CN109890521A - 粉尘去除装置和粉尘去除系统 - Google Patents

Abstract

在粉尘去除装置(10)的喷嘴主体(20)所具备的压缩流体供给部(54)设置有针形螺纹件(66)，该针形螺纹件调整第一流体供给路径(80)的流路面积，从而调整来自喷射喷嘴(16)的第一压缩流体的喷射流量。另一方面，通过使在喷嘴主体(20)形成的喷嘴主体侧调整螺纹(28)和在吸引喷嘴(18)形成的吸引喷嘴侧调整螺纹(38)旋转，来调整第二流体供给路径(84)的流路面积，从而调整向排出流路(72)放出的第二压缩流体的吸引流量。

Description

粉尘去除装置和粉尘去除系统

技术领域

本发明涉及一种粉尘去除装置和具有该粉尘去除装置的粉尘去除系统，该粉尘去除装置是如下装置：将喷射喷嘴插入对象物的孔，在利用围绕喷射喷嘴的吸引喷嘴使孔封闭了的状态下从喷射喷嘴向孔喷射压缩流体，而利用吸引喷嘴对附着于孔的粉尘和压缩流体进行吸引。

背景技术

例如，对附着于在对象物形成的孔的切屑、异物等粉尘进行去除的装置被日本特开2005-153039号公报、日本特开2004-033841号公报、日本特开2004-243209号公报、以及日本特开2015-013229号公报公开。

在日本特开2005-153039号公报中公开有一种加工孔清扫装置，该加工孔清扫装置是如下装置：将喷射配管(喷射喷嘴)插入切削加工后的加工孔，并且，利用围绕喷射配管的中空部件(吸引喷嘴)使加工孔封闭，从喷射配管喷射加压空气(压缩流体)，从而使积存到加工孔的切屑、异物浮游，经由中空部件对处于浮游状态的切屑和加压空气进行真空排气。

在日本特开2004-033841号公报和日本特开2004-243209号公报中公开有一种手持式清扫机，该手持式清扫机是如下清扫机：在使顶端喷嘴(喷射喷嘴)与机械零部件(对象物)的表面稍微分开的状态下使压缩空气(压缩流体)喷射，从而吹飞粉尘类，利用真空压力从围绕顶端喷射喷嘴的顶端吸入管(吸引喷嘴)的吸入口吸引粉尘类。

在日本特开2015-013229号公报中公开有一种集尘清扫装置，该集尘清扫装置是如下装置：将双层管插入混凝土壁(对象物)的钻孔，从外管(喷射喷嘴)的喷射口喷射压缩空气(压缩流体)，从而使外部的清洁的空气向钻孔流入，从内管(吸入喷嘴)的顶端部吸引粉尘。

仅凭从喷射喷嘴向附着于在对象物形成的孔的切屑等粉尘喷射正压的压缩流体，无法效率良好地去除该粉尘。需要喷射压缩流体而使附着于孔的粉尘漂浮、而利用真空吸引形成负压的空气的流动、经由吸引喷嘴吸引粉尘。

并且，预想为只要在粉尘去除装置设置有用于恰当地调整从喷射喷嘴向孔喷射的压缩流体的喷射流量和经由吸引喷嘴利用真空吸引而吸引粉尘时的吸引流量的流量调整机构，就能够将附着于孔的粉尘效率良好地去除。

然而，在日本特开2005-153039号公报和日本特开2015-013229号公报的技术中，在清扫装置未设置上述的流量调整机构，因此，无法效率良好地去除粉尘。

另外，在日本特开2004-033841号公报和日本特开2004-243209号公报的技术中，能够利用流量调整阀调整要从顶端喷嘴喷射的压缩空气的流量。然而，在手持式清扫机未设置对来自顶端吸入管的吸引量进行调整的机构。

如此，以往，在具备喷射喷嘴和吸引喷嘴的粉尘去除装置自身未设置对喷射流量和吸引流量进行调整的流量调整机构。因此，无法将附着于孔的粉尘效率良好地去除。

发明内容

本发明是为了解决上述的问题而做成的，其目的在于提供一种能够将附着于对象物的孔的粉尘效率良好地去除的粉尘去除装置和粉尘去除系统。

本发明涉及一种粉尘去除装置和具有这样的粉尘去除装置的粉尘去除系统，该粉尘去除装置是如下装置：在将喷射喷嘴插入对象物的孔，在利用围绕该喷射喷嘴的吸引喷嘴使所述孔封闭了的状态下，从所述喷射喷嘴向所述孔喷射压缩流体，并利用所述吸引喷嘴对附着于所述孔的粉尘和所述压缩流体进行吸引。

并且，为了达成上述的目的，所述粉尘去除装置具备：中空状的喷嘴主体，该中空状的喷嘴主体连结有所述喷射喷嘴和所述吸引喷嘴，且将被该吸引喷嘴吸引了的所述粉尘和所述压缩流体向外部排出；喷射量调整部，该喷射量调整部调整从所述喷射喷嘴喷射的所述压缩流体的流量；以及吸引量调整部，该吸引量调整部调整被所述吸引喷嘴吸引的所述粉尘和所述压缩流体的量。

在该情况下，在所述喷嘴主体形成有：第一流体供给路径，该第一流体供给路径将从外部供给的压缩流体的一部分作为第一压缩流体向所述喷射喷嘴供给，而使所述喷射喷嘴喷射该第一压缩流体；和第二流体供给路径，该第二流体供给路径将从外部供给的压缩流体的另一部分作为第二压缩流体向所述喷嘴主体中的所述粉尘和所述第一压缩流体的排出方向的下游侧放出。

由此，利用所述第二压缩流体向所述排出方向的下游侧的放出，所述粉尘和所述第一压缩流体经由所述吸引喷嘴和所述喷嘴主体而被向外部排出。

另外，所述喷射量调整部调整所述第一流体供给路径的流路面积，来调整从所述喷射喷嘴喷射的所述第一压缩流体的流量。所述吸引量调整部调整所述第二流体供给路径的流路面积而调整向所述排出方向的下游侧放出的所述第二压缩流体的流量，从而调整被所述吸引喷嘴吸引的所述粉尘和所述压缩流体的量。

根据该结构，在具备所述喷射喷嘴和所述吸引喷嘴的所述粉尘去除装置自身设置有调整所述第一压缩流体的流量(喷射流量)的所述喷射量调整部以及调整所述第二压缩流体的流量(吸引流量)的所述吸引量调整部。由此，能够将从所述喷射喷嘴向所述孔喷射的所述第一压缩流体的喷射流量、以及用于利用基于所述第二压缩流体的放出的真空吸引而从所述吸引喷嘴经由所述喷嘴主体排出所述粉尘和所述第一压缩流体的所述第二压缩流体的吸引流量调整成恰当的流量。其结果，能够将附着于所述孔的所述粉尘效率良好地去除。

另外，所述粉尘去除装置具备所述喷射量调整部和所述吸引量调整部，因此，在将所述第二压缩流体放出而先产生了真空吸引的状态下，将所述喷射喷嘴插入所述孔，在所述吸引喷嘴与所述对象物抵接而使所述孔封闭了之后，从该喷射喷嘴喷射所述第一压缩流体，从而能够在所述粉尘的去除作业时防止所述粉尘向外部飞散。

另一方面，在所述粉尘去除系统中，多个所述粉尘去除装置也具备所述喷射量调整部和所述吸引量调整部。由此，向各所述粉尘去除装置中的各供给端口依次供给压缩流体，在将所述第二压缩流体放出而先产生了真空吸引的状态下，只要将所述喷射喷嘴插入所述孔，就能够在所述吸引喷嘴与所述对象物抵接而使所述孔封闭了之后，使所述第一压缩流体从该喷射喷嘴喷射。在该情况下，也能够在所述粉尘的去除作业时防止所述粉尘向外部飞散。

如此，在本发明中，所述粉尘去除装置具备所述喷射量调整部和所述吸引量调整部，从而能够设置先产生真空吸引，之后，将所述喷射喷嘴插入所述孔而喷射所述第一压缩流体这样的时间差而供给所述第一压缩流体和所述第二压缩流体。

而且，所述喷射量调整部和所述吸引量调整部设置于所述粉尘去除装置，从而在将所述喷射流量和所述吸引流量调整成恰当的流量的状态下，在所述吸引喷嘴与所述对象物抵接而使所述孔封闭了之后，使真空吸引的产生和所述第一压缩流体的喷射开始，从而能够在短时间内使所期望的去除作业完成。其结果，所述第一压缩流体和所述第二压缩流体的消耗量被抑制，也能够谋求供给所述压缩流体的外部的流体供给源的节能化。

在此，所述喷射喷嘴的基端部被固定于所述吸引喷嘴。所述吸引喷嘴以能够沿着所述喷嘴主体的轴向移动的方式被安装固定于该喷嘴主体的内周面。在该情况下，所述第二流体供给路径是在所述吸引喷嘴的基端部与所述喷嘴主体的内周面之间形成的间隙。只要所述吸引量调整部通过使所述吸引喷嘴相对于所述喷嘴主体的内周面沿着所述轴向移动而调整所述间隙的开度、从而调整所述第二压缩流体的流量即可。

如此，由于是使所述吸引喷嘴相对于所述喷嘴主体的内周面沿着所述轴向移动，并调整所述间隙的开度这样的简单的调整机构，所以能够容易地调整所述吸引流量。

在该情况下，所述喷射量调整部是对设置到所述喷嘴主体的所述第一流体供给路径进行节流的针形螺纹件。另外，所述吸引量调整部只要是在所述吸引喷嘴的外周面和所述喷嘴主体的内周面分别形成且相互螺纹结合的调整螺纹即可。

由此，能够将所述喷射流量和所述吸引流量简单且效率良好地调整成恰当的流量。其结果，能够将附着于所述孔的所述粉尘有效地去除。

在此，只要在所述喷射喷嘴的顶端部的外周面和/或顶端面形成有喷射所述第一压缩流体的喷射孔，所述喷射喷嘴的顶端部构成为能够更换即可。

只要在所述外周面形成有所述喷射孔，就能够使所述第一压缩流体朝向所述孔的内周面喷射，将附着于该内周面的所述粉尘去除。另一方面，只要在所述顶端面形成有所述喷射孔，就能够使所述第一压缩流体向所述孔的底部喷射而将附着于该底部的所述粉尘去除。而且，通过形成有所述喷射孔的所述顶端部构成为能够更换，所述喷射喷嘴的维护就变得容易，并且，也能够根据所述粉尘的种类等适当更换顶端部。

具体而言，只要是所述喷射孔沿着所述喷射喷嘴的轴向形成、或沿着所述喷射喷嘴的径向形成、和/或形成为相对于所述径向倾斜了规定角度的状态即可。

在以相对于所述径向倾斜了规定角度的状态形成有所述喷射孔情况下，所述第一压缩流体被以相对于所述径向带有角度的状态从所述喷射孔喷射。由此，在所述孔内形成所述第一压缩流体回旋的流动。通过形成这样的回旋流，能够将附着于所述孔的所述粉尘效率良好地去除。尤其是，当在所述孔形成有螺纹的情况下，只要产生沿着所述螺纹的形成方向的回旋流，就能够有效地去除所述粉尘。

另外，也可以是，所述喷射喷嘴的顶端部包括：内筒部，该内筒部与该喷射喷嘴连结；和外筒部，该外筒部以能够以所述喷射喷嘴的中心轴为中心旋转的方式安装固定于所述内筒部。在该情况下，只要在所述内筒部沿着所述径向形成有内侧喷射孔，在所述外筒部以相对于所述径向倾斜了规定角度的状态形成有外侧喷射孔即可。

如此将所述顶端部设为所述内筒部和所述外筒部的双层构造，将内侧的所述内筒部固定于所述喷射喷嘴，并且，外侧的所述外筒部构成为能够以所述内筒部为轴旋转。由此，在所述内侧喷射孔和所述外侧喷射孔的位置对准了时，所述第一压缩流体被朝向所述孔喷射。其结果，从所述喷射喷嘴朝向所述孔喷射的所述第一压缩流体成为脉冲状的喷流。

另外，也可以是，所述吸引喷嘴包括：筒状的安装固定部，该安装固定部安装固定于所述喷嘴主体；和筒状的安装部，该安装部相对于该安装固定部能够拆卸，且安装有所述喷射喷嘴的基端部。在该情况下，在所述安装部的外周面形成有突起，在所述安装固定部设置有向该安装固定部的内方突出而卡定所述突起的卡定部。

如此所述安装部和所述喷射喷嘴能够拆卸地被单元化。由此，能够根据所述孔的大小(孔径)和深度、所述粉尘的种类等适当更换单元化后的所述安装部和所述喷射喷嘴。其结果，所述粉尘去除装置的便利性提高，并且，所述喷射喷嘴的维护性也提高。

另外，所述粉尘去除装置还具备：第一筒体，该第一筒体以能够沿着所述吸引喷嘴的外周面移动的方式安装于该吸引喷嘴的顶端部；第一弹簧部件，该第一弹簧部件插装于所述喷嘴主体与所述第一筒体之间；以及第一柱塞，该第一柱塞设置于所述喷嘴主体，且沿着该喷嘴主体的轴向朝向所述第一筒体延伸。

在该情况下，在所述喷嘴主体还形成有将从外部供给的所述压缩流体向所述第一流体供给路径和所述第二流体供给路径供给的入口流路。另外，在所述第一柱塞的基端部安装有能够对所述入口流路进行开闭的第一密封体。

并且，在所述第一筒体与所述对象物接触，所述喷嘴主体克服所述第一弹簧部件的弹性力而向所述对象物侧移动，从而所述第一柱塞与所述第一筒体抵接的情况下，通过所述第一柱塞随着所述喷嘴主体向所述对象物侧的移动而在所述轴向上位移，所述第一密封体使所述入口流路开放。

另一方面，在所述第一筒体与所述对象物分开，所述喷嘴主体利用所述第一弹簧部件的弹性力而与所述第一筒体相对地分离了的情况下，通过所述第一柱塞在所述轴向上位移，所述第一密封体使所述入口流路关闭。

如此，当所述喷射喷嘴被插入所述孔、所述第一筒体与所述对象物接触而使所述孔封闭、且通过基于与所述第一筒体抵接的所述第一柱塞的位移的所述第一密封体的移动而所述入口流路被开放，则能够进行所述第一压缩流体和所述第二压缩流体的供给。

另一方面，当通过所述第一筒体与所述对象物分开，所述第一柱塞位移而所述第一密封体使所述入口流路关闭，则所述第一压缩流体和所述第二压缩流体的供给停止。

通过这样的因所述筒体相对于所述对象物的抵接而引起的由所述第一密封体进行的所述入口流路的开闭，自动地进行所述第一压缩流体和所述第二压缩流体的供给开始或供给停止。因此，能够阻止所述第一压缩流体和所述第二压缩流体被浪费地供给。由此，能够谋求供给所述压缩流体的外部的流体供给源的节能化。

另外，为了不进行浪费的所述压缩流体的供给，需要在该压缩流体的供给端口(所述入口流路)设置控制用电磁阀而进行所述压缩流体的供给或停止，但通过具备上述的所述第一密封体等机构，能够省略控制用电磁阀。如此，无需控制用电磁阀，能够谋求流体回路和电路这双方的节约。

另外，也可以是，在所述喷射喷嘴的顶端设置有使所述喷射孔封闭的阀芯。在该情况下，通过所述喷射喷嘴被插入所述孔，所述阀芯与所述孔的底部接触而使该阀芯在所述喷射喷嘴的轴向上位移，从而所述喷射孔打开，所述第一压缩流体被从该喷射孔喷射。

由此，在从所述喷射孔开始所述第一压缩流体的喷射之前，开始基于所述第二压缩流体的放出的真空吸引。其结果，能够防止已附着于所述孔的所述粉尘向外部飞散，能够将进行所述粉尘的去除作业的空间保持清洁。

另外，也可以是，所述粉尘去除装置还具备：第二筒体，该第二筒体以能够沿着所述吸引喷嘴的外周面移动的方式安装到该吸引喷嘴的顶端部；第二弹簧部件，该第二弹簧部件插装于所述喷嘴主体与所述第二筒体之间；以及第二柱塞，该第二柱塞设置于所述喷嘴主体且沿着该喷嘴主体的轴向朝向所述第二筒体延伸。

在该情况下，在所述第二柱塞的基端部安装有能够对所述第一流体供给路径进行开闭的第二密封体。并且，在所述第二筒体与所述对象物接触，所述喷嘴主体克服所述第二弹簧部件的弹性力而向所述对象物侧移动，从而所述第二柱塞与所述第二筒体抵接的情况下，所述第二柱塞随着所述喷嘴主体的向所述对象物侧的移动而在所述轴向上位移，从而所述第二密封体使所述第一流体供给路径开放。另一方面，在所述第二筒体与所述对象物分开，所述喷嘴主体利用所述第二弹簧部件的弹性力而与所述第二筒体相对地分离了的情况下，通过所述第二柱塞在所述轴向上位移，所述第二密封体使所述第一流体供给路径关闭。

在该情况下，也在因由所述第二密封体进行的所述第一流体供给路径的开放而引起的所述第一压缩流体的从所述喷射孔向所述孔的喷射开始之前，开始基于所述第二压缩流体的放出的真空吸引。其结果，能够防止已附着于所述孔的所述粉尘向外部飞散，能够将进行所述粉尘的去除作业的空间保持清洁。

另外，也可以是，所述粉尘去除装置还具备筒状部，该筒状部从所述喷嘴主体和/或所述吸引喷嘴朝向所述对象物突出，在将所述喷射喷嘴插入到所述孔时，在所述喷射喷嘴与所述孔的底部接触之前，该筒状部与所述对象物的表面接触。

由此，能够避免因所述孔的深度而引起的在所述吸引喷嘴的顶端与所述对象物的表面接触之前，所述喷射喷嘴的顶端与所述孔的底部接触而无法吸引所述粉尘的状态产生。其结果，即使在所述孔的深度存在不同的情况下，也能够经由所述筒状部使所述吸引喷嘴的顶端间接地与所述对象物的表面抵接，并使所述孔封闭。

在该情况下，也可以是，在所述筒状部与所述对象物分开时，所述筒状部利用回弹功能恢复到与该对象物接触之前的位置。由此，与所述孔的深度无关地，能够经由所述筒状部使所述吸引喷嘴的顶端间接地与所述对象物的表面接触，并使所述孔封闭。

并且，也可以是，所述粉尘去除装置还具备检测所述喷嘴主体内的所述粉尘的通过的粉尘检测部件。由此，能够容易地确认没有所述粉尘的通过、所述粉尘被从所述孔去除了的情况。

另外，在所述粉尘的去除作业完成了的内容的通知信号被从所述粉尘检测部件输出的情况下，所述流体供给源能够基于该通知信号立即使所述压缩流体对于所述粉尘去除装置的供给停止。如此，所述粉尘检测部件定量地判断所述粉尘的去除作业的完成，因此，通过利用其判断结果，能够抑制所述压缩流体的浪费的消耗。

另外，也可以是，所述粉尘去除装置还具备封闭部件，该封闭部件以能够更换的方式安装固定于所述吸引喷嘴，在将所述喷射喷嘴向所述插入时，该封闭部件使所述对象物的表面上的所述孔的周边封闭。由此，在所述粉尘的去除作业时，能够不使所述粉尘和所述压缩流体向外部泄漏地进行去除作业。

另外，本发明的粉尘去除系统具有：上述的多个所述粉尘去除装置；压缩流体供给块，该压缩流体供给块将该各粉尘去除装置连结固定，并向该各粉尘去除装置供给所述压缩流体。由此，当在所述对象物形成有多个所述孔的情况下，将所述喷射喷嘴分别插入所述各孔，能够针对所述各孔同时进行所述各粉尘去除装置的所述粉尘的去除作业。由此，能够谋求所述粉尘的去除作业的效率化。

在该情况下，只要是各所述粉尘去除装置以所述喷射喷嘴的延伸方向成为彼此相同的方向的方式以沿着所述压缩流体供给块的长度方向的规定间隔被固定即可。由此，只要在所述对象物的表面沿着相同方向形成有多个所述孔，就能够将各所述粉尘去除装置的喷射喷嘴分别插入所述各孔，并同时进行所述粉尘的去除作业，因此，能够更加效率良好地进行该去除作业。

而且，只要是在所述压缩流体供给块中，对每个该粉尘去除装置设置有用于调整各所述粉尘去除装置的安装位的安装位置调整机构即可。由此，在深度不同的多个所述孔形成于所述对象物的情况下，通过对每个各所述粉尘去除装置调整所述安装位置，在将所述喷射喷嘴插入到所述孔时，能够将该喷射喷嘴的顶端部插入到恰当的深度而进行所述粉尘的去除作业。

附图说明

图1是本实施方式的粉尘去除装置的剖视图。

图2是表示在图1的粉尘去除装置中对吸引流量进行了节流的状态的剖视图。

图3A是第一变形例的喷射喷嘴的顶端部的立体图，图3B是沿着图3A的IIIB-IIIB线的剖视图。

图4A是第一变形例的其他结构的立体图，图4B是沿着图4A的IVB-IVB线的剖视图。

图5A是第一变形例的其他结构的立体图，图5B是沿着图5A的VB-VB线的剖视图。

图6A是第一变形例的其他结构的立体图，图6B是图6A的顶端部的侧视图，图6C是沿着图6B的VIC-VIC线的剖视图。

图7A是第一变形例的其他结构的立体图，图7B是图7A的顶端部的侧视图。

图8A～图8C分别是沿着图7B的VIIIA-VIIIA线、VIIIB-VIIIB线以及VIIIC-VIIIC线的剖视图。

图9是第二变形例的粉尘去除装置的顶端部分的局部剖视图。

图10是第三变形例的粉尘去除装置的剖视图。

图11是第四变形例的粉尘去除装置的剖视图。

图12A和图12B分别是放大图11的喷射喷嘴的顶端部的局部剖视图。

图13是第五变形例的粉尘去除装置的剖视图。

图14是第六变形例的粉尘去除装置的顶端部分的局部剖视图。

图15是第六变形例的其他结构的局部剖视图。

图16是第六变形例的其他结构的局部剖视图。

图17是第七变形例的粉尘去除装置的剖视图。

图18是第八变形例的粉尘去除系统的立体图。

图19是沿着图18的XIX-XIX射线的剖视图。

图20是第九变形例的粉尘去除系统的立体图。

图21是图示了针对工件的各孔同时进行粉尘的去除作业的情况的立体图。

图22是图示了粉尘去除装置相对于压缩流体供给块的固定的立体图。

图23是第十变形例的粉尘去除系统的立体图。

图24是成为由第十一变形例的粉尘去除系统进行的去除作业的对象的工件的立体图。

图25是沿着图24的XXV-XXV线的剖视图。

图26是第十一变形例的粉尘去除系统的剖视图。

具体实施方式

一边参照附图一边以下详细地说明本发明的粉尘去除装置和粉尘去除系统的优选的实施方式。

[1.本实施方式的结构]

图1和图2是本实施方式的粉尘去除装置10的剖视图。

粉尘去除装置10是如下喷嘴装置：将喷射喷嘴16插入作为对象物的工件12的孔14，在利用围绕该喷射喷嘴16的吸引喷嘴18使孔14封闭了的状态下，从喷射喷嘴16向孔14喷射压缩流体(例如，正压吹气的加压空气)，并利用吸引喷嘴18对附着于孔14的粉尘和所喷射的压缩流体进行吸引。此外，工件12是例如通过机械加工形成有盲孔、螺纹孔等孔14的工件。粉尘去除装置10被适用于机械加工后的残留到孔14的切屑、异物等粉尘的去除作业。

具体而言，粉尘去除装置10具备中空状的喷嘴主体20。喷嘴主体20是如下筒状部件，该筒状部件具有A1方向的顶端部22是大径部分、A2方向(排出方向)的基端部24是小径部分的台阶。在喷嘴主体20的内周面26的顶端部22侧形成有喷嘴主体侧调整螺纹28(吸引量调整部)。

另一方面，吸引喷嘴18是沿着喷嘴主体20的中心轴30延伸并具有A1方向的顶端部32是大径部分且A2方向的基端部34是小径部分的台阶的筒状部件。在吸引喷嘴18的外周面36的顶端部32侧形成有吸引喷嘴侧调整螺纹38(吸引量调整部)。通过喷嘴主体侧调整螺纹28与吸引喷嘴侧调整螺纹38相互螺纹结合，能够将吸引喷嘴18螺纹固定于喷嘴主体20的内方。此外，吸引喷嘴18以与中心轴30大致同轴的方式被安装固定于喷嘴主体20的内周面26。

喷射喷嘴16是基端部40被固定于吸引喷嘴18的基端部34侧、顶端部42侧从吸引喷嘴18的顶端部32向A1方向突出的筒状部件。在该情况下，喷射喷嘴16的基端部40以与在吸引喷嘴18的顶端部32和基端部34之间形成的凹部44连通的方式被固定于该吸引喷嘴18。并且，喷射喷嘴16具有在从基端部40朝向中心轴30向径向内方延伸了的状态下向A1方向弯曲、并沿着中心轴30向A1方向延伸的大致J字状的截面形状。因而，喷射喷嘴16由被固定于吸引喷嘴18的截面J字状的喷嘴主体部46和被固定到喷嘴主体部46的顶端的顶端部42构成。在顶端部42上，在沿着中心轴30的方向(作为轴向的A方向)和与中心轴30正交的径向上分别形成有喷射孔48。

在喷嘴主体20中，在外周面50的顶端部22与基端部24之间的中间部52的部位设置有压缩流体供给部54。压缩流体供给部54是设置到喷嘴主体20的外周面50的环状或矩形形状的部件，在压缩流体供给部54形成有压缩流体被从未图示的外部的流体供给源供给的入口流路56。在喷嘴主体20的中间部52形成有使入口流路56和喷嘴主体20连通的环状的连通孔58。另外，在中间部52中，在比连通孔58靠A1方向侧的部位形成有与凹部44连通的连通孔60。

在压缩流体供给部54中，在与入口流路56不同的部位形成有使连通孔58和连通孔60连通的截面大致U字状的流路62。在流路62的A2方向侧的部位形成有与外部连通的螺纹孔64。在螺纹孔64螺纹结合有针形螺纹件66(喷射量调整部)。

喷嘴主体20的内周面26如下所述：从顶端部22朝向基端部24，喷嘴主体侧调整螺纹28的部位的内径最大，中间部52的部位的内径第二大，基端部24的部位的内径最小。在该情况下，在内周面26的基端部24侧的部位的、连通孔58附近形成有台阶68。内周面26的基端部24侧的部位从台阶68朝向A2方向依次形成有缩径部分、沿着中心轴30笔直地延伸的部分、以及扩开部分。缩径部分和笔直地延伸的部分形成为压缩流体(第二压缩流体)的放出面70。另外，喷嘴主体20内的比吸引喷嘴18靠A2方向侧的部分构成为将附着于孔14的粉尘和从喷射孔48喷射出的压缩流体向外部排出的排出流路72。

吸引喷嘴18的外周面36设为与喷嘴主体20的内周面26相对应的形状。即，在顶端部32侧形成有吸引喷嘴侧调整螺纹38。另外，外周面36中的吸引喷嘴侧调整螺纹38与基端部34之间的部位以与喷嘴主体20的内周面26中的中间部52的部位滑动接触的方式设为笔直状。在该笔直状的部位形成有凹部44。基端部34与放出面70的缩径部分大致平行地倾斜。

另一方面，对于吸引喷嘴18的内周面74，顶端部32侧的内径最大，吸引喷嘴侧调整螺纹38的部位朝向A2方向缩径，凹部44和基端部34的部位的内径最小。在该情况下，呈笔直状延伸的凹部44和基端部34的部位设为与喷嘴主体20的内周面26中的基端部24侧的笔直的部分的内径大致相同的内径。另外，将附着于孔14的粉尘和从喷射孔48喷射出的压缩流体向排出流路72排出的排出流路76由吸引喷嘴18的内周面74构成。

并且，将从外部的流体供给源供给到入口流路56的压缩流体的一部分作为第一压缩流体而向喷射喷嘴16内的喷射流路78供给的第一流体供给路径80由与入口流路56连通的连通孔58、流路62、连通孔60以及凹部44构成。另一方面，将从外部的流体供给源供给到入口流路56的压缩流体的另一部分作为第二压缩流体而向排出流路72放出的第二流体供给路径84由与入口流路56连通的连通孔58、吸引喷嘴18的基端部34与喷嘴主体20的内周面26之间的空间、基端部34与台阶68之间的间隙82构成。

[2.本实施方式的动作]

对如以上这样构成的本实施方式的粉尘去除装置10的动作进行说明。

在此，作为一个例子，对在通过机械加工在工件12形成的孔14残留有切屑、异物等粉尘，利用粉尘去除装置10去除该粉尘的情况进行说明。另外，在该说明中，对流体供给源是空气供给源，压缩流体、第一压缩流体以及第二压缩流体分别是加压空气、第一加压空气以及第二加压空气的情况进行说明。

在粉尘的去除作业之前，根据孔14的大小(孔径)和深度、粉尘的种类等使针形螺纹件66旋转规定量，调整针形螺纹件66的顶端与第一流体供给路径80的流路62之间的间隙86的开度。由此，能够调整要经由第一流体供给路径80向喷射喷嘴16的喷射流路78供给的第一加压空气的流量(喷射流量)。

另外，根据孔14的大小(孔径)和深度、粉尘的种类等使喷嘴主体侧调整螺纹28和吸引喷嘴侧调整螺纹38相对地旋转规定量，从而使喷射喷嘴16和吸引喷嘴18相对于喷嘴主体20沿着A方向进退，调整台阶68与基端部34之间的间隙82的开度。由此，能够调整要经由第二流体供给路径84向排出流路72放出的第二加压空气的流量(吸引流量)。

在如此喷射流量和吸引流量被预先调整了的状态下，将喷射喷嘴16的顶端部42插入孔14，使工件12的表面88上的孔14周边的部位与吸引喷嘴18的顶端部32接触。由此，孔14的底部90和内周面92面对喷射喷嘴16的顶端部42，并且，孔14被吸引喷嘴18封闭。

接着，从外部的空气供给源向入口流路56供给加压空气。由此，供给到入口流路56的加压空气的一部分作为第一加压空气被向第一流体供给路径80分配，另一部分作为第二加压空气被向第二流体供给路径84分配。

第一加压空气被从第一流体供给路径80向喷射喷嘴16的喷射流路78供给，被作为正压吹气从顶端部42的多个喷射孔48向孔14内喷射。在该情况下，与中心轴30大致同轴地形成的喷射孔48朝向孔14的底部90喷射第一加压空气，使附着于底部90的粉尘浮起。另外，相对于中心轴30沿着径向形成的喷射孔48朝向孔14的内周面92喷射第一加压空气，使附着于内周面92的粉尘浮起。

另一方面，第二加压空气被从第二流体供给路径84经由间隙82向排出流路72放出。在该情况下，第二加压空气被沿着放出面70向A2方向放出。由此，第二加压空气的喷流被喷射，放出面70周边的空间被减压而成为真空状态。利用由该真空状态形成的负压，周围的空气(作为喷流的第二加压空气等)被向放出面70侧吸引。其结果，第二加压空气的喷流成为沿着放出面70朝向A2方向(排出方向)的流动。

由于产生这样的第二加压空气的流动，因第一加压空气而浮起来的粉尘和该第一加压空气被从孔14经由吸引喷嘴18的排出流路76被真空吸引到喷嘴主体20，并被从喷嘴主体20的排出流路72向外部排出。排出的粉尘被经由与喷嘴主体20的排出流路72连接的集尘用软管等使粉尘通过的中空状的部件向未图示的集尘箱等回收。

之后，当孔14内的粉尘被全部吸引而被向集尘箱回收，则停止从空气供给源向入口流路56供给加压空气。由此，来自喷射孔48的第一加压空气的喷射和第二加压空气向排出流路72的放出停止。接着，当使粉尘去除装置10向A2方向后退，而使吸引喷嘴18与工件12分开，并且，将喷射喷嘴16从孔14拔出，则针对孔14进行的粉尘的去除作业完成。

此外，图1图示有间隙82的开度较大、被从该间隙82放出的第二加压空气的流量(吸引流量)较大的情况，第一加压空气和粉尘的吸引量相对地变大。另一方面，图2是间隙82的开度较小、被从该间隙82放出的第二加压空气的流量较小的情况，第一加压空气和粉尘的吸引量相对变小。

另外，在上述的说明中，在将喷射喷嘴16向孔14插入之前，利用针形螺纹件66调整了间隙86的开度，并且利用喷嘴主体侧调整螺纹28和吸引喷嘴侧调整螺纹38调整了间隙82的开度。在本实施方式中，也可以在将喷射喷嘴16插入到孔14之后且从空气供给源向入口流路56供给加压空气之前调整各间隙82、86的开度。

[3.本实施方式的效果]

如以上说明那样，根据本实施方式的粉尘去除装置10，在具备喷射喷嘴16和吸引喷嘴18的粉尘去除装置10自身设置有调整第一压缩流体的流量(喷射流量)的针形螺纹件66以及调整第二压缩流体的流量(吸引流量)的喷嘴主体侧调整螺纹28和吸引喷嘴侧调整螺纹38。由此，能够将从喷射喷嘴16向孔14喷射的第一压缩流体的喷射流量和用于利用由第二压缩流体的放出而产生的真空吸引而将粉尘和第一压缩流体从吸引喷嘴18经由喷嘴主体20排出的第二压缩流体的吸引流量调整成恰当的流量。其结果，能够将附着于孔14的粉尘效率良好地去除。

另外，粉尘去除装置10具备喷嘴主体侧调整螺纹28、吸引喷嘴侧调整螺纹38以及针形螺纹件66，因此，在放出第二压缩流体而首先使真空吸引产生了的状态下，将喷射喷嘴16的顶端部42插入孔14，在吸引喷嘴18的顶端部32与工件12的表面88抵接而使孔14封闭了之后，从喷射孔48喷射第一压缩流体，从而能够在粉尘的去除作业时防止粉尘向外部飞散。

如此，通过粉尘去除装置10具备喷嘴主体侧调整螺纹28、吸引喷嘴侧调整螺纹38以及针形螺纹件66，能够设置首先产生真空吸引、之后将喷射喷嘴16的顶端部42插入孔14而喷射第一压缩流体这样的时间差而供给第一压缩流体和第二压缩流体。

而且，通过将喷嘴主体侧调整螺纹28、吸引喷嘴侧调整螺纹38以及针形螺纹件66设置于粉尘去除装置10，在将喷射流量和吸引流量调整成恰当的流量的状态下，在吸引喷嘴18的顶端部32与工件12的表面88抵接而使孔14封闭了之后，使真空吸引的产生和第一压缩流体的喷射开始，从而能够在短时间内使所期望的去除作业完成。其结果，第一压缩流体和第二压缩流体的消耗量被抑制，能够谋求供给压缩流体的外部的流体供给源的节能化。

另外，由于是使吸引喷嘴18的基端部34相对于喷嘴主体20的内周面26的台阶68沿着A方向移动来调整间隙82的开度这样的简单的调整机构，所以能够容易地调整第二压缩流体的吸引流量。

另外，针形螺纹件66用于使第一流体供给路径80的流路面积减小。另一方面，喷嘴主体侧调整螺纹28和吸引喷嘴侧调整螺纹38是在喷嘴主体20的内周面26和吸引喷嘴18的外周面36分别形成、且相互螺纹结合的调整螺纹。由此，能够将喷射流量和吸引流量简单且效率良好地调整成恰当的流量。其结果，能够将附着于孔14的粉尘有效地去除。

[4.变形例]

接着，一边参照图3A～图26一边对本实施方式的粉尘去除装置10的变形例(第一变形例～第十一变形例)进行说明。此外，在第一变形例～第十一变形例的说明中，对与图1和图2的粉尘去除装置10相同的构成要素标注相同的参照符号而省略详细的说明。

[4.1第一变形例]

一边参照图3A～图8C一边对第一变形例的粉尘去除装置10A进行说明。粉尘去除装置10A在构成为喷射喷嘴16的顶端部42能够更换这点与图1和图2的粉尘去除装置10不同。

图3A和图3B图示有在顶端部42以与中心轴30大致同轴的方式形成有流路100、并且以与中心轴30大致同轴的方式形成的喷射孔48与流路100连通的情况。在该情况下，形成有喷射孔48的顶端部42的A1方向的部分(顶端面侧)设为朝向A1方向而顶端变细的形状。另外，在顶端部42的A2方向侧形成有螺纹102。由此，通过在喷射喷嘴16的喷嘴主体部46的顶端侧形成的未图示的螺纹与顶端部42的螺纹102螺纹结合，顶端部42与喷嘴主体部46螺纹固定，流路100和喷射流路78连通。因而，在第一变形例中，能够容易地进行顶端部42相对于喷射喷嘴16的更换。此外，图3A和图3B所示的从喷射孔48向A1方向的箭头表示第一压缩流体的喷射方向。

图4A和图4B在除了顶端部42的A1方向的部分的喷射孔48之外，还在外周面沿着径向形成有多个喷射孔48这点与图3A和图3B的例子不同。在该情况下，沿着径向形成的多个喷射孔48沿着顶端部42的周向以规定角度间隔形成，并且，沿着顶端部42的长度方向(A方向)以规定间隔形成，并与流路100连通。

图5A和图5B与图4A和图4B的例子的不同点在于，在顶端部42的A1方向的部分(顶端面侧)未设置喷射孔48，A1方向的部分形成为平坦。

如图3A～图5B这样，通过在喷射喷嘴16的顶端部42的外周面和/或顶端面形成喷射孔48，顶端部42构成为能够更换，喷射喷嘴16的维护变得容易，并且，也能够根据粉尘的种类等适当更换顶端部42。另外，只要在顶端部42的外周面形成有喷射孔48，就能够使第一压缩流体朝向孔14的内周面92向以箭头表示的方向喷射，将附着于该内周面92的粉尘去除。另一方面，只要在顶端部42的顶端面形成有喷射孔48，就能够使第一压缩流体朝向孔14的底部90向以箭头表示的方向喷射，而将附着于该底部90的粉尘去除。

图6A～图6C与图5A和图5B的例子的不同点在于，在顶端部42的外周面以相对于径向倾斜了规定角度的状态形成有喷射孔48。在该情况下，第一压缩流体被以相对于径向带有角度的状态从喷射孔48向图6C的以箭头表示的方向喷射。由此，在孔14内形成第一压缩流体在顶端部42的周围回旋这样的流动。通过形成这样的回旋流，能够将附着于孔14的内周面92的粉尘效率良好地去除。尤其是，当在孔14形成有螺纹的情况下，只要产生沿着螺纹的形成方向的回旋流，就能够将附着于螺纹牙底的部分的粉尘有效地去除。

图7A～图8C与图6A～图6C的例子的不同点在于，具有顶端部42与喷嘴主体部46连结的内筒部42a和以能够以中心轴30为中心旋转的方式安装固定于内筒部42a的外筒部42b。内筒部42a与形成有螺纹102的基端部42c连结。另外，外筒部42b例如借助未图示的轴承而以能够旋转的方式安装固定于内筒部42a。

在内筒部42a沿着径向形成有多个内侧喷射孔48a，另一方面，在外筒部42b以相对于径向倾斜了规定角度的状态形成有多个外侧喷射孔48b。在该情况下，沿着径向形成的多个内侧喷射孔48a沿着内筒部42a的周向以规定角度间隔形成，并且，沿着A方向以规定间隔形成有多个内侧喷射孔48a，并与流路100连通。另外，如图8A～图8C所示，当在沿着A方向的不同的位置处观察的情况下，错开相位地形成内侧喷射孔48a。另一方面，沿着外筒部42b的周向以规定角度间隔形成有多个外侧喷射孔48b，并且，沿着A方向以规定间隔形成有多个外侧喷射孔48b。而且，内侧喷射孔48a和外侧喷射孔48b在相位相互错开了的状态下分别设置于内筒部42a和外筒部42b。

如此，在图7A～图8C的例子中，将顶端部42设为内筒部42a和外筒部42b的双层构造。在该情况下，将内侧的内筒部42a借助基端部42c固定于喷嘴主体部46，并且，外侧的外筒部42b构成为能够以内筒部42a为轴旋转。由此，在内侧喷射孔48a和外侧喷射孔48b的位置(相位)对准了时，第一压缩流体被朝向孔14的内周面92喷射。其结果，被从喷射喷嘴16朝向孔14的内周面92喷射的第一压缩流体成为脉冲状的喷流。

另外，如图8A所示，在第一压缩流体从外侧喷射孔48b以箭头表示的朝向喷射了的情况下，由于第一压缩流体的喷流而外筒部42b以中心轴30为中心向以圆弧状的箭头表示的朝向回旋。由此，在孔14内容易地产生由第一压缩流体产生的回旋流而能够将附着于孔14的粉尘效率良好地去除。

此外，如图8A～图8C所示，各内侧喷射孔48a未沿着A方向形成为一列，而是沿着周向形成于不同的角度。由此，例如，能够从靠近孔14的底部90的里侧的外侧喷射孔48b朝向A2方向依次喷射脉冲状的第一压缩流体的喷流，并产生回旋流。

[4.2第二变形例]

一边参照图9一边对第二变形例的粉尘去除装置10B进行说明。粉尘去除装置10B与图1和图2的粉尘去除装置10的不同点在于，在喷射喷嘴16和吸引喷嘴18的一部分被单元化为能够从粉尘去除装置10B拆卸的喷嘴单元104。

吸引喷嘴18由筒状的安装固定部18a和筒状的安装部18b构成。在安装固定部18a的外周面形成有吸引喷嘴侧调整螺纹38，通过该吸引喷嘴侧调整螺纹38和喷嘴主体20的喷嘴主体侧调整螺纹28螺纹结合，安装固定部18a被螺纹固定于喷嘴主体20。安装部18b能够相对于安装固定部18a的内周面拆卸，且在安装部18b安装有喷射喷嘴16的基端部40。因而，喷嘴单元104由安装部18b和喷射喷嘴16构成。

安装固定部18a的A1方向侧设为形成有吸引喷嘴侧调整螺纹38和凹部44的大径部分106。另外，安装固定部18a的A2方向侧与大径部分106连接，并设为具有基端部34的小径部分108。通过大径部分106和小径部分108而构成台阶部分110。因而，安装固定部18a是具有台阶部分110的筒状部。安装部18b以A2方向的端部与台阶部分110抵接的方式被嵌合固定于大径部分106的内方。

即，在安装部18b的外周面形成有环状的突起112。另一方面，在安装固定部18a的顶端部沿着径向形成有贯通孔114，在该贯通孔114配置有钢球116。另外，在安装固定部18a的顶端部的外周面嵌套有钢球按压部件118，钢球按压部件118由环状的弹簧件构成，并用于将钢球116保持于贯通孔114内。贯通孔114、钢球116以及钢球按压部件118构成在安装部18b安装到大径部分106的内方时用于卡定突起112的卡定部120。详细而言，钢球按压部件118是环的一部分被切除而成的C字状的弹簧钢，并以如下方式发挥功能：在突起112沿着A方向位移而越过钢球116时，针对钢球116的沿着径向的移动，保持该钢球116并使钢球116向外侧避让。

此外，安装部18b的内周面(内周面74)与图1和图2的吸引喷嘴18同样地，顶端部32侧的内径最大，与吸引喷嘴侧调整螺纹38相对的部位朝向A2方向稍微缩径，凹部44的部位的内径最小。在该情况下，与笔直状延伸的凹部44相对的部位设为与安装固定部18a的内周面(内周面74)中的基端部34侧的笔直的部分的内径大致相同的内径。

并且，在将喷嘴单元104安装固定于粉尘去除装置10B的情况下，在使喷射喷嘴16的基端部40侧朝向了A2方向的状态下，将喷嘴单元104向大径部分106的内方插入。在该情况下，突起112与钢球116抵接并将喷嘴单元104向A2方向按压，装入到大径部分106的钢球116克服作为弹簧件的钢球按压部件118的弹簧力而沿着径向移动，大径部分106扩开，从而使突起112从钢球116的位置向A2方向侧位移，能够将喷嘴单元104进一步压入。然后，钢球116被从来自突起112的按压力释放，返回图9所示的位置，当喷嘴单元104与台阶部分110抵接，则卡定部120卡定突起112，喷嘴单元104被嵌合固定于粉尘去除装置10B。

另一方面，在从粉尘去除装置10B拆卸喷嘴单元104的情况下，将喷嘴单元104向A1方向拉拽。在该情况下，突起112与钢球116抵接，但若将喷嘴单元104向A1方向进一步拉拽，则钢球116克服钢球按压部件118的弹簧力而沿着径向移动，大径部分106扩开。其结果，使突起112从钢球116的位置向A1方向侧位移，能够拆卸喷嘴单元104。然后，当钢球116被从来自突起112的按压力释放，则卡定部120返回图9所示的位置。

如此，在第二变形例中，安装部18b和喷射喷嘴16以能够相对于粉尘去除装置10B拆卸的方式被单元化为喷嘴单元104。由此，能够根据孔14的大小(孔径)和深度、所述粉尘的种类等适当更换喷嘴单元104。其结果，粉尘去除装置10B的使用便利性提高，并且，喷射喷嘴16的维护性也提高。

[4.3第三变形例]

一边参照图10一边对第三变形例的粉尘去除装置10C进行说明。粉尘去除装置10C与图1和图2的粉尘去除装置10的不同点在于，还具备：筒体122(第一筒体)，该筒体122以能够沿着吸引喷嘴18的外周面36移动的方式安装到该吸引喷嘴18的顶端部32；弹簧部件124(第一弹簧部件)，弹簧部件124插装于喷嘴主体20与筒体122之间；以及柱塞126(第一柱塞)，柱塞126设置于喷嘴主体20的压缩流体供给部54，且沿着中心轴30(A方向)朝向筒体122延伸。

在该情况下，喷射喷嘴16的顶端部42从筒体122向A1方向突出。另外，筒体122围绕在孔14的周围而能够与工件12的表面88接触。另外，在筒体122的A2方向侧形成有环状的突出部128，该突出部128朝向中心轴30向径向内侧延伸，并与吸引喷嘴18的外周面36的顶端部32侧接触。弹簧部件124插装于突出部128与喷嘴主体20的顶端部22之间。另一方面，在吸引喷嘴18的顶端部32形成有环状的突出部130，该突出部130向径向外侧延伸，并与筒体122的内周面接触。因而，突出部128能够在突出部130和吸引喷嘴侧调整螺纹38的范围内沿着A方向滑动。

另一方面，柱塞126伸入到压缩流体供给部54中的入口流路56，在该柱塞126的基端部安装有能够使入口流路56开闭的密封体132(第一密封体)。密封体132配置于在入口流路56的中途设置的室134内，弹簧部件136插装于室134内的A2方向侧的部位与密封体132之间。因此，密封体132在室134内被弹簧部件136的弹性力或者因压缩流体的压力而作用的按压力、或弹性力和按压力这双方的力向A1方向侧的部位(落座位置)按压。在图10中图示如下情况：密封体132被按压于室134内的落座位置，由此从外部的流体供给源观察，入口流路56通过密封体132而成为闭状态。

在此，即使从流体供给源向入口流路56开始压缩流体的供给，入口流路56也被密封体132关闭，因此，无法从入口流路56向下游侧供给压缩流体。在该状态下将喷射喷嘴16的顶端部42插入孔14，在筒体122与工件12的表面88接触而封闭了孔14时，当将喷嘴主体20向A1方向按压，则克服弹簧部件124的弹性力(弹簧部件124收缩)而喷射喷嘴16、吸引喷嘴18以及喷嘴主体20整体地向A1方向位移。并且，当使喷射喷嘴16、吸引喷嘴18以及喷嘴主体20进一步向A1方向位移，则柱塞126的顶端与筒体122抵接。

接着，当使喷嘴主体20进一步向A1方向位移，则柱塞126从筒体122受到A2方向的力，克服弹簧部件136的弹性力或者基于压缩流体的压力的按压力、或弹性力和按压力这双方的力而向A2方向位移。其结果，密封体132在室134内向A2方向与落座位置分开，使入口流路56从闭状态变化成开状态。

由此，开始从处于开放状态的入口流路56向第一流体供给路径80供给第一压缩流体，并且，开始向第二流体供给路径84供给第二压缩流体。其结果，使第一压缩流体从喷射孔48喷射而使附着于孔14的粉尘浮起，并利用从第二流体供给路径84向排出流路72放出的第二压缩流体而能够经由吸引喷嘴18吸引第一压缩流体和粉尘并从排出流路72向外部排出第一压缩流体和粉尘。

另一方面，在附着于孔14的粉尘被去除了的情况下，使筒体122与工件12的表面88分开。由此，由于弹簧部件124的弹性力而喷嘴主体20与筒体122相对地分离。其结果，柱塞126从被筒体122按压的按压状态释放，向A1方向位移。由此，密封体132因弹簧部件136的弹性力或者基于压缩流体的压力的按压力、或弹性力和按压力这双方的力而返回落座位置，使入口流路56封闭。其结果，从入口流路56向下游侧的压缩流体的供给停止。

如此，在第三变形例中，喷射喷嘴16被插入孔14、筒体122与工件12的表面88接触而使孔14封闭，且通过因与筒体122抵接的柱塞126的位移而导致的密封体132的移动，入口流路56被开放，从而能够进行第一压缩流体和第二压缩流体的供给。

另一方面，当通过筒体122与工件12的表面88分开，柱塞126位移而密封体132关闭入口流路56，则第一压缩流体和第二压缩流体的供给停止。

如此，通过因筒体122与工件12的抵接而引起的密封体132对入口流路56的开闭，自动地进行第一压缩流体和第二压缩流体的供给开始或供给停止。由此，能够阻止第一压缩流体和第二压缩流体被浪费地供给。其结果，能够谋求供给压缩流体的外部的流体供给源的节能化。

另外，为了不进行浪费的压缩流体的供给，需要在该压缩流体的供给端口(入口流路56)设置控制用电磁阀而进行压缩流体的供给或停止。与此相对，第三变形例的粉尘去除装置10C通过具备上述的密封体132等机构，能够省略控制用电磁阀。如此，无需控制用电磁阀，从而能够谋求流体回路和电路这双方的节约。

[4.4第四变形例]

一边参照图11～图12B一边对第四变形例的粉尘去除装置10D进行说明。粉尘去除装置10D与图1和图2的粉尘去除装置10的不同点在于，在喷射喷嘴16的顶端部42设置有能够对喷射第一压缩流体的喷射孔48进行开闭的阀芯138。

在喷射喷嘴16的喷射流路78上，在喷射喷嘴16的内周面安装固定有沿着A方向形成有多个孔140的圆板部件142。弹簧部件144插装于圆板部件142与阀芯138的基端部之间。在图12A的通常时，利用弹簧部件144的弹性力或者基于第一压缩流体的压力的按压力、或弹性力和按压力这双方的力，阀芯138使喷射孔48为闭状态。因而，即使是第一压缩流体被向喷射喷嘴16的喷射流路78供给着的状态下，也无法使第一压缩流体从喷射孔48喷射。

在该情况下，如图11所示，能够使第二压缩流体经由第二流体供给路径84向排出流路72放出。因此，在粉尘去除装置10D中，在第一压缩流体未被从喷射孔48喷射的状态下，也能够进行基于第二压缩流体的放出的真空吸引。

在此，将喷射喷嘴16插入孔14，当阀芯138的顶端与孔14的底部90(参照图11)接触，则克服弹簧部件144的弹性力或者基于第一压缩流体的压力的按压力、或弹性力和按压力这双方的力而阀芯138向A2方向移动。由此，如图12B所示，喷射孔48打开，能够从该喷射孔48喷射第一压缩流体。

另一方面，当阀芯138的顶端与孔14的底部90分开，则通过弹簧部件144的弹性力或者基于第一压缩流体的压力的按压力、或弹性力和按压力这双方的力而阀芯138向A1方向移动。由此，从图12B的状态变化成图12A的状态，喷射孔48被封闭。其结果，来自喷射孔48的第一压缩流体的喷射停止。

如此，在粉尘去除装置10D中，在从喷射孔48开始第一压缩流体的喷射之前，能够使基于第二压缩流体的放出的真空吸引开始。由此，能够防止在开始真空吸引之前附着于孔14的粉尘向外部飞散，能够将进行粉尘的去除作业的空间保持清洁。

[4.5第五变形例]

一边参照图13一边对第五变形例的粉尘去除装置10E进行说明。粉尘去除装置10E与图1和图2的粉尘去除装置10不同点在于，还具有：筒体146(第二筒体)，筒体146以能够沿着吸引喷嘴18的外周面36移动的方式安装到该吸引喷嘴18的顶端部32；弹簧部件148(第二弹簧部件)，弹簧部件148插装于喷嘴主体20与筒体146之间；以及柱塞150(第二柱塞)，柱塞150设置于喷嘴主体20的压缩流体供给部54，且沿着中心轴30(A方向)朝向筒体146延伸。

在该情况下，筒体146和弹簧部件148周边的配置结构与第三变形例的粉尘去除装置10C的筒体122和弹簧部件124(参照图10)同样。即，喷射喷嘴16的顶端部42从筒体146向A1方向突出，筒体146能够以围绕在孔14的周围的方式与工件12的表面88接触。另外，在筒体146的A2方向侧形成有环状的突出部152，弹簧部件148插装于突出部152与喷嘴主体20的顶端部22之间。而且，在吸引喷嘴18的顶端部32形成有环状的突出部154，突出部152能够在突出部154和吸引喷嘴侧调整螺纹38的范围内沿着A方向滑动。

并且，在第五变形例中，柱塞150伸入到压缩流体供给部54的流路62中的针形螺纹件66的下游侧，在该柱塞150的基端部安装有能够对流路62进行开闭的密封体156(第二密封体)。在该情况下，密封体156配置于在流路62的中途设置的室158内，弹簧部件160插装于室158内的A2方向侧的部位与密封体156之间。因此，密封体156在室158内被弹簧部件160的弹性力或者因第一压缩流体的压力而作用的按压力、或弹性力和按压力这双方的力按压于A1方向侧的部位(落座位置)。在图13中图示有如下情况：通过密封体156被按压于室158内的落座位置，流路62因密封体156而成为闭状态。

在此，即使对于流路62的第一压缩流体的供给开始，流路62也被密封体156关闭，因此，无法从流路62向喷射喷嘴16供给第一压缩流体。另一方面，第二压缩流体能够经由第二流体供给路径84向排出流路72放出。因此，在粉尘去除装置10E中，在第一压缩流体未被向喷射喷嘴16供给的状态下，能够进行基于第二压缩流体的放出的真空吸引。

在该状态下，将喷射喷嘴16的顶端部42插入孔14，在筒体146与工件12的表面88接触而使孔14封闭了时，当将喷嘴主体20向A1方向按压，则克服弹簧部件148的弹性力(弹簧部件148收缩)而喷射喷嘴16、吸引喷嘴18以及喷嘴主体20整体地向A1方向位移。并且，当使喷射喷嘴16、吸引喷嘴18以及喷嘴主体20进一步向A1方向位移，则柱塞150的顶端与筒体146抵接。

接着，当使喷嘴主体20进一步向A1方向位移，则柱塞150从筒体146受到A2方向的力，克服弹簧部件160的弹性力或者因第一压缩流体的压力而作用的按压力、或弹性力和按压力这双方的力而向A2方向位移。其结果，密封体156在室158内向A2方向与落座位置分开，使流路62从闭状态变化成开状态。

由此，开始从处于开放状态的流路62向喷射喷嘴16供给第一压缩流体。其结果，使第一压缩流体从喷射孔48喷射，而使附着于孔14的粉尘浮起，并能够利用被从第二流体供给路径84向排出流路72放出的第二压缩流体吸引第一压缩流体和粉尘而从排出流路72向外部排出。

另一方面，在附着于孔14的粉尘被去除了的情况下，使筒体146与工件12的表面88分开。由此，由于弹簧部件148的弹性力而喷嘴主体20与筒体146相对地分离。其结果，柱塞150从被筒体146按压的按压状态释放，向A1方向位移。由此，密封体156通过弹簧部件160的弹性力或者因第一压缩流体的压力而作用的按压力、或弹性力和按压力这双方的力而返回落座位置，使流路62封闭。其结果，第一压缩流体从流路62向喷射喷嘴16的供给停止。

如此，在第五变形例中，也通过由密封体156进行的第一流体供给路径80的流路62的开放，从而在第一压缩流体从喷射孔48向孔14的喷射开始之前，基于第二压缩流体的放出的真空吸引开始。其结果，能够在真空吸引的开始前防止附着于孔14的粉尘向外部飞散，能够将进行粉尘的去除作业的空间保持清洁。

[4.6第六变形例]

一边参照图14～图16一边对第六变形例的粉尘去除装置10F进行说明。粉尘去除装置10F与图1和图2的粉尘去除装置10不同在于，还具备筒状部161，该筒状部161从喷嘴主体20和/或吸引喷嘴18朝向工件12突出，在将喷射喷嘴16插入到孔14时，在喷射喷嘴16与孔14的底部90接触之前，该筒状部161与工件12的表面88接触。

在图14的例子中，筒状部161包括：第一圆筒部件162，第一圆筒部件162安装于喷嘴主体20的顶端部22；和第二圆筒部件166，第二圆筒部件166在第一圆筒部件162的内侧经由弹簧部件164而安装固定到吸引喷嘴18的顶端部32。第一圆筒部件162的A1方向的顶端部朝向中心轴30向径向内侧延伸，并与第二圆筒部件166的A1方向的台阶部分抵接。在该情况下，第二圆筒部件166被弹簧部件164的弹性力向第一圆筒部件162的顶端部施力。另外，第二圆筒部件166的顶端相对于第一圆筒部件162的顶端向A1方向突出。

在此，当在将喷射喷嘴16的顶端部42插入到孔14的状态下使粉尘去除装置10F向A1方向移动，则在顶端部42与孔14的底部90接触之前，第二圆筒部件166的顶端与工件12的表面88上的孔14的周围抵接。当使粉尘去除装置10F向A1方向进一步移动，则第二圆筒部件166从工件12受到A2方向上的力，克服弹簧部件164的弹性力而向A2方向位移。其结果，不使顶端部42与孔14的底部90接触，就能够在使第一圆筒部件162和第二圆筒部件166的顶端大致齐平的状态下使筒状部161与工件12的表面88抵接。

另一方面，当粉尘去除装置10F从工件12的表面88向A2方向后退，则第二圆筒部件166由于弹簧部件164的弹性力(回弹功能)而恢复成与工件12接触之前的位置(图14所示的位置)。

如此，在第六变形例中，能够防止如下情况：因孔14的深度而导致在吸引喷嘴18的顶端部32与工件12的表面88接触之前，喷射喷嘴16的顶端部42与孔14的底部90接触，无法吸引粉尘。其结果，即使孔14的深度存在不同，也借助筒状部161使吸引喷嘴18的顶端部32间接地与工件12的表面88抵接，能够使孔14封闭。

图15的例子图示有设置到喷嘴主体20的顶端部22和吸引喷嘴18的顶端部32的弹性体167是筒状部161的情况。在该情况下，也与图14的例同样地，能够防止如下情况：因孔14的深度而导致在吸引喷嘴18的顶端部32与工件12的表面88接触之前，喷射喷嘴16的顶端部42与孔14的底部90接触，无法吸引粉尘。另外，即使孔14的深度存在不同，也借助弹性体167使吸引喷嘴18的顶端部32间接地与工件12的表面88抵接，能够使孔14封闭。此外，作为弹性体167，例如海绵橡胶是恰当的。尤其是，在采用了独立气泡的海绵橡胶作为弹性体167的情况下，确保了相对于工件12的表面88的密封性、缓冲性，并且，能够恰当地发挥回弹功能。

图16的例子图示有波纹管168是筒状部161的情况，该波纹管168设置于喷嘴主体20的顶端部22，且由橡胶等弹性体成形而成。在该情况下，也与图14和图15的例子同样地，能够防止如下情况：因孔14的深度而导致在吸引喷嘴18的顶端部32与工件12的表面88接触之前，喷射喷嘴16的顶端部42与孔14的底部90接触，无法吸引粉尘。另外，即使孔14的深度存在不同，也借助波纹管168使吸引喷嘴18的顶端部32间接地与工件12的表面88抵接，能够使孔14封闭。而且，在图16的例子中，也由橡胶等弹性体形成波纹管168，因此，确保了相对于工件12的表面88的密封性、缓冲性，并且，能够恰当地发挥回弹功能。

[4.7第七变形例]

一边参照图17一边对第七变形例的粉尘去除装置10G进行说明。粉尘去除装置10G与图1和图2的粉尘去除装置10的不同点在于，在喷嘴主体20的排出流路72侧设置有检测粉尘的通过的粉尘检测单元170。

粉尘检测单元170例如包括：发出沿着径向的光172的发光二极管等的发光元件174；对发光元件174所发出的光172进行受光，并将所受光的光172转换成电信号的光电转换元件176；以及信号处理装置178，通过对从光电转换元件176输出的电信号进行处理，信号处理装置178判定粉尘的通过的有无。在该情况下，在信号处理装置178中，只要能够判定成为没有粉尘的通过的状态，就能够容易地确认粉尘被从孔14去除了的情况。

另外，在从信号处理装置178输出了粉尘的去除作业完成了的内容的通知信号的情况下，流体供给源能够基于该通知信号立即使对于粉尘去除装置10G的压缩流体的供给停止。如此，粉尘检测单元170定量地判断粉尘的去除作业的完成，因此，通过利用其判断结果，能够抑制压缩流体的浪费的消耗。

此外，在上述的说明中，对粉尘检测单元170是光学检测机构的情况进行了说明。在第七变形例中，并不限定于上述的说明，只要能够检测粉尘的通过，当然能够采用任何检测方式的检测单元。

[4.8第八变形例]

一边参照图18和图19一边对第八变形例的粉尘去除装置10H进行说明。在第八变形例中，连续设置与图1和图2的粉尘去除装置10大致相同的结构的多个粉尘去除装置10H，从而形成歧管化结构。即，如图18和图19所示，多个粉尘去除装置10H与使各压缩流体供给部54通用化的压缩流体供给块180连结，在压缩流体供给块180的侧面设置有用于从外部的流体供给源供给压缩流体(加压空气)的通用供给端口182。另外，各粉尘去除装置10H的针形螺纹件66沿着粉尘去除装置10H的径向形成。由此，构成具有多个粉尘去除装置10H的粉尘去除系统184H。此外，如图19所示，在压缩流体供给块180中，流路62经由在A2方向形成的孔186与外部连通，但该孔186被球体188封堵。

如此，在第八变形例中，通过使多个粉尘去除装置10H歧管化，使压缩流体共用化，能够实现具备粉尘去除装置10H的粉尘去除系统184H的紧凑化。其结果，如图18这样，将各喷射喷嘴16分别插入于在工件12形成的比较窄的间距的多个孔14，能够同时进行附着于各孔14的粉尘的去除作业。因而，在第八变形例中，能够效率良好地进行针对形成有多个孔14的工件12的粉尘的去除作业。

另外，在粉尘去除系统184H中，多个粉尘去除装置10H也具备喷嘴主体侧调整螺纹28、吸引喷嘴侧调整螺纹38以及针形螺纹件66。由此，能够通过向该各粉尘去除装置10H中的各供给端口(入口流路56)依次供给压缩流体，在将第二压缩流体放出而首先产生了真空吸引的状态下，将喷射喷嘴16插入孔14，在吸引喷嘴18与工件12的表面88抵接而使孔14封闭之后，使第一压缩流体从该喷射喷嘴16的喷射孔48喷射。在该情况下，也能够在粉尘的去除作业时防止粉尘向外部飞散。

如此，在第八变形例中，各粉尘去除装置10H具备喷嘴主体侧调整螺纹28、吸引喷嘴侧调整螺纹38以及针形螺纹件66，从而能够设置先产生真空吸引、之后将喷射喷嘴16的顶端部42插入孔14而喷射第一压缩流体这样的时间差地供给第一压缩流体和第二压缩流体。

[4.9第九变形例]

一边参照图20～图22一边对第九变形例的粉尘去除装置10I和粉尘去除系统184I进行说明。在第九变形例中图示有如下情况：在复杂的形状的工件12中，当在各种位置形成有孔14的情况下，针对这些孔14内的粉尘同时进行去除作业。

如图20和图21所示，在第九变形例中，在工件12形成有多个位置、朝向不同的作为盲孔的孔14。即，在工件12的表面88中，例如，在上表面和与该上表面相连的斜面以等间距形成有多个孔径和深度相同的孔14。

与这些孔14相对应地，粉尘去除系统184I与第八变形例的粉尘去除系统184H(参照图18和图19)的不同点在于，准备多个粉尘去除块190，沿着压缩流体供给块180的长度方向将多个粉尘去除装置10I等间隔地连结而歧管化形成粉尘去除块190。在该情况下，在各粉尘去除块190中，与粉尘去除系统184H的情况同样地，在使喷射喷嘴16朝向了与压缩流体供给块180的长度方向正交的方向的状态下多个粉尘去除装置10I被安装固定于该压缩流体供给块180。

另外，在各粉尘去除装置10I中，在吸引喷嘴18的顶端部32安装固定有筒状的封闭部件192。各粉尘去除装置10I的封闭部件192被设定成相同长度，并且，喷射喷嘴16被设定成相同的突出量。并且，在粉尘去除系统184I中，针对多个孔14预先分配有进行粉尘的去除作业的粉尘去除块190(的粉尘去除装置10I)。

由此，在针对工件12的多个孔14进行粉尘的去除作业时，各粉尘去除块190能够使用未图示的机械臂等移动单元，不相互干涉地向预先分配好的多个孔14的附近移动，之后，将自己的喷射喷嘴16的顶端部42插入孔14，而利用封闭部件192使表面88的孔14周边的部位封闭。其结果，在喷射喷嘴16相对于成为去除作业的对象的全部的孔14的插入完成了的时间点，从各压缩流体供给块180向各粉尘去除装置10I供给压缩流体，从而能够同时执行针对全部的孔14的粉尘的去除作业。

如此，在第九变形例中，粉尘去除系统184I具有多个利用压缩流体供给块180将多个粉尘去除装置10I连结而成的粉尘去除块190。由此，当在工件12形成有多个孔14的情况下，将喷射喷嘴16的顶端部42分别插入各孔14，能够针对各孔14同时进行各粉尘去除装置10I的粉尘的去除作业。由此，能够谋求粉尘的去除作业的效率化。

在该情况下，在粉尘去除块190中，各粉尘去除装置10I以喷射喷嘴16的延伸方向成为彼此相同的方向的方式以沿着压缩流体供给块180的长度方向的规定间隔被固定。由此，只要在工件12的表面88沿着相同方向(例如、等间距)形成有多个孔14，就能够将各粉尘去除装置10I的喷射喷嘴16的顶端部42分别插入各孔14，同时进行粉尘的去除作业，因此，能够效率更加良好地进行该去除作业。

而且，还在各粉尘去除装置10I的吸引喷嘴18设置有封闭部件192，在将喷射喷嘴16的顶端部42向孔14插入时，该封闭部件192使孔14的周边的工件12的表面88封闭。由此，在粉尘的去除作业时，能够不使粉尘和第一压缩流体向外部泄漏地进行粉尘的去除作业。

[4.10第十变形例]

一边参照图23一边对第十变形例的粉尘去除装置10J和粉尘去除系统184J进行说明。在第十变形例中意图在于如下结构：当在工件12形成有多个深度不同的孔14的情况下，能针对这些孔14内的粉尘同时进行去除作业。因而，与第九变形例相比较，粉尘去除装置10J和粉尘去除系统184J在下述几点不同。

首先，如图23所示，设置有能够调整粉尘去除装置10J相对于压缩流体供给块180的安装高度(安装位置)的安装位置调整机构194。在压缩流体供给块180中，在每个粉尘去除装置10J设置有安装位置调整机构194。安装位置调整机构194包括：以与粉尘去除装置10J相对的方式沿着A方向形成的两个长圆状的调整孔196；和位置调整螺纹件198，位置调整螺纹件198插通各调整孔196而与粉尘去除装置10J螺纹结合，从而将粉尘去除装置10J固定于压缩流体供给块180。

如上述那样，调整孔196沿着A方向形成，因此，通过使位置调整螺纹件198插通调整孔196的任意的高度位置而与粉尘去除装置10J螺纹结合，能够在调整孔196的沿着A方向的长度的范围内将粉尘去除装置10J调整在任意的高度位置地固定于压缩流体供给块180。如此，安装位置调整机构194以与粉尘去除装置10J相对的方式设置于压缩流体供给块180，因此，针形螺纹件66设置于压缩流体供给块180的上表面。

如此，在第十变形例中，与第九变形例同样地，通过将喷射喷嘴16的顶端部42分别插入各孔14，针对各孔14同时进行粉尘的去除作业，能够谋求去除作业的效率化。另外，在第十变形例中，在深度不同的多个孔14形成于工件12的情况下，通过对每个粉尘去除装置10J利用安装位置调整机构194而调整在压缩流体供给块180中的安装位置，在将喷射喷嘴16的顶端部42插入到孔14时，能够将该顶端部42插入到恰当的深度而进行粉尘的去除作业。

[4.11第十一变形例]

一边参照图24～图26一边对第十一变形例的粉尘去除装置10K和粉尘去除系统184K进行说明。第十一变形例意图在于如下情况：当在工件12的各种高度位置(形成位置)形成有孔径和深度不同的孔14的情况下，针对这些孔14内的粉尘同时进行去除作业。

图24和图25分别是图示有工件12的一个例子的立体图和剖视图。该工件12是没有上盖的箱形的壳体，在上端部，在不同的位置形成有多个孔径和深度不同的孔14。并且，在第十一变形例中，与第八变形例～第十变形例(参照图18～图23)相比较，粉尘去除装置10K和粉尘去除系统184K在下述几点不同。

首先，如第一变形例(参照图3A～图8C)那样，喷射喷嘴16的顶端部42构成为能够相对于喷嘴主体部46更换。即，在第十一变形例中，能够根据不同的孔径和深度的孔14、粉尘的种类等更换成恰当的顶端部42。

如图26所示，各粉尘去除装置10K除了顶端部42以外的结构相互通用。在该情况下，各顶端部42被设定成，该顶端部42的直径根据孔径而不同，顶端部42的长度根据孔14的深度而不同，且喷射孔48的大小根据孔14内的体积、粉尘的种类等而不同。

另外，如第六变形例(参照图14～图16)那样，在喷嘴主体20和吸引喷嘴18安装固定有筒状部161。在该情况下，当将喷射喷嘴16向孔14插入，则在喷射喷嘴16的顶端部42与孔14的底部90接触之前，筒状部161与工件12的表面88抵接。此外，在图26中，图示有将图14的筒状部161安装固定到粉尘去除装置10K的情况。

在第十一变形例中，如图26所示，在多个孔14的大小和深度、粉尘的种类等不同的情况下，喷射喷嘴16的顶端部42构成为与第一变形例(参照图3A～图8C)同样地能够更换，通过将恰当的顶端部42安装固定于喷射喷嘴16，能够在将喷射喷嘴16的顶端部42插入到孔14时，将该顶端部42插入到恰当的深度而进行粉尘的去除作业。

另外，在第十一变形例中，如图26所示，在多个孔14的大小、深度以及形成位置不同的情况下，通过使用筒状部161，也能够在喷射喷嘴16的顶端部42到达孔14的底部90之前使工件12的表面88上的孔14周边的部位恰当地封闭。

通过如此设置，在第十一变形例中，将喷射喷嘴16的顶端部42分别插入各孔14，针对各孔14同时进行粉尘的去除作业，从而能够谋求去除作业的效率化。另外，在孔径、深度和形成位置不同的多个孔14形成于工件12的情况下，将喷射喷嘴16的顶端部42插入到恰当的深度，并且，利用筒状部161使孔14的周边封闭，从而能够不使粉尘和第一压缩流体向外部泄漏地效率良好地进行粉尘的去除作业。

而且，在第十一变形例中，顶端部42也能够更换，因此，通过根据孔14的大小、深度和形成位置；粉尘的种类等将恰当的顶端部42安装固定于喷射喷嘴16，从而便利性提高，并且，喷射喷嘴16的维护性也提高。

此外，本发明并不限于上述的实施方式，不脱离本发明的主旨当然能采取各种结构。

Claims (17)

1.一种粉尘去除装置(10、10A～10K)，在将喷射喷嘴(16)插入对象物(12)的孔(14)，并利用围绕该喷射喷嘴(16)的吸引喷嘴(18)使所述孔(14)封闭了的状态下，从所述喷射喷嘴(16)向所述孔(14)喷射压缩流体，并利用所述吸引喷嘴(18)对附着于所述孔(14)的粉尘和所述压缩流体进行吸引，该粉尘去除装置的特征在于，

具备：中空状的喷嘴主体(20)，该喷嘴主体连结有所述喷射喷嘴(16)和所述吸引喷嘴(18)，且将被该吸引喷嘴(18)吸引了的所述粉尘和所述压缩流体向外部排出；喷射量调整部(66)，该喷射量调整部调整从所述喷射喷嘴(16)喷射的所述压缩流体的流量；以及吸引量调整部(28、38)，该吸引量调整部调整被所述吸引喷嘴(18)吸引的所述粉尘和所述压缩流体的量，

在所述喷嘴主体(20)形成有：第一流体供给路径(80)，该第一流体供给路径将从外部供给的压缩流体的一部分作为第一压缩流体向所述喷射喷嘴(16)供给，而使所述喷射喷嘴(16)喷射该第一压缩流体；和第二流体供给路径(84)，该第二流体供给路径将从外部供给的压缩流体的另一部分作为第二压缩流体向所述喷嘴主体(20)中的所述粉尘和所述第一压缩流体的排出方向的下游侧放出，

利用所述第二压缩流体向所述排出方向的下游侧的放出，所述粉尘和所述第一压缩流体经由所述吸引喷嘴(18)和所述喷嘴主体(20)而被向外部排出，

所述喷射量调整部(66)通过调整所述第一流体供给路径(80)的流路面积，来调整从所述喷射喷嘴(16)喷射的所述第一压缩流体的流量，

所述吸引量调整部(28、38)调整所述第二流体供给路径(84)的流路面积而调整向所述排出方向的下游侧放出的所述第二压缩流体的流量，从而调整被所述吸引喷嘴(18)吸引的所述粉尘和所述压缩流体的量。

2.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10、10A～10K)，其特征在于，

所述喷射喷嘴(16)的基端部(40)被固定于所述吸引喷嘴(18)，

所述吸引喷嘴(18)以能够沿着所述喷嘴主体(20)的轴向移动的方式被安装固定于该喷嘴主体(20)的内周面(26)，

所述第二流体供给路径(84)是在所述吸引喷嘴(18)的基端部(34)与所述喷嘴主体(20)的内周面(26)之间形成的间隙(82)，

所述吸引量调整部(28、38)通过使所述吸引喷嘴(18)相对于所述喷嘴主体(20)的内周面(26)沿着所述轴向移动而调整所述间隙(82)的开度，从而调整所述第二压缩流体的流量。

3.如权利要求2所述的粉尘去除装置(10、10A～10K)，其特征在于，

所述喷射量调整部(66)是对设置于所述喷嘴主体(20)的所述第一流体供给路径(80)进行节流的针形螺纹件，

所述吸引量调整部(28、38)是在所述吸引喷嘴(18)的外周面(36)和所述喷嘴主体(20)的内周面(26)分别形成且相互螺纹结合的调整螺纹。

4.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10A、10K)，其特征在于，

在所述喷射喷嘴(16)的顶端部(42)的外周面和/或顶端面形成有喷射所述第一压缩流体的喷射孔(48)，

所述喷射喷嘴(16)的顶端部(42)构成为能够更换。

5.如权利要求4所述的粉尘去除装置(10A、10K)，其特征在于，

所述喷射孔(48)沿着所述喷射喷嘴(16)的轴向形成、或沿着所述喷射喷嘴(16)的径向形成、和/或形成为相对于所述径向倾斜了规定角度的状态。

6.如权利要求5所述的粉尘去除装置(10A)，其特征在于，

所述喷射喷嘴(16)的顶端部(42)包括：内筒部(42a)，该内筒部与该喷射喷嘴(16)连结；和外筒部(42b)，该外筒部以能够以所述喷射喷嘴(16)的中心轴(30)为中心旋转的方式安装固定于所述内筒部(42a)，

在所述内筒部(42a)沿着所述径向形成有内侧喷射孔(48a)，

在所述外筒部(42b)以相对于所述径向倾斜了规定角度的状态形成有外侧喷射孔(48b)。

7.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10B)，其特征在于，

所述吸引喷嘴(18)包括：筒状的安装固定部(18a)，该安装固定部安装固定于所述喷嘴主体(20)；和筒状的安装部(18b)，该安装部相对于该安装固定部(18a)能够拆卸，且安装有所述喷射喷嘴(16)的基端部(40)，

在所述安装部(18b)的外周面形成有突起(112)，

在所述安装固定部(18a)设置有向该安装固定部(18a)的内方突出而卡定所述突起(112)的卡定部(120)。

8.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10C)，其特征在于，

还具备：第一筒体(122)，该第一筒体以能够沿着所述吸引喷嘴(18)的外周面(36)移动的方式安装于该吸引喷嘴(18)的顶端部(32)；第一弹簧部件(124)，该第一弹簧部件插装于所述喷嘴主体(20)与所述第一筒体(122)之间；以及第一柱塞(126)，该第一柱塞设置于所述喷嘴主体(20)，且沿着该喷嘴主体(20)的轴向朝向所述第一筒体(122)延伸，

在所述喷嘴主体(20)还形成有将从外部供给的所述压缩流体向所述第一流体供给路径(80)和所述第二流体供给路径(84)供给的入口流路(56)，

在所述第一柱塞(126)的基端部安装有能够对所述入口流路(56)进行开闭的第一密封体(132)，

在所述第一筒体(122)与所述对象物(12)接触，所述喷嘴主体(20)克服所述第一弹簧部件(124)的弹性力而向所述对象物(12)侧移动，从而所述第一柱塞(126)与所述第一筒体(122)抵接的情况下，通过所述第一柱塞(126)随着所述喷嘴主体(20)向所述对象物(12)侧的移动而在所述轴向上位移，所述第一密封体(132)使所述入口流路(56)开放，

另一方面，在所述第一筒体(122)与所述对象物(12)分开，所述喷嘴主体(20)利用所述第一弹簧部件(124)的弹性力而与所述第一筒体(122)相对地分离了的情况下，通过所述第一柱塞(126)在所述轴向上位移，所述第一密封体(132)使所述入口流路(56)关闭。

9.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10D)，其特征在于，

在所述喷射喷嘴(16)的顶端设置有使喷射孔(48)封闭的阀芯(138)，

通过所述喷射喷嘴(16)被插入所述孔(14)，所述阀芯(138)与所述孔(14)的底部(90)接触而使该阀芯(138)在所述喷射喷嘴(16)的轴向上位移，从而所述喷射孔(48)打开，所述第一压缩流体被从该喷射孔(48)喷射。

10.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10E)，其特征在于，

还具备：第二筒体(146)，该第二筒体以能够沿着所述吸引喷嘴(18)的外周面(36)移动的方式安装到该吸引喷嘴(18)的顶端部(32)；第二弹簧部件(148)，该第二弹簧部件插装于所述喷嘴主体(20)与所述第二筒体(146)之间；以及第二柱塞(150)，该第二柱塞设置于所述喷嘴主体(20)且沿着该喷嘴主体(20)的轴向朝向所述第二筒体(146)延伸，

在所述第二柱塞(150)的基端部安装有能够对所述第一流体供给路径(80)进行开闭的第二密封体(156)，

在所述第二筒体(146)与所述对象物(12)接触，所述喷嘴主体(20)克服所述第二弹簧部件(148)的弹性力而向所述对象物(12)侧移动，从而所述第二柱塞(150)与所述第二筒体(146)抵接的情况下，所述第二柱塞(150)随着所述喷嘴主体(20)向所述对象物(12)侧的移动而在所述轴向上位移，从而所述第二密封体(156)使所述第一流体供给路径(80)开放，

另一方面，在所述第二筒体(146)与所述对象物(12)分开，所述喷嘴主体(20)利用所述第二弹簧部件(148)的弹性力而与所述第二筒体(146)相对地分离了的情况下，通过所述第二柱塞(150)在所述轴向上位移，所述第二密封体(156)使所述第一流体供给路径(80)关闭。

11.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10F、10K)，其特征在于，

还具备筒状部(161)，该筒状部从所述喷嘴主体(20)和/或所述吸引喷嘴(18)朝向所述对象物(12)突出，在将所述喷射喷嘴(16)插入到所述孔(14)时，在所述喷射喷嘴(16)与所述孔(14)的底部(90)接触之前，该筒状部(161)与所述对象物(12)的表面(88)接触。

12.如权利要求11所述的粉尘去除装置(10F、10K)，其特征在于，

在所述筒状部(161)与所述对象物(12)分开时，所述筒状部(161)利用回弹功能恢复到与该对象物(12)接触之前的位置。

13.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10G)，其特征在于，

还具备检测所述喷嘴主体(20)内的所述粉尘的通过的粉尘检测单元(170)。

14.如权利要求1所述的粉尘去除装置(10I)，其特征在于，

还具备封闭部件(192)，该封闭部件以能够更换的方式安装固定于所述吸引喷嘴(18)，在将所述喷射喷嘴(16)向所述孔(14)插入时，该封闭部件使所述对象物(12)的表面(88)上的所述孔(14)的周边封闭。

15.一种粉尘去除系统(184H～184K)，其特征在于，具有：

如权利要求1所述的多个粉尘去除装置(10H～10K)；和

压缩流体供给块(180)，该压缩流体供给块将各所述粉尘去除装置(10H～10K)连结固定，并向该各粉尘去除装置(10H～10K)供给所述压缩流体。

16.如权利要求15所述的粉尘去除系统(184H～184K)，其特征在于，

各所述粉尘去除装置(10H～10K)以所述喷射喷嘴(16)的延伸方向成为彼此相同的方向的方式以沿着所述压缩流体供给块(180)的长度方向的规定间隔被固定。

17.如权利要求15所述的粉尘去除系统(184J)，其特征在于，

在所述压缩流体供给块(180)中，对每个该粉尘去除装置(10J)设置有用于调整各所述粉尘去除装置(10J)的安装位置的安装位置调整机构(194)。