JP2013167652A - 評価装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】評価装置1が、所定の繰り返しパターンを有するウェハ10の表面に直線偏光L1を照射する照明系30と、直線偏光L1が照射された繰り返しパターンからの正反射光である楕円偏光L2の偏光状態を検出する受光系40と、受光系40により検出された楕円偏光L2の偏光状態に基づいて、繰り返しパターンの形状を評価する画像処理部50とを備えて構成される。
【選択図】図1
Description
10 ウェハ(基板) 12 繰り返しパターン
30 照明系(照明部)
40 受光系(偏光状態検出部) 42 移相子(波長板)
43 検光子(偏光板) 44 2次元撮像カメラ(検出器)
50 画像処理部(評価部)
140 受光系(変形例) 143 検光子(偏光板)
230 照明系(変形例) 233 光弾性変調器(位相変調素子)
L1 第1の直線偏光 L2 楕円偏光
L3 第2の直線偏光
Claims (8)
- 所定の繰り返しパターンが形成された基板の表面に偏光を照射する照明部と、
前記偏光が照射された前記基板の表面から反射した楕円偏光を検出する検出部と、
前記検出部により検出された楕円偏光における当該楕円の長軸の傾きを算出可能なパラメータと、当該楕円の太り具合を算出可能なパラメータとを含む楕円偏光状態を求め、該楕円偏光状態に基づいて前記繰り返しパターンを評価する評価部とを備えることを特徴とする評価装置。 - 前記楕円の長軸の傾きを算出可能なパラメータと、前記楕円の太り具合を算出可能なパラメータは、ストークスパラメータに基づくパラメータを含むことを特徴とする請求項1に記載の評価装置。
- 前記評価部は、前記楕円の長軸の傾きを算出可能なパラメータに基づいて、前記検出部により検出された楕円偏光における当該楕円の傾きを求め、前記楕円の太り具合を算出可能なパラメータに基づいて、前記検出部により検出された楕円偏光における当該楕円の楕円率を求め、該傾きと該楕円率とに基づいて前記繰り返しパターンを評価することを特徴とする請求項1または2に記載の評価装置。
- 前記繰り返しパターンは、露光装置による露光を経て前記基板の表面に形成され、
前記評価部は、前記楕円偏光状態に基づいて、露光装置の露光量とフォーカスとを判別して評価することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の評価装置。 - 前記評価部は、前記露光量と前記フォーカスとの少なくとも一方を閾値と比較して、前記露光量と前記フォーカスとの少なくとも一方の良否を判定することを特徴とする請求項4に記載の評価装置。
- 前記評価部は、前記楕円偏光状態に基づいて、前記繰り返しパターンの形状を評価することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の評価装置。
- 前記繰り返しパターンは、露光装置による露光を経て前記基板の表面に形成され、
前記評価部は、前記楕円偏光状態に基づいて、露光装置の露光量の変化に起因する前記繰り返しパターンの形状変化と、露光装置のフォーカスの変化に起因する繰り返しパターンの形状変化とを判別して評価することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の評価装置。 - 前記繰り返しパターンはラインアンドスペースパターンを含み、
前記評価部は、前記楕円偏光状態に基づいて、前記ラインアンドスペースパターンのラインとスペースの体積比の欠陥とラインエッジラフネスの欠陥とを判別して検出することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の評価装置。
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