CN109540899A - 检查装置及检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查装置及检查方法，其中检查装置对检查面上的线状区域一边照明一边进行拍摄，并使线状区域移动，由此获取检查面的图像。照明部具有光源部、照明光学系统、及辅助光学元件。辅助光学元件使来自光源部的光的一部分一边相对于虚拟面倾斜，一边向包含线状区域与虚拟面交叉的位置的交叉区域引导，所述虚拟面相对于线状区域延伸的横方向垂直且包含摄像光轴。由此，不会使照明部的构造复杂化，能够使交叉区域中在检查对象的移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷呈现在图像中，从而能够检测缺陷。

Description

检查装置及检查方法

技术领域

本发明涉及一种对检查面的外观进行检查的检查装置及检查方法。

背景技术

以前，如下的检查装置被用于各种领域中，即，利用线状的照明光来照明对象物的检查面上的线状区域，使对象物一边相对于照明部及摄像部移动一边使线状区域的摄像重复进行，由此获取检查面的图像。在使用这种检查装置获取图像的情况下，在线状的照明光延伸的横方向上，不易呈现凸部或凹部的阴影。因此，有对象物的移动方向上延伸的垄状的凸部或槽状的凹部无法作为缺陷而被检测到的疑虑。

因此，专利文献1中，作为照明光，使用倾斜方向不同的多个模拟平行光。专利文献1中还示出切换多个模拟平行光并照射到检查面。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2015-105904号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在使用多个模拟平行光的情况下，比起现有的构造，需要大幅变更照明部的构造。而且，会伴随照明部的大型化及复杂化。在一边交替照射多个模拟平行光一边进行拍摄的情况下，检查对象的移动速度或图像的分辨率依存于模拟平行光的亮灭交替速度。因此，摄像的高速化及图像的高分辨率化变得困难。

本发明鉴于所述课题而完成，目的在于不会使照明部的构造复杂化而能够检测到作为检查对象的检查面的移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷。

[解决问题的技术手段]

技术方案1所述的发明为一种检查装置，包括：支撑部，对具有作为检查对象的检查面的对象物进行支撑；照明部，对所述检查面上的线状区域进行照明；摄像部，对所述线状区域进行拍摄；以及移动机构，在与所述检查面平行且相对于所述线状区域延伸的横方向垂直的移动方向上，使所述支撑部相对于所述照明部及所述摄像部相对地移动，所述摄像部的摄像光轴相对于所述横方向垂直，所述照明部包括：光源部；照明光学系统，将从所述光源部出射的光一边转换为线状光一边向所述线状区域引导，所述线状光在与相对于所述横方向垂直的面且包含所述摄像光轴的虚拟面平行的方向上具有指向性；以及辅助光学元件，配置于从所述光源部到达所述线状区域的光程上，将来自所述光源部的光的一部分一边相对于所述虚拟面倾斜，一边向所述线状区域中的包含所述线状区域与所述虚拟面交叉的位置的交叉区域引导。

技术方案2所述的发明根据技术方案1所述的检查装置，在所述线状区域中的在所述横方向上离开所述交叉区域的区域，所述照明光在与所述虚拟面平行的方向上具有指向性。

技术方案3所述的发明根据技术方案2所述的检查装置，在所述交叉区域与在所述横方向上离开所述交叉区域的所述区域之间，相对于所述虚拟面倾斜的照明光的量逐渐变化。

技术方案4所述的发明根据技术方案3所述的检查装置，所述辅助光学元件因折射而变更光的传播方向，在所述辅助光学元件的配置位置，所述辅助光学元件相对于光束截面的宽度的存在比例依存于所述横方向的位置而逐渐变化，由此相对于所述虚拟面倾斜的照明光的量逐渐变化。

技术方案5所述的发明根据技术方案2所述的检查装置，在所述交叉区域与在所述横方向上离开所述交叉区域的所述区域之间，相对于所述虚拟面倾斜的照明光的倾斜角逐渐变化。

技术方案6所述的发明是一种检查方法，包括：a)工序，使具有作为检查对象的检查面的对象物在与所述检查面平行的移动方向上，相对于照明部及摄像部相对地移动；b)工序，与所述a)工序并行地，利用所述照明部，对所述检查面上的相对于所述移动方向垂直的线状区域进行照明；以及c)工序，与所述a)工序并行地，利用所述摄像部，对所述线状区域重复进行摄像，由此获取所述检查面的图像；所述摄像部的摄像光轴相对于所述线状区域延伸的横方向垂直，所述b)工序中，所述照明部将从光源部出射的光一边转换为线状光一边向所述线状区域引导，所述线状光在与相对于所述横方向垂直的面且包含所述摄像光轴的虚拟面平行的方向上具有指向性，使来自所述光源部的光的一部分一边相对于所述虚拟面倾斜，一边向所述线状区域中的包含所述线状区域与所述虚拟面交叉的位置的交叉区域引导。

[发明的效果]

根据本发明，不会使照明部的构造复杂化而能够对在检查对象的移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷进行检测。

附图说明

图1是表示检查装置的构成的图。

图2是表示照明部、摄像部及基板的配置关系的平面图。

图3是表示计算机的构成的图。

图4是表示检查装置的功能构成的方块图。

图5是表示检查装置的动作的流程的图。

图6是表示照明部的内部构造的图。

图7是表示照明部的内部构造的图。

图8是表示辅助光学元件及线状区域中的光量分布的图。

图9是表示邻接区域中的照明方向与摄像方向的关系的图。

图10是表示不存在辅助光学元件的情况下的交叉区域中的照明方向与摄像方向的关系的图。

图11是表示存在辅助光学元件的情况下的交叉区域中的照明方向与摄像方向的关系的图。

图12是表示辅助光学元件的另一例的图。

[符号的说明]

1：检查装置

2：装置主体

5：计算机

8：记录介质

9：基板(对象物)

21：照明部

22：摄像部

23：支撑部

24：移动机构

31：光源部

32：照明光学系统

33、33a：辅助光学元件41：摄像控制部

42：阴影校正部

43：图像处理部

44：检查部

51：CPU

52：ROM

53：RAM

54：固定盘

55：显示器

56：输入部

56a：键盘

56b：鼠标

57：读取装置

58：通信部

80：程序

81：虚拟面

82、84：箭头

85：照明光的截面

86、87：折线

91：检查面

92：线状区域

93：缺陷

211：照明光轴

221：摄像光轴

311：LED器件

321：扩散板

322、324：菲涅尔透镜

323：蜂窝构造体

861：交叉区域

862：邻接区域

931：照明方向

932：摄像方向

933、934：暗区域

S11～S18：步骤

具体实施方式

图1是表示本发明的一的实施方式的检查装置1的构成的图。检查装置1是光学式地检查对象物的外观的装置。本实施方式中，对象物为基板9，检查装置1将基板9所具有的金属薄膜中存在的凸部或凹部作为缺陷来检测。基板9例如被用于印刷配线基板的制造。

基板9的上表面是作为检查对象的检查面91。检查装置1包括：对检查面91进行拍摄的装置主体2，以及对检查装置1的整体动作进行控制并且实现后述的各种功能的计算机5。装置主体2具有照明部21、摄像部22、对基板9进行支撑的支撑部23、以及使支撑部23移动的移动机构24。图2是表示照明部21、摄像部22及基板9的配置关系的平面图。图1的左右方向与图2的上下方向对应。

照明部21在图2中的左右方向即横方向上长。照明部21对检查面91上在横方向上延伸的线状区域92进行照明。线状区域92是具有线传感器(line sensor)的摄像部22所拍摄的区域。被照射照明光的区域可与线状区域92一致，但通常，照明光被照射到宽度比线状区域92宽的线状的区域。从照明部21出射的照明光是模拟的平行光。即，如图2所示，在设想相对于横方向垂直且包含摄像部22的摄像光轴221的虚拟面81的情况下，照明光是与虚拟面81平行地从照明部21朝向线状区域92的成分多的光。

摄像部22如已述那样具有作为摄像元件的线传感器及摄像光学系统。摄像部22经由摄像光学系统对线状区域92进行拍摄。摄像元件不限定于线传感器。例如，摄像部22具有二维传感器，可利用其一部分来拍摄线状区域92。摄像部22的摄像光轴221相对于线状区域92延伸的横方向垂直。摄像光轴221相对于检查面91的法线倾斜。

如图1所示，本实施方式中，支撑部23为载台(stage)。支撑部23只要能够支撑基板9则能够采用各种构造。例如，支撑部23可以是握持基板9的外缘的构造。

移动机构24包含滚珠螺杆(ball screw)、导轨、马达等。移动机构24使支撑部23移动，由此具有检查面91的基板9在与检查面91平行的移动方向上，相对于照明部21及摄像部22移动。移动方向在图1及图2中如由附上符号82的箭头所示那样，相对于横方向垂直。利用基板9的移动，照明区域及线状区域92相对于检查面91移动。由此，作为摄像区域的线状区域92在检查面91上扫描。另外，支撑部23相对于照明部21及摄像部22相对移动即可，也可照明部21及摄像部22相对于支撑部23移动。

计算机5对照明部21、摄像部22及移动机构24进行控制。与基板9的移动平行地从照明部21向检查面91照射照明光，进而，摄像部22对线状区域92重复地进行拍摄。由此，获取检查面91的图像并保存于计算机5中。

图3是表示计算机5的构成的图。计算机5为普通的计算机系统的构成，包括：进行各种运算处理的中央处理器(Central Processing Unit，CPU)51，存储基本程序的只读存储器(Read Only Memory，ROM)52，及存储各种信息的随机存取存储器(Random AccessMemory，RAM)53。计算机5还包括：进行信息存储的固定盘54，进行图像等各种信息的显示的显示器55，受理来自操作者的输入的键盘56a及鼠标56b(以下统称为“输入部56”)，从光盘、磁盘、光磁盘等计算机能够读取的记录介质8进行信息的读取的读取装置57，以及与检查装置1的其他构成之间收发信号的通信部58。

计算机5中，事先经由读取装置57从记录介质8读出程序80并存储到固定盘54中。CPU 51根据程序80一边利用RAM 53或固定盘54一边执行运算处理。

图4是表示检查装置1的功能构成的方块图。图4中，利用附上符号5的虚线的矩形来包围由计算机5的CPU 51、ROM 52、RAM 53、固定盘54、专用的控制电路等实现的功能构成。计算机5具有摄像控制部41、阴影校正部42、图像处理部43、及检查部44。虽省略图示，但控制各功能构成的动作的整体控制部也由计算机5实现。另外，这些功能可由专用的电路构筑，也可部分地利用专用的电路。

图5是表示检查装置1的动作的流程的图。如果基板9支撑于支撑部23，则利用摄像控制部41的控制开始从照明部21出射照明光，并开始支撑部23的移动(步骤S11、步骤S12)。如已述那样，摄像部22重复线状区域92的摄像。线状区域92从基板9的一端部朝向另一端部移动，由此获取检查面91的图像(步骤S13)。然后，支撑部23的移动停止，来自照明部21的照明光的出射也停止(步骤S14、步骤S15)。另外，如果照明光的出射、支撑部23的移动及摄像并行地进行，则可适当变更照明光的出射、支撑部23的移动及摄像的时机。

当获取检查面91的图像时，阴影校正部42对图像进行阴影校正(步骤S16)。阴影校正中，对照明光的强度的不均或线传感器的感度的不均进行校正。校正中使用的系数预先根据对无缺陷的检查面进行拍摄所得的图像而求出。另外，如后述那样，本实施方式中，横方向上的照明光的光量变化大，但该光量变化也由阴影校正而除去。以下的说明中，准确地说，横方向的不同的位置处的光量的差异或横方向上的光量的变动是指“横方向的每单位长度的光量”的差异或变动。

图像处理部43对校正后的图像进行各种图像处理(步骤S17)。准确地来说，对图像的数据进行运算处理。关于校正，例如进行明度校正、对比度校正、二值化等。检查部44基于校正后的图像来判定有无缺陷(步骤S18)。

图6及图7是表示照明部21的内部构造的图。图6及图7中，以光的前进方向为下方向的方式示出照明部21。实际上，光的前进方向如图1所示相对于检查面91倾斜。图6表示从横方向观察到的照明部21，图7表示从相对于横方向及照明光的前进方向垂直的方向观察到的照明部21。图7的左右方向为横方向。

照明部21包括光源部31、照明光学系统32、及辅助光学元件33。来自光源部31的光经由照明光学系统32及辅助光学元件33而向检查面91引导。图6中由虚线表示光的发散或聚焦的大致情况。

光源部31具有多个发光二极管(Light Emitting Diode，LED)器件311。多个LED器件311等间隔地在横方向上排列。实际上，排列着多个LED器件311。光源部31的光源不限定于LED。

照明光学系统32从光源部31朝向线状区域92依次具有扩散板321、菲涅尔透镜(Fresnel lens)322、蜂窝构造体323、及菲涅尔透镜324。2个菲涅尔透镜322、菲涅尔透镜324是横方向上长的线性菲涅尔透镜。关于扩散板321，能够利用各种，但本实施方式中，使用的是光塑形漫射器(Light Shaping Diffusers，LSD)。2个菲涅尔透镜322、菲涅尔透镜324在图6的左右方向，即，相对于从光源部31朝向线状区域92的方向及横方向垂直的方向上具有正的倍率(power)。图6中，由长方形表示菲涅尔透镜。蜂窝构造体323具有相对于光的前进方向垂直的截面为多个六边形的蜂巢状的构造。各六边形的空间从菲涅尔透镜322朝向菲涅尔透镜324呈直线状延伸。蜂窝构造体323上下具有多个六边形的开口。

来自光源部31的光由扩散板321扩散。由此，减少横方向上的光量的变动。来自扩散板321的光的朝向图6的左右方向的扩散被菲涅尔透镜322所抑制。光进一步被引导至蜂窝构造体323内。蜂窝构造体323遮蔽散射光，从蜂窝构造体323导出与蜂窝构造体323的贯通孔延伸的方向大致平行的光。由此，获得与虚拟面81(参照图2)平行且相对于横方向垂直的大致平行光。图7中，由双点划线表示虚拟面81的位置。菲涅尔透镜324使光在图6的左右方向上聚焦。由此，获得光束截面为线状且照明线状区域92的线状光。

如以上，照明光学系统32将从光源部31出射的光一边转换为在与虚拟面81平行的方向上具有指向性的线状光，一边向线状区域92引导。此处的指向性是指，入射至线状区域92上的某位置的光的量在特定的方向上最多，且随着离开该方向而减少的状态。该方向能够视作入射至该位置的光的前进方向。更具体来说，照明光学系统32将从光源部31出射的光转换为在与虚拟面81平行且相对于横方向垂直的方向上前进的光。以下，将与虚拟面81平行且从照明光学系统32朝向线状区域92的方向称作“照明光轴方向”。照明光学系统32由于横方向上长，所以从光源部31向照明光轴方向延伸的照明光轴为面状。图6中，对照明光轴附上符号211。

辅助光学元件33配置于照明光学系统32与检查面91之间。辅助光学元件33也可配置于蜂窝构造体323与菲涅尔透镜324之间。也可利用照明光学系统32的构造，辅助光学元件33配置于从光源部31到达线状区域92的光程上的其他位置。如图7所示，辅助光学元件33是具有多个棱镜的棱镜板。辅助光学元件33由于利用折射变更光的传播方向，所以入射至辅助光学元件33的光如由图7中的箭头84所示那样，以朝向图7的左侧的方式一致地倾斜而向线状区域92引导。即，已透过辅助光学元件33的光的前进方向的矢量具有横方向的成分。

图8的上段表示沿着照明光轴211观察的辅助光学元件33。辅助光学元件33的外形为平行四边形。图8中，由虚线表示照明光的截面85。在配置着辅助光学元件33的位置，照明光具有一定程度的宽度。中央的双点划线表示横方向上的虚拟面81的位置。辅助光学元件33是2边朝向横方向的平行四边形。因此，在辅助光学元件33所位于的位置，随着从左向右，入射至辅助光学元件33(横方向的每单位长度的)光量逐渐增大后，会逐渐减少。因此，图7中附上符号84表示的倾斜光的量也在随着从左向右逐渐增大后，逐渐减少。图8的中段的折线86表示倾斜光的量的增减。中段的横轴表示与上段对应的横方向的位置，纵轴表示光量。

辅助光学元件33以倾斜光的光量的最大位置与虚拟面81的位置大致一致的方式，从虚拟面81向横方向偏离而配置。由此，相对于虚拟面81倾斜的大部分的光入射至线状区域92中的对图8的中段附上符号861的范围的区域。与照明光轴211及虚拟面81平行的光大部分入射至线状区域92中的附上符号862的范围的区域。另外，照明光并不是完全的平行光，因而准确地说，与虚拟面81平行的光是与虚拟面81大致平行的模拟平行光。

线状区域92中的附上符号861的范围的区域包含线状区域92与虚拟面81交叉的位置，因而以下称作“交叉区域861”。线状区域92中的附上符号862的范围的区域以下称作“邻接区域862”。

交叉区域861与邻接区域862的边界不需要严格规定。供倾斜光一定程度地入射的区域可适当规定为交叉区域861。交叉区域861的横方向的长度如后述那样在如下范围内适当设定，即，能够在虚拟面81的附近，检测在纵方向，也就是，检查面91的移动方向上延伸的缺陷。因此，交叉区域861可较短。相对于虚拟面81倾斜的照明光入射到至少线状区域92与虚拟面81交叉的位置。

照明光随着从辅助光学元件33朝向线状区域92，在与虚拟面81平行且相对于照明光轴方向垂直的方向上聚焦，因而通过将辅助光学元件33设为平行四边形，在交叉区域861与邻接区域862之间，相对于虚拟面81倾斜的照明光的量逐渐变化。

图8的下段的折线87表示线状区域92中的照明光的光量分布。辅助光学元件33由于遮蔽从照明光学系统32笔直入射至线状区域92的光，所以如折线87所示，线状区域92中的光量分布复杂地发生变化。然而，如已述那样，图4的阴影校正部42对光量分布的影响进行校正，因而在获取图像方面不会有问题。而且，辅助光学元件33由于在交叉区域861与邻接区域862之间使倾斜光的量逐渐变化，所以防止在线状区域92，照明光的光量不连续地发生变化。交叉区域861与邻接区域862的边界并未严格规定，因而如果一般地表现，则至少在交叉区域861与在横方向离开交叉区域861的区域之间，使相对于虚拟面81倾斜的照明光的量逐渐变化，由此防止在线状区域92照明光的光量不连续地发生变化。

图9是表示邻接区域862中的照明方向与摄像方向的关系的图，且表示沿着基板9的移动方向观察的情况。在基板9的移动方向上延伸的槽状的缺陷93存在于检查面91上。照明光如符号931表示，在从移动方向观察的情况下，垂直地入射至检查面91。摄像方向如由符号932所示那样，在从移动方向观察的情况下，相对于检查面91的法线方向倾斜。该情况下，由符号933表示的区域在图像中作为暗区域呈现，从而能够检测到缺陷。即，在从移动方向观察的情况下，照明方向与摄像方向不同，因而能够检测到移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷。缺陷例如是金属薄膜的褶皱。

另一方面，在假如不存在辅助光学元件33的情况下，在虚拟面81附近的交叉区域861，如图10所示，在从移动方向观察的情况下，照明方向931与摄像方向932平行。其结果为，有缺陷93在图像中不易呈现为明暗，而无法作为缺陷被检测到的担心。

与此相对，在存在辅助光学元件33的情况下，如图11所示，由于照明方向931相对于摄像方向932倾斜，所以由符号934表示的区域作为图像中的暗区域而呈现，能够检测到缺陷93。即，由于在从移动方向观察的情况下照明方向931与摄像方向932不同，所以能够检测到在移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷。

另外，在从横方向观察的情况下，由于照明光轴方向与摄像光轴221不平行，所以横方向上延伸的凸状或凹状的缺陷与辅助光学元件33的有无无关而呈现在图像中，从而能够检测。

如以上那样，检查装置1中，辅助光学元件33一边使来自光源部31的光的一部分相对于虚拟面81倾斜一边向交叉区域861引导。由此，不会使照明部21的构造复杂化，仅利用简单的设计变更便能够在离虚拟面81近的区域检测到检查面91的移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷。其结果，以简单构造的1个照明光学系统32实现摄像范围整体的缺陷检测。而且，与如现有技术那样切换照明光的方向的情况相比，防止摄像速度的降低或图像的分辨率的降低。

另外，邻接区域862中的照明光的前进方向不限定于照明光轴方向，从照明部21的构造的简化及防止邻接区域862中的缺陷检测的精度降低的观点考虑，优选邻接区域862中照明光具有与虚拟面81平行的指向性。优选至少在线状区域92中的在横方向上离开交叉区域861的区域，照明光具有与虚拟面81平行的指向性。

图8中，辅助光学元件33的外形为平行四边形，但在辅助光学元件33的配置位置中，只要辅助光学元件33相对于光束截面的宽度的存在比例依存于横方向的位置而逐渐变化，则辅助光学元件33的外形可以是其他形状。例如，利用折射变更光的传播方向的辅助光学元件33的外形可以是对角线相对于虚拟面81垂直的菱形或平行四边形。外形可包含曲线。即便是这种辅助光学元件33，也能够使相对于虚拟面81倾斜的照明光的量在横方向上逐渐变化。

图12是表示辅助光学元件的另一例的图，且与图7对应。对与图7相同的构成元件附上相同的符号。图7所示的辅助光学元件33a在横方向上排列着多个棱镜，棱镜的折射面的倾斜角朝向横方向逐渐变化。各折射面跨及照明光的整个宽度(图12的深度方向)而存在。由此，如箭头84所示那样，照明光相对于虚拟面81的倾斜角朝向横方向逐渐增大后，会逐渐减少。如已述那样，由于入射至辅助光学元件33a的照明光并非完全的平行光，因而某位置处的照明光的方向是指在入射方向与来自该入射方向的光的量的关系中光的量极大的方向。

利用辅助光学元件33a，交叉区域861中，相对于虚拟面81倾斜的照明光的量增多，邻接区域862中不倾斜的照明光的量增多。由于交叉区域861与邻接区域862的边界不需要严格规定，所以如果一般表现，则利用辅助光学元件33a的配置，在交叉区域861与在横方向上离开交叉区域861的区域之间，相对于虚拟面81倾斜的照明光的倾斜角逐渐变化，实现倾斜的照明光照射到交叉区域861。

根据图12所示的辅助光学元件33a，不会使照明部21的构造复杂化，在离虚拟面81近的区域能够检测检查面91的移动方向上延伸的凸状或凹状的缺陷。因辅助光学元件33a而产生的线状光的横方向上的光量变动被阴影校正部42校正。

检查装置1的构成及动作能够进行各种变更。

检查的对象物不限定于印刷配线基板的制造中使用的基板。检查装置1能够用于需要凸状或凹状的缺陷的检查的各种基板的检查中。而且，对象物不限定于板状，可以是片状，也可以是具有平坦的检查面的立体的物体。检查面不限定于具有金属薄膜的面。只要是产生凸状或凹状的缺陷的面，各种检查面可作为检查对象。其中，在检查面具有金属光泽的情况下，从移动方向观察照明方向与摄像方向平行的状态下缺陷不易呈现在图像中，因而检查装置1特别适合于对具有金属光泽的面的检查。

照明部21的构造能够进行各种变更。优选辅助光学元件33配置于照明光不聚焦成线状的位置。

辅助光学元件33只要能够改变光的方向，则可使用任何光学元件。例如，辅助光学元件33可以是仅具有1个大的折射面的1个棱镜。而且，也可以是折射面的倾斜连续变化的透镜状的光学元件。由此，与图12的情况同样地，能够使照明光的倾斜相对于横方向逐渐变化。

辅助光学元件33可以是反射镜。例如，也可利用反射镜使照明光中的照明中未利用的部分反射，由此将倾斜的光向交叉区域861引导。也可通过使蜂窝构造体323部分地相对于虚拟面81倾斜，而将倾斜的光向交叉区域861引导。进而，也可使用各种导光构件将倾斜的光向交叉区域861引导。

在检查面在横方向上宽的情况下，也可将照明部21与摄像部22的多个组合在横方向上排列。

所述实施方式及各变形例中的构成只要不相互矛盾则可适当组合。

Claims (6)

1.一种检查装置，其特征在于包括：

支撑部，对具有作为检查对象的检查面的对象物进行支撑；

照明部，对所述检查面上的线状区域进行照明；

摄像部，对所述线状区域进行拍摄；以及

移动机构，在与所述检查面平行且相对于所述线状区域延伸的横方向垂直的移动方向上，使所述支撑部相对于所述照明部及所述摄像部相对地移动，

所述摄像部的摄像光轴相对于所述横方向垂直，

所述照明部包括：

光源部；

照明光学系统，将从所述光源部出射的光一边转换为线状光一边向所述线状区域引导，所述线状光在与相对于所述横方向垂直的面且包含所述摄像光轴的虚拟面平行的方向上具有指向性；以及

辅助光学元件，配置于从所述光源部到达所述线状区域的光程上，将来自所述光源部的光的一部分一边相对于所述虚拟面倾斜，一边向所述线状区域中的包含所述线状区域与所述虚拟面交叉的位置的交叉区域引导。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

在所述线状区域中的在所述横方向上离开所述交叉区域的区域，所述照明光在与所述虚拟面平行的方向上具有指向性。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于：

在所述交叉区域与在所述横方向上离开所述交叉区域的所述区域之间，相对于所述虚拟面倾斜的照明光的量逐渐变化。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于：

所述辅助光学元件因折射而变更光的传播方向，

在所述辅助光学元件的配置位置，所述辅助光学元件相对于光束截面的宽度的存在比例依存于所述横方向的位置而逐渐变化，由此相对于所述虚拟面倾斜的照明光的量逐渐变化。

5.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于：

在所述交叉区域与在所述横方向上离开所述交叉区域的所述区域之间，相对于所述虚拟面倾斜的照明光的倾斜角逐渐变化。

6.一种检查方法，其特征在于包括：

a)工序，使具有作为检查对象的检查面的对象物在与所述检查面平行的移动方向上，相对于照明部及摄像部相对地移动；

b)工序，与所述a)工序并行地，利用所述照明部，对所述检查面上的相对于所述移动方向垂直的线状区域进行照明；以及

c)工序，与所述a)工序并行地，利用所述摄像部，对所述线状区域重复进行摄像，由此获取所述检查面的图像；

所述摄像部的摄像光轴相对于所述线状区域延伸的横方向垂直，

所述b)工序中，所述照明部将从光源部出射的光一边转换为线状光一边向所述线状区域引导，所述线状光在与相对于所述横方向垂直的面且包含所述摄像光轴的虚拟面平行的方向上具有指向性，使来自所述光源部的光的一部分一边相对于所述虚拟面倾斜，一边向所述线状区域中的包含所述线状区域与所述虚拟面交叉的位置的交叉区域引导。