而分离出的液体被返回所述罐中。

6.如权利要求1或2所述的回流装置，其特征在于，

当将与所述加热板的厚度方向垂直的规定方向设为第一方向时，形成所述流体流道的一端的流体的流入口和形成所述流体流道的另一端的流体的流出口分别配置于所述加热板的第一方向的两端侧，

在所述流体流道中，流体从所述流入口朝向所述流出口以不蜿蜒的方式朝向一个方向流动。

7.如权利要求6所述的回流装置，其特征在于，

当将第一方向的一侧作为第二方向、将第二方向的反方向即第一方向的另一侧作为第三方向时，

在所述加热板上，作为所述流入口而形成有配置于所述加热板的第二方向端侧的第一流入口和配置于所述加热板的第三方向端侧的第二流入口，并且，作为所述流出口而形成有配置于所述加热板的第三方向端侧的第一流出口和配置于所述加热板的第二方向端侧的第二流出口，并且，作为所述流体流道而形成有具有所述第一流入口和所述第一流出口的第一流体流道和具有所述第二流入口和所述第二流出口的第二流体流道。

8.如权利要求1或2所述的回流装置，其特征在于，所述处理对象物直接载置于所述加热板上。

9.如权利要求1或2所述的回流装置，其特征在于，

所述回流装置具备载置所述处理对象物的载置部件，

所述载置部件与所述加热板分开形成，并载置于所述加热板上。

10.如权利要求9所述的回流装置，其特征在于，

在所述加热板的避开所述流体流道的部位上，形成有沿上下方向贯通的贯通孔。