JP4478008B2 - 洗浄装置 - Google Patents

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Description

本発明は、ワークに洗浄液を噴きかけてワークを洗浄するための洗浄装置に関する。
例えば、下記特許文献1に開示されている洗浄装置は洗浄室を備えている。洗浄室の内側には回転テーブルが設けられており、モータ等の駆動手段によって回転テーブルが回転する構造になっている。回転テーブル上にはワークがセットされ、回転テーブルと共にワークが回転する。
また、洗浄室内には複数のノズルが設けられている。複数のノズルの一部からは温水が霧状に噴射され、他のノズルからは洗浄水がシャワー状に噴出される。このようにしてノズルから噴射された洗浄水及び霧状の温水は、回転テーブルと共に回転するワークに噴きつけられ、これにより、ワーク加工時にワークに付着した切子等がワークから除去される。
特開平6−142623号公報
ここで、上記の特許文献1に開示された洗浄装置では、回転テーブル上に直接又は回転テーブル上に載置された皿状部材上にワークを載置する構造であるため、ワークの回転テーブル側の部分の洗浄ができないと言う問題がある。
このような問題に対しては、例えば、ワークを吊り上げ装置で吊り上げた状態で支持し、あらゆる方向から洗浄液をワークに噴きかけることで解消できる。しかしながら、このように無造作にあらゆる方向から洗浄液を噴きかけると洗浄液がワークに付与する噴射圧でワークが動き、場合によってはワークが吊り上げ装置から落下してしまう可能性がある。
本発明は、上記事実を考慮して、洗浄液の高い噴射圧がワークに付与されてもワークの不用意な移動を防止又は効果的に抑制できる洗浄装置を得ることが目的である。
請求項1に記載の本発明に係る洗浄装置は、ワークの外方から洗浄液を噴きかけて前記ワークを洗浄する洗浄装置であって、駆動手段の駆動力によって自らの中心周りに回転すると共に、前記中心よりも半径方向外側でワークが支持されて前記ワークを伴い回転する回転テーブルと、前記回転テーブルの回転軸方向に互いに対向配置されて、各々の間に前記ワークが位置した状態でこの対向方向に前記洗浄液を噴射して前記ワークに前記洗浄液を噴きかけると共に、一方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧の少なくとも一部を、他方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧により相殺する一対の第1噴射手段と、前記回転テーブルの回転半径方向に前記一対の第1噴射手段の間の中間部を介して互いに対向配置されて、各々の間に前記ワークが位置した状態でこの対向方向に前記洗浄液を噴射して前記ワークに前記洗浄液を噴きかけると共に、一方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧の少なくとも一部を、他方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧により相殺する一対の第2噴射手段と、前記回転テーブルの回転半径方向側方で前記一対の第1噴射手段及び前記一対の第2噴射手段の双方の対向方向に対して交差する向きに前記一対の第1噴射手段の間の中間部と前記一対の第2噴射手段の間の中間部との交差位置を介して互いに対向配置されて、各々の間に前記ワークが位置した状態でこの対向方向に前記洗浄液を噴射して前記ワークに前記洗浄液を噴きかけると共に、一方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧の少なくとも一部を、他方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧により相殺する一対の第3噴射手段と、一方の一端が前記一対の第1噴射手段の一方に接続されると共に、他方の一端が前記一対の第1噴射手段の他方に接続されて、各々の他端が互いに接続された1組の第1配管と、一方の一端が前記一対の第2噴射手段の一方に接続されると共に、他方の一端が前記一対の第2噴射手段の他方に接続されて、各々の他端が互いに接続された1組の第2配管と、一方の一端が前記一対の第3噴射手段の一方に接続されると共に、他方の一端が前記一対の第3噴射手段の他方に接続されて、各々の他端が互いに接続された1組の第3配管と、前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管の各々の他端に接続され、前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管の各々の他端に所定の圧力で前記洗浄液を供給する1つの供給手段と、前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管の各々の他端と1つの前記供給手段との間に介在して、前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管のうちの何れか1組の配管の他端にのみ前記供給手段に接続して前記洗浄液を供給して他の組の配管の他端に対する前記洗浄液の供給を停止する切替手段と、を備えることを特徴としている。
請求項1に記載の洗浄装置では、一対の第1噴射手段が回転テーブルの軸方向に互いに対向しており、一対の第2噴射手段が回転テーブルの半径方向に互いに対向している。さらに、回転テーブルの回転半径方向側方では、一対の第1噴射手段の対向方向及び一対の第2噴射手段の対向方向に対して交差する向きに一対の第3噴射手段が互いに対向している。
一対の第2噴射手段は一対の第1噴射手段の間の中間部を介して互いに対向しており、一対の第3噴射手段は一対の第1噴射手段の中間部と一対の第2噴射手段の中間部との交差部分で互いに対向している。すなわち、本発明においては、第1噴射手段における対向方向、第2噴射手段における対向方向、及び第3噴射手段における対向方向が互いに交差している。
ワークを支持した回転テーブルが回転して、ワークが第1〜第3の各噴射手段の対向方向中間部における交差位置に到達した状態で、各一対の噴射手段の何れかに供給手段から洗浄液が供給されると、この噴射手段の対向方向両側から所定の圧力に応じた噴射圧で洗浄液が噴射され、この洗浄液がワークに噴きかけられることでワークが洗浄液により洗浄される。
ここで、本発明に係る洗浄装置では、第1、第2、第3の各一対の噴射手段がワークを介して互いに対向して配置される。したがって、互いに対向する一対の噴射手段の一方から噴射された洗浄液がワークに付与する噴射圧の向きに対し、一対の噴射手段の他方から噴射された洗浄液がワークに付与する噴射圧の向きは概ね反対方向になる。
したがって、一対の噴射手段の一方から噴射された洗浄液がワークに付与する噴射圧の少なくとも一部は、一対の噴射手段の他方から噴射された洗浄液がワークに付与する噴射圧により相殺される。
これにより、洗浄液の噴射圧をワークが受けることに起因するワークの不用意な移動が防止又は効果的に抑制され、ワークを強固に支持又は保持しなくても、予め定められた所定の洗浄位置、又は、この洗浄位置の極近傍でワークを洗浄できる。
しかも、第1噴射手段の対向方向は回転テーブルの軸方向に沿い、第2噴射手段の対向方向は回転テーブルの回転半径方向に沿い、第1噴射手段及び第2噴射手段の各対向方向に対して交差する向きに第3噴射手段が対向しているので、立体的な方向から洗浄液をワークに噴きかけることができ、効果的にワークを洗浄できる。
しかも、本発明に係る洗浄装置では、一対の第1噴射手段の一方には1組の第1配管の一方の一端が接続されており、他方の第1噴射手段には他方の第1配管の一端が接続され、更に、この1組の第1配管の各他端は互いに接続される。また、一対の第2噴射手段の一方には1組の第2配管の一方の一端が接続されており、他方の第2噴射手段には他方の第2配管の一端が接続され、更に、この1組の第2配管の各他端は互いに接続される。さらに、一対の第3噴射手段の一方には1組の第3配管の一方の一端が接続されており、他方の第3噴射手段には他方の第3配管の一端が接続され、更に、この1組の第3配管の各他端は互いに接続される。
ここで、本発明に係る洗浄装置では、全ての組で互いに接続された配管の他端、更に1つの供給手段に接続され、この供給手段の各組の配管の他端との間に介在する切替手段によって何れか1組の配管を介して対応する噴射手段に洗浄液が供給されている状態では、他の組の配管に対応する噴射手段に対する洗浄液の供給が停止される。
このため、供給手段が洗浄液を供給する際の圧力が各組の噴射手段に分散されない。これにより、供給手段が洗浄液を供給する際の圧力と同等の圧力で噴射手段から洗浄液を噴射でき、このように比較的高い噴射圧で洗浄液をワークに噴きかけることで、より高い洗浄効果を得ることができる。
しかも、切替手段によって選択された1組の配管は他端が互いに接続されているので、これらの配管には供給手段からの洗浄液の供給圧が概ね二分された状態で洗浄液が通過する。このため、1組の配管の双方を通過して、この1組の配管に接続された一対の噴射手段の一方から噴射される洗浄液の噴射圧と、他方から噴射される洗浄液の噴射圧とが概ね等しくなるか、その差が小さくなる。
このように互いに対向する一対の噴射手段からの洗浄液の噴射圧が概ね等しいか、その差が小さいことで、互いに噴射圧が効果的に相殺されて、洗浄液の噴射圧をワークが受けることによるワークの不用意な移動を防止又は軽減できる。
以上説明したように、本発明に係る洗浄装置では、洗浄液の高い噴射圧がワークに付与されても、相反する方向からの噴射圧がワークに付与されるため、ワークの不用意な移動を防止又は効果的に抑制できる。
<本実施の形態の構成>
(洗浄装置10の全体構成の概略)
図3には本発明の一実施の形態に係る洗浄装置10の構成が正面図により示されており、図4には本洗浄装置10の構成が側面図により示されている。
先ず、これらの図に基づいて本洗浄装置10の全体構成の概略について説明する。
図3及び図4に示されるように、本洗浄装置10は略箱形状のクリーンタンク12を備えている。クリーンタンク12には洗浄液が貯留されている。また、図3に示されるように、クリーンタンク12の下端部近傍には配管14が設けられている。
配管14の一端はクリーンタンク12の内部に連通しており、他端は配管14を介してクリーンタンク12とは反対側に設けられた供給手段としてのポンプ16の吸入部に接続されている。ポンプ16の吐出部には配管18の一端が接続されている。配管18は本洗浄装置10の下方へ向けて開口した凹形状に屈曲されており、更に、その一端側は略水平に屈曲されてポンプ16の吐出部に接続されている。配管18の他端部は、後に詳細に説明する切替手段としての電磁弁20を介して洗浄部22に接続されている。
一方、クリーンタンク12の裏側にはダーティタンク24が設けられている。ダーティタンク24は洗浄部22の下方に設けられており、ロート状の配管26を介して洗浄部22に連通している。
また、ポンプ16の裏側にはポンプ28が設けられている。ポンプ28の吸入部は図示しない配管を介してダーティタンク24の下端側に連通している。また、ポンプ28の上側にはバッグフィルタ30が設けられており、バッグフィルタ30の入口が配管32を介してポンプ28の吐出部に接続されている。
バッグフィルタ30の側方にはバッグフィルタ34が設けられており、バッグフィルタ30の出口とバッグフィルタ34の入口とが配管36によって接続されている。これらのバッグフィルタ30、34の内側にはそれぞれ異なるフィルタ部材が収容されており、バッグフィルタ30に供給された洗浄液はバッグフィルタ30のフィルタ部材により濾過された後に、更に、バッグフィルタ34に供給されてバッグフィルタ34のフィルタ部材により更に濾過される。
バッグフィルタ34の下側には上記のクリーンタンク12が設けられている。クリーンタンク12の上端とバッグフィルタ34の出口とは配管38により接続され、バッグフィルタ30、34にて濾過された洗浄液がクリーンタンク12に貯留される構造になっている。
(洗浄部22の構成)
次に、洗浄部22の構成について説明する。図3及び図4に示されるように、洗浄部22は略箱状で防爆性能を有する隔壁40を備えている。隔壁40の内側には、図1に示されるように、略円板状の回転テーブル42が設けられている。
回転テーブル42は図示しないモータ等の駆動手段に直接又は減速ギヤ列等の減速手段を介して機械的に連結されており、駆動手段の駆動力によって自らの中心周りに回転する。
また、回転テーブル42には、支持脚44が回転テーブル42の回転中心周りに複数(図1では1個のみを図示している)設けられている。支持脚44は下端部が回転テーブル42に固定された脚本体46を備えている。脚本体46の上端からは、回転テーブル42の回転半径方向外方へ向けて長手方向とされた細幅板状の支持片50の一端が固定されている。支持片50の先端には略U字状に湾曲したフック51の一端が固定され、このフック51の他端にワーク52が支持されている。
また、脚本体46よりも回転テーブル42の半径方向外方側には、扇形状の窓部54が回転テーブル42の中心周りに一定角度毎に形成されており、これらの窓部54の間では回転テーブル42上に隔壁56が立設されている。
一方、図1に示されるように、回転テーブル42の上側には第1噴射手段としてのノズル58が設けられている。ノズル58は、本洗浄装置10の上下方向(図1で言うところの回転テーブル42の厚さ方向)に沿った下側へ向けてノズル58に供給された洗浄液を噴射できる構造になっている。
一方、本洗浄装置10の上下方向に沿って回転テーブル42を介したノズル58の反対側には、ノズル58と対を成す第1噴射手段としてのノズル60がノズル58に対向して設けられている。ノズル60は、本洗浄装置10の上下方向に沿った上側、すなわち、ノズル58へ向けて供給された洗浄液を噴射できる構造になっている。
また、図2に示されるように、上記のノズル58は第1配管としての配管62の一端に接続されており、ノズル60は第1配管としての配管64の一端に接続されている。配管62と配管64とは各々の他端側に連通しており、更に、配管62、64の他端部は電磁弁20に接続されている。
一方、回転テーブル42の側方には、第2噴射手段としてノズル66が設けられている。ノズル66は、回転テーブル42の回転中心側へ向けて洗浄液を噴射できる構造になっている。また、回転テーブル42の中心近傍には、ノズル66と対を成す第2噴射手段としてのノズル66に対向してノズル68が設けられている。ノズル68は、回転テーブル42の回転半径方向外方、すなわち、ノズル66へ向けて洗浄液を噴射できる構造になっている。
ここで、図1に示されるように、ノズル66とノズル68との略中間部は上記のノズル58とノズル6との間の中間部に重なり合う。
また、図2に示されるように、上記のノズル66は第2配管としての配管70の一端に接続されており、ノズル68は回転テーブル42の中央に形成された円孔74(図1参照)を通過した第2配管としての配管72の一端に接続されている。配管70と配管72とは各々の他端側に連通しており、更に、配管70、72の他端部は電磁弁20に接続されている。
一方、図1に示されるように、上記のノズル66とノズル68との略中間部とノズル58とノズル6との間の中間部との交差位置から、ノズル66とノズル68との対向方向及びノズル58とノズル6との対向方向の双方に対して直交する一方の側における回転テーブル42の外側には、第3噴射手段としてのノズル76が設けられている。
ノズル76は上記のノズル66とノズル68との略中間部とノズル58とノズル6との間の中間部との交差位置へ向けて洗浄液を噴射できる構造になっている。
また、ノズル66とノズル68との略中間部とノズル58とノズル6との間の中間部との交差位置を介してノズル76とは反対側には、ノズル76と対を成す第3噴射手段としてのノズル78が設けられている。
ノズル78は、ノズル76とは反対側からノズル66とノズル68との略中間部とノズル58とノズル6との間の中間部との交差位置へ向けて洗浄液を噴射できる構造になっている。
また、図2に示されるように、上記のノズル76は第3配管としての配管80の一端に接続されており、ノズル78は第3配管としての配管82の一端に接続されている。配管80と配管82とは各々の他端側に連通しており、更に、配管80、82の他端部は電磁弁20に接続されている。
電磁弁20は1つの入口と3つの出口を有している。これらの出口の1つには配管62、64の他端が接続されており、別の1つには配管70、72の他端が接続されている。さらに、これらの他の1つの出口には配管80、82の他端が接続されており、電磁弁20の図示しない弁体は、電磁弁20の入口と3つの出口の何れか1とを連通し、他の2つと入口との間を遮断できる構造になっている。
<本実施の形態の作用、効果>
次に、本洗浄装置10の動作の説明を介して本洗浄装置10の作用並びに効果について説明する。
本洗浄装置10では、フック51にワーク52が支持された状態で回転テーブル42が回転する。回転テーブル42が回転して窓部54がノズル60の上側に位置してワーク52が窓部54を介してノズル60に対向すると回転テーブル42が停止させられる。
次いで、電磁弁20の弁体が電磁弁20の入口と、配管70、72の他端に接続された電磁弁20の出口とを連通させ、この状態で、ポンプ16が作動する。ポンプ16は所定の圧力でクリーンタンク12内の洗浄液を配管18に供給する。配管18に供給された洗浄液は配管18及び電磁弁20を介して配管70、72に供給される。配管70と配管72とは他端側にて互いに連通されているため、ポンプ16の供給圧が概ね二分された状態で洗浄液が配管70、72を通過する。
配管70を通過した洗浄液はノズル66に供給され、ノズル66に対して回転テーブル42の半径方向内方側に位置するワーク52へ向けて洗浄液を噴射する。これに対して、配管72を通過した洗浄液はノズル68に供給され、ノズル68に対して回転テーブル42の半径方向外方側に位置するワーク52へ向けて洗浄液を噴射する。
このように、先ず、ノズル66、68から噴射された洗浄液がワーク52に噴きかけられる。
次いで、ノズル66、68からの一定時間の洗浄液の噴射が終了すると、電磁弁20の弁体は、電磁弁20の入口と配管80、82の他端が接続された電磁弁20の出口とを連通させる。これにより、洗浄液が配管80、82に供給される。
この配管80、82もまた他端側にて互いに連通されているため、ポンプ16の供給圧が概ね二分された状態で洗浄液が配管80、82を通過する。
配管80を通過した洗浄液はノズル76に供給され、ノズル76とノズル78との間に位置するワーク52へ向けて洗浄液を噴射する。これに対して、配管82を通過した洗浄液はノズル78に供給され、ノズル78に対してノズル76とノズル78との間に位置するワーク52へ向けて洗浄液を噴射する。
これにより、ノズル76、78から噴射された洗浄液がワーク52に噴きかけられる。
次いで、ノズル76、78からの一定時間の洗浄液の噴射が終了すると、電磁弁20の弁体は、電磁弁20の入口と配管62、64の他端が接続された電磁弁20の出口とを連通させる。これにより、洗浄液が配管62、64に供給される。
この配管62、64もまた他端側にて互いに連通されているため、ポンプ16の供給圧が概ね二分された状態で洗浄液が配管62、64を通過する。
配管62を通過した洗浄液はノズル58に供給され、ノズル58の下方に位置するワーク52へ向けて洗浄液を噴射する。これに対して、配管64を通過した洗浄液はノズル60に供給され、窓部54を介してノズル60の上側でノズル60に対向するワーク52へ向けて洗浄液を噴射する。
このように、本洗浄装置10では、ノズル58、60、66、68、76、78より、三次元的な方向からワーク52に対して洗浄液を噴きかけるため、ワーク52の外周面の全域に対して確実に洗浄液を噴きかけることができる。このため、ワーク52の外周部にワーク52の加工時に付着した切子等の異物を洗浄液で確実に洗い落とすことができる。
また、本洗浄装置10では、互いに対を成すノズル58、60が互いに対向している。例えば、ノズル58から噴射された洗浄液からの噴射圧をワーク52が受けると、ワーク52はノズル58とは反対側に押圧されて移動しようとする。しかしながら、ノズル58から洗浄液が噴射されている状態では、ノズル60からも洗浄液が噴射されており、この洗浄液の噴射圧をワーク52が受ける。
ここで、ノズル58からの洗浄液の噴射方向とノズル60からの洗浄液の噴射方向とは相反するため、ノズル58からの洗浄液の噴射圧はノズル60からの洗浄液の噴射圧により相殺される。
しかも、上記のように、配管62と配管64にはポンプ16の供給圧が概ね二分された状態で洗浄液が通過するため、ノズル58、60の各々から噴射される洗浄液の噴射圧は概ね等しくなるか、その差が小さくなる。
これにより、ノズル58、60の双方からの洗浄液の噴射圧をワーク52が受けることで、ワーク52の不用意な移動が防止又は軽減される。これにより、ワーク52を強固に保持しなくてもフック51からのワーク52の脱落を防止できる。
また、上記のように、互いに対を成すノズル66、68、及び、互いに対を成すノズル76、78に関しても、ノズル58、60と同様の作用を奏し、同様の効果を得ることができる。
さらに、本洗浄装置10では、上記のように電磁弁20は入口と3つの出口の何れか1とを連通し、他の2つと入口との間を遮断できる構造になっている。このため、配管62、64、68、70、80、82のうち、電磁弁20の入口に連通していないものに対してはポンプ16の供給圧が分散されない。このため、配管62、64、68、70、80、82の全てにポンプ16の供給圧が分散された場合に比べて高い圧力でノズル58、60、66、68、76、78の何れか1組から洗浄液を噴射でき、これによっても、ワーク52の外周部に付着した切子等の異物を洗浄液で確実に洗い落とすことができる。
本発明の一実施の形態に係る洗浄装置の要部の構成を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態に係る洗浄装置の各噴射手段に対する洗浄液の供給経路の概略を示す図である。 本発明の一実施の形態に係る洗浄装置の全体構成の概略を示す正面図である。 本発明の一実施の形態に係る洗浄装置の全体構成の概略を示す側面図である。
符号の説明
10 洗浄装置
16 ポンプ(供給手段)
20 電磁弁(切替手段)
52 ワーク
58 ノズル(第1噴射手段)
60 ノズル(第1噴射手段)
62 配管(第1配管)
64 配管(第1配管)
66 ノズル(第2噴射手段)
68 ノズル(第2噴射手段)
70 配管(第2配管)
72 配管(第2配管)
76 ノズル(第3噴射手段)
78 ノズル(第3噴射手段)
80 配管(第3配管)
82 配管(第3配管)

Claims (1)

  1. ワークの外方から洗浄液を噴きかけて前記ワークを洗浄する洗浄装置であって、
    駆動手段の駆動力によって自らの中心周りに回転すると共に、前記中心よりも半径方向外側でワークが支持されて前記ワークを伴い回転する回転テーブルと、
    前記回転テーブルの回転軸方向に互いに対向配置されて、各々の間に前記ワークが位置した状態でこの対向方向に前記洗浄液を噴射して前記ワークに前記洗浄液を噴きかけると共に、一方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧の少なくとも一部を、他方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧により相殺する一対の第1噴射手段と、
    前記回転テーブルの回転半径方向に前記一対の第1噴射手段の間の中間部を介して互いに対向配置されて、各々の間に前記ワークが位置した状態でこの対向方向に前記洗浄液を噴射して前記ワークに前記洗浄液を噴きかけると共に、一方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧の少なくとも一部を、他方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧により相殺する一対の第2噴射手段と、
    前記回転テーブルの回転半径方向側方で前記一対の第1噴射手段及び前記一対の第2噴射手段の双方の対向方向に対して交差する向きに前記一対の第1噴射手段の間の中間部と前記一対の第2噴射手段の間の中間部との交差位置を介して互いに対向配置されて、各々の間に前記ワークが位置した状態でこの対向方向に前記洗浄液を噴射して前記ワークに前記洗浄液を噴きかけると共に、一方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧の少なくとも一部を、他方が前記ワークに対して前記洗浄液を噴きかけた際に前記ワークに付与される噴射圧により相殺する一対の第3噴射手段と、
    一方の一端が前記一対の第1噴射手段の一方に接続されると共に、他方の一端が前記一対の第1噴射手段の他方に接続されて、各々の他端が互いに接続された1組の第1配管と、
    一方の一端が前記一対の第2噴射手段の一方に接続されると共に、他方の一端が前記一対の第2噴射手段の他方に接続されて、各々の他端が互いに接続された1組の第2配管と、
    一方の一端が前記一対の第3噴射手段の一方に接続されると共に、他方の一端が前記一対の第3噴射手段の他方に接続されて、各々の他端が互いに接続された1組の第3配管と、
    前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管の各々の他端に接続され、前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管の各々の他端に所定の圧力で前記洗浄液を供給する1つの供給手段と、
    前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管の各々の他端と1つの前記供給手段との間に介在して、前記1組の第1配管、前記1組の第2配管、及び前記1組の第3配管のうちの何れか1組の配管の他端にのみ前記供給手段に接続して前記洗浄液を供給して他の組の配管の他端に対する前記洗浄液の供給を停止する切替手段と、
    を備えることを特徴とする洗浄装置。
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