CN108474753B - 放射线检测装置、放射线检查系统及放射线检测装置的调节方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种X射线检测装置,所述X射线检测装置(10)是检测透过了检查对象物的放射线的装置,其具备:滤光片(50),其使透射X射线的一部分衰减;检测部(20),其检测由滤光片(50)使一部分衰减了的透射X射线;箱体(30);保持架(40),其具有一个狭缝(42)。检测部(20)具有线性传感器(21)和与线性传感器(21)接近地并列配置的线性传感器(22)。保持架(40)以滤光片(50)覆盖狭缝(42)的一部分的方式将滤光片(50)保持在规定的位置,线性传感器(22)检测由滤光片(50)进行衰减后的X射线。
Description
技术领域
本发明涉及放射线检测装置、放射线检查系统及放射线检测装置的调节方法。
背景技术
向食品或医药品等检查对象物照射X射线,且从其透射X射线图像上检查对象物中有无异物的技术正在广泛流行。该检查中,使用具备对从X射线源照射到对象物的X射线的透射图像进行检测的线性传感器的X射线检测装置。在该X射线检测装置中,在要检测的异物不同的情况下(例如,在异物为肉食所含的骨头或者为金属的情况下),采用例如并列配置有两个线性传感器的结构,以使其能够分别检测不同能量范围的X射线。而且,在从这两个线性传感器产生的X射线图像中得到减影图像的情况下,为了得到更清晰的图像,优选减小线性传感器间的间隔。在此,提出了例如以将两个线性传感器并列于共用的传感器基板的方式形成,且减小两线性传感器间的间隔(非灵敏区)的技术(例如,参照专利文献1的图3)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:特开2010-117170号公报
专利文献2:特开2002-168803号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
可是,在能够检测不同异物的X射线检测装置中,优选能够灵活地变更检测灵敏度,以根据用途在考虑到SN比的条件下还能够检测各种能量范围的X射线,但在这种情况下,需要改变闪烁器,或者追加滤光片而进行调节。但是,每逢进行调节,都要更换闪烁器,这是很困难的。另一方面,例如,专利文献2中提有改变滤光片的结构。但是,专利文献2的结构中,各传感器比较大,且彼此独立,难以直接用在如专利文献1那样两个线性传感器接近地配置的结构中。
本发明是鉴于这种问题点而完成的,其目的在于,提供一种放射线检测装置、具备该放射线检测装置的放射线检查系统及该放射线检测装置的调节方法,其在线性传感器彼此接近地配置的放射线检测装置中,能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
用于解决技术问题的手段
本发明的一个实施方式的放射线检测装置从放射线源向检查对象物照射放射线,检测透过了该检查对象物的放射线,其具备:滤光片,其使入射的放射线的一部分衰减;检测部,其检测由滤光片使一部分衰减后的放射线;箱体,其将检测部收纳于内部;以及保持架,其具有能够通过入射的放射线的第一狭缝,配置于箱体的主面,并保持滤光片。在该放射线检测装置中,检测部具有:具有第一像素宽度的像素一维地排列而成的第一线性传感器、和具有第二像素宽度的像素一维地排列且以比第一及第二像素宽度窄的间隔与第一线性传感器并列配置的第二线性传感器,保持架以滤光片覆盖第一狭缝的至少一部分的方式将滤光片保持于规定位置,第二线性传感器检测由滤光片进行衰减后的放射线。
在该放射线检测装置中,具备彼此接近配置的第一及第二线性传感器作为检测部,通过保持架以滤光片覆盖保持架所具有的第一狭缝的一部分的方式将滤光片保持在规定位置,从而第二线性传感器检测由滤光片进行衰减后的放射线。这样,通过另外设置能够进行滤光片的定位的保持架,从而能够容易地变更使放射线衰减的滤光片的种类。其结果是,根据本发明的一个实施方式,在线性传感器彼此接近地配置的放射线检测装置中,能够容易将检测灵敏度更新至各种能量带。
在上述的放射线检测装置中,保持架也可以具有用于以滤光片部分地覆盖第一狭缝的方式定位该滤光片的定位部。在这种情况下,通过定位部位于保持架,即使进行改变了材料或厚度的各种滤光片的更换,更换后的滤光片也被可靠地定位在规定场所,能够容易地维持第一线性传感器检测未由滤光片进行衰减的放射线且第二线性传感器检测由滤光片进行衰减后的放射线的状态。此外,在这种情况下,定位部优选采用将滤光片的长度方向的两端进行固定的结构。这样,通过采用这样固定两端的结构,从而能够抑制定位部对中央区域中的放射线的检测产生影响。
在上述的放射线检测装置中,滤光片和第二线性传感器的距离也可以为10mm以上且30mm以下。在这种情况下,能够降低要照射的放射线的散射线的影响,在各线性传感器中,能够更灵敏地检测透射放射线。
在上述的放射线检测装置中,检测部还可以具有:配置在第一线性传感器上的第一闪烁器、和配置在第二线性传感器上的第二闪烁器。在这种情况下,例如,作为第一及第二闪烁器,采用不同性能的闪烁器,第一及第二线性传感器可使用相同的传感器。另一方面,第一及第二线性传感器也可以均为直接变换型放射线检测器。在这种情况下,因为不需要另外设置闪烁器,所以能够消减零件数量。
在上述的放射线检测装置中,箱体也可以具有与保持架的第一狭缝对应的第二狭缝。在这种情况下,由各线性传感器检测的透射放射线会通过第一及第二狭缝,能够降低箱体原材料对各线性传感器的透射放射线的检测产生的影响。此外,在这种情况下,上述的放射线检测装置还可以具备覆盖第二狭缝的遮光膜,遮光膜配置在保持架和箱体之间。在这种情况下,能够防止异物(粉体、垃圾等)从第二狭缝侵入到箱体内部。
在上述的放射线检测装置中,第一线性传感器也可以检测未由滤光片进行衰减的放射线。另外,第一线性传感器也可以检测由滤光片进行衰减后的放射线。
另外,本发明中作为另一侧面,涉及放射线检查系统,该放射线检查系统具备:放射线源,其向检查对象物照射放射线;上述的任一种放射线检测装置;以及输送机构,其在与由放射线源产生的放射线的照射方向交叉的方向上输送检查对象物。在该检查系统中,与上述同样,由于能够容易地变更使放射线衰减的滤光片的种类,因此在彼此接近地配置有线性传感器的放射线检测装置中,能够容易将检测灵敏度更新至各种能量带,从而进行各种种类的检查对象物的检查。
另外,本发明中,作为又一另一侧面,涉及上述的任一种放射线检测装置的调节方法,该调节方法具备如下工序:准备具有不同衰减功能的多个滤光片作为上述滤光片的工序;将多个滤光片依次保持于保持架的规定位置,并检测各自的放射线的工序;根据所检测的放射线的结果选择多个滤光片中的最佳滤光片的工序。在这种情况下,因为能够容易地从具有不同衰减功能的滤光片中选择最佳滤光片,所以能够容易地进行放射线检测装置的调节方法,能够容易地将放射线检测装置中的检测灵敏度更新至各种能量带。此外,在本发明中,也可以还具有在通过该调节方法进行调节后的放射线检测装置中,将在选择工序中选择到的最佳滤光片保持固定在保持架的规定位置的工序,从而制造放射线检测装置。通过这种制造方法,能够容易地制造可容易地将检测灵敏度更新至各种能量带的放射线检测装置。
发明效果
根据本发明,在彼此接近地配置有线性传感器的放射线检测装置中,能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
附图说明
图1是示意性地表示本实施方式的X射线检查系统的立体图;
图2是示意性地表示本实施方式的X射线检测装置的截面图;
图3是表示使用铜及铝作为滤光片时的半价层和管电压的关系的表,(a)表示的是无滤光片的情况和使用0.1mm厚的铜作为滤光片的情况的比较,(b)表示的是无滤光片的情况、使用0.1mm厚的铜作为滤光片的情况、以及使用0.1mm厚的铝作为滤光片的情况的比较,(c)表示的是无滤光片的情况、使用0.1mm厚的铜作为滤光片的情况、以及使用0.5mm厚的铜作为滤光片的情况的比较;
图4是本实施方式的X射线检测装置的一例的立体图;
图5是将图4所示的X射线检测装置的一例的上部进行分解所得的一部分分解立体图;
图6是图4所示的X射线检测装置的一例的沿着VI-VI线的截面图;
图7是表示图4所示的X射线检测装置的一例的保持架的立体图,(a)表示的是在保持架上配置有滤光片的状态,(b)表示的是在保持架上未配置有滤光片的状态;
图8是本实施方式的X射线检测装置的另一例的截面图。
符号说明
1……X射线检查系统(放射线检查系统)
3……带式输送机(输送机构)
5……X射线照射器(放射线源)
10、10A……X射线检测装置(放射线检测装置)
20……检测部
21、22……线性传感器
24、25……闪烁器
30……箱体
31……主面
32……狭缝(第二狭缝)
40……保持架
42……狭缝(第一狭缝)
44a、44b……定位部
50……滤光片
55……遮光膜
具体实施方式
下面,参照附图对本发明的最佳实施方式进行详细说明。此外,在说明中,同一元件或具有同一功能的元件使用同一符号,重复的说明省略。
图1是示意性地表示本实施方式的X射线检查系统的立体图。图2是示意性地表示本实施方式的X射线检测装置的截面图。如图1所示,X射线检查系统1(放射线检查系统)具备:带式输送机3(输送机构)、X射线照射器5(放射线源)以及X射线检测装置10(放射线检测装置)。X射线检查系统1向照射方向Z对检查对象物S照射来自X射线照射器5的X射线,在多个能量范围内检测所照射的X射线中的透过了检查对象物S的透射X射线。X射线检查系统1使用由透射X射线形成的图像,进行检查对象物S所含的异物检查及行李检查等。作为由X射线检查系统1检查的检查对象物S,例如可广泛举出:肉食或软罐头食品等食品、轮胎等橡胶制品、用于行李检查的行李、树脂制品、电线等金属制品、矿物等资源材料、用于分类或资源回收的对废弃物、电子部件等等。另外,作为检查对象物S中的应检测异物,也有很多种。因此,在X射线检查系统1中,优选能够根据检查对象物S的物理属性或应检测异物的种类,灵活地变更各X射线检测装置10的检测灵敏度。
带式输送机3具有能载置检查对象物S的输送带部7。带式输送机3通过使输送带部7在输送方向Y上移动,以规定的速度在输送方向Y上输送检查对象物S。
X射线照射器5(放射线源)是在照射方向Z上向检查对象物S照射X射线的装置,例如,X射线源。X射线照射器5例如为点光源,在与照射方向Z及输送方向Y垂直的检测方向X上在规定的角度范围内进行使X射线扩散的照射。X射线照射器5距输送带部7离开规定距离而配置在输送带部7的上方,以使X射线的照射方向Z朝向输送带部7,并且扩散的X射线波及到检查对象物S的宽度方向(检测方向X)的大致整体。X射线照射器5在检查对象物S的长度方向(输送方向Y)上,将长度方向的规定的分割范围设为一次照射范围,通过检查对象物S由带式输送机3沿输送方向Y输送,从而对检查对象物S的长度方向整体照射X射线。
X射线检测装置10(放射线检测器)是检测从X射线照射器5向检查对象物S照射且透过了检查对象物S的X射线的装置,例如,为X射线检测照相机。X射线检测装置10为了对透过了检查对象物S的X射线进行检测,而以在X射线照射器5的照射方向上位于检查对象物S的下游侧的方式配置在例如输送带部7的下方。如沿着宽度方向的截面即图2所示,这种X射线检测装置10具备:检测透射X射线的检测部20、将检测部20收纳于内部的箱体30、配置在箱体30的主面31上的保持架40、以及由保持架40保持且使透过了检查对象物S的X射线的一部分衰减的滤光片50。
检测部20由两个线性传感器21、22、基板23、两个闪烁器24、25构成,在不同的能量范围内检测从X射线照射器5照射且透过了检查对象物S的X射线(入射到检测装置的X射线)。线性传感器21、22例如相邻地形成在由硅构成的基板23内,线性传感器21是像素宽度LW的像素一维(图2的与纸面垂直的方向,图1的X方向)地排列而成的直线状传感器,线性传感器22是像素宽度HW的像素一维地排列而成的直线状传感器。线性传感器22以比像素宽度LW、HW都狭窄的间隔NW与线性传感器21并列的方式配置。像素宽度LW、HW例如可以分别为0.6mm左右为彼此相同的宽度,也可以为不同的宽度,各传感器间的间隔NW例如也可以为0.2mm左右。在线性传感器21上配置有低能量用闪烁器24,在线性传感器22上配置有高能量用闪烁器25。在图2的例子中,例如,闪烁器24、25由不同的材料构成,或者以不同的厚度构成,由此,检测部20能够检测不同能量带的X射线。
箱体30在照射X射线的一侧具有:用于通过X射线的一个狭缝32(第二狭缝)、由铅等构成的遮蔽部件33,以与该狭缝32对应且位于X射线可通过的区域的方式将检测部20收纳于其内部。箱体30的遮蔽部件33以外的主体部分例如由铝等构成。此外,也可以采用如在狭缝32的上部且在与保持架40之间设置遮光膜55从而粒子等不会侵入到箱体30的内部那样的结构。此外,遮光膜55也可以具有使透过了检查对象物S的X射线的一部分衰减的性能。
保持架40例如是由铝构成的板状保持部件,在其中央部分具有与箱体30的狭缝32的长度(图2的垂直于纸面的方向)及宽度(图2的左右方向)大致一致的一个狭缝42(第一狭缝)。狭缝42只要与狭缝32对应即可,不必长度及宽度两者都一致,例如,长度大致一致,但狭缝42的宽度也可以比狭缝32宽。此外,各狭缝32、42的宽度为微小的宽度,例如优选为2mm~5mm程度,即,5mm以下。
另外,保持架40以滤光片50覆盖该一个狭缝42的一部分(例如,宽度方向的一半的区域)而使透射X射线的一部分(一半)衰减的方式由定位机构定位保持滤光片50。更具体地说,保持架40以直线状延伸的由窄长片构成的滤光片50的宽度方向的一端(图示左端)在透射X射线的行进方向上与检测部20的线性传感器21、22间的区域对应的方式定位保持滤光片50。此外,保持架40即使通过该定位机构而更换为由不同种类(厚度或材料)构成的滤光片,与线性传感器21、22的相对位置也不变,容易进行滤光片50的更换。另外,滤光片50优选通过保持架40,以与线性传感器21、22的距离成为10mm以上且30mm以下的方式来保持。
这样保持于保持架40的滤光片50是由不同于检查对象物S的材料形成的薄板状部件,例如由聚苯乙烯、聚乙烯、聚氨酯、聚丙烯、特氟隆(注册商标)、ABS树脂、AS树脂、丙烯酸、聚酰胺、PET、GF-PET、PBT、聚碳酸酯、PPS、PTFE、PSF、PI等树脂;非晶碳、石墨等碳纤维原材料;铍、铝、钛、铁、锌、钼、锡、金、银、铜、铂、铅、钽、钆、钬、镱等金属构成。滤光片50可根据希望的衰减量即由两个线性传感器接受到的X射线的能量差和SN比,从上述的材料等中适当选择,但优选例如从铜及铝中选择。铜及铝因为X射线遮蔽力高且易加工,所以通过选择这两种材料,容易进行滤光片厚度的调节。此外,图3(a)~(c)表示例如使用铜(厚度0.1mm、0.5mm)或铝(0.1mm)等作为滤光片50时的管电压(kV)和半价层(mm)之间的关系。所谓半价层,是指通过在X射线的线束中放置有特定物质时由于吸收而放射线的量减至一半时的物质的厚度,是用于评价X射线的能量特性的指标。具体而言,半价层越厚,能量越高。
这样,在X射线检测装置10中,通过上述的结构,配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21能够直接(不经由滤光片50)检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S的低能量范围的X射线,从而生成低能量图像数据。另一方面,配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S并由滤光片50进行衰减后的高能量范围的X射线,从而生成高能量图像数据。并且,在X射线检测装置10中,因为使用配置于箱体30外的保持架40进行滤光片50的定位,所以不会变更箱体30内的检测部20等的配置或结构,另外,在更换滤光片时,不会伤及闪烁器24、25,并能够容易地变更滤光片50的种类,在彼此接近地配置有线性传感器的X射线检测装置10中,能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
接下来,参照图4~图7对X射线检测装置10的一例进行说明。图4是本实施方式的X射线检测装置的一例的立体图。图5是将图4所示的X射线检测装置的一例的上部进行分解所得的一部分分解立体图。图6是图4所示的X射线检测装置的一例的沿VI-VI线的截面图。图7是表示图4所示的X射线检测装置的一例的保持架及滤光片的立体图,(a)表示的是在保持架上配置有滤光片的状态,(b)表示的是在保持架上未配置有滤光片的状态。
如上所述,X射线检测装置10具备:检测部20、箱体30、保持架40及滤光片50。如图4~图6所示,箱体30由在内部具有空间的箱状的上箱体34、以及板状且在其中央具有突出部35a的下箱体35构成。通过下箱体35的突出部35a嵌入到上箱体34的内部,上箱体34和下箱体35以粒子等不会进入箱体30的内部的方式嵌合。上箱体34及下箱体35例如由铝等构成。另外,在下箱体35的突出部35a的上表面配置有检测部20的基板23,在该基板23上形成有线性传感器21、22(参照图2)。在线性传感器21上粘接配置有闪烁器24,在线性传感器22上粘接配置有闪烁器25。
在箱体30内,在检测部20的上方设有用于防止从X射线照射器5照射的X射线直接入射到内部的板状遮蔽部件33。在遮蔽部件33中,在其中央部设有狭缝33a,狭缝33a具有与其它狭缝32、42对应的长度及宽度,以从X射线照射器5照射的X射线到达检测部20的方式形成。另外,用于支承遮蔽部件33的支承板39配置在遮蔽部件33的下方,支承板39安装在箱体30的上箱体34的内周面的凹部。支承板39例如由不锈钢等构成,在支承板39上也设有与狭缝33a同样的狭缝。
如图5~图7所示,在箱体30的主面31上,经由螺钉孔46、47通过固定螺钉48、49而安装有保持架40。保持架40在其中央具有沿长度方向延伸的贯通孔即狭缝42。另外,保持架40具有在长度方向上比该狭缝42稍长地延伸的载置部44。载置部44是非贯通的凹部,以与滤光片50的外形大致一致的方式形成,是用于将滤光片50载置于其上的部分。在载置部44的两端形成有用于不使滤光片50移动的定位部44a、44b,通过这两个定位部44a、44b,来限制滤光片50的一个侧面侧的移动。另外,滤光片50的另一个侧面的大致整个面都与载置部44的狭缝42相反侧的内侧面一致,也限制滤光片50向狭缝42相反侧的移动。此外,载置部44的下表面与滤光片50的形状不完全一致,滤光片50的一部分架在狭缝42上。
滤光片50载置在上述的保持架40的载置部44,通过由定位部44a、44b限制向狭缝42侧的移动,以仅覆盖保持架40的狭缝42的大致一半的方式高精度地被定位。即,滤光片50未架在狭缝42的剩余一半上。通过这种结构,在透过了检查对象物S的X射线内,分为由滤光片50进行衰减的透射X射线、和未由滤光片50进行衰减的透射X射线这两种,未衰减的透射X射线会入射到低能量用闪烁器24,衰减后的透射X射线会入射到高能量用闪烁器25。此外,保持架40通过将固定螺钉48、49分别插入到形成于一个角部附近的螺钉孔46、和形成于位于其对角线上的另一个角部附近的螺钉孔47内而被固定,从而被固定于箱体30的主面31。另外,遮光膜55夹在上箱体34和保持架40之间,通过该遮光膜,来防止不必要的光的入射。另外,由于该遮光膜55以覆盖狭缝32的方式被载置于载置部36,因此粒子等不会侵入到箱体30的内部。遮光膜55例如由铝带或聚乙烯带等构成。
这里,对上述的X射线检测装置10的调节方法进行简单说明。如上所述,在X射线检测装置10中,滤光片50通过载置在保持架40的载置部44,以滤光片50仅位于检测部20的线性传感器22的上方的方式自动定位。因此,首先准备由同一形状构成且衰减量不同(厚度或材料不同)的多个滤光片50。然后,将这多个滤光片50依次载置于保持架40的载置部44,通过定位部44a、44b,保持于规定的位置,检测各自情况下的透射X射线。然后,根据所检测到的X射线的结果,从多个滤光片50中,选择能够更正确地检测要检查的检查对象物S和异物,即能够得到所希望的能量差和SN比的最佳滤光片。通过这种方法,能够容易地选择与特定的检查对象物S的检测相匹配的滤光片而进行更新。此外,通过将这样选择到的滤光片直接保持固定在保持架40的规定位置而用于X射线检测装置10上,也能够容易地制造具有最佳检测灵敏度的X射线检测装置10。
以上,在本实施方式的X射线检测装置10中,具备彼此接近配置的线性传感器21、22作为检测部,保持架40将滤光片50保持在规定的位置,以使其通过滤光片50部分地覆盖保持架40所具有的狭缝42,而线性传感器21检测未由滤光片50进行衰减的透射X射线,且线性传感器22检测由滤光片50进行衰减后的透射X射线。这样,通过另外设置能够进行滤光片50的定位的保持架40,能够容易地变更使X射线衰减的滤光片50的种类(厚度或材料)。其结果是,根据本实施方式,在彼此接近地配置有线性传感器21、22的X射线检测装置10中,能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
另外,在本实施方式的X射线检测装置10中,保持架40具有用于以滤光片50部分地覆盖狭缝42的方式将该滤光片50定位的定位部44a、44b。通过具有定位部44a、44b,即使进行滤光片更换,更换后的滤光片也被可靠地定位在规定的场所,能够容易地维持线性传感器21检测未由滤光片50进行衰减的X射线且线性传感器22检测由滤光片50进行衰减后的X射线的状态。并且,在本实施方式中,定位部44a、44b成为固定滤光片50的长度方向的两端的结构。通过采用这样固定两端的结构,能够抑制定位部44a、44b对中央区域的放射线的检测产生影响。
另外,在本实施方式的X射线检测装置10中,优选滤光片50和线性传感器21、22的距离为10mm以上且30mm以下。在这种情况下,能够降低要照射的X射线的散射线的影响,在各线性传感器21、22中,能够更灵敏地检测透射X射线。
另外,在本实施方式的X射线检测装置10中,检测部20还具有:配置在线性传感器21上的闪烁器24、和配置在线性传感器22上的闪烁器25。如果是这种结构,例如,作为闪烁器24、25,可采用不同性能的闪烁器,线性传感器21、22可使用相同的传感器。
另外,在本实施方式的X射线检测装置10中,箱体30具有与保持架40的狭缝42对应的狭缝32。因此,由各线性传感器21、22检测的透射X射线会通过两狭缝32、42,能够降低箱体原材料对各线性传感器21、22的透射X射线的检测产生的影响。此外,在本实施方式中,X射线检测装置10还具备覆盖狭缝32的遮光膜55,遮光膜55配置在保持架40和箱体30之间。因此,能够降低不必要的光向检测部20的入射,能够防止异物(粉体、垃圾等)从狭缝32侵入到箱体30的内部。
另外,本实施方式的X射线检查系统1具备:向检查对象物S照射X射线的X射线照射器5、X射线检测装置10、在与由X射线照射器5产生的X射线的照射方向交叉的方向上输送检查对象物S的带式输送机3。在该X射线检查系统1中,与X射线检测装置10同样,由于能够容易地变更使X射线衰减的滤光片50的种类,因此在线性传感器21、22彼此接近地配置的X射线检测装置10中,能够容易地将检测灵敏度更新到各种能量带,从而进行多种类的检查对象物的检查。
另外,本实施方式的X射线检测装置10的调节方法具备:准备具有不同衰减功能的多个滤光片作为滤光片50的工序、将多个滤光片依次保持在保持架40的规定位置且检测各自的X射线的工序、根据所检测到的X射线的结果来选择多个滤光片中的最佳滤光片的工序。通过这种调节方法,能够容易地从具有不同衰减功能的滤光片中选择最佳滤光片,所以能够容易地进行X射线检测装置10的调节,能够容易且灵活地将X射线检测装置10的检测灵敏度更新至各种能量带。此外,在通过该调节方法进行了调节的X射线检测装置10中,也可以还具备将在选择工序中选择到的最佳滤光片保持固定在保持架40的规定位置的工序,从而制造X射线检测装置10。通过这种制造方法,能够容易地制造可容易地将检测灵敏度更新至各种能量带的X射线检测装置。
以上,对本发明的最佳实施方式进行了详细说明,但本发明不局限于上述实施方式,可进行种种变形。例如,在上述实施方式中,为将放射线变换为可见光等而使用了闪烁器,但也可以不使用闪烁器,作为线性传感器,也可以使用直接变换型的放射线检测器(例如,硅半导体、无定形硒(a-Se)半导体、碲化镉(CdTe)半导体、碲化锌镉(CdZnTe)半导体等)。在这种情况下,因为不需要另外设置闪烁器,所以能够消减零件数量。
另外,在上述实施方式中,对X射线检测装置10的一例进行了说明,但不局限于此,可进行种种变形。例如,在图6所示的X射线检测装置10中,透过了检查对象物S的X射线分为由滤光片50进行衰减的透射X射线、和未由滤光片50进行衰减的透射X射线,成为未衰减的透射X射线入射到低能量用闪烁器24,衰减后的透射X射线入射到高能量用闪烁器25的结构。但是,作为X射线检测装置的另一例,也可以采用保持架40以向高能量用闪烁器25及低能量用闪烁器24都入射由滤光片50进行衰减后的透射X射线的方式将滤光片50保持在规定位置的结构。
例如,在图8所示的X射线检测装置10A中,保持架40具有两个载置部44及载置部45。滤光片50载置于保持架40的载置部44,另一方面,滤光片51载置于保持架40的载置部45。即,滤光片50及滤光片51以覆盖狭缝42整体的方式保持于保持架40。通过这种结构,透过了检查对象物S的X射线分为由滤光片50进行衰减的透射X射线、和由滤光片51进行衰减的透射X射线,由滤光片51进行衰减后的透射X射线入射到低能量用闪烁器24,由滤光片50进行衰减后的透射X射线入射到高能量用闪烁器25。此外,在该X射线检测装置10A中,滤光片50、51在载置部44、45进行彼此的定位,也可不包含定位部44a、44b之类的结构。
这样,通过另外设置可载置滤光片50、51的保持架40A,在变形例的X射线检测装置10A中,能够通过变更滤光片50及滤光片51的种类或厚度,来有选择地改变向低能量用闪烁器24及高能量用闪烁器25入射的透射X射线的能量。即,与X射线检测装置10同样,在线性传感器21、22彼此接近地配置的X射线检测装置10A中,能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。此外,在X射线检测装置10A中,滤光片50及滤光片51可以为一体的滤光部件,也可以为分开的滤光部件。
产业上的可利用性
本发明可用在检测透过了检查对象物的放射线的放射线检测装置、放射线检查系统及放射线检测装置的调节方法上。
Claims (13)
1.一种放射线检测装置,其中,
所述放射线检测装置从放射线源向检查对象物照射放射线,检测透过了该检查对象物的放射线,
具备:
滤光片,其使入射的放射线的一部分衰减;
检测部,其检测由所述滤光片使一部分衰减后的放射线;
箱体,其将所述检测部收纳于内部;和
保持架,其具有可使所述入射的放射线通过的第一狭缝以及将所述滤光片载置于其上并保持所述滤光片的凹部形状的载置部,配置于所述箱体的主面的外侧,
所述检测部具有:具有第一像素宽度的像素一维地排列而成的第一线性传感器、和具有第二像素宽度的像素一维地排列且以比所述第一及第二像素宽度窄的间隔与所述第一线性传感器并列配置的第二线性传感器,
所述保持架的所述载置部以所述滤光片的宽度方向的一端在所述放射线的行进方向上与所述检测部的所述第一线性传感器和所述第二线性传感器间的区域对应从而所述滤光片覆盖所述第一狭缝的一部分的方式载置所述滤光片,
所述第二线性传感器检测由所述滤光片进行衰减后的放射线。
2.根据权利要求1所述的放射线检测装置,其中,
所述保持架具有用于以所述滤光片部分地覆盖所述第一狭缝的方式将该滤光片定位的定位部。
3.根据权利要求2所述的放射线检测装置,其中,
所述定位部对所述滤光片的长度方向的两端进行固定。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的放射线检测装置,其中,
所述滤光片和所述第二线性传感器的距离为10mm以上且30mm以下。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的放射线检测装置,其中,
所述检测部还具有:配置在所述第一线性传感器上的第一闪烁器、和配置在所述第二线性传感器上的第二闪烁器。
6.根据权利要求1~3中任一项所述的放射线检测装置,其中,
所述第一线性传感器及第二线性传感器均为直接变换型放射线检测器。
7.根据权利要求1~3中任一项所述的放射线检测装置,其中,
所述箱体具有与所述保持架的所述第一狭缝对应的第二狭缝。
8.根据权利要求7所述的放射线检测装置,其中,
还具备覆盖所述第二狭缝的遮光膜,
所述遮光膜配置在所述保持架和所述箱体之间。
9.根据权利要求1~3中任一项所述的放射线检测装置,其中,
所述第一线性传感器检测未由所述滤光片进行衰减的放射线。
10.根据权利要求1~3中任一项所述的放射线检测装置,其中,
所述第一线性传感器检测由所述滤光片进行衰减后的放射线。
11.一种放射线检查系统,其中,
具备:
放射线源,其向所述检查对象物照射放射线;
权利要求1~10中任一项所述的放射线检测装置;以及
输送机构,其在与由所述放射线源产生的所述放射线的照射方向交叉的方向上输送所述检查对象物。
12.一种放射线检测装置的调节方法,其中,
所述放射线检测装置是权利要求1~10中任一项所述的放射线检测装置,
所述放射线检测装置的调节方法具备如下工序:
准备具有不同衰减功能的多个滤光片作为所述滤光片的工序;
将所述多个滤光片依次保持在所述保持架的规定位置,检测各自的放射线的工序;和
根据所述检测到的放射线的结果,选择所述多个滤光片中的最佳滤光片。
13.一种放射线检测装置的制造方法,其中,
所述放射线检测装置是基于权利要求12所述的调节方法的放射线检测装置,
所述放射线检测装置的制造方法进一步具备如下工序:
将在所述选择工序中选择的所述最佳滤光片保持固定在所述保持架的所述规定位置的工序。
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