CN109203698B - 液体喷出头和液体喷出设备 - Google Patents

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Abstract

液体喷出头和液体喷出设备。为了与液体用的循环流路相关联地以高的密度排列喷出口，在循环流路中形成有多个压力室。循环流路连接到贯通基板的贯通供给路径和贯通回收路径。

Description

液体喷出头和液体喷出设备
技术领域
本发明涉及能够喷出诸如墨等的液体的液体喷出头和液体喷出设备。
背景技术
作为液体喷出头，国际公开号WO 2016/175865公开了一种喷墨打印头，该喷墨打印头能够借助于喷出能量产生元件对供给到压力室中的液体墨进行加压，以通过喷出口喷出留在压力室中的墨。在该打印头中，基板在形成有压力室的表面形成有供留在压力室中的墨循环的循环路径。循环路径包括两个压力室。循环路径以与由多个压力室构成的组对应的方式形成。换言之，循环路径以与压力室的数量成比例的数量形成在基板的表面。通过使留在压力室中的墨循环，在抑制由作为包含在墨中的挥发性成分通过喷出口蒸发的结果而使墨的粘度增大导致的墨的喷出不良方面是有效的。
在国际公开号WO2016/175865所公开的喷墨打印头中，压力室、循环路径和用于使墨循环的循环元件形成在基板的同一表面侧。需要以与压力室的数量对应的数量形成循环路径和循环元件。另外，将墨供给到压力室和循环路径的供给路径位于基板的形成有压力室、循环路径和循环元件的同一表面侧。结果，难以使喷出口以高的密度排列。
发明内容
本发明提供能够与液体用的循环路径相关联地以高的密度排列喷出口的液体喷出头，并且提供液体喷出设备。
在本发明的第一方面中，提供一种液体喷出头，其包括：
基板，其具有第一表面以及与所述第一表面相反的第二表面；
循环流路，其设置在所述基板的所述第一表面侧；
压力室，其设置在所述基板的所述第一表面侧，液体循环通过所述压力室；以及
喷出能量产生元件，其设置在所述基板的所述第一表面侧，所述喷出能量产生元件产生用于将所述压力室中的液体从喷出口喷出的能量，
其中，所述基板包括：
贯通供给路径，其被构造成在所述基板的所述第一表面和所述第二表面之间贯通，以将液体供给到所述循环流路；和
贯通回收路径，其被构造成在所述基板的所述第一表面和所述第二表面之间贯通，以从所述循环流路回收液体，
其中，所述循环流路中串联地(in series)设置有多个所述压力室，并且
所述循环流路包括第一供给路径和第二供给路径，所述第一供给路径被构造成将具有第一压力的墨供给到所述循环流路的第一位置，所述第二供给路径被构造成将具有与所述第一压力不同的第二压力的墨供给到所述循环流路的与所述第一位置不同的第二位置。
在本发明的第二方面中，提供一种液体喷出设备，其包括：
根据本发明的第一方面的液体喷出头；
供给单元，其被构造成将液体供给到所述液体喷出头的循环流路；和
控制单元，其被构造成控制所述喷出能量产生元件。
根据本发明，有效地形成了液体用的循环路径，并且能够以高的密度排列喷出口。
通过以下参照附图对示例性实施方式的说明，本发明的其它特征将变得明显。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式的打印头的立体图；
图2A是示出图1所示的打印头中的基板的图；
图2B是沿着图2A的线IIB-IIB截取的截面图；
图3是示出图1所示的打印头中的墨喷出控制的时序图；
图4A是示出本发明的第二实施方式的打印头中的基板的图；
图4B是沿着图4A的线IVB-IVB截取的截面图；
图5是示出图4A所示的送液机构的控制的时序图；
图6A是示出本发明的第三实施方式的打印头中的基板的图；
图6B是沿着图6A的线VIB-VIB截取的截面图；
图7A是示出本发明的第四实施方式的打印头中的基板的图；
图7B是沿着图7A的线VIIB-VIIB截取的截面图；
图8A是示出本发明的第五实施方式的打印头中的基板的图；
图8B是沿着图8A的线VIIIB-VIIIB截取的截面图；
图9A是示出图8A所示的基板的第一变形例的图；
图9B是沿着图9A的线IXB-IXB截取的截面图；
图10是示出图8A所示的基板的第二变形例的图；
图11A是示出本发明的第六实施方式的打印头中的基板的图；
图11B是沿着图11A的线XIB-XIB截取的截面图；
图12A是示出图11A所示的基板的第一变形例的图；
图12B是沿着图12A的线XIIB-XIIB截取的截面图；
图13是示出图11A和图11B所示的基板的第二变形例的图；
图14A是示出本发明的第七实施方式的打印头中的基板的图；
图14B是沿着图14A的线XIVB-XIVB截取的截面图；
图15A和图15B是示出图14A所示的基板上的墨流的图；
图16是示出本发明的第八实施方式的打印头中的基板的图；
图17是示出本发明的第九实施方式的打印头中的基板的图；
图18A是示出本发明的第十实施方式的打印头中的基板的图；
图18B是沿着图18A的线XVIIIB-XVIIIB截取的截面图；
图19A是示出本发明的第十一实施方式的打印头中的基板的图；
图19B是沿着图19A的XIXB-XIXB线截取的截面图；以及
图20A和图20B是示出设置有本发明的实施方式的打印头的打印设备的图。
具体实施方式
以下将参照附图说明本发明的实施方式。分别以喷墨打印头和喷墨打印设备作为示例说明以下实施方式中的液体喷出头和液体喷出设备。
[第一实施方式]
图1是示出用作液体喷出头的喷墨打印头100的立体图。本实施方式中的打印头100包括：基板4；电气配线基板102，其经由柔性配线基板101电连接到基板4；以及用于墨(液体)的喷出控制的供电端子103和信号输入端子104。用于将墨供给到打印头100的系统的示例包括通过使用毛细现象或泵将墨从一个墨罐供给到打印头100内部的压力室的系统。还存在另一系统，其中，墨罐分别布置在向打印头供给墨的路径的上游侧和下游侧，然后使墨从一个墨罐流到另一墨罐，以便将墨供给到打印头内的压力室中。
图2A是示意性示出基板4的一部分的放大图。图2B是沿着图2A的线IIB-IIB截取的截面图。基板4具有第一表面以及与第一表面相反的第二表面。图2A是示出当从面向第一表面的位置观察时基板4的视图。在基板4的第一表面侧，形成有两个喷出口列L(L1和L2)，其中多个喷出口2以与600dpi的分辨率对应的节距排列。一个喷出口列L1上的喷出口2和另一喷出口列L2上的喷出口2在列方向上错开半个节距。以这种方式，打印头100被构造成具有1200dpi的打印分辨率和20mm的打印宽度。本实施方式中的打印头100是长形的全幅型，其中多个基板4以与A4尺寸等的打印介质对应的方式排列。打印头100可以是具有比打印介质的宽度小的打印头宽度的串行扫描型。
基板4上的功能层9中配置有作为喷出能量产生元件的多个电热转换器(在下文中还称作“加热器”)1。墨喷出口2和压力室3形成在与加热器1相对的位置。多个相邻的压力室3(在本实施方式中为五个压力室)经由连接流路5彼此连通以形成一系列流路。位于一系列流路的一端侧的压力室3通过连接口6A连接到墨供给路径8A，而位于一系列流路的另一端侧的压力室3通过连接口6B连接到墨供给路径8B。通过用作喷出能量产生元件的加热器1产生能量使留在压力室3中的墨通过喷出口2喷出。多个压力室3连续地连接在连接口6A和6B之间，由此形成供墨循环流动的循环流路7。压力室3由流路形成构件10限定在基板4的第一表面处，喷出口2由喷出口形成构件11限定而成。流路形成构件10和喷出口形成构件11可以彼此一体化。排列多个喷出口2，因而形成喷出口列L1和L2。喷出口列L1和L2沿着循环流路7布置。构成用于抑制诸如气泡等的异物侵入压力室3的过滤器的构件(例如，柱状结构体)可以介于供给路径8A和供给路径8B与连接口6A和6B之间。
位于喷出口列L1侧的循环流路7的连接口6A和位于喷出口列L2侧的循环流路7的连接口6A连接到介于喷出口列L1和L2之间的供给路径8A。另外，位于喷出口列L1侧的循环流路7的连接口6B连接到图2A中的上供给路径8B，而位于喷出口列L2侧的循环流路7的连接口6B连接到图2A中的下供给路径8B。通过设置在打印头100外部的泵将墨供给到供给路径8A和8B。泵与供给路径8A和8B经由用于将墨供给到循环流路7的贯通供给路径6和用于从循环流路7回收墨的贯通回收路径6'连接。贯通供给路径6朝向供给路径8B开口，而贯通回收路径6'朝向供给路径8A开口。贯通供给路径6和贯通回收路径6'是在基板4的第一表面和第二表面之间贯通的路径。墨从基板4的第二表面侧通过贯通供给路径6供给到第一表面侧，经过循环流路7，然后通过贯通回收路径6'从基板4的第一表面侧回收到第二表面侧。贯通供给路径6和贯通回收路径6'连接到基板4的第二表面或基板4的外部，因而供墨循环。将向供给路径8B供给的墨的压力设定为比向供给路径8A供给的墨的压力高。压力差会使墨沿由箭头“a”表示的方向从供给路径8B通过循环流路7朝向供给路径8A流动(循环流动)。根据本发明，贯通供给路径6和贯通回收路径6'的使用在基板4的第二表面侧或基板4的外部配备了使墨流过循环流路7所需的流路等的功能。结果，能够确保基板4的第一表面侧的空间，因而使喷出口2以较高的密度排列。
墨以相同的流速循环通过形成在同一循环流路7中的压力室3。结果，通过在循环流路7中实现一个喷出口2所需的墨的循环流量，能够同时抑制单个循环流路7处的多个喷出口附近的墨的变质(由墨中包含的挥发性成分的蒸发所导致的变质)。变质的墨从循环流路7的上游侧的喷出口附近流向下游侧。然而，变质的墨的流量小于循环着的墨的流量，因此几乎不会对循环流路7的下游侧的喷出口附近的墨的变质抑制效果产生不利影响。单个循环流路7所需的墨的循环流速不与喷出口2的数量成比例地增大。因而，一个喷出口2所需的循环流速能够抑制墨的变质。
在图2A和图2B所示的构成例中，单个循环流路7中串联地配置有五个压力室3。仅要求配置在单个循环流路7中的压力室3的数量(即，串联地配置在循环流路中的压力室)为两个以上。随着配置在单个循环流路7中的压力室3的数量变多，循环流路7处的流路阻力变大。鉴于此，为了实现墨的相同循环流速，必须扩大供给路径8A和8B之间的压力差。因此，连接到打印头100的泵需要较高的能力，由此会导致喷墨打印设备的较大尺寸。另外，排列在循环流路7的下游侧的喷出口会受到在循环流路7的上游侧的喷出口附近流动着的墨的变质的显著影响。从上述观点出发，串联地形成在循环流路中的压力室的数量应当优选为三个以上。
相比之下，如果形成在单个循环流路7中的压力室3的数量较少，则待形成的连接口6A和6B的数量和总形成面积会增大。结果，例如加热器1用的驱动电路的配置面积会受到限制，由此难以使喷出口2以高的密度排列。结果，基板4的尺寸会增大。鉴于此，优选的是基于墨变质的抑制效果、用于实现墨的必要的循环流量的压力以及喷出口2的高密度排列(喷嘴的高密度排列)之间的关系，确定形成在单个循环流路7中的压力室3的数量。尽管取决于压力室的形状等，但是形成在单个循环流路7中的压力室3的数量的上限应当优选为十个以下，更优选地，应当为五个以下。从在喷出口之间流动着的墨的变质分布小和喷出口的高密度排列的观点出发，形成在单个循环流路7中的压力室3的数量应当优选为2个以上且5个以下。更优选地，应当为三个以上。仅必须的是，压力室3应当以使循环流路7在连接口6A和6B之间无任何分支或汇流地成一条线的方式形成。喷出口2和压力室3不需要在一条直线上。
在本实施方式中，加热器1的面积为750μm2(＝25μm×30μm)；喷出口2的直径为25μm；压力室3的截面面积为1050μm2(＝30μm×35μm)；连接流路5的宽度为20μm；连接流路5的长度为10μm。另外，各连接口6A和6B的宽度均为20μm；各连接口6A和6B的长度均为20μm；循环流路7的高度为20μm；供给路径8A和8B的宽度均为50μm。另外，喷出口形成构件11的厚度为20μm，墨的粘度为2cP；从喷出口2喷出的墨的喷出量为10pL。用作喷出能量产生元件的加热器1通过形成于基板4的电气配线和端子电连接到图1所示的电气配线基板102。
响应于从未示出的打印控制电路输出的脉冲信号，驱动加热器1以产生热。由加热器1产生的热在留在压力室3内部的墨中产生气泡，此外得到的发泡能量使墨从喷出口2喷出。压力室3是由流路形成构件10和喷出口形成构件11限定的空间。通过将相同颜色的墨供给到以与喷出口列L1和L2相同的方式形成的四个喷出口列L，能够打印单色图像。喷出口列L可以形成在单个基板4上或可以形成在多个基板4上。
(墨的喷出控制)
在形成于同一循环流路7内的多个压力室3中的一个压力室3下方的加热器1对留在该压力室3中的墨赋予喷出能量的情况下，喷出能量易于在与该单个压力室3相邻的压力室(在下文中还称作“相邻压力室”)中传播。喷出能量的传播(串扰)会改变形成在相邻压力室3中的喷出口2处的墨的弯月面的位置(墨液面的位置)。在串扰的影响保持大的状态下，在从相邻压力室3中的喷出口喷出墨的情况下，墨的喷出量和方向会改变，由此会导致墨在打印介质上的着落位置偏移的可能性。
在墨从单个压力室3中的喷出口2喷出之后，循环流路7经由与该单个压力室3相邻的压力室3再次填充流过供给路径8A和8B的墨。尽管再填充墨所需的时间取决于循环流路7、连接口6A和6B、供给路径8A和8B等的尺寸和结构，但是会花费大约10微秒(μsec)至大约250微秒。在此期间，墨在循环流路7中的流动会受到大的干扰，由此改变了喷出口2处的墨液面。以这种方式，在串扰的影响保持大的状态下喷出墨的情况下，墨的喷出量和方向会改变，由此会导致墨在打印介质上的着落位置偏移的可能性。
如上所述，在墨喷出动作时，形成在单个循环流路7中的多个压力室3在打印头100中彼此影响。鉴于此，重要的是控制墨从形成在单个循环流路7中的多个压力室3喷出的喷出时刻。
图3是示出打印头100中的墨喷出控制的时序图。在本实施方式中，由于单个循环流路7中形成有五个压力室3，所以在图3中将压力室3编号为3(1)、3(2)、3(3)、3(4)和3(5)。横轴代表压力室中的加热器1的驱动时刻。在本实施方式中，与一个压力室3中的墨喷出动作对应的压力波动和墨的再填充会影响其它四个压力室3。优选的是，当墨在循环流路7中的循环流动稳定到墨的喷出量和方向不受影响的程度时，执行下次喷出动作。
在图3中，用间隔t1表示能够确保墨的适当喷出量和着落精度的墨喷出时刻。在本实施方式中，为了确保间隔t1，使形成在单个循环流路7中的五个压力室3处的墨喷出时刻错开。在这种情况下，压力室3处的墨的任意喷出顺序以及墨喷出动作的任意连续性都是允许的。图3中的横轴以100微秒标为一个刻度。
随着间隔t1变长，每单位时间墨的喷出次数变少，由此降低了图像的打印速度或打印分辨率。鉴于此，优选的是将间隔t1设定为必要的最小值。为此，重要的是将压力室3形成为实质封闭的空间以便抑制由墨喷出动作导致的压力室之间的串扰，并且增大墨流路的截面面积以便加快墨的再填充。图3示出了墨喷出控制的一个示例。另外，根据循环流路7的设计和所需的墨的喷出精度，能够同时从形成在循环流路7中的多个压力室3喷出墨。
在相邻压力室3易受墨喷出动作影响的循环流路7的构造中，墨从形成在循环流路7中的多个压力室3喷出的喷出时刻之间的间隔t1变长，由此延长墨的喷出周期。在这种情况下，特别是当打印高分辨率的图像时，打印速度会大幅度降低。鉴于此，重要的是设计循环流路7的结构，以便缩短墨的喷出时刻之间的间隔t1。优选的是减小循环流路7的流路阻力，而增大压力室3之间的流路阻力，以便提高打印速度。然而，这些设计要素是彼此矛盾的。鉴于此，考虑到墨的喷出稳定性、喷出口2的高密度排列和所需的墨喷出速度，确定形成在单个循环流路7中的压力室3的数量，此外还进行包括循环流路7的尺寸在内的结构设计。
(墨的循环流动的控制)
供给路径8B连接有未示出的第一供给源，用于通过贯通基板4和功能层9的贯通供给路径6和贯通回收路径6'供给具有压力P1的墨。供给路径8A连接有未图示的第二供给源，用于通过贯通基板4和功能层9的贯通供给路径6和贯通回收路径6'供给具有比压力P1小的压力P2的墨。结果，通过压力差(P1-P2)在循环流路7中产生从连接口6B朝向连接口6A沿由图2B中的箭头“a”表示的方向的墨流。在本实施方式中，压力差(P1-P2)为200mmAq。在形成于循环流路7内的多个压力室3中产生了由压力差产生的墨流(循环流)，因而始终在各压力室3中的喷出口2附近供给新鲜的墨。例如，第一供给源和第二供给源可以通过使用例如真空泵、压力调节器和空气室的组合以及墨的高度差而构成。
以这种方式，在不从喷出口2喷出墨的非打印动作期间，也通过压力差(P1-P2)在循环流路7中产生墨流，因而在压力室3和喷出口2附近供给新鲜的墨。即使在非打印动作期间，也没有墨滞留在喷出口2附近，因而抑制了喷出口2附近的墨的变质(由墨中包含的挥发性成分的蒸发导致的变质)对墨的喷出量和着落精度的不利影响。
由于在使多个压力室彼此连接的循环流路中产生了用于抑制墨的变质的墨循环流，所以能够在不与喷出口的数量成比例增大的情况下减小形成循环流路所需的空间。即使在具有多个喷出口的打印头中，也能够有效地形成墨的循环流路。由于第一滴墨是从喷出口喷出的，所以通过上述循环流路的效果抑制墨的变质能够使墨的喷出状态稳定化。而且，能够减小墨的着落位置的变化。另外，能够在有效地形成墨的循环流路的同时使喷出口以高的密度排列，以便实现基板的小型化。
[第二实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与上述第一实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图4A是示出本实施方式中的基板4的示意图；图4B是沿着图4A的线IVB-IVB截取的截面图。与第一实施方式同样，在两个喷出口列L1和L2中，多个喷出口2均以与600dpi的分辨率对应的节距排列。喷出口列L1和L2中的喷出口2在列方向上彼此错开半个节距，因而实现1200dpi的打印分辨率。打印头100的打印宽度为25mm。具有256个至2048个喷出口2的基板4为单个单元。配置有多个单元，因而形成排列有尽可能多的喷出口2的喷出口列。
在本实施方式中，循环流路7经由连接口6A和6B连接到单个供给路径8，而且，连接口6B设置有用于墨的送液机构(流体机构)12。另外，供给路径8中形成有贯通供给路径和贯通回收路径。这些贯通供给路径和贯通回收路径连接到未示出的墨罐。贯通供给路径和贯通回收路径形成在图4A和图4B所示的打印头100的区域的外部，因此它们未示出在图4A和图4B中。连接口6B具有的20μm的宽度和50μm的长度。连接口6A具有10μm的宽度和50μm的长度。形成有送液机构12的连接口6B具有比连接口6A小的流路阻力。在流路中从送液机构12到供给路径8的流路阻力是不同的。其它尺寸与第一实施方式中的相同。送液机构12将新鲜的墨从供给路径8给送到连接口6B，因而在循环流路7中产生沿由图4B中的箭头“a”表示的方向的墨的循环流。能够使用任意的送液机构12，只要它们可以将墨从供给路径8供给到循环流路7中即可，因此构造不受限制。例如，可以使用诸如电阻型加热器、压电致动器、静电致动器和机械/冲击驱动型致动器等的能够传送墨的元件。本实施方式中的送液机构12通过使用改变连接口6B处的流路的容积的压电致动器来供给墨。
图5是示出送液机构12的驱动时刻的时序图。图5中的纵轴代表送液机构12中的压电致动器在连接口6B的高度方向(Z方向)上的变位量，并且代表压电致动器在该高度方向上的变位量相对于由横轴代表的时间的推移。高度方向上的变位增大的方向为正。送液机构12中的压电致动器在高度方向上变位，因而减小了连接口6B处的流路的内部容积，以便将新鲜的墨从供给路径8给送到连接口6B。
从连接口6A到供给路径8的流路阻力大于从连接口6B到供给路径8的流路阻力。为了将新鲜的墨从供给路径8有效率地供给到循环流路7，如例如图5所示，使送液机构12相对于时间非对称地变位。送液机构12重复沿图5所示的Z方向上的变位。当变位急剧时，留在循环流路7中的墨被朝向连接口6A和连接口6B推出与送液机构12的变位量等同的量。此时，墨被以较大的量朝向具有较小流路阻力的连接口6B推出。相比之下，当送液机构12的变位缓慢时，墨优先从具有较小流路阻力的连接口6B供给到循环流路7，由此限制了来自具有较大流路阻力的连接口6A的墨供给量。就连接口6B而言，在送液机构12的缓慢变位期间供给到循环流路7中的墨的量大于在送液机构12的急剧变位期间从循环流路7推出的墨的量，因而在循环流路7内部产生了沿由图4B所示的箭头“a”表示的方向的流动。以这种方式，使用送液机构12的非对称变位驱动和流路中的从送液机构12到供给路径8的非对称流路阻力，能够在循环流路7内部产生与送液机构12的变位相对应的墨循环流。
送液机构12的驱动时刻不受特别的限制。送液机构12可以持续地操作，或者可以在从喷出口2喷出墨之前的时刻等与墨喷出动作相关联地操作。另外，送液机构12的变位量和变位周期可以根据所需的墨循环流的流量而变化。
结果，与第一实施方式同样，即使在非打印动作期间，也没有墨滞留在喷出口2附近，因而抑制了喷出口2附近的墨的变质(由墨中包含的挥发性成分的蒸发导致的变质)对墨的喷出量和着落精度的不利影响。即使在具有多个喷出口的打印头中，也能够有效率地形成墨的循环流路。由于第一滴墨是从喷出口喷出的，所以通过上述循环流路的效果抑制墨的变质能够使墨的喷出状态稳定化。
另外，在本实施方式中，作为供给路径仅设置了一条供给路径8。因此，与第一实施方式不同，与需要供给路径8A和8B作为供给路径的构造相比，能够减少供给路径的数量。得到的空余空间大于布置送液机构12所需的空间，因而进一步增大了喷出口2的排列密度，从而实现了基板4的更小型化。
[第三实施方式]
由于本实施方式中的打印头100的基本构造与第一实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图6A是示出本实施方式中的基板4的示意图；图6B是沿着图6A的线VIB-VIB截取的截面图。本实施方式中的连接口6A和6B贯通作为基板4的一部分的功能层9。连接口6A被形成为贯通回收路径，而连接口6B被形成为贯通供给路径。如图6B所示，这些连接口6A和6B以位于循环流路7和功能层9下侧的方式连接到形成于基板4的供给路径8A和8B。在上述第一实施方式和第二实施方式中，循环流路7以及供给路径8A和8B形成在基板4的同一表面(第一表面)。另外，供给路径8A和8B于形成基板4，循环流路7经由贯通基板4的贯通回收路径和贯通供给路径连接到墨罐。在本实施方式中，循环流路7位于基板4的第一表面侧；连接口6A和6B用作贯通供给路径和贯通回收路径；供给路径8A和8B位于基板4的第二表面侧。连接口6A和6B具有100μm2(＝5μm×20μm)的截面面积和20μm的长度。循环流路7具有20μm的高度。供给路径8A和8B具有50μm的宽度。喷出口形成构件11具有15μm的厚度。
供给路径8A和8B以沿着喷出口列L延伸的方式形成于基板4。供给路径8B连接有未示出的第一供给源，用于供给具有压力P1的墨。供给路径8A连接有未图示的第二供给源，用于供给具有比压力P1小的压力P2的墨。结果，通过压力差(P1-P2)在循环流路7中产生从连接口6B朝向连接口6A沿由图6B中的箭头“a”表示的方向的墨流。在本实施方式中，压力差(P1-P2)为250mmAq。在形成于循环流路7内的多个压力室3中产生了由压力差引起的墨流(循环流)，因而始终在各压力室3中的喷出口2附近供给新鲜的墨。换言之，储存在未示出的墨罐中的墨从供给路径8B通过连接口6B供给到循环流路7，然后通过形成在循环流路7中的多个压力室3、连接口6A和供给路径8A返回到墨罐。
结果，与第一实施方式同样，即使在非打印动作期间，也没有墨滞留在喷出口2附近，因而抑制了喷出口2附近的墨的变质(由在墨中包含的挥发性成分的蒸发导致的变质)对墨的喷出量和着落精度的影响。即使在具有多个喷出口的打印头中，也能够有效率地形成墨的循环流路。由于第一滴墨是从喷出口喷出的，所以通过上述循环流路的效果抑制墨的变质能够使墨的喷出状态稳定化。
另外，图6A所示的构成例中的供给路径8A和8B以被相邻的喷出口列L共用的方式形成，因此会对所有喷出口列L供给相同的墨。然而，供给路径8A和8B可以相对于喷出口列L独立地布置，因而会从喷出口列L喷出不同类型的墨。供给路径8A和8B布置在基板4的与基板4的形成有压力室3的一个表面(图6B中的上表面)相反的另一表面(图6B中的下表面)，因而增大了喷出口2的排列密度，从而实现了基板4的小型化。此外，能够缩短循环流路7，以提高墨循环的效率。
[第四实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第三实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图7A是示出本实施方式中的基板4的示意图；图7B是沿着图7A的线VIIB-VIIB截取的截面图。本实施方式中的喷出口列包括喷出口2的节距不错开的喷出口列LA(1)和LA(2)以及喷出口2的节距不错开的喷出口列LB(1)和LB(2)。喷出口列LA(1)和LA(2)处的喷出口2与喷出口列LB(1)和LB(2)处的喷出口2在列方向上错开半个节距。设置有均由喷出口列LA(1)和LA(2)构成的多个组以及均由喷出口列LB(1)和LB(2)构成的多个组。循环流路7以如下方式形成：在喷出口列LA(1)和LA(2)中，连接在图7A中的左右方向上相邻的两个压力室3；在喷出口列LB(1)和LB(2)中，连接在图7A中的左右方向上相邻的两个压力室3。与第三实施方式同样，循环流路7与供给路径8A和8B分别经由连接口6A和6B彼此连接，连接口6A和6B用作贯通作为基板4的一部分的功能层9的贯通回收路径和贯通供给路径。在本实施方式中，与形成在不同喷出口列处的喷出口对应的压力室在单个循环流路中串联连接。
在本实施方式中，加热器1的面积为500μm2(＝20μm×25μm)；喷出口2的直径为20μm；压力室3的截面面积为750μm2(＝25μm×30μm)；连接流路5的宽度为25μm；连接流路5的长度为7μm。另外，连接口6A和6B均具有100μm2(＝5μm×20μm)的截面面积和20μm的长度。循环流路7具有15μm的高度。供给路径8A和8B均具有40μm的宽度。喷出口形成构件11具有12μm的厚度。墨的粘度为3cP。墨喷出量为7pL。
供给路径8A和8B以沿着喷出口列L(LA(1)、LB(1)、LA(2)和LB(2))延伸的方式形成于基板4。供给路径8B连接有未示出的第一供给源，用于供给具有压力P1的墨。供给路径8A连接有未图示的第二供给源，用于供给具有比压力P1小的压力P2的墨。结果，通过压力差(P1-P2)在循环流路7中产生从连接口6B朝向连接口6A沿由图7B中的箭头“a”表示的方向的墨流。在形成于循环流路7内的多个压力室3中产生了由压力差引起的墨流(循环流)，因而始终在各压力室3中的喷出口2附近供给新鲜的墨。换言之，储存在未示出的墨罐中的墨从供给路径8B通过连接口6B供给到循环流路7，然后通过形成在循环流路7中的多个压力室3、连接口6A和供给路径8A返回到墨罐。
结果，与第一实施方式一样，即使在非打印动作期间，也没有墨滞留在喷出口2附近，因而抑制了喷出口2附近的墨的变质(由墨中包含的挥发性成分的蒸发导致的变质)对墨的喷出量和着落精度的影响。即使在具有多个喷出口的打印头中，也能够有效率地形成墨的循环流路。由于第一滴墨是从喷出口喷出的，所以通过上述循环流路的效果抑制墨的变质能够使墨的喷出状态稳定化。
另外，图7A和图7B所示的构成例中的供给路径8A和8B以分别被相邻的喷出口列LA(1)和LB(2)以及相邻的喷出口列LA(2)和LB(1)共用的方式形成，因此会对所有喷出口列供给相同的墨。然而，供给路径8A和8B可以相对于相邻的喷出口列独立地布置，因而会从喷出口列喷出不同类型的墨。与第三实施方式同样，供给路径8A和8B布置在基板4的与基板4的形成有压力室3的表面相反的表面，因而增大了喷出口2的排列密度，从而实现了基板4的小型化。此外，能够缩短循环流路7，从而提高墨循环的效率。
[第五实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第四实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图8A是示出本实施方式中的基板4的主要部分的示意图；图8B是沿着图8A的线VIIIB-VIIIB截取的截面图。在本实施方式中，上述第四实施方式中的喷出口列LA(1)、LB(1)、LA(2)和LB(2)彼此相邻地形成。循环流路7以连接喷出口列中的四个相邻的压力室3的方式形成。供给路径8B连接有未示出的第一供给源，用于供给具有压力P1的墨。供给路径8A连接有未图示的第二供给源，用于供给具有比压力P1小的压力P2的墨。结果，通过压力差(P1-P2)在循环流路7中产生从连接口6B朝向连接口6A沿由图8B中的箭头“a”表示的方向的墨流。在形成于循环流路7的多个压力室3中产生了由压力差产生的墨流(循环流)，因而始终在各压力室3中的喷出口2附近供给新鲜的墨。
结果，与第一实施方式一样，即使在非打印动作期间，也没有墨滞留在喷出口2附近，因而抑制了喷出口2附近的墨的变质(由墨中包含的挥发性成分的蒸发导致的变质)对墨的喷出量和着落精度的影响。
<第一变形例>
图9A是示出本实施方式的第一变形例中的基板4的主要部分的示意图；图9B是沿着图9A的线IXB-IXB截取的截面图。
在本变形例中，单个循环流路7包括一个连接口6B、一个供给路径8B、两个连接口6A和两个供给路径8A。单个循环流路7包括总数为三个的连接口(贯通回收路径)6A和连接口(贯通供给路径)6B。以这种方式，在喷墨之后，通过总计三个的连接口6A和6B对循环流路7再填充墨。结果，能够缩短墨再填充时间。连接口6A和6B的形成数量和形成的比率不受限制，因此它们能够任意地设定。像本变形例那样，供给路径8A无需以与单个循环流路7中的单个连接口6A对应的方式形成。例如，供给路径8A可以以与单个循环流路7中的多个连接口6A对应的方式形成。以相同的方式，像本变形例那样，供给路径8B无需以与单个循环流路7中的单个连接口6B对应的方式形成。例如，供给路径8B可以以与单个循环流路7中的多个连接口6B对应的方式形成。
<第二变形例>
图10是示出本实施方式的第二变形例中的基板4的主要部分的示意图。
在本变形例中，与图9A所示的直线形式不同，连接多个压力室3的循环流路7被形成为曲折形式。循环流路7的形状可以任意地设定，只要循环流路7能够连接到多个压力室3即可。待形成的压力室3的布局和数量、连接流路5的形状、待形成的连接口(贯通回收路径)6A和连接口(贯通供给路径)6B的位置和数量不受特别的限制，因此它们可以任意地设定。它们的优化能够抑制压力室3之间的串扰，加快墨的再填充并实现最优的墨循环流。
[第六实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第四实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图11A是示出本实施方式中的基板4的主要部分的示意图；图11B是沿着图11A的线XIB-XIB截取的截面图。在本实施方式中，用于墨的送液机构12设置在循环流路7的两端。加热器1的面积为396μm2(＝18μm×22μm)；喷出口2的直径为18μm；压力室3的截面面积为750μm2(＝25μm×30μm)；连接流路5的宽度为18μm；连接流路5的长度为7μm。另外，连接口(贯通回收路径)6A的截面面积为75μm2(＝5μm×15μm)，而连接口6B(贯通供给路径)的截面面积为150μm2(＝10μm×15μm)。连接口6A和6B的长度均为20μm。循环流路7的高度为12μm。供给路径8的宽度为250μm。喷出口形成构件11的厚度为10μm。墨的粘度为3cP。墨喷出量为4pL。
在本实施方式中，位于单个循环流路7的两个送液机构12将新鲜的墨从供给路径8给送到连接口6B，因而在循环流路7中产生沿由图11B中的箭头“a”表示的方向的墨的循环流。为了实现循环流路7的非对称流路阻力，连接口6B的开口面积(截面面积)大于连接口6A的开口面积(截面面积)。当两个送液机构12被驱动时，流路阻力的非对称性会产生沿由箭头“a”表示的方向的墨的循环流。在墨再填充等期间，可以将留在供给路径8中的墨给送到连接口6A中。与第二实施方式同样，仅要求送液机构12将墨从供给路径8供给到循环流路7中，因此其构造不受限制。例如，可以使用诸如电阻型加热器、压电致动器、静电致动器和机械/冲击驱动型致动器等的能够输送墨的设备。本实施方式中的送液机构12通过使用改变循环流路7的内部容积的压电致动器来供给墨。
<第一变形例>
图12A是示出本实施方式的第一变形例中的基板4的主要部分的示意图；图12B是沿着图12A的线XIIB-XIIB截取的截面图。
在本变形例中，送液机构12均由梳齿状电极形成。送液机构12布置在循环流路7的两端以及压力室3之间。在送液机构12的梳齿状电极之间施加交流电，因而在墨中产生电渗(electroosmosis)。电渗会在循环流路7内部产生沿由图12B所示的箭头“a”表示的方向的墨的循环流。
<第二变形例>
图13是示出本实施方式的第二变形例中的基板4的主要部分的示意图。
本变形例中的连接流路5的形状与图11A和图11B所示的上述连接流路5不同。流路的截面以从连接口6B朝向连接口6A渐缩的方式逐渐减小。以这种方式，从连接口6B朝向连接口6A的在一个方向上的流路阻力变得小于从连接口6A朝向连接口6B的在另一方向上的流路阻力，因而使流路阻力非对称。该连接流路5实现了抑制压力室3之间的串扰并协助产生墨的循环流的功能。
设置有压力室3、连接口6A和6B、连接流路5以及送液机构12的循环流路7的构造不限于本变形例中的构造。能够优化循环流路7的构造，以便抑制压力室3之间的串扰、加快墨再填充并实现最优的墨的循环流。
[第七实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第三实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图14A是示出本实施方式中的基板4的主要部分的示意图；图14B是沿着图14A的线XIVB-XIVB截取的截面图。在本实施方式中，多个喷出口2a和2b在两个喷出口列La和Lb中均以与600dpi的分辨率对应的节距排列。打印头100的打印宽度为20mm。用作喷出能量产生元件的加热器1a和1b设置在与喷出口列La和Lb处的喷出口2(2a和2b)对应的压力室3a和3b中。压力室3a和3b经由连接口(贯通回收路径)6A和连接口(贯通供给路径)6B连接到供给路径8A和8B，因而在基板4的平面方向上形成循环流路7。压力室3由流路形成构件10限定而成。喷出口2a和2b形成在喷出口形成构件11处。形成用于防止诸如气泡等的异物进入压力室3a和3b的过滤器的构件(例如，柱状结构)可以介于供给路径8A和8B以及连接口6A和6B之间。
喷出口列Lb处的压力室3b经由连接口6B连接到供给路径8B，而喷出口列La处的压力室3a经由连接口6A连接到供给路径8A。将通过布置在打印头100的外部的泵向供给路径8B供给的墨的压力设定为比向供给路径8A供给的墨的压力高。压力差会使墨沿由箭头“a”表示的方向从供给路径8B通过循环流路7朝向供给路径8A流动(循环流)。与本实施方式不同，形成在循环流路7中的压力室的数量不限于两个，因此仅要求为两个以上。另外，与本实施方式不同，形成在循环流路7中的喷出口2a和2b的布局不限于它们排列在垂直于喷出口列La和Lb的线上的布局，因此它可以任意地设定。另外，墨的循环流可以在喷出口2a和2b之间分支或汇流。
在本实施方式中，加热器1a的面积为750μm2(＝25μm×30μm)；加热器1b的面积为240μm2(＝12μm×20μm)；喷出口2a的直径为25μm；喷出口2b的直径为12μm。此外，压力室3a和3b的截面面积均为1050μm2(＝30μm×35μm)；连接口6A和6B的宽度均为20μm；连接口6A和6B的长度均为20μm；循环流路7的高度为20μm；供给路径8A和8B的宽度均为50μm。另外，喷出口形成构件11的厚度为20μm；墨的粘度为5cP；从喷出口2a喷出的墨喷出量为10pL；从喷出口2b喷出的墨喷出量为5pL。
留在未示出的墨罐中的墨从供给路径8B通过连接口6B供给到循环流路7，然后通过形成在循环流路7中的压力室3a和3b、连接口6A和供给路径8A返回到墨罐。用作喷出能量产生元件的加热器1a和1b经由形成于基板4的电气配线和端子电连接到图1所示的电气配线基板102。
响应于由未示出的打印控制电路输入的脉冲信号驱动加热器1a和1b以产生热。由加热器1a和1b产生的热在留在压力室3a和3b内部的墨中产生气泡，此外，得到的发泡能量使墨从喷出口2a和2b喷出。压力室3a和3b是由流路形成构件10和喷出口形成构件11限定的空间。例如，配置四个喷出口列，然后对形成在四个喷口列处的压力室供给相同颜色的墨，因而能够打印单色图像。喷出口列可以形成在单个基板4上或可以形成在配置好的多个基板4上。
(墨的循环流的控制)
供给路径8B连接有未示出的第一供给源，用于供给具有压力P1的墨。供给路径8A连接有未图示的第二供给源，用于供给具有比压力P1小的压力P2的墨。结果，通过压力差(P1-P2)在循环流路7中产生从连接口6B朝向连接口6A沿由图14B中的箭头“a”表示的方向的墨流。在本实施方式中，压力差(P1-P2)为100mmAq。在形成于循环流路7内的多个压力室3中产生了由压力差产生的墨流(循环流)，因而始终在压力室3a和3b的喷出口2a和2b附近供给新鲜的墨。第一供给源和第二供给源可以通过使用例如真空泵、压力调节器和空气室的组合以及墨的高度差而构成。另外，作为用于使墨循环的驱动源，可以在循环流路7中设置用于墨的送液机构(诸如用于传送液体的加热器或压电元件)。
以这种方式，即使在不从喷出口2a和2b喷出墨的非打印动作期间，也通过压力差(P1-P2)在循环流路7中产生墨流，因而在压力室3a和3b以及喷出口2a和2b附近供给新鲜的墨。
图15A和图15B是示出喷出口2a和2b附近的墨流的图。如图15A所示，墨的循环流会进入具有较大截面的喷出口2a，由此容易更换墨。结果，墨几乎不会滞留在喷出口2a中，因而维持了墨从喷出口2a喷出的喷出稳定性。相比之下，如图15B所示，墨的循环流几乎不会进入具有较小截面的喷出口2b，由此几乎无法更换墨。然而，由于始终通过连接口6B将新鲜的墨供给到形成于循环流路7的上游侧的喷出口2b，所以即使在墨的循环流几乎不进入的喷出口2b处也实现了高的喷出稳定性。此外，存在如下风险：挥发性成分被蒸发了的具有高浓度的墨(变稠的墨)通过喷出口2b附近进入形成在比喷出口2b靠循环流路7的下游侧的喷出口2a。然而，如上所述，由于容易在喷出口2a中更换墨，所以喷出稳定性几乎不会受到具有高浓度的墨(变稠的墨)的进入的影响，因而维持了墨从喷出口2a喷出的喷出稳定性。
以这种方式，在没有墨从喷出口2a和2b喷出的非打印动作期间，产生了沿由箭头“a”表示的方向的墨的纵贯流，使得能够在压力室3a和3b以及喷出口2a和2b附近更换墨。结果，即使在非打印动作期间，也没有墨滞留在喷出口2a和2b附近，因而抑制了喷出口2a和2b附近的墨的变质(墨中包含的挥发性成分的蒸发所导致的变质)对墨的喷出量和着落精度的影响。
由于在使多个压力室彼此连接的循环流路中产生了用于抑制墨变质的墨的循环流，所以能够在不与喷出口的数量成比例增大的情况下减小形成循环流路所需的空间。即使在具有多个喷出口的打印头中，也能够有效率地形成墨的循环流路。由于第一滴墨是从喷出口喷出的，所以通过上述循环流路的效果抑制墨的变质能够使墨的喷出状态稳定化。此外，能够减小墨的着落位置的变化。另外，能够在有效率地形成用于墨的循环流路的同时使喷出口以高的密度排列，从而实现基板的小型化。
[第八实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第七实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图16是示出本实施方式中的基板4的主要部分的示意图。在本实施方式中，用喷出口2c替换第七实施方式中的喷出口2b。喷出口2a的截面为圆形。喷出口2c具有从圆形截面内表面突出的至少一个突起。在本实施方式中，喷出口2c具有以彼此靠近的方式朝向其中心突出的两个突起2c-1和2c-2。由于在喷出口2c处形成有诸如突起等的结构，所以即使喷出口2c的形状和截面面积与喷出口2a的相同，墨的循环流也几乎不会进入，因而使得墨的更换困难。然而，始终通过连接口6B将新鲜的墨供给到形成于循环流路7的上游的喷出口2c，因此即使墨的循环流几乎不进入的喷出口2c也能够实现优异的喷出稳定性。
除了主墨滴以外，微细的墨的副墨滴(小墨滴)几乎不从像喷出口2c那样的具有在内表面处形成的突起的圆形截面的喷出口喷出。因此，具有上述构造的喷出口2c在例如打印较高品质的图像的打印模式(诸如照片模式)下是有效的。同时，由于具有在内表面形成的突起的喷出口具有高的墨流路阻力，所以具有圆形截面的喷出口在高速打印模式下是有效的。另外，优选的是，形成于循环流路7的下游侧的喷出口的截面形状应当比形成于循环流路7的上游侧的喷出口的截面形状更近似呈圆形。被形成为不同形状的喷出口以高的密度排列，并且它们被选择性地使用，由此应对打印高品质图像的打印模式和高速打印模式两者。
[第九实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第七实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图17是示出本实施方式中的基板4的主要部分的示意图。在本实施方式中，流路形成构件10限定墨的循环流路，在该循环流路中，与喷出口2a和2b对应的压力室3a和3b经由单个连接流路5串联地连接。以这种方式，减小了压力室3a和3b之间的间隔，使得即使在具有多个喷出口的打印头中也能够有效率地形成墨的循环流路。结果，能够在不与喷出口的数量成比例增大的情况下减小形成循环流路所需的空间。
[第十实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第七实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图18A是示出本实施方式中的基板4的主要部分的示意图；图18B是沿着图18A的线XVIIIB-XVIIIB截取的截面图。在本实施方式中，连接口6A和6B在供给路径8A和8B的延伸方向上形成，使得压力室3a和3b大致直线地连接到供给路径8A和8B。结果，减小了供给路径8A和8B与压力室3a和3b之间的墨的流路阻力，使得墨能够更快速地供给到压力室3a和3b。
[第十一实施方式]
本实施方式中的打印头100的基本构造与第十实施方式中的相同，因此以下将说明本实施方式的特征构造。
图19A是示出本实施方式中的基板4的主要部分的示意图；图19B是沿着图19A的线XIXB-XIXB截取的截面图。在本实施方式中，在图19A中，均由图18A和图18B所示的第十实施方式中的喷出口列La和Lb构成的两个组在左右方向上非对称地配置。在相邻的喷出口列Lb和Lb之间形成有共用供给路径8B和沿着供给路径8B延伸的连接口6B。以这种方式，供给路径8B是共用的，因而减小了基板4的尺寸(芯片尺寸)。
(喷墨打印设备的构成例)
上述实施方式中的打印头(液体喷出头)100能够应用于所谓的串行扫描型、全幅型等的各种喷墨打印设备(液体喷出设备)。图20A示出了串行扫描型喷墨打印设备的构成例。上述实施方式中的打印头100可拆装地安装于沿由图20A中的箭头X表示的方向(主扫描方向)移动的滑架53。通过引导构件54A和54B引导滑架53，通过辊55、56、57和58沿由箭头Y表示的方向(副扫描方向)传送打印介质P。通过重复打印头100在与滑架53一起沿主扫描方向移动的同时喷出墨的动作以及沿副扫描方向输送打印介质P的动作，将图像打印在打印介质P上。
图20B是示出图20A所示的喷墨打印设备50的控制系统的框图。CPU(控制单元)300执行打印设备的动作的控制处理、数据处理等。ROM201内存储有用于该处理顺序等的程序，而RAM202用作执行该处理的工作区域。通过头驱动器100A驱动安装于打印头100的加热器1。通过将加热器1上的驱动数据(图像数据)和驱动控制信号(加热脉冲信号)发送到头驱动器100A来打印图像。CPU300经由马达驱动器203A控制用于沿主扫描方向驱动滑架53的滑架马达203，还经由马达驱动器204A控制用于沿副扫描方向传送打印介质P的P.F.马达204。如上所述，CPU300控制加热器1的驱动时刻。
[其它实施方式]
在上述实施方式中，已经采用通过使用电热转换器(加热器)用于在墨中产生气泡的热系统作为用于将作为液体的墨喷出的系统。然而，可以采用使用压电致动器、静电致动器、机械/冲击驱动型致动器、语音线圈致动器、磁致伸缩驱动型致动器等的各种系统作为用于喷出墨的系统。
除了与打印介质的宽度相对应的长形打印头(行式头)以外，作为液体喷出头的喷墨打印头还可以广泛地应用于在所谓的串行扫描型打印设备中使用的串行型打印头。另外，串行型打印头可以被构造成例如安装有用于黑色墨的一个基板和用于各彩色墨的一个基板。另外，可以以使形成于相邻基板的喷出口在喷出口列的方向上重叠的方式配置多个基板。另外，喷墨打印设备可以被构造成通过使用比打印介质的宽度短的行式头来扫描打印介质。
虽然已经参照示例性实施方式说明了本发明，但是应当理解，本发明不限于所公开的示例性实施方式。权利要求书的范围应符合最宽泛的解释，以包含所有的这些变型、等同结构和功能。

Claims (13)

1.一种液体喷出头，其包括：
基板，其具有第一表面以及与所述第一表面相反的第二表面；
循环流路，其设置在所述基板的所述第一表面侧；
压力室，其设置在所述基板的所述第一表面侧，液体循环通过所述压力室；以及
喷出能量产生元件，其设置在所述基板的所述第一表面侧，所述喷出能量产生元件产生用于将所述压力室中的液体从所述液体喷出头的喷出口喷出的能量，
其特征在于，所述基板包括：
贯通供给路径，其被构造成在所述基板的所述第一表面和所述第二表面之间贯通，以将液体供给到所述循环流路；和
贯通回收路径，其被构造成在所述基板的所述第一表面和所述第二表面之间贯通，以从所述循环流路回收液体，
其中，所述循环流路中串联地设置有多个所述压力室，
所述循环流路包括多个所述压力室、第一供给路径和第二供给路径，所述第一供给路径被构造成将具有第一压力的液体供给到所述循环流路的第一位置，所述第二供给路径被构造成将具有与所述第一压力不同的第二压力的液体供给到所述循环流路的与所述第一位置不同的第二位置，并且
所述循环流路包括连接流路，所述连接流路位于所述基板的所述第一表面与所述喷出口之间，所述连接流路被构造成使多个所述压力室连通。
2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，所述第一位置是所述循环流路的一端，而所述第二位置是所述循环流路的另一端。
3.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，所述第一位置和所述第二位置中的至少一者被形成为多个。
4.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，所述液体喷出头还包括流动机构，所述流动机构被构造成使所述循环流路中的液体流动。
5.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，串联地设置在所述循环流路中的压力室的数量为三个以上。
6.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，
所述喷出口被设置有多个，所述喷出口以形成喷出口列的方式排列，并且
分别与串联地设置在所述循环流路中的压力室对应的所述喷出口位于相同的喷出口列上。
7.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，
所述喷出口被设置有多个，所述喷出口以形成喷出口列的方式排列，并且
分别与串联地设置在所述循环流路中的压力室对应的所述喷出口位于不同的喷出口列上。
8.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，在所述循环流路中，在一端侧流动的液体的流路阻力与在另一端侧流动的液体的流路阻力不同。
9.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，
在所述连接流路中，沿一个方向流动的液体的流路阻力与沿另一方向流动的液体的流路阻力不同。
10.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，所述喷出口被形成有多个，多个所述喷出口包括具有第一开口面积的第一喷出口和具有比所述第一开口面积大的第二开口面积的第二喷出口，所述第一喷出口位于比所述第二喷出口靠所述循环流路的上游侧的位置。
11.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，所述喷出口被形成有多个，多个所述喷出口以形成喷出口列的方式排列，并且
所述喷出口列沿着所述循环流路形成。
12.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，串联地设置在所述循环流路中的压力室的数量为5个以下。
13.一种液体喷出设备，其包括：
根据权利要求1所述的液体喷出头；
供给单元，其被构造成将液体供给到所述液体喷出头的循环流路；和
控制单元，其被构造成控制所述喷出能量产生元件。
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