CN207082521U - 一种硅片花篮固定机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮固定架包括：花篮支撑座，所述花篮支撑座为水平设置的平板，所述花篮支撑座上设置有限位突出杆；竖直支撑杆，所述竖直支撑杆设置于所述花篮支撑座的一侧，与所述花篮支撑座垂直设置；以及顶部限位板，所述顶部限位板上设置有限位爪以及花篮夹持装置。本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型的硅片花篮固定机构，能够对硅片花篮实现精确的定位以及固定，使得硅片花篮在插片的过程中保持不动。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种硅片花篮固定机构。
背景技术
硅片自动插片机包括硅片传送机构、在线检测机构、坏片剔除机构以及花篮提升机构，所述硅片传送机构用于单个硅片的传送，将硅片传送至在线检测机构处，在线检测机构对硅片进行检测，检测出的坏片经过坏片剔除机构剔除，好片继续经硅片传送机构传送至硅片花篮处，硅片花篮安装于硅片花篮提升机构上，经过花篮提成机构一点一点向上提升，每当有一篇硅片每插进硅片花篮中，所述花篮提升机构携带硅片花篮向上移动一格。
在将硅片花篮安装于花篮提升机构上时，经常出现硅片花篮与花篮提升机构之间配合不紧密，花篮倾斜等问题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提供一种硅片花篮固定机构，能够实现对硅片花篮的精确定位。
本实用新型提供一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮固定架包括：
花篮支撑座，所述花篮支撑座为水平设置的平板，所述花篮支撑座上设置有限位突出杆；
竖直支撑杆，所述竖直支撑杆设置于所述花篮支撑座的一侧，与所述花篮支撑座垂直设置；以及
顶部限位板，所述顶部限位板上设置有限位爪以及花篮夹持装置。
优选地，所述硅片花篮包括平行设置的上端板和下端板，所述上端板和下端板之间设置有定位杆和加强杆；
所述上端板和下端板为U型板，所述U型板包括横置的主板以及与所述主板分别垂直的两个支脚，所述两个支脚之间形成第一凹槽；
所述加强杆分别设置于所述主板的中部以及两个支脚上，所述定位杆设置于所述主板的两个顶角处，所述上端板和下端板上与所述定位杆对应的位置上分别设置有多个挂耳轴。
优选地，所述花篮支撑座远离所述竖直支撑杆的一端设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述第一凹槽相匹配。
优选地，所述限位突出杆顶部设置有安装部，所述安装部上安装有定位轮，所述定位轮上设置有定位卡槽；
所述限位突出杆的高度与所述挂耳轴的高度相等。
优选地，所述限位爪包括安装座、支撑杆以及限位尖爪，所述限位爪通过安装座安装于所述顶部限位板上，所述支撑杆与所述安装座垂直设置，所述限位尖爪与所述支撑杆垂直设置。
优选地，所述花篮夹持装置设置于所述限位爪中间，所述花篮夹持装置包括左夹持臂和右夹持臂，所述左夹持臂和所述右夹持臂相对设置，所述左夹持臂和所述右夹持臂相对的一侧分别设置有左夹持工装和右夹持工装，所述左夹持工装和所述右夹持工装相对的一端分别设置有半圆形的夹持口。
优选地，所述左夹持臂和所述右夹持臂分别连接有驱动气缸，所述驱动气缸驱动所述左夹持臂和所述右夹持臂靠近或者远离。
本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型的硅片花篮固定机构，能够对硅片花篮实现精确的定位以及固定，使得硅片花篮在插片的过程中保持不动。
附图说明
图1是本实用新型的硅片花篮固定架的结构示意图；
图2是本实用新型的硅片花篮的结构示意图；
图3是本实用新型的花篮夹持装置的结构示意图。
具体实施方式
为了更好的理解本实用新型，下面结合具体实施例和附图对本实用新型进行进一步的描述。
如图1和图2所示，本实用新型提供一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架1以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮2。
其中，所述硅片花篮固定架1包括：花篮支撑座3、竖直支撑杆4以及顶部限位板5；进一步地，所述花篮支撑座3为水平设置的平板，所述花篮支撑座3上设置有限位突出杆31；所述竖直支撑杆4设置于所述花篮支撑座3的一侧，与所述花篮支撑座3垂直设置；所述顶部限位板5上设置有限位爪51以及花篮夹持装置52。
进一步地，所述硅片花篮2包括平行设置的上端板21和下端板22，所述上端板21和下端板22之间设置有定位杆27和加强杆23；所述上端板21和下端板22为U型板，所述U型板包括横置的主板24以及与所述主板分别垂直的两个支脚25，所述两个支脚25之间形成第一凹槽26；所述加强杆23分别设置于所述主板24的中部以及两个支脚25上，所述定位杆27设置于所述主板24的两个顶角处，所述上端板21和下端板22上与所述定位杆27对应的位置上分别设置有多个挂耳轴28。
所述硅片花篮固定架1用于实现对所述硅片花篮2实现固定以及定位，具体地，所述花篮支撑座3用于承托所述花篮2的下端板22，所述花篮支撑座3远离所述竖直支撑杆4的一端设置有第二凹槽32，所述第二凹槽32与所述硅片花篮2上的第一凹槽26相匹配。
具体地，将所述硅片花篮2放置于所述花篮支撑座3上时，将所述硅片花篮2的第一凹槽26的开口向外，所述硅片花篮2上的第一凹槽26与所述花篮支撑座3上的第二凹槽32相对应；具体地，所述第一凹槽26与所述第二凹槽32工硅片传送机构进行送片。
进一步地，所述花篮支撑座3上设置有限位突出杆31，所述限位突出杆31用于对所述硅片花篮2的定位杆27进行定位，具体地，所述限位突出杆31顶部设置有安装部311，所述安装部311上安装有定位轮312，所述定位轮312上设置有定位卡槽313；在所述硅片花篮2放置于所述花篮支撑座3上时，所述硅片花篮2的定位杆27分别与所述限位突出杆31相抵，其中，所述定位轮312上的定位卡槽313实现对所述定位杆27的前后以及左右的定位；进一步地，所述限位突出杆31的高度与所述挂耳轴28的高度相等，以实现所述限位突出杆31卡装于所述定位轮312上的定位卡槽313内。
所述竖直支撑杆4连接所述花篮支撑座3以及顶部限位板5，所述竖直支撑杆4背部设置有连接装置，用于与花篮提升机构连接，花篮提成机构带动所述花篮固定机构间歇性向上移动。
进一步地，顶部限位板5上设置有限位爪51以及花篮夹持装置52，所述限位爪51用于实现对硅片花篮2高度方向上的限定，所述花篮夹持装置52用于夹持所述上端板21上的挂耳轴28，以实现对硅片花篮2的固定。
进一步地，所述限位爪51包括安装座511、支撑杆512以及限位尖爪513，所述限位爪51通过安装座511安装于所述顶部限位板5上，所述支撑杆512与所述安装座511垂直设置，所述限位尖爪513与所述支撑杆512垂直设置。
在所述硅片花篮2放置于所述花篮支撑座3上时，所述硅片花篮2的上端板21与所述限位尖爪513相抵，以实现对所述硅片花篮2高度方向的定位。
进一步地，所述花篮夹持装置52设置于所述限位爪51中间，所述花篮夹持装置52包括左夹持臂521和右夹持臂522，所述左夹持臂521和所述右夹持臂522相对设置，所述左夹持臂521和所述右夹持臂522相对的一侧分别设置有左夹持工装523和右夹持工装524，所述左夹持工装523和所述右夹持工装524相对的一端分别设置有半圆形的夹持口525。所述左夹持臂521和所述右夹持臂522分别连接有驱动气缸，所述驱动气缸驱动所述左夹持臂521和所述右夹持臂522靠近或者远离。所述左夹持臂521和所述右夹持臂522靠近或者远离，以实现对所述挂耳轴28的夹紧或者放松。
应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
最后应说明的是：显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。
Claims (7)
1.一种硅片花篮固定机构，所述花篮固定机构包括竖直设置的硅片花篮固定架以及与所述硅片花篮固定架配套使用的硅片花篮，其特征在于：所述硅片花篮固定架包括：
花篮支撑座，所述花篮支撑座为水平设置的平板，所述花篮支撑座上设置有限位突出杆；
竖直支撑杆，所述竖直支撑杆设置于所述花篮支撑座的一侧，与所述花篮支撑座垂直设置；以及
顶部限位板，所述顶部限位板上设置有限位爪以及花篮夹持装置。
2.根据权利要求1所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述硅片花篮包括平行设置的上端板和下端板，所述上端板和下端板之间设置有定位杆和加强杆；
所述上端板和下端板为U型板，所述U型板包括横置的主板以及与所述主板分别垂直的两个支脚，所述两个支脚之间形成第一凹槽；
所述加强杆分别设置于所述主板的中部以及两个支脚上，所述定位杆设置于所述主板的两个顶角处，所述上端板和下端板上与所述定位杆对应的位置上分别设置有多个挂耳轴。
3.根据权利要求2所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述花篮支撑座远离所述竖直支撑杆的一端设置有第二凹槽，所述第二凹槽与所述第一凹槽相匹配。
4.根据权利要求2所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述限位突出杆顶部设置有安装部，所述安装部上安装有定位轮，所述定位轮上设置有定位卡槽；
所述限位突出杆的高度与所述挂耳轴的高度相等。
5.根据权利要求1所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述限位爪包括安装座、支撑杆以及限位尖爪，所述限位爪通过安装座安装于所述顶部限位板上，所述支撑杆与所述安装座垂直设置，所述限位尖爪与所述支撑杆垂直设置。
6.根据权利要求1所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述花篮夹持装置设置于所述限位爪中间，所述花篮夹持装置包括左夹持臂和右夹持臂，所述左夹持臂和所述右夹持臂相对设置，所述左夹持臂和所述右夹持臂相对的一侧分别设置有左夹持工装和右夹持工装，所述左夹持工装和所述右夹持工装相对的一端分别设置有半圆形的夹持口。
7.根据权利要求6所述的硅片花篮固定机构，其特征在于：所述左夹持臂和所述右夹持臂分别连接有驱动气缸，所述驱动气缸驱动所述左夹持臂和所述右夹持臂靠近或者远离。
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|---|---|---|---|---|
| CN108649010A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-10-12 | 张家港市超声电气有限公司 | 硅片花篮的翻转机构 |
| CN109698157A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-04-30 | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） | 晶圆片盒的固定装置 |
| CN110950020A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-04-03 | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 | 一种翻舟装置 |
| CN112103232A (zh) * | 2020-08-24 | 2020-12-18 | 昆明鼎承启鑫科技有限公司 | 一种硅片插片花篮的定位装置 |
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