CN109716039B - 空气调节装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于，提供小型化的空气调节装置。本发明的空气调节装置(10)对导入到其内部的空气的温度和湿度进行调整，其中，该空气调节装置(10)具有：冷却器(34)，其对导入到空气调节装置(10)内的空气进行冷却而使该空气所含有的水分冷凝；加热器(42、44)，其对空气进行加热；以及加湿器(52)，其对空气进行加湿，在俯视观察空气调节装置(10)时，加湿器(52)的至少一部分与冷却器(34)的至少一部分重叠，加热器(42、44)包含第1加热器(42)和第2加热器(44)，在俯视观察时，第1加热器(42)的至少一部分和第2加热器(44)的至少一部分分别与冷却器(34)的至少一部分重叠，在沿着空气向空气调节装置(10)导入的导入方向观察时，加湿器(52)的至少一部分与加热器(42、44)的至少一部分重叠。

Description

空气调节装置
技术领域
本发明涉及空气调节装置。
背景技术
以往，在半导体元件的制造工序等中，为了精密地控制气氛的温度和湿度而使用空气调节装置。例如在JP5886463B1中公开有如下的空气调节装置，其具有：冷却单元，其对导入到空气调节装置内的空气进行冷却和除湿；加热单元，其将通过了冷却单元的空气加热至规定的温度；以及加湿器(加湿装置)，其对通过了加热单元的空气进行加湿。
从能够设置到狭窄的空间和提高设置场所的自由度等观点出发，要求使空气调节装置进一步小型化。
在JP5886463B1所公开的现有的空气调节装置中，空气一边上升一边通过冷却单元而被冷却和除湿，然后，将该空气的行进方向改变为水平方向而朝向加热单元。通过加热单元而被加热后的空气继续向水平方向行进而被加湿器加湿。通过了加湿器的空气接着继续向水平方向行进而被送风机送出到净化室等外部空间。伴随着这样的装置结构，在JP5886463B1所公开的现有的空气调节装置中，装置整体的小型化并不充分。特别是，在现有的空气调节装置中，在使装置的从上方观察时的大小(即占用面积)进一步小型化的方面存在课题。
发明内容
本发明是考虑到这样的问题点而完成的，其目的在于提供小型化的空气调节装置。
本发明的空气调节装置对导入到该空气调节装置的内部的空气的温度和湿度进行调整，其中，该空气调节装置具有：冷却器，其对导入到所述空气调节装置内的空气进行冷却而使该空气所含有的水分冷凝；加热器，其对所述空气进行加热；以及加湿器，其对所述空气进行加湿，在俯视观察所述空气调节装置时，所述加湿器的至少一部分与所述冷却器的至少一部分重叠，所述加热器包含第1加热器和第2加热器，在俯视观察时，所述第1加热器的至少一部分和所述第2加热器的至少一部分分别与所述冷却器的至少一部分重叠，在沿着空气向所述空气调节装置导入的导入方向观察时，所述加湿器的至少一部分与所述加热器的至少一部分重叠。
在本发明的空气调节装置中，也可以是，向所述空气调节装置内导入的空气的导入口朝向第1方向的一侧开口，所述加湿器相对于所述加热器配置在所述第1方向的一侧。
在本发明的空气调节装置中，也可以是，所述冷却器具有多个导热翅片，所述导热翅片在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上延伸，在所述冷却器中流通的空气被所述导热翅片引导而以随着从上游侧朝向下游侧而朝向上方的方式在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上行进。
发明效果
根据本发明，能够提供小型化的空气调节装置。
附图说明
图1是用于对本发明的一个实施方式进行说明的图，是概略地示出空气调节装置的一例的立体图。
图2是示出从箭头II的方向观察图1的空气调节装置的图。
图3是示出与图2的III-III线对应的截面的图。
图4是示出从上方观察空气调节装置的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。另外，在本说明书的附图中，为了方便图示和理解，根据实物来适当地变更并夸大比例尺和纵横尺寸比等。
另外，对在本说明书中使用的形状和几何学的条件以及确定它们的程度的例如“平行”、“垂直”、“相同”等用语、长度、角度的值等没有严格意义地进行限制，可以解释为包含能够实现同样的功能的范围。
图1～图4是用于对本发明的一个实施方式进行说明的图。其中，图1是概略地示出空气调节装置10的一例的立体图，图2是示出从箭头II的方向观察图1的空气调节装置10的图，图3是示出与图2的III-III线对应的截面的图，图4是示出从上方观察空气调节装置10的图。
空气调节装置10是对导入到内部的空气的温度和湿度进行调整的装置，作为一例，能够作为设置在制造半导体元件的设施内的、将温度和湿度被精密地调整后的空气向设置在该设施的净化室内的半导体元件制造装置送出的装置来使用。在图1和图2所示的例子中，空气调节装置10具有调温调湿部20、送风机12以及腔室14。
在调温调湿部20中，调整从外部导入的空气的温度和湿度。调温调湿部20具有壳体22。在壳体22内设置有：冷却部30，其对导入到壳体22内的空气进行冷却；加热部40，其对被冷却部30冷却后的空气进行加热而调整温度；以及加湿部50，其对被加热部40调整了温度的空气进行加湿而调整湿度。壳体22具有上游侧开口26和下游侧开口28，下游侧开口28经由连接部18而与送风机12连通。送风机12赋予用于使空气在壳体22内流通的驱动力。送风机12具有未图示的风扇，利用未图示的马达等驱动源使风扇旋转。然后，利用送风机12经由下游侧开口28来吸引空气流通路24内的空气，从而经由上游侧开口26将外部的空气导入壳体22内。即，上游侧开口26是用于向空气调节装置10(壳体22)内导入外部的空气的空气导入口。其结果为，在壳体22内生成从上游侧开口26起依次通过冷却部30、加热部40以及加湿部50并朝向下游侧开口28的空气流。即，在壳体22内形成有从上游侧开口26朝向下游侧开口28的空气流通路24。在图示的例子中，上游侧开口26朝向与水平方向平行的第1方向d1的一侧开口，外部的空气经由上游侧开口26以大致沿着第1方向d1从一侧朝向另一侧的方式向空气调节装置10(壳体22)内导入。另外，也可以在上游侧开口26设置用于去除外部的空气中所包含的尘埃等的过滤装置。另外，在本说明书中，“上游侧”是指通过使送风机12工作而在空气流通路24内产生的空气流的上游侧，“下游侧”是指通过使送风机12工作而在空气流通路24内产生的空气流的下游侧。在图1～图3中，空气调节装置10的空气流的朝向由白色箭头示出。
在图1和图2所示的例子中，送风机12所吸引的壳体22内的空气经由腔室14而朝向半导体元件制造装置等设备排出。腔室14对从送风机12流入到腔室14内的空气进行搅拌而实现该空气的温度和湿度的均匀化。作为一例，在腔室14内设置有未图示的1个以上的折流板。从送风机12流入到腔室14内的空气的一部分与该折流板碰撞而在折流板的下游侧产生乱流。由此，使产生了乱流的空气与未碰撞折流板而即将通过腔室14的空气混合在一起。即，折流板具有对流入到腔室14内的空气进行搅拌的功能。在腔室14内被搅拌的空气从腔室14的排出口16通过未图示的送风管而朝向半导体元件制造装置等设备排出。
接着，主要参照图3对调温调湿部20的详细情况进行说明。调温调湿部20在壳体22内具有：冷却部30，其对从上游侧开口26导入的空气进行冷却；加热部40，其对被冷却部30冷却后的空气进行加热而调整温度；以及加湿部50，其对被加热部40调整了温度的空气进行加湿而调整湿度。
冷却部30具有冷却器34和配置于冷却器34的下游侧的空气混合部件38。冷却器34配置在壳体22(空气流通路24)内，对导入到空气流通路24内的空气进行冷却而使该空气所含有的水分冷凝。作为一例，本实施方式的冷却器34可以是冷却回路中的蒸发器，该冷却回路由压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器按照使热介质循环的方式在该顺序下利用管道连接而成。冷却部30也可以具有可变的冷却能力。经由上游侧开口26而导入到壳体22内的空气的一部分与冷却器34特别是后述的导热翅片36接触而进行冷却，并朝向位于冷却部30的下游侧的加热部40行进。在导入到壳体22内的空气被冷却器34冷却时，空气中所包含的水分被冷凝而变成水滴附着于冷却器34(导热翅片36)。在本实施方式中，附着于冷却器34(导热翅片36)的水滴向设置于冷却器34的下方的未图示的排水盘内落下。
在图3所示的例子中，冷却器34位于上游侧开口26与空气混合部件38之间的空间中的下侧。在冷却器34的上方形成有供从上游侧开口26导入的外部气体不经过冷却器34便朝向空气混合部件38的通路。由此，在冷却部30中形成有第1流路31和第2流路32，该第1流路31从上游侧开口26经过冷却器34而朝向空气混合部件38，该第2流路32从上游侧开口26不经过冷却器34便朝向空气混合部件38。换言之，冷却部30中的空气流通路24的一部分(特别是在图示的例子中为上游侧开口26的下游侧且空气混合部件38的上游侧)被划分为第1流路31和第2流路32，在第1流路31配置有冷却器34。在图示的例子中，第1流路31相对于第2流路32配置于下侧。
通过使冷却部30具有这样的第1流路31和第2流路32，使通过第1流路31并被冷却器34冷却和除湿后的空气与通过了第2流路32的空气在冷却部30内混合并流入到加热部40和加湿部50。由此，能够使用于对导入到空气流通路24内的空气赋予期望的温度和湿度的、加热部40的加热量和加湿部50的加湿量降低。即，能够使加热部40和加湿部50的消耗能量降低。因此，能够有效地提高空气调节装置10的整体的能量利用效率。
空气混合部件38是用于促进通过了第1流路31的空气与通过了第2流路32的空气混合而实现流入到加热部40和加湿部50的空气的温度和湿度的均匀化的部件。空气混合部件38设置于第1流路31和第2流路32的下游侧。特别是在图示的例子中，空气混合部件38可由板状部件形成，该板状部件的板面在与第1流路31的空气的流通方向和第2流路32的空气的流通方向交叉的方向上延伸。在图3所示的例子中，构成空气混合部件38的板状部件配置为相对于水平方向(第1方向d1)和垂直方向(第3方向d3)倾斜。特别是板状部件配置为以其上端比下端位于冷却部30的上游侧(第1方向d1的一侧)的方式相对于水平方向和垂直方向倾斜。作为这样的空气混合部件38，例如可以使用设置有多个孔的板状部件(格栅板)。如果冷却部30具有这样的空气混合部件38，则从冷却部30流入到加热部40的空气的温度和湿度被均匀化，由此能够在加热部40和加湿部50中更精密地调整空气的温度和湿度。
另外，也可以在冷却部30设置用于调整第1流路31的开度的缓冲部件和/或用于调整第2流路32的开度的缓冲部件。另外，也可以设置能够同时调整第1流路31的开度和第2流路32的开度的一个缓冲部件。如果设置了这样的缓冲部件，则能够调整通过第1流路31的空气的量和/或通过第2流路32的空气的量，由此能够有效地调整通过第1流路31的空气与通过第2流路32的空气的混合比。
在图3所示的例子中，冷却器34具有与在第1流路31流通的空气接触的多个导热翅片36。导热翅片36设置为能够使在第1流路31流通的空气与在冷却器34内流通的热介质之间进行热交换。因此，导热翅片36构成为可充分地确保在第1流路31流通的空气与冷却器34之间的接触面积，促进在第1流路31流通的空气与在冷却器34内流通的热介质之间的热交换。
图示的冷却器34具有在从与第1方向d1垂直且与水平方向平行的第2方向d2观察时为矩形状的外形。多个导热翅片36互相平行延伸，并且与形成从第2方向d2观察时为矩形状的外形的二组对置的边中的一组对置的边平行地延伸。而且，在图示的例子中，冷却器34配置为形成从第2方向d2观察时为矩形状的外形的各边分别相对于水平方向(第1方向d1)和垂直方向(第3方向d3)倾斜。由此，各导热翅片36也在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上延伸。特别是在图示的例子中，各导热翅片36沿着经由上游侧开口26导入到壳体22内的空气流(即沿着第1方向d1)而以其高度随着从上游侧朝向下游侧而变高的方式延伸。
这样，通过使各导热翅片36沿着空气流以其高度随着从上游侧朝向下游侧而变高的方式延伸，在第1流路31(冷却器34)流通的空气被导热翅片36引导而以随着从上游侧朝向下游侧而朝向上方的方式在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上行进。由此，在第1流路31(冷却器34)流通的空气以朝向配置于冷却部30的上方的加热部40的方式被朝向上方引导。因此，能够抑制通过第1流路31并被冷却器34冷却和除湿后的空气滞留于壳体22内的下侧角部，从而进一步促进通过了第1流路31的空气与通过了位于第1流路31的上方的第2流路32的空气的混合。另外，能够顺畅地朝向加热部40引导该混合后的空气。作为一例，导热翅片36所延伸的方向与水平方向(第1方向d1)所成的角度θ可以是5度以上且40度以下。优选角度θ可以是10度以上且30度以下。
加热部40具有对被冷却部30冷却和除湿后的空气进行加热而调整温度的功能。在图3所示的例子中，加热部40设置于冷却部30的上方。在图示的例子中，加热部40从产生于空气流通路24内的空气流的上游侧起依次具有第1加热器42和第2加热器44。特别是在图示的例子中，在冷却部30的上方设置有第1加热器42，在第1加热器42的上方设置有第2加热器44。被冷却部30冷却和除湿后的空气向上方行进，首先被第1加热器42加热。被第1加热器42加热后的空气进一步向上方行进，接着被第2加热器44加热。被第2加热器44加热后的空气使其行进方向发生弯曲而特别沿着第1方向d1朝向一侧行进，从而流入到加湿部50。这里，在通过了冷却部30的空气被加热部40加热时，由于加热后的空气的饱和水蒸气量增大，因此实际所包含的水蒸气量相对于该饱和水蒸气量的比例(即湿度)会降低。
第1加热器42例如可以是利用在上述冷却回路中为高温的热介质所具有的热量的至少一部分的加热器。具体而言，可以是从在包含冷却器34的上述冷却回路中通过压缩机而使温度变高的热介质向在第1加热器42流通的空气赋予热量的加热器。如果使用这样的加热器作为构成加热部40的加热器，则能够利用冷却部30对空气进行冷却和除湿，并且还能够利用在冷却回路中产生的热量对空气进行加热，因此能够使加热部40消耗的能量降低。第2加热器44例如可以是电加热器。第1加热器42和/或第2加热器44也可以具有可变的加热能力。例如，第2加热器44也可以具有可变的加热能力。作为一例，当使用利用在上述冷却回路中为高温的热介质所具有的热量的至少一部分的加热器来作为第1加热器42，使用具有可变的加热能力的电加热器来作为第2加热器44时，能够降低加热部40所消耗的能量，并且能够高精度地调整在加热部40流通的空气的温度。另外，这里，对加热部40具有第1加热器42和第2加热器44这两个加热器的例子进行了说明，但不限定于此，加热部40也可以具有一个或者三个以上的加热器。
图4是示出从上方观察空气调节装置10的图。在图1和图4所示的例子中，在俯视观察空气调节装置10时，加热器42、44的至少一部分与冷却器34的至少一部分重叠。换言之，加热器42、44的至少一部分位于冷却器34的至少一部分的上方(详细而言为铅垂方向的上方)。再换言之，在从第1方向d1观察时，加热器42、44的至少一部分位于冷却器34的至少一部分的上方，并且如图3所示，在从第2方向d2观察时，加热器42、44的至少一部分位于冷却器34的至少一部分的上方。优选为，在俯视观察空气调节装置10时，第1加热器42的至少一部分和第2加热器44的至少一部分分别与冷却器34的至少一部分重叠。由此，能够减小空气流通路24的水平方向的尺寸。因此，能够减小空气调节装置10的俯视时的尺寸、即占用面积。
加湿部50是为了对被加热部40加热而降低了湿度的空气进行加湿而设置的。因此，加湿部50配置于加热部40的下游侧。在图3所示的例子中，加湿部50配置为位于沿着在空气流通路24内产生的空气流的加热部40与下游侧开口28之间。在图3所示的例子中，加湿部50具有加湿器52，加湿器52具有：储存水W的储存槽54，其朝向上方向空气流通路24内敞开；以及加热装置56，其收纳于储存槽54内，对储存槽54内的水W进行加热。
在图示的例子中，加湿部50相对于加热部40配置于第1方向d1的一侧。特别是加湿器52相对于加热器42、44配置于第1方向d1的一侧。空气流通路24构成为使空气经由朝向第1方向d1的一侧开口的上游侧开口26以大致沿着第1方向d1从一侧朝向另一侧的方式向空气调节装置10(壳体22)内导入，该空气的行进方向分别在冷却部30和加热部40弯曲而以从第1方向d1的另一侧朝向一侧的方式从加热部40向加湿部50行进。由此，能够减小调温调湿部20(壳体22、空气流通路24)的沿着第1方向d1的尺寸，从而能够减小空气调节装置10的俯视时的尺寸、即占用面积。
储存槽54是收纳用于加湿空气的水W的容器。储存槽54由不锈钢等板材形成，具有上表面敞开的箱状的形状。在储存槽54也可以连接有用于向储存槽54内提供水W的提供管和/或用于排出水W的排出管。另外，为了检测储存槽54内的水面的高度，在储存槽54内也可以设置有浮动开关等水面检测器。在该情况下，能够根据水面检测器对水面的检测信号来控制水W向储存槽54内的提供和/或水W从储存槽54内的排出。
加热装置56例如是电加热装置，是为了对储存槽54内的水W进行加热并产生水蒸气而使用的。加热装置56构成为可调节其加热量，从而能够调节从储存于储存槽54的水W产生的水蒸气的量。由此，能够将在加湿部50流通的空气的湿度调节成期望的湿度。
加湿部50经由壳体22的下游侧开口28和连接部18而与送风机12连通。从加热部40向加湿部50流入的空气在储存槽54的上方流通时与从储存槽54内的水W产生的水蒸气混合而对空气的湿度进行调整。调整了湿度后的空气依次通过下游侧开口28和连接部18而向送风机12流入。
在图1和图4所示的例子中，在从上方观察空气调节装置10时，即在俯视观察空气调节装置10时，加湿器52的至少一部分与冷却器34的至少一部分重叠。换言之，加湿器52的至少一部分位于冷却器34的至少一部分的上方，详细而言位于铅垂方向的上方。再换言之，如图2所示，在从空气向调温调湿部20的壳体22的上游侧开口26导入的导入方向(第1方向d1)观察时，加湿器52的至少一部分位于冷却器34的至少一部分的上方，并且如图3所示，在从与第1方向d1垂直且与水平方向平行的方向(第2方向d2)观察时，加湿器52的至少一部分位于冷却器34的至少一部分的上方。
在现有的空气调节装置中，例如，如上述的JP5886463B1所示，空气流通路在侧视时整体形成为大致L字型，在JP5886463B1的图1中形成为类似使“L”顺时针旋转90度后的形状，在该空气流通路内依次配置有冷却器、加热器以及加湿器。而且，加湿器配置于与冷却器的上方远离的位置。由此，现有的空气调节装置存在其空气流通路的水平方向的尺寸变大的课题。然而，能够充分解决这样的课题的空气调节装置是不存在的。特别是在JP5886463B1所示的具有整体形成为大致L字型的空气流通路的空气调节装置中，可认为不可能使水平方向的尺寸缩小某个尺寸以上。
对此，本申请的发明者们通过对冷却器34和加湿器52的配置进行深入研究而认识到能够充分地减小空气流通路24的水平方向的尺寸。即，在本实施方式的空气调节装置10中，配置为在俯视观察空气调节装置10时，加湿器52的至少一部分与冷却器34的至少一部分重叠，因此与现有的空气调节装置相比，能够充分地减小空气流通路24的水平方向的尺寸，能够充分地减小空气调节装置10的俯视时的尺寸、即占用面积。因此，能够有效地使空气调节装置10小型化。
此外，在图1和图4所示的例子中，在沿着空气向调节装置10导入的导入方向(第1方向d1)观察时，加湿器52的至少一部分与加热器42、44的至少一部分重叠。此时，在沿着空气向调节装置10导入的导入方向(第1方向d1)观察时，第1加热器42的至少一部分和第2加热器44的至少一部分也可以分别与加湿器52的至少一部分重叠。由此，能够减小调温调湿部20(壳体22、空气流通路24)的沿着第2方向d2的尺寸，从而能够进一步减小空气调节装置10的俯视时的尺寸、即占用面积。
接着，对空气调节装置10的动作进行说明。
在送风机12的未图示的风扇旋转时，经由连接部18和壳体22的下游侧开口28来吸引壳体22(空气流通路24)内的空气，并且将所吸引的空气向腔室14送出。利用送风机12来吸引壳体22内的空气，从而经由上游侧开口(导入口)26使外部的空气导入到壳体22内。特别是外部的空气经由朝向第1方向d1的一侧开口的上游侧开口26而以大致沿着第1方向d1从一侧朝向另一侧的方式导入到空气调节装置10(壳体22)内。另外，当在上游侧开口26设置有过滤装置的情况下，在该过滤装置中去除外部的空气中可能包含的尘埃等。
经由上游侧开口(导入口)26导入到壳体22内的空气向冷却部30流入。流入到冷却部30的空气的一部分在第1流路31流通，所流入的空气的另一部分在第2流路32流通。在第1流路31流通的空气被冷却器34冷却和除湿。详细而言，在第1流路31流通的空气在冷却器34内沿着导热翅片36流通，经由导热翅片36而与在冷却回路内流通的热介质之间进行热交换，从而进行冷却。此时，空气中所包含的水分冷凝而变成水滴附着于冷却器34(导热翅片36)。该水滴向设置于冷却器34的下方的排水盘内落下。在本实施方式中，如图3所示，冷却器34相对于水平方向(第1方向d1)和垂直方向(第3方向d3)倾斜配置。由此，各导热翅片36沿着经由上游侧开口26导入到壳体22内的空气流(即沿着第1方向d1)而以其高度随着从上游侧朝向下游侧而变高的方式延伸。因此，在第1流路31流通的空气被导热翅片36引导而以随着从上游侧朝向下游侧而朝向上方的方式行进。由此，有效地抑制了通过第1流路31并被冷却器34冷却和除湿后的空气滞留于壳体22内的下侧角部。另外，在第2流路32中空气不被冷却而是直接流通。
通过了第1流路31的空气和通过了第2流路32的空气通过设置于第1流路31和第2流路32的下游侧的空气混合部件38。空气混合部件38例如是设置有多个孔的板状部件(格栅板)，利用该空气混合部件38来促进通过了第1流路31的空气与通过了第2流路32的空气的混合。由此，实现了从冷却部30流入到加热部40的空气的温度和湿度的均匀化。
流入到加热部40的空气依次通过第1加热器42和第2加热器44而被加热。第1加热器42例如是利用在冷却回路中为高温的热介质所具有的热量的至少一部分的加热器。在该情况下，能够利用冷却部30对空气进行冷却和除湿，并且还能够利用在冷却回路中产生的热量对空气进行加热，因此能够减少在加热部40中消耗的能量。第2加热器44例如是具有可变的加热能力的电加热装置。在该情况下，能够高精度地调整在加热部40流通的空气的温度。
被加热部40加热而调整了温度后的空气以从第1方向d1的另一侧朝向一侧的方式从加热部40向加湿部50行进。在加湿部50中，储存于储存槽54内的水W被加热装置56加热。由此，从水W产生水蒸气。从加热部40向加湿部50流入的空气在储存槽54的上方流通时，通过与从储存槽54内的水W产生的水蒸气混合而被加湿。加热装置56构成为可调节其加热量，从而能够调节从储存于储存槽54的水W产生的水蒸气的量。由此，能够将在加湿部50流通的空气的湿度调节成期望的湿度。
被加湿部50调整了湿度后的空气通过被送风机12吸引而从面向加湿部50开口的下游侧开口28经由连接部18流入到送风机12。通过送风机12从加湿部50吸引并向腔室14送出的空气被设置于腔室14内的折流板搅拌。由此，实现了该空气的温度和湿度的均匀化。在腔室14中被搅拌后的空气从腔室14的排出口16通过未图示的送风管而朝向半导体元件制造装置等设备排出。
本实施方式的空气调节装置10是对导入到其内部的空气的温度和湿度进行调整的空气调节装置10，其具有：冷却器34，其对导入到空气调节装置10内的空气进行冷却而使该空气所含有的水分冷凝；加热器42、44，它们对空气进行加热；以及加湿器52，其对空气进行加湿，在俯视观察空气调节装置10时，加湿器52的至少一部分与冷却器34的至少一部分重叠，加热器42、44包含第1加热器42和第2加热器44，在俯视观察时，第1加热器42的至少一部分和第2加热器44的至少一部分分别与冷却器34的至少一部分重叠，在沿着空气向空气调节装置10导入的导入方向观察时，加湿器52的至少一部分与加热器42、44的至少一部分重叠。
根据这样的空气调节装置10，与现有的空气调节装置相比，能够充分地减小空气流通路24的水平方向的尺寸，从而能够充分地减小空气调节装置10的俯视时的尺寸、即占用面积。因此，能够有效地使空气调节装置10小型化。
另外，根据这样的空气调节装置10，能够减小调温调湿部20(壳体22、空气流通路24)的沿着与第1方向d1垂直且与水平方向平行的第2方向d2的尺寸，从而能够进一步减小空气调节装置10的俯视时的尺寸、即占用面积。
在本实施方式的空气调节装置10中，向空气调节装置10内导入的空气的导入口26朝向第1方向d1的一侧开口，加湿器52相对于加热器42、44配置在第1方向d1的一侧。
根据这样的空气调节装置10，能够减小调温调湿部20(壳体22、空气流通路24)的沿着第1方向d1的尺寸，从而能够减小空气调节装置10的俯视时的尺寸、即占用面积。
在本实施方式的空气调节装置10中，冷却器34具有多个导热翅片36，导热翅片36在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上延伸，在冷却器34中流通的空气被导热翅片36引导而以随着从上游侧朝向下游侧而朝向上方的方式在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上行进。
根据这样的空气调节装置10，在第1流路31(冷却器34)流通的空气以朝向配置于冷却部30的上方的加热部40的方式被朝向上方引导。因此，能够抑制通过第1流路31并被冷却器34冷却和除湿后的空气滞留于壳体22内的下侧角部，从而能够促进通过了第1流路31的空气与通过了位于第1流路31的上方的第2流路32的空气的混合。另外，能够顺畅地朝向加热部40引导该混合后的空气。

Claims (3)

1.一种空气调节装置，其对导入到该空气调节装置的内部的空气的温度和湿度进行调整，其中，
该空气调节装置具有：
冷却器，其对导入到所述空气调节装置内的空气进行冷却而使该空气所含有的水分冷凝；
加热器，其对所述空气进行加热；以及
加湿器，其对所述空气进行加湿，
在俯视观察所述空气调节装置时，所述加湿器的至少一部分与所述冷却器的至少一部分重叠，
所述加热器包含第1加热器和第2加热器，在俯视观察时，所述第1加热器的至少一部分和所述第2加热器的至少一部分分别与所述冷却器的至少一部分重叠，
在沿着空气向所述空气调节装置导入的导入方向观察时，所述加湿器的至少一部分与所述加热器的至少一部分重叠。
2.根据权利要求1所述的空气调节装置，其中，
向所述空气调节装置内导入空气的导入口朝向第1方向的一侧开口，
所述加湿器相对于所述加热器配置在所述第1方向的一侧。
3.根据权利要求1或2所述的空气调节装置，其中，
所述冷却器具有多个导热翅片，
所述导热翅片在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上延伸，
在所述冷却器中流通的空气被所述导热翅片引导而以随着从上游侧朝向下游侧而朝向上方的方式在相对于水平方向和垂直方向倾斜的方向上行进。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019177414A1 (ko) * 2018-03-16 2019-09-19 엘지전자 주식회사 공기조화기의 실내기
CN117212905A (zh) * 2018-03-16 2023-12-12 Lg电子株式会社 空调设备的室内机
CN109348936A (zh) * 2018-10-12 2019-02-19 马鞍山沐及信息科技有限公司 一种植物花卉温室专用温控装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86106807A (zh) * 1985-08-30 1987-04-29 德里康空气控股有限公司 空气调节装置及方法
JPH09229408A (ja) * 1996-02-21 1997-09-05 Shimizu Corp 空気清浄装置
JP2001201098A (ja) * 2000-01-24 2001-07-27 Kimura Kohki Co Ltd 床置型空気調和機
JP2002162053A (ja) * 2000-11-24 2002-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 空気調和装置
JP2004003716A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Mitsubishi Electric Corp 空気調和機
JP2007010266A (ja) * 2005-07-01 2007-01-18 Osaka Gas Co Ltd 空調装置
JP2009092298A (ja) * 2007-10-05 2009-04-30 Daikin Ind Ltd 空気調和装置
CN204513573U (zh) * 2014-12-19 2015-07-29 赛鼎工程有限公司 一种空气调节装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3144901A (en) * 1960-05-13 1964-08-18 Lizenzia A G Movable air conditioning apparatus
JP3709815B2 (ja) * 2001-07-18 2005-10-26 ダイキン工業株式会社 空気調和装置
JP3891207B2 (ja) * 2005-06-17 2007-03-14 ダイキン工業株式会社 調湿装置
CN102007346B (zh) * 2008-04-16 2014-02-26 三菱电机株式会社 热交换换气装置
JP4502065B1 (ja) * 2009-01-30 2010-07-14 ダイキン工業株式会社 ドレンレス空気調和装置
CN103017267B (zh) * 2009-03-27 2015-09-30 三菱电机株式会社 空气调节器
US8886024B2 (en) * 2011-06-01 2014-11-11 Suarez Corporation Industries Portable air conditioning apparatus
US9631834B2 (en) * 2011-11-21 2017-04-25 Lennox Industries Inc. Dehumidifier having split condenser configuration
JP5375945B2 (ja) * 2011-12-28 2013-12-25 ダイキン工業株式会社 温度および湿度の調整を行う空調システム
EP2884191B1 (en) * 2013-10-23 2019-04-17 Lg Electronics Inc. Air handler and method for assembling an air handler
EP3985322A3 (en) * 2015-05-15 2022-08-31 Nortek Air Solutions Canada, Inc. Air conditioning system with a liquid to air membrane energy exchanger
JP5886463B1 (ja) 2015-08-07 2016-03-16 伸和コントロールズ株式会社 空気調和装置及びその運転方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86106807A (zh) * 1985-08-30 1987-04-29 德里康空气控股有限公司 空气调节装置及方法
JPH09229408A (ja) * 1996-02-21 1997-09-05 Shimizu Corp 空気清浄装置
JP2001201098A (ja) * 2000-01-24 2001-07-27 Kimura Kohki Co Ltd 床置型空気調和機
JP2002162053A (ja) * 2000-11-24 2002-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 空気調和装置
JP2004003716A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Mitsubishi Electric Corp 空気調和機
JP2007010266A (ja) * 2005-07-01 2007-01-18 Osaka Gas Co Ltd 空調装置
JP2009092298A (ja) * 2007-10-05 2009-04-30 Daikin Ind Ltd 空気調和装置
CN204513573U (zh) * 2014-12-19 2015-07-29 赛鼎工程有限公司 一种空气调节装置

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