JP2002057201A - ウエハカセットおよびウエハカセットハンガー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 上方寸法の余裕のない狭い空間への横向き投
入・取り出しに使用できるウエハカセットおよびウエハ
カセットハンガーを提供する。 【解決手段】 溝を有する２枚の側面板１３が対向して
連結されたウエハカセット１１を保持するウエハカセッ
トハンガー１は、把持部材３に取り付けられたプッシャ
ー４を押し込むと連結部８の作用により一対のチャック
５が開き、チャック５が開いた状態でウエハカセットハ
ンガー１をウエハカセット１１の上方から降下させ、カ
セット保持ピン６がピン１２の下にくるように位置合わ
せしてプッシャー４を解放することによりチャック５が
閉じて、カセット保持ピン６がピン１２を支持した状態
で持ち運びができる。把持部材３はウエハカセット１１
の側面に位置するので、狭い空間への横向き投入が可能
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハを運搬した
り各種の処理を行う際にウエハを収納するウエハカセッ
トと、このウエハカセットを保持するために使用するウ
エハカセットハンガーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程において、ウエハはウエ
ハカセットに収納された状態で運搬され、一部の工程で
は、ウエハカセットに収納されたままの状態でウエハに
各種の処理が施される。ウエハカセットを運搬する際
に、作業者の手等がウエハに触れることを防止するため
に、ウエハカセットを保持するウエハカセットハンガー
が、従来から用いられている。

【０００３】従来のウエハカセットおよびウエハカセッ
トハンガーの構成の一例を、図５に示す。従来のウエハ
カセット２８は、溝が形成された２枚の側面板３０が対
向して結合されている。このウエハカセット２８を運搬
する際には、ウエハカセットハンガー２５のハンガー把
持部２６を手で把持してウエハカセット２８の下から差
し込み、ウエハカセット２８の両側に突き出た上面突起
部２９をウエハカセット係止部２７で引っ掛けて保持す
る。

【０００４】また、このウエハカセットハンガー２５の
他に、ウエハカセット２８を洗浄工程ラインなどに投入
する際に使用される、テフロン（登録商標）製Ｙ字型の
ウエハカセットハンガー（図示省略）もある。このＹ字
型ウエハカセットハンガーは、Ｙ字型に分岐した先端部
分が鈎状に形成されており、ウエハカセット２８の側面
板３０の上面折り返し部分を引っ掛けることにより、ウ
エハカセット２８を保持する。

【０００５】ウエハカセットの材質については、耐熱、
耐薬性に優れたテフロンなどのフッ素系樹脂によって形
成されるものと、金属によって形成されるものとに大別
される。金属カセットは、ウエハを収納支持する溝が形
成されたアルミの側面板とステンレスの連結棒で構成さ
れ、主として半導体集積回路が形成されたウエハの高温
保存などのため、クリーンオーブンにウエハを投入する
際に使用される。

【０００６】クリーンオーブンを使用する工程には、レ
ジスト塗布前のウエハ乾燥や、レジスト塗布後のソフト
ベーク、現像後のハードベークなどがあり、これらの工
程における炉内温度がテフロンカセットの耐熱温度を超
えるので、金属カセットが使用される。

【０００７】図６に、金属カセットをクリーンオーブン
に投入する従来の様子を示す。クリーンオーブン２２
は、ウエハの均一加熱を目的として、内壁側面に設けら
れた吐出口２３よりＮ₂ガスを炉内に導入し、吐出口２
３に対向する内壁に設けられた排気口２４から排出して
いる。そのため、Ｎ₂ガスの流れ方向は、図中の矢印に
示す方向となる。

【０００８】ウエハカセット内の全てのウエハに均一に
Ｎ₂ガスをあて、かつウエハ温度を均一とするために
は、図６に示すとおり、このＮ₂ガスの流れを遮らない
ように、ウエハカセットの２枚の側面板がＮ₂ガスの流
れ方向と平行であり、かつウエハが水平になるように、
ウエハカセットを炉内に投入する必要がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような向
きにウエハカセットを投入するためには、図５に示した
従来のウエハカセットハンガー２５の場合、把持部２６
がウエハカセット上方に位置するように保持して、投入
作業を行わなければならない。従って、クリーンオーブ
ンにカセット上方のスペースが必要となり、炉内高さの
小さいオーブンに対してはこのウエハカセットハンガー
を使用できない。

【００１０】そのため、図６に示すように、手作業によ
り、ウエハカセットの投入および取り出しを実施せざる
を得ない。しかしながら、手による投入および取り出し
作業では、作業者による発塵や、ウエハと手袋との接触
等により、ウエハへのパーティクル付着が発生するとい
う問題がある。

【００１１】また、図６に示すように、ウエハに触れな
いよう側面板を両手で保持しつつ、側面板がＮ₂ガスの
流れ方向と平行になるようにウエハカセットを９０度回
転させながら投入する作業は、作業性が著しく低く、ウ
エハカセットの傾きによってウエハが脱落することがあ
るという問題もあった。

【００１２】本発明は、上記した従来の問題点を解決す
るもので、上方寸法の余裕のない狭い空間への横向き投
入および取り出しに使用でき、かつウエハの脱落を生じ
ないウエハカセットおよびウエハカセットハンガーを提
供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のウエハカセットハンガーは、ウエハを収
納支持する溝を有する２枚の側面板が対向して連結され
たウエハカセットを保持するウエハカセットハンガーで
あって、平行にかつ対向して配置され、前記ウエハカセ
ットを前記２枚の側面板の側方から挟み込み、前記ウエ
ハカセットの上部に設けられた被係合部と係合する一対
の支持フレームと、前記一対の支持フレームによりウエ
ハカセットを保持したときに前記側面板に正対する位置
に設けられる把持部材と、前記把持部材に取り付けられ
たプッシャーと、前記プッシャーと連動し、前記プッシ
ャーが第１位置にあるときは前記一対の支持フレームの
間隔を前記ウエハカセットを支持し得る間隔に保つ一
方、前記プッシャーが第２位置にあるときは前記一対の
支持フレームの間隔を広げる開閉機構とを備えたことを
特徴とする。

【００１４】この構成によれば、平行にかつ対向して配
置された一対の支持フレームにより、ウエハカセットの
上部を挟み込み、この支持フレームをウエハカセットの
被係合部に係合させることにより、ウエハカセットを保
持することができる。なお、把持部材は、このようにウ
エハカセットを保持したときに、側面板に正対する位置
に設けられている。

【００１５】従って、クリーンオーブン等のように上方
寸法に余裕のない空間へウエハカセットを投入する際
は、プッシャーを第１位置にして支持フレームによりウ
エハカセットを保持させた状態で把持部材を握って真っ
直ぐ押し入れた後、プッシャーを第２位置にして支持フ
レームの間隔を広げることにより支持フレームをウエハ
カセットの被係合部と乖離させる、という簡単な手順に
より、ウエハカセットの側面板が正面を向く状態で投入
することができる。また、取り出しの際は、この逆の手
順を行えばよい。

【００１６】これにより、上方寸法の余裕のない狭い空
間への、ウエハカセットの横向き投入および取り出しを
作業効率良く行うことが可能なウエハカセットハンガー
を提供できる。

【００１７】前記ウエハカセットハンガーは、前記ウエ
ハカセットの前記被係合部が、前記２枚の側面板のそれ
ぞれの外側の面における上部両端部に設けられた突起で
あり、前記一対の支持フレームの対向面のそれぞれに、
前記ウエハカセットの突起を支持する支持部材が設けら
れたことが好ましい。

【００１８】この構成によれば、ウエハカセットの前記
突起に、ウエハカセットハンガーの支持フレームに設け
られた前記支持部材を係合させて支持することで、ウエ
ハカセットを確実に保持することができる。

【００１９】前記ウエハカセットハンガーは、前記ウエ
ハカセットの前記被係合部が、前記２枚の側面板を少な
くとも上部両端部において互いに連結する連結棒であ
り、前記一対の支持フレームの対向面のそれぞれに、前
記連結棒を支持する支持部材が設けられたことが好まし
い。

【００２０】この構成によれば、ウエハカセットの前記
連結棒に、ウエハカセットハンガーの支持フレームに設
けられた前記支持部材を係合させて支持することで、ウ
エハカセットを確実に保持することができる。

【００２１】前記ウエハカセットハンガーは、前記プッ
シャーが、前記把持部材を握ったまま片手で操作可能な
位置に設けられたことが好ましい。

【００２２】これにより、プッシャーの操作を把持部材
を握ったまま片手で行うことができるので、ウエハカセ
ットの運搬等の作業効率を向上させることができる。

【００２３】前記ウエハカセットハンガーは、前記一対
の支持フレームの最小間隔を規定する幅を持つ板状部材
を前記一対の支持フレームの間に備え、前記板状部材の
上に前記開閉機構が設置されたことが好ましい。

【００２４】この構成によれば、一対の支持フレームが
閉じたときの最小間隔が前記板状部材により規定される
ので、ウエハカセットを保持したときの支持フレームの
がたつきが抑制され、ウエハカセットを確実に保持する
ことができる。また、開閉機構が前記板状部材の上に設
置されたことにより、開閉機構から発生するパーティク
ルがウエハに付着することを防止できるという利点もあ
る。

【００２５】前記ウエハカセットハンガーは、前記一対
の支持フレームの少なくとも一方に、前記ウエハカセッ
トを保持したときのウエハ脱落を防止する脱落防止部材
を備えたことが好ましい。この構成によれば、ウエハカ
セットの運搬時にウエハが脱落・損傷することを防止で
きる。

【００２６】前記ウエハカセットハンガーは、前記脱落
防止部材が、前記一対の支持フレームの少なくとも一方
から垂下する棒状部材であることが好ましい。これによ
り、簡単な構造によって、ウエハの脱落を防止する構成
を実現できる。

【００２７】前記ウエハカセットハンガーは、前記プッ
シャーを前記第１位置に固定するストッパーを備えたこ
とが好ましい。

【００２８】これにより、プッシャーを第１位置にする
ことにより支持フレームでウエハカセットを保持した
後、前記ストッパーによりプッシャーを第１位置に固定
すれば、運搬中に誤ってプッシャーを押したとしても、
プッシャーが第２位置に移動しないので、支持フレーム
が開いてしまうことを防止できる。従って、運搬中のウ
エハカセットの落下事故を防止することが可能となる。

【００２９】前記ウエハカセットハンガーは、前記開閉
機構を前記ウエハカセットと空間的に分離するカバーを
備えたことが好ましい。これにより、開閉機構から発生
するパーティクルがウエハに付着することを防止でき
る。

【００３０】上記の目的を達成するために、本発明にか
かるウエハカセットは、上述のウエハカセットハンガー
により保持されるウエハカセットであって、ウエハを収
納支持する溝を有し対向して結合された２枚の側面板
と、前記ウエハカセットハンガーの支持フレームと係合
する被係合部とを備えたことを特徴とする。

【００３１】これにより、炉内高さに余裕のないクリー
ンオーブンに対してウエハを投入する際に、このウエハ
カセットにウエハを収納し、ウエハカセットハンガーで
カセットを保持した状態でウエハカセットハンガーの把
持部材を握って真っ直ぐ炉内に押し入れ、プッシャーを
第２位置にすることによりウエハカセットの保持状態を
解除する、という簡単な手順により、作業効率良くウエ
ハを投入することが可能なウエハカセットを提供するこ
とができる。

【００３２】前記ウエハカセットは、前記被係合部が、
前記２枚の側面板の各々の外側の面における上部両端部
に設けられた突起であることが好ましい。これにより、
ウエハカセットの前記突起に、ウエハカセットハンガー
の支持フレームを係合させて支持することで、ウエハカ
セットを確実に保持することができる。

【００３３】前記ウエハカセットは、前記被係合部が、
前記２枚の側面板を少なくとも上部両端部において互い
に結合する連結棒であることが好ましい。この構成によ
れば、ウエハカセットの前記連結棒に、ウエハカセット
ハンガーの支持フレームを係合させて支持することで、
ウエハカセットを確実に保持することができる。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て、図面を参照しながら説明する。

【００３５】図１は、本発明の一実施形態におけるウエ
ハカセットおよびウエハカセットハンガーの構成を示す
斜視図である。

【００３６】図１において、右側に示したものが本実施
形態のウエハカセットハンガー１である。ウエハカセッ
トハンガー１は、ベース部２と、ベース部２に固定され
た把持部３を有する。ベース部２は、板状部材２ａと、
この板状部材２ａの対向する２辺に沿って形成された一
対の側壁２ｂとによって、断面コの字型に形成されてい
る。把持部３には、把握部３を握ったまま操作可能な位
置に、プッシャー４が設けられている。なお、本実施形
態にかかるプッシャー４は、把持部３を片手で握った状
態で、例えば親指のみで押圧操作を行うことが可能であ
る。

【００３７】ウエハカセットハンガー１は、平板からな
り、ベース部２を挟むように対向する一対のチャック５
（支持フレーム）をさらに備える。チャック５の対向面
における長手方向両端部には、対向面から垂直に突き出
すように、ウエハカセット保持ピン６が設けられてい
る。チャック５の長手方向中心付近に、チャック５から
垂下するように、棒状のウエハストッパー７が設けられ
ている。

【００３８】ベース部２の板状部材２ａ上には、プッシ
ャー４と連動してチャック５を開閉させる連結部８（開
閉機構）が設けられている。連結部８の構成について
は、後に詳述する。

【００３９】ウエハカセットハンガー１は、さらに、防
塵カバー１０を有する。防塵カバー１０は、連結部８か
らの発塵によるウエハへのパーティクル付着を防止する
ことを目的として、連結部８を覆うものである。従っ
て、防塵カバー１０は、ベース部２の外形寸法に合わせ
て形成されており、ベース部２に取り付けられた把持部
３と干渉せずかつ隙間を生じないよう、把持部３の形状
に合わせた切り欠きを有する。

【００４０】そして、図１の左側に示したものが、金属
製のウエハカセット１１である。ウエハカセット１１
は、２枚の側面板１３を、少なくともその上部両端部付
近において連結棒１４で連結固定したものである。側面
板１３の対向面には、ウエハを収納する溝がウエハピッ
チに合わせて多数形成されている。側面板１３の外側に
おける上部両端部付近に、ウエハカセットハンガー１に
より本ウエハカセット１１が保持される際に支持点とな
るピン１２（突起）が設けられている。なお、このピン
１２は、連結棒１４と同軸に一体形成されていても良い
し、別部材として形成されていても良い。

【００４１】ここで、図２（ａ）および（ｂ）を参照し
ながら、連結部８の構成およびその動作について詳細に
説明する。図２（ａ）は、プッシャー４を押し込まない
状態（第１位置）における連結部８およびチャック５の
様子を示し、図２（ｂ）は、プッシャー４が押し込まれ
た状態（第２位置）におけるこれらの様子を示す。な
お、図２（ａ）および（ｂ）は、ウエハカセットハンガ
ー１を上方から見た様子を示す平面図であり、連結部８
の構成および動作を理解可能とするために、防塵カバー
１０を取り外した状態を図示している。

【００４２】図２（ａ）および（ｂ）に示すように、連
結部８は、プッシャー４の押し込みおよび解放に連動し
て往復移動するジョイントブロック１５と、このジョイ
ントブロック１５に接続される各一対のリンクプレート
１６、ベアリング１７、ベアリングストッパー１８、お
よびジョイントプレート１９を有する。ベアリングスト
ッパー１８は、ジョイントプレート１９に固定されてい
る。

【００４３】ジョイントプレート１９は、各２本のスラ
イドシャフト２０により、ベース部２の側壁２ｂに形成
された孔を通して、チャック５に連結されている。スラ
イドシャフト２０の、ジョイントプレート１９と側壁２
ｂとの間には、スプリング９が取り付けられている。ス
プリング９は、その反力により、チャック５同士を、そ
の距離が互いに近づく方向（チャック５が閉じる方向）
に付勢する。

【００４４】以下、ウエハカセット１１をウエハカセッ
トハンガー１で保持する際の動作について説明する。

【００４５】ウエハを収納したウエハカセット１１をウ
エハカセットハンガー１で保持して運搬等する場合、把
握部３を手で握り、プッシャー４を押し込む。プッシャ
ー４を押すと、図２（ａ）と図２（ｂ）を比較すること
により分かるように、連結部８のジョイントブロック１
５が水平方向に押し出され、ジョイントブロック１５に
接続された２個のリンクプレート１６の先端に取り付け
られたベアリング１７がベアリングストッパー１８に押
し付けられるために、リンクプレート１６・１６が開
き、ジョイントプレート１９・１９を互いに離間する方
向に押し出す。ジョイントプレート１９・１９が外側に
押し出されることにより、チャック５・５が開かれる。

【００４６】このようにチャック５・５が開いた状態
で、ウエハカセットハンガー１を、チャック５の長手方
向がウエハカセット１１の連結棒１４に平行になるよう
に位置あわせし、ウエハカセット１１の上方から、ベー
ス部２の下面がウエハカセット１１の上面に触るまで降
下させる。

【００４７】図３（ｂ）は、チャック５が開いた状態
で、カセットハンガー１をウエハカセット１１に合わせ
て降ろす途中の様子を、真上から見た図である。図３
（ｂ）から分かるように、この際はチャック５が開いて
いるので、その内側に突き出たカセット保持ピン６はウ
エハカセット１１に接触しない。また、ウエハストッパ
ー７も、ウエハカセット１１またはこれに収納されたウ
エハに接触しない。

【００４８】ウエハカセットハンガー１を、そのベース
部２の下面がウエハカセット１１の上面に触るまで降下
させ、プッシャー４を離すと、図２（ａ）に示すよう
に、スプリング９の反力によりチャック５が元の位置に
戻ろうとするので、ジョイントプレート１９が内側に押
し戻され、チャック５が閉じる。

【００４９】このとき、図３（ａ）に示すように、チャ
ック５から内側に突出した４個のカセット保持ピン６
が、ウエハカセット１１に取り付けられた４個のピン１
２の下に入り、ピン１２を引っかけ、かつチャック５で
カセット外形を規制するので、ウエハカセット１１とカ
セットハンガー１とを一体として持ち上げて運搬するこ
とが可能になる。

【００５０】また、チャック５が閉じたとき、チャック
５に固定されたウエハストッパー７が、図１からも分か
るようにウエハを側面から押さえることになる。従っ
て、カセットハンガー１を用いれば、ウエハカセット１
１を運搬するとき、ウエハカセット１１が傾いても、ウ
エハが溝から滑り落ちることがない。

【００５１】以上のようにしてウエハカセット１１を運
搬し、図６に示したような炉内の高さがあまりないクリ
ーンオーブン２２の中へ入れるときは、把持部３を握り
ながらそのまま前方へウエハカセット１１を押し入れ、
プッシャー４を押してチャック５を開けばよい。これに
より、ウエハカセット１１を、図６に示したのと同様
に、側面板１３がクリーンオーブン２２の入り口正面を
向くように、容易に投入することができる。なぜなら
ば、把持部３は、図１等から分かるように、ウエハカセ
ット１１を保持したとき側面板１３に正対する位置に取
り付けられているからである。

【００５２】なお、以上では、ウエハカセットハンガー
１のカセット保持ピン６をウエハカセット１１のピン１
２に引っかけて保持する構成を例示したが、各チャック
５の長手方向におけるカセット保持ピン６・６の取り付
け位置をさらに近接させ、ウエハカセット１１の連結棒
１４にカセット保持ピン６を引っかけて保持する構成と
しても良い。

【００５３】また、ウエハカセット１１のピン１２また
は連結棒１４（被係合部）に係合してこれを支持するた
めの支持部材の具体的構成は、本実施形態で例示したカ
セット保持ピン６のようなピン状のものに限定されず、
これらを確実に支持することができ、かつ、チャック５
の開閉動作に応じて簡単に支持状態／非支持状態を切り
換えることが可能な形状であれば、任意に設計変更する
ことができる。

【００５４】さらに、以上では、プッシャー４を解放し
たとき、スプリング９の反力のみでチャック５が閉じて
いる構成を例示したが、チャック５が閉じた状態になっ
たらプッシャー４を押しても動かないようにするストッ
パーを取り付けてもよい。

【００５５】具体的には、図４（ａ）に示すように、プ
ッシャー４にストッパー２１を挿入する穴を設け、図４
（ｂ）に示すように、チャック５が閉じてウエハカセッ
ト１１を保持した状態になったとき、このストッパー２
1を押し上げてプッシャー４の穴に挿入することによ
り、プッシャー４が押し込まれないよう固定される。

【００５６】これにより、ウエハカセット１１の運搬中
に誤ってプッシャー４を押したとしても、プッシャー４
が押し込まれることがない。従って、運搬中にチャック
５が開いてウエハカセット１１を落下させる心配がなく
なり、運搬時に安全性を確保できる。

【００５７】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、把握部
材がウエハカセットの側面に位置することにより、クリ
ーンオーブン等の狭い空間へも横向き投入および取り出
しができる。また、ウエハカセットを、ベース部および
チャックで外形規制し、さらにカセット保持ピンでウエ
ハカセットのピンを引っかけることにより、ウエハカセ
ット運搬時のウエハカセットの外れや脱落がなく、安定
した状態でのウエハカセット運搬が可能となる。さら
に、ウエハストッパーを備えたことにより、運搬時や各
種装置への設置時に、ウエハカセットが傾くことによる
ウエハの落下・損傷を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態におけるウエハカセット
およびウエハカセットハンガーの構成を示す斜視図であ
る。

【図２】 前記ウエハカセットハンガーのチャック開閉
機構を説明するものであり、（ａ）はプッシャーが解放
されてチャックが閉じた状態を示す平面図であり、
（ｂ）はプッシャーが押し込まれてチャックが開いた状
態を示す平面図である。

【図３】 前記ウエハカセットハンガーによりウエハカ
セットを保持する様子を説明するものであり、（ａ）は
チャックが閉じてウエハカセットを保持した状態を示す
平面図であり、（ｂ）はチャックを開いてウエハカセッ
トハンガーをウエハカセットに位置合わせした状態を示
す平面図である。

【図４】 （ａ）および（ｂ）は、チャックの閉状態を
維持するストッパーの例を示す説明図である。

【図５】 従来のウエハカセットハンガーの構成例を示
す斜視図である。

【図６】 クリーンオーブンへウエハカセットを投入す
る従来の作業状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ウエハカセットハンガー ２ ベース部 ３ 把持部 ４ プッシャー ５ チャック ６ カセット保持ピン ７ ウエハストッパー ８ 連結部 ９ スプリング １０ 防塵カバー １１ ウエハカセット本体 １２ ピン １３ 側面板 １４ 連結棒 １５ ジョイントブロック １６ リンクプレート １７ ベアリング １８ ベアリングストッパー １９ ジョイントプレート ２０ スライドシャフト ２１ ストッパー

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハを収納支持する溝を有する２枚の
   側面板が対向して連結されたウエハカセットを保持する
   ウエハカセットハンガーであって、 平行にかつ対向して配置され、前記ウエハカセットを前
   記２枚の側面板の側方から挟み込み、前記ウエハカセッ
   トの上部に設けられた被係合部と係合する一対の支持フ
   レームと、 前記一対の支持フレームによりウエハカセットを保持し
   たときに前記側面板に正対する位置に設けられる把持部
   材と、 前記把持部材に取り付けられたプッシャーと、 前記プッシャーと連動し、前記プッシャーが第１位置に
   あるときは前記一対の支持フレームの間隔を前記ウエハ
   カセットを支持し得る間隔に保つ一方、前記プッシャー
   が第２位置にあるときは前記一対の支持フレームの間隔
   を広げる開閉機構とを備えたことを特徴とするウエハカ
   セットハンガー。
2. 【請求項２】 前記ウエハカセットの前記被係合部が、
   前記２枚の側面板のそれぞれの外側の面における上部両
   端部に設けられた突起であり、 前記一対の支持フレームの対向面のそれぞれに、前記ウ
   エハカセットの突起を支持する支持部材が設けられた請
   求項１に記載のウエハカセットハンガー。
3. 【請求項３】 前記ウエハカセットの前記被係合部が、
   前記２枚の側面板を少なくとも上部両端部において互い
   に連結する連結棒であり、 前記一対の支持フレームの対向面のそれぞれに、前記連
   結棒を支持する支持部材が設けられた請求項１に記載の
   ウエハカセットハンガー。
4. 【請求項４】 前記プッシャーが、前記把持部材を握っ
   たまま片手で操作可能な位置に設けられた請求項１ない
   し３のいずれか一項に記載のウエハカセットハンガー。
5. 【請求項５】 前記一対の支持フレームの最小間隔を規
   定する幅を持つ板状部材を前記一対の支持フレームの間
   に備え、前記板状部材の上に前記開閉機構が設置された
   請求項１ないし４のいずれか一項に記載のウエハカセッ
   トハンガー。
6. 【請求項６】 前記一対の支持フレームの少なくとも一
   方に、前記ウエハカセットを保持したときのウエハ脱落
   を防止する脱落防止部材を備えた請求項１ないし５のい
   ずれか一項に記載のウエハカセットハンガー。
7. 【請求項７】 前記脱落防止部材が、前記一対の支持フ
   レームの少なくとも一方から垂下する棒状部材である請
   求項６に記載のウエハカセットハンガー。
8. 【請求項８】 前記プッシャーを前記第１位置に固定す
   るストッパーを備えた請求項１ないし７のいずれか一項
   に記載のウエハカセットハンガー。
9. 【請求項９】 前記開閉機構を前記ウエハカセットと空
   間的に分離するカバーを備えた請求項１ないし８のいず
   れか一項に記載のウエハカセットハンガー。
10. 【請求項１０】 請求項１に記載のウエハカセットハン
    ガーにより保持されるウエハカセットであって、 ウエハを収納支持する溝を有し対向して結合された２枚
    の側面板と、前記ウエハカセットハンガーの支持フレー
    ムと係合する被係合部とを備えたことを特徴とするウエ
    ハカセット。
11. 【請求項１１】 前記被係合部が、前記２枚の側面板の
    各々の外側の面における上部両端部に設けられた突起で
    ある請求項１０に記載のウエハカセット。
12. 【請求項１２】 前記被係合部が、前記２枚の側面板を
    少なくとも上部両端部において互いに結合する連結棒で
    ある請求項１０に記載のウエハカセット。