CN202394855U - 可调式卡匣固定装置 - Google Patents

Abstract

一种可调式卡匣固定装置，用以固定一卡匣，该可调式卡匣固定装置包含有一卡匣平台、一第一定位组、一第二定位组、一前定位单元以及一后定位单元，该第一定位组及该第二定位组分别以一第一可变间距及一第二可变间距于左右方向固定不同尺寸的卡匣，而该后定位单元与该前定位单元之间，则分别通过一第一定位间距与一第二定位间距于前后方向固定不同尺寸的卡匣。据此，本实用新型利用第一定位组、第二定位组、前定位单元以及后定位单元抵靠卡匣定位，避免于固定卡匣时产生震动，并以改变间距的方式，达到适用多种尺寸卡匣的效果。

Description

可调式卡匣固定装置

技术领域

本实用新型涉及一种卡匣固定装置，尤指一种可调式的卡匣固定装置。

背景技术

目前一般的晶圆制造厂内，皆使用卡匣(cassette，盒)来暂时存放晶圆，使晶圆得以存放于该卡匣内，然后成批地由一个制程区移至下一个制程区，达到方便输送的需求，当欲对该晶圆进行相关的制程作业时，如测试、分类等，再依靠一机械手臂对该卡匣内的该晶圆进行取放的动作，而为了使该机械手臂能顺利地完成取放的动作，该卡匣通常会固定于一卡匣固定装置上，以避免卡匣的晃动影响晶圆的取放作业。

已知的卡匣固定装置如日本专利公开特许第1992024936所示，其为了固定卡匣避免晃动，在卡匣底面向下延伸凸出多个定位柱，而于放置该卡匣的平台上预设了符合多个该定位柱容置的多个沟槽，使该卡匣得以通过该定位柱卡入该沟槽的形式，而达到定位的效果，同样的，在日本专利公开特许第1999163081号中，为了固定卡匣，在卡匣底面向下延伸凸出设有H型定位条，而于放置该卡匣的平台上预设了符合该H型定位条容置的多个沟槽，并以该H型定位条卡入该多个沟槽的形式，达到定位效果

然而，上述的固定结构，于该卡匣放入该平台上时，由于该定位柱或H型定位条，必需向下卡入对应的该沟槽中，因此卡匣势必向下位移，震动到置于卡匣内的晶圆，产生了晶圆因此受损的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于解决已知的卡匣固定装置，于卡匣向下卡入该卡匣固定装置时，位于卡匣内的晶圆会受到震动的影响而产生受损的情形。

本实用新型的另一目的，在于提供一种只需简易调整，即可承载多种规格、尺寸的卡匣的卡匣固定装置。

为达上述目的，本实用新型提供一种可调式卡匣固定装置，包含有一卡匣平台、一第一定位组以及一第二定位组。该卡匣平台包括一容置面及设于该容置面的一第一左沟槽与一第一右沟槽及一第二左沟槽与一第二右沟槽，该第一左沟槽与该第一右沟槽分别与该第二左沟槽及该第二右沟槽相距一纵向间距。

该第一定位组包括一第一左活动柱以及一第一右活动柱，该第一左活动柱及该第一右活动柱分别设于该第一左沟槽及该第一右沟槽，且该第一左活动柱与该第一右活动柱相距一第一横向间距；该第二定位组包括一第二左活柱以及一第二右活动柱，该第二左活动柱与该第二右活动柱分别设于该第二左沟槽与该第二右沟槽，且该第二左活动柱与该第二右活动柱相距一第二横向间距。

其中，该第二横向间距大于该第一横向间距，且该第一定位组及该第二定位组具有一第一定位状态及一第二定位状态，该第一定位状态使该第一左活动柱与该第一右活动柱高于该容置面且该第二左活动柱及该第二右活动柱低于该容置面，而该第二定位状态使该第二左活动柱与该第二右活动柱高于该容置面且该第一左活动柱及该第一右活动柱低于该容置面。

进一步地，第一左沟槽与第一右沟槽相互连通。

进一步地，第二左沟槽与第二右沟槽相互连通。

进一步地，可调式卡匣固定装置还包括一设于卡匣平台的一前缘的前定位单元以及一设于卡匣平台的一后缘的后定位单元。

进一步地，第一定位组包括分别使第一左活动柱及第一右活动柱相对容置面垂直位移的一第一左升降单元及一第一右升降单元。

进一步地，第一左升降单元包括一基座、一设于基座上并具有一容纳第一左活动柱的活动空间的套筒部以及一设于活动空间内而承载第一左活动柱的弹性元件。

进一步地，第一左升降单元还包括一卡匣检测器及一承载基座及卡匣检测器的检测器固定件，检测器固定件具有一第一承载面以及一与第一承载面相邻的第二承载面，基座承载于第一承载面上，卡匣检测器承载于第二承载面上。

进一步地，第一左升降单元还包括一活动穿设于一开设于套筒部的环壁的穿孔中的挡止栓，且第一左活动柱凹设有一与挡止栓相对应的挡止槽，挡止栓具有一位于挡止槽内使第一左活动柱压缩弹性元件而低于容置面的限制位置，以及一位于挡止槽外使第一左活动柱受弹性元件推升而高于容置面的释放位置。

进一步地，第二定位组包括分别使第二左活动柱及第二右活动柱相对容置面垂直位移的一第二左升降单元及一第二右升降单元。

进一步地，第二左升降单元包括一基座、一设于基座上并具有一容纳第二左活动柱的活动空间的套筒部以及一设于活动空间内而承载第二左活动柱的弹性元件。

进一步地，第二左升降单元还包括一卡匣检测器及一承载基座及卡匣检测器的检测器固定件，检测器固定件具有一第一承载面以及一与第一承载面相邻的第二承载面，基座承载于第一承载面上，卡匣检测器承载于第二承载面上。

进一步地，第二左升降单元还包括一活动穿设于一开设于套筒部的环壁的穿孔中的挡止栓，且第二左活动柱凹设有一与挡止栓相对应的挡止槽，挡止栓具有一位于挡止槽内使第二左活动柱压缩弹性元件而低于容置面的限制位置，以及一位于挡止槽外使第二左活动柱受弹性元件推升而高于容置面的释放位置。

为达上述目的，本实用新型提供另一种可调式卡匣固定装置，用以固定一卡匣，包含有一卡匣平台、一前定位单元以及一后定位单元。该卡匣平台供该卡匣放置，并具有一前缘以及一相对该前缘的后缘，该前定位单元固定于该前缘，而该后定位单元位于该后缘且与该前定位单元之间形成一容置空间，并包含有一承载座、一固定臂以及一第一定位臂，该固定臂固定于该承载座，并延伸至该容置空间，该第一定位臂枢接于该承载座，以相对该承载座进行一第一转动行程，该固定臂及该第一定位臂分别具有远离该承载座的一定位端与一第一定位端，且该第一定位臂具有一大于该固定臂的臂长。

其中，该第一定位臂于该第一转动行程中具有一收纳位置以及一限位位置，该收纳位置使该第一定位端位移至该容置空间外而供该定位端与该前定位单元之间形成一第一定位间距，而该限位位置使该第一定位端位于该容置空间内而与该前定位单元之间形成一小于该第一定位间距的第二定位间距。

进一步地，后定位单元还包含有一枢接于承载座以相对承载座进行一第二转动行程的第二定位臂，且第二定位臂具有大于第一定位臂的臂长，第二定位臂还具有一远离承载座的第二定位端，且第二定位臂于第二转动行程中具有一使第二定位端位于容置空间内而与前定位单元之间形成一小于第二定位间距的第三定位间距的定位位置。

进一步地，承载座包含一定位调整座，固定臂固定于定位调整座上，而第一定位臂枢接于定位调整座上。

进一步地，第一定位臂于枢接定位调整座的一端分别设有一第一吸附件以及一第二吸附件，定位调整座分别设置有一第一被吸附件以及一第二被吸附件。

进一步地，第一定位臂位于收纳位置时，第一吸附件对应吸附第一被吸附件。

进一步地，第一定位臂位于限位位置时，第二吸附件对应吸附第二被吸附件。

进一步地，卡匣平台于后缘设有一第三被吸附件，而承载座上设有一对应吸附第三被吸附件的第三吸附件。

进一步地，可调式卡匣固定装置还包括一设于卡匣平台上且介于前定位单元与后定位单元之间的一左定位单元及一与左定位单元相对并与左定位单元相隔一间距的右定位单元。

进一步地，固定臂与定位调整座固定的一端包含一与定位调整座相接的臂长调整部，臂长调整部具有一调整长孔以及至少一搭配调整长孔锁合的螺钉。

进一步地，第一定位臂与定位调整座枢接的一端包含一与定位调整座枢接的第一枢接部以及一与第一枢接部相接的第一臂长调整部，第一臂长调整部具有一第一调整长孔以及至少一搭配调整长孔锁合的第一螺钉。

进一步地，承载座包含一定位调整座，第二定位臂枢接于定位调整座上，第二定位臂与定位调整座枢接的一端包含一与定位调整座枢接的第二枢接部以及一与第二枢接部相接的第二臂长调整部，第二臂长调整部具有一第二调整长孔以及至少一搭配第二调整长孔锁合的第二螺钉。

通过上述技术方案，本实用新型由该第一定位组以及该第二定位组所具有的该第一定位状态及该第二定位状态，以及该第一定位臂于该第一转动行程中所具有的该收纳位置及该限位位置，至少具有下列优点：

一、分别以该第一左活动柱、该第一右活动柱、该第二左活动柱以及该第二右活动柱不同的高底位置搭配，还有该固定臂及该第一定位臂分别与该前定位单元之间形成的该第一定位间距及该第二定位间距，达到可固定不同尺寸的卡匣的效果。

二、由于该第一左活动柱、该第一右活动柱、该第二左活动柱、该第二右活动柱可进行高低的调整，并与该前定位单元及该后定位单元分别以抵靠的方式固定该卡匣于前、后、左、右的位移，因为不会有卡匣为了固定而卡入凹槽的程序，解决已知卡匣于卡入固定时产生上下震动的问题，避免晶圆因此受损的情形。

附图说明

图1为本实用新型第一实施例的立体示意图。

图2A为本实用新型第一实施例的挡止栓位于释放位置的示意图。

图2B为本实用新型第一实施例的挡止栓位于限制位置的示意图。

图3为本实用新型第二实施例的立体示意图。

图4为本实用新型第二实施例的定位调整件及卡匣检测器设置示意图。

图5为本实用新型第三实施例的立体示意图。

图6为本实用新型第三实施例的后定位单元立体示意图。

图7A为本实用新型第三实施例的收纳位置俯视示意图。

图7B为本实用新型第三实施例的限位位置俯视示意图。

图8为本实用新型第四实施例的立体示意图。

具体实施方式

有关本实用新型的详细说明及技术内容，现就配合图式说明如下：

请参阅图1所示，为本实用新型第一实施例的立体示意图，如图所示：本实用新型为一种可调式卡匣固定装置，包含有一卡匣平台10、一第一定位组20以及一第二定位组30。该卡匣平台10包括一前缘12、一相对该前缘12的后缘13、一介于该前缘12与该后缘13之间的侧缘14、一容置面11以及设于该容置面11的一第一左沟槽112与一第一右沟槽113及一第二左沟槽115与一第二右沟槽116，该容置面11介于该前缘12与该后缘13之间，且该前缘12设有一前定位单元40，该侧缘14设置有一侧板141，一后定位单元50枢接于该侧板141上，并枢转至该后缘13的位置，而该第一左沟槽112与该第一右沟槽113分别与该第二左沟槽115及该第二右沟槽116相距一纵向间距H。

该第一定位组20包括一第一左活动柱21以及一第一右活动柱23，该第一左活动柱21及该第一右活动柱23分别设于该第一左沟槽112及该第一右沟槽113，且该第一左活动柱21与该第一右活动柱23相距一第一横向间距P1；该第二定位组30包括一第二左活动柱31以及一第二右活动柱33，该第二左活动柱31与该第二右活动柱33分别设于该第二左沟槽115与该第二右沟槽116，且该第二左活动柱31与该第二右活动柱33相距一第二横向间距P2，且该第二横向间距P2大于该第一横向间距P1。

请搭配参阅图2A及图2B所示，图2A为本实用新型第一实施例的挡止栓位于释放位置的示意图，图2B为本实用新型第一实施例的挡止栓位于限制位置的示意图，该第一定位组20还包括一第一左升降单元22以及一第一右升降单元24，该第一左升降单元22及该第一右升降单元24分别供该第一左活动柱21及该第一右活动柱23相对该容置面11垂直位移，而该第二定位组30还包括一第二左升降单元32以及一第二右升降单元34，该第二左升降单元32及该第二右升降单元34分别供该第二左活动柱31及该第二右活动柱33相对该容置面11垂直位移。

由于该第一左升降单元22、该第一右升降单元24、该第二左升降单元32以及该第二右升降单元34具有相同的作动结构，以下皆以该第一左升降单元22搭配该第一左活动柱21来举例说明，而该第一右升降单元24搭配该第一右活动柱23、该第二左升降单元32搭配该第二左活动柱31以及该第二右升降单元34搭配该第二右活动柱33则不再做赘述，如下所述，该第一左升降单元22包含有一基座221、一套筒部222、一垫片228以及一弹性元件223，该基座221与该套筒部222连接，在此为一体成型，并同设于该垫片28上，该套筒部222具有一容纳该第一左活动柱21的活动空间，该弹性元件223设于该活动空间内而承载该第一左活动柱21，并于底端抵触该垫片228使该第一左活动柱21得以通过该弹性元件223的伸缩于该活动空间中，进行上下的垂直位移，在此实施例中，该弹性元件223为一弹簧。

该第一左升降单元22还包括一挡止栓224，该套筒部222的环壁开设一穿孔2221，该挡止栓224活动穿设于该穿孔2221中，且该第一左活动柱21凹设有一挡止槽211，该挡止槽211对应该挡止栓224，使该挡止栓224于该穿孔2221中活动，分别具有一释放位置以及一限制位置，于该释放位置，该挡止栓224位于该挡止槽211外，并使该第一左活动柱21因该弹性元件223的推升，而高于该容置面11，而于该限制位置，该挡止栓224插入该挡止槽211内，使该第一左活动柱21压缩该弹性元件223，而低于该容置面11。再者，该挡止栓224还穿设有一限位孔2241，一限位件2242插入该限位孔2241中，防止该挡止栓224脱出该穿孔2221，限制该挡止栓224于该穿孔2221中移动，另外，该第一左活动柱21的周壁向外凸设有一挡止部212，该套筒部222的内壁于开口的周沿向内延伸形成一凸出的内檐2222，当该挡止栓224于该释放位置时，该第一左活动柱21受该弹性元件223的推升高于该容置面11，该挡止部212抵靠该内檐2222，限制该第一左活动柱21脱出该套筒部222外。

于使用时，该第一定位组20及该第二定位组30具有一第一定位状态及一第二定位状态，该第一定位状态使该第一左活动柱21与该第一右活动柱23高于该容置面11且该第二左活动柱31及该第二右活动柱33低于该容置面11，且该第一左活动柱21及该第一右活动柱23分别会凸出该容置面11，并相距该第一横向间距P1，将一于底面左、右两侧各凸设有一定位翼81a、81b的卡匣80置于该容置面11上，且该两定位翼81a、81b间隔的距离稳合对应该第一横向间距P1，使该第一左活动柱21及该第一右活动柱23各自抵靠位于左、右两侧的该定位翼81a、81b内侧，固定该第一卡匣80于左、右两方向的位移，接着再通过该前定位单元40及该后定位单元50分别抵靠该卡匣80的前、后端，然后于前、后方向固定该卡匣80，因而在该卡匣80不受任何震动的情况下，固定了该卡匣80。

而该第二定位状态使该第二左活动柱31与该第二右活动柱33高于该容置面11且该第一左活动柱21及该第一右活动柱23低于该容置面11，故该第二左活动柱31及该第二右活动柱33分别会凸出该容置面11，并相距该第二横向间距P2，将另一于底面左、右两侧各凸设有一定位翼81a、81b的卡匣80置于该容置面11上，且该两定位翼81a、81b间隔的距离稳合对应该第二横向间距P2，使该第二左活动柱31及该第二右活动柱33各自抵靠位于左、右两侧的该定位翼81a、81b内侧，然后于左、右方向固定该卡匣80，接着再通过该前定位单元40及该后定位单元50分别抵靠该卡匣80的前、后端，然后于前、后方向固定该卡匣80，因而在该卡匣80不受任何震动的情况下，固定了该卡匣80，再者，由于不同尺寸的卡匣80其所具的两定位翼81a、81b相距不同的距离，因此该可调式卡匣80固定装置通过切换该第一定位状态及该第二定位状态，即可分别以该第一定位组20的该第一横向间距P1及该第二定位组30的该第二横向间距P2对应两种不同尺寸的卡匣80进行固定，若欲固定三种不同尺寸的卡匣80使用，则可再加设一第三定位组及所搭配的第三左沟槽与第三右沟槽。

请搭配参阅图3所示，为本实用新型第二实施例的立体示意图，如图所示：在此实施例中，与第一实施例相较之下，其特征在于该第一左沟槽112及该第一右沟槽113相互连通，形成一第一滑槽111，该第二左沟槽115及该第二右沟槽116也相互连通，形成一第二滑槽114，且与该第一滑槽111的方向平行；而该第一左升降单元22与该第一右升降单元24则设于该第一滑槽111内滑动，且该第一左活动柱21与该第一右活动柱23之间相距一第一可变间距，同样的，该第二左升降单元32及该第二右升降单元34设于该第二滑槽114内滑动，且该第二左活动柱31与该第二右活动柱33之间相距一第二可变间距。

请搭配参阅图4所示，为本实用新型第二实施例的定位调整件及卡匣检测器设置示意图，在第二实施例中，该第一左升降单元22、该第一右升降单元24、该第二左升降单元32、该第二右升降单元34不仅各包含了该基座221、该套筒部222、该垫片228、该弹性元件223以及该挡止栓224，还包含了一定位调整件225、一卡匣检测器226以及一检测器固定件227，以该第一左升降单元22举例说明，该定位调整件225与该套筒部222连接，在此为一体成型，对应该第一滑槽111的位置，沿着远离该第一右升降单元24的方向延伸，并具有一长孔，该长孔供一螺钉穿入，锁固该定位调整件225于该第一滑槽111中，间接固定该基座221于该第一滑槽111中的位置；该检测器固定件227具有一第一承载面2271以及一相邻的第二承载面2272，该基座221通过该垫片228对应固定于该第一承载面2271上，而该卡匣检测器226位于该第二承载面2272上，使该卡匣检测器226与该基座221相邻设置。

在此实施例中，于使用时，由于该第一左升降单元22及该第一右升降单元24得以在该第一滑槽111中移动，因此该第一可变间距可依欲固定的一卡匣80，调整成适合固定该卡匣80的两定位翼81a、81b的距离，接着各以该螺钉穿入该定位调整件225的该长孔中，将该第一左升降单元22及该第一右升降单元24锁固于该第一滑槽111中，使该第一左活动柱21及该第一右活动柱23可稳定地限制该卡匣80于左、右两方向的移动，并使该卡匣检测器226的位置，对应该卡匣80的该两定位翼81a、81b，检测该卡匣80是否位于该第一左活动柱21及该第一右活动柱23上，同样的，该第二左活动柱31与该第二右活动柱33于该第二滑槽114中，也是依同样的方式操作，据此，该可调式卡匣固定装置即可自由调整该第一左活动柱21及该第一右活动柱23之间的该第一可变间距，还有该第二左活动柱31及该第二右活动柱33之间的该第二可变间距，以配合固定各种不同尺寸的该卡匣80，并检测该卡匣80是否存在。

请参阅图5所示，为本实用新型第三实施例的立体示意图，如图所示：在此实施例中，该可调式卡匣固定装置用以固定一卡匣80，包含有一卡匣平台10、一前定位单元40、一后定位单元50、一左定位单元60以及一右定位单元70，该卡匣平台10具有一前缘12、一相对该前缘12的后缘13以及一介于该前缘12与该后缘13之间的侧缘14，该侧缘14连接设置有一侧板141，该前定位单元40设置于该前缘12，该后缘13设有一第三被吸附件131，该后定位单元50设有一对应该第三被吸附件131吸附的第三吸附件512，该后定位单元50通过与该侧板141枢接，枢转至该后缘13的位置，以该第三吸附件512与该第三被吸附件131对应吸附而定位于该后缘13，且该后定位单元50与该前定位单元40之间形成一容置空间90(示于图7A及图7B)，该左定位单元60以及该右定位单元70设于该卡匣平台10上，并介于该前定位单元40与该后定位单元50之间。

请搭配参阅图6所示，为本实用新型第三实施例的后定位单元立体示意图，该后定位单元50包含有一承载座51、一固定臂52以及一第一定位臂53，该后定位单元50以该承载座51与该侧板141枢接，该承载座51包含一定位调整座511，该固定臂52固定于该定位调整座511上，并延伸至该容置空间90(示于图7A及图7B)，该第一定位臂53枢接于该定位调整座511，以相对该定位调整座511进行一第一转动行程，该固定臂52及该第一定位臂53分别具有远离该定位调整座511的一定位端521与一第一定位端531，且该第一定位臂53的臂长大于该固定臂52的臂长，要进一步说明的是，该固定臂52与该定位调整座511固定的一端包含一与该定位调整座511相接的臂长调整部522，该臂长调整部522具有一调整长孔5221以及至少一搭配该调整长孔5221锁合的螺钉5222，而该第一定位臂53与该定位调整座511枢接的一端包含一与该定位调整座511枢接的第一枢接部534以及一与该第一枢接部534相接的第一臂长调整部535，该第一臂长调整部535具有一第一调整长孔5351以及至少一搭配该调整长孔5351锁合的第一螺钉5352。再者，该第一定位臂53于枢接该定位调整座511的一端分别设有一第一吸附件532以及一第二吸附件533，而该定位调整座511分别设置有一对应该第一吸附件532吸附的第一被吸附件5111以及一对应该第二吸附件533吸附的第二被吸附件5112。

请搭配参阅图7A及图7B所示，图7A为本实用新型第三实施例的收纳位置俯视示意图，图7B为本实用新型第三实施例的限位位置俯视示意图，于使用时，先以该左定位单元60以及该右定位单元70于左右方向固定该卡匣80，接着，由于该第一定位臂53于该第一转动行程中具有一收纳位置以及一限位位置，该收纳位置由该第一定位臂53枢转至指向上方，使该第一定位端531位移至该容置空间90外，且该第一吸附件532与该第一被吸附件5111对应吸附，辅助该第一定位臂53顺利定位而不晃动，使该定位端521与该前定位单元40之间形成一第一定位间距S1，而该限位位置由该第一定位臂53枢转至指向该前定位单元40，使该第一定位端531位于该容置空间90内，且该第二吸附件533与该第二被吸附件5112对应吸附，辅助该第一定位臂53顺利定位而不晃动，使该第一定位端531与该前定位单元40之间形成一第二定位间距S2，且该第二定位间距S2小于该第一定位间距S1，据此，由于该第一定位间距S1与该第二定位间距S2的不同，因此得以通过该第一定位臂53的枢转以该第一定位间距S1或是该第二定位间距S2来对应容置两种不同尺寸的卡匣80，并于前、后方向固定该卡匣80，而在该卡匣80不受任何震动的情况下，以前、后、左、右抵靠的方式固定了该卡匣80，再者，该固定臂52还可调整该臂长调整部522中的该螺钉5222于该调整长孔5221的锁合位置，进一步微调该第一定位间距S1的大小，得以更弹性地与不同尺寸的该卡匣80搭配固定，同理，该第一定位臂53也可通过该第一臂长调整部535达到微调该第二定位间距S2的大小的效果。

而若欲固定三种不同尺寸的卡匣80使用，则可在该定位调整座511上再枢接一第二定位臂54，且该第二定位臂54的臂长大于该第一定位臂53的臂长，并具有一远离该定位调整座511的第二定位端541，该第二定位臂54以相对该定位调整座511进行一第二转动行程，在该第二转动行程之中，该第二定位臂54具有一定位位置，该定位位置由该第二定位臂54指向该前定位单元40，且该第二定位端541位于该容置空间90内并与该前定位单元40之间形成一第三定位间距，该第三定位间距则会小于该第二定位间距S2，以对应固定一尺寸更小的卡匣80。要特别说明的是，该固定臂52的臂长会小于该第一定位臂53及该第二定位臂54的臂长，用以固定最大尺寸的该卡匣80，同样的，该第二定位臂54与该定位调整座511枢接的一端也包含一与该定位调整座511枢接的第二枢接部542以及一与该第二枢接部542相接的第二臂长调整部543，该第二臂长调整部543具有一第二调整长孔5431以及至少一搭配该第二调整长孔5431锁合的第二螺钉5432，并以该第二臂长调整部543来微调该第三定位间距的大小。

请参阅图8所示，图8为本实用新型第四实施例的立体示意图，在此实施例中，将该第一定位组20、第一滑槽111、该第二定位组30、该第二滑槽114、该第三定位组、该第三滑槽搭配具有该固定臂52、该第一定位臂53及该第二定位臂54的该后定位单元50使用，使该可调式卡匣80固定装置在固定晶元卡匣80时，不仅可依卡匣80的尺寸大小调整，稳固地固定该卡匣80，并通过多组化的搭配，达到适用固定多种不同尺寸的卡匣80的模块化功能。

综上所述，由于本实用新型通过该第一定位组、该第一滑槽、该第二定位组、该第二滑槽、该第三定位组、该第三滑槽以及具有该固定臂、该第一定位臂及该第二定位臂的该后定位单元相互搭配，以抵靠的方式于前、后、左、右固定该卡匣，解决已知卡匣于卡入时产生上下震动的问题，避免晶圆因此受损的情形，并达到可适用多种尺寸的卡匣的模块化功能。

以上已将本实用新型做一详细说明，然而以上所述者，仅为本实用新型的一优选实施例而已，当不能限定本实用新型实施的范围。即凡依本实用新型权利要求范围所作的均等变化与修饰等，皆应仍属本实用新型的专利涵盖范围内。

Claims (23)

1.一种可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述可调式卡匣固定装置包含有：

一卡匣平台，所述卡匣平台包括一容置面及设于所述容置面的一第一左沟槽与一第一右沟槽及一第二左沟槽与一第二右沟槽，所述第一左沟槽及所述第一右沟槽分别与所述第二左沟槽及所述第二右沟槽相距一纵向间距；

一第一定位组，包括一设于所述第一左沟槽的第一左活动柱及一设于所述第一右沟槽且与所述第一左活动柱相距一第一横向间距的第一右活动柱；以及

一第二定位组，包括一设于所述第二左沟槽的第二左活动柱及一设于所述第二右沟槽且与所述第二左活动柱相距一第二横向间距的第二右活动柱，

其中，所述第二横向间距大于所述第一横向间距，且所述第一定位组及所述第二定位组具有一使所述第一左活动柱及所述第一右活动柱高于所述容置面且所述第二左活动柱及所述第二右活动柱低于所述容置面的第一定位状态，以及一使所述第二左活动柱及所述第二右活动柱高于所述容置面且所述第一左活动柱及所述第一右活动柱低于所述容置面的第二定位状态。

2.根据权利要求1所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一左沟槽与所述第一右沟槽相互连通。

3.根据权利要求1所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第二左沟槽与所述第二右沟槽相互连通。

4.根据权利要求1所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述可调式卡匣固定装置还包括一设于所述卡匣平台的一前缘的前定位单元以及一设于所述卡匣平台的一后缘的后定位单元。

5.根据权利要求1所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一定位组包括分别使所述第一左活动柱及所述第一右活动柱相对所述容置面垂直位移的一第一左升降单元及一第一右升降单元。

6.根据权利要求5所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一左升降单元包括一基座、一设于所述基座上并具有一容纳所述第一左活动柱的活动空间的套筒部以及一设于所述活动空间内而承载所述第一左活动柱的弹性元件。

7.根据权利要求6所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一左升降单元还包括一卡匣检测器及一承载所述基座及所述卡匣检测器的检测器固定件，所述检测器固定件具有一第一承载面以及一与所述第一承载面相邻的第二承载面，所述基座承载于所述第一承载面上，所述卡匣检测器承载于所述第二承载面上。

8.根据权利要求6所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一左升降单元还包括一活动穿设于一开设于所述套筒部的环壁的穿孔中的挡止栓，且所述第一左活动柱凹设有一与所述挡止栓相对应的挡止槽，所述挡止栓具有一位于所述挡止槽内使所述第一左活动柱压缩所述弹性元件而低于所述容置面的限制位置、以及一位于所述挡止槽外使所述第一左活动柱受所述弹性元件推升而高于所述容置面的释放位置。

9.根据权利要求1所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第二定位组包括分别使所述第二左活动柱及所述第二右活动柱相对所述容置面垂直位移的一第二左升降单元及一第二右升降单元。

10.根据权利要求9所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第二左升降单元包括一基座、一设于所述基座上并具有一容纳所述第二左活动柱的活动空间的套筒部以及一设于所述活动空间内而承载所述第二左活动柱的弹性元件。

11.根据权利要求10所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第二左升降单元还包括一卡匣检测器及一承载所述基座及所述卡匣检测器的检测器固定件，所述检测器固定件具有一第一承载面以及一与所述第一承载面相邻的第二承载面，所述基座承载于所述第一承载面上，所述卡匣检测器承载于所述第二承载面上。

12.根据权利要求10所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第二左升降单元还包括一活动穿设于一开设于所述套筒部的环壁的穿孔中的挡止栓，且所述第二左活动柱凹设有一与所述挡止栓相对应的挡止槽，所述挡止栓具有一位于所述挡止槽内使所述第二左活动柱压缩所述弹性元件而低于所述容置面的限制位置、以及一位于所述挡止槽外使所述第二左活动柱受所述弹性元件推升而高于所述容置面的释放位置。

13.一种可调式卡匣固定装置，用以固定一卡匣，其特征在于，所述可调式卡匣固定装置包含有：

一供所述卡匣放置的卡匣平台，所述卡匣平台具有一前缘以及一与所述前缘相对的后缘；

一固定于所述前缘的前定位单元；以及

一位于所述后缘且与所述前定位单元之间形成一容置空间的后定位单元，所述后定位单元包含有一承载座、一固定于所述承载座且延伸至所述容置空间的固定臂以及一枢接于所述承载座以相对所述承载座进行一第一转动行程的第一定位臂，所述固定臂具有远离所述承载座的一定位端并且所述第一定位臂具有远离所述承载座的一第一定位端，且所述第一定位臂具有一大于所述固定臂的臂长，

其中，所述第一定位臂于所述第一转动行程中具有一使所述第一定位端位移至所述容置空间外而供所述定位端与所述前定位单元之间形成一第一定位间距的收纳位置、以及一使所述第一定位端位于所述容置空间内而与所述前定位单元之间形成一小于所述第一定位间距的第二定位间距的限位位置。

14.根据权利要求13所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述后定位单元还包含有一枢接于所述承载座以相对所述承载座进行一第二转动行程的第二定位臂，且所述第二定位臂具有大于所述第一定位臂的臂长，所述第二定位臂还具有一远离所述承载座的第二定位端，且所述第二定位臂于所述第二转动行程中具有一使所述第二定位端位于所述容置空间内而与所述前定位单元之间形成一小于所述第二定位间距的第三定位间距的定位位置。

15.根据权利要求13所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述承载座包含一定位调整座，所述固定臂固定于所述定位调整座上，而所述第一定位臂枢接于所述定位调整座上。

16.根据权利要求15所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一定位臂于枢接所述定位调整座的一端分别设有一第一吸附件以及一第二吸附件，所述定位调整座分别设置有一第一被吸附件以及一第二被吸附件。

17.根据权利要求16所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一定位臂位于所述收纳位置时，所述第一吸附件对应吸附所述第一被吸附件。

18.根据权利要求16所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一定位臂位于所述限位位置时，所述第二吸附件对应吸附所述第二被吸附件。

19.根据权利要求13所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述卡匣平台于所述后缘设有一第三被吸附件，而所述承载座上设有一对应吸附所述第三被吸附件的第三吸附件。

20.根据权利要求13所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述可调式卡匣固定装置还包括一设于所述卡匣平台上且介于所述前定位单元与所述后定位单元之间的一左定位单元及一与所述左定位单元相对并与所述左定位单元相隔一间距的右定位单元。

21.根据权利要求15所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述固定臂与所述定位调整座固定的一端包含一与所述定位调整座相接的臂长调整部，所述臂长调整部具有一调整长孔以及至少一搭配所述调整长孔锁合的螺钉。

22.根据权利要求15所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述第一定位臂与所述定位调整座枢接的一端包含一与所述定位调整座枢接的第一枢接部以及一与所述第一枢接部相接的第一臂长调整部，所述第一臂长调整部具有一第一调整长孔以及至少一搭配所述调整长孔锁合的第一螺钉。

23.根据权利要求14所述的可调式卡匣固定装置，其特征在于，所述承载座包含一定位调整座，所述第二定位臂枢接于所述定位调整座上，所述第二定位臂与所述定位调整座枢接的一端包含一与所述定位调整座枢接的第二枢接部以及一与所述第二枢接部相接的第二臂长调整部，所述第二臂长调整部具有一第二调整长孔以及至少一搭配所述第二调整长孔锁合的第二螺钉。

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