CN201387222Y - 一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其能按照硅片规格的大小的要求适当调整，配置成本低，生产效率高。其包括两块底板和两块侧板，两块底板和两块侧板相互扣接，其特征在于：其还包括侧挡杆和下挡杆，底板上开有卡孔，侧挡杆和下挡杆分别卡接入与底板的对应的卡孔内。
Description
(一)技术领域
本实用新型涉及硅片加工生产设备技术领域，具体一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具。
(二)背景技术
硅片甩干时，硅片放置于硅片盒中，硅片盒放置于专用夹具中，由于受到硅片规格大小的影响，针对不同规格的硅片，需要配置相对应规格的硅片盒放置夹具，其配置成本高，且在使用时需要频繁更换硅片盒放置夹具，生产效率低。
(三)实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提供了一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其能按照硅片规格的大小的要求适当调整，配置成本低，生产效率高。
其技术方案是这样的：其包括两块底板和两块侧板，所述两块底板和两块侧板相互扣接，其特征在于：其还包括侧挡杆和下挡杆，所述底板上开有卡孔，所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
其进一步特征在于：所述底板上与侧挡杆、下挡杆相对应的卡孔分别设置有两组；所述侧挡杆和下挡杆分别有两根；所述下档杆设置有侧挡边；所述下挡杆底部边缘设置有凸起；所述侧板正面开有主排水孔；所述主排水孔设置有两个；所述侧板的底面开有小排水孔。
在本实用新型结构中，侧挡杆和下挡杆可以根据硅片规格的大小来调节位置，其不需要使用不同规格的硅片盒放置夹具来适合硅片规格的大小，减少了配置成本，降低了生产成本，提高了生产效率。
(四)附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为图1的俯视结构示意图；
图3为图1的右视结构示意图；
图4为图1的后视结构示意图。
(五)具体实施方式
见图1、图2、图3和图4，本实用新型包括两块底板1和两块侧板3，两块底板1和两块侧板3相互扣接，本实用新型还包括侧挡杆2和下挡杆4，侧挡杆2和下挡杆4分别卡接入底板1的卡孔5、10内。卡接孔5、10分别设置有两组；侧挡杆2和下挡杆4分别有两根；下挡杆4设置有侧挡边6，可以限制硅片盒的下部左右移动；下挡杆4底部边缘设置有凸起7，起到限制下挡杆4的位置移动的作用；侧板2正面开有两个主排水孔8；侧板2的底面开有小排水孔9，甩干机工作时，在离心力作用下排水。
当硅片甩干机对大规格硅片进行甩干操作时，可以将本实用新型结构中的侧挡杆2、下挡杆4取出，直接将大片盒放入本实用新型结构中，当需要对小规格硅片进行甩干操作，则将侧挡杆2和下挡杆4卡入底板1上的卡孔5、10内，起到固定小硅片盒的作用。卡孔5、10的选择，根据硅片盒的大小来确定，如果硅片盒大，就选择外侧的卡孔，硅片盒小，则选择内侧的卡孔。
Claims (7)
1、一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其包括两块底板和两块侧板，所述两块底板和两块侧板相互扣接，其特征在于：其还包括侧挡杆和下挡杆，所述底板上开有卡孔，所述侧挡杆和下挡杆分别卡接入与所述底板的对应的卡孔内。
2、根据权利要求1所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述底板上与侧挡杆、下挡杆相对应的卡孔分别设置有两组。
3、根据权利要求2所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述侧挡杆和下挡杆分别有两根。
4、根据权利要求3所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述下档杆设置有侧挡边。
5、根据权利要求4所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述下挡杆底部边缘设置有凸起。
6、根据权利要求5所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述侧板正面开有主排水孔；所述主排水孔设置有两个。
7、根据权利要求6所述的一种改良的用于硅片甩干机的硅片盒放置夹具，其特征在于：所述侧板的底面开有小排水孔。
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102226641A (zh) * | 2011-04-29 | 2011-10-26 | 无锡市奥曼特科技有限公司 | 新型的硅片甩干机内筒结构 |
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2009
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Legal Events
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