CN109698157B - 晶圆片盒的固定装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种晶圆片盒的固定装置，涉及晶圆清洗设备的技术领域。晶圆片盒的固定装置包括支撑板组件、压板组件和顶板组件；支撑板组件用于对晶圆片盒的下端位置限定；压板组件的一端连接支撑板组件，压板组件用于对晶圆片盒的侧面位置限定；压板组件的另一端连接顶板组件，顶板组件能够挤压压板组件，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定。解决了晶圆片盒的安装夹具的结构复杂，浸泡清洗晶圆时，晶圆固定不牢固，容易损坏的问题。本发明利用支撑板组件对晶圆片盒的下端位置限定，利用压板组件对晶圆片盒的侧面位置限定，通过顶板组件对压板组件的挤压，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定，从而确保晶圆片盒的连接位置牢固。

Description

晶圆片盒的固定装置
技术领域
本发明涉及晶圆清洗设备的技术领域，尤其是涉及一种晶圆片盒的固定装置。
背景技术
晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，对半导体工业的发展起着很重要的作用。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在硅晶片上可以加工制作成各种电路元件结构，而成为有特点电性功能的集成电路产品。
在制作晶圆的过程中，需要对晶圆进行清洗，清洗时，需要采用晶圆片盒对晶圆进行固定，然后将晶圆片盒连接在安装夹具上，现有的安装夹具大多采用金属的架体，以对晶圆片盒进行固定。
但是，由于安装夹具的部件多，连接结构比较复杂，随着高端晶圆的清洗对工艺的要求越来越高，晶圆片盒固定在安装夹具上，对晶圆进行浸泡清洗时，就会使晶圆的固定位置不牢固，严重时还会导致晶圆损坏。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆片盒的固定装置，以解决现有技术中存在的，晶圆片盒的安装夹具的结构复杂，浸泡清洗晶圆时，晶圆固定不牢固，容易损坏的技术问题。
本发明提供的一种晶圆片盒的固定装置，包括支撑板组件、压板组件和顶板组件；
支撑板组件用于对晶圆片盒的下端位置限定；
压板组件的一端连接支撑板组件，压板组件用于对晶圆片盒的侧面位置限定；
压板组件的另一端连接顶板组件，顶板组件能够挤压压板组件，使压板组件对晶圆片盒的上端位置限定。
进一步的，支撑板组件包括支撑板；
压板组件的一端连接在支撑板上，支撑板上设有用于对晶圆片盒的下端限位的第一限位孔；
支撑板的一侧设有第一限位凸台，支撑板的另一侧设有第二限位凸台。
进一步的，支撑板上设有第一连接孔，压板组件的一端通过连接件连接在第一连接孔内。
进一步的，压板组件包括限位柱和限位板；
限位板上设有第二限位孔，限位柱穿设在第二限位孔内；
限位柱的数量至少为四个，第一连接孔、连接件、第二限位孔的数量均至少为四个，一个限位柱与一个第一连接孔、一个连接件、一个第二限位孔相对应；
每个限位柱的一端通过一个连接件连接在一个第一连接孔内；每个限位柱的另一端穿过一个第二限位孔连接顶板组件。
进一步的，限位板的下端面设有对晶圆片盒的上端进行限位的侧挡板。
进一步的，限位板的侧面连接有提手。
进一步的，顶板组件包括顶板、旋转轴和限位偏心轮；
每个限位柱的另一端均连接在顶板上；顶板上设有限位槽，旋转轴连接在顶板上，限位偏心轮连接在旋转轴上，限位偏心轮设置在限位槽内，限位偏心轮能够抵接在限位板的上端面。
进一步的，顶板的侧面设有第二连接孔，旋转轴连接在第二连接孔内，并且旋转轴伸出顶板的端面连接有旋钮。
进一步的，限位偏心轮的外周面设有用于与限位板相抵接的限位面。
进一步的，晶圆片盒的固定装置是采用聚偏氟乙烯材料制作的。
本发明提供的一种晶圆片盒的固定装置，支撑板组件用于对晶圆片盒的下端位置进行限定，使晶圆片盒的下端位置稳固；压板组件的一端连接支撑板组件，以对压板组件的一端位置进行固定，使压板组件能够对晶圆片盒的侧面位置进行限定，确保晶圆片盒的侧面位置稳固；压板组件的另一端连接顶板组件，以对压板组件的另一端位置进行固定；并且顶板组件能够挤压压板组件，使压板组件能够对晶圆片盒的上端位置进行限定，使晶圆片盒的上端位置稳固。本发明利用支撑板组件对晶圆片盒的下端位置限定，利用压板组件对晶圆片盒的侧面位置限定，通过顶板组件对压板组件的挤压，对晶圆片盒的上端位置限定，从而确保晶圆片盒的连接位置牢固，确保了晶圆在浸泡清洗过程中连接位置的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置上端面的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置下端面的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置的前视图；
图4为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置的后视图；
图5为图4中沿A－A方向的剖视图；
图6为图4中沿B－B方向的剖视图；
图7为本发明实施例提供的顶板组件的分解结构示意图；
图8为本发明实施例提供的限位偏心轮的结构示意图。
图标：100－支撑板组件；200－压板组件；300－顶板组件；101－支撑板；102－第一限位孔；103－第一限位凸台；104－第二限位凸台；105－第一连接孔；106－连接件；201－限位柱；202－限位板；203－第二限位孔；204－侧挡板；205－提手；301－顶板；302－旋转轴；303－限位偏心轮；304－限位槽；305－第二连接孔；306－旋钮；307－限位面；308－轴套。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
图1为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置上端面的结构示意图；图2为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置下端面的结构示意图。
如图1～2所示，本发明提供的一种晶圆片盒的固定装置，包括支撑板组件100、压板组件200和顶板组件300；
支撑板组件100用于对晶圆片盒的下端位置限定；
压板组件200的一端连接支撑板组件100，压板组件200用于对晶圆片盒的侧面位置限定；
压板组件200的另一端连接顶板组件300，顶板组件300能够挤压压板组件200，使压板组件200对晶圆片盒的上端位置限定。
在图1中，支撑板组件100连接在清洗设备的上，晶圆片盒放置在支撑板组件100的上端，以利用支撑板组件100对晶圆片盒的下端位置进行限定。
压板组件200的下端固定连接在支撑板组件100上，使用时，将压板组件200向上抬起，晶圆片盒放置在支撑板组件100的上端面，然后下放压板组件200，将晶圆片盒限定在压板组件200内，以对晶圆片盒的侧面位置进行限定。
压板组件200的上端固定连接顶板组件300，使用时，向下挤压顶板组件300，使顶板组件300挤压挤压压板组件200，压板组件200挤压晶圆片盒的上端位置，对晶圆片盒的上端位置进行固定，从而完成了晶圆片盒的位置固定过程。
本发明采用支撑板组件100、压板组件200、顶板组件300相结合的方式，结构设计简单，晶圆片盒的位置固定牢固，方便对晶圆进行清洗。
图3为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置的前视图；图4为本发明实施例提供的晶圆片盒的固定装置的后视图。
如图3～4所示，进一步的，支撑板组件100包括支撑板101；
压板组件200的一端连接在支撑板101上，支撑板101上设有用于对晶圆片盒的下端限位的第一限位孔102；
支撑板101的一侧设有第一限位凸台103，支撑板101的另一侧设有第二限位凸台104。
在图3中，支撑板101为长方形板，压板组件200的下端固定连接在支撑板101上，以利用支撑板101对压板组件200的下端位置进行固定。
在图1中，在支撑板101的中间位置设有第一限位孔102，第一限位孔102为长方形通孔，以利用第一限位孔102对晶圆片盒的下端位置进行卡紧固定。
在图1、图3、图4中，支撑板101的上端面右侧形成第一限位凸台103，第一限位凸台103是在支撑板101的上端面右侧形成的长方形凸起，以利用第一限位凸台103对晶圆片盒的下端右侧位置进行限定。
在图1、图3、图4中，支撑板101的上端面左侧形成第二限位凸台104，第二限位凸台104是在支撑板101的上端面左侧形成的长方形凸起，以利用第二限位凸台104对晶圆片盒的上端左侧位置进行限定。
图5为图4中沿A－A方向的剖视图；图6为图4中沿B－B方向的剖视图。
如图5～6所示，进一步的，支撑板101上设有第一连接孔105，压板组件200的一端通过连接件106连接在第一连接孔105内。
在图2、图6中，在支撑板101的底面形成有第一连接孔105，第一连接孔105是下宽上窄的阶梯孔。
连接件106采用螺钉。
在压板组件200的下端设有螺纹孔，螺钉由下至上穿过阶梯孔连接在螺纹孔内，以利用螺钉将压板组件200的下端连接在支撑板101上。
进一步的，压板组件200包括限位柱201和限位板202；
限位板202上设有第二限位孔203，限位柱201穿设在第二限位孔203内；
限位柱201的数量至少为四个，第一连接孔105、连接件106、第二限位孔203的数量均至少为四个，一个限位柱201与一个第一连接孔105、一个连接件106、一个第二限位孔203相对应；
每个限位柱201的一端通过一个连接件106连接在一个第一连接孔105内；每个限位柱201的另一端穿过一个第二限位孔203连接顶板组件300。
在图1中，限位板202为长方形板，限位板202的面积小于支撑板101的面积。
第二限位孔203是在限位板202上形成的通孔。
限位柱201为竖直设置的圆柱。
本发明的一个实施例中，在限位板202的四个角形成四个第二限位孔203，在支撑板101的四个角形成四个第一连接孔105，限位柱201的数量为四个，每个限位柱201的下端均采用一个螺钉连接一个第一连接孔105内，每个限位柱201的上端均穿过一个第二限位孔203连接在顶板组件300上，限位板202能够通过四个第二限位孔203沿着四个限位柱201在竖直方向移动，以将晶圆片盒限定在支撑板101和限位板202之间；使用时，将限位板202沿着四个限位柱201向上抬起，然后将晶圆片盒放置在支撑板101的上端面，释放限位板202，使限位板202的下端面抵接在晶圆片盒的上端，挤压顶板组件300，使顶板组件300对限位板202进行挤压，从而使限位板202挤压晶圆片盒的上端，完成了对晶圆片盒的位置固定。
本发明的其他实施例中，在限位板202的左侧设置三个第二限位孔203，在限位板202的右侧设置三个第二限位孔203；在支撑板101的左侧形成三个第一连接孔105，在支撑板101的右侧形成三个第一连接孔105；限位柱201的数量为六个，以利用六个限位柱201对支撑板101和限位板202之间进行连接固定。采用六个限位柱201的方式，使支撑板101和限位板202之间连接的更加的牢固。
在本发明的其他实施例中，第二限位孔203的数量、第一连接孔105的数量、限位柱201的数量还可以为其他的数量。
在本发明的其他实施例中，支撑板101上右侧的第一连接孔105，是依次穿设支撑板101、第一限位凸台103的阶梯孔；支撑板101上左侧的第一连接孔105，是依次穿设支撑板101、第二限位凸台104的阶梯孔；使用时，右侧的限位柱201下端采用螺钉连接在右侧的阶梯孔内，左侧的限位柱201下端采用螺钉连接在左侧的阶梯孔内，以利用两个限位柱201分别将第一限位凸台103、第二限位凸台104连接在支撑板101上。
另外，在支撑板101的右侧采用螺钉连接右压板，以利用右压板对右侧限位柱201的侧面进行固定；在支撑板101的左侧采用螺钉连接左压板，以利用左压板对左侧限位柱201的侧面进行固定。
进一步的，限位板202的下端面设有对晶圆片盒的上端进行限位的侧挡板204。
在图2中，在限位板202的下端面前侧、后侧分别形成向下凸起的侧挡板204，以利用前侧、后侧的侧挡板204对晶圆片盒上端的前侧、后侧位置进行限定，利用左侧、右侧的限位柱201对晶圆片盒上端的左侧、右侧位置进行限定。
进一步的，限位板202的侧面连接有提手205。
在图2中，在限位板202的左侧面、右侧面分别采用螺栓连接提手205，提手为圆柱状，便于作业人员的左手、右手分别握持两个提手205将限位板202向上抬起，使限位板202沿着限位柱201向上运动，然后在支撑板101和限位板202下端面之间放入晶圆片盒。
图7为本发明实施例提供的顶板组件的分解结构示意图；图8为本发明实施例提供的限位偏心轮的结构示意图。
如图7～8所示，进一步的，顶板组件300包括顶板301、旋转轴302和限位偏心轮303；
每个限位柱201的另一端均连接在顶板301上；顶板301上设有限位槽304，旋转轴302连接在顶板301上，限位偏心轮303连接在旋转轴302上，限位偏心轮303设置在限位槽304内，限位偏心轮303能够抵接在限位板202的上端面。
在图7中，顶板301为长方形板，在长方形板的左侧、右侧分别形成向内凹陷的孔，限位柱201的上端采用螺栓连接在孔内，以对限位柱201的上端位置进行固定。
在顶板301的中间位置设有限位槽304，限位槽304是在顶板301的中间位置形成的方形通孔。
旋转轴302连接在顶板301上，限位偏心轮303通过轴套308连接在旋转轴302上，限位偏心轮303和旋转轴302之间采用键连接，并且限位偏心轮303设置在限位槽304内。
当手动对旋转轴302进行旋转时，旋转轴302能够带动限位偏心轮303进行旋转，从而使限位偏心轮303的外周面抵接在限位板202的上端面，利用限位偏心轮303对限位板202的上端面进行抵接固定。
进一步的，顶板301的侧面设有第二连接孔305，旋转轴302连接在第二连接孔305内，并且旋转轴302伸出顶板301的端面连接有旋钮306。
在顶板301上，与限位槽304相连通的位置设有第二连接孔305，第二连接孔305的数量为两个，两个第二连接孔305相对设置，以使旋转轴302的内侧端连接在内侧的第二连接孔305内，旋转轴302的外侧端连接在外侧的第二连接孔305内，利用两个第二连接孔305分别对旋转轴302的两端位置进行固定。
旋转轴302的外侧端伸出顶板301的外侧面，并且采用螺钉、垫片将旋钮306连接在旋转轴302的外侧端。旋转轴302和旋钮306之间采用键连接。
当顺时针方向旋转旋钮306时，通过旋转轴302带动限位偏心轮303进行顺时针方向旋转，从而完成限位偏心轮303的外周面抵接在限位板202上端面的过程，对晶圆片盒进行压紧固定；当逆时针方向旋转旋钮306时，通过旋转轴302带动限位偏心轮303进行逆时针方向旋转，使限位偏心轮303的外周面脱离限位板202的上端面，对晶圆片盒进行释放。
进一步的，限位偏心轮303的外周面设有用于与限位板202相抵接的限位面307。
在图8中，限位面307是在限位偏心轮303的外周面，并且沿着限位偏心轮303的径向切割形成的长方形面，以使限位偏心轮303沿着顺时针方向旋转时，能够使限位面307抵接在限位板202的上端面，限位偏心轮303和限位板202的上端面之间为面接触，从而确保限位偏心轮303能够牢固的抵接在限位板202的上端面。
进一步的，晶圆片盒的固定装置是采用聚偏氟乙烯材料制作的。
在对某些晶圆进行浸泡清洗的过程中，要求晶圆直接或间接接触的所有物体都不能含有金属离子，而现有技术的晶圆片盒夹具采用金属材料制作，含有金属零部件，这就会导致晶圆在清洗的过程中增加了污染源，导致晶圆达不到清洗要求。
本申请的晶圆片盒的固定装置采用聚偏氟乙烯材料制作，解决了特定晶圆在清洗的过程中，不能接触金属的问题。
本发明提供的晶圆片盒的固定装置，每次安装晶圆片盒时，只需要手握提手205将限位板202向上抬起，将晶圆片盒放置在支撑板101的上端面，顺时针方向旋转旋钮306，使限位偏心轮303的限位面307抵接在限位板202的上端面，限位板202的下端面抵接在晶圆片盒的上端，就能够对晶圆片盒的位置进行固定，保证了晶圆片盒在浸泡抖动过程中的稳定性；本发明的结构设计简单，操作方便，并且采用聚偏氟乙烯的材料制作，保证了特定晶圆在清洗的过程中，不会直接或间接接触金属离子。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (2)

1.一种晶圆片盒的固定装置，其特征在于，包括支撑板组件(100)、压板组件(200)和顶板组件(300)；
所述支撑板组件(100)用于对晶圆片盒的下端位置限定；
所述压板组件(200)的一端连接所述支撑板组件(100)，所述压板组件(200)用于对晶圆片盒的侧面位置限定；
所述压板组件(200)的另一端连接所述顶板组件(300)，所述顶板组件(300)能够挤压所述压板组件(200)，使所述压板组件(200)对晶圆片盒的上端位置限定；
所述支撑板组件(100)包括支撑板(101)；
所述压板组件(200)的一端连接在所述支撑板(101)上，所述支撑板(101)上设有用于对晶圆片盒的下端限位的第一限位孔(102)；
所述支撑板(101)的一侧设有第一限位凸台(103)，所述支撑板(101)的另一侧设有第二限位凸台(104)；
所述支撑板(101)上设有第一连接孔(105)，所述压板组件(200)的一端通过连接件(106)连接在所述第一连接孔(105)内；
所述压板组件(200)包括限位柱(201)和限位板(202)；
所述限位板(202)上设有第二限位孔(203)，所述限位柱(201)穿设在所述第二限位孔(203)内；
所述限位柱(201)的数量至少为四个，所述第一连接孔(105)、所述连接件(106)、所述第二限位孔(203)的数量均至少为四个，一个所述限位柱(201)与一个所述第一连接孔(105)、一个所述连接件(106)、一个所述第二限位孔(203)相对应；
每个所述限位柱(201)的一端通过一个所述连接件(106)连接在一个所述第一连接孔(105)内；每个所述限位柱(201)的另一端穿过一个所述第二限位孔(203)连接所述顶板组件(300)；
所述限位板(202)的下端面设有对晶圆片盒的上端进行限位的侧挡板(204)；
所述限位板(202)的侧面连接有提手(205)；
所述顶板组件(300)包括顶板(301)、旋转轴(302)和限位偏心轮(303)；
每个所述限位柱(201)的另一端均连接在所述顶板(301)上；所述顶板(301)上设有限位槽(304)，所述旋转轴(302)连接在所述顶板(301)上，所述限位偏心轮(303)连接在所述旋转轴(302)上，所述限位偏心轮(303)设置在所述限位槽(304)内，所述限位偏心轮(303)能够抵接在所述限位板(202)的上端面；
所述顶板(301)的侧面设有第二连接孔(305)，所述旋转轴(302)连接在所述第二连接孔(305)内，并且所述旋转轴(302)伸出所述顶板(301)的端面连接有旋钮(306)；
所述限位偏心轮(303)的外周面设有用于与所述限位板(202)相抵接的限位面(307)。
2.根据权利要求1所述的晶圆片盒的固定装置，其特征在于，所述晶圆片盒的固定装置是采用聚偏氟乙烯材料制作的。
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