JP6830170B1 - 洗浄機及び洗浄方法 - Google Patents
洗浄機及び洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6830170B1 JP6830170B1 JP2020029622A JP2020029622A JP6830170B1 JP 6830170 B1 JP6830170 B1 JP 6830170B1 JP 2020029622 A JP2020029622 A JP 2020029622A JP 2020029622 A JP2020029622 A JP 2020029622A JP 6830170 B1 JP6830170 B1 JP 6830170B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- cleaning fluid
- cleaning
- clamp
- seating pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 125
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 45
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 20
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 20
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 16
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/022—Cleaning travelling work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
- B05B1/14—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means with multiple outlet openings; with strainers in or outside the outlet opening
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
- B05B13/0278—Arrangement or mounting of spray heads
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
- B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/024—Cleaning by means of spray elements moving over the surface to be cleaned
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/0042—Devices for removing chips
- B23Q11/0075—Devices for removing chips for removing chips or coolant from the workpiece after machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B5/00—Clamps
- B25B5/16—Details, e.g. jaws, jaw attachments
Abstract
Description
テーブル板と、
前記テーブル板に配置され、前記設置部において前記対象物を載置可能な着座パッドと、
前記テーブル板に配置され、前記設置部へ向けて、洗浄流体を噴射する第1ノズルと、
前記テーブル板に配置され、前記基準穴に挿入されるピンと、
前記テーブル板に設置され、前記基準穴の内部に前記洗浄流体を噴射する第2ノズルと、
を有する。
テーブル板と、
前記テーブル板に配置され、前記設置部において前記対象物を載置可能な着座パッドと、
前記テーブル板に設置され、前記対象物のクランプ部と接触するクランプアームを有し、前記対象物を固定するクランプと、
前記テーブル板に設置され、前記設置部へ向けて洗浄流体を噴射する第1ノズルと、
前記クランプ部へ向けて前記洗浄流体を噴射する第3ノズルと、
を有する。
対象物の基準穴がピンの延長上に位置し、かつ、着座パッドから待機距離だけ離間した待機位置まで、前記対象物を移動し、
前記着座パッドが接触する前記対象物の設置部へ向けて、第1ノズルが洗浄流体を噴射し、
前記ピンが挿入される前記基準穴へ向けて、第2のノズルが前記洗浄流体を噴射し、
前記対象物を前記着座パッドに載置し、
前記第1ノズル及び前記第2ノズルは、前記洗浄流体の噴射を停止し、
クランプが、前記対象物をテーブルに固定する、
洗浄方法である。
洗浄流体は、例えば、洗浄液、ミストエア、圧縮空気である。好ましくは、洗浄流体は、洗浄液である。洗浄液は、例えば、水系洗浄液である。ミストエアは、例えば、洗浄液を含む圧縮空気である。
テーブルは、回転台に回転可能又は揺動可能に設置されて良い。回転台は、例えば、数値制御される。テーブルは、回転台と支持台に両端を支持されても良い。好ましくは、回転台は、洗浄流体や圧縮空気を流通させて、テーブルに洗浄流体や圧縮空気を供給する。洗浄流体や圧縮空気は、支持台を介してテーブルに供給されても良い。洗浄流体と圧縮空気のいずれか一方を回転台からテーブルに供給し、他方を支持台からテーブルに供給しても良い。このとき、好ましくは、回転台や支持台は、スイベルジョイントを有する。洗浄流体や圧縮空気は、スイベルジョイントを通してテーブルに供給されて良い。
ガイド部は、テーパ面を有して良い。ガイド部の先端部は、平面又は球面で構成されて良い。噴口は、先端部の平面又は球面に配置されて良い。
第3噴口は、クランプ部を洗浄する。好ましくは、第3噴口は、クランプが対象物をクランプするときに、噴口が生成した噴流が、クランプアームのうちクランプ部と接触する部分(例えばクランプパッド)に衝突するように設置される。
好ましくは、洗浄機は、(1)第1ノズル、第2ノズル及び第4ノズルの組合せ、(2)第1ノズル、第2ノズル及び第5ノズルの組合せ、(3)第1ノズル、第3ノズル及び第4ノズルの組合せ、(4)第1ノズル、第3ノズル及び第5ノズルの組合せ、(5)第1ノズル、第2ノズル、第3ノズル、第4ノズル及び第5ノズルの組合せ、(6)第1ノズル、第2ノズル、第6ノズルの組み合わせ、(7)第1ノズル、第2ノズル、第4ノズル、第5ノズル及び第6ノズルの組み合わせ、(8)第1ノズル、第2ノズル、第3ノズル、第4ノズル、第5ノズル及び第6ノズルの組み合わせ、のいずれかを有する。
洗浄配管を3系統とする場合、洗浄機は、更に、第3洗浄弁と第3洗浄配管を有する。第1洗浄弁は、第1ノズル及び第2ノズルに接続する。第2洗浄弁は、第3ノズル及び第6ノズルに接続する。第3洗浄弁は、第4ノズル及び第5ノズルに接続する。
着座パッド47、第1ノズル48、ピン45、第2ノズル46、クランプ51、第3ノズル53、着座ノズル49、第4ノズル54、第5ノズル66及び第6ノズル88は、テーブル板38に設置される。第1ノズル48は、着座パッド47に配置されてもよい。第2ノズル46は、ピン45に配置されてもよい。
減速機42は、歯車421、歯車422及び出力軸423を有する。歯車421は、モータ43の出力軸に固定される。歯車422は、出力軸423に固定され、歯車421と噛み合う。出力軸423は、中空軸であり、ブラケット37に固定される。出力軸423の中心は、回転軸21となる。
クランプ51は、対象物3をアンクランプする(S12)。最後にロボット又は作業者は、対象物3をカバー11の外へ搬出する(S13)。
5 洗浄流体
3b 設置部
3c 基準穴
10 洗浄機
38 テーブル板
45 ピン
46 第2ノズル
47 着座パッド
48 第1ノズル
54 第4ノズル
51 クランプ
53 第3ノズル
Claims (15)
- 設置部と基準穴を有する対象物を洗浄する洗浄機であって、
テーブル板と、
前記テーブル板に配置され、前記設置部において前記対象物を載置可能な着座パッドであって、前記設置部へ向けて、洗浄流体を噴射する第1ノズルを先端部に有する着座パッドと、
前記テーブル板に配置され、前記基準穴に挿入されるピンであって、前記基準穴の内部に前記洗浄流体を噴射する第2ノズルを有するピンと、
を有する洗浄機。 - 前記着座パッドは、座面を有し、
前記第1ノズルは、前記座面に配置された第1噴口を有する、
請求項1に記載の洗浄機。 - 前記ピンは、
円筒部と、
先細りのガイド部と、を有し、
前記第2ノズルは、前記円筒部に配置された第2噴口を有する、
請求項1又は2に記載の洗浄機。 - 前記ピンは、
円筒部と、
頂部を有する先細りのガイド部と、を有し、
前記第2ノズルは、前記頂部に配置された第2噴口を有する、
請求項1又は2に記載の洗浄機。 - 前記テーブル板に設置され、前記対象物のクランプ部と接触するクランプアームを有し、前記対象物を固定するクランプと、
前記クランプ部へ向けて前記洗浄流体を噴射する第3ノズルと、
を更に有する、請求項1〜4のいずれかに記載の洗浄機。 - 前記第3ノズルは、
前記テーブル板から延びる支柱と、
前記支柱の先端部に配置された第3噴口と、を有する、
請求項1〜5のいずれかに記載の洗浄機。 - 前記第3噴口は、前記テーブル板に向かって斜めに配置される、
請求項6に記載の洗浄機。 - 設置部を有する対象物を洗浄する洗浄機であって、
テーブル板と、
前記テーブル板に配置され、前記設置部において前記対象物を載置可能な着座パッドであって、前記設置部へ向けて洗浄流体を噴射する第1ノズルを先端部に有する着座パッドと、
前記テーブル板に設置され、前記対象物のクランプ部と接触するクランプアームを有し、前記対象物を固定するクランプと、
前記クランプ部へ向けて前記洗浄流体を噴射する第3ノズルと、
を有する洗浄機。 - 対象物の基準穴がピンの延長上に位置し、かつ、着座パッドから待機距離だけ離間した待機位置まで、前記対象物を移動し、
前記着座パッドが接触する前記対象物の設置部へ向けて、テーブル板に配置される前記着座パッドが先端部に有する第1ノズルが洗浄流体を噴射し、
前記ピンが挿入される前記基準穴へ向けて、前記テーブル板に配置される前記ピンが有する第2のノズルが前記洗浄流体を噴射し、
前記対象物を前記着座パッドに載置し、
前記第1ノズル及び前記第2ノズルは、前記洗浄流体の噴射を停止し、
クランプが、前記対象物を前記着座パッドに固定する、
洗浄方法。 - 更に、
クランプアームが接触する前記対象物のクランプ部および前記クランプアームへ向けて、前記第3のノズルが前記洗浄流体を噴射する、
請求項9に記載の洗浄方法。 - 更に、
前記第1ノズル及び前記第2ノズルは、前記待機位置にある前記対象物に対して、前記洗浄流体を噴射する、
請求項9又は10に記載の洗浄方法。 - 更に、
前記第1ノズル及び前記第2のノズルは、前記対象物が前記着座パッドに載置された後に、前記洗浄流体の噴射を停止する、
請求項9〜11のいずれかに記載の洗浄方法。 - 更に、
前記第3ノズルは、前記対象物が前記着座パッドに載置された後に、前記洗浄流体の噴射を開始し、
前記第3ノズルは、前記クランプが前記対象物を前記テーブルに固定した後に、前記洗浄流体の噴射を停止する、
請求項9〜12のいずれかに記載の洗浄方法。 - 更に、
前記対象物が前記着座パッドに載置される前に、第4ノズルが前記洗浄流体の噴射を開始し、前記着座パッドの座面を洗浄する、
請求項9〜13のいずれかに記載の洗浄方法。 - 更に、
前記対象物が前記着座パッドに載置される前に、第5ノズルが前記洗浄流体の噴射を開始し、前記ピンの挿入部を洗浄する、
請求項9〜14のいずれかに記載の洗浄方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020029622A JP6830170B1 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 洗浄機及び洗浄方法 |
EP21150199.4A EP3871797B1 (en) | 2020-02-25 | 2021-01-05 | Cleaning apparatus and cleaning method |
US17/153,430 US11465183B2 (en) | 2020-02-25 | 2021-01-20 | Cleaning apparatus and cleaning method |
CN202110103385.4A CN113369213B (zh) | 2020-02-25 | 2021-01-26 | 清洗机以及清洗方法 |
KR1020210017448A KR102326310B1 (ko) | 2020-02-25 | 2021-02-08 | 세정기 및 세정 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020029622A JP6830170B1 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 洗浄機及び洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6830170B1 true JP6830170B1 (ja) | 2021-02-17 |
JP2021133282A JP2021133282A (ja) | 2021-09-13 |
Family
ID=74184402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020029622A Active JP6830170B1 (ja) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 洗浄機及び洗浄方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11465183B2 (ja) |
EP (1) | EP3871797B1 (ja) |
JP (1) | JP6830170B1 (ja) |
KR (1) | KR102326310B1 (ja) |
CN (1) | CN113369213B (ja) |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0278242U (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-15 | ||
JPH07130688A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Fujitsu Ltd | ウェハ研磨装置及びウェハ研磨方法 |
JPH08322528A (ja) * | 1995-06-02 | 1996-12-10 | Miyake Seisakusho:Kk | 食品容器処理装置 |
JP2002148818A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 薬液処理装置及び方法 |
JP2003197718A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2005051094A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009136756A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、塗布装置及び塗布方法 |
JP2013122995A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2016022462A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 株式会社スギノマシン | 送り台装置、および対象物駆動装置 |
JP2018008252A (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 株式会社スギノマシン | めねじの洗浄方法 |
JP2018069203A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | Smc株式会社 | 粉塵除去装置及び粉塵除去システム |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5432943B2 (ja) | 1972-11-10 | 1979-10-17 | ||
CH639885A5 (de) | 1979-09-21 | 1983-12-15 | Concast Ag | Verfahren zur einstellung der verstellgeschwindigkeit der schmalseite(n) einer plattenkokille. |
DE3004692A1 (de) | 1980-02-08 | 1981-08-13 | Agfa-Gevaert Ag, 5090 Leverkusen | Hydroxyalkansulfonsaeure-sulfoalkylester |
US4960142A (en) * | 1987-12-21 | 1990-10-02 | Herrules Equipment Corporation | Paint cleaning apparatus |
JP2006114884A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-04-27 | Ebara Corp | 基板洗浄処理装置及び基板処理ユニット |
DE102006002129A1 (de) * | 2006-01-17 | 2007-07-19 | Gebr. Heller Maschinenfabrik Gmbh | Werkstückspanneinrichtung für eine Werkzeugmaschine |
JP6502878B2 (ja) * | 2016-03-01 | 2019-04-17 | 株式会社スギノマシン | ハンドストッカおよびハンド |
WO2018088102A1 (ja) * | 2016-11-14 | 2018-05-17 | 株式会社中農製作所 | 洗浄機 |
CN108273081B (zh) * | 2018-04-16 | 2020-06-23 | 杜虹 | 一种医用手术刀消毒灭菌方法 |
CN108296211A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-07-20 | 西南交通大学 | 一种空化射流清洗设备 |
CN208518627U (zh) * | 2018-06-14 | 2019-02-19 | 濮阳市宏发原工贸有限公司 | 一种多功能油管吊钳 |
CN209520167U (zh) * | 2019-01-29 | 2019-10-22 | 义乌工商职业技术学院 | 清洗机载料台及清洗机 |
-
2020
- 2020-02-25 JP JP2020029622A patent/JP6830170B1/ja active Active
-
2021
- 2021-01-05 EP EP21150199.4A patent/EP3871797B1/en active Active
- 2021-01-20 US US17/153,430 patent/US11465183B2/en active Active
- 2021-01-26 CN CN202110103385.4A patent/CN113369213B/zh active Active
- 2021-02-08 KR KR1020210017448A patent/KR102326310B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0278242U (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-15 | ||
JPH07130688A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Fujitsu Ltd | ウェハ研磨装置及びウェハ研磨方法 |
JPH08322528A (ja) * | 1995-06-02 | 1996-12-10 | Miyake Seisakusho:Kk | 食品容器処理装置 |
JP2002148818A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 薬液処理装置及び方法 |
JP2003197718A (ja) * | 2001-12-26 | 2003-07-11 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP2005051094A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2009136756A (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法、塗布装置及び塗布方法 |
JP2013122995A (ja) * | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2016022462A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 株式会社スギノマシン | 送り台装置、および対象物駆動装置 |
JP2018008252A (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 株式会社スギノマシン | めねじの洗浄方法 |
JP2018069203A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | Smc株式会社 | 粉塵除去装置及び粉塵除去システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3871797A1 (en) | 2021-09-01 |
EP3871797B1 (en) | 2023-08-09 |
CN113369213B (zh) | 2022-03-29 |
CN113369213A (zh) | 2021-09-10 |
KR102326310B1 (ko) | 2021-11-12 |
US20210260629A1 (en) | 2021-08-26 |
EP3871797C0 (en) | 2023-08-09 |
US11465183B2 (en) | 2022-10-11 |
JP2021133282A (ja) | 2021-09-13 |
KR20210108313A (ko) | 2021-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6227496B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP3065905B2 (ja) | 部品まくれ除去機または洗浄機を有する工作機械 | |
JP6196588B2 (ja) | 送り台装置、および対象物駆動装置 | |
US6106635A (en) | Washing method and washing apparatus | |
CN112620207B (zh) | 清洗机及工作台旋转装置 | |
JP6830170B1 (ja) | 洗浄機及び洗浄方法 | |
JP4711049B2 (ja) | 工作機械 | |
JP7078251B2 (ja) | ツール洗浄装置及びマシニングセンタ | |
JP2009291912A (ja) | 工作機械における工具ホルダの洗浄装置 | |
JP4203298B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JPH10308374A (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
JPH0314580B2 (ja) | ||
JP5389473B2 (ja) | スピンナ洗浄装置 | |
KR20210150977A (ko) | 세정기 | |
TWI627024B (zh) | 毛刺清理用數值控制機 | |
JP3176162U (ja) | クーラント用回転式ノズルおよびクーラント噴射装置 | |
CN110560280A (zh) | 一种多喷嘴喷头微滴喷射设备 | |
JP2023115640A (ja) | 洗浄機及び回転テーブル | |
CN114799984B (zh) | 刀具的清洁方法 | |
JPH0529655U (ja) | 切粉洗い流し装置 | |
JP2000246639A (ja) | 平面研削装置 | |
JP4478008B2 (ja) | 洗浄装置 | |
KR20010057196A (ko) | 반도체 웨이퍼 절단 장비 | |
JP2006073828A (ja) | ダイシング装置 | |
JP2001162484A (ja) | 基板孔明け装置における工具折損センサ洗浄装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201126 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6830170 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |