JP2006194531A - 蒸気減温装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 系外へ排出する熱エネルギーを減少させて省エネルギーを図ることのできる蒸気減温装置を提供する。
【解決手段】 蒸気管１に混合部７と気液分離部４を接続する。冷却流体供給管２を混合部７の上部に接続する。蒸気管１を分岐して分岐蒸気管３を接続する。分岐蒸気管３には蒸気エゼクタ６を取り付ける。蒸気エゼクタ６の吸込室１１をタンク１３と接続する。蒸気供給管１７の立ち上がり部２５の手前にセンサ取り付けパイプ２７を設けて、連通管２６で液体排出部５と連通する。
液体排出部５から排出される高温液体の一部が再蒸発蒸気となって蒸気エゼクタ６の吸込室１１へ吸引されることによって、熱エネルギーの損失を減少させることができる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、温度の高い蒸気例えば過熱蒸気を、所定の低い温度例えば飽和蒸気温度まで減温する蒸気減温装置に関する。
蒸気減温装置は、蒸気配管の管路中にエゼクタと当該エゼクタの下流側に汽水分離器を配置し、当該汽水分離器の水出口に排水弁を配置して、前記エゼクタ部に冷却水を供給することにより蒸気管路中を流下する高温蒸気を減温すると共に、汽水分離器で蒸気から分離された過剰な冷却水を、排水弁から系外へ排出するものである。
この蒸気減温装置においては、汽水分離器で蒸気から分離した過剰な冷却水を排水弁から全て系外へ排出するために、熱エネルギー損失が大きくなってしまう問題があった。排水弁から排出される冷却水は、高温蒸気と接して昇温した高温水であり、比較的大きな熱エネルギーを有しているために、これを系外へ排出することは熱エネルギーの損失となるのである。
特開２０００−１４６１１１号公報
解決しようとする課題は、系外へ排出される熱エネルギーを減少させることにより、省エネルギーを図ることのできる蒸気減温装置を提供することである。
本発明は、蒸気管を流下する蒸気に冷却流体を供給して、蒸気の温度を所定値まで減温するものにおいて、蒸気と冷却流体の混合部の下流側に気液分離部と液体排出部を設け、蒸気管を分岐した分岐蒸気管に蒸気エゼクタを取り付けて、当該蒸気エゼクタの吸引室と液体排出部を接続すると共に、気液分離部の二次側に蒸気管の立ち上がり部を形成して、当該立ち上がり部又は気液分離部と立ち上がり部の間の蒸気管に、液体排出部と連通する連通管を接続したことを特徴とする。
本発明の蒸気減温装置は、蒸気管を分岐した分岐蒸気管に蒸気エゼクタを取り付けて、この蒸気エゼクタの吸引室と液体排出部を接続したことにより、液体排出部から排出される高温液体の熱エネルギーが蒸気エゼクタの吸引室へ吸引され、減温された蒸気と共に再度、蒸気使用箇所等へ供給されることによって、熱エネルギーの損失を押さえて省エネルギーを図ることができる。
本発明は、蒸気と冷却流体の混合部の下流側に気液分離部と液体排出部を取り付けるものであり、この気液分離部と液体排出部は、一体に又は別体に配置することができる。
図１において、高温蒸気の流下する蒸気管１と、冷却流体供給管２と、蒸気エゼクタ６を取り付けた分岐蒸気管３と、気液分離部４と液体排出部５、及び、蒸気管の立ち上がり部２５と連通管２６とで蒸気減温装置を構成する。
蒸気管１の左端側は図示しない高温の過熱蒸気源と接続すると共に、供給される蒸気量を制御するための制御弁８を介して、蒸気と冷却流体を混合する混合部７と接続する。混合部７の入口側上部に同じく制御弁９を介して冷却流体供給管２を接続する。この混合部７で、高温の過熱蒸気と冷却流体としての例えば冷却水が混合されて、過熱蒸気の温度を所定値まで減温することができるものである。
蒸気管１を分岐して分岐蒸気管３を接続する。分岐蒸気管３には、制御弁１０と蒸気エゼクタ６を取り付ける。蒸気エゼクタ６の吸込室１１には、液体排出部５とタンク１３を介して連通する接続管１２を接続する。蒸気エゼクタ６の出口側は出口管路１４によって、混合部７の入口側の蒸気管１と接続する。混合部７の下流側に気液分離部４を配置する。
気液分離部４は、遠心力によって蒸気と冷却水を気液分離するもので、入口１５を蒸気供給管１と接続し、出口１６を立ち上がり部２５と連通する蒸気供給管１７と接続する。
気液分離部４の下部に液体排出部５を一体に形成する。液体排出部５の下端には液体排出管１８を接続して、タンク１３と連通する。液体排出部５は、内部にステンレス製の球形フロートを自由状態で配置したもので、気液分離部４で蒸気から分離された高温の冷却水が所定量内部に溜まると球形フロートが浮力によって浮上して弁口を開口することによって、液体だけを液体排出管１８側へ排出することができるものである。
タンク１３には、所定高さに液体外部排出管１９を接続して蒸気トラップ２０を取り付ける。タンク１３の内部には、液体排出管１８から供給される高温の冷却水が溜まると共に、この高温冷却水の一部が再蒸発した再蒸発蒸気で満たされる。タンク１３内の液位が液体外部排出管１９に達すると、冷却液体は蒸気トラップ２０から外部へ自動的に排除される。
タンク１３内で発生した再蒸発蒸気は、制御弁２１と接続管１２を通って蒸気エゼクタ６の吸引室１１へと吸引され、分岐蒸気管３から供給される高温蒸気と混流して混合部７へ供給される。
蒸気管１から供給される高温の過熱蒸気と、冷却流体供給管２から供給される冷却水と、出口管路１４から供給される再蒸発蒸気とが、混合部７で混合されることによって、高温の過熱蒸気は所定温度まで減温される。気液分離部４において、混合部７で昇温した冷却水の余剰分が分離され、液体排出部５からタンク１３内へ流下して溜まる。タンク１３内で高温冷却水から再蒸発した再蒸発蒸気は、蒸気エゼクタ６の吸込室１１へ吸引される。このように、高温冷却水の再蒸発蒸気を蒸気エゼクタ６で吸引して再利用することによって、従来廃棄していた高温冷却水の熱エネルギーの損失を減少させて省エネルギーを図ることができる。
気液分離部４の出口１６と立ち上がり部２５の間に、略Ｔ字状のセンサ取り付けパイプ２７を配置して、蒸気供給管１７内を流下する蒸気の圧力と温度を検出する圧力センサ２８及び温度センサ２９をそれぞれ取り付ける。
センサ取り付けパイプ２７の温度センサ２９取り付け箇所の下部３０に、連通管２６の一端を接続し、他端を液体排出部５の内部と接続する。
気液分離部４で冷却水の分離された蒸気は、蒸気供給管１７と立ち上がり部２５を通過する間に放熱によって冷却され、凝縮水としての復水を発生する。ここで発生した復水は、立ち上がり部２５の下部に、更にはセンサ取り付けパイプ２７内に溜まり、連通管２６を通って液体排出部５内へ流下して冷却水と混合され、所定量の液位となると自動的にタンク１３内へ流下し、再蒸発蒸気がエゼクタ６へ吸引される。
このように立ち上がり部２５で発生した復水の再蒸発蒸気を、エゼクタ６で吸引して混合部７へ供給することにより、熱エネルギーの損失を減少させて省エネルギーを図ることができる。
なお、蒸気エゼクタ６へは再蒸発蒸気だけが吸引され、高温水は吸引されないために、蒸気エゼクタ６の吸引効率を高く維持することができる。
本発明の蒸気減温装置の実施例を示す構成図。
符号の説明
１ 蒸気管
２ 冷却流体供給管
３ 分岐蒸気管
４ 気液分離部
５ 液体排出部
６ 蒸気エゼクタ
７ 混合部
１１ 吸込室
１２ 接続管
１３ タンク
２５ 立ち上がり部
２６ 連通管
２７ センサ取り付けパイプ
２８ 圧力センサ
２９ 温度センサ

Claims (1)

  1. 蒸気管を流下する蒸気に冷却流体を供給して、蒸気の温度を所定値まで減温するものにおいて、蒸気と冷却流体の混合部の下流側に気液分離部と液体排出部を設け、蒸気管を分岐した分岐蒸気管に蒸気エゼクタを取り付けて、当該蒸気エゼクタの吸引室と液体排出部を接続すると共に、気液分離部の二次側に蒸気管の立ち上がり部を形成して、当該立ち上がり部又は気液分離部と立ち上がり部の間の蒸気管に、液体排出部と連通する連通管を接続したことを特徴とする蒸気減温装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008309417A (ja) * 2007-06-15 2008-12-25 Tlv Co Ltd 蒸気冷却装置
US8020315B2 (en) * 2006-09-07 2011-09-20 Tokyo Electron Limited Substrate processing method, substrate processing apparatus, and program storage medium
WO2015186554A1 (ja) * 2014-06-06 2015-12-10 株式会社テイエルブイ 流体使用設備管理方法、又は、流体使用設備管理システム
JP2017003171A (ja) * 2015-06-09 2017-01-05 株式会社テイエルブイ 蒸気減温装置
JP2019152391A (ja) * 2018-03-05 2019-09-12 株式会社テイエルブイ 蒸気の減温システム及び蒸気の減温方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8020315B2 (en) * 2006-09-07 2011-09-20 Tokyo Electron Limited Substrate processing method, substrate processing apparatus, and program storage medium
US8266820B2 (en) 2006-09-07 2012-09-18 Tokyo Electron Limited Substrate processing method, and program storage medium therefor
JP2008309417A (ja) * 2007-06-15 2008-12-25 Tlv Co Ltd 蒸気冷却装置
WO2015186554A1 (ja) * 2014-06-06 2015-12-10 株式会社テイエルブイ 流体使用設備管理方法、又は、流体使用設備管理システム
JP5946976B2 (ja) * 2014-06-06 2016-07-06 株式会社テイエルブイ 流体使用設備管理方法、又は、流体使用設備管理システム
JPWO2015186554A1 (ja) * 2014-06-06 2017-04-20 株式会社テイエルブイ 流体使用設備管理方法、又は、流体使用設備管理システム
US10101022B2 (en) 2014-06-06 2018-10-16 Tlv Co., Ltd. Fluid utilization facility management method and fluid utilization facility management system
US10663162B2 (en) 2014-06-06 2020-05-26 Tlv Co., Ltd. Fluid utilization facility management method and fluid utilization facility management system
JP2017003171A (ja) * 2015-06-09 2017-01-05 株式会社テイエルブイ 蒸気減温装置
JP2019152391A (ja) * 2018-03-05 2019-09-12 株式会社テイエルブイ 蒸気の減温システム及び蒸気の減温方法
JP7025957B2 (ja) 2018-03-05 2022-02-25 株式会社テイエルブイ 蒸気の減温システム及び蒸気の減温方法

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