KR102383356B1 - 액체 토출 헤드 및 액체 토출 장치 - Google Patents

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요시유키 나카가와
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고이치 이시다
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Abstract

액체의 순환 채널과 관련하여 토출구를 고밀도로 배열하기 위해서, 순환 채널에 복수의 압력실이 형성된다. 순환 채널은 기판을 관통하는 관통 공급로 및 관통 회수로에 연결된다.

Description

액체 토출 헤드 및 액체 토출 장치{LIQUID EJECTION HEAD AND LIQUID EJECTION APPARATUS}
본 발명은, 잉크 등의 액체를 토출할 수 있는 액체 토출 헤드 및 액체 토출 장치에 관한 것이다.
국제 공개 제WO 2016/175865호는, 액체 토출 헤드로서, 압력실 내에 공급된 액체 잉크를 토출 에너지 발생 소자에 의해 가압하여 압력실 내에 체류하는 잉크를 토출구를 통해 토출할 수 있는 잉크젯 기록 헤드를 개시하고 있다. 기록 헤드에는, 압력실 내에 체류하는 잉크를 순환시키기 위한 순환로가 압력실이 형성된 면에서 기판에 형성된다. 순환로는 2개의 압력실을 포함한다. 순환로는 복수의 압력실로 구성되는 세트에 대응하도록 형성된다. 즉, 순환로는 압력실의 수에 비례하는 수로 기판의 면에 형성된다. 압력실 내에 체류하는 잉크를 순환시키는 것은, 토출구를 통해 잉크에 포함된 휘발 성분이 증발한 결과로서의 잉크의 점도 증가에 기인하는 잉크의 토출 불량을 억제하는데 유효하다.
국제 공개 제WO 2016/175865호에 개시된 잉크젯 기록 헤드에서는, 기판의 하나의 동일한 면에 압력실, 순환로 및 잉크를 순환시키기 위한 순환 소자가 형성된다. 순환로 및 순환 소자는 압력실의 수에 대응하는 수로 형성될 필요가 있다. 또한, 압력실 및 순환로에 잉크를 공급하는 공급로는, 압력실, 순환로 및 순환 소자가 형성되는 기판의 하나의 동일한 면에 위치된다. 따라서, 토출구를 고밀도로 배치하는 것이 어렵다.
본 발명은, 액체의 순환로와 관련하여, 토출구를 고밀도로 배치할 수 있는 액체 토출 헤드 및 액체 토출 장치를 제공한다.
본 발명의 제1 양태에서, 액체 토출 헤드가 제공되며, 상기 액체 토출 헤드는,
제1 면 및 상기 제1 면과 반대측의 제2 면을 갖는 기판;
상기 기판의 상기 제1 면측에 제공되는 순환 채널;
상기 기판의 상기 제1 면측에 제공된 압력실로서, 상기 압력실을 통해 액체가 순환하는, 압력실; 및
상기 기판의 상기 제1 면측에 제공된 토출 에너지 발생 소자로서, 상기 토출 에너지 발생 소자는 상기 압력실 내의 액체를 토출구로부터 토출시키기 위한 에너지를 발생시키는 토출 에너지 발생 소자를 포함하고,
상기 기판은,
상기 기판의 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이를 관통하여 상기 순환 채널에 액체를 공급하도록 구성되는 관통 공급로; 및
상기 기판의 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이를 관통하여 상기 순환 채널로부터 액체를 회수하도록 구성되는 관통 회수로를 포함하고,
상기 압력실은 상기 순환 채널에 직렬로 복수로 제공되며;
상기 순환 채널은 제1 압력을 갖는 잉크를 상기 순환 채널의 제1 위치에 공급하도록 구성되는 제1 공급로, 및 상기 제1 압력과 상이한 제2 압력을 갖는 잉크를 상기 제1 위치와 상이한 상기 순환 채널의 제2 위치에 공급하도록 구성되는 제2 공급로를 포함한다.
본 발명의 제2 양태에서, 액체 토출 장치가 제공되며, 상기 액체 토출 장치는,
본 발명의 제1 양태에 따른 액체 토출 헤드;
상기 액체 토출 헤드의 순환 채널에 액체를 공급하도록 구성되는 공급 유닛; 및
토출 에너지 발생 소자를 제어하도록 구성되는 제어 유닛을 포함한다.
본 발명에 따르면, 액체의 순환로는 효율적으로 형성되며, 토출구는 고밀도로 배치될 수 있다.
본 발명의 추가적인 특징은 첨부된 도면을 참고한 예시적인 실시예에 대한 이하의 설명으로부터 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에서의 기록 헤드를 도시하는 사시도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 2b는 도 2a의 IIB-IIB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 기록 헤드에서의 잉크 토출 제어를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 4a는 본 발명의 제2 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 4b는 도 4a의 IVB-IVB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 도 4a에 도시되는 액체 전달 기구의 제어를 도시하는 타이밍 차트이다.
도 6a는 본 발명의 제3 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 6b는 도 6a의 VIB-VIB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 7a는 본 발명의 제4 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 7b는 도 7a의 VIIB-VIIB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 8a는 본 발명의 제5 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 8b는 도 8a의 VIIIB-VIIIB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 9a는 도 8a에 도시된 기판의 제1 변형예를 도시하는 도면이다.
도 9b는 도 9a의 IXB-IXB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 10은 도 8a에 도시된 기판의 제2 변형예를 도시하는 도면이다.
도 11a는 본 발명의 제6 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 11b는 도 11a의 XIB-XIB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 12a는 도 11a에 도시된 기판의 제1 변형예를 도시하는 도면이다.
도 12b는 도 12a의 XIIB-XIIB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 13은 도 11a 및 도 11b에 도시된 기판의 제2 변형예를 도시하는 도면이다.
도 14a는 본 발명의 제7 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 14b는 도 14a의 XIVB-XIVB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 15a 및 도 15b는 도 14a에 도시된 기판에서의 잉크 유동을 도시하는 도면이다.
도 16은 본 발명의 제8 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 17은 본 발명의 제9 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 18a는 본 발명의 제10 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 18b는 도 18a의 XVIIIB-XVIIIB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 19a는 본 발명의 제11 실시예의 기록 헤드에서의 기판을 도시하는 도면이다.
도 19b는 도 19a의 XIXB-XIXB 선을 따라 취한 단면도이다.
도 20a 및 도 20b는 본 발명의 실시예의 기록 헤드가 제공된 기록 장치를 도시하는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부의 도면을 참고하여 설명한다. 이하의 실시예에서의 액체 토출 헤드 및 액체 토출 장치는 각각 잉크젯 기록 헤드 및 잉크젯 기록 장치로 예시된다.
[제1 실시예]
도 1은, 액체 토출 헤드로서의 잉크젯 기록 헤드(100)를 도시하는 사시도이다. 본 실시예의 기록 헤드(100)는, 기판(4), 플렉시블 배선 기판(101)을 통해 기판(4)에 전기적으로 연결되는 전기 배선 기판(102), 및 잉크(액체)의 토출 제어를 위해 사용되는 전력 공급 단자(103) 및 신호 입력 단자(104)를 포함한다. 기록 헤드(100)에 잉크를 공급하는 시스템의 예는, 모세관 현상 혹은 펌프를 사용하여 1개의 잉크 탱크로부터 기록 헤드(100) 내의 압력실에 잉크를 공급하는 시스템을 포함한다. 기록 헤드에 잉크를 공급하는 경로의 상류측과 하류측에 잉크 탱크가 배치되고, 잉크가 잉크 탱크 중 하나로부터 다른 잉크 탱크로 유동되어 기록 헤드의 압력실 내에 잉크를 공급하는 것이 허용되는 다른 시스템이 있다.
도 2a는 기판(4)의 일부를 개략적으로 도시하는 확대도이다. 도 2b는 도 2a의 IIB-IIB 선을 따라 취한 단면도이다. 기판(4)은 제1 면과 제1 면의 반대측의 제2 면을 갖는다. 도 2a는 기판(4)을 제1 면과 대향하는 위치에서 본 도면이다. 기판(4)의 제1 면에는, 복수의 토출구(2)가 600 dpi의 해상도에 대응하는 피치로 배열된, 2개의 토출구 열(L)(L1, L2)이 형성된다. 하나의 토출구 열(L1)의 토출구(2)와 다른 토출구 열(L2)의 토출구(2)는 열 방향으로 반 피치 어긋나 있다. 이런 방식으로, 기록 헤드(100)는 1200dpi의 기록 해상도 및 20mm의 기록 폭을 갖도록 구성된다. 본 실시예의 기록 헤드(100)는, A4 사이즈 등의 기록 매체에 대응하도록, 복수의 기판(4)이 배열된 세장형 풀라인 타입이다. 기록 헤드(100)는, 기록 매체의 폭보다 짧은 헤드 폭을 갖는 시리얼 스캔 타입일 수 있다.
기판(4) 상의 기능층(9)에는, 토출 에너지 발생 소자로서의 복수의 전기열 변환자(이하, "히터"라고도 칭함)(1)가 배치된다. 잉크 토출구(2) 및 압력실(3)은 히터(1)와 대향하는 위치에 형성된다. 복수의 인접 압력실(3)(본 실시예에서는 5개의 압력실)은 연결 채널(5)을 통해 일련의 채널을 형성하도록 서로 연통한다. 일련의 채널의 일단부에 위치되는 압력실(3)은 연결구(6A)를 통해 잉크 공급로(8A)에 연결되는 반면, 일련의 채널의 타단부에 위치되는 압력실(3)은 연결구(6B)를 통해 잉크 공급로(8B)에 연결된다. 압력실(3)에 체류하는 잉크는, 토출 에너지 발생 소자로서의 히터(1)의 발생 에너지에 의해 토출구(2)를 통해 토출된다. 연결구(6A, 6B) 사이에는 복수의 압력실(3)이 연속적으로 연결됨으로써, 잉크가 순환해서 유동하는 순환 채널(7)을 형성한다. 압력실(3)은, 기판(4)의 제1 면에 채널 형성 부재(10)에 의해 형성되고, 토출구(2)는 토출구 형성 부재(11)에 의해 형성된다. 채널 형성 부재(10)와 토출구 형성 부재(11)는 서로 일체화될 수 있다. 복수의 토출구(2)가 배열됨으로써, 토출구 열(L1, L2)이 형성된다. 토출구 열(L1, L2)은 순환 채널(7)을 따라 배치된다. 공급로(8A, 8B)와 연결구(6A, 6B) 사이에는, 압력실(3)에의 기포 등의 이물의 침입을 억제하기 위한 필터를 구성하는 부재(예를 들어, 컬럼형 구조물)가 개재될 수 있다.
토출구 열(L1)에서의 순환 채널(7)의 연결구(6A) 및 토출구 열(L2)에서의 순환 채널(7)의 연결구(6A)는 토출구 열(L1, L2) 사이에 개재되는 공급로(8A)에 연결되어 있다. 또한, 토출구 열(L1)의 순환 채널(7)의 연결구(6B)는, 도 2a의 상측 공급로(8B)에 연결되는 반면, 토출구 열(L2)의 순환 채널(7)의 연결구(6B)는 도 2a의 하측 공급로(8B)에 연결되어 있다. 잉크는 기록 헤드(100)의 외부에 제공된 펌프에 의해 공급로(8A, 8B)에 공급된다. 펌프와 공급로(8A, 8B)는, 순환 채널(7)에 잉크를 공급하는 관통 공급로(6)와, 순환 채널(7)로부터 잉크를 회수하는 관통 회수로(6')를 통해 연결되어 있다. 관통 공급로(6)는 공급로(8B)에 개구되는 반면, 관통 회수로(6')는 공급로(8A)에 개구된다. 관통 공급로(6) 및 관통 회수로(6')는, 기판(4)의 제1 면과 제2 면 사이를 관통하는 경로이다. 잉크는, 관통 공급로(6)를 통해 기판(4)의 제2 면으로부터 제1 면에 공급되고, 순환 채널(7)을 통과하고, 그 후 관통 회수로(6')를 통해 기판(4)의 제1 면으로부터 제2 면에 회수된다. 관통 공급로(6) 및 관통 회수로(6')는, 기판(4)의 제2 면 혹은 기판(4)의 외부에 연결되어 있고, 따라서 이들을 통해서 잉크가 순환된다. 공급로(8B)에 공급되는 잉크의 압력은, 공급로(8A)에 공급되는 잉크의 압력보다 높게 설정된다. 압력차에 의해, 공급로(8B)로부터 순환 채널(7)을 통해서 공급로(8A)를 향하는 화살표 "a"에 의해 나타내는 방향의 잉크 유동(순환류)이 발생한다. 본 발명에 따르면, 관통 공급로(6)와 관통 회수로(6')를 사용함으로써, 순환 채널(7)을 통해 잉크를 유동시키기 위해서 필요한 채널 등의 기능을 기판(4)의 제2 면 또는 기판(4)의 외부에 설치할 수 있다. 이로 인해, 기판(4)의 제1 면에 공간을 확보할 수 있고, 따라서 토출구(2)를 고밀도로 배치할 수 있다.
잉크는 동일한 순환 채널(7) 내에 형성되는 압력실(3)을 통해 동일한 유량으로 순환한다. 그로 인해, 1개의 토출구(2)에서 필요한 잉크의 순환 유량을 순환 채널(7) 내에서 실현함으로써, 1개의 순환 채널(7)의 복수의 토출구 부근에서의 잉크의 변질(잉크에 포함되는 휘발 성분의 증발에 의해 발생하는 변질)을 동시에 억제할 수 있다. 변질된 잉크가 상류측 토출구 부근으로부터 순환 채널(7)의 하류측으로 유동한다. 그러나, 변질된 잉크의 유량은 순환하는 잉크의 유량보다 작고, 따라서 순환 채널(7)의 하류측의 토출구 부근에서의 잉크의 변질 억제 효과에는 악영향이 거의 미치지 않는다. 1개의 순환 채널(7)에서 필요한 잉크의 순환 유량은 토출구(2)의 수에 비례해서 증가하지 않는다. 따라서, 1개의 토출구(2)에 필요한 순환 유량은 잉크의 변질을 억제할 수 있다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 구성예에서는, 1개의 순환 채널(7)에 5개의 압력실(3)이 직렬로 배치된다. 1개의 순환 채널(7) 내에 배치되는 압력실(3)(즉, 순환 채널에서 직렬로 배치되는 압력실)의 수는 2 이상이면 된다. 1개의 순환 채널(7) 내에 배치되는 압력실(3)의 수가 많을 커질수록, 순환 채널(7)에서의 채널 저항이 커진다. 이러한 관점에서, 동일한 잉크의 순환 유량을 얻기 위해서는, 공급로(8A, 8B) 사이의 압력차를 확대할 필요가 있다. 따라서, 기록 헤드(100)에 연결되는 펌프는 더 높은 능력이 필요하고, 따라서 잉크젯 기록 장치의 대형화를 초래한다. 또한, 순환 채널(7)의 하류측에 배열되는 토출구는, 순환 채널(7)의 상류측의 토출구 부근에서 유동하는 잉크의 변질에 의해 크게 영향을 받는다. 상술한 관점에서, 순환 채널에서 직렬로 형성되는 압력실의 수는 3 이상인 것이 바람직하다.
대조적으로, 1개의 순환 채널(7) 내에 형성되는 압력실(3)의 수가 적으면, 형성되는 연결구(6A, 6B)의 수 및 총 형성 면적이 증가한다. 따라서, 예를 들어 히터(1)의 구동 회로의 배치 면적이 제한되어, 토출구(2)를 고밀도로 배치가 어려워진다. 결과적으로, 기판(4)의 크기가 커진다. 이러한 관점에서, 잉크 변질의 억제 효과와, 필요한 잉크의 순환 유량을 얻기 위한 잉크 압력과, 토출구(2)의 고밀도 배열(노즐의 고밀도 배열) 사이의 관계에 기초하여, 1개의 순환 채널(7)에 형성되는 압력실(3)의 수를 결정하는 것이 바람직하다. 1개의 순환 채널(7)에 형성되는 압력실(3)의 수의 상한은, 그 형상 등에 의존하지만, 10 이하인 것이 바람직하고, 5 이하인 것이 더 바람직하다. 토출구 사이에서 유동하는 잉크의 변질 분포를 작게 하고, 토출구를 고밀도로 배치하는 관점에서는, 1개의 순환 채널(7) 내에 형성되는 압력실(3)의 수는 2 이상 5 이하인 것이 바람직하다. 더 바람직하게는, 3 이상이다. 압력실(3)은, 연결구(6A, 6B) 사이에서 순환 채널(7)이 분기 또는 합류 없이 정렬되도록 형성되면 된다. 토출구(2) 및 압력실(3)은 정렬될 필요는 없다.
본 실시예에서는, 히터(1)의 면적은 750μm2(=25μm × 30μm)이고; 토출구(2)의 직경은 25μm이고; 압력실(3)의 단면적은 1050μm2(=30μm × 35μm)이고; 연결 채널(5)의 폭은 20μm이며; 연결 채널(5)의 길이는 10μm이다. 또한, 연결구(6A, 6B) 각각의 폭은 20μm이고; 연결구(6A, 6B) 각각의 길이는 20μm이고; 순환 채널(7)의 높이는 20μm이며; 공급로(8A, 8B) 각각의 폭은 50μm이다. 또한, 토출구 형성 부재(11)의 두께는 20μm이고; 잉크의 점도는 2cP이며; 토출구(2)로부터의 잉크의 토출량은 10pL이다. 토출 에너지 발생 소자로서의 히터(1)는, 기판(4)에 형성된 전기 배선 및 단자를 통해서 도 1에 도시된 전기 배선 기판(102)에 전기적으로 연결된다.
히터(1)는 도시되지 않은 기록 제어 회로로부터 출력되는 펄스 신호에 응답하여 열을 발생시키도록 구성된다. 히터(1)에 의해 발생된 열은 압력실(3)의 내부에 체류하는 잉크에 발포를 발생시키고, 또한 결과적인 발포 에너지가 잉크를 토출구(2)로부터 토출시킨다. 압력실(3)은, 채널 형성 부재(10)와 토출구 형성 부재(11)에 의해 형성되는 공간이다. 토출구 열(L1, L2)과 마찬가지로 형성되는 4개의 토출구 열(L)에 동일한 색의 잉크를 공급함으로써, 단색의 화상을 기록할 수 있다. 토출구 열(L)은 1개의 기판(4) 상에 형성될 수 있거나 복수의 기판(4)에 형성될 수 있다.
(잉크의 토출 제어)
동일한 순환 채널(7) 내에 형성되는 복수의 압력실(3) 중 1개에서의 히터(1)에 의해 그 압력실(3) 내에 체류하는 잉크에 토출 에너지가 부여된 경우, 그 토출 에너지는 1개의 압력실(3)에 인접하는 압력실(이하, "인접 압력실"이라고도 칭함)에 전파되기 쉽다. 토출 에너지의 전파(크로스토크(crosstalk))는, 인접 압력실(3)에서의 토출구(2)에 형성되는 잉크의 메니스커스의 위치(잉크 액면의 위치)를 변화시킨다. 크로스토크의 영향이 크게 남아있는 상태에서, 인접 압력실(3)에서의 토출구로부터 잉크를 토출하는 경우에는, 잉크의 토출량 및 토출 방향이 변화하고, 이에 의해 기록 매체 상에서의 잉크의 착탄 위치가 어긋날 가능성이 있다.
1개의 압력실(3)에서의 토출구(2)로부터 잉크가 토출된 후에는, 1개의 압력실(3)에 인접하는 압력실(3)을 통해서 공급로(8A, 8B)를 통해 잉크가 순환 채널(7) 내에 다시 충전된다. 잉크의 재충전에 필요한 시간은, 순환 채널(7), 연결구(6A, 6B), 공급로(8A, 8B) 등의 치수 및 구조에 의존하지만, 약 10 내지 약 250 μsec이다. 이 시간 동안, 순환 채널(7) 내의 잉크의 유동이 크게 혼란됨으로써, 토출구(2)에서의 잉크 액면이 변화된다. 이러한 방식으로, 크로스토크의 영향이 크게 남아있는 상태에서 잉크를 토출하는 경우에는, 잉크의 토출량 및 토출 방향이 변화하고, 이에 의해 기록 매체 상에서의 잉크의 착탄 위치가 어긋날 가능성이 있다.
상술한 바와 같이, 기록 헤드(100)에서는, 잉크 토출 동작 시에, 1개의 순환 채널(7) 내에 형성되는 복수의 압력실(3)이 서로 영향을 미친다. 이러한 관점에서, 1개의 순환 채널(7) 내에 형성된 복수의 압력실(3)로부터의 잉크의 토출 타이밍을 제어하는 것이 중요해진다.
도 3은, 기록 헤드(100)에서의 잉크 토출 제어를 도시하는 타이밍 차트이다. 본 실시예에서는, 1개의 순환 채널(7) 내에 5개의 압력실(3)이 형성되기 때문에, 도 3에서 압력실(3)은 3(1), 3(2), 3(3), 3(4), 및 3(5)로 나타낸다. 횡축은 압력실에서의 히터(1)의 구동 타이밍을 나타낸다. 본 실시예에서는, 압력실(3) 중 1개에서의 잉크 토출 동작에 따른 잉크의 압력 변동 및 재충전은 다른 4개의 압력실(3)에 영향을 미친다. 잉크의 토출량 및 토출 방향에 영향을 미치지 않는 정도까지 순환 채널(7)의 잉크 순환류가 안정되었을 때에, 다음 토출 동작을 행하는 것이 바람직하다.
도 3에서는, 잉크의 적정한 토출량 및 착탄 정밀도가 확보될 수 있는 잉크의 토출 타이밍을 간격 t1으로 표현한다. 본 실시예에서는, 간격 t1을 확보하기 위해서, 1개의 순환 채널(7) 내에 형성되는 5개의 압력실(3)에서의 잉크의 토출 타이밍을 어긋나게 한다. 이 경우, 압력실(3)에서의 잉크의 토출 순서 및 잉크 토출 동작의 연속성은 어떠한 것도 허용된다. 도 3의 횡축에서의 1 눈금은 100μsec로 정해져 있다.
간격 t1이 길어질수록, 단위 시간당의 잉크의 토출 횟수가 적어지고, 이에 따라 기록 속도 또는 화상의 기록 해상도가 저하된다. 이러한 관점에서, 간격 t1은 필요 최소한 값으로 설정하는 것이 바람직하다. 그 때문에, 잉크의 토출 동작에 의해 발생되는 압력실 사이의 크로스토크를 억제하도록 압력실(3)을 실질적 폐쇄 공간으로 형성하는 것 및 잉크의 재충전을 고속화하기 위해서 잉크 채널의 단면적을 증가시키는 것이 중요하다. 도 3은 잉크 토출 제어의 일례를 도시한다. 또한, 순환 채널(7)의 설계 및 요구되는 잉크의 토출 정밀도에 따라서는, 순환 채널(7) 내에 형성된 복수의 압력실(3)로부터 동시에 잉크를 토출할 수 있다.
잉크 토출 동작의 영향을 인접 압력실(3)이 받기 쉬운 순환 채널(7)의 구성에서는, 그 순환 채널(7)에 형성되는 복수의 압력실(3)로부터의 잉크의 토출 타이밍 사이의 간격(t1)이 길어져서, 잉크의 토출 주기가 길어진다. 이 경우에는, 특히, 고해상도의 화상을 기록할 때에 기록 속도가 크게 저하된다. 이러한 관점에서, 잉크의 토출 타이밍 사이의 간격(t1)이 짧아지도록, 순환 채널(7)의 구조를 설계하는 것이 중요하다. 기록 속도를 증가시키기 위해서는, 순환 채널(7)의 채널 저항을 감소시키는 반면, 압력실(3) 사이의 채널 저항을 증가시키는 것이 바람직하다. 그러나, 이들은 서로 상반되는 설계 요소이다. 이런 관점에서, 잉크의 토출 안정성, 토출구(2)의 고밀도 배열 및 요구되는 잉크의 토출 속도를 고려하여, 1개의 순환 채널(7)에 형성되는 압력실(3)의 수를 결정하며, 또한 순환 채널(7)의 치수를 포함하는 구조를 설계한다.
(잉크의 순환류 제어)
공급로(8B)에는, 압력(P1)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제1 공급원이, 기판(4) 및 기능층(9)을 관통하는 관통 공급로(6) 및 관통 회수로(6')를 통해 연결된다. 공급로(8A)에는, 압력(P1)보다 작은 압력(P2)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제2 공급원이, 기판(4) 및 기능층(9)을 관통하는 관통 공급로(6) 및 관통 회수로(6')를 통해 연결된다. 따라서, 순환 채널(7)에는, 압력차(P1-P2)에 의해, 연결구(6B)로부터 연결구(6A)를 향하는 도 2b의 화살표 "a"에 의해 나타낸 방향의 잉크 유동이 발생한다. 본 실시예에서는, 압력차(P1-P2)는 200 mmAq이다. 압력차에 의한 잉크 유동(순환류)이 순환 채널(7)에 형성된 복수의 압력실(3)에서 발생하고, 따라서 각각의 압력실(3)에서의 토출구(2) 부근에 신선한 잉크가 항상 공급된다. 제1 및 제2 공급원은, 예를 들어 진공 펌프, 압력 조정기, 및 공기실의 조합과 잉크의 수두차를 사용하여 구성될 수 있다.
이와 같이, 토출구(2)로부터 잉크를 토출하지 않는 비기록 동작 동안에도, 압력차(P1-P2)에 의해 순환 채널(7) 내의 잉크 유동을 발생시킴으로써, 압력실(3) 및 토출구(2) 부근에는 신선한 잉크가 공급된다. 비기록 동작 동안에도, 토출구(2) 부근에 잉크가 체류하지 않고, 따라서 토출구(2) 부근에서의 잉크의 변질(잉크에 포함되는 휘발 성분의 증발에 의한 변질)이 잉크의 토출량 및 착탄 정밀도에 미치는 악영향을 억제할 수 있다.
복수의 압력실을 서로 연결하는 순환 채널에서 잉크의 변질을 억제하는 잉크의 순환류를 발생시키기 때문에, 순환 채널의 형성에 필요한 공간은, 토출구의 수에 비례하여 증대시키지 않고 저하시킬 수 있다. 다수의 토출구를 갖는 기록 헤드에서도 잉크의 순환 채널을 효율적으로 형성할 수 있다. 제1 잉크 액적이 토출구로부터 토출되고 나서, 상술한 순환 채널의 효과에 의해 잉크의 변질을 억제함으로써 잉크의 토출 상태를 안정화시킬 수 있다. 또한, 잉크의 착탄 위치의 변동을 감소시킬 수 있다. 부가적으로, 잉크의 순환 채널을 효율적으로 배치하면서, 토출구를 고밀도로 배치하여, 기판의 소형화를 달성할 수 있다.
[제2 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은, 전술한 제1 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예에서의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 4a는 본 실시예에서의 기판(4)을 도시하는 개략도이며, 도 4b는 도 4a의 IVB-IVB 선을 따라 취한 단면도이다. 제1 실시예와 마찬가지로, 2개의 토출구 열(L1, L2) 각각에 복수의 토출구(2)가 600dpi의 해상도에 대응하는 피치로 배열된다. 토출구 열(L1, L2)의 토출구(2)는 열 방향으로 서로 반 피치 어긋남으로써, 120dpi의 기록 해상도를 실현할 수 있다. 기록 헤드(100)의 기록 폭은 25mm이다. 256 내지 2048개의 토출구(2)를 갖는 기판(4)이 1개의 유닛이다. 복수의 유닛을 배치함으로써, 가능한 많은 토출구(2)가 배열된 토출구 열을 형성할 수 있다.
본 실시예에서는, 1개의 공급로(8)에 연결구(6A, 6B)를 통해서 순환 채널(7)이 연결되어 있고, 연결구(6B)에는 잉크를 위한 액체 전달 기구(유체 기구)(12)가 제공된다. 또한, 공급로(8)에는 관통 공급로 및 관통 회수로가 형성되어 있다. 이들 관통 공급로 및 관통 회수로는 도시되지 않은 잉크 탱크에 연결되어 있다. 관통 공급로 및 관통 회수로는, 도 4a 및 도 4b에 도시된 기록 헤드(100) 영역의 외측에 형성되어 있고, 따라서 도 4a 및 도 4b에서는 도시되지 않는다. 연결구(6B)는 20μm의 폭 및 50μm의 길이를 갖는다. 연결구(6A)는 10μm의 폭 및 50μm의 길이를 갖는다. 액체 전달 기구(12)가 형성되는 연결구(6B)는, 연결구(6A)보다 작은 채널 저항을 갖는다. 채널 저항은 액체 전달 기구(12)로부터 공급로(8)까지의 채널에서 변동한다. 기타의 치수에 대해서는 제1 실시예와 동일하다. 액체 전달 기구(12)는, 공급로(8)로부터 신선한 잉크를 연결구(6B)에 보냄으로써, 순환 채널(7)에서 도 4b의 화살표 "a"로 나타낸 방향으로 잉크의 순환류를 발생시킨다. 공급로(8)로부터 순환 채널(7) 내에 잉크를 공급할 수 있는 한은 어떠한 액체 전달 기구(12)도 사용될 수 있기 때문에, 구성은 한정되지 않는다. 예를 들어, 저항형 히터, 압전 액추에이터, 정전 액추에이터, 및 기계/충격 구동형 액추에이터 등의 잉크를 전달할 수 있는 소자를 사용할 수 있다. 본 실시예의 액체 전달 기구(12)는, 연결구(6B)에서의 채널의 용적을 변화시키는 압전 액추에이터를 사용해서 잉크를 공급한다.
도 5는, 액체 전달 기구(12)의 구동 타이밍을 설명하기 위한 타이밍 차트이다. 도 5의 종축은 연결구(6B)의 높이 방향(Z 방향)에서의 액체 전달 기구(12)의 압전 액추에이터의 변위를 나타내며, 횡축에 의해 나타내는 시간에 대한 압전 액추에이터의 높이 방향의 변위의 추이를 나타낸다. 높이 방향의 변위가 증가하는 방향이 플러스이다. 액체 전달 기구(12)의 압전 액추에이터는 높이 방향에서 변위되므로, 연결구(6B)에서의 채널의 내부 용적을 감소시켜 공급로(8)로부터 신선한 잉크를 연결구(6B)에 보낸다.
연결구(6A)로부터 공급로(8)까지의 채널 저항은, 연결구(6B)로부터 공급로(8)까지의 채널 저항보다 크다. 액체 전달 기구(12)는, 공급로(8)로부터 순환 채널(7)에 신선한 잉크를 효율적으로 공급하기 위해서, 예를 들어 도 5에 도시된 바와 같이 시간에 대하여 비대칭적으로 변위된다. 액체 전달 기구(12)는, 도 5에 도시된 Z 방향의 변위를 반복한다. 변위가 급격한 경우에는, 연결구(6A) 및 연결구(6B)를 향하여, 액체 전달 기구(12)의 변위와 동등한 양만큼 순환 채널(7) 내에 체류하는 잉크가 압출된다. 이때, 채널 저항이 작은 연결구(6B)를 향해서 보다 많은 양의 잉크가 압출된다. 대조적으로, 액체 전달 기구(12)의 변위가 완만한 경우에는, 채널 저항이 작은 연결구(6B)로부터 우선적으로 순환 채널(7)에 잉크가 공급되고, 따라서 채널 저항이 큰 연결구(6A)로부터의 잉크 공급량은 한정된다. 연결구(6B)와 관련하여, 액체 전달 기구(12)의 급격한 변위 동안에 순환 채널(7)로부터 압출되는 잉크의 양보다, 액체 전달 기구(12)의 완만한 변위 동안 순환 채널(7)에 공급되는 잉크의 양이 많기 때문에, 순환 채널(7) 내에 도 4b에 도시된 화살표 "a"로 나타낸 방향으로 유동이 발생한다. 이와 같이, 액체 전달 기구(12)의 비대칭적인 변위 구동과, 액체 전달 기구(12)로부터 공급로(8)까지의 채널의 비대칭적인 채널 저항을 이용하여, 액체 전달 기구(12)의 변위에 따라서 순환 채널(7) 내에 잉크 순환류를 발생시킬 수 있다.
액체 전달 기구(12)의 구동 타이밍은 특별히 한정되지 않는다. 액체 전달 기구(12)는, 연속적으로 동작될 수 있거나, 토출구(2)로부터 잉크를 토출하기 전의 타이밍 등에서 잉크 토출 동작과 연동하여 동작될 수 있다. 또한, 액체 전달 기구(12)의 변위량 및 변위 주기는 필요한 잉크의 순환류의 속도에 따라서 변화될 수 있다.
결과적으로, 제1 실시예와 마찬가지로, 비기록 동작 동안에도 토출구(2) 부근에 잉크가 체류하지 않고, 따라서 토출구(2) 부근에서의 잉크의 변질(잉크에 포함되는 휘발 성분의 증발에 의해 발생하는 변질)이 잉크의 토출량 및 착탄 정밀도에 악영항을 미치는 것을 억제할 수 있다. 다수의 토출구를 갖는 기록 헤드에서도 잉크의 순환 채널을 효율적으로 형성할 수 있다. 제1 잉크 액적이 토출구로부터 토출되고 나서, 상술한 순환 채널의 효과에 의해 잉크의 변질을 억제함으로써 잉크의 토출 상태를 안정화시킬 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 공급로로서 1개의 공급로(8)만을 제공한다. 그러므로, 제1 실시예와 달리, 공급로로서 공급로(8A, 8B)를 필요로 하는 구성에 비하여 공급로의 수를 저감할 수 있다. 결과적인 빈 공간은 액체 전달 기구(12)를 배치하기 위해 요구되는 공간보다 크고, 따라서 토출구(2)의 배열 밀도를 더 증가시켜 기판(4)의 더 큰 소형화를 달성한다.
[제3 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은 제1 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예에서의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 6a는 본 실시예에서의 기판(4)을 도시하는 개략도이며, 도 6b는 도 6a의 VIB-VIB 선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에서의 연결구(6A, 6B)는 기판(4)의 일부인 기능층(9)을 관통하고 있다. 연결구(6A)는 관통 회수로로서 형성되는 반면, 연결구(6B)는 관통 공급로로서 형성된다. 이들 연결구(6A, 6B)는, 도 6b에 도시된 바와 같이 순환 채널(7)과 기능층(9)의 하측에 위치하도록 기판(4)에 형성되어 있는 공급로(8A, 8B)에 연결된다. 전술한 제1 및 제2 실시예에서는, 순환 채널(7)과 공급로(8A, 8B)가 기판(4)의 동일면(제1 면)에 형성된다. 또한, 공급로(8A, 8B)는 기판(4)에 형성되고, 순환 채널(7)은 기판(4)을 관통하는 관통 회수로 및 관통 공급로를 통해서 잉크 탱크에 연결된다. 본 실시예에서는, 순환 채널(7)은 기판(4)의 제1 면측에 위치하고 있고; 연결구(6A, 6B)는 관통 공급로 및 관통 회수로의 역할을 하며; 공급로(8A, 8B)는 기판(4)의 제2 면측에 위치하고 있다. 연결구(6A, 6B)는 100μm2(=5μm × 20μm)의 단면적 및 20μm의 길이를 갖는다. 순환 채널(7)은 20μm의 높이를 갖는다. 공급로(8A, 8B)는 50μm의 폭을 갖는다. 토출구 형성 부재(11)는 15μm의 두께를 갖는다.
공급로(8A, 8B)는 토출구 열(L)을 따라 연장되도록 기판(4)에 형성된다. 공급로(8B)에는, 압력(P1)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제1 공급원이 연결된다. 공급로(8A)에는, 압력(P1)보다 작은 압력(P2)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제2 공급원이 연결된다. 결과적으로, 순환 채널(7)에는, 압력차(P1-P2)에 의해, 연결구(6B)로부터 연결구(6A)를 향하는 도 6b에 화살표 "a"로 나타낸 방향의 잉크 유동이 발생한다. 본 실시예에서는, 압력차(P1-P2)는 250 mmAq이다. 압력차에 의한 잉크 유동(순환류)이 순환 채널(7)에 형성된 복수의 압력실(3)에서 발생하고, 따라서 각각의 압력실(3)에서의 토출구(2) 부근에 신선한 잉크가 항상 공급된다. 즉, 도시하지 않은 잉크 탱크 내에 보존되는 잉크는, 공급로(8B)로부터 연결구(6B)를 통해서 순환 채널(7)에 공급되고, 그 후 순환 채널(7) 내에 형성되는 복수의 압력실(3), 연결구(6A) 및 공급로(8A)를 통해서 잉크 탱크에 복귀된다.
결과적으로, 제1 실시예와 마찬가지로, 비기록 동작 동안에도 토출구(2) 부근에 잉크가 체류하지 않고, 따라서 토출구(2) 부근에서의 잉크의 변질(잉크에 포함되는 휘발 성분의 증발에 의해 발생하는 변질)이 잉크의 토출량 및 착탄 정밀도에 악영항을 미치는 것을 억제할 수 있다. 다수의 토출구를 갖는 기록 헤드에서도 잉크의 순환 채널을 효율적으로 형성할 수 있다. 제1 잉크 액적이 토출구로부터 토출되고 나서, 상술한 순환 채널의 효과에 의해 잉크의 변질을 억제함으로써 잉크의 토출 상태를 안정화시킬 수 있다.
또한, 도 6a에 도시된 구성예에서의 공급로(8A, 8B)는, 인접 토출구 열(L)에 의해 공유되도록 형성되어 있고, 따라서 모든 토출구 열(L)에 대하여 동일한 잉크가 공급된다. 그러나, 공급로(8A, 8B)는 토출구 열(L)에 대하여 독립적으로 배치될 수 있으며, 따라서 토출구 열(L)로부터 다른 타입의 잉크를 토출할 수 있다. 압력실(3)이 형성되는 기판(4)의 다른 면(도 6b의 상측 면)과 반대측의 기판(4)의 일 면(도 6b의 하측 면)에 공급로(8A, 8B)가 배치되기 때문에, 토출구(2)의 배치 밀도를 증가시켜 기판(4)의 소형화를 달성할 수 있다. 또한, 순환 채널(7)을 단축하여 잉크 순환의 효율을 향상시킬 수 있다.
[제4 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은, 제3 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 7a는 본 실시예에서의 기판(4)을 도시하는 개략도이며; 도 7b는 도 7a의 VIIB-VIIB 선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에서의 토출구 열은, 토출구(2)의 피치가 어긋나 있지 않은 토출구 열(LA(1), LA(2))과, 토출구(2)의 피치가 어긋나 있지 않은 토출구 열(LB(1), LB(2))을 포함한다. 토출구 열(LA(1), LA(2))에서의 토출구(2)와 토출구 열(LB(1), LB(2))에서의 토출구(2)는 열 방향으로 반 피치 어긋나 있다. 토출구 열(LA(1), LA(2))로 각각 구성되는 복수의 군과 토출구 열(LB(1), LB(2))로 각각 구성되는 복수의 군이 제공된다. 순환 채널(7)은, 토출구 열(LA(1), LA(2))에서, 도 7a에서 수평적으로 2개의 인접 압력실(3)을 연결하는 반면, 토출구 열(LB(1), LB(2))에서는, 도 7a에서 수평적으로 2개의 인접 압력실(3)을 연결하도록 형성된다. 제3 실시예와 마찬가지로, 각각 기판(4)의 일부인 기능층(9)을 관통하는 관통 회수로 및 관통 공급로인 연결구(6A, 6B)를 통해 순환 채널(7)과 공급로(8A, 8B)가 서로 연결된다. 본 실시예에서는, 1개의 순환 채널에서, 다른 토출구 열에 형성되는 토출구에 대응하는 압력실이 직렬로 연결된다.
본 실시예에서, 히터(1)의 면적은 500μm2(=20μm × 25μm)이고; 토출구(2)의 직경은 20μm이고; 압력실(3)의 단면적은 750μm2(=25μm × 30μm)이며, 연결 채널(5)의 폭은 25μm이며; 연결 채널(5)의 길이는 7μm이다. 또한, 연결구(6A, 6B) 각각은 100μm2(=5μm × 20μm)의 단면적 및 20μm의 길이를 갖는다. 순환 채널(7)은 15μm의 높이를 갖는다. 공급로(8A, 8B) 각각은 40μm의 폭을 갖는다. 토출구 형성 부재(11)는 12μm의 두께를 갖는다. 잉크의 점도는 3cP이다. 잉크 토출량은 7pL 이다.
공급로(8A, 8B)는, 토출구 열(L)(LA(1), LB(1), LA(2), 및 LB(2))을 따라 연장되도록 기판(4)에 형성된다. 공급로(8B)에는, 압력(P1)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제1 공급원이 연결된다. 공급로(8A)에는, 압력(P1)보다 작은 압력(P2)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제2 공급원이 연결된다. 따라서, 순환 채널(7)에는, 압력차(P1-P2)에 따라, 연결구(6B)로부터 연결구(6A)를 향하는 도 7b에서 화살표 "a"에 의해 나타낸 방향의 잉크 유동이 발생한다. 압력차에 의한 잉크 유동(순환류)이 순환 채널(7)에 형성된 복수의 압력실(3)에서 발생하고, 따라서 각각의 압력실(3)에서의 토출구(2) 부근에 신선한 잉크가 항상 공급된다. 즉, 도시하지 않은 잉크 탱크 내에 보존되는 잉크는, 공급로(8B)로부터 연결구(6B)를 통해서 순환 채널(7)에 공급되고, 그 후 순환 채널(7) 내에 형성되는 복수의 압력실(3), 연결구(6A) 및 공급로(8A)를 통해서 잉크 탱크에 복귀된다.
결과적으로, 제1 실시예와 마찬가지로, 비기록 동작 동안에도 토출구(2) 부근에 잉크가 체류하지 않고, 따라서 토출구(2) 부근에서의 잉크의 변질(잉크에 포함되는 휘발 성분의 증발에 의해 발생하는 변질)이 잉크의 토출량 및 착탄 정밀도에 악영항을 미치는 것을 억제할 수 있다. 다수의 토출구를 갖는 기록 헤드에서도 잉크의 순환 채널을 효율적으로 형성할 수 있다. 제1 잉크 액적이 토출구로부터 토출되고 나서, 상술한 순환 채널의 효과에 의해 잉크의 변질을 억제함으로써 잉크의 토출 상태를 안정화시킬 수 있다.
또한, 도 7a 및 도 7b에 도시된 구성예에서의 공급로(8A, 8B)는, 각각 인접 토출구 열(LA(1), LB(2)) 및 인접 토출구 열(LA(2), LB(1))에 의해 공유되도록 형성되어 있고, 모든 토출구 열에 대하여 동일한 잉크가 공급된다. 그러나, 공급로(8A, 8B)는 인접 토출구 열에 대하여 독립적으로 배치될 수 있고, 따라서 토출구 열로부터 상이한 타입의 잉크를 토출할 수 있다. 제3 실시예와 마찬가지로, 압력실(3)이 형성되는 기판(4)의 면과 반대측의 기판(4)의 면에는 공급로(8A, 8B)가 형성되기 때문에, 토출구(2)의 배열 밀도를 향상시켜 기판(4)의 소형화를 달성할 수 있다. 또한, 순환 채널(7)을 단축하여 잉크 순환의 효율을 향상시킬 수 있다.
[제5 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은 제4 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예에서의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 8a는 본 실시예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이며; 도 8b는 도 8a의 VIIIB-VIIIB 선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에서는, 전술한 제4 실시예에서의 토출구 열(LA(1), LB(1), LA(2), LB(2))이 서로 인접하도록 형성된다. 순환 채널(7)은, 토출구 열에서 4개의 인접 압력실(3)을 연결하도록 형성된다. 공급로(8B)에는, 압력(P1)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제1 공급원이 연결되어 있다. 공급로(8A)에는, 압력(P1)보다 작은 압력(P2)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제2 공급원이 연결된다. 따라서, 순환 채널(7)에는, 압력차(P1-P2)에 의해, 연결구(6B)로부터 연결구(6A)를 향하는 도 8b의 화살표 "a"로 나타낸 방향의 잉크 유동이 발생한다. 순환 채널(7)에 형성된 압력차에 의해 복수의 압력실(3)에서 잉크 유동(순환류)이 발생하기 때문에, 압력실(3) 각각에서의 토출구(2) 부근에 신선한 잉크가 항상 공급된다.
결과적으로, 제1 실시예와 마찬가지로, 비기록 동작 동안에도 토출구(2) 부근에 잉크가 체류하지 않고, 따라서 토출구(2) 부근에서의 잉크의 변질(잉크에 포함되는 휘발 성분의 증발에 의해 발생하는 변질)이 잉크의 토출량 및 착탄 정밀도에 악영항을 미치는 것을 억제할 수 있다.
제1 변형예
도 9a는 본 실시예의 제1 변형예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이며, 도 9b는 도 9a의 IXB-IXB 선을 따라 취한 단면도이다.
본 변형예에서는, 1개의 순환 채널(7)은 1개의 연결구(6B), 1개의 공급로(8B), 2개의 연결구(6A) 및 2개의 공급로(8A)를 포함한다. 1개의 순환 채널(7)은 총 3개의 연결구(관통 회수로)(6A) 및 연결구(관통 공급로)(6B)를 포함한다. 이런 방식으로, 잉크 토출 후에, 총 3개의 연결구(6A, 6B)를 통해서 순환 채널(7)에 잉크가 재충전된다. 따라서, 잉크 재충전 시간을 단축할 수 있다. 형성되는 연결구(6A, 6B)의 수 및 형성 비율은 한정되지 않기 때문에, 이것들은 임의로 결정될 수 있다. 공급로(8A)는, 본 변형예와 같이, 1개의 순환 채널(7)에서의 1개의 연결구(6A)에 대응하도록 형성될 필요는 없다. 예를 들어, 공급로(8A)는 1개의 순환 채널(7)에서의 복수의 연결구(6A)에 대응하도록 형성될 수 있다. 마찬가지로, 공급로(8B)는, 본 변형예와 같이, 1개의 순환 채널(7)에서의 1개의 연결구(6B)에 대응하도록 형성될 필요는 없다. 예를 들어, 공급로(8B)는 1개의 순환 채널(7)에서의 복수의 연결구(6B)에 대응하도록 형성될 수 있다.
제2 변형예
도 10은, 본 실시예의 제2 변형예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이다.
본 변형예에서는, 복수의 압력실(3)을 연결하는 순환 채널(7)이 도 9a에 도시된 직선 형태가 아니고 지그재그 형태로 형성되어 있다. 순환 채널(7)의 형상은, 순환 채널(7)이 복수의 압력실(3)에 연결될 수 있는 한, 임의로 결정될 수 있다. 형성되는 압력실(3)의 레이아웃 및 수, 연결 채널(5)의 형상, 형성되는 연결구(관통 회수로)(6A) 및 연결구(관통 공급로)(6B)의 위치 및 수는 특별히 한정되지 않기 때문에, 이들은 임의로 결정될 수 있다. 그것들의 최적화를 도모함으로써, 압력실(3) 사이의 크로스토크를 억제할 수 있고, 잉크의 재충전을 고속화할 수 있으며, 최적의 잉크 순환류를 실현할 수 있다.
[제6 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은 제4 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예에서의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 11a는 본 실시예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이며; 도 11b는 도 11a의 XIB-XIB 선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에서는, 순환 채널(7)의 양 단부에 잉크를 위한 액체 전달 기구(12)가 제공된다. 히터(1)의 면적은 396μm2(=18μm × 22μm)이고; 토출구(2)의 직경은 18μm이고; 압력실(3)의 단면적은 750μm2(=25μm × 30μm)이고; 연결 채널(5)의 폭은 18μm이며; 연결 채널(5)의 길이는 7μm이다. 또한, 연결구(관통 회수로)(6A)의 단면적은 75μm2(=5μm × 15μm)인 반면, 연결구(관통 공급로)(6B)의 단면적은 150μm2(=10μm × 15μm)이다. 연결구(6A, 6B) 각각의 길이는 20μm이다. 순환 채널(7)의 높이는 12μm이다. 공급로(8)의 폭은 250μm이다. 토출구 형성 부재(11)의 두께는 10μm이다. 잉크의 점도는 3cP이다. 잉크 토출량은 4pL이다.
본 실시예에서는, 1개의 순환 채널(7)에 대하여, 2개의 액체 전달 기구(12)를 사용하여 공급로(8)로부터 신선한 잉크를 연결구(6B)에 보냄으로써, 순환 채널(7) 내에 도 11b의 화살표 "a"로 나타낸 방향의 잉크 순환류를 발생시킨다. 순환 채널(7)의 비대칭적인 채널 저항을 달성하기 위해서, 연결구(6B)의 개구 면적(단면적)은 연결구(6A)의 것보다 크다. 채널 저항의 비대칭성에 의해, 2개의 액체 전달 기구(12)를 구동했을 때에 화살표 "a"로 나타낸 방향의 잉크 순환류가 발생한다. 잉크 재충전시 등에서는, 공급로(8)에 체류하는 잉크가 연결구(6A)에 보내질 수 있다. 제2 실시예와 마찬가지로, 액체 전달 기구(12)는 단순히 공급로(8)로부터 순환 채널(7) 내에 잉크를 공급하는 것이 요구되기 때문에, 그 구성은 한정되지 않는다. 예를 들어, 저항형 히터, 압전 액추에이터, 정전 액추에이터, 및 기계/충격 구동형 액추에이터 등의 잉크를 전달할 수 있는 장치를 사용할 수 있다. 본 실시예의 액체 전달 기구(12)는, 순환 채널(7)의 내부 용적을 변화시키는 압전 액추에이터를 사용해서 잉크를 공급한다.
제1 변형예
도 12a는 본 실시예의 제1 변형예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이며; 도 12b는 도 12a의 XIIB-XIIB 선을 따라 취한 단면도이다.
본 변형예에서는, 액체 전달 기구(12) 각각은 빗 유사 전극으로 형성된다. 액체 전달 기구(12)는 순환 채널(7)의 양 단부 및 압력실(3) 사이에 배치되어 있다. 액체 전달 기구(12)의 빗 유사 전극 사이에 교류 전류를 인가함으로써, 잉크에 전기삼투가 발생한다. 전기삼투에 의해, 순환 채널(7) 내에 도 12b에 도시된 화살표 "a"로 나타낸 방향의 잉크 순환류가 발생한다.
제2 변형예
도 13은, 본 실시예의 제2 변형예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이다.
본 변형예에서의 연결 채널(5)은, 전술한 도 11a 및 도 11b에 도시된 연결 채널(5)과 형상이 상이하다. 연결구(6B)로부터 연결구(6A)를 향해서 테이퍼지도록 채널의 단면이 서서히 감소된다. 이러한 방식으로, 연결구(6B)로부터 연결구(6A)를 향하는 일방향의 채널 저항은, 연결구(6A)로부터 연결구(6B)를 향하는 다른 방향의 채널 저항보다 작아져서, 채널 저항이 비대칭이 된다. 이러한 연결 채널(5)은, 압력실(3) 사이에서의 크로스토크를 억제하고 잉크의 순환류 발생을 보조하는 기능을 행한다.
압력실(3), 연결구(6A, 6B), 연결 채널(5) 및 액체 전달 기구(12)를 구비하는 순환 채널(7)의 구성은 본 변형예의 구성으로 한정되지 않는다. 압력실(3) 사이에서의 크로스토크의 억제, 잉크 재충전의 고속화, 및 최적의 잉크 순환류를 실현하도록, 순환 채널(7)의 구성을 최적화할 수 있다.
[제7 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은, 제3 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 14a는 본 실시예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이며, 도 14b는 도 14a의 XIVB-XIVB 선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에서는, 2개의 토출구 열(La, Lb)의 각각에 복수의 토출구(2a, 2b)를 600 dpi의 해상도에 대응하는 피치로 배열한다. 기록 헤드(100)의 기록 폭은 20 mm이다. 토출구 열(La, Lb)의 토출구(2)(2a, 2b)에 대응하는 압력실(3a, 3b)에는, 토출 에너지 발생 소자로서의 히터(1a, 1b)가 제공된다. 압력실(3a, 3b)은 연결구(관통 회수로)(6A) 및 연결구(관통 공급로)(6B)를 통해 공급로(8A, 8B)에 연결되고, 따라서 기판(4)의 면 방향으로 순환 채널(7)을 형성하고 있다. 압력실(3)은 채널 형성 부재(10)에 의해 형성된다. 토출구(2a, 2b)는 토출구 형성 부재(11)에 형성된다. 공급로(8A, 8B)와 연결구(6A, 6B) 사이에는, 압력실(3a, 3b)에의 기포 등의 이물의 침입을 방지하기 위한 필터를 형성하는 부재(예를 들어, 컬럼형 구조물)를 개재할 수 있다.
토출구 열(Lb)에서의 압력실(3b)은 연결구(6B)를 통해서 공급로(8B)에 연결되는 반면, 토출구 열(La)에서의 압력실(3a)은 연결구(6A)를 통해서 공급로(8A)에 연결된다. 기록 헤드(100)의 밖에 배치되는 펌프에 의해 공급로(8B)에 공급되는 잉크의 압력은 공급로(8A)에 공급되는 잉크의 압력보다 높게 설정된다. 압력차에 의해, 공급로(8B)로부터 순환 채널(7)을 통해서 공급로(8A)를 향하는 화살표 "a"에 의해 나타내는 방향의 잉크 유동(순환류)이 발생한다. 순환 채널(7)에 형성되는 압력실의 수는, 본 실시예와 달리 2개로 한정되지 않고, 2개 이상이면 된다. 또한, 순환 채널(7)에 형성되는 토출구(2a, 2b)의 레이아웃은, 본 실시예와 달리, 토출구 열(La, Lb)에 대하여 직교하는 선에 배치되는 레이아웃에 한정되지 않고, 따라서 임의로 결정될 수 있다. 또한, 토출구(2a, 2b) 사이에서, 잉크의 순환류는 분기 또는 합류될 수 있다.
본 실시예에서는, 히터(1a)의 면적이 750μm2(=25μm × 30μm)이고; 히터(1b)의 면적은 240μm2(=12μm × 20μm)이고; 토출구(2a)의 직경은 25μm이며; 토출구(2b)의 직경은 12μm이다. 또한, 압력실(3a, 3b) 각각의 단면적은 1050μm2(=30μm × 35μm)이고; 연결구(6A, 6B)의 폭은 20μm이고; 연결구(6A, 6B) 각각의 길이는 20μm이고, 순환 채널(7)의 높이는 20μm이며; 공급로(8A, 8B) 각각의 폭은 50μm이다. 또한, 토출구 형성 부재(11)의 두께는 20μm이고; 잉크의 점도는 5cP이고; 토출구(2a)로부터의 잉크 토출량은 10pL이며; 토출구(2b)로부터의 잉크의 토출량은 5pL이다.
도시하지 않은 잉크 탱크에 체류하는 잉크는, 공급로(8B)로부터 연결구(6B)를 통해서 순환 채널(7)에 공급되고, 그 후 순환 채널(7)에 형성된 압력실(3a, 3b), 연결구(6A) 및 공급로(8A)를 통해서 잉크 탱크에 복귀된다. 토출 에너지 발생 소자로서의 히터(1a, 1b)는, 기판(4)에 형성된 전기 배선 및 단자를 통해서, 도 1에 도시된 전기 배선 기판(102)에 전기적으로 연결된다.
도시하지 않은 기록 제어 회로에 의해 입력되는 펄스 신호에 응답하여, 히터(1a, 1b)가 열을 발생하도록 구성된다. 히터(1a, 1b)에 의해 발생된 열은 압력실(3a, 3b) 내에 체류하는 잉크에 발포를 일으키고, 또한 결과적인 발포 에너지에 의해 토출구(2a, 2b)로부터 잉크가 토출된다. 압력실(3a, 3b)은, 채널 형성 부재(10)와 토출구 형성 부재(11)에 의해 형성되는 공간이다. 예를 들어, 4개의 토출구 열을 배치하고, 그 후 4개의 토출구 열에 형성된 압력실에 동일한 색의 잉크를 공급함으로써, 단색으로 화상을 기록할 수 있다. 토출구 열은 1개의 기판(4) 상에 형성될 수 있거나, 혹은 복수 배치된 기판(4) 상에 형성될 수 있다.
(잉크의 순환류 제어)
공급로(8B)에는, 압력(P1)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제1 공급원이 연결된다. 공급로(8A)에는, 압력(P1)보다 작은 압력(P2)을 갖는 잉크를 공급하는 도시되지 않은 제2 공급원이 연결된다. 따라서, 순환 채널(7)에는, 압력차(P1-P2)에 의해, 연결구(6B)로부터 연결구(6A)를 향하는 도 14b의 화살표 "a"로 나타낸 방향의 잉크 유동이 발생한다. 본 실시예에서는, 압력차(P1-P2)는 100mmAq이다. 이 압력차에 의해 발생되는 잉크 유동(순환류)은 순환 채널(7) 내에 형성되는 복수의 압력실(3)에 발생하고, 따라서 압력실(3a, 3b)에서의 토출구(2a, 2b) 부근에 신선한 잉크가 항상 공급된다. 제1 및 제2 공급원은, 예를 들어 진공 펌프, 압력 조정기, 및 공기실의 조합과 잉크의 수두차를 사용하여 구성될 수 있다. 또한, 잉크를 순환시키기 위한 구동원으로서, 순환 채널(7)에 잉크를 위한 액체 전달 기구(예를 들어, 액체를 전달하기 히터 또는 압전 소자)가 제공될 수 있다.
이와 같이, 토출구(2a, 2b)로부터 잉크를 토출하지 않는 비기록 동작 동안에도, 압력차(P1-P2)에 의해 순환 채널(7) 내의 잉크 유동을 발생시킴으로써, 압력실(3a, 3b) 및 토출구(2a, 2b) 부근에 신선한 잉크를 공급한다.
도 15a 및 도 15b는, 토출구(2a, 2b) 부근에서의 잉크 유동을 도시하는 도면이다. 도 15a에 도시된 바와 같이, 단면적이 비교적 큰 토출구(2a) 내로 잉크의 순환류가 들어가기 때문에, 잉크를 교체하기가 쉽다. 따라서, 토출구(2a) 내부에 잉크가 체류하기 어렵고, 따라서 토출구(2a)로부터의 잉크의 토출 안정성을 유지할 수 있다. 대조적으로, 도 15b에 도시된 바와 같이, 단면적이 비교적 작은 토출구(2b) 내에는 잉크의 순환류가 들어가기 어렵기 때문에, 잉크를 교체하기 어렵다. 그러나, 순환 채널(7)의 상류측에 형성된 토출구(2b)에는 연결구(6B)를 통해서 신선한 잉크가 항상 공급되기 때문에, 잉크의 순환류 들어가기 어려운 토출구(2b)에서도 높은 토출 안정성이 얻어진다. 또한, 토출구(2b)보다 순환 채널(7)의 하류측에 형성된 토출구(2a) 내에는, 토출구(2b) 부근을 통해 휘발 성분이 증발한 고농도의 잉크(점성 잉크)가 들어갈 위험이 있다. 그러나, 상술한 바와 같이, 토출구(2a)의 내부에서는 잉크가 용이하게 교체되기 때문에, 토출 안정성은 고농도의 잉크(점성 잉크)의 유입에 의한 영향은 받기 어렵고, 따라서 토출구(2a)로부터의 잉크의 토출 안정성이 유지된다.
이와 같이, 토출구(2a, 2b)로부터 잉크가 토출되지 않는 비기록 동작 동안에, 화살표 "a"로 나타낸 방향의 잉크의 수직 유동을 발생시킴으로써, 압력실(3a, 3b) 및 토출구(2a, 2b) 부근의 잉크가 교체될 수 있다. 그로 인해, 비기록 동작 동안에도, 토출구(2a, 2b) 부근에 잉크가 체류하지 않고, 따라서 토출구(2a, 2b) 부근에서의 잉크의 변질(잉크에 포함된 휘발 성분의 증발에 의해 발생되는 변질)이 잉크의 토출량 및 착탄 정밀도에 미치는 악영향을 억제할 수 있다.
복수의 압력실을 서로 연결하는 순환 채널에서 잉크의 변질을 억제하는 잉크의 순환류를 발생시키기 때문에, 순환 채널의 형성에 필요한 공간은, 토출구의 수에 비례하여 증대시키지 않고 저하될 수 있다. 다수의 토출구를 갖는 기록 헤드에서도 잉크의 순환 채널을 효율적으로 형성할 수 있다. 제1 잉크 액적이 토출구로부터 토출되고 나서, 상술한 순환 채널의 효과에 의해 잉크의 변질을 억제함으로써 잉크의 토출 상태를 안정화시킬 수 있다. 또한, 잉크의 착탄 위치의 변동을 저감할 수 있다. 또한, 잉크를 위한 순환 채널을 효율적으로 형성하면서 토출구를 고밀도로 배열하여, 기판의 소형화를 달성할 수 있다.
[제8 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은, 제7 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 16은 본 실시예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이다. 본 실시예에서는, 제7 실시예에서의 토출구(2b)를 토출구(2c)로 대체한다. 토출구(2a)의 단면은 원형이다. 토출구(2c)는, 원형 단면의 내면으로부터 돌출되는 적어도 하나의 돌기를 갖는다. 본 실시예에서는, 토출구(2c)는 서로 접근하도록 그 중심을 향해 돌출하는 2개의 돌기(2c-1, 2c-2)를 갖는다. 돌기 등의 구조물을 토출구(2c)에 형성하기 때문에, 토출구(2c)의 형상 및 단면적이 토출구(2a)와 동일한 경우에도 잉크의 순환류는 들어가기 어렵고, 따라서 잉크의 교체가 어려워진다. 그러나, 순환 채널(7)의 상류측에 형성되는 토출구(2c)에는 연결구(6B)를 통해서 신선한 잉크가 항상 공급되기 때문에, 잉크의 순환류가 들어가기 어려운 토출구(2c)에서도 우수한 토출 안정성을 얻을 수 있다.
토출구(2c)와 같이, 내면에 돌기가 형성된 원형 단면을 갖는 토출구로부터는, 잉크의 주 액적 이외의 미소한 잉크의 부 액적(작은 액적)이 토출되기 어렵다. 그로 인해, 상술한 구성을 갖는 토출구(2c)는 예를 들어 고화질의 화상을 기록하는 기록 모드(포토 모드 등)에서 유효하다. 한편, 내면에 돌기가 형성된 토출구는 잉크 채널 저항이 높기 때문에, 고속 기록 모드에서는 원형 단면을 갖는 토출구가 유효하다. 또한, 순환 채널(7)의 하류측에 형성되는 토출구의 단면 형상은, 순환 채널(7)의 상류측에 형성되는 토출구의 단면 형상보다 실질적으로 원형인 것이 바람직하다. 다른 형상으로 형성된 토출구를 고밀도로 배열하고, 그것들을 선택적으로 사용함으로써, 고화질의 화상을 기록하는 기록 모드 및 고속 기록 모드의 양자 모두에 대응할 수 있다.
[제9 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은, 제7 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 17은 본 실시예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이다. 본 실시예에서는, 채널 형성 부재(10)는, 토출구(2a, 2b)에 대응하는 압력실(3a, 3b)이 1개의 연결 채널(5)을 통해 직렬로 연결된 잉크의 순환 채널을 형성한다. 이에 의해, 압력실(3a, 3b) 사이의 간격을 감소시켜, 다수의 토출구를 갖는 기록 헤드에서도 잉크의 순환 채널을 효율적으로 형성할 수 있다. 따라서, 잉크의 순환 채널을 형성하는데 필요한 공간을, 토출구의 수에 비례해서 증가시키지 않고 저감시킬 수 있다.
[제10 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은, 제7 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 18a는 본 실시예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이며, 도 18b는 도 18a의 XVIIIB-XVIIIB 선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에서는, 연결구(6A, 6B)는, 공급로(8A, 8B)가 연장되는 방향을 따라서 형성되므로, 압력실(3a, 3b)은 공급로(8A, 8B)에 실절적으로 선형적으로 연결된다. 따라서, 공급로(8A, 8B)와 압력실(3a, 3b) 사이의 잉크의 채널 저항이 저감되어, 잉크를 더 빠르게 압력실(3a, 3b)에 공급할 수 있다.
[제11 실시예]
본 실시예에서의 기록 헤드(100)의 기본적인 구성은 제10 실시예와 동일하기 때문에, 이하에서는 본 실시예의 특징적인 구성에 대해서 설명한다.
도 19a는 본 실시예에서의 기판(4)의 주요부를 도시하는 개략도이며, 도 19b는 도 19a의 XIXB-XIXB 선을 따라 취한 단면도이다. 본 실시예에서는, 도 18a 및 도 18b에 도시된 제10 실시예에서의 토출구 열(La, Lb)을 각각 구성하는 2개의 군을 도 19a에서 비대칭적으로 횡방향으로 배치한다. 공통 공급로(8B)와, 그 공급로(8B)를 따라 연장되는 연결구(6B)는 인접 토출구 열(Lb, Lb) 사이에 형성된다. 이와 같이, 공급로(8B)를 공유시킴으로써, 기판(4)의 크기(칩 크기)를 저감할 수 있다.
(잉크젯 기록 장치의 구성예)
상술한 실시예에서의 기록 헤드(액체 토출 헤드)(100)는, 소위 시리얼 스캔 타입, 풀라인 타입 등의 다양한 잉크젯 기록 장치(액체 토출 장치)에서 사용할 수 있다. 도 20a는 시리얼 스캔 타입의 잉크젯 기록 장치의 구성예를 도시한다. 도 20a에서 화살표 X로 나타낸 방향(주주사 방향)으로 이동하는 캐리지(53)에, 상술한 실시예의 기록 헤드(100)가 탈착 가능하게 탑재된다. 캐리지(53)는 가이드 부재(54A, 54B)에 의해 안내되며, 기록 매체(P)는 롤(55, 56, 57, 58)에 의해 화살표 Y로 나타낸 방향(부주사 방향)으로 반송된다. 기록 헤드(100)가 캐리지(53)와 함께 주주사 방향으로 이동하면서 잉크를 토출하는 동작과, 기록 매체(P)를 부주사 방향으로 반송하는 동작을 반복함으로써, 기록 매체(P) 위에 화상이 기록된다.
도 20b는 도 20a에 나타낸 잉크젯 기록 장치의 제어 시스템을 도시하는 블록도이다. CPU(제어 유닛)(300)는 기록 장치에 의한 동작의 제어 처리, 데이터 처리 등을 실행한다. ROM(201)은 그것들의 처리 수순 등을 위한 프로그램을 내부에 저장하는 반면, RAM(202)은 처리가 행해지는 워크 에어리어로서 사용된다. 기록 헤드(100)에 탑재된 히터(1)는 헤드 드라이버(100A)에 의해 구동된다. 히터(1)에 대한 구동 데이터(화상 데이터) 및 구동 제어 신호(히트 펄스 신호)를 헤드 드라이버(100A)에 공급함으로써 화상이 기록된다. CPU(300)는, 모터 드라이버(203A)를 통해 캐리지(53)를 주주사 방향으로 구동하기 위한 캐리지 모터(203)를 제어하고, 또한 모터 드라이버(204A)를 통해 기록 매체(P)를 부주사 방향으로 반송하기 위한 P. F 모터(204)를 제어한다. 상술한 바와 같이, CPU(300)는 히터(1)의 구동 타이밍을 제어한다.
[다른 실시예]
전술한 실시예에서는, 액체로서의 잉크를 토출하는 시스템으로서, 전기열 변환자(히터)를 사용해서 잉크에 기포를 발생시키는 서멀 시스템을 채용했다. 그러나, 잉크를 토출하는 시스템으로서는, 압전 액추에이터, 정전 액추에이터, 기계/충격 구동형 액추에이터, 음성 코일 액추에이터, 자기변형 구동형 액추에이터 등을 사용하는 다양한 시스템을 채용할 수 있다.
액체 토출 헤드로서의 잉크젯 기록 헤드는, 기록 매체의 폭에 따른 세장형 기록 헤드(라인형 헤드) 외에 소위 시리얼 스캔 타입 기록 장치에 사용되는 시리얼형 기록 헤드에 널리 적용될 수 있다. 또한, 시리얼형 기록 헤드는, 예를 들어 블랙 잉크용의 1개의 기판과, 각각의 컬러 잉크용의 1개의 기판을 탑재하도록 구성될 수 있다. 또한, 인접 기판에 형성되는 토출구를 토출구 열의 방향으로 중첩시키도록 복수의 기판을 배치할 수 있다. 또한, 잉크젯 기록 장치는, 기록 매체의 폭보다 짧은 라인형 헤드를 사용하여, 기록 매체를 주사하도록 구성될 수 있다.
본 발명을 예시적인 실시예를 참고하여 설명하였지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예로 한정되지 않음을 이해해야 한다. 이하의 청구항의 범위는 이러한 모든 변형과 동등한 구조 및 기능을 포함하도록 최광의로 해석되어야 한다.

Claims (13)

  1. 액체 토출 헤드이며,
    제1 면 및 상기 제1 면과 반대측의 제2 면을 갖는 기판;
    상기 기판의 상기 제1 면측에 제공되는 복수의 순환 채널;
    상기 기판의 상기 제1 면측에 제공된 복수의 압력실로서, 상기 압력실을 통해 액체가 순환하는 복수의 압력실;
    액체를 토출하는 토출구가 복수로 배열되어 형성된 토출구 열; 및
    상기 기판의 상기 제1 면측에 제공되고, 상기 압력실 내의 액체를 상기 토출구로부터 토출시키기 위한 에너지를 발생시키는 토출 에너지 발생 소자를 포함하고,
    상기 기판은,
    상기 기판의 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이를 관통하여 상기 순환 채널에 액체를 공급하도록 구성되는 관통 공급로; 및
    상기 기판의 상기 제1 면과 상기 제2 면 사이를 관통하여 상기 순환 채널로부터 액체를 회수하도록 구성되는 관통 회수로를 포함하고,
    상기 복수의 압력실은 상기 순환 채널에 직렬로 제공되며;
    상기 순환 채널은 제1 압력을 갖는 액체를 상기 순환 채널의 제1 위치에 공급하도록 구성되는 제1 공급로, 및 상기 제1 압력과 상이한 제2 압력을 갖는 액체를 상기 제1 위치와 상이한 상기 순환 채널의 제2 위치에 공급하도록 구성되는 제2 공급로를 포함하고,
    상기 순환 채널에 직렬로 제공된 복수의 압력실은, 상기 토출구 열을 따라 배치되어 있고,
    상기 순환 채널은, 상기 토출구 열을 따라 형성된 복수의 압력실마다 격벽에 의해 구획되어 형성되는, 액체 토출 헤드.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 위치는 상기 순환 채널의 일단부인 반면, 상기 제2 위치는 상기 순환 채널의 타단부인 액체 토출 헤드.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 위치 및 상기 제2 위치 중 적어도 어느 하나는 복수로 형성되는 액체 토출 헤드.
  4. 제1항에 있어서, 상기 순환 채널 내의 액체를 유동시키도록 구성되는 유동 기구를 더 포함하는 액체 토출 헤드.
  5. 제1항에 있어서, 상기 순환 채널에 직렬로 제공되는 상기 압력실의 수는 3 이상인 액체 토출 헤드.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 순환 채널에 직렬로 제공된 상기 압력실에 각각 대응하는 상기 토출구는 동일한 토출구 열에 위치되는 액체 토출 헤드.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 순환 채널에 직렬로 제공되는 상기 압력실에 각각 대응하는 상기 토출구는 상이한 토출구 열에 위치되는 액체 토출 헤드.
  8. 제1항에 있어서, 상기 순환 채널에서, 일단부 측에서 유동하는 액체의 채널 저항은 타단부 측에서 유동하는 액체의 채널 저항과 상이한 액체 토출 헤드.
  9. 제1항에 있어서, 상기 순환 채널은, 상기 복수의 압력실을 연통시키도록 구성되는 연결 채널을 포함하며,
    상기 연결 채널에서, 일 방향으로 유동하는 액체의 채널 저항은 다른 방향으로 유동하는 액체의 채널 저항과 상이한 액체 토출 헤드.
  10. 제1항에 있어서, 상기 복수의 토출구는, 제1 개구 면적을 갖는 제1 토출구 및 상기 제1 개구 면적보다 큰 제2 개구 면적을 갖는 제2 토출구를 포함하고, 상기 제1 토출구는 상기 제2 토출구보다 상기 순환 채널의 상류측에 위치되는 액체 토출 헤드.
  11. 삭제
  12. 제1항에 있어서, 상기 순환 채널에 직렬로 제공되는 압력실의 수는 5 이하인 액체 토출 헤드.
  13. 액체 토출 장치이며,
    제1항에 따른 액체 토출 헤드;
    상기 액체 토출 헤드의 순환 채널에 액체를 공급하도록 구성되는 공급 유닛; 및
    토출 에너지 발생 소자를 제어하도록 구성되는 제어 유닛을 포함하는 액체 토출 장치.
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6708457B2 (ja) 2016-03-29 2020-06-10 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド及び液体の循環方法
JP6736324B2 (ja) 2016-03-29 2020-08-05 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP7057071B2 (ja) 2017-06-29 2022-04-19 キヤノン株式会社 液体吐出モジュール
JP6961404B2 (ja) 2017-06-29 2021-11-05 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP7039231B2 (ja) 2017-09-28 2022-03-22 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP7118716B2 (ja) 2018-04-17 2022-08-16 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
US11014356B2 (en) 2018-07-31 2021-05-25 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection module, and liquid ejection apparatus
US10974507B2 (en) 2018-07-31 2021-04-13 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection apparatus, and liquid ejection module
CN110774759B (zh) 2018-07-31 2021-10-22 佳能株式会社 液体喷射头、液体喷射模块和液体喷射设备
JP7309359B2 (ja) 2018-12-19 2023-07-18 キヤノン株式会社 液体吐出装置
JP7341703B2 (ja) * 2019-04-02 2023-09-11 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP7400216B2 (ja) * 2019-05-24 2023-12-19 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置
JP7374681B2 (ja) * 2019-09-12 2023-11-07 東芝テック株式会社 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
WO2021118541A1 (en) * 2019-12-10 2021-06-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Printhead with offset circulation channel
JP7486958B2 (ja) * 2020-01-27 2024-05-20 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出モジュール

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005125670A (ja) * 2003-10-24 2005-05-19 Sony Corp 液体吐出装置
JP2012061717A (ja) * 2010-09-16 2012-03-29 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
WO2016175865A1 (en) * 2015-04-30 2016-11-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection device

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3114776B2 (ja) 1992-06-23 2000-12-04 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式ライン記録ヘッドを用いたプリンタ
TW365578B (en) * 1995-04-14 1999-08-01 Canon Kk Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
JP5046855B2 (ja) * 2007-10-24 2012-10-10 キヤノン株式会社 素子基板、記録ヘッド、ヘッドカートリッジ及び記録装置
JP5302259B2 (ja) 2010-04-28 2013-10-02 パナソニック株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェット装置
US20120011319A1 (en) * 2010-07-01 2012-01-12 Infinidat Ltd. Mass storage system and method of operating thereof
US8636349B2 (en) 2010-07-28 2014-01-28 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and liquid ejection apparatus
US8517518B2 (en) * 2010-11-09 2013-08-27 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus and liquid ejection head
US8657420B2 (en) * 2010-12-28 2014-02-25 Fujifilm Corporation Fluid recirculation in droplet ejection devices
JP6071713B2 (ja) 2012-06-18 2017-02-01 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
KR20140034000A (ko) 2012-09-11 2014-03-19 삼성전기주식회사 잉크젯 프린트 헤드
JP6381355B2 (ja) 2013-09-24 2018-08-29 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP6463034B2 (ja) 2013-09-24 2019-01-30 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド
JP6270533B2 (ja) 2014-02-25 2018-01-31 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、記録装置、および液体吐出ヘッドの放熱方法
US10259218B2 (en) 2014-02-25 2019-04-16 Funai Electric Co., Ltd. Ejection device for inkjet printers
WO2015163069A1 (ja) 2014-04-23 2015-10-29 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタ
JP2016159514A (ja) 2015-03-02 2016-09-05 富士フイルム株式会社 液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの異物排出方法
US10022979B2 (en) 2016-01-08 2018-07-17 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection apparatus, and manufacturing method
US10040290B2 (en) 2016-01-08 2018-08-07 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head, liquid ejection apparatus, and method of supplying liquid
US9962937B2 (en) 2016-01-08 2018-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and liquid ejection device
US10179453B2 (en) 2016-01-08 2019-01-15 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and liquid ejection apparatus
US9931845B2 (en) 2016-01-08 2018-04-03 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection module and liquid ejection head
US10214014B2 (en) 2016-02-12 2019-02-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejection head and liquid ejection apparatus
JP6669393B2 (ja) 2016-03-25 2020-03-18 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出ヘッドの温度制御方法
JP6808347B2 (ja) 2016-04-28 2021-01-06 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP6750855B2 (ja) 2016-05-27 2020-09-02 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005125670A (ja) * 2003-10-24 2005-05-19 Sony Corp 液体吐出装置
JP2012061717A (ja) * 2010-09-16 2012-03-29 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
WO2016175865A1 (en) * 2015-04-30 2016-11-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection device

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