JP6803617B2 - リフロー装置 - Google Patents
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Description
また、上記の課題を解決するため、本発明のリフロー装置は、処理対象物が上面側に配置される平板状の加熱板と、加熱板の下側に配置され加熱板を加熱する加熱機構と、加熱板および加熱機構が収容されるチャンバーと、加熱された加熱板を冷却するための冷却機構と、処理対象物が載置される載置部材とを備え、加熱板の内部には、冷却用の流体が通過する流体流路が形成され、冷却機構は、流体流路に冷却用のミストを供給し、加熱板の厚さ方向に直交する所定の方向を第1方向とし、第1方向の一方を第2方向とし、第2方向の反対方向である第1方向の他方を第3方向とすると、流体流路の一端をなす流体の流入口と、流体流路の他端をなす流体の流出口とは、加熱板の第1方向の両端側のそれぞれに配置され、流体流路では、流入口から流出口に向かって流体が蛇行せずに一方向に流れ、載置部材は、加熱板と別体で形成され、加熱板の厚さ方向と第1方向とに直交する方向に分割された2枚の加熱板に載置され、載置部材が載置される2枚の加熱板のうちの一方の加熱板には、流入口として、加熱板の第2方向端側に配置される第1流入口が形成されるとともに、流出口として、加熱板の第3方向端側に配置される第1流出口が形成され、載置部材が載置される2枚の加熱板のうちの他方の加熱板には、流入口として、加熱板の第3方向端側に配置される第2流入口が形成されるとともに、流出口として、加熱板の第2方向端側に配置される第2流出口が形成されていることを特徴とする。
さらに、上記の課題を解決するため、本発明のリフロー装置は、処理対象物が上面側に配置される平板状の加熱板と、加熱板の下側に配置され加熱板を加熱する加熱機構と、加熱板および加熱機構が収容されるチャンバーと、加熱された加熱板を冷却するための冷却機構と、処理対象物が載置される載置部材とを備え、加熱板の内部には、冷却用の流体が通過する流体流路が形成され、冷却機構は、流体流路に冷却用のミストを供給し、載置部材は、加熱板と別体で形成され、加熱板に載置され、加熱板の、流体流路を避けた箇所には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されていることを特徴とする。
また、請求項1、2にかかる発明では、加熱板の厚さ方向に直交する所定の方向を第1方向とすると、流体流路の一端をなす流体の流入口と、流体流路の他端をなす流体の流出口とは、加熱板の第1方向の両端側のそれぞれに配置され、流体流路では、流入口から流出口に向かって流体が蛇行せずに一方向に流れるため、流体流路で流体が蛇行しながら流れる場合と比較して、流体流路で流体に作用する抵抗を小さくすることが可能になり、その結果、流体流路を流れる流体の速度を速めることが可能になる。したがって、流入口に流入する流体(ミスト)の温度と、流出口から流出する流体の温度との差を小さくすることが可能になる。そのため、加熱板が冷却されるときの、加熱板の第1方向の一端側の温度と加熱板の第1方向の他端側の温度との差を小さくして、加熱板の温度ムラを抑制することが可能になる。
また、請求項1にかかる発明では、第1方向の一方を第2方向とし、第2方向の反対方向である第1方向の他方を第3方向とすると、加熱板には、流入口として、加熱板の第2方向端側に配置される第1流入口と、加熱板の第3方向端側に配置される第2流入口とが形成され、かつ、流出口として、加熱板の第3方向端側に配置される第1流出口と、加熱板の第2方向端側に配置される第2流出口とが形成されるとともに、流体流路として、第1流入口および第1流出口を有する第1流体流路と、第2流入口および第2流出口を有する第2流体流路とが形成されているため、加熱板が冷却されるときの、加熱板の第2方向端側の温度と加熱板の第3方向端側の温度との差をより小さくすることが可能になる。したがって、加熱板が冷却されるときの、加熱板の温度ムラを効果的に抑制することが可能になる。
さらに、請求項2、3にかかる発明では、リフロー装置は、処理対象物が載置される載置部材を備え、載置部材は、加熱板と別体で形成され、加熱板に載置されているため、載置部材を、加熱板と異なる材料で形成することが可能になる。したがって、載置部材を形成する材料の選択の自由度を高めることが可能になる。また、たとえば、載置部材に載置される処理対象物を載置部材ごと、ロボットによって、他の装置へ移送することが可能になる。さらに、たとえば、処理対象物を位置決めするための位置決め部が処理対象物の大きさや形状等に応じて載置部材に形成されている場合に、加熱板に載置される載置部材を、リフロー装置で処理される処理対象物の大きさや形状等に応じた適切な位置決め部が形成される載置部材に容易に交換することが可能になる。
また、請求項3にかかる発明では、加熱板の、流体流路を避けた箇所に、上下方向に貫通する貫通穴が形成されているため、載置部材が加熱板に載置されていても、加熱板に載置される載置部材を加熱機構によって効率的に加熱することが可能になる。
図1は、本発明の実施の形態にかかるリフロー装置1の構成を説明するための装置構成図である。図2は、図1に示すチャンバー8の内部の構成を説明するための図である。
図3は、図1に示す加熱板6等の平面図である。図4は、図3に示す加熱板6および接続部材31、32の側面図である。図5は、図4に示す下加熱板27の平面図である。図6は、図4に示す接続部材31の断面図である。
以上説明したように、本形態では、霧状の水であるミストが加熱板6の内部の流体流路10に供給されており、流体流路10に液状の水がそのまま供給される場合と比較して、流体流路10に供給される流体に含まれる単位体積当たりの水分量が少ない。そのため、本形態では、高温となっている加熱板6の流体流路10にミストが流れ込んだときの水蒸気爆発の発生を抑制することが可能になる。したがって、本形態では、加熱板6が薄くなって流体流路10が狭くなっていても(すなわち、流体流路10の高さが低くなっていても)、高温となっている加熱板6の流体流路10にミストが流れ込んだときの、流体流路10の内部の圧力の上昇を抑制することが可能になり、その結果、流体流路10で冷却用の流体が流れやすくなる。すなわち、本形態では、加熱板6が薄くなって流体流路10が狭くなっていても、また、気体よりも冷却効率の高いミストが流体流路10に供給されても、流体流路10で冷却用の流体が流れやすくなる。したがって、本形態では、加熱板6の厚さを薄くしても、加熱された加熱板6を短時間で冷却することが可能になる。
図7は、本発明の他の実施の形態にかかる加熱板6の平面図である。図8は、図7に示す加熱板6および載置部材35の側面図である。なお、図7、図8では、上述した形態と同様の構成には同一の符号を付している。
上述した形態において、流体流路10に供給されるミストの元となる液体は、水以外の液体であっても良い。また、上述した形態において、気体供給機構16から二流体ノズル13に供給される圧縮気体は、圧縮空気以外の圧縮気体であっても良い。ただし、流体流路10に供給されるミストの元となる液体が水であれば、ミストの元となる液体を容易にかつ安く入手することが可能になるため、リフロー装置1のランニングコストを低減することが可能になる。また、気体供給機構16から二流体ノズル13に供給される圧縮気体が圧縮空気であれば、リフロー装置1のランニングコストを低減することが可能になる。
3 回路基板(処理対象物)
6 加熱板
6a 貫通穴
7 加熱機構
8 チャンバー
9 冷却機構
10 流体流路
13 二流体ノズル
14 タンク
15 ポンプ
16 気体供給機構
17 流量調整弁
19 流体冷却機構
20 気液分離機構
28 流入口
28A 第1流入口
28B 第2流入口
29 流出口
29A 第1流出口
29B 第2流出口
35 載置部材
X 第1方向
X1 第2方向
X2 第3方向
Claims (10)
- 処理対象物が上面側に配置される平板状の加熱板と、前記加熱板の下側に配置され前記加熱板を加熱する加熱機構と、前記加熱板および前記加熱機構が収容されるチャンバーと、加熱された前記加熱板を冷却するための冷却機構とを備え、
前記加熱板の内部には、冷却用の流体が通過する流体流路が形成され、
前記冷却機構は、前記流体流路に冷却用のミストを供給し、
前記加熱板の厚さ方向に直交する所定の方向を第1方向とし、第1方向の一方を第2方向とし、第2方向の反対方向である第1方向の他方を第3方向とすると、
前記流体流路の一端をなす流体の流入口と、前記流体流路の他端をなす流体の流出口とは、前記加熱板の第1方向の両端側のそれぞれに配置され、
前記流体流路では、前記流入口から前記流出口に向かって流体が蛇行せずに一方向に流れ、
前記加熱板には、前記流入口として、前記加熱板の第2方向端側に配置される第1流入口と、前記加熱板の第3方向端側に配置される第2流入口とが形成され、かつ、前記流出口として、前記加熱板の第3方向端側に配置される第1流出口と、前記加熱板の第2方向端側に配置される第2流出口とが形成されるとともに、前記流体流路として、前記第1流入口および前記第1流出口を有する第1流体流路と、前記第2流入口および前記第2流出口を有する第2流体流路とが形成されていることを特徴とするリフロー装置。 - 処理対象物が上面側に配置される平板状の加熱板と、前記加熱板の下側に配置され前記加熱板を加熱する加熱機構と、前記加熱板および前記加熱機構が収容されるチャンバーと、加熱された前記加熱板を冷却するための冷却機構と、前記処理対象物が載置される載置部材とを備え、
前記加熱板の内部には、冷却用の流体が通過する流体流路が形成され、
前記冷却機構は、前記流体流路に冷却用のミストを供給し、
前記加熱板の厚さ方向に直交する所定の方向を第1方向とし、第1方向の一方を第2方向とし、第2方向の反対方向である第1方向の他方を第3方向とすると、
前記流体流路の一端をなす流体の流入口と、前記流体流路の他端をなす流体の流出口とは、前記加熱板の第1方向の両端側のそれぞれに配置され、
前記流体流路では、前記流入口から前記流出口に向かって流体が蛇行せずに一方向に流れ、
前記載置部材は、前記加熱板と別体で形成され、前記加熱板の厚さ方向と第1方向とに直交する方向に分割された2枚の前記加熱板に載置され、
前記載置部材が載置される2枚の前記加熱板のうちの一方の前記加熱板には、前記流入口として、前記加熱板の第2方向端側に配置される第1流入口が形成されるとともに、前記流出口として、前記加熱板の第3方向端側に配置される第1流出口が形成され、
前記載置部材が載置される2枚の前記加熱板のうちの他方の前記加熱板には、前記流入口として、前記加熱板の第3方向端側に配置される第2流入口が形成されるとともに、前記流出口として、前記加熱板の第2方向端側に配置される第2流出口が形成されていることを特徴とするリフロー装置。 - 処理対象物が上面側に配置される平板状の加熱板と、前記加熱板の下側に配置され前記加熱板を加熱する加熱機構と、前記加熱板および前記加熱機構が収容されるチャンバーと、加熱された前記加熱板を冷却するための冷却機構と、前記処理対象物が載置される載置部材とを備え、
前記加熱板の内部には、冷却用の流体が通過する流体流路が形成され、
前記冷却機構は、前記流体流路に冷却用のミストを供給し、
前記載置部材は、前記加熱板と別体で形成され、前記加熱板に載置され、
前記加熱板の、前記流体流路を避けた箇所には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されていることを特徴とするリフロー装置。 - 前記ミストは、霧状の水であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のリフロー装置。
- 前記冷却機構は、前記ミストを噴射する二流体ノズルと、液体が収容されるタンクと、前記タンクの中の液体を前記二流体ノズルに供給するポンプと、前記二流体ノズルに圧縮気体を供給する気体供給機構とを備え、
前記二流体ノズルから噴射される前記ミストが前記流体流路に供給されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のリフロー装置。 - 前記冷却機構は、前記二流体ノズルと前記タンクとの間の配管経路に配置され前記二流体ノズルに供給される液体の流量を調整する流量調整弁を備えることを特徴とする請求項5記載のリフロー装置。
- 前記流体流路から排出される流体を冷却する流体冷却機構と、前記流体流路から排出されて前記流体冷却機構で冷却された流体を気体と液体とに分離する気液分離機構とを備え、
前記気液分離機構で分離された液体は、前記タンクに戻されることを特徴とする請求項5または6記載のリフロー装置。 - 前記処理対象物は、前記加熱板に直接、載置されていることを特徴とする請求項1記載のリフロー装置。
- 前記処理対象物が載置される載置部材を備え、
前記載置部材は、前記加熱板と別体で形成され、前記加熱板に載置されていることを特徴とする請求項1記載のリフロー装置。 - 前記加熱板の、前記流体流路を避けた箇所には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されていることを特徴とする請求項2または9記載のリフロー装置。
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