CN109623633A - 汽水分离容器 - Google Patents

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Abstract

提供汽水分离容器，能够实现小型化。本发明的汽水分离容器(20)具有容器主体(21)和流出防止壁(22)，容器主体具有：导入口(211)，其供借助吸引泵(30)而吸引的气体(空气)(9)与液体(水)(8)的混合流体(7)导入；液体蓄留部(212)，其包含液体排出口(213)，该液体排出口形成在比导入口靠下方的位置；以及气体排出口(214)，该气体排出口与吸引源(3b)连接，形成在比液体蓄留部靠上方的位置，该流出防止壁配设在容器主体的内部，防止从导入口(211)导入的混合流体(7)向气体排出口(214)流出，因此不用扩大导入口(211)与气体排出口(214)之间的间隔便能够加长从导入口到气体排出口的路径，能够使容器主体(21)小型化。

Description

汽水分离容器
技术领域
本发明涉及汽水分离容器。
背景技术
对被加工物进行磨削的磨削装置及对被加工物进行切削的切削装置等加工装置具有对被加工物进行吸引保持的卡盘工作台。卡盘工作台与用于生成吸引力的真空生成机构连接。真空生成机构具有：水封式真空泵，其与卡盘工作台连接；以及汽水分离容器，其用于循环利用从水封式真空泵排出的水。在汽水分离容器中形成有导入口、气体排出口和液体排出口，气体排出口构成为与吸引源连接，该导入口导入包含气体和液体的混合流体，该气体排出口和液体排出口将导入到容器内的混合流体所包含的气体和液体排出(例如，参照下述的专利文献1)。
专利文献1：日本特开2002-144181号公报
上述那样的汽水分离容器比较大，配设在加工装置的外部。当想要使汽水分离容器小型化时，由于无法确保导入口与气体排出口之间的间隔较宽，所以存在导入到容器内的混合流体直接以未进行汽水分离的状态从气体排出口排出的问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供能够实现小型化的汽水分离容器。
本发明是汽水分离容器，该汽水分离容器具有容器主体和流出防止壁，该容器主体具有：导入口，其供借助吸引泵而吸引的气体与液体的混合流体导入；液体蓄留部，其包含液体排出口，该液体排出口形成在比该导入口靠下方的位置；以及气体排出口，其形成在比该液体蓄留部靠上方的位置，并与吸引源连接，所述流出防止壁配设在该容器主体的内部，防止从该导入口导入的该混合流体向该气体排出口流出。
并且，优选该汽水分离容器具有堤防壁，该堤防壁竖立设置在上述液体蓄留部的底部，限制从所述液体排出口排出的液体的流出量。
此外，优选该汽水分离容器具有减速壁，该减速壁与上述导入口对置地配设，使从该导入口导入的上述混合流体的流入速度减速。
本发明的汽水分离容器具有容器主体和流出防止壁，容器主体具有：导入口，其供借助吸引泵而吸引的气体与液体的混合流体导入；液体蓄留部，其包含液体排出口，液体排出口形成在比导入口靠下方的位置；以及气体排出口，气体排出口形成在比液体蓄留部靠上方的位置，并与吸引源连接，流出防止壁配设在容器主体的内部，防止从导入口导入的混合流体向气体排出口流出，因此不用扩大导入口与气体排出口之间的间隔便能够加长从导入口到气体排出口的路径，能够使容器主体小型化。
并且，本发明的汽水分离容器具有堤防壁，该堤防壁竖立设置在上述液体蓄留部的底部，限制从上述液体排出口排出的液体的流出量，因此能够防止液体从液体排出口过度排出。
此外，本发明的汽水分离容器具有减速壁，该减速壁与上述导入口对置地配设，使从导入口导入的上述混合流体的流入速度减速，因此能够使导入到容器主体内的混合流体的流动势头减弱，可防止混合流体从气体排出口流出。
附图说明
图1是示出切削装置的一例的结构的立体图。
图2是示出保持工作台和真空生成机构的结构的说明图。
图3是示出汽水分离容器的第1例的侧视图。
图4是示出汽水分离容器的第2例的侧视图。
图5的(a)是示出汽水分离容器的第3例的俯视图，图5的(b)是示出汽水分离容器的第3例的侧视图。
图6的(a)是示出汽水分离容器的第4例的俯视图，图6的(b)是示出汽水分离容器的第4例的侧视图。
标号说明
1：切削装置；100：装置基座；101：柱；102：开口；2：真空生成机构；3a、3b：吸引源；4a、4b：阀；5：逆止阀；6：水提供源；7：混合流体；8：水；9：空气；10：保持工作台；11：治具卡盘工作台；110：芯片吸引孔；111：退刀槽；12：工作台基座；120：吸引槽；121：吸引孔；122：工作台基座吸引孔；13a、13b：加工进给单元；130：滚珠丝杠；131：电动机；132：导轨；133：移动基台；14a、14b：切削单元；140：主轴；141：切削刀具；15a、15b：分度进给单元；150：滚珠丝杠；151：电动机；152：导轨；153：移动部；16a、16b：升降单元；160：电动机；17：旋转支承台；20、20A、20B、20C：汽水分离容器；21、21A、21B、21C：容器主体；210a：上表面；210b：侧面；211、211a：导入口；212：液体蓄留部；212a：底部；213：液体排出口；214：气体排出口；215：循环液流出口；216：溢流排出口；217a：第1导入口；217b：第2导入口；218：液体蓄留部；218a：底部；219：液体排出口；220：循环液流出口；221：气体排出口；222：溢流排出口；223a：第1导入口；223b：第2导入口；22：流出防止壁；23：堤防壁；24：减速壁；25：流出防止壁兼减速壁；26：流出防止壁；27、27a：堤防壁；28、28a：减速壁；29：流出防止壁；290：第1流出防止壁；291：第2流出防止壁；30：吸引泵；31：外壳；32：叶轮；33：吸引口；34：水提供口；35：排出口；40：吸引路径；41、42：循环路径；43：溢流路径；44：排水管。
具体实施方式
图1所示的切削装置1是对矩形板状的板状工件W实施切削加工的切削装置的一例。板状工件W例如是CSP(Chip Size Package：芯片尺寸封装)基板或QFN(Quad Flat Non-leaded Package：四侧扁平无引脚封装)基板等封装基板。板状工件W在其正面上被呈格子状设置的分割预定线S划分而形成多个区域，在各个区域中埋设有器件D。
切削装置1具有装置基座100，在装置基座100上具有：保持工作台10a、10b，它们对板状工件W进行吸引保持；以及加工进给单元13a、13b，它们将保持工作台10a、10b在X轴方向上进行加工进给。加工进给单元13a、13b具有：滚珠丝杠130，其在X轴方向上延伸；电动机131，其与滚珠丝杠130的一端连接；一对导轨132，它们与滚珠丝杠130平行延伸；以及移动基台133，其能够在X轴方向上水平移动。在各移动基台133的上表面竖立设置有对保持工作台10a、10b进行支承的旋转支承台17。移动基台133的下表面与一对导轨132滑动接触，形成于移动基台133的中央的螺母与滚珠丝杠130螺合。滚珠丝杠130被电动机131驱动而进行转动，由此，能够使保持工作台10a、10b与移动基台133一起沿着导轨132在X轴方向上移动。
在装置基座100的X轴方向的后部具有竖立设置的门型的柱101。在柱101上配设有：切削单元14a、14b，它们对板状工件W进行切削；分度进给单元15a、15b，它们分别将切削单元14a、14b在Y轴方向上进行分度进给；以及升降单元16a、16b，它们分别使切削单元14a、14b在Z轴方向上进行升降。切削单元14a、14b具有：主轴140，其具有旋转轴方向(Y轴方向)的轴心；主轴外壳141，其以能够旋转的方式围绕主轴140；以及切削刀具142，其安装在主轴140的前端。通过未图示的电动机使主轴140进行旋转，从而能够使切削刀具142进行旋转。
分度进给单元15a、15b具有：滚珠丝杠150，其在Y轴方向上延伸；电动机151，其与滚珠丝杠150的前端连接；导轨152，其与滚珠丝杠150平行地延伸；以及移动部153，其使切削单元14a、14b分别在Y轴方向上移动。移动部153的侧部与各导轨152滑动接触，形成在移动部153的中央部的螺母与滚珠丝杠150螺合。滚珠丝杠150被电动机151驱动而进行转动，由此，能够将切削单元14a、14b与移动部153一起分别在Y轴方向上进行分度进给。在本实施方式所示的柱101上形成有开口102，当切削单元14a、14b在Y轴方向上朝互相远离的方向移动时，主轴外壳141的后部侧穿过开口102。升降单元16a、16b至少具有：未图示的滚珠丝杠，其在Z轴方向上延伸；以及电动机160，其与滚珠丝杠的一端连接，滚珠丝杠被电动机160驱动而进行转动，由此，能够使切削单元14a、14b分别在Z轴方向上升降。
如图2所示，保持工作台10a、10b由对板状工件W进行吸引保持的治具卡盘工作台11和将治具卡盘工作台11固定的工作台基座12构成，保持工作台10a、10b与用于生成吸引力的真空生成机构2连接。治具卡盘工作台11例如形成为四边形，其上表面成为对板状工件W进行吸引保持的保持面11a。在治具卡盘工作台11上形成有与分割预定线S对应的退刀槽111，并且在由退刀槽111划分出的各区域内形成有对板状工件W的各芯片进行吸引的芯片吸引孔110。
在工作台基座12上形成有用于对治具卡盘工作台11进行吸引保持的工作台基座吸引孔122。工作台基座吸引孔122经由阀4a与吸引源3a连接。通过打开阀4a，能够通过工作台基座吸引孔122对工作台基座12的上表面作用吸引力而对治具卡盘工作台11进行吸引保持。并且，在工作台基座12上形成有吸引槽120和吸引孔121，该吸引槽120与芯片吸引孔110连通，该吸引孔121的一端与吸引槽120连通，另一端与吸引路径40连通。
真空生成机构2具有吸引泵30和本发明的汽水分离容器20。吸引泵30是由外壳31和在与外壳31偏心的位置被安装成能够旋转的叶轮32构成的水封式真空泵。在外壳31上形成有吸引口33、水提供口34以及排出口35。吸引口33通过吸引路径40与吸引孔121连通，能够利用吸引口33来吸引对板状工件W进行切削时提供到板状工件W的加工水。在吸引路径40上配设有逆止阀5，该逆止阀5防止气体或液体等从吸引泵30侧向保持工作台10a、10b侧逆流。关于汽水分离容器20的结构，在后面进行详细说明。
水提供口34与水提供源6连接。水提供源6例如是储存有自来水等水的容器。水提供口34通过循环路径41与汽水分离容器20连通，排出口35通过循环路径42与汽水分离容器20连通。在吸引泵30中，采用了如下结构：一边从水提供口34向外壳31内提供从水提供源6送出的水，一边使叶轮32进行旋转，由此，一边通过离心力沿着外壳31的内壁形成环状的水封，一边从吸引口33吸引空气和加工水，并且对该吸引的空气和加工水进行压缩而从排出口35作为混合流体排出。
[汽水分离容器的第1例]
接着，对汽水分离容器20的结构进行说明。如图3所示，汽水分离容器20具有纵置型的箱状的容器主体21。容器主体21具有：导入口211，其供混合流体7借助图2所示的吸引泵30而导入；液体蓄留部212，其包含液体排出口213和循环液流出口215，该液体排出口213和循环液流出口215形成在比导入口211靠下方的位置；气体排出口214，其形成在比液体蓄留部212靠上方的位置；以及溢流排出口216，其形成在液体排出口213与气体排出口214之间的规定的高度位置。
图3的例子所示的导入口211和气体排出口214形成在容器主体21的上表面210a。导入口211经由图2所示的循环路径42与吸引泵30的排出口35连通。当混合流体7从导入口211导入到容器主体21内时，水8被蓄留在液体蓄留部212的底部212a。特别是从混合流体7分离出的水8容易因自重而积存在液体蓄留部212的底部212a。另外，虚线所示的部分图示了蓄留在液体蓄留部212中的水8的水面。
液体排出口213构成为经由图2所示的阀4b与排水管44连接，蓄留在液体蓄留部212中的水8从液体排出口213向排水管44排出。循环液流出口215经由循环路径41与吸引泵30的水提供口34连通，能够将蓄留在液体蓄留部212中的水8向吸引泵30提供而进行循环利用。
气体排出口214与吸引源3b连接。通过使吸引源3b工作，能够在容器主体21内对从混合流体7分离出的空气9进行吸引而从气体排出口214向容器主体21的外侧排出。溢流排出口216经由溢流路径43与排水管44连接。由此，在蓄留于液体蓄留部212的水8的水量增加而超过规定的水位之后，能够从溢流排出口216将水8排出。
在容器主体21的内部具有流出防止壁22，该流出防止壁22防止从导入口211导入的混合流体7向气体排出口214流出。通过流出防止壁22间隔成导入口211侧的空间200和气体排出口214侧的空间201。由此，从导入口211导入到空间200的混合流体7被流出防止壁22阻挡，因此能够防止混合流体7向空间201流出，并且能够防止混合流体7在水8和空气9未分离的状态下从气体排出口214流出。这样，由于本发明的汽水分离容器20在容器主体21的内部设置有流出防止壁22，所以不用扩大导入口211与气体排出口214之间的间隔便能够加长从导入口211到气体排出口214的路径，能够使容器主体21小型化。
在液体蓄留部212的底部212a竖立设置有堤防壁23，该堤防壁23限制从液体排出口213排出的水8的流出量，液体蓄留部212被堤防壁23划分成两个区域。因此，能够一边将水8蓄留在从堤防壁23起的图中左侧(循环液流出口215侧)的区域，一边从循环液流出口215朝向吸引泵30循环提供水。并且，使蓄留在液体蓄留部212中的水8越过堤防壁23而流入图中右侧(液体排出口213侧)的区域，由此，能够将水8从液体排出口213排出。这样，由于本发明的汽水分离容器20在液体蓄留部212的底部212a设置有堤防壁23，所以能够防止水8从液体排出口213过度排出。另外，堤防壁23的高度没有特别地限定，可任意设定。
在容器主体21的内部具有减速壁24，该减速壁24与导入口211对置配设，使从导入口211导入的混合流体7的流入速度减速。在减速壁24与流出防止壁22之间形成有间隙240。当混合流体7从导入口211向容器主体21的内部导入时，混合流体7碰到位于导入口211的正下方的减速壁24而减速，并且混合流体7穿过间隙240而朝向液体蓄留部212流下。这样，由于本发明的汽水分离容器20在容器主体21的内部设置有使从导入口211导入的混合流体7的流入速度减速的减速壁24，所以能够使导入到容器主体21内的混合流体7的流动势头减弱，防止混合流体7从气体排出口214流出。
[汽水分离容器的第2例]
图4所示的汽水分离容器20A具有纵置型的箱状的容器主体21A。容器主体21A在容器主体21A的侧面210b具有供混合流体7导入的导入口211a。在第2例中，混合流体7从侧面210b侧的导入口211a向容器主体21A的内部导入。另外，在第2例中对与上述汽水分离容器20同样的结构部分赋予相同的标号。
在容器主体21A的内部具有流出防止壁兼减速壁25，该流出防止壁兼减速壁25能够防止从导入口211a导入的混合流体7向气体排出口214流出，并且能够使从导入口211a导入的混合流体7的流入速度减速。通过流出防止壁兼减速壁25来间隔成导入口211a侧的空间200和气体排出口214侧的空间201，由于从导入口211a导入到空间200的混合流体7被流出防止壁兼减速壁25阻挡，所以能够防止混合流体7向空间201流入。并且，从导入口211a导入到容器主体21A的内部的混合流体7在碰到流出防止壁兼减速壁25之后朝向液体蓄留部212流下，所以能够使混合流体7的流入速度减速。这样，汽水分离容器20A也与上述汽水分离容器20同样，可防止混合流体7从气体排出口214流出。
[汽水分离容器的第3例]
图5的(a)和(b)所示的汽水分离容器20B具有横置型的箱状的容器主体21B。容器主体21B具有：第1导入口217a和第2导入口217b，经由未图示的吸引泵对它们导入混合流体7；液体蓄留部218，其包含液体排出口219和循环液流出口220，该液体排出口219和循环液流出口220形成在比第1导入口217a和第2导入口217b靠下方的位置；气体排出口221，其形成在比液体蓄留部218靠上方的位置；以及溢流排出口222，其形成在液体排出口219与气体排出口221之间的规定的高度位置。
如图5的(b)所示，在容器主体21B的内部具有流出防止壁26，该流出防止壁26防止从第1导入口217a和第2导入口217b导入的混合流体7向气体排出口221流出。流出防止壁26配置在容器主体21B的后方侧的、第1导入口217a和第2导入口217b与气体排出口221之间的位置。通过流出防止壁26来间隔成第1导入口217a和第2导入口217b侧的空间202以及气体排出口221侧的空间203。由此，由于从第1导入口217a和第2导入口217b导入到空间202的混合流体7被流出防止壁26阻挡，所以能够防止混合流体7向空间203流入，并且能够防止混合流体7在水8和空气9未分离的状态下从气体排出口221流出。
与第1例同样，在液体蓄留部218的底部218a竖立设置有堤防壁27，该堤防壁27限制从液体排出口219排出的水8的流出量，液体蓄留部218被该堤防壁27划分成两个区域。因此，能够一边将水8蓄留在从堤防壁27起的图中左侧(循环液流出口220侧)的区域，一边从循环液流出口220朝向吸引泵循环提供水8。并且，通过使蓄留在液体蓄留部218中的水8越过堤防壁27而流入到图中右侧(液体排出口219侧)的区域，从而能够将水8从液体排出口219排出。
在容器主体21的内部具有减速壁28，该减速壁28在水平方向上延伸，与流出防止壁26的下端连接。当混合流体7从第1导入口217a和第2导入口217b导入到容器主体21B的内部时，混合流体7碰到位于第1导入口217a和第2导入口217b的正下方的减速壁28而减速，并且混合流体7沿着减速壁28被引导而朝向液体蓄留部218流下。这样，汽水分离容器20B也与上述汽水分离容器20同样，可防止混合流体7从气体排出口221流出。
[汽水分离容器的第4例]
图6的(a)和(b)所示的汽水分离容器20C具有横置型的箱状的容器主体21C。容器主体21C在容器主体21C的侧面210b具有经由未图示的吸引泵导入混合流体7的第1导入口223a和第2导入口223b。另外，在第4例中对与上述汽水分离容器20B同样的结构部分赋予相同的标号。
如图6的(b)所示，在容器主体21C的内部具有流出防止壁29，该流出防止壁29由第1流出防止壁290和第2流出防止壁291构成，防止从第1导入口223a和第2导入口223b导入的混合流体7向气体排出口221流出。第1流出防止壁290配置在比第1导入口223a和第2导入口223b靠后方侧的位置。第2流出防止壁291配设在与第1流出防止壁290隔开规定的间隔并且比气体排出口221靠前方侧的位置。容器主体21C的内部被流出防止壁29间隔成3个空间204、205、206。由此，由于从第1导入口223a和第2导入口223b导入到空间204的混合流体7被第1流出防止壁290阻挡，所以即使例如混合流体7流入到空间205，也会被第2流出防止壁291阻挡，因此能够防止混合流体7向空间206流入，并且能够防止混合流体7从气体排出口221流出。
与第3例同样，在液体蓄留部218的底部218a竖立设置有堤防壁27a，该堤防壁27a限制从液体排出口219排出的水8的流出量，液体蓄留部218被该堤防壁27a划分成两个区域。并且，在容器主体21C的内部具有减速壁28a，该减速壁28a在水平方向上延伸，与第1流出防止壁290的下端连接。当混合流体7从第1导入口223a和第2导入口223b导入到容器主体21B的内部时，混合流体7碰到位于第1导入口223a和第2导入口223b的正下方的减速壁28a而减速，并且混合流体7沿着减速壁28a被引导而朝向液体蓄留部218流下。这样，汽水分离容器20C也与上述汽水分离容器20同样，可防止混合流体7从气体排出口221流出。如图5和图6所示的那样，根据具有两个供混合流体7导入的导入口的汽水分离容器20B、20C，仅通过1台汽水分离容器便能够供应图1所示的具有两个卡盘工作台的切削装置1。并且，在实际使用的装置中，采用了在横置型的汽水分离容器的下方配置有各自的卡盘工作台用的吸引泵的结构。在将纵置型的汽水分离容器组装到加工装置中的情况下，需要将吸引泵和汽水分离容器在同一面上排列配置，因此占用面积会增大，根据横置型的汽水分离容器，由于在汽水分离容器的下方配置吸引泵，所以能够防止装置大型化。
在本实施方式中，在对矩形板状的被加工物进行切削的切削装置1中搭载有汽水分离容器20、20A、20B、20C，但应用本发明的装置并不限定于上述切削装置1。因此，也可以应用在对圆形板状的被加工物进行切削的切削装置或磨削装置等其他加工装置中。

Claims (3)

1.一种汽水分离容器，其中，
该汽水分离容器具有容器主体和流出防止壁，
该容器主体具有：
导入口，其供借助吸引泵而吸引的气体与液体的混合流体导入；
液体蓄留部，其包含液体排出口，该液体排出口形成在比该导入口靠下方的位置；以及
气体排出口，其形成在比该液体蓄留部靠上方的位置，并与吸引源连接，
所述流出防止壁配设在该容器主体的内部，防止从该导入口导入的该混合流体向该气体排出口流出。
2.根据权利要求1所述的汽水分离容器，其中，
该汽水分离容器具有堤防壁，该堤防壁竖立设置在所述液体蓄留部的底部，限制从所述液体排出口排出的液体的流出量。
3.根据权利要求1所述的汽水分离容器，其中，
该汽水分离容器具有减速壁，该减速壁与所述导入口对置地配设，使从该导入口导入的所述混合流体的流入速度减速。
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