TWI699244B - 粉塵去除裝置及粉塵去除系統 - Google Patents

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TWI699244B TW106113441A TW106113441A TWI699244B TW I699244 B TWI699244 B TW I699244B TW 106113441 A TW106113441 A TW 106113441A TW 106113441 A TW106113441 A TW 106113441A TW I699244 B TWI699244 B TW I699244B
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Abstract

粉塵去除裝置(10)的管嘴本體(20)具備之壓縮流體供給部(54)中所設的針形螺絲(66)係調整第一流體供給路(80)的流路面積，藉此調整從噴射噴嘴(16)噴出的第一壓縮流體的噴射流量。另一方面，旋轉形成於管嘴本體(20)之管嘴本體側調整螺牙(28)、及形成於吸嘴(18)之吸嘴側調整螺牙(38)而調整第二流體供給路(84)的流路面積，藉以調整放出到排出流路(72)的第二壓縮流體的吸引流量。

Description

粉塵去除裝置及粉塵去除系統
本發明係關於將噴射噴嘴插入對象物的孔，在藉由圍繞噴射噴嘴之吸嘴閉塞該孔之狀態下，從噴射噴嘴噴射壓縮流體到該孔，並且利用吸嘴將附著在孔內的粉塵及壓縮流體吸除之粉塵去除裝置，以及具有該粉塵去除裝置之粉塵去除系統。
例如，日本專利公開公報特開2005-153039號、特開2004-033841號、特開2004-243209號、及特開2015-013229號揭示有去除附著在形成於對象物的孔內之切削屑、異物等的粉塵之裝置。
特開2005-153039號公報中揭示：將噴射配管(噴射噴嘴)插入切削加工後的加工孔，並且利用圍繞噴射配管之中空構件(吸嘴)閉塞加工孔，然後從噴射配管噴射加壓空氣(壓縮流體)使得殘留在加工孔內的切削屑、異物漂浮，透過中空構件將漂浮的切削屑及加壓空氣進行真空排氣之加工孔清掃裝置。
特開2004-033841號公報及特開2004-243209號公報中揭示：在使前端噴嘴(噴射噴嘴)略為離開機械零 件(對象物)的表面之狀態下，藉由噴射壓縮空氣(壓縮流體)吹揚粉塵類，並從圍繞前端噴嘴之前端吸入管(吸嘴)的吸入口，利用真空壓力將粉塵類吸除之手持式清掃機。
特開2015-013229號公報中揭示：將雙重管插入混凝土壁(對象物)的鑽孔，藉由從外管(噴射噴嘴)的噴氣口噴射壓縮空氣(壓縮流體)，使外部的清淨空氣流入鑽孔，並且從內管(吸嘴)的前端部將粉塵吸除之集塵清掃裝置。
對於附著在形成於對象物之孔內之切削屑等之粉塵，只從噴射噴嘴噴射正壓的壓縮流體並無法有效率地去除該粉塵。必須一方面噴射壓縮流體使附著於孔內之粉塵漂浮，一方面藉由真空吸引形成負壓的空氣流動，經由吸嘴將粉塵吸除。
而且，若粉塵去除裝置具備用來適切地調整從噴射噴嘴噴射到孔內之壓縮流體的噴射流量、及藉由真空吸引而透過吸嘴將粉塵吸除之際的吸引流量之流量調整機構，認為即可效率良好地去除吸著在孔內之粉塵。
然而，特開2005-153039號公報及特開2015-013229號公報之技術因為清掃裝置並不具備上述的流量調整機構，所以無法有效率地去除粉塵。
另外，特開2004-033841號公報及特開2004-243209號公報之技術，可利用流量調整閥來調整從前端噴嘴噴出的壓縮空氣的流量。不過，手持式清掃機並不 具備調整前端吸入管的吸引量之機構。
如上所述，以往的具備噴射噴嘴及吸嘴之粉塵去除裝置本身並不具備調整噴射流量及吸引流量之流量調整機構。因此，無法有效率地去除附著在孔內之粉塵。
本發明係為了解決上述的課題而完成者，目的在於提供可效率良好地去除附著在對象物的孔內的粉塵之粉塵去除裝置及粉塵去除系統。
本發明係關於將噴射噴嘴插入對象物的孔，且在藉由圍繞該噴射噴嘴之吸嘴閉塞前述孔之狀態下，從前述噴射噴嘴噴射壓縮流體到前述孔，並且利用前述吸嘴吸引附著在前述孔內的粉塵及前述壓縮流體之粉塵去除裝置，以及具有如此的粉塵去除裝置之粉塵去除系統。
而且，為了達成上述的目的，前述粉塵去除裝置具備有：連結前述噴射噴嘴及前述吸嘴且將該吸嘴吸引的前述粉塵及前述壓縮流體排出到外部之中空狀的管嘴本體；調整從前述噴射噴嘴噴射的前述壓縮流體的流量之噴射量調整部；以及調整由前述吸嘴吸引的前述粉塵及前述壓縮流體的量之吸引量調整部。
在此情況，前述管嘴本體形成有：將供給自外部的壓縮流體的一部分作為第一壓縮流體而供給至前述噴射噴嘴並使其噴射之第一流體供給路；以及將供給自外部的壓縮流體的另一部分作為第二壓縮流體而放出到前述管嘴本體之前述粉塵及前述第一壓縮流體的排出方向的下游側之第二流體供給路。
如此，藉由前述第二壓縮流體之往前述排出方向的下游側之放出，使得前述粉塵及前述第一壓縮流體經由前述吸嘴及前述管嘴本體而排出到外部。
另外，前述噴射量調整部係調整前述第一流體供給路的流路面積，藉以調整從前述噴射噴嘴噴射的前述第一壓縮流體的流量。前述吸引量調整部係調整前述第二流體供給路的流路面積而調整放出到前述排出方向的下游側之前述第二壓縮流體的流量，藉以調整由前述吸嘴吸引的前述粉塵及前述壓縮流體的量。
若根據此構成，具備前述噴射噴嘴及前述吸嘴之前述粉塵去除裝置本身係具備有：調整前述第一壓縮流體的流量(噴射流量)之前述噴射量調整部；以及調整前述第二壓縮流體的流量(吸引流量)之前述吸引量調整部。藉此，可將從前述噴射噴嘴噴射至前述孔之前述第一壓縮流體的噴射流量，以及藉由因前述第二壓縮流體之放出而產生的真空吸引從前述吸嘴通過前述管嘴本體排出前述粉塵及前述第一壓縮流體所需之前述第二壓縮流體的吸引流量，調整到適切的流量。結果，可效率良好地去除附著在前述孔內之前述粉塵。
而且，因前述粉塵去除裝置具備前述噴射量調整部及吸引量調整部，所以可在先使第二壓縮流體放出而使真空吸引產生之狀態下，將前述噴射噴嘴插入前述孔，且使前述吸嘴抵接於前述對象物而閉塞前述孔之後，才從該噴射噴嘴噴射前述第一壓縮流體，而藉此防止在前 述粉塵的去除作業時前述粉塵飛散到外部之情形。
另一方面，在前述粉塵去除系統中，複數個前述粉塵去除裝置也都具備前述噴射量調整部及前述吸引量調整部。藉此，若依序將壓縮流體供給至各個前述粉塵去除裝置的各供給埠，且在先使前述第二壓縮流體放出而使真空吸引產生之狀態下，將前述噴射噴嘴插入前述孔，可在使前述吸嘴抵接於前述對象物而閉塞前述孔之後，從該噴射噴嘴噴射前述第一壓縮流體。在此情況，也可防止在前述粉塵的去除作業時前述粉塵飛散到外部之情形。
如上所述，本發明因前述粉塵去除裝置具備前述噴射量調整部及吸引量調整部，所以可先使真空吸引產生，然後將前述噴射噴嘴插入前述孔而噴射前述第一壓縮流體，即所謂的隔著時間差而供給前述第一壓縮流體及前述第二壓縮流體。
再者，因為前述粉塵去除裝置配備前述噴射量調整部及前述吸引量調整部，所以可在將前述噴射流量及前述吸引流量調整到適切的流量之狀態下，使前述吸嘴抵接於前述對象物而閉塞前述孔之後，使真空吸引之產生以及前述第一壓縮流體之噴射開始，而使希望的去除作業在短時間內完成。結果，也可抑制前述第一壓縮流體及前述第二壓縮流體的消耗量而謀求供給前述壓縮流體之外部的流體供給源的省能量化。
此處，前述噴射噴嘴的基端部係固定至前 述吸嘴。前述吸嘴係在前述管嘴本體的內周面裝設成可沿著該管嘴本體的軸向移動。在此情況，前述第二流體供給路係形成於前述吸嘴的基端部與前述管嘴本體的內周面之間之間隙。前述吸引量調整部可使前述吸嘴相對於前述管嘴本體的內周面沿前述軸向移動而調整前述間隙的開度，藉以調整前述第二壓縮流體的流量。
如上所述，因為使前述吸嘴相對於前述管嘴本體的內周面沿前述軸向移動來調整前述間隙的開度之簡單的調整機構，所以可容易地調整前述吸引流量。
在此情況，前述噴射量調整部係設於前述管嘴本體之使前述第一流體供給路窄之針形螺絲。前述吸引量調整部可為分別形成於前述吸嘴的外周面及前述管嘴本體的內周面且相螺合之調整螺牙。
藉此，可簡單且有效率地調整前述噴射流量及前述吸引流量。結果，可有效地去除附著在前述孔內之前述粉塵。
此處，可在前述噴射噴嘴的前端部的外周面及/或前端面，形成噴射前述第一壓縮流體之噴射孔，且前述噴射噴嘴的前端部係構成為可更換。
若在前述外周面形成前述噴射孔，可使前述第一壓縮流體朝向前述孔的內周面噴射，去除附著在該內周面之前述粉塵。另一方面，若在前述前端面形成前述噴射孔，可使前述第一壓縮流體朝向前述孔的底部噴射，去除附著在該底部之前述粉塵。而且，將形成有前述噴射 孔之前述前端部構成為可更換，不僅前述噴射噴嘴的維護會變容易，也可對應於前述粉塵的種類等而適當地更換前端部。
具體而言，前述噴射孔可沿著前述噴射噴嘴的軸向而形成；或是沿著前述噴射噴嘴的徑向而形成；及/或形成為相對於前述徑向傾斜預定角度之狀態。
在以相對於前述徑向傾斜預定角度之狀態形成前述噴射孔之情況，前述第一壓縮流體係以相對於前述徑向呈一角度之狀態從前述噴射孔噴射。藉此，在前述孔內形成前述第一壓縮流體迴旋之流動。藉由形成如此之迴旋流，可效率良好地去除附著於前述孔之前述粉塵。尤其，在前述孔形成有螺牙之情況，若產生沿著前述螺牙的形成方向之迴旋流，就可有效地去除前述粉塵。
又，前述噴射噴嘴的前端部可由：連結至該噴射噴嘴之內筒部；以及以能夠以前述噴射噴嘴的中心軸為中心旋轉之形態裝設於前述內筒部之外筒部所構成。在此情況，前述內筒部可在前述徑向形成內側噴射孔，前述外筒部能夠以相對於前述徑向傾斜預定角度之狀態形成外側噴射孔。
如此將前述前端部形成為前述內筒部及前述外筒部之雙層構造，且將內側的前述內筒部固定至前述噴射噴嘴，並且將外側的前述外筒部構成為能夠以前述內筒部為軸旋轉。藉此，前述第一壓縮流體在前述內側噴射孔與前述外側噴射孔的位置對合時朝向前述孔噴射。結 果，從前述噴射噴嘴朝向前述孔噴射之前述第一壓縮流體成為脈衝狀的噴流。
又，前述吸嘴可由：裝接於前述管嘴本體之筒狀的裝接部；以及可相對於該裝接部拆下且用來安裝前述噴射噴嘴的基端部之筒狀的安裝部所構成。在此情況，在前述安裝部的外周面係形成有突起，在前述裝接部係設有向該裝接部的內側突出而卡住前述突起之卡扣部。
如此，前述安裝部及前述噴射噴嘴兩者係單元化成為可拆下的單元。藉此，可對應於前述孔的大小(孔徑)及深度、前述粉塵的種類等而適當地更換單元化之後的前述安裝部及前述噴射噴嘴。結果，提高了前述粉塵去除裝置的適用性，也提高了前述噴射噴嘴的維護性。
又，前述粉塵去除裝置更具備有：在前述吸嘴的前端部安裝成可沿著該吸嘴的外周面移動之第一筒體；插設於前述管嘴本體與前述第一筒體之間之第一彈簧構件；以及設於前述管嘴本體且沿著該管嘴本體的軸向朝向前述第一筒體延伸之第一柱塞。
在此情況，前述管嘴本體更形成有將供給自外部的前述壓縮流體供給至前述第一流體供給路及前述第二流體供給路之入口流路。另外，在前述第一柱塞的基端部安裝有可開閉前述入口流路之第一密封體。
而且，在前述第一筒體接觸於前述對象物，且抵抗前述第一彈簧構件的彈力使前述管嘴本體向前述對象物側移動，從而使得前述第一柱塞抵接於前述第一 筒體之情況，伴隨著前述管嘴本體之向前述對象物側的移動，前述第一柱塞亦沿前述軸向移位，藉此，前述第一密封體開放前述入口流路。
另一方面，在前述第一筒體從前述對象物離開，因前述第一彈簧構件的彈力使得前述管嘴本體相對地從前述第一筒體離開之情況，前述第一柱塞沿前述軸向移位，藉此，前述第一密封體封閉前述入口流路。
如上所述，將前述噴射噴嘴插入前述孔，前述第一筒體接觸前述對象物而閉塞前述孔，且由於抵接於前述第一筒體之前述第一柱塞的移位所致之前述第一密封體的移動而使得前述入口流路開放，就可供給前述第一壓縮流體及前述第二壓縮流體。
另一方面，由於前述第一筒體從前述對象物離開，前述第一柱塞移位而使得前述第一密封體封閉前述入口流路，前述第一壓縮流體及前述第二壓縮流體之供給就停止。
藉由如此之起因於前述筒體抵接於前述對象物而發生的前述第一密封體對於前述入口流路的開閉，自動地進行前述第一壓縮流體及前述第二壓縮流體的供給開始或供給停止。因此，可阻止前述第一壓縮流體及前述第二壓縮流體之浪費的供給。藉此，可謀求供給前述壓縮流體之外部的流體供給源的省能量化。
以往，為了要達成不進行浪費的前述壓縮流體之供給，必須在該壓縮流體的供給埠(前述入口流路) 設置控制用電磁閥來進行前述壓縮流體的供給或停止，但藉由具備上述的前述第一密封體等之機構，就可省去控制用電磁閥。如此，因為省略了控制用電磁閥而可謀求流體回路及電氣回路雙方的節約。
另外，亦可在前述噴射噴嘴的前端設置可封閉前述噴射孔之閥體。在此情況，將前述噴射噴嘴插入前述孔，使前述閥體接觸前述孔的底部使該閥體沿前述噴射噴嘴的軸向移位，藉此使前述噴射孔開啟而從該噴射孔噴射前述第一壓縮流體。
藉此，在從前述噴射孔之前述第一壓縮流體的噴射開始之前，先開始藉由前述第二壓縮流體之放出而產生的真空吸引。結果，可防止附著在前述孔內之前述粉塵飛散到外部，可保持進行前述粉塵的去除作業之空間的清潔。
又，前述粉塵去除裝置可更具備有：在前述吸嘴的前端部安裝成可沿著該吸嘴的外周面移動之第二筒體；插設於前述管嘴本體與前述第二筒體之間之第二彈簧構件；以及設於前述管嘴本體且沿著該管嘴本體的軸向朝向前述第二筒體延伸之第二柱塞。
在此情況，在前述第二柱塞的基端部安裝有可開閉前述第一流體供給路之第二密封體。而且，在前述第二筒體接觸於前述對象物，且抵抗前述第二彈簧構件的彈力使前述管嘴本體向前述對象物側移動，從而使得前述第二柱塞抵接於前述第二筒體之情況，伴隨著前述管嘴 本體之向前述對象物側的移動，前述第二柱塞亦沿前述軸向移位，藉此，前述第二密封體開放前述第一流體供給路。另一方面，在前述第二筒體從前述對象物離開，因前，述第二彈簧構件的彈力使得前述管嘴本體相對地從前述第二筒體離開之情況，前述第二柱塞沿前述軸向移位，藉此，前述第一密封體封閉前述第一流體供給路。
此情況也一樣地，在起因於前述第二密封體致使之前述第一流體供給路的開放而開始從前述噴射孔向著前述孔噴射前述第一壓縮流體之前，先開始藉由前述第二壓縮流體之放出而產生的真空吸引。結果，可防止附著在前述孔內之前述粉塵飛散到外部，可保持進行前述粉塵的去除作業之空間的清潔。
又，前述粉塵去除裝置可更具備有：從前述管嘴本體及/或前述吸嘴朝向前述對象物突出，在前述噴射噴嘴插入前述孔之際，在前述噴射噴嘴接觸前述孔的底部之前先接觸前述對象物的表面之筒狀部。
藉此，可避免由於前述孔的深度而使得在前述吸嘴的前端接觸到前述對象物的表面之前，前述噴射噴嘴的前端先接觸到前述孔的底部而無法吸引前述粉塵之狀態發生。結果，即使前述孔的深度不同，也可透過前述筒狀部間接地使前述吸嘴的前端與前述對象物的表面抵接而閉塞前述孔。
在此情況，前述筒狀部可在從前述對象物離開之際，藉由回彈機能而回到與該對象物接觸前之位 置。藉此，不管前述孔的深度為何，都可透過前述筒狀部間接地使前述吸嘴的前端與前述對象物的表面接觸而閉塞前述孔。
再者，前述粉塵去除裝置可更具備有：檢測前述管嘴本體內之前述粉塵的通過之粉塵檢測手段。藉此，可容易地確認沒有前述粉塵通過，前述粉塵已從前述孔去除。
又，從前述粉塵檢測手段輸出有表示前述粉塵的去除作業已完成之通知訊號之情況，前述流體供給源可根據該通知訊號而立即停止對於前述粉塵去除裝置之前述壓縮流體的供給。如此，因前述粉塵檢測手段係定量地判斷前述粉塵的去除作業之結束，所以可利用該判斷結果來抑制前述壓縮流體之浪費的消耗。
又，前述粉塵去除裝置可更具備有：相對於前述吸嘴裝設成可更換，在前述噴射噴嘴插入前述孔之際閉塞前述對象物的表面之前述孔的周邊之遮罩構件。藉此，可在前述粉塵的去除作業時，不使前述粉塵及前述壓縮流體洩漏到外部而進行去除作業。
本發明之粉塵去除系統係具有：複數個上述的粉塵去除裝置；以及連結固定各個該粉塵去除裝置予以，而且將前述壓縮流體供給至各個前述粉塵去除裝置之壓縮流體供給組件(block)。藉此，可在前述對象物形成有複數個前述孔之情況，分別將前述噴射噴嘴插入各個前述孔，同時對各個前述孔進行利用前述粉塵去除裝置而進行 之前述粉塵的去除作業。因而，可謀求前述粉塵的去除作業的效率化。
在此情況，各個前述粉塵去除裝置可以沿著前述壓縮流體供給組件的長邊方向之預定間隔固定成前述噴射噴嘴的延伸方向互為相同的方向。如此，若複數個前述孔在前述對象物的表面形成朝同一方向，就可將各個前述粉塵去除裝置的噴射噴嘴分別插入各個前述孔，同時進行前述粉塵的去除作業，所以可更有效率地進行該去除作業。
再者，前述壓縮流體供給組件中，每個該粉塵去除裝置可分別設置用來調整各個前述粉塵去除裝置的安裝位置之安裝位置調整機構。藉此，在前述對象物形成有深度不同的複數個前述孔之情況，藉由每個前述粉塵去除裝置分別調整前述安裝位置，在前述噴射噴嘴插入前述孔之際，可將該噴射噴嘴的前端部插入至適切的深度而進行前述粉塵的去除作業。
經配合圖式的較佳實施形態例的說明之後，上述的目的、特徵、及優點將變得更加明瞭。
10、10A至10K‧‧‧粉塵去除裝置
12‧‧‧工件
14‧‧‧孔
16‧‧‧噴射噴嘴
18‧‧‧吸嘴
18a‧‧‧裝接部
18b‧‧‧安裝部
20‧‧‧管嘴本體
22、32、42‧‧‧前端部
24、34、40、42c‧‧‧基端部
26、74、92‧‧‧內周面
28‧‧‧管嘴本體側調整螺牙(吸引量調整部)
30‧‧‧中心軸
36、50‧‧‧外周面
38‧‧‧吸嘴側調整螺牙(吸引量調整部)
42a‧‧‧內筒部
42b‧‧‧外筒部
44‧‧‧凹部
46‧‧‧噴嘴本體部
48‧‧‧噴射孔
48a‧‧‧內側噴射孔
48b‧‧‧外側噴射孔
52‧‧‧中間部
54‧‧‧壓縮流體供給部
56‧‧‧入口流路
58、60‧‧‧連通孔
62、100‧‧‧流路
64‧‧‧螺絲孔
66‧‧‧針形螺絲(噴射量調整部)
68‧‧‧段差
70‧‧‧放出面
72、76‧‧‧排出流路
78‧‧‧噴射流路
80‧‧‧第一流體供給路
82、86‧‧‧間隙
84‧‧‧第二流體供給路
88‧‧‧表面
90‧‧‧底部
102‧‧‧螺牙
104‧‧‧噴嘴單元
106‧‧‧大徑部分
108‧‧‧小徑部分
110‧‧‧段差部分
112‧‧‧突起
114‧‧‧貫通孔
116‧‧‧鋼球
118‧‧‧鋼球按壓構件
120‧‧‧卡扣部
122、146‧‧‧筒體
124、136、144、148、160、164‧‧‧彈簧構件
126、150‧‧‧柱塞
128、130、152、154‧‧‧突出部
132、156‧‧‧密封體
134、158‧‧‧室
138‧‧‧閥體
140、186‧‧‧孔
142‧‧‧圓板構件
161‧‧‧筒狀部
162‧‧‧第一圓筒構件
166‧‧‧第二圓筒構件
167‧‧‧彈性體
168‧‧‧蛇腹管
170‧‧‧粉塵檢測手段
172‧‧‧光
174‧‧‧發光元件
176‧‧‧光電轉換元件
178‧‧‧訊號處理裝置
180‧‧‧壓縮流體供給組件
182‧‧‧共通供給埠
184H至184K‧‧‧粉塵去除系統
188‧‧‧球體
190‧‧‧粉塵去除組件
192‧‧‧遮罩構件
194‧‧‧安裝位置調整機構
196‧‧‧調整孔
198‧‧‧位置調整螺絲
A、A1、A2‧‧‧方向
第1圖係本實施形態之粉塵去除裝置的剖面圖。
第2圖係顯示第1圖之粉塵去除裝置在縮小了吸引流量的狀態之剖面圖。
第3A圖係第一變形例的噴射噴嘴的前端部的立體 圖，第3B圖係沿著第3A圖的IIIB-IIIB線之剖面圖。
第4A圖係第一變形例的另一構成的立體圖，第4B圖係沿著第4A圖的IVB-IVB線之剖面圖。
第5A圖係第一變形例的另一構成的立體圖，第5B圖係沿著第5A圖的VB-VB線之剖面圖。
第6A圖係第一變形例的另一構成的立體圖，第6B圖係第6A圖的前端部的側面圖，第6C圖係沿著第6B圖的VIC-VIC線之剖面圖。
第7A圖係第一變形例的另一構成的立體圖，第7B圖係第7A圖的前端部的側面圖。
第8A圖至第8C圖分別為沿著第7B圖的VIIIA-VIIIA線、VIIIB-VIIIB線及VIIIC-VIIIC線之剖面圖。
第9圖係第二變形例之粉塵去除裝置的前端部分的部分剖面圖。
第10圖係第三變形例之粉塵去除裝置的剖面圖。
第11圖係第四變形例之粉塵去除裝置的剖面圖。
第12A圖及第12B圖分別為放大顯示第11圖中的噴射噴嘴的前端部之部分剖面圖。
第13圖係第五變形例之粉塵去除裝置的剖面圖。
第14圖係第六變形例之粉塵去除裝置的前端部分的部分剖面圖。
第15圖係第六變形例的另一構成的部分剖面圖。
第16圖係第六變形例的另一構成的部分剖面圖。
第17圖係第七變形例之粉塵去除裝置的剖面圖。
第18圖係第八變形例之粉塵去除系統的立體圖。
第19圖係沿著第18圖的XIX-XIX線之剖面圖。
第20圖係第九變形例之粉塵去除系統的立體圖。
第21圖係顯示同時對工件的各孔進行粉塵的去除作業的情況之立體圖。
第22圖係顯示對於壓縮流體供給組件之粉塵去除裝置的固定之立體圖。
第23圖係第十變形例之粉塵去除系統的立體圖。
第24圖係以第十一變形例之粉塵去除系統進行去除作業的對象之工件的立體圖。
第25圖係沿著第24圖的XXV-XXV線之剖面圖。
第26圖係第十一變形例之粉塵去除系統的剖面圖。
以下，參照圖式詳細說明本發明之粉塵去除裝置及粉塵去除系統的較佳的實施形態。
[1.本實施形態的構成]
第1圖及第2圖係本實施形態之粉塵去除裝置10的剖面圖。
粉塵去除裝置10係將噴射噴嘴16插入對象物之工件12的孔14，在藉由圍繞該噴射噴嘴16之吸嘴18閉塞孔14的狀態下，從噴射噴嘴16噴射壓縮流體(例如正壓噴吹之加壓空氣)至孔14內，並且利用吸嘴18將附著在孔14之粉塵、及所噴射的壓縮流體吸除之管嘴裝置。工件 12係例如藉由機械加工形成盲孔、螺絲孔等的孔14之工件。粉塵去除裝置10係應用於對機械加工後殘留於孔14內的切削屑、異物等之粉塵的去除作業。
具體而言，粉塵去除裝置10係具備中空狀的管嘴本體20。管嘴本體20係A1方向的前端部22為大徑部分，A2方向(排出方向)的基端部24為小徑部分之具有段差之筒狀構件。在管嘴本體20的內周面26的前端部22側形成有管嘴本體側調整螺牙28(吸引量調整部)。
另一方面，吸嘴18係沿著管嘴本體20的中心軸30延伸，且A1方向的前端部32為大徑部分，A2方向的基端部34為小徑部分之具有段差之筒狀構件。吸嘴18的外周面36的前端部32側形成有吸嘴側調整螺牙38(吸引量調整部)。藉由管嘴本體側調整螺牙28與吸嘴側調整螺牙38互相螺合，可將吸嘴18螺接於管嘴本體20的內側。而且，吸嘴18係與中心軸30大致同軸而裝接於管嘴本體20的內周面26。
噴射噴嘴16係基端部40固定至吸嘴18的基端部34側，且前端部42側從吸嘴18的前端部32往A1方向突出之筒狀構件。在此情況，噴射噴嘴16的基端部40係以與形成於吸嘴18的前端部32與基端部34之間之凹部44連通之形態，固定至該吸嘴18。另外，噴射噴嘴16係具有從基端部40朝向中心軸30，以沿徑向內側延伸之狀態，向A1方向彎曲，而沿著中心軸30於A1方向延伸之大致為J字形的剖面形狀。因此，噴射噴嘴16係由固 定至吸嘴18之剖面呈J字形的噴嘴本體部46、以及固定至噴嘴本體部46的前端之前端部42所構成。在前端部42，朝向沿著中心軸30的方向(軸向之A方向)以及與中心軸30正交之徑向，分別形成有噴射孔48。
管嘴本體20中，在外周面50之位於前端部22與基端部24之間的中間部52之處，具備有壓縮流體供給部54。壓縮流體供給部54係設於管嘴本體20的外周面50之環狀或矩形的構件，並形成有入口流路56，以供來自未圖示的外部的流體供給源之壓縮流體流入。在管嘴本體20的中間部52，形成有使入口流路56與管嘴本體20連通之環狀的連通孔58。另外，在中間部52之比連通孔58要偏向A1方向側之處，形成有與凹部44連通之連通孔60。
壓縮流體供給部54中，在與入口流路56不同之處形成有使連通孔58與連通孔60連通之剖面大致為U字形之流路62。流路62的A2方向側之處形成有與外部連通之螺絲孔64。此螺絲孔64中螺合有針形螺絲66(噴射量調整部)。
管嘴本體20的內周面26，從前端部22朝向基端部24，以管嘴本體側調整螺牙28之處的內徑最大，中間部52之處的內徑居次，基端部24之處的內徑最小。在此情況，內周面26的基端部24側的部分之中，在連通孔58附近形成有段差68。內周面26的基端部24側的部分，從段差68起朝向A2方向，依序形成縮徑部分、沿著中心軸30而直線延伸之部分、及擴開部分。縮徑部分及直 線延伸之部分形成為壓縮流體(第二壓縮流體)的放出面70。另外，管嘴本體20內之比吸嘴18要偏向A2方向側的部分，係構成為將附著於孔14之粉塵及從噴射孔48噴射到孔14內之壓縮流體排出到外部之排出流路72。
吸嘴18的外周面36係形成為與管嘴本體20的內周面26對應之形狀。亦即，在前端部32側係形成有吸嘴側調整螺牙38。另外，在外周面36之位於吸嘴側調整螺牙38與基端部34之間的部分，係形成為能夠與管嘴本體20的內周面26的中間部52部分滑動接觸之直線狀。凹部44即形成於此直線狀的部分。基端部34係與放出面70的縮徑部分大致平行而傾斜。
另一方面，吸嘴18的內周面74，係前端部32側的內徑最大，吸嘴側調整螺牙38的部分向著A2方向縮徑，凹部44及基端部34部分的內徑最小。在此情況，直線狀延伸之凹部44及基端部34部分，係形成為與管嘴本體20的內周面26之基端部24側的直線部分大致相同之內徑。另外，藉由吸嘴18的內周面74，構成將附著於孔14之粉塵及從噴射孔48噴射到孔14內之壓縮流體排出到排出流路72之排出流路76。
並且，藉由與入口流路56連通之連通孔58、流路62、連通孔60及凹部44，構成將外部的流體供給源供給至入口流路56之壓縮流體的一部分作為第一壓縮流體而供給至噴射噴嘴16內的噴射流路78之第一流體供給路80。另一方面，藉由與入口流路56連通之連通孔 58、吸嘴18的基端部34與管嘴本體20的內周面26之間的空間、及基端部34與段差68之間隙82，構成將外部的流體供給源供給至入口流路56之壓縮流體的另一部分作為第二壓縮流體而放出到排出流路72之第二流體供給路84。
[2.本實施形態的動作]
接著，說明如以上構成的本實施形態之粉塵去除裝置10的動作。
此處，就一例而言，說明利用機械加工形成於工件12之孔14內殘留有切削屑、異物等之粉塵時，利用此粉塵去除裝置10將此粉塵去除掉之情況。而且，此說明中，說明流體供給源為空氣供給源，且壓縮流體、第一壓縮流體及第二壓縮流體分別為加壓空氣、第一加壓空氣及第二加壓空氣之情況。
在進行粉塵的去除作業之前，先依據孔14的大小(孔徑)及深度、粉塵的種類等，將針形螺絲66旋轉預定量，以調整針形螺絲66的前端與第一流體供給路80的流路62之間隙86的開度。藉此，可調整經由第一流體供給路80供給至噴射噴嘴16的噴射流路78之第一壓縮空氣的流量(噴射流量)。
此外，依據孔14的大小(孔徑)及深度、粉塵的種類等，而將管嘴本體側調整螺牙28與吸嘴側調整螺牙38相對地旋轉預定量，使噴射噴嘴16及吸嘴18相對於 管嘴本體20在A方向進退，以調整段差68與基端部34之間隙82的開度。藉此，可調整經由第二流體供給路84而放出到排出流路72之第二壓縮空氣的流量(吸引流量)。
如上所述，在預先調整噴射流量及吸引流量之狀態下，將噴射噴嘴16的前端部42插入孔14，且使工件12的表面88之孔14的周邊的部分與吸嘴18的前端部32接觸。藉此，噴射噴嘴16的前端部42朝向孔14的底部90及內周面92，並且藉由吸嘴18閉塞孔14。
接著，從外部的氣體供給源供給加壓氣體至入口流路56。藉此，將供給至入口流路56之加壓空氣的一部分作為第一加壓空氣而分配至第一流體供給路80，將另一部分作為第二加壓空氣而分配至第二流體供給路84。
第一加壓空氣係從第一流體供給路80供給至噴射噴嘴16的噴射流路78，並從前端部42的複數個噴射孔48以正壓噴吹噴射到孔14內。在此情況，與中心軸30大致同軸地形成之噴射孔48係朝向孔14的底部90噴射第一加壓空氣，使附著於底部90之粉塵漂浮。另外，相對於中心軸30而朝徑向形成之噴射孔48則是朝向孔14的內周面92噴射第一加壓空氣，使附著於內周面92之粉塵漂浮。
另一方面，第二加壓空氣係從第二流體供給路84經由間隙82而放出到排出流路72。在此情況，第二加壓空氣係沿著放出面70朝向A2方向放出。藉此，由 於噴射第二加壓空氣的噴流，使得放出面70的周邊的空間減壓而成為真空狀態。藉由該真空狀態而產生的負壓，將周圍的空氣(噴流之第二加壓空氣等)向放出面70側吸引。結果，第二加壓空氣的噴流就成為沿著放出面70朝向A2方向(排出方向)之氣流。
藉由如此的第二加壓空氣的氣流產生會產生真空吸引，而將因第一加壓空氣而漂浮之粉塵、及該第一加壓空氣從孔14經由吸嘴18的排出流路76而被管嘴本體20真空吸引，從管嘴本體20的排出流路72排出到外部。排出的粉塵係經由連接到管嘴本體20的排出流路72之集塵用管等之供粉塵通過之中空狀的構件，而由未圖示的集塵箱等回收。
然後，當孔14內的粉塵全被吸引而回收到集塵箱，就停止從空氣供給源到入口流路56之加壓空氣的供給。藉此，停止從噴射孔48之第一加壓空氣之噴射、以及往排出流路72之第二加壓空氣之放出。然後，使粉塵去除裝置10往A2方向後退，使吸嘴18離開工件12並且從孔14抽出噴射噴嘴16，即結束對於孔14之粉塵的去除作業。
另外，第1圖係顯示間隙82的開度大，從該間隙82放出之第二加壓空氣的流量(吸引流量)大之情況，第一加壓空氣及粉塵的吸引量相對較大。另一方面，第2圖係顯示間隙82的開度小，從該間隙82放出之第二加壓空氣的流量小之情況，第一加壓空氣及粉塵的吸引量 相對較小。
又，上述說明中，在噴射噴嘴16插入孔14之前，先藉由針形螺絲66調整間隙86的開度，並且藉由管嘴本體側調整螺牙28與吸嘴側調整螺牙38調整間隙82的開度。惟，本實施形態中，亦可在噴射噴嘴16插入孔14之後，而在從空氣供給源供給加壓空氣到入口流路56之前，調整各間隙82、86的開度。
[3.本實施形態的效果]
如以上說明，根據本實施形態之粉塵去除裝置10，具備噴射噴嘴16及吸嘴18之粉塵去除裝置10本身係具備有：調整第一壓縮流體的流量(噴射流量)之針形螺絲66、以及調整第二壓縮流體的流量(吸引流量)之管嘴本體側調整螺牙28與吸嘴側調整螺牙38。藉此，可將從噴射噴嘴16噴射至孔14之第一壓縮流體的噴射流量、及藉由第二壓縮流體之放出產生的真空吸引而使粉塵及第一壓縮流體從吸嘴18經由管嘴本體20而排出所需之第二壓縮流體的吸引流量，調整到適切的流量。結果，可效率良好地去除附著在孔14之粉塵。
而且，因為粉塵去除裝置10具備有管嘴本體側調整螺牙28及吸嘴側調整螺牙38以及針形螺絲66，藉此，在先使第二壓縮流體放出而產生真空吸引之狀態下，將噴射噴嘴16的前端部42插入孔14，使吸嘴18的前端部32抵接於工件12的表面88而閉塞孔14之後，才 將前述第一壓縮流體從噴射孔48噴射，在粉塵的去除作業時，可防止粉塵飛散到外部之情形。
如上所述，由於粉塵去除裝置10具備有管嘴本體側調整螺牙28、吸嘴側調整螺牙38及針形螺絲66，故可先產生真空吸引，然後才將噴射噴嘴16的前端部42插入孔14而噴射第一壓縮流體，即所謂的隔著時間差而供給第一壓縮流體及第二壓縮流體。
再者，由於粉塵去除裝置10配備管嘴本體側調整螺牙28及吸嘴側調整螺牙38以及針形螺絲66，可在將噴射流量及吸引流量調整到適切的流量之狀態下，吸嘴18的前端部32抵接於工件12的表面88而閉塞孔14之後，才開始真空吸引之產生及第一壓縮流體之噴射，而在短時間內完成希望的去除作業。結果，可抑制第一壓縮流體及第二壓縮流體的消耗量，謀求供給壓縮流體之外部的流體供給源的省能量化。
又，因為是使吸嘴18的基端部34相對於管嘴本體20的內周面26的段差68沿A方向移動來調整間隙82的開度之簡單的調整機構，所以可容易地調整第二壓縮流體的吸引流量。
又，針形螺絲66係可使第一流體供給路80的流路面積窄縮者。另外，管嘴本體側調整螺牙28及吸嘴側調整螺牙38係分別形成於管嘴本體20的內周面26及吸嘴18的外周面36，相互螺合之調整螺牙。因此，可簡單且效率良好地將噴射流量及吸引流量調整到適切的流量。 結果，可有效率地去除附著於孔14之粉塵。
[4.變形例]
接著，參照第3A至26圖來說明本實施形態之粉塵去除裝置10的變形例(第一至第十一變形例)。在第一至第十一變形例的說明中，對於與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10相同之構成元件係標以相同的元件符號並省略說明。
[4.1第一變形例]
參照第3A至8C圖來說明第一變形例之粉塵去除裝置10A。粉塵去除裝置10A與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10不同之點係在於噴射噴嘴16的前端部42構成為可更換。
第3A圖及第3B圖係顯示在前端部42形成與中心軸30大致同軸的流路100，並且形成為與中心軸30大致同軸之噴射孔48與流路100連通之情況。在此情況，噴射孔48的形成部位之前端部42的A1方向的部分(前端面側)，係形成為朝向A1方向變細之形狀。另外，在前端部42的A2方向側形成有螺牙102。藉此，使前端部42的螺牙102與形成於噴射噴嘴16的噴嘴本體部46的前端側之未圖示的螺牙相螺合，將前端部42螺接至噴嘴本體部46，流路100便與噴射流路78相連通。因而，第一變形例可容易地進行對於噴射噴嘴16之前端部42的更換。第3A圖及第3B圖所示之從噴射孔48朝向A1方向之箭號，係 表示第一壓縮流體的噴射方向。
第4A圖及第4B圖與第3A圖及第3B圖之例不同之點在於除了前端部42的A1方向的部分的噴射孔48之外，還在外周面形成有徑向的複數個噴射孔48。在此情況，形成於徑向之複數個噴射孔48係沿著前端部42的圓周方向以預定角度間隔形成，而且沿著前端部42的長度方向(A方向)以預定間隔形成，且與流路100連通。
第5A圖及第5B圖與第4A圖及第4B圖之例不同之點在於未在前端部42的A1方向的部分設置噴射孔48，而將A1方向的部分形成平坦面。
如第3A圖至第5B圖所示，在噴射噴嘴16的前端部42的外周面及/或前端面形成噴射孔48，且將前端部42構成為可更換，藉此，噴射噴嘴16的維護就會變容易，而且也可對應於粉塵的種類等而適當地更換前端部42。而且，若在前端部42的外周面形成噴射孔48，就可朝向孔14的內周面92使第一壓縮流體朝箭號所示的方向噴射，將附著在該內周面92之粉塵去除掉。另一方面，若在前端部42的前端面形成噴射孔48，就可朝向孔14的底部90使第一壓縮流體朝箭號所示的方向噴射，將附著在該底部90之粉塵去除掉。
第6A圖至第6C圖與第5A圖及第5B圖之例不同之點在於在前端部42的外周面以相對於徑向傾斜預定角度之狀態形成噴射孔48。在此情況，第一壓縮流體係以相對於徑向呈一角度之狀態從噴射孔48以第6C圖的 箭號所示的方向噴射。因此，在孔14內形成第一壓縮流體在前端部42的周圍迴旋之形態的氣流。形成如此的迴旋氣體，可效率良好地去除附著在孔14的內周面92之粉塵。尤其，孔14內形成螺牙之情況，若沿著螺牙的形成方向之迴旋氣體產生，就可有效地去除附著在螺牙的凹谷部分之粉塵。
第7A圖至第8C圖與第6A至6C圖之例不同之點在於具有：前端部42連結至噴嘴本體部46之內筒部42a、及以能夠以中心軸30為中心旋轉之形態裝接於內筒部42之外筒部42b。內筒部42a係連結至形成有螺牙之基端部42c。外筒部42b係例如透過未圖示的軸承而可轉動地裝接至內筒部42。
內筒部42a係朝徑向形成有複數個內側噴射孔48a，外筒部42b係形成有相對於徑向傾斜預定角度之狀態之複數個外側噴射孔48b。在此情況，朝徑向形成之複數個內側噴射孔48a係沿著內筒部42a的圓周方向以預定角度間隔形成，而且沿著A方向以預定間隔形成，且與流路100連通。另外，如第8A圖至第8C圖所示，從沿著A方向之不同的位置觀看時，內側噴射孔48a係在位置上互相偏移而形成。另一方面，複數個外側噴射孔48b係沿著外筒部42b的圓周方向以預定角度間隔形成，而且沿著A方向以預定間隔形成。而且，內側噴射孔48a及外側噴射孔48b係以相互的位置相偏移之狀態，分別設於內筒部42a及外筒部42b。
如上所述，第7C圖至第8C圖之例係將前端部42形成為內筒部42a及外筒部42b之雙層構造。在此情況，係將內側的內筒部42a透過基端部42c而固定至噴嘴本體部46，且將外側的外筒部42b構成為能夠以內筒部42a為軸而旋轉。藉此，在內側噴射孔48a與外側噴射孔48b的位置(方向)對合時才會向孔14的內周面92噴射第一壓縮流體。結果，從噴射噴嘴16向孔14的內周面92噴射之第一壓縮流體會成為脈衝狀的噴流。
又，如第8A圖所示，第一壓縮流體從外側噴射孔48b朝向箭號所示的方向噴射之情況，藉由第一壓縮流體之噴流，會使得外筒部42b以中心軸30為中心而朝向圓弧狀的箭號所示之方向旋轉。因此，可容易地使第一壓縮流體之迴旋流在孔14內產生，而可效率良好地將附著在孔14之粉塵去除掉。
又，如第8A圖至第8C圖所示，各內側噴射孔48a並不沿著A方向形成一列，而是沿著圓周方向形成於不同的角度。藉此，例如可從靠近孔14的底部90之最底側的外側噴射孔48b開始往A2方向依序使脈衝狀的第一壓縮流體的噴流噴射，使迴旋流產生。
[4.2第二變形例]
參照第9圖來說明第二變形例之粉塵去除裝置10B。粉塵去除裝置10B與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10不同之點在於將噴射噴嘴16及吸嘴18的一部分單元化成 為可從粉塵去除裝置10B拆下的噴嘴單元104。
吸嘴18係由筒狀的裝接部18a及筒狀的安裝部18b所構成。裝接部18a係外周面形成有吸嘴側調整螺牙38，藉由該吸嘴側調整螺牙38與管嘴本體20的管嘴本體側調整螺牙28螺合，而螺接至管嘴本體20。安裝部18b係可相對於裝接部18a的內周面拆下，且安裝有噴射噴嘴16的基端部40。因此，藉由安裝部18b及噴射噴嘴16構成噴嘴單元104。
裝接部18a的A1方向側係形成有吸嘴側調整螺牙38及凹部44之大徑部分106。裝接部18a的A2方向側係連接至大徑部分106，且為具有基端部34之小徑部分108。藉由大徑部分106及小徑部分108而構成段差部分110。因此，裝接部18a係具有段差部分110之筒狀部。安裝部18b係以A2方向的端部抵接於段差部分110之形態嵌接於大徑部分106的內側。
亦即，在安裝部18b的外周面，形成有環狀的突起112。另一方面，在裝接部18a的前端部，在徑向形成有貫通孔114，且在此貫通孔114內配置鋼球116。另外，在裝接部18a的前端部的外周面，嵌裝用來將鋼球116保持在貫通孔114內之由環狀的彈簧材所構成之鋼球按壓構件118。貫通孔114、鋼球116及鋼球按壓構件118係構成將安裝部18b安裝在大徑部分106的內側時用來卡住突起112之卡扣部120。詳言之，鋼球按壓構件118係將環狀的一部分切斷而成為C字形之彈簧鋼，在突起112於A 方向移位而越過鋼球116之際，對於鋼球116之徑向的移動，發揮保持住鋼球116使鋼球116不會掉到外側之機能。
又，安裝部18b的內周面(內周面74)與第1圖及第2圖之吸嘴18一樣，前端部32側的內徑最大，與吸嘴側調整螺牙38相對向的部分朝向A2方向略為縮徑，與凹部44相對向的部分的內徑最小。在此情況，與直線狀延伸之凹部44相對向的部分係成為與裝接部18a的內周面(內周面74)的基端部34側的直線狀部分大致相同之內徑。
並且，在將噴嘴單元104裝接至粉塵去除裝置10B時，係以將噴射噴嘴16的基端部40側朝向A2方向之狀態，將噴嘴單元104插入大徑部分106的內側。在此情況，將噴嘴單元104往A2方向按壓到鋼球116牴觸到突起112，並進一步使力使得組裝於大徑部分106之鋼球116抵抗彈簧材之鋼球按壓構件118的彈力朝徑向移動，將大徑部分106擴開，就可使突起112越過鋼球116的位置往A2方向側移位，而將噴嘴單元104更壓入。然後，鋼球116不再受到來自突起112之頂推力而回到第9圖所示之位置，噴嘴單元104抵接到段差部分110時，卡扣部120係卡住突起112，將噴嘴單元104嵌合固定於粉塵去除裝置10B。
另一方面，要從粉塵去除裝置10B拆下噴嘴單元104時，將噴嘴單元104往A1方向拔。在此情況，突起112先牴觸到鋼球116，當將噴嘴單元104再往A1方向拔時，鋼球116係抵抗鋼球按壓構件118的彈力朝徑向 移動，大徑部分106因而擴開。結果，可使突起112越過鋼球116的位置往A1方向側移位，而將噴嘴單元104拔出。然後，鋼球116不再受到來自突起112之頂推力，卡扣部120就回到第9圖所示之位置。
如上所述，第二變形例係將安裝部18b及噴射噴嘴16單元化為可從粉塵去除裝置10B拆下之噴嘴單元104。藉此，可對應於孔14的大小(孔徑)及深度、前述粉塵的種類等而適當地更換噴嘴單元104。結果，提高了粉塵去除裝置10B的適用性，也提高了噴射噴嘴16的維護性。
[4.3第三變形例]
參照第10圖來說明第三變形例之粉塵去除裝置10C。粉塵去除裝置10C與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10不同之點在於更具備有：在吸嘴18的前端部32安裝成可沿著該吸嘴18的外周面36移動之筒體122(第一筒體)；裝於管嘴本體20與筒體122之間之彈簧構件124(第一彈簧構件)；以及設於管嘴本體20的壓縮流體供給部54且沿著中心軸30(A方向)朝向筒體122延伸之柱塞126(第一柱塞)。
在此情況，噴射噴嘴16的前端部42係從筒體122朝A1方向突出。而且，筒體122能夠圍繞孔14的周圍而接觸於工件12的表面88。另外，在筒體122的A2方向側，形成有朝向中心軸30而往徑向內側延伸，且與吸嘴18的外周面36的前端部32側接觸之環狀的突出部 128。彈簧構件124係裝入在突出部128與管嘴本體20的前端部22之間。另一方面，在吸嘴18的前端部32，形成有往徑向外側延伸，且與筒體122的內周面接觸之環狀的突出部130。因此，突出部128可在突出部130與吸嘴側調整螺牙38之範圍內沿著A方向滑動。
另外，柱塞126係面向壓縮流體供給部54的入口流路56，其基端部安裝有可開閉入口流路56之密封體132(第一密封體)。密封體132係配置於設在入口流路56的途中之室134內，在室134內的A2方向側的部位與密封體132之間裝有彈簧構件136。因此，密封體132在室134內，會由於彈簧構件136的彈力或因壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力，而被按壓向A1方向側的位置(抵座位置)。第10圖顯示由於密封體132被推壓向室134內的抵座位置，故從外部的流體供給源來觀察時，成為入口流路56由密封體132封閉之關閉狀態。
此處，即使從流體供給源開始對於入口流路56之壓縮流體的供給，也會因為入口流路56由密封體132封閉而無法從入口流路56往下游側供給壓縮流體。以此狀態將噴射噴嘴16的前端部42插入孔14，且使筒體122與工件12的表面88接觸而閉塞孔14時，將管嘴本體20往A1方向推壓，噴射噴嘴16、吸嘴18及管嘴本體20全體就會抵抗彈簧構件124的彈力(彈簧構件124收縮)，往A1方向移位。然後，進一步使噴射噴嘴16、吸嘴18及管 嘴本體20在A1方向移位，柱塞126的前端就會抵接於筒體122。
接著，更使管嘴本體20往A1方向移位，柱塞126就會受到來自筒體122之A2方向的力，抵抗彈簧構件136的彈力或因壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力，而往A2方向移位。結果，密封體132會在室134內朝向A2方向而離開抵座位置，使入口流路56從關閉狀態變為開啟狀態。
藉此，開始從變為開啟狀態之入口流路56往第一流體供給路80之第一壓縮流體的供給，並且開始往第二流體供給路84之第二壓縮流體的供給。結果，就可使第一壓縮流體從噴射孔48噴射，使附著於孔14之粉塵漂浮，並且藉由從第二流體供給路84放出到排出流路72之第二壓縮流體，經由吸嘴18吸引第一壓縮流體及粉塵，並從排出流路72排出到外部。
另一方面，附著於孔14的粉塵已去除時，使筒體122離開工件12的表面88。藉此，管嘴本體20在彈簧構件124的彈力的作用下，相對於筒體122而離開。結果，柱塞126會脫離受到筒體122頂推之狀態而朝A1方向移位。藉此，密封體132會由於彈簧構件136的彈力或因壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力而回到抵座位置，將入口流路56封閉。結果，停止從入口流路56往下游側之壓縮流體的供給。
如上所述，第三變形例中，藉由將噴射噴 嘴16插入孔14，且使筒體122接觸工件12的表面88而閉塞孔14，並且利用受到筒體122頂推之柱塞126的移位造成之密封體132的移動，使入口流路56開通，而可進行第一壓縮流體及第二壓縮流體之供給。
另一方面，當筒體122從工件12的表面88離開，使得柱塞126移位因而密封體132將入口流路56封閉時，停止第一壓縮流體及第二壓縮流體之供給。
藉由如此之因筒體122與工件12的抵接而發生的密封體132對於入口流路56的開閉，而自動進行第一壓縮流體及第二壓縮流體的供給開始或供給停止。因此，可阻止第一壓縮流體及第二壓縮流體之浪費的供給。結果，可達成供給壓縮流體之外部的流體供給源的省能量化。
以往，為了要達成不進行浪費的壓縮流體之供給，必須在該壓縮流體的供給埠(入口流路56)設置控制用電磁閥來進行壓縮流體的供給或停止。相對於此，第三變形例之粉塵去除裝置10C藉由具備上述的密封體132等之機構，就可省去控制用電磁閥。如此，因為省略了控制用電磁閥而可謀求流體回路及電氣回路雙方的節約。
[4.4第四變形例]
參照第11至12B圖來說明第四變形例之粉塵去除裝置10D。粉塵去除裝置10D與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10不同之點在於：在噴射噴嘴16的前端部42設有可 開閉噴射第一壓縮流體的噴射孔48之閥體138。
在噴射噴嘴16的噴射流路78中，將形成有複數個A方向的孔140之圓板構件142裝接於噴射噴嘴16的內周面。在圓板構件142與閥體138的基端部之間，裝有彈簧構件144。在第12A圖所示之通常時，在彈簧構件144的彈力或因第一壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力之作用下，閥體138係在封閉噴射孔148之封閉狀態。因此，即使在第一壓縮流體供給至噴射噴嘴16的噴射流路78之狀態下，也無法使第一壓縮流體從噴射孔48噴射。
在此情況，如第11圖所示，可通過第二流體供給路84將第二壓縮流體放出到排出流路72。因此，在粉塵去除裝置10D中，即使在不能從噴射孔48噴射第一壓縮流體的狀態，也可進行利用第二壓縮流體之放出而造成之真空吸引。
此處，將噴射噴嘴16插入孔14，且閥體138的前端接觸到孔14的底部90時(參照第11圖)，閥體138會抵抗彈簧構件144的彈力或因第一壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力而往A2方向移動。藉此，如第12B圖所示，噴射孔48開啟而可從噴射孔48噴射第一壓縮流體。
另一方面，當閥體138的前端離開孔14的底部90時，閥體138就會在彈簧構件144的彈力或因第一壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩 者的力的作用下往A1方向移動。藉此，從第12B圖的狀態變為第12A圖的狀態，將噴射孔48封閉。結果，停止從噴射孔48往外之第一壓縮流體之噴射。
如此，粉塵去除裝置10D可在開始從噴射孔48往外之第一壓縮流體的噴射之前，使利用第二壓縮流體之放出而造成之真空吸引開始。藉此，可防止在真空吸引之前，附著於孔14之粉塵飛散到外部之情形，可保持進行粉塵的去除作業之空間的清潔。
[4.5第五變形例]
參照第13圖來說明第五變形例之粉塵去除裝置10E。粉塵去除裝置10E與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10不同之點在於更具備有：在吸嘴18的前端部32安裝成可沿著該吸嘴18的外周面36移動之筒體146(第二筒體)；裝於管嘴本體20與筒體146之間之彈簧構件148(第二彈簧構件)；以及設於管嘴本體20的壓縮流體供給部54且沿著中心軸30(A方向)朝向筒體146延伸之柱塞150(第二柱塞)。
在此情況，筒體146及彈簧構件148周邊的配置構成係與第三變形例之粉塵去除裝置10C的筒體122及彈簧構件124(參照第10圖)一樣。亦即，噴射噴嘴16的前端部42係從筒體146朝A1方向突出，筒體146能夠圍繞孔14的周圍而接觸於工件12的表面88。另外，在筒體146的A2方向側形成有環狀的突出部152，在突出部152與管嘴本體20的前端部22之間裝入有彈簧構件148。並 且，在吸嘴18的前端部32形成有環狀的突出部154，突出部152可在突出部154與吸嘴側調整螺牙38之範圍內沿著A方向滑動。
另外，在第五變形例中，柱塞150係面向壓縮流體供給部54的流路62中的針形螺絲66的下游側，其基端部安裝有可開閉流路62之密封體156(第二密封體)。在此情況，密封體156係配置於設在流路62的途中之室158內，在室158內的A2方向側的部位與密封體156之間裝有彈簧構件160。因此，密封體156在室158內，會由於彈簧構件160的彈力或因壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力，而被按壓向A1方向側的位置(抵座位置)。第13圖顯示密封體156被按壓向室158內的抵座位置，成為流路62由密封體156封閉之關閉狀態。
此處，即使開始對於流路62之第一壓縮流體的供給，因為流路62由密封體156加以封閉，所以也無法從流路62供給第一壓縮流體至噴射噴嘴16。另一方面，第二壓縮流體卻可通過第二流體供給路84而放出到排出流路72。因此，在粉塵去除裝置10E中，即使在並未供給第一壓縮流體至噴射噴嘴16之狀態，也可進行利用第二壓縮流體之放出而造成之真空吸引。
在此狀態下，將噴射噴嘴16的前端部42插入孔14，且使筒體146與工件12的表面88接觸而閉塞孔14時，將管嘴本體20往A1方向推壓，噴射噴嘴16、 吸嘴18及管嘴本體20全體係抵抗彈簧構件148的彈力(彈簧構件148收縮)往A1方向移位。然後，使噴射噴嘴16、吸嘴18及管嘴本體20更往A1方向移位時，柱塞150的前端就會抵接於筒體146。
接著，使管嘴本體20更往A1方向移位時，柱塞150係受到來自筒體146之A2方向的力，抵抗彈簧構件160的彈力或因壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力，而往A2方向移位。結果，密封體156會在室158內朝向A2方向而離開抵座位置，使流路62從關閉狀態變為開啟狀態。
因此，從變為開啟狀態之流路62開始往噴射噴嘴16之第一壓縮流體的供給。結果，可使第一壓縮流體從噴射孔48噴射，使附著於孔14之粉塵漂浮，並且利用從第二流體供給路84放出到排出流路72之第二壓縮流體吸引第一壓縮流體及粉塵吸，並將之從排出流路72排出到外部。
另一方面，附著於孔14的粉塵已去除時，使筒體146離開工件12的表面88。藉此，管嘴本體20在彈簧構件148的彈力的作用下，相對於筒體146而離開。結果，柱塞150會脫離受到筒體146頂推之狀態，而朝A1方向移位。藉此，密封體156會由於彈簧構件160的彈力或因壓縮流體的壓力而作用的推壓力，或者是彈力及推壓力兩者的力而回到抵座位置，將流路62封閉。結果，停止從流路62往噴射噴嘴16之第一壓縮流體的供給。
如上所述，第五變形例也是在藉由密封體156使第一流體供給路80的流路62開啟而開始從噴射孔48往孔14之第一壓縮流體的噴射之前，開始因第二壓縮流體之放出而造成之真空吸引。因而，可防止在真空吸引開始之前，附著在前述孔內之前述粉塵飛散到外部之情形，可保持進行粉塵的去除作業之空間的清潔。
[4.6第六變形例]
參照第14至16圖來說明第六變形例之粉塵去除裝置10F。粉塵去除裝置10F與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10不同之點在於更具備有：從管嘴本體20及/或吸嘴18起，朝向工件12突出，在噴射噴嘴16插入孔14之際，會在噴射噴嘴16接觸孔14的底部90之前先接觸工件12的表面88之筒狀部161。
在第14圖之例中，筒狀部161係由安裝至管嘴本體20的前端部22之第一圓筒構件162、以及在第一圓筒構件162的內側，隔著彈簧構件164而裝接於吸嘴18的前端部32之第二圓筒構件166所構成。第一圓筒構件162的A1方向的前端部係朝向中心軸30而往徑向內側延伸，且與第二圓筒構件166的A1方向的段差部分抵接。在此情況，第二圓筒構件166係藉由彈簧構件164的彈力朝向第一圓筒構件162的前端部推彈。而且，第二圓筒構件166的前端係比第一圓筒構件162的前端還要往A1方向突出。
此處，在噴射噴嘴16的前端部42插入孔14之狀態下，使粉塵去除裝置10F往A1方向移動時，第二圓筒構件166的前端會在噴射噴嘴16的前端部42接觸到孔14的底部90之前先抵接於工件12的表面88之在孔14周圍的部分。使粉塵去除裝置10F更往A1方向移動時，第二圓筒構件166係受到來自工件12之往A2方向的力而抵抗彈簧構件164的彈力朝A2方向移位。結果，在使前端部42未接觸孔14的底部90且第一圓筒構件162及第二圓筒構件166的前端大致在同一平面之狀態下，使筒狀部161與工件12的表面88抵接。
另一方面，粉塵去除裝置10F從工件12的表面88往A2方向後退時，第二圓筒構件166係因彈簧構件164的彈力(回彈機能)而回到與工件12接觸前的位置(第14圖所示之位置)。
如上所述，第六變形例可防止起因於孔14的深度，使得噴射噴嘴16的前端部42在吸嘴18的前端部32接觸到工件12的表面88之前就先接觸孔14的底部90所導致之無法吸引粉塵之情形。結果，即使孔14的深度不同，也可透過筒狀部161間接地使吸嘴18的前端部32與工件12的表面88抵接而閉塞孔14。
第15圖之例係顯示設於管嘴本體20的前端部22及吸嘴18的前端部32之彈性體167為筒狀部161之情況。在此情況，與第14圖之例一樣，可防止起因於孔14的深度，使得噴射噴嘴16的前端部42在吸嘴18的前 端部32接觸到工件12的表面88之前就先接觸孔14的底部90所導致之無法吸引粉塵之情形。另外，即使孔14的深度不同，也可透過彈性體167間接地使吸嘴18的前端部32與工件12的表面88抵接而閉塞孔14。又，就彈性體167而言，例如以海綿橡膠為佳。尤其，在採用獨立氣泡的海綿橡膠來作為彈性體167之情況，可確保相對於工件12的表面88之密封性及緩衝性，而且可良好地使回彈機能發揮。
第16圖之例係顯示設於管嘴本體20的前端部22且採用橡膠等之彈性體成形的蛇腹管168為筒狀部161之情況。在此情況，與第14及15圖之例一樣，可防止起因於孔14的深度，使得噴射噴嘴16的前端部42在吸嘴18的前端部32接觸到工件12的表面88之前就先接觸孔14的底部90所導致之無法吸引粉塵之情形。另外，即使孔14的深度不同，也可透過蛇腹管168間接地使吸嘴18的前端部32與工件12的表面88抵接而閉塞孔14。再者，第16圖之例也一樣地，因為採用橡膠等之彈性體來形成蛇腹管168，所以可確保相對於工件12的表面88之密封性及緩衝性，而且可良好地使回彈機能發揮。
[4.7第七變形例]
參照第17圖來說明第七變形例之粉塵去除裝置10G。粉塵去除裝置10G與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10不同之點在於在管嘴本體20的排出流路72側設有檢測粉 塵的通過之粉塵檢測手段170。
粉塵檢測手段170係例如由：發出沿著徑向的光172之發光二極體等的發光元件174；接收發光元件174所發出的光172，且將接收到的光172轉換為電氣訊號之光電轉換元件176；以及藉由處理光電轉換元件176所輸出的電氣訊號，來判定有無粉塵的通過之訊號處理裝置178所構成。在此情況，只要在訊號處理裝置178可以判定沒有粉塵之通過，就可容易地確認粉塵已從孔14去除。
另外，從訊號處理裝置178輸出有表示粉塵的去除作業已完成之通知訊號之情況，流體供給源可根據該通知訊號而立即停止對於粉塵去除裝置10G之壓縮流體的供給。如此，因粉塵檢測手段170定量地判斷粉塵的去除作業之完成，所以可利用其判斷結果來抑制壓縮流體之浪費的消耗。
又，上述的說明係針對粉塵檢測手段170為光學性的檢測機構之情況進行說明。但第七變形例並不限定於上述的說明，只要是可檢測粉塵的通過，毋庸說，亦可採用以任何檢測方式進行檢測之檢測手段。
[4.8第八變形例]
參照第18圖及第19圖來說明第八變形例之粉塵去除裝置10H。第八變形例係藉由連設與第1圖及第2圖之粉塵去除裝置10大致相同構成的複數個粉塵去除裝置10H，來進行歧管(manifold)化者。亦即，如第18圖及第19圖所 示，將複數個粉塵去除裝置10H連結至將各個壓縮流體供給部54共通化而成的壓縮流體供給組件180，且在壓縮流體供給組件180的側面，設置用來自外部的流體供給源供給壓縮流體(加壓空氣)之共通供給埠182。另外，各粉塵去除裝置10H的針形螺絲66係沿著粉塵去除裝置10H的徑向而形成。藉此，構成具有複數個粉塵去除裝置10H之粉塵去除系統184H。如第19圖所示，壓縮流體供給組件180中，流路62係透過形成於A2方向之孔186而與外部連通，此孔186係被球體188封塞。
如上所述，第八變形例係藉由將複數個粉塵去除裝置10H歧管化，使壓縮流體共用化，而可實現具備粉塵去除裝置10H之粉塵去除系統184H的小型化。結果，如第18圖所示，對於形成在工件12之較小節距(pitch)的複數個孔14，可分別插入各噴射噴嘴16，一起進行附著於各孔14之粉塵的去除作業。因此，第八變形例可效率良好地進行對於形成有複數個孔14之工件12的粉塵的去除作業。
又，粉塵去除系統184H中，複數個粉塵去除裝置10H也都具備有管嘴本體側調整螺牙28、吸嘴側調整螺牙38及針形螺絲66。藉此，依序將壓縮流體供給至各個該粉塵去除裝置10H的供給埠(入口流路56)，就可在將第二壓縮流放出而先使真空吸引產生之狀態下，將噴射噴嘴16插入孔14，在吸嘴18抵接於工件12的表面88而閉塞孔14之後，才使第一壓縮流體從該噴射噴嘴16的噴 射孔48噴射。此情況也可防止在粉塵的去除作業時粉塵飛散到外部之情形。
如上所述，第八變形例也因各粉塵去除裝置10H都具備有管嘴本體側調整螺牙28、吸嘴側調整螺牙38及針形螺絲66，所以可先使真空吸引產生，然後將噴射噴嘴16的前端部42插入孔14而噴射第一壓縮流體，即所謂的隔著時間差而供給第一壓縮流體及第二壓縮流體。
[4.9第九變形例]
參照第20至22圖來說明第九變形例之粉塵去除裝置10I及粉塵去除系統184I。第九變形例係顯示在複雜形狀的工件12中，在各種位置形成有孔14時，同時對該等孔14內的粉塵進行去除作業之情況。
如第20及21圖所示，第九變形例中，在工件12形成有複數個位置及方向不同的盲孔形態的孔14。亦即，在工件12的表面88之中，例如上表面及與該上表面相連的斜面，形成有以等節距形成之複數個同一孔徑及深度之孔14。
對應於此等孔14，粉塵去除系統184I與第八變形例之粉塵去除系統184H(參照第18及19圖)不同之點在於配備有複數個粉塵去除組件190，沿壓縮流體供給組件180的長度方向，將複數個粉塵去除裝置10I等間隔連結而歧管化。在此情況，與粉塵去除系統184H的情況一樣，各粉塵去除組件190係以使噴射噴嘴16朝向與壓縮 流體供給組件180的長度方向正交的方向之狀態，將複數個粉塵去除裝置10I安裝固定至該壓縮流體供給組件180。
另外，各粉塵去除裝置10I中，在吸嘴18的前端部32安裝固定有筒狀的遮罩構件192。各粉塵去除裝置10I的遮罩構件192係設定為相同長度且噴射噴嘴16係設定為具有相同突出量。而且，粉塵去除系統184I中，對應於複數個孔14，將進行粉塵的去除作業之粉塵去除組件190(的粉塵去除裝置10I)預先分配於該複數個孔14。
藉此，在對工件12的複數個孔14進行粉塵的去除作業之際，各粉塵去除組件190可利用未圖示的機械手臂等之移動手段，不互相干涉地移動到所分配的複數個孔14的附近，然後將本身的噴射噴嘴16的前端部42插入孔14，利用遮罩構件192閉塞表面88的孔14周邊部位。結果，可在噴射噴嘴16都完成插入要進行去除作業的對象之所有的孔14之時點，從各壓縮流體供給組件180將壓縮流體供給至各粉塵去除裝置10I，同時進行對於所有的孔14之粉塵的去除作業。
如上所述，第九變形例中，粉塵去除系統184I具有複數個利用壓縮流體供給組件180將複數個粉塵去除裝置10I連結而成的粉塵去除組件190。藉此，在工件12形成有複數個孔14之情況，可將噴射噴嘴16的前端部42分別插入各孔14，同時對各孔14進行利用粉塵去除裝置10I進行之粉塵的去除作業。藉此，可謀求粉塵的去除作業之效率化。
此情況，在粉塵去除組件190中，各粉塵去除裝置10I係以噴射噴嘴16的延伸方向都在相同方向之形態，以沿著壓縮流體供給組件180的長邊方向之預定間隔固定。藉此，若複數個孔14在工件12的表面88係形成於相同方向(例如等節距)，就可將各粉塵去除裝置10I的噴射噴嘴16分別插入各孔14，同時進行粉塵之去除作業，所以可效率更良好地進行該去除作業。
而且，各粉塵去除作業10I的吸嘴18還設有遮罩構件192，在噴射噴嘴16的前端部42插入孔14之際，閉塞孔14的周邊之工件12的表面88。藉此，可在粉塵的去除作業時，不使粉塵及第一壓縮流體洩漏到外部而進行粉塵之去除作業。
[4.10第十變形例]
參照第23圖來說明第十變形例之粉塵去除裝置10J及粉塵去除系統184J。第十變形例係設定對於在工件12形成有深度不同的複數個孔14之情況時，可同時對該等孔14內的粉塵進行去除作業之構成。因此，與第九變形例相比較，粉塵去除裝置10J及粉塵去除系統184J之不同點如下。
首先，如第23圖所示，設有可調整粉塵去除裝置10J相對於壓縮流體供給組件180的安裝高度(安裝位置)之安裝位置調整機構194。安裝位置調整機構194係在壓縮流體供給組件180針對每個粉塵去除裝置10J而設 置。安裝位置調整機構194係由：與粉塵去除裝置10J相對向而沿著A方向形成之兩個長圓形的調整孔196；以及插穿過各調整孔196而螺合至粉塵去除裝置10J，藉此將粉塵去除裝置10J固定至壓縮流體供給組件180之位置調整螺絲198所構成。
如上述，調整孔196係沿著A方向而形成，所以使位置調整螺絲198在調整孔196的任意高度的位置插穿過而螺合至粉塵去除裝置10J，就可在調整孔196之沿著A方向的長度的範圍內，將粉塵去除裝置10J調整至任意高度的位置然後固定至壓縮流體供給組件180。如上所述，安裝位置調整機構194係在壓縮流體供給組件180設成與粉塵去除裝置10J相對向，所以針形螺絲66係設於壓縮流體供給組件180的上表面。
如上所述之第十變形例係與第九變形例一樣地，可藉由將噴射噴嘴16的前端部42分別插入各孔14，同時對各孔14進行粉塵的去除作業，而謀求去除作業的效率化。此外，第十變形例中，在工件12形成有深度不同的複數個孔14之情況，利用安裝位置調整機構194來調整各個粉塵去除裝置10J在壓縮流體供給組件180的安裝位置，而可在噴射噴嘴16的前端部42插入孔14之際，將該前端部42插入到適切的深度而進行粉塵的去除作業。
[4.11第十一變形例]
參照第24至26圖來說明第十一變形例之粉塵去除裝 置10K及粉塵去除系統184K。第十一變形例係設定在工件12的各種高度位置(形成位置)形成有孔徑及深度不同的孔14之情況時，同時對該等孔14的粉塵進行去除作業之情況。
第24及25圖分別顯示工件12的一例之立體圖及剖面圖。此工件12係沒有上蓋之箱形的框體，在上端部不同的位置形成有孔徑及深度不同之複數個孔14。第十一變形例與第八至十變形例(參照第18至23圖)相比較，粉塵去除裝置10K及粉塵去除系統184K之不同點如下。
首先，如同第一變形例(參照第3A至8C圖)，噴射噴嘴16的前端部42係構成為可相對於噴嘴本體部46更換。亦即，第十一變形例可對應於不同的孔徑及深度之孔14、粉塵的種類等，更換為適當的前端部42。
如第26圖所示，各粉塵去除裝置10K係前端部42以外的構成都相同。在此情況，各前端部42係設定為：該前端部42的直徑係依據孔徑而不同；該前端部42的長度係依據孔14的深度而不同；且噴射孔48的大小係依據孔14內的體積、粉塵的種類等而不同。
另外，如同第六變形例(參照第14至16圖)，管嘴本體20及吸嘴18都裝接有筒狀部161。此情況，將噴射噴嘴16插入孔14時，筒狀部161會在噴射噴嘴16的前端部42接觸到孔14的底部90之前先與工件12的表面88抵接。又，第26圖顯示將第14圖之筒狀部161裝接到粉塵去除裝置10K之情況。
第十一變形例係如第26圖所示，構成為在複數個孔14的大小及深度、粉塵的種類等不同之情況，與第一變形例(參照第3A至8C圖)一樣可更換噴射噴嘴16的前端部42，將適當的前端部42裝接至噴射噴嘴16，在噴射噴嘴16的前端部42插入孔14之際，可將該前端部42插入到適當的深度而進行粉塵的去除作業。
又，第十一變形例係如第26圖所示，即使在複數個孔14的大小、深度及形成位置不同之情況，也可藉由使用筒狀部161，在噴射噴嘴16的前端部42到達孔14的底部90之前，適當地閉塞工件12的表面88中之孔14周邊的部位。
藉由如此的構成，第十一變形例可將噴射噴嘴16的前端部42分別插入各孔14，同時對各孔14進行粉塵的去除作業，因而可謀求去除作業的效率化。另外，在工件12形成有孔徑、深度及形成位置不同之複數個孔14之情況，可將噴射噴嘴16的前端部42插入到適當的深度，並且利用筒狀部161閉塞孔14的周邊，藉此，可在不使粉塵及第一壓縮流體洩漏到外部的情況下效率良好地進行粉塵的去除作業。
此外，第十一變形例中，也因為前端部42可更換，所以對應於孔14的大小、深度及形成位置、粉塵的種類等而將適當的前端部42裝接至噴射噴嘴16，提高了適用性，也提高了噴射噴嘴16的維護性。
又，本發明不限於上述的實施形態，當然 可在未脫離本發明的主旨之範圍內採用各種構成。
10、10A‧‧‧粉塵去除裝置
12‧‧‧工件
14‧‧‧孔
16‧‧‧噴射噴嘴
18‧‧‧吸嘴
20‧‧‧管嘴本體
22、32、42‧‧‧前端部
24、34、40‧‧‧基端部
26、74、92‧‧‧內周面
28‧‧‧管嘴本體側調整螺牙(吸引量調整部)
30‧‧‧中心軸
36、50‧‧‧外周面
38‧‧‧吸嘴側調整螺牙(吸引量調整部)
44‧‧‧凹部
46‧‧‧噴嘴本體部
48‧‧‧噴射孔
52‧‧‧中間部
54‧‧‧壓縮流體供給部
56‧‧‧入口流路
58、60‧‧‧連通孔
62‧‧‧流路
64‧‧‧螺絲孔
66‧‧‧針形螺絲(噴射量調整部)
68‧‧‧段差
70‧‧‧放出面
72、76‧‧‧排出流路
78‧‧‧噴射流路
80‧‧‧第一流體供給路
82、86‧‧‧間隙
84‧‧‧第二流體供給路
88‧‧‧表面
90‧‧‧底部

Claims (17)

  1. 一種粉塵去除裝置(10、10A至10K)，係將噴射噴嘴(16)插入對象物(12)的孔(14)，且在藉由圍繞該噴射噴嘴(16)之吸嘴(18)閉塞前述孔(14)之狀態下，從前述噴射噴嘴(16)向前述孔(14)噴射壓縮流體，並且利用前述吸嘴(18)吸引附著在前述孔(14)的粉塵及前述壓縮流體，該粉塵去除裝置(10、10A至10K)係具備有：連結前述噴射噴嘴(16)及前述吸嘴(18)且將該吸嘴(18)吸引的前述粉塵及前述壓縮流體排出到外部之中空狀的管嘴本體(20)；調整從前述噴射噴嘴(16)噴射的前述壓縮流體的流量之噴射量調整部(66)；以及調整由前述吸嘴(18)吸引的前述粉塵及前述壓縮流體的量之吸引量調整部(28、38)，其中，前述管嘴本體(20)形成有：將供給自外部的壓縮流體的一部分作為第一壓縮流體而供給至前述噴射噴嘴(16)並使其噴射之第一流體供給路(80)；以及將供給自外部的壓縮流體的另一部分作為第二壓縮流體而放出到前述管嘴本體(20)中之前述粉塵及前述第一壓縮流體的排出方向的下游側之第二流體供給路(84)，藉由前述第二壓縮流體之往前述排出方向的下游側之放出，使得前述粉塵及前述第一壓縮流體經由前述吸嘴(18)及前述管嘴本體(20)而排出到外部，前述噴射量調整部(66)係調整前述第一流體供給路(80)的流路面積，藉以調整從前述噴射噴嘴(16)噴射 的前述第一壓縮流體的流量，前述吸引量調整部(28、38)係調整前述第二流體供給路(84)的流路面積而調整放出到前述排出方向的下游側之前述第二壓縮流體的流量，藉以調整由前述吸嘴(18)吸引的前述粉塵及前述壓縮流體的量。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10、10A至10K)，其中，前述噴射噴嘴(16)的基端部(40)係固定至前述吸嘴(18)，前述吸嘴(18)係在前述管嘴本體(20)的內周面(26)裝設成可沿著該管嘴本體(20)的軸向移動，前述第二流體供給路(84)係形成於前述吸嘴(18)的基端部(34)與前述管嘴本體(20)的內周面(26)之間之間隙(82)，前述吸引量調整部(28、38)係使前述吸嘴(18)相對於前述管嘴本體(20)的內周面(26)沿前述軸向移動而調整前述間隙(82)的開度，藉以調整前述第二壓縮流體的流量。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之粉塵去除裝置(10、10A至10K)，其中，前述噴射量調整部(66)係設於前述管嘴本體(20)之使前述第一流體供給路(80)窄縮之針形螺絲，前述吸引量調整部(28、38)係分別形成於前述吸嘴(18)的外周面(36)及前述管嘴本體(20)的內周面(26)且 相螺合之調整螺牙。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10A、10K)，其中，在前述噴射噴嘴(16)的前端部(42)的外周面及/或前端面，形成有噴射前述第一壓縮流體之噴射孔(48)，前述噴射噴嘴(16)的前端部(42)係構成為可更換。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之粉塵去除裝置(10A、10K)，其中，前述噴射孔(48)係沿著前述噴射噴嘴(16)的軸向而形成；或是沿著前述噴射噴嘴(16)的徑向而形成；及/或形成為相對於前述徑向傾斜預定角度之狀態。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之粉塵去除裝置(10A)，其中，前述噴射噴嘴(16)的前端部(42)係由下列者構成：連結至該噴射噴嘴(16)之內筒部(42a)；以及以能夠以前述噴射噴嘴(16)的中心軸(30)為中心旋轉之形態裝設於前述內筒部(42a)之外筒部(42b)，前述內筒部(42a)係在前述徑向形成有內側噴射孔(48a)，前述外筒部(42b)係以相對於前述徑向傾斜預定角度之狀態形成有外側噴射孔(48b)。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10B)，其中，前述吸嘴(18)係由下列者構成：裝接於前述管嘴本 體(20)之筒狀的裝接部(18a)；以及可相對於該裝接部(18a)拆下且用來安裝前述噴射噴嘴(16)的基端部(40)之筒狀的安裝部(18b)，在前述安裝部(18b)的外周面係形成有突起(112)，在前述裝接部(18a)係設有向該裝接部(18a)的內側突出而卡住前述突起(112)之卡扣部(120)。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10C)，更具備有：在前述吸嘴(18)的前端部(32)安裝成可沿著該吸嘴(18)的外周面(36)移動之第一筒體(122)；插設於前述管嘴本體(20)與前述第一筒體(122)之間之第一彈簧構件(124)；以及設於前述管嘴本體(20)且沿著該管嘴本體(20)的軸向朝向前述第一筒體(122)延伸之第一柱塞(126)，在前述管嘴本體(20)更形成有將供給自外部的前述壓縮流體供給至前述第一流體供給路(80)及前述第二流體供給路(84)之入口流路(56)，在前述第一柱塞(126)的基端部安裝有可開閉前述入口流路(56)之第一密封體(132)，在前述第一筒體(122)接觸於前述對象物(12)，且抵抗前述第一彈簧構件(124)的彈力使前述管嘴本體(20)向前述對象物(12)側移動，從而使得前述第一柱塞(126)抵接於前述第一筒體(122)之情況，伴隨著前述管嘴本體(20)之向前述對象物(12)側的移動，前述第一柱塞 (126)亦沿前述軸向移位，藉此，前述第一密封體(132)開放前述入口流路(56)，另一方面，在前述第一筒體(122)從前述對象物(12)離開，因前述第一彈簧構件(124)的彈力使得前述管嘴本體(20)相對地從前述第一筒體(122)離開之情況，前述第一柱塞(126)沿前述軸向移位，藉此，前述第一密封體(132)封閉前述入口流路(56)。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10D)，其中，在前述噴射噴嘴(16)的前端設有可封閉噴射孔(48)之閥體(138)，將前述噴射噴嘴(16)插入前述孔(14)，使前述閥體(138)接觸前述孔(14)的底部(90)而使該閥體(138)沿前述噴射噴嘴(16)的軸向移位，藉此使前述噴射孔(48)開啟而從該噴射孔(48)噴射前述第一壓縮流體。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10E)，更具備有：在前述吸嘴(18)的前端部(32)安裝成可沿著該吸嘴(18)的外周面(36)移動之第二筒體(146)；插設於前述管嘴本體(20)與前述第二筒體(146)之間之第二彈簧構件(148)；以及設於前述管嘴本體(20)且沿著該管嘴本體(20)的軸向朝向前述第二筒體(146)延伸之第二柱塞(150)，在前述第二柱塞(150)的基端部安裝有可開閉前述 第一流體供給路(80)之第二密封體(156)，在前述第二筒體(146)接觸於前述對象物(12)，且抵抗前述第二彈簧構件(148)的彈力使前述管嘴本體(20)向前述對象物(12)側移動，從而使得前述第二柱塞(150)抵接於前述第二筒體(146)之情況，伴隨著前述管嘴本體(20)之向前述對象物(12)側的移動，前述第二柱塞(150)亦沿前述軸向移位，藉此，前述第二密封體(156)開放前述第一流體供給路(80)，另一方面，在前述第二筒體(146)從前述對象物(12)離開，因前述第二彈簧構件(148)的彈力使得前述管嘴本體(20)相對地從前述第二筒體(146)離開之情況，前述第二柱塞(150)沿前述軸向移位，藉此，前述第二密封體(156)封閉前述第一流體供給路(80)。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10F、10K)，更具備有：從前述管嘴本體(20)及/或前述吸嘴(18)朝向前述對象物(12)突出，在前述噴射噴嘴(16)插入前述孔(14)之際，在前述噴射噴嘴(16)接觸前述孔(14)的底部(90)之前先接觸前述對象物(12)的表面(88)之筒狀部(161)。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之粉塵去除裝置(10F、10K)，其中，前述筒狀部(161)係在從前述對象物(12)離開之際，藉由回彈機能而回到與該對象物(12)接觸前之位置。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10G)，更 具備有：檢測前述管嘴本體(20)內之前述粉塵的通過之粉塵檢測手段(170)。
  14. 如申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10I)，更具備有：相對於前述吸嘴(18)裝設成可更換，在前述噴射噴嘴(16)插入前述孔(14)之際閉塞前述對象物(12)的表面(88)之前述孔(14)的周邊之遮罩構件(192)。
  15. 一種粉塵去除系統(184H至184K)，具有：複數個申請專利範圍第1項所述之粉塵去除裝置(10H至10K)；以及連結固定各個前述粉塵去除裝置(10H至10K)，而且將前述壓縮流體供給至各個前述粉塵去除裝置(10H至10K)之壓縮流體供給組件(180)。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之粉塵去除系統(184H至184K)，其中，各個前述粉塵去除裝置(10H至10K)係以沿著前述壓縮流體供給組件(180)的長邊方向之預定間隔固定成前述噴射噴嘴(16)的延伸方向互為相同的方向。
  17. 如申請專利範圍第15項所述之粉塵去除系統(184J)，其中，前述壓縮流體供給組件(180)中，每個前述粉塵去除裝置(10J)分別設置有用來調整各個前述粉塵去除裝置(10J)的安裝位置之安裝位置調整機構(194)。
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