JPH10293065A - 偏光特性分布計測装置 - Google Patents
偏光特性分布計測装置Info
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- JPH10293065A JPH10293065A JP9101997A JP10199797A JPH10293065A JP H10293065 A JPH10293065 A JP H10293065A JP 9101997 A JP9101997 A JP 9101997A JP 10199797 A JP10199797 A JP 10199797A JP H10293065 A JPH10293065 A JP H10293065A
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- JP
- Japan
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- polarization characteristic
- light
- characteristic distribution
- measured
- light beam
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 計測したい光線束全体の偏光特性分布を、短
時間で正確に計測できるようにする偏光特性分布計測装
置を得る。 【解決手段】 偏光特性分布計測装置１０を、計測すべ
き光線束Ｌを入射させ、その光線束Ｌに特定の位相差を
与える波長板３、該波長板３から出射した光の特定方向
の直線偏光を抽出する検光子４、検光子４から出射した
光を受光する２次元配列した受光素子７、及び受光素子
７からの出力信号に基づいて偏光特性分布を算出する演
算回路８から構成する。
時間で正確に計測できるようにする偏光特性分布計測装
置を得る。 【解決手段】 偏光特性分布計測装置１０を、計測すべ
き光線束Ｌを入射させ、その光線束Ｌに特定の位相差を
与える波長板３、該波長板３から出射した光の特定方向
の直線偏光を抽出する検光子４、検光子４から出射した
光を受光する２次元配列した受光素子７、及び受光素子
７からの出力信号に基づいて偏光特性分布を算出する演
算回路８から構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光線束が有する偏
光状態の２次元的分布を計測する偏光特性分布計測装置
に関する。
光状態の２次元的分布を計測する偏光特性分布計測装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ピックアップにおいて、信号の読み出
し性能は、ディスクに入射させる光線束の偏光特性の分
布の影響を受ける。そのため、光ピックアップの評価法
の一つとして、ディスクに入射させる光線束の偏光特性
を測定することがなされている。
し性能は、ディスクに入射させる光線束の偏光特性の分
布の影響を受ける。そのため、光ピックアップの評価法
の一つとして、ディスクに入射させる光線束の偏光特性
を測定することがなされている。
【０００３】従来、このような偏光特性の計測装置とし
ては、図４に示したように、ピンホール２ｈを有する遮
蔽板２を用いて、光源１からの計測すべき光線束Ｌの一
部をピンホール２ｈから取り出し、これを４分の１波長
板３及びグラントムソンプリズム（Glan-Thompson pris
m）４に順次入射させ、グラントムソンプリズム４を出
射した光を受光部５で受光し、その光強度測定を光パワ
ーメータ６で行うことがなされている。
ては、図４に示したように、ピンホール２ｈを有する遮
蔽板２を用いて、光源１からの計測すべき光線束Ｌの一
部をピンホール２ｈから取り出し、これを４分の１波長
板３及びグラントムソンプリズム（Glan-Thompson pris
m）４に順次入射させ、グラントムソンプリズム４を出
射した光を受光部５で受光し、その光強度測定を光パワ
ーメータ６で行うことがなされている。
【０００４】また、楕円偏光の偏光特性を計測する装置
として、光源からの光線束を４分の１波長板及びグラン
トムソンプリズムに順次入射させ、これを試料及び光周
波数変調器に入射させ、これからの射出光の強度をフォ
トダイオードで検出し、偏光特性を計測する装置が提案
されている（特開平８−１２８９４６号公報）。
として、光源からの光線束を４分の１波長板及びグラン
トムソンプリズムに順次入射させ、これを試料及び光周
波数変調器に入射させ、これからの射出光の強度をフォ
トダイオードで検出し、偏光特性を計測する装置が提案
されている（特開平８−１２８９４６号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光源からの
光線束の偏光特性分布を正確に得るには、計測したい光
線束全体について偏光特性の分布を測定する必要があ
る。
光線束の偏光特性分布を正確に得るには、計測したい光
線束全体について偏光特性の分布を測定する必要があ
る。
【０００６】しかしながら、図４に示した従来の偏光特
性の計測装置では、光源１からの測定すべき光線束Ｌの
うち実際に計測に使用されるのは、ピンホール２ｈを透
過ししたごく一部の光線束であり、この場合に光源１か
らの光線束Ｌの大部分は遮蔽板２で遮断されることとな
る。このため、この計測装置を用いて実際に光源１から
の光線束Ｌを計測する場合には、ピンホール２ｈを有す
る遮蔽板２の位置をずらして光源１からの光線束Ｌの中
心、周辺、そしてその間の幾つかのポイントを測定し、
この測定した各ポイントの間は滑らかに偏光状態が変化
すると仮定して簡易的に偏光特性分布を計測することが
なされている。
性の計測装置では、光源１からの測定すべき光線束Ｌの
うち実際に計測に使用されるのは、ピンホール２ｈを透
過ししたごく一部の光線束であり、この場合に光源１か
らの光線束Ｌの大部分は遮蔽板２で遮断されることとな
る。このため、この計測装置を用いて実際に光源１から
の光線束Ｌを計測する場合には、ピンホール２ｈを有す
る遮蔽板２の位置をずらして光源１からの光線束Ｌの中
心、周辺、そしてその間の幾つかのポイントを測定し、
この測定した各ポイントの間は滑らかに偏光状態が変化
すると仮定して簡易的に偏光特性分布を計測することが
なされている。
【０００７】しかし、この方法ではあまりにも計測ポイ
ントが少ない為に計測結果の正確を期することができな
い。これに対し、計測結果の正確さを向上させるために
は計測ポイントを増やすことが考えられるが、光線束全
体をくまなく計測することは、作業時間を考えると実際
上不可能である。
ントが少ない為に計測結果の正確を期することができな
い。これに対し、計測結果の正確さを向上させるために
は計測ポイントを増やすことが考えられるが、光線束全
体をくまなく計測することは、作業時間を考えると実際
上不可能である。
【０００８】また、上述の特開平８−１２８９４６号公
報に記載の装置によっても１ポイント又は光線束全体と
しての偏光特性を計測できるにすぎず、光線束の中でど
のように偏光特性が分布しているかを計測することはで
きない。
報に記載の装置によっても１ポイント又は光線束全体と
しての偏光特性を計測できるにすぎず、光線束の中でど
のように偏光特性が分布しているかを計測することはで
きない。
【０００９】本発明は、以上の点に鑑み、計測したい光
線束全体の偏光特性分布を、短時間で正確に計測できる
ようにする偏光特性分布計測装置を提供することを目的
としている。
線束全体の偏光特性分布を、短時間で正確に計測できる
ようにする偏光特性分布計測装置を提供することを目的
としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、計測すべき光線束を入射させ、その光線
束に特定の位相差を与える波長板、該波長板から出射し
た光の特定方向の直線偏光を抽出する検光子、検光子か
ら出射した光を受光する２次元配列した受光素子、及び
受光素子からの出力信号に基づいて偏光特性分布を算出
する演算回路からなることを特徴とする偏光特性分布計
測装置を提供する。
達成するため、計測すべき光線束を入射させ、その光線
束に特定の位相差を与える波長板、該波長板から出射し
た光の特定方向の直線偏光を抽出する検光子、検光子か
ら出射した光を受光する２次元配列した受光素子、及び
受光素子からの出力信号に基づいて偏光特性分布を算出
する演算回路からなることを特徴とする偏光特性分布計
測装置を提供する。
【００１１】特に好ましい態様として、波長板として４
分の１波長板を使用し、検光子として、グラントムソン
プリズムを使用し、受光素子として固体撮像素子を使用
する態様を提供する。
分の１波長板を使用し、検光子として、グラントムソン
プリズムを使用し、受光素子として固体撮像素子を使用
する態様を提供する。
【００１２】本発明によれば、光源から出射した測定す
べき光線束は、４分の１波長板等の特定の位相差を与え
る波長板、および直線偏光を抽出する検光子を透過し、
受光素子に入射する。そして、この受光素子からの出力
信号に基づいて演算回路にて信号処理を行い、偏光特性
分布を計測する。ここで、受光素子は２次元配列してお
り、演算回路はこの２次元配列した受光素子からの出力
信号に基づいて偏光特性を算出するので、この装置によ
れば、光線束の一部の偏光特性や、光線束全体の平均的
な偏光特性ではなく、光線束全体における偏光特性の分
布を正確に計測することが可能となり、且つそのような
計測を短時間で行うことが可能となる。
べき光線束は、４分の１波長板等の特定の位相差を与え
る波長板、および直線偏光を抽出する検光子を透過し、
受光素子に入射する。そして、この受光素子からの出力
信号に基づいて演算回路にて信号処理を行い、偏光特性
分布を計測する。ここで、受光素子は２次元配列してお
り、演算回路はこの２次元配列した受光素子からの出力
信号に基づいて偏光特性を算出するので、この装置によ
れば、光線束の一部の偏光特性や、光線束全体の平均的
な偏光特性ではなく、光線束全体における偏光特性の分
布を正確に計測することが可能となり、且つそのような
計測を短時間で行うことが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態を
図を参照しつつ、詳細に説明する。
図を参照しつつ、詳細に説明する。
【００１４】図１は、本発明の一実施例の偏光特性分布
計測装置１０の全体構成を表わしており、光源１から射
出された光線束Ｌを計測する場合を表している。図示し
たように、この装置１０では、４分の１波長板３、グラ
ントムソンプリズム４、及び２次元配列した固体撮像素
子（以降ＣＣＤ）７が順次配されている。ここで、４分
の１波長板３は任意に着脱できるように取り付けられて
いる。また、この装置１０においては、ＣＣＤ７からの
出力信号が演算回路８に入力され、演算回路８での算出
結果がコンピュータ９に出力され、光線束Ｌの偏光特性
分布（即ち、光線束Ｌにおける偏光の方位角および楕円
率の分布）が数値化された強度分布情報として得られる
ようになっている。
計測装置１０の全体構成を表わしており、光源１から射
出された光線束Ｌを計測する場合を表している。図示し
たように、この装置１０では、４分の１波長板３、グラ
ントムソンプリズム４、及び２次元配列した固体撮像素
子（以降ＣＣＤ）７が順次配されている。ここで、４分
の１波長板３は任意に着脱できるように取り付けられて
いる。また、この装置１０においては、ＣＣＤ７からの
出力信号が演算回路８に入力され、演算回路８での算出
結果がコンピュータ９に出力され、光線束Ｌの偏光特性
分布（即ち、光線束Ｌにおける偏光の方位角および楕円
率の分布）が数値化された強度分布情報として得られる
ようになっている。
【００１５】ところで、光線束Ｌの偏光特性分布を直接
計測することはできない。そこで、上記演算回路８で
は、２次元配列したＣＣＤ７からの出力信号に基づいて
ストークスパラメータを求め、偏光の方位角と楕円率と
を求める。
計測することはできない。そこで、上記演算回路８で
は、２次元配列したＣＣＤ７からの出力信号に基づいて
ストークスパラメータを求め、偏光の方位角と楕円率と
を求める。
【００１６】以下にストークスパラメータの計測方法を
述べる。
述べる。
【００１７】まず、４分の１波長板３を使用せず、光源
１からの光線束Ｌの光軸上に、グラントムソンプリズム
４及びＣＣＤ７を設ける。このグラントムソンプリズム
４は、１軸性結晶により構成されているので光学軸を持
ち、直線偏光成分しか透過させない。そこで、グラント
ムソンプリズム４を透過する偏光の方向を方位角の基準
とする。
１からの光線束Ｌの光軸上に、グラントムソンプリズム
４及びＣＣＤ７を設ける。このグラントムソンプリズム
４は、１軸性結晶により構成されているので光学軸を持
ち、直線偏光成分しか透過させない。そこで、グラント
ムソンプリズム４を透過する偏光の方向を方位角の基準
とする。
【００１８】光源１からグラントムソンプリズム４に入
射する光線束Ｌの偏光状態が図２（１）に示したよう
に、方位角に対して４５度の角度を有するとき、グラン
トムソンプリズム４の方位角０度での出射光をＣＣＤ７
で受光し、その光強度分布を数値化し、座標に対応させ
た値Ｉｘとして計測する（図２（２））。また、グラン
トムソンプリズム４の方位角９０度での出射光の光強度
分布を数値化し、座標に対応させた値Ｉｙとして計測し
（図２（３））、さらにグラントムソンプリズム４の方
位角４５度での出射光の光強度分布も数値化し、座標に
対応させた値Ｉ45として計測する（図２（４））。
射する光線束Ｌの偏光状態が図２（１）に示したよう
に、方位角に対して４５度の角度を有するとき、グラン
トムソンプリズム４の方位角０度での出射光をＣＣＤ７
で受光し、その光強度分布を数値化し、座標に対応させ
た値Ｉｘとして計測する（図２（２））。また、グラン
トムソンプリズム４の方位角９０度での出射光の光強度
分布を数値化し、座標に対応させた値Ｉｙとして計測し
（図２（３））、さらにグラントムソンプリズム４の方
位角４５度での出射光の光強度分布も数値化し、座標に
対応させた値Ｉ45として計測する（図２（４））。
【００１９】次に、グラントムソンプリズム４の方位角
を４５度にしたままで、光源１とグラントムソンプリズ
ム４の間に４分の１波長板３を挿入する。すると、４分
の１波長板３からの出射光の偏光は、その４分の１波長
板３の進相軸が方位角０度のとき、図２（５）のように
円偏光となる。この４分の１波長板３からの出射光がさ
らにグラントムソンプリズム４の方位角４５度を透過し
た後の光強度分布を数値化し、座標に対応させた値Ｉq4
5として計測する。
を４５度にしたままで、光源１とグラントムソンプリズ
ム４の間に４分の１波長板３を挿入する。すると、４分
の１波長板３からの出射光の偏光は、その４分の１波長
板３の進相軸が方位角０度のとき、図２（５）のように
円偏光となる。この４分の１波長板３からの出射光がさ
らにグラントムソンプリズム４の方位角４５度を透過し
た後の光強度分布を数値化し、座標に対応させた値Ｉq4
5として計測する。
【００２０】同様に４分の１波長板３の進相軸が方位角
９０度での偏光は図２（６）のようになり、これがさら
にグラントムソンプリズム４の方位角４５度を透過した
後の光強度分布を数値化し、座標に対応させた値Ｉq'45
として計測する。
９０度での偏光は図２（６）のようになり、これがさら
にグラントムソンプリズム４の方位角４５度を透過した
後の光強度分布を数値化し、座標に対応させた値Ｉq'45
として計測する。
【００２１】さて、２次元配列しているＣＣＤ７上の任
意座標において
意座標において
【００２２】
【数１】ａ×ａ＝＜｜Ｅ｜×｜Ｅ｜＞ （ここで、ａは、波の振幅を表し、Ｅは波動ベクトルを
表す）とすると、
表す）とすると、
【００２３】
【数２】Ｉｘ＝＜｜Ｅｘ｜×｜Ｅｘ｜＞＝ａｘ×ａｘ Ｉｙ＝＜｜Ｅｙ｜×｜Ｅｙ｜＞＝ａｙ×ａｙ Ｉ45＝１／２（ａｘ×ａｘ＋ａｙ×ａｙ＋２ａｘ×ａｙ
×ｃｏｓδ） であるから、ストークスパラメータは次式で求まる。
×ｃｏｓδ） であるから、ストークスパラメータは次式で求まる。
【００２４】
【数３】 Ｓ0＝Ｉｘ＋Ｉｙ＝ａｘ×ａｘ＋ａｙ×ａｙ 式１ Ｓ1＝Ｉｘ−Ｉｙ＝ａｘ×ａｘ−ａｙ×ａｙ 式２ Ｓ2＝２×Ｉ45−（Ｉｘ＋Ｉｙ）＝２ａｘ×ａｙ×ｃｏｓδ 式３
【００２５】また、Ｓ3は次のように求まる。
【００２６】
【数４】Ｓ3＝Ｉq45−Ｉq'45 式４
【００２７】したがって、４分の１波長板３の位相差量
をΔ、４分の１波長板３の進相軸の方位をθとすると、
上記の方法で求まるストークスパラメータＳ3は、
をΔ、４分の１波長板３の進相軸の方位をθとすると、
上記の方法で求まるストークスパラメータＳ3は、
【００２８】
【数５】 Ｓ3＝２ａｘ×ａｙ×ｓｉｎδ×ｓｉｎΔ×ｃｏｓ２θ
【００２９】よって、Δ＝π／２、θ＝０の時
【００３０】
【数６】Ｓ3＝２ａｘ×ａｙ×ｓｉｎδ となる。
【００３１】ここで、Δ、θが上記の値から多少ずれて
も、Ｓ3の値に大きな変化はない。また、上述のように
計測する偏光の方位角を４５度方向にすれば、すべての
計測する透過光強度が大きな値となるので、迷光の影響
を小さくすることができる。
も、Ｓ3の値に大きな変化はない。また、上述のように
計測する偏光の方位角を４５度方向にすれば、すべての
計測する透過光強度が大きな値となるので、迷光の影響
を小さくすることができる。
【００３２】また、計測されたストークスパラメータ
（Ｓ0、Ｓ1、Ｓ2、Ｓ3）から、光源１の偏光特性分布で
ある偏光の方位角と楕円率とは、次のようにして求める
ことができる。
（Ｓ0、Ｓ1、Ｓ2、Ｓ3）から、光源１の偏光特性分布で
ある偏光の方位角と楕円率とは、次のようにして求める
ことができる。
【００３３】まず、ｔａｎα＝ａｙ／ａｘなる角度αと
位相差δを求める。
位相差δを求める。
【００３４】
【数７】 ｃｏｓ２α＝Ｓ1 ／Ｓ0 式５ ｔａｎδ＝Ｓ3 ／Ｓ2 式６
【００３５】これから方位角：ψと楕円率：χを求める
式は、
式は、
【００３６】
【数８】 ｔａｎ２ψ＝（ｔａｎ２α）ｃｏｓδ 式７ ｓｉｎ２χ＝（ｓｉｎ２α）ｓｉｎδ 式８ である。
【００３７】なお、楕円率χは楕円の長軸と短軸をそれ
ぞれｌ、ｍとしたとき、
ぞれｌ、ｍとしたとき、
【００３８】
【数９】ｔａｎχ＝±ｍ／ｌ で表わされる値である。符号は右回りか左回りかを表わ
す。
す。
【００３９】したがって、上述のように計測により得ら
れたＩｘ、Ｉｙ、Ｉ45、Ｉq45、Ｉq'45を上記式１から
式８に導入することでＣＣＤ７上の各座標における方位
角と楕円率を導くことができる。さらに計算により得ら
れた各座標における方位角と楕円率から、ＸＹ軸にＣＣ
Ｄ７上の座標をとり、Ｚ軸に方位角もしくは楕円率をと
った３次元グラフを表示させることにより、偏光特性分
布を非常にわかり易く確認することができる。図３は、
こうして表した３次元表示の例である。
れたＩｘ、Ｉｙ、Ｉ45、Ｉq45、Ｉq'45を上記式１から
式８に導入することでＣＣＤ７上の各座標における方位
角と楕円率を導くことができる。さらに計算により得ら
れた各座標における方位角と楕円率から、ＸＹ軸にＣＣ
Ｄ７上の座標をとり、Ｚ軸に方位角もしくは楕円率をと
った３次元グラフを表示させることにより、偏光特性分
布を非常にわかり易く確認することができる。図３は、
こうして表した３次元表示の例である。
【００４０】ところで上記の偏光特性分布の導出方法で
は各座標ごとの計算を行なっているが、この偏光特性分
布の導出方法によると、計測による誤差（ムラ）がその
まま偏光特性分布の３次元表示に現れるため、得られる
３次元表示は荒れた分布グラフになる可能性がある。
は各座標ごとの計算を行なっているが、この偏光特性分
布の導出方法によると、計測による誤差（ムラ）がその
まま偏光特性分布の３次元表示に現れるため、得られる
３次元表示は荒れた分布グラフになる可能性がある。
【００４１】そこで、各座標ごとに周囲の画素を含む範
囲（例えば、周囲５画素の範囲）で光強度を積算し、平
均を取った値をその座標における光強度とする。これに
より各座標における方位角と楕円率を求めると計測によ
る誤差（ムラ）が目立たなくなり、グラフが滑らかにな
る。なお、このように一つの画素における光強度の計測
値として、当該画素とその周囲の画素を含む範囲での平
均値を求めるにあたり、使用する周囲の画素の数は、計
測時の誤差の状況により適宜選択することができる。
囲（例えば、周囲５画素の範囲）で光強度を積算し、平
均を取った値をその座標における光強度とする。これに
より各座標における方位角と楕円率を求めると計測によ
る誤差（ムラ）が目立たなくなり、グラフが滑らかにな
る。なお、このように一つの画素における光強度の計測
値として、当該画素とその周囲の画素を含む範囲での平
均値を求めるにあたり、使用する周囲の画素の数は、計
測時の誤差の状況により適宜選択することができる。
【００４２】本発明は、以上の実施形態の他、種々の形
態をとることができる。例えば、上述の例では、波長板
として４分の１波長板を用いているが、計測すべき光線
束に特定の位相差を与えることができる波長板であれば
よく、例えば、フレネルロム、バビネ・ソレイユ板等も
使用することができる。
態をとることができる。例えば、上述の例では、波長板
として４分の１波長板を用いているが、計測すべき光線
束に特定の位相差を与えることができる波長板であれば
よく、例えば、フレネルロム、バビネ・ソレイユ板等も
使用することができる。
【００４３】また、グラントムソンプリズムは高純度の
直線偏光を得られるので、本発明で用いる検光子として
好ましいが、この他検光子としては、ニコルプリズム等
も使用することができる。
直線偏光を得られるので、本発明で用いる検光子として
好ましいが、この他検光子としては、ニコルプリズム等
も使用することができる。
【００４４】受光素子としては、ＣＣＤの他、ＣＭＯＳ
撮像素子等も使用することができる。
撮像素子等も使用することができる。
【００４５】
【発明の効果】本発明によれば、２次元配列した受光素
子を用いて、計測すべき光線束の偏光特性分布を計測す
るので、従前の偏光特性分布計測装置に比して偏光特性
分布の計測ポイントを非常に多くすることができる。し
たがって、計測すべき光線束の偏光特性分布をその光線
束全体に渡って検出できるようになる。よって、計測時
間を大幅に短縮し且つ計測結果の正確さを向上させるこ
とができる。
子を用いて、計測すべき光線束の偏光特性分布を計測す
るので、従前の偏光特性分布計測装置に比して偏光特性
分布の計測ポイントを非常に多くすることができる。し
たがって、計測すべき光線束の偏光特性分布をその光線
束全体に渡って検出できるようになる。よって、計測時
間を大幅に短縮し且つ計測結果の正確さを向上させるこ
とができる。
【図１】本発明の偏光特性分布計測装置の全体構成図で
ある。
ある。
【図２】本発明の装置において、グラントムソンプリズ
ムあるいは４分の１波長板を出射した光の偏光状態図で
ある。
ムあるいは４分の１波長板を出射した光の偏光状態図で
ある。
【図３】本発明の装置により得られる偏光特性分布の３
次元表示の例である。
次元表示の例である。
【図４】従来の偏光特性分布計測装置の全体構成図であ
る。
る。
１…光源、 ３…４分の１波長板、 ４…グラントムソ
ンプリズム、７…固体撮像素子（以降ＣＣＤ）、 ８…
演算回路、 ９…コンピュータ、 １０…偏光特性分布
計測装置
ンプリズム、７…固体撮像素子（以降ＣＣＤ）、 ８…
演算回路、 ９…コンピュータ、 １０…偏光特性分布
計測装置
Claims (5)
- 【請求項１】 計測すべき光線束を入射させ、その光線
束に特定の位相差を与える波長板、該波長板から出射し
た光の特定方向の直線偏光を抽出する検光子、検光子か
ら出射した光を受光する２次元配列した受光素子、及び
受光素子からの出力信号に基づいて偏光特性分布を算出
する演算回路からなることを特徴とする偏光特性分布計
測装置。 - 【請求項２】 前記波長板として、４分の１波長板を用
いる請求項１記載の偏光特性分布計測装置。 - 【請求項３】 前記検光子として、グラントムソンプリ
ズムを用いる請求項１又は２記載の偏光特性分布計測装
置。 - 【請求項４】 前記受光素子として、固体撮像素子を用
いる請求項１〜３のいずれかに記載の偏光特性分布計測
装置。 - 【請求項５】 受光素子の２次元配列面内にＹＸ軸をと
り、計測すべき光線束の偏光の方位角又は楕円率をＺ軸
とすることにより偏光特性を３次元表示する請求項１〜
４のいずれかに記載の偏光特性分布計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9101997A JPH10293065A (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 偏光特性分布計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9101997A JPH10293065A (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 偏光特性分布計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10293065A true JPH10293065A (ja) | 1998-11-04 |
Family
ID=14315472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9101997A Pending JPH10293065A (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 偏光特性分布計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10293065A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013167652A (ja) * | 2013-06-06 | 2013-08-29 | Nikon Corp | 評価装置 |
-
1997
- 1997-04-18 JP JP9101997A patent/JPH10293065A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013167652A (ja) * | 2013-06-06 | 2013-08-29 | Nikon Corp | 評価装置 |
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