JP2003100697A - 密閉型処理装置および密閉型処理装置への被処理物の搬入方法。 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 対向する２つの主面の狭い間隙に被処理物を
配置して密閉し、被処理物を処理するタイプの処理装置
であって、容易に被処理物を進入させ、固定することが
できる密閉型処理装置および密閉型処理装置への被処理
物の搬入方法を提供する。 【解決手段】 洗浄装置１０ａは、洗浄処理容器３０
と、洗浄処理容器３０の両端に接続された導入部および
排出部を有し、使用時に密閉状態にある。洗浄処理容器
３０は、幅の狭い直方体状に形成される。洗浄処理容器
３０は、主面３０ａと主面３０ｂとが一端部Ａ１に設け
られた係止部材２８によって接続され、主面３０ａの他
端部Ａ２が回動可能に設けられる。主面３０ａには、ウ
エハ２０を保持するための保持具３２ａ〜３２ｃが突設
される。主面３０ａを開けた状態で、ウエハ２０を直線
的に進入させ、保持具３２ａ〜３２ｃによってウエハ２
０を保持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、密閉型処理装置お
よび処理装置への被処理物の搬入方法に関し、特に、ウ
エハ搬送装置の進入困難な対向する２つの主面の間の狭
い幅の間隙にウエハを配置して密閉した状態でウエハを
洗浄処理等する密閉型処理装置および密閉型処理装置へ
のウエハの搬入方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体集積回路等を形成するに
は、半導体ウエハに対して成膜、酸化・拡散、エッチン
グ等の各種処理が繰り返し施される。この場合、これら
の処理を行う前に、必要に応じて洗浄処理が行われ、ウ
エハ表面に付着した有機物、金属不純物、パーティクル
あるいは自然酸化膜等が除去される。

【０００３】このような洗浄処理を行うための洗浄装置
として、従来、上方が開放された浸漬槽に満たされた薬
液に、複数のウエハをカセットに収容して浸漬し、ある
いは、カセットレスで浸漬するディップ方式の装置が用
いられている。

【０００４】また、ウエハを1枚単位で処理する枚葉式
の洗浄方式の装置として、1枚のウエハをチャックで真
空吸着して水平に配置し、所定の回転数でウエハを回転
させながら、高圧流体をウエハに吹き付けたり、ブラッ
シングする方式のものも用いられている。

【０００５】これらの従来の洗浄装置は、ウエハの中心
部と周縁部とで洗浄用の流体の流れが不均一となり、ま
た、ウエハの表裏面で流体の流れが不均一となり、ウエ
ハの全面にわたって効率的かつ確実な洗浄を行うことが
できないおそれがある。また、多くの洗浄装置では、大
気中への開放箇所を有する開放系で洗浄が行われるた
め、大気中の酸素によりウエハの金属配線等が酸化する
おそれもある。

【０００６】これら従来の洗浄装置の不具合を解消する
ために、本出願人は、ウエハの金属配線等の酸化を防止
し、また、洗浄用の流体をウエハ表面に高速で流すこと
により洗浄を迅速かつ効率的に行うことを目的として、
対向する２つの主面の狭い間隙にウエハを配置して密閉
し、洗浄用の流体を流通させるタイプの洗浄装置を開発
中である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の本出
願人が開発中の洗浄装置に関するものであり、対向する
２つの主面の狭い間隙に被処理物を１枚配置して密閉
し、被処理物を処理するタイプの処理装置であって、容
易に被処理物を進入させ、固定することができる密閉型
処理装置および密閉型処理装置への被処理物の搬入方法
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係る密閉型処理
装置は、対向する２つの主面を閉じ合わせた状態におい
て被処理物搬送装置を側面側から進入させることが困難
な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該２つの主面の
いずれかを開いて板状の被処理物を該２つの主面と平行
に１枚配置して、密閉した状態で該被処理物を処理する
処理装置であって、該２つの主面は、一端部を係合部材
を介して回動可能に接続されて他端部が開閉可能に設け
られ、該他端部を開いた状態で該被処理物搬送装置が進
入して該被処理物を配置するように構成してなることを
特徴とする。

【０００９】また、本発明に係る密閉型処理装置は、該
２つの主面は、スライド部材を介して離間および密着可
能に設けられ、離間した状態で該被処理物搬送装置が進
入して該被処理物を配置するように構成してなることを
特徴とする。

【００１０】本発明の上記の構成によれば、搬送アーム
に被処理物を吸着して保持し、あるいは、被処理物の周
縁部を爪等で把持して搬送する通常の被処理物搬送装置
を用いて、被処理物搬送装置を側面側から進入させるこ
とが困難な、対向する２つの主面の間の狭い幅の間隙に
板状の被処理物を容易に搬入し、配置することができ
る。また、処理後、被処理物を搬出する場合においても
同様である。

【００１１】この場合、前記２つの主面のいずれかに前
記被処理物の周縁部を複数箇所で保持する保持具が突設
されてなると、簡易でかつ寸法の小さな保持機構で被処
理物を保持することができる。

【００１２】また、この場合、前記保持具は、前記２つ
の主面のうち可動する側の主面に設けられてなると、可
動する側の主面を開いた状態において、その主面の周囲
には障害物のない空間が確保されるため、被処理物を容
易に搬入することができる。

【００１３】また、本発明に係る密閉型処理装置への被
処理物の搬入方法は、対向する２つの主面を閉じ合わせ
た状態において被処理物搬送装置を側面側から進入させ
ることが困難な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該
２つの主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該２つ
の主面と平行に１枚配置して、密閉した状態で該被処理
物を処理する処理装置への該被処理物の搬入方法であっ
て、一端部を回動可能に接続された該２つの主面のうち
の１つの主面の他端部を開く工程と、該１つの主面の他
端部の側から該被処理物搬送装置を用いて該被処理物を
直線的に進入させ、該１つの主面の該一端部側に設けら
れ、開口が該他端部の側に向けて形成され該被処理物の
挿入方向が規制された溝部を有する保持具の該溝部に該
被処理物の先端部を保持するとともに、該１つの主面の
該被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に被処
理物の側縁部を保持して被処理物を固定する工程と、を
有することを特徴とする。

【００１４】また、本発明に係る密閉型処理装置への被
処理物の搬入方法は、スライド部材を介して離間および
密着可能に設けられた該２つの主面のうちの１つの主面
を移動させて開く工程と、該１つの主面のスライド部材
が設けられた側とは反対の側から該被処理物搬送装置を
用いて該被処理物を直線的に進入させ、該１つの主面の
スライド部材が設けられた側に設けられ、開口が該反対
の側に向けて形成され該被処理物の挿入方向が規制され
た溝部を有する保持具の該溝部に該被処理物の先端部を
保持するとともに、該１つの主面の該被処理物の挿入方
向の両側に設けられた保持具に被処理物の側縁部を保持
して被処理物を固定する工程と、を有することを特徴と
する。

【００１５】本発明の上記の構成によれば、被処理物の
挿入方向が規制された溝部を有する保持具が奥部に設け
られた処理装置において、通常の搬送装置を用いて、被
処理物を容易に搬入し、配置することができる。また、
処理後、被処理物を搬出する場合においても同様であ
る。

【００１６】また、本発明に係る密閉型処理装置への被
処理物の搬入方法は、一端部を回動可能に接続された該
２つの主面のうちの１つの主面の他端部を開く工程と、
該１つの主面の他端部の側から該被処理物搬送装置を用
いて該被処理物を保持具から浮かした状態で直線的に進
入させ、該１つの主面の他端部の側に設けられ、開口が
該一端部の側に向けて形成され該被処理物の挿入方向が
規制された溝部を有する保持具の位置に該被処理物の後
端部が到達したときに、該被処理物を保持具に寄せて該
溝部に該被処理物の後端部を保持するとともに、該１つ
の主面の該被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持
具に被処理物の側縁部を保持して被処理物を固定する工
程と、を有することを特徴とする。

【００１７】また、本発明に係る密閉型処理装置への被
処理物の搬入方法は、スライド部材を介して離間および
密着可能に設けられた該２つの主面のうちの１つの主面
を移動させて開く工程と、該１つの主面のスライド部材
が設けられた側とは反対の側から該被処理物搬送装置を
用いて該被処理物を保持具から浮かした状態で直線的に
進入させ、該１つの主面のスライド部材が設けられた側
とは反対の側に設けられ、開口が該スライド部材が設け
られた側に向けて形成され該被処理物の挿入方向が規制
された溝部を有する保持具の位置に該被処理物の後端部
が到達したときに、該被処理物を保持具に寄せて該溝部
に該被処理物の後端部を保持するとともに、該１つの主
面の該被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に
被処理物の側縁部を保持して被処理物を固定する工程
と、を有することを特徴とする。

【００１８】本発明の上記の構成によれば、被処理物の
挿入方向が規制された溝部を有する保持具が入り口部に
設けられた処理装置において、通常の搬送装置を用い
て、被処理物を容易に搬入し、配置することができる。
また、処理後、被処理物を搬出する場合においても同様
である。

【００１９】また、本発明に係る密閉型処理装置および
密閉型処理装置への被処理物の搬入方法において、前記
被処理物はウエハであり、前記処理は洗浄処理である
と、好適である。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明に係る密閉型処理装置およ
び密閉型処理装置への被処理物の搬入方法の好適な実施
の形態（以下、本実施の形態例という。）について、ウ
エハ洗浄装置を例にとり、図を参照して、以下に説明す
る。

【００２１】以下個別に説明する本実施の形態の第１〜
第５の例に係る洗浄装置１０ａ〜１０ｅの基本構成は同
じであるため、この基本構成および基本的な作用につい
て、まず説明する。

【００２２】洗浄装置１０は、洗浄処理容器１２と、洗
浄処理容器１２の両端に接続された導入部１４および排
出部を１６有する。導入部１４は流体導入配管１８に接
続され、排出部１６は図示しない排出配管に接続されて
いる。

【００２３】これらの各部材は、横置きおよび縦置きの
いずれのタイプにも配置可能である。 例えば、図１、
図２に示す縦置きのタイプの場合、密閉した装置の導入
部１４より導入された洗浄液が洗浄装置１０の内部を上
方に流れ、排出部１６より排出配管に溢流するように構
成されている。

【００２４】洗浄処理容器１２は、例えば、ポリフッ化
エチレンを用いて、図２中Ｘ１−Ｘ２方向の幅Ｗ１の狭
い直方体状に形成されている。幅Ｗ１は、例えば、５ｃ
ｍ程度である。洗浄されるウエハ（板状の被処理物）２
０の寸法（径）は、例えば、８インチ（２００ｍｍ）で
ある。

【００２５】洗浄処理容器１２の主面１２ｂには、搬入
したウエハ２０を保持するための被処理物保持具（以
下、単に保持具という。）２０、２２、２４が取り付け
られている。保持具２０、２２、２４の材料は、ポリク
ロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン／
パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、4フッ
化トリメチルエタン、４フッ化エチレン６フッ化プロピ
レン共重合体、エチレン４フッ化エチレン共重合体、フ
ッ化ビニリデン、フッ化ビニル等の濡れ性が低く、かつ
耐薬品性に優れるものを好適に用いることができる。

【００２６】導入部１４は、図１中下方から上方に向け
て末広がりで紙面上下方向に扁平な形状に形成されてい
る。すなわち、導入部１４の入り口側（下側）１４ａの
寸法が、例えば、約１０ｍｍ程度の厚み(紙面上下方向
の厚み)で幅Ｗ２が約１５０ｍｍ程度あるのに対して、
約７０ｍｍ程度離間した出口側（上側）１４ｂの寸法
が、約５ｍｍ程度の厚みで幅Ｗ３が約２２０ｍｍ程度と
なっている。なお、導入部１４に洗浄流体を供給する導
入配管１８は、図１中左右両側から導入されて中央部で
衝突するように流路が形成されているとともに、中央部
は、両側の配管よりも径の大きなバッファ部１８ａに形
成されている。

【００２７】一方、排出部１６は、洗浄処理容器１２を
挟んで導入部１４と略対称形状に形成されている。

【００２８】上記のように構成した洗浄装置１０を用い
て洗浄液やリンス液によりウエハ１２を洗浄するとき、
ウエハ２０と主面１２との間隔Ｌ１が小さいため、ウエ
ハ２０の表面における洗浄液等の流速を、例えば、５０
ｃｍ／ｓ程度に設定することができ、この流速は、通常
の洗浄装置の、例えば、０．５ｃｍ／ｓ程度の値に比べ
るとはるかに高速である。また、このとき、導入配管１
８、バッファ部１８ａによって流速を略均一化された洗
浄液は、導入部１４を通過することによってさらに均一
な流速に整えられ、ウエハ２０の幅方向（図１中Ｙ１−
Ｙ２方向）で均一な流速でウエハ２０の表面を通過す
る。このため、洗浄装置１０は、ウエハ２０の付着物を
確実にかつ効率的に除去することができる。

【００２９】洗浄工程において、ウエハ２０が洗浄装置
に搬入され、例えば、第１の洗浄液による洗浄作業が終
了すると、洗浄処理容器１２内部に残留した洗浄液が、
図示しない窒素配管から導入した窒素によって排出部１
６から導入部１４に向けてパージされ、洗浄処理容器１
２の下部に設けた図示しない排出管から抜き取られる。
ついで、第２の洗浄液を用いて同じ手順で洗浄作業が繰
り返される。さらに、リンス液によるリンス作業が行わ
れた後、窒素によって排出部１６から導入部１４に向け
て洗浄液がパージされる。

【００３０】この場合、洗浄装置１０は、乾燥装置を兼
ねており、洗浄後、引き続き窒素やアルコール蒸気等を
用いて乾燥作業が行われた後、乾燥したウエハ２０が洗
浄装置１０から搬出される。

【００３１】つぎに、本実施の形態の第1の例に係る洗
浄装置および洗浄装置へのウエハの搬入方法について、
図３〜図７を参照して説明する。本実施例をはじめとし
て以下に説明する各実施例において、特に説明を加えな
い事項については、上記した洗浄装置１０と同じであ
る。

【００３２】洗浄装置１０ａは、横置きのタイプであ
る。各図中、洗浄処理容器３０を除く部材は図示を省い
ている。以下の他の実施例においても同様に洗浄処理容
器のみを示す。

【００３３】洗浄装置１０ａの洗浄処理容器３０は、蓋
体としての主面３０ａとウエハ２０の収容部２６が形成
された主面３０ｂとが一端部Ａ１に設けられた係合部材
２８によって接続され、主面３０ａの他端部Ａ２が回動
可能に設けられている。

【００３４】主面３０ａの内側には、収容したウエハ２
０を保持するための３つの保持具３２ａ〜３２ｃが突設
されている。保持具３２ａ〜３２ｃは、それぞれ配置さ
れるウエハ２０の中心に向けて屈折した鉤状部３４ａ〜
３４ｃを有し、これにより主面３０ａとの間に溝３６ａ
〜３６ｃが形成されている（図６参照）。したがって、
保持具３２ｂに対してウエハ２０は溝３６ｂの開口方向
である図５中Ｘ１側からのみ係合可能なようにウエハ２
０の進入方向がＸ１側からのみに規制されている。

【００３５】上記のように構成された洗浄装置１０ａに
ウエハ２０を搬入して保持具３２ａ〜３２ｃに係合して
装着する方法を説明する。

【００３６】図３の主面３０ａを閉じた状態から、図４
に示すように、まず、主面３０ａを、適宜の手段を用い
て回動させて開ける。

【００３７】ついで、図５、図６に示すように、図示し
ないウエハ搬送装置を用いて、ウエハ２０を保持具３２
ａ、３２ｃ間をＸ１側から直線的にＸ２方向に進入さ
せ、ウエハ２０の先端部を保持具３２ｂの溝部３６ｂに
当接させる。なお、ウエハ搬送装置は、従来例で説明し
た、ウエハをチャックで真空吸着する方式のものや、ウ
エハの周縁を爪等により把持する方式のもの等、通常の
装置から適宜選択して用いることができる。

【００３８】これにより、保持具３２ａ〜３２ｃによっ
てウエハ２０が安定的に保持される。

【００３９】ついで、図７に示すように、主面３０ａを
閉じて、ウエハ２０を洗浄装置１０ａ内に密閉し、上記
した洗浄処理を行う。

【００４０】洗浄処理を終了した後は、以上説明したの
とは逆の手順により、ウエハ２０を洗浄装置１０ａから
搬出する。

【００４１】以上説明した本実施の形態の第1の例に係
る洗浄装置および洗浄装置へのウエハの搬入方法によれ
ば、対向する２つの主面を閉じ合わせた状態においてウ
エハ搬送装置を側面側から進入させることが困難な、対
向する２つの主面の間の狭い幅の間隙にウエハを容易に
搬入し、配置することができる。

【００４２】また、開閉する主面の側にウエハを保持す
る保持具が設けられているため、主面を開いた状態にお
いて、その主面の周囲には障害物のない空間が確保され
るため、ウエハを容易に搬入することができる。

【００４３】つぎに、本実施の形態の第２の例に係る洗
浄装置および洗浄装置へのウエハの搬入方法について、
図８を参照して説明する。なお、上記した本実施の形態
の第１の例に係る洗浄装置１０ａと同じ動作について
は、図示および説明を省略する。

【００４４】洗浄装置１０ｂは、洗浄装置１０ａと同じ
く横置きのタイプである。

【００４５】洗浄装置１０ｂの洗浄処理容器３８は、蓋
体としての主面３８ａとウエハ２０の収容部２６が形成
された主面３０ｂとが一端部Ｂ１に設けられたシリンダ
部材（スライド部材）４０によって接続され、主面３８
ａが主面３８ｂに対して昇降可能に設けられている。主
面３８ａが上動することにより洗浄装置１０ｂは開状態
となり、主面３８ａが下動して主面３８ｂと閉じ合わさ
ることにより洗浄装置１０ｂは密閉状態となる。

【００４６】主面３８ａの内側には、洗浄装置１０ａと
同様に３つの保持具３２ａ〜３２ｃが突設されている。
この場合、ウエハ２０の進入方向をＸ１側からのみに規
制する保持具３２ｂは、洗浄装置１０ｂの奥部であるシ
リンダ部材４０の近傍の主面３８ａの位置に設けられて
いる。

【００４７】上記のように構成された洗浄装置１０ｂに
ウエハ２０を搬入して保持具３２ａ〜３２ｃに係合して
装着するには、図８に示すように、主面３８ａを上動さ
せて開けた後、Ｘ１側からウエハ２０を保持具３２ａ、
３２ｃ間をＸ２方向に直線的に進入させ、ウエハ２０の
先端部を保持具３２ｂの溝部３６ｂに当接させる。これ
により、保持具３２ａ〜３２ｃによってウエハ２０が保
持される。

【００４８】上記本実施の形態の第２の例に係る洗浄装
置および洗浄装置へのウエハの搬入方法によれば、本実
施の形態の第１の例に係る洗浄装置および洗浄装置への
ウエハの搬入方法と同様の効果を得ることができる。

【００４９】つぎに、本実施の形態の第３の例に係る洗
浄装置および洗浄装置へのウエハの搬入方法について、
図９〜図１３を参照して説明する。

【００５０】洗浄装置１０ｃは、縦置きのタイプであ
る。

【００５１】洗浄装置１０ｃの洗浄処理容器４２は、蓋
体としての主面４２ａとウエハ２０の収容部２６が形成
された主面４２ｂとが一端部Ｃ１に設けられた係合部材
４４によって接続され、主面４２ａの他端部Ｃ２が回動
して水平位置まで開くことができるように設けられてい
る。

【００５２】主面４２ａの内側には、３つの保持具４６
ａ〜４６ｃが突設されている。保持具３２ｂと同様に鉤
状部４８ａおよび溝４８ｂを有し、ウエハ２０の進入方
向を図１０中Ｘ１側からのみに規制する保持具４６ｂ
は、図９に示すように洗浄装置１０ｃ使用状態における
主面４２ａの下部、言いかえれば、図１０に示す開いた
状態における主面４２ａのウエハ２０の入り口側（Ｘ１
側 入り口部）に設けられている。保持具４６ａ、４６
ｃの形状は、保持具３２ａ、３２ｃと異なり、直方体状
の突起である。

【００５３】上記のように構成された洗浄装置１０ｃに
ウエハ２０を搬入して保持具４２ａ〜４２ｃに係合して
装着する方法を説明する。

【００５４】図９の主面４２ａを閉じた状態から、図１
０に示すように、まず、主面４２ａを、適宜の手段を用
いて水平位置まで回動させて開ける。

【００５５】ついで、図１１に示すように、保持具４６
ｂの干渉を避けるために、ウエハ２０を保持具４６ａ〜
４６ｃのやや下方（Ｙ１方向）の高さ位置でＸ１側から
直線的にＸ２方向に進入させる。

【００５６】さらに、図１２に示すように、ウエハ２０
を上方（図１０中Ｙ２方向）に移動させて保持具４６
ａ、４６ｃの間に挿入する。

【００５７】上記の状態から、さらに、図１３、図１４
に示すように、ウエハ２０をＸ１方向にわずかに後退さ
せて、ウエハ２０の後端部を保持具４６ｂの溝部４６ｂ
に当接させる。

【００５８】これにより、保持具４６ａ〜４６ｃによっ
てウエハ２０が安定的に保持される。

【００５９】ついで、図１５に示すように、主面４２ａ
を閉じて、ウエハ２０を洗浄装置１０ｃ内に密閉する。
このとき、ウエハ２０は、下端部が保持具４６ｂによっ
て確実に保持されるとともに、横方向のがたつきが保持
具４６ａ、４６ｃによって規制される。

【００６０】以上説明した本実施の形態の第３の例に係
る洗浄装置および洗浄装置へのウエハの搬入方法によれ
ば、ウエハのの挿入方向が規制された溝部を有する保持
具が入り口部に設けられた処理装置において、対向する
２つの主面を閉じ合わせた状態においてウエハ物搬送装
置の進入困難な対向する２つの主面の間の狭い幅の間隙
にウエハを容易に搬入し、配置することができる。

【００６１】また、開閉する主面の側にウエハを保持す
る保持具が設けられているため、主面を開いた状態にお
いて、その主面の周囲には障害物のない空間が確保さ
れ、ウエハを容易に搬入することができる。

【００６２】つぎに、本実施の形態の第４の例に係る洗
浄装置および洗浄装置へのウエハの搬入方法について、
図１６を参照して説明する。なお、上記した本実施の形
態の第３の例に係る洗浄装置１０ｃと同じ動作について
は、図示および説明を省略する。

【００６３】洗浄装置１０ｄは、洗浄装置１０ｃと同じ
く縦置きのタイプである。

【００６４】洗浄装置１０ｄの洗浄処理容器５０は、蓋
体としての主面５０ａとウエハ２０の収容部２６が形成
された主面５０ｂとが一端部Ｄ１に設けられた係合部材
５２によって接続され、主面５０ａの他端部Ｄ２が回動
して倒れて水平位置まで開くことができるように構成さ
れている。

【００６５】主面５０ａの内側には、洗浄装置１０ｃと
同じ３つの保持具４６ａ〜４６ｃが突設されている。但
し、ウエハ２０の進入方向を図１０中Ｘ１側からのみに
規制する保持具４６ｂは、洗浄装置１０ｄの奥部、係止
部材５２の近傍に設けられている。

【００６６】上記のように構成された洗浄装置１０ｄに
ウエハ２０を搬入して保持具４６ａ〜４６ｃに係合して
装着するには、図１６に示すように、主面５０ａを倒し
て開けた後、Ｘ１側からウエハ２０を保持具４６ａ、３
４６ｃ間をＸ２方向に直線的に進入させ、ウエハ２０の
先端部を保持具４６ｂの溝部５４に当接させる。これに
より、保持具４６ａ〜４６ｃによってウエハ２０が保持
される。

【００６７】上記本実施の形態の第４の例に係る洗浄装
置および洗浄装置へのウエハの搬入方法によれば、対向
する２つの主面を閉じ合わせた状態においてウエハ物搬
送装置の進入困難な対向する２つの主面の間の狭い幅の
間隙にウエハを容易に搬入し、配置することができる。

【００６８】つぎに、本実施の形態の第５の例に係る洗
浄装置および洗浄装置へのウエハの搬入方法について、
図１７を参照して説明する。

【００６９】洗浄装置１０ｅは、洗浄装置１０ｃ、１０
ｄと同じく縦置きのタイプである。

【００７０】洗浄装置１０ｅの洗浄処理容器５６は、蓋
体としての主面５６ａとウエハ２０の収容部２６が形成
された主面５６ｂとが図１７中下側の一端部Ｅ１に設け
られたシリンダ部材（スライド部材）５８によって接続
され、主面５６ａが主面５６ｂに対して水平方向（Ｘ１
−Ｘ２方向）に移動可能に設けられている。主面５６ａ
が主面５６ｂからＸ１方向に離間することにより洗浄装
置１０ｅは開状態となり、一方、開状態から主面５６ａ
がＸ２方向に移動して主面５６ｂと閉じ合わさることに
より洗浄装置１０ｅは密閉状態となる。

【００７１】主面５６ａの内側には、洗浄装置１０ｄと
同様に３つの保持具４６ａ〜４６ｃが突設されている。
この場合、ウエハ２０の進入方向をＹ２側からのみに規
制する保持具４６ｂは、洗浄装置１０ｅの奥部であるシ
リンダ部材５８の近傍の主面５６ａの位置に設けられて
いる。

【００７２】上記のように構成された洗浄装置１０ｅに
ウエハ２０を搬入して保持具４６ａ〜４６ｃに係合して
装着するには、図１７に示すように、主面５６ａをＸ１
方向に移動させて開けた後、Ｙ２側からウエハ２０を保
持具４６ａ、４６ｃ間をＹ１方向に直線的に進入させ、
ウエハ２０の先端部を保持具４６ｂの溝部５４に当接さ
せる。これにより、保持具４６ａ〜４６ｃによってウエ
ハ２０が保持される。

【００７３】上記本実施の形態の第５の例に係る洗浄装
置および洗浄装置へのウエハの搬入方法によれば、本実
施の形態の第４の例に係る洗浄装置および洗浄装置への
ウエハの搬入方法と同様の効果を得ることができる。

【００７４】また、開閉する主面の側にウエハを保持す
る保持具が設けられているため、主面を開いた状態にお
いて、その主面の周囲には障害物のない空間が確保され
るため、ウエハを容易に搬入することができる。

【００７５】

【発明の効果】本発明に係る密閉型処理装置によれば、
対向する２つの主面を閉じ合わせた状態において被処理
物搬送装置を側面側から進入させることが困難な２つの
主面の間の狭い幅の間隙に、２つの主面のいずれかを開
いて板状の被処理物を２つの主面と平行に１枚配置し
て、密閉した状態で被処理物を処理する処理装置であっ
て、２つの主面は、一端部を係合部材を介して回動可能
に接続されて他端部が開閉可能に設けられ、他端部を開
いた状態で被処理物搬送装置が進入して被処理物を配置
するように構成しており、または、２つの主面は、スラ
イド部材を介して離間および密着可能に設けられ、離間
した状態で被処理物搬送装置が進入して被処理物を配置
するように構成しているため、被処理物搬送装置を側面
側から進入させることが困難な、対向する２つの主面の
間の狭い幅の間隙にウエハを容易に搬入し、配置するこ
とができる。また、処理後、被処理物を搬出する場合に
おいても同様である。

【００７６】また、本発明に係る密閉型処理装置によれ
ば、２つの主面のいずれかに被処理物の周縁部を複数箇
所で保持する保持具が突設されているため、簡易でかつ
寸法の小さな保持機構で被処理物を保持することができ
る。

【００７７】また、本発明に係る密閉型処理装置によれ
ば、保持具は、２つの主面のうち可動する側の主面に設
けられているため、可動する側の主面を開いた状態にお
いて、その主面の周囲には障害物のない空間が確保さ
れ、被処理物を容易に搬入することができる。

【００７８】また、本発明に係る密閉型処理装置への被
処理物の搬入方法によれば、対向する２つの主面を閉じ
合わせた状態において被処理物搬送装置を側面側から進
入させることが困難な２つの主面の間の狭い幅の間隙
に、２つの主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該
２つの主面と平行に１枚配置して、密閉した状態で被処
理物を処理する処理装置への該被処理物の搬入方法であ
って、一端部を回動可能に接続された２つの主面のうち
の１つの主面の他端部を開く工程と、１つの主面の他端
部の側から被処理物を直線的に進入させ、保持具の溝部
に被処理物の先端部を保持するとともに、被処理物の挿
入方向の両側主面に設けられた保持具に被処理物の側縁
部を保持して被処理物を固定する工程と、を有し、また
は、スライド部材を介して離間および密着可能に設けら
れた２つの主面のうちの１つの主面を離間させて開く工
程と、１つの主面のスライド部材が設けられた側とは反
対の側から被処理物を直線的に進入させ、保持具の溝部
に被処理物の先端部を保持するとともに、１つの主面の
被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に被処理
物の側縁部を保持して被処理物を固定する工程と、を有
するため、被処理物を容易に搬入し、配置することがで
きる。また、処理後、被処理物を搬出する場合において
も同様である。

【００７９】また、本発明に係る密閉型処理装置への被
処理物の搬入方法によれば、他端部の側から被処理物を
保持具から浮かした状態で直線的に進入させ、他端部の
側の挿入方向が規制された溝部を有する保持具の位置に
被処理物の後端部が到達したときに、被処理物を保持具
に寄せて溝部に被処理物の後端部を保持するとともに、
被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に被処理
物の側縁部を保持して被処理物を固定する工程と、を有
し、また、スライド部材が設けられた側とは反対の側か
ら被処理物を保持具から浮かした状態で直線的に進入さ
せ、スライド部材が設けられた側とは反対の側の被処理
物の挿入方向が規制された溝部を有する保持具の位置に
被処理物の後端部が到達したときに、被処理物を保持具
に寄せて溝部に被処理物の後端部を保持するとともに、
被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に被処理
物の側縁部を保持して被処理物を固定する工程と、を有
するため、被処理物を容易に搬入し、配置することがで
きる。また、処理後、被処理物を搬出する場合において
も同様である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態の各例の洗浄装置の基本的な構成
と作用を説明するための洗浄装置の正面図である。

【図２】図１の洗浄装置の部分側面断面図である。

【図３】本実施の形態の第１の例の洗浄装置の主面を開
ける前の閉状態を説明するための洗浄装置の一部省略し
て示した側面図である。

【図４】本実施の形態の第１の例の洗浄装置の主面を開
けた状態を説明するための洗浄装置の一部省略して示し
た側面図である。

【図５】本実施の形態の第１の例の洗浄装置の主面を開
けた状態でウエハを進入させる手順を説明するための洗
浄装置の一部省略して示した側面図である。

【図６】本実施の形態の第１の例の洗浄装置の主面を開
けた状態でウエハを進入させる手順を説明するための洗
浄装置の一部省略して示した斜視図である。

【図７】本実施の形態の第１の例の洗浄装置の主面を閉
じたを説明するための洗浄装置の一部省略して示した側
面図である。

【図８】本実施の形態の第２の例の洗浄装置の主面を開
けて、ウエハを進入させた状態を説明するための洗浄装
置の一部省略して示した側面図である。

【図９】本実施の形態の第３の例の洗浄装置の主面を開
ける前の閉状態を説明するための洗浄装置の一部省略し
て示した側面図である。

【図１０】本実施の形態の第３の例の洗浄装置の主面を
開けた状態を説明するための洗浄装置の一部省略して示
した側面図である。

【図１１】本実施の形態の第３の例の洗浄装置の主面を
開けた状態でウエハを進入させる手順を説明するための
洗浄装置の一部省略して示した側面図である。

【図１２】本実施の形態の第３の例の洗浄装置の主面を
開けた状態でウエハを進入させる手順を説明するための
洗浄装置の一部省略して示した側面図である。

【図１３】本実施の形態の第３の例の洗浄装置の主面を
開けた状態でウエハを進入させる手順を説明するための
洗浄装置の一部省略して示した側面図である。

【図１４】本実施の形態の第３の例の洗浄装置の主面を
開けた状態でウエハを進入させる手順を説明するための
洗浄装置の一部省略して示した斜視図である。

【図１５】本実施の形態の第３の例の洗浄装置の主面を
閉じたを説明するための洗浄装置の一部省略して示した
側面図である。

【図１６】本実施の形態の第４の例の洗浄装置の主面を
開けて、ウエハを進入させた状態を説明するための洗浄
装置の一部省略して示した側面図である。

【図１７】本実施の形態の第５の例の洗浄装置の主面を
開けて、ウエハを進入させた状態を説明するための洗浄
装置の一部省略して示した側面図である。

【符号の説明】

１０、１０ａ〜１０ｅ 洗浄装置 １２、３０、３８、４２、５０、５６ 洗浄処理容器 １２ａ、１２ｂ、３０ａ、３０ｂ、３８ａ、３８ｂ、４
２ａ、４２ｂ、５０ａ、５０ｂ、５６ａ、５６ｂ 主面 １４ 導入部 １６ 排出部 ２０ ウエハ ２２ 、２４、２６、３２ａ〜３２ｃ、４６ａ〜４６ｃ
保持具 ２８、４４、５２、 係止部材 ４０、５８ シリンダ部材

フロントページの続き (72)発明者 後藤 日出人 東京都港区赤坂五丁目３番６号 ＴＢＳ放 送センター 東京エレクトロン株式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA01 FA07 FA12 FA17 HA12 HA48 MA23 NA16 PA09

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対向する２つの主面を閉じ合わせた状態
   において被処理物搬送装置を側面側から進入させること
   が困難な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該２つの
   主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該２つの主面
   と平行に１枚配置して、密閉した状態で該被処理物を処
   理する処理装置であって、 該２つの主面は、一端部を係合部材を介して回動可能に
   接続されて他端部が開閉可能に設けられ、該他端部を開
   いた状態で該被処理物搬送装置が進入して該被処理物を
   配置するように構成してなることを特徴とする密閉型処
   理装置。
2. 【請求項２】 対向する２つの主面を閉じ合わせた状態
   において被処理物搬送装置を側面側から進入させること
   が困難な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該２つの
   主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該２つの主面
   と平行に１枚配置して、密閉した状態で該被処理物を処
   理する処理装置であって、 該２つの主面は、スライド部材を介して離間および密着
   可能に設けられ、離間した状態で該被処理物搬送装置が
   進入して該被処理物を配置するように構成してなること
   を特徴とする密閉型処理装置。
3. 【請求項３】 前記２つの主面のいずれかに前記被処理
   物の周縁部を複数箇所で保持する保持具が突設されてな
   ることを特徴とする請求項１または２に記載の密閉型処
   理装置。
4. 【請求項４】 前記保持具は、前記２つの主面のうち可
   動する側の主面に設けられてなることを特徴とする請求
   項３記載の密閉型処理装置。
5. 【請求項５】 前記被処理物はウエハであり、前記処理
   は洗浄処理であることを特徴とする請求項1〜４のいず
   れか1項に記載の密閉型処理装置。
6. 【請求項６】 対向する２つの主面を閉じ合わせた状態
   において被処理物搬送装置を側面側から進入させること
   が困難な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該２つの
   主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該２つの主面
   と平行に１枚配置して、密閉した状態で該被処理物を処
   理する処理装置への該被処理物の搬入方法であって、 一端部を回動可能に接続された該２つの主面のうちの１
   つの主面の他端部を開く工程と、 該１つの主面の他端部の側から該被処理物搬送装置を用
   いて該被処理物を直線的に進入させ、 該１つの主面の該一端部側に設けられ、開口が該他端部
   の側に向けて形成され該被処理物の挿入方向が規制され
   た溝部を有する保持具の該溝部に該被処理物の先端部を
   保持するとともに、該１つの主面の該被処理物の挿入方
   向の両側に設けられた保持具に被処理物の側縁部を保持
   して被処理物を固定する工程と、を有することを特徴と
   する密閉型処理装置への被処理物の搬入方法。
7. 【請求項７】 対向する２つの主面を閉じ合わせた状態
   において被処理物搬送装置を側面側から進入させること
   が困難な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該２つの
   主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該２つの主面
   と平行に１枚配置して、密閉した状態で該被処理物を処
   理する処理装置への該被処理物の搬入方法であって、 スライド部材を介して離間および密着可能に設けられた
   該２つの主面のうちの１つの主面を移動させて開く工程
   と、 該１つの主面のスライド部材が設けられた側とは反対の
   側から該被処理物搬送装置を用いて該被処理物を直線的
   に進入させ、 該１つの主面のスライド部材が設けられた側に設けら
   れ、開口が該反対の側に向けて形成され該被処理物の挿
   入方向が規制された溝部を有する保持具の該溝部に該被
   処理物の先端部を保持するとともに、該１つの主面の該
   被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に被処理
   物の側縁部を保持して被処理物を固定する工程と、を有
   することを特徴とする密閉型処理装置への被処理物の搬
   入方法。
8. 【請求項８】 対向する２つの主面を閉じ合わせた状態
   において被処理物搬送装置を側面側から進入させること
   が困難な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該２つの
   主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該２つの主面
   と平行に１枚配置して、密閉した状態で該被処理物を処
   理する処理装置への該被処理物の搬入方法であって、 一端部を回動可能に接続された該２つの主面のうちの１
   つの主面の他端部を開く工程と、 該１つの主面の他端部の側から該被処理物搬送装置を用
   いて該被処理物を保持具から浮かした状態で直線的に進
   入させ、 該１つの主面の他端部の側に設けられ、開口が該一端部
   の側に向けて形成され該被処理物の挿入方向が規制され
   た溝部を有する保持具の位置に該被処理物の後端部が到
   達したときに、該被処理物を保持具に寄せて該溝部に該
   被処理物の後端部を保持するとともに、該１つの主面の
   該被処理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に被処
   理物の側縁部を保持して被処理物を固定する工程と、を
   有することを特徴とする密閉型処理装置への被処理物の
   搬入方法。
9. 【請求項９】 対向する２つの主面を閉じ合わせた状態
   において被処理物搬送装置を側面側から進入させること
   が困難な該２つの主面の間の狭い幅の間隙に、該２つの
   主面のいずれかを開いて板状の被処理物を該２つの主面
   と平行に１枚配置して、密閉した状態で該被処理物を処
   理する処理装置への該被処理物の搬入方法であって、 スライド部材を介して離間および密着可能に設けられた
   該２つの主面のうちの１つの主面を移動させて開く工程
   と、 該１つの主面のスライド部材が設けられた側とは反対の
   側から該被処理物搬送装置を用いて該被処理物を保持具
   から浮かした状態で直線的に進入させ、 該１つの主面のスライド部材が設けられた側とは反対の
   側に設けられ、開口が該スライド部材が設けられた側に
   向けて形成され該被処理物の挿入方向が規制された溝部
   を有する保持具の位置に該被処理物の後端部が到達した
   ときに、該被処理物を保持具に寄せて該溝部に該被処理
   物の後端部を保持するとともに、該１つの主面の該被処
   理物の挿入方向の両側に設けられた保持具に被処理物の
   側縁部を保持して被処理物を固定する工程と、を有する
   ことを特徴とする密閉型処理装置への被処理物の搬入方
   法。
10. 【請求項１０】 前記被処理物はウエハであり、前記処
    理は洗浄処理であることを特徴とする請求項６〜９のい
    ずれか1項に記載の密閉型処理装置への被処理物の搬入
    方法。