CN108455164B - 传送组件及传送装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种传送组件及传送装置，属于机械技术领域。所述传送组件包括：传送本体和载台，载台设置在传送本体上，且传送本体能够驱动载台沿预设传送方向移动；载台在预设传送方向上的长度小于传送本体在预设传送方向上的长度。本申请解决了杂质颗粒会划伤基板的问题，且基板被划伤的概率较小，本申请用于传送物体。

Description

传送组件及传送装置

技术领域

本申请涉及机械技术领域，特别涉及一种传送组件及传送装置。

背景技术

湿法刻蚀是制造显示面板过程中的重要步骤。在湿法刻蚀前，需要使用传送装置将待刻蚀的基板传送至刻蚀区域进行刻蚀。

相关技术中，传送装置包括机械手，以及由多个平行设置的滚轮组成的传送组件，且在传送装置在工作时，这些滚轮均沿顺时针或逆时针转动。在需要使用传送装置传送待刻蚀的基板时，可以控制机械手将基板置于多个滚轮上，并控制多个滚轮沿同一方向转动，从而使得位于多个滚轮上的基板在多个滚轮的驱动下进行移动。

但是，由于相关技术中传送装置表面经常会附着有杂质颗粒，当基板在多个滚轮上移动时，该杂质颗粒会划伤基板。

发明内容

本申请提供了一种传送组件及传送装置，可以解决杂质颗粒会划伤基板的问题，所述技术方案如下：

一方面，提供了一种传送组件，所述传送组件包括：传送本体和载台，

所述载台设置在所述传送本体上，且所述传送本体能够驱动所述载台沿预设传送方向移动；所述载台在所述预设传送方向上的长度小于所述传送本体在所述预设传送方向上的长度。

可选的，所述传送本体包括：平行设置的多个滚轮，所述滚轮的轴向方向垂直于所述预设传送方向，所述多个滚轮在所述预设传送方向上的长度相等；

所述载台的底部设置有多个卡接槽，每个所述卡接槽的长度方向均垂直于所述预设传送方向，且所述卡接槽沿所述预设传送方向贯通所述载台的两侧，所述载台通过所述多个卡接槽与所述多个滚轮卡接。

可选的，所述载台远离所述传送本体的表面为承载面，所述承载面上设置有至少三个容置槽，且每个所述容置槽内设置有控制单元和一个支撑针，

所述控制单元能够控制所述一个支撑针伸出所述容置槽以及缩回所述容置槽，且每个所述支撑针伸出所述容置槽的部分的高度均相等，且所述载台中的所有支撑针均伸出容置槽后，能够对待传送物体进行支撑。

可选的，所述支撑针远离所述传送本体一端的横截面积，大于所述支撑针靠近所述传送本体一端的横截面积。

可选的，所述传送本体的第一端到第二端的方向为所述预设传送方向，所述多个容置槽中的任一容置槽为目标容置槽，所述目标容置槽内设置有目标控制单元和目标支撑针，所述目标控制单元用于：

在检测到所述载台位于所述传送本体的所述第一端时，若所述目标支撑针的伸出方向上未放置有所述待传送物体，则控制所述目标支撑针伸出所述目标容置槽，若所述目标支撑针的伸出方向上放置有所述待传送物体，则控制所述目标支撑针缩回所述目标容置槽；

在检测到所述载台位于所述传送本体的所述第二端时，若所述目标支撑针的伸出方向上放置有所述待传送物体，则控制所述目标支撑针伸出所述目标容置槽，若所述目标支撑针的伸出方向上未放置有所述待传送物体，则控制所述目标支撑针缩回所述目标容置槽。

可选的，所述目标容置槽内设置有与所述目标控制单元连接的第一传感器和第二传感器，所述传送本体的第一端设置有第一标记块，所述传送本体的第二端设置有第二标记块，

所述第一传感器用于感应所述第一标记块和所述第二标记块，所述第二传感器用于感应所述目标支撑针的伸出方向上的障碍物；

所述目标控制单元用于通过所述第一传感器检测所述载台在所述传送本体上的位置，以及通过所述第二传感器检测所述目标支撑针的伸出方向上是否放置有所述待传送物体。

可选的，所述承载面上设置有沿所述预设传送方向排布的三组容置槽，每组所述容置槽包括沿垂直于所述预设传送方向的方向排布的至少三个容置槽。

可选的，所述卡接槽在所述承载面上的正投影与所述容置槽不重合。

可选的，所述传送本体包括四个所述滚轮，所述载台的底部设置有四个所述卡接槽。

另一方面，提供了一种传送装置，所述传送装置包括传送组件和机械手，所述传送组件为上述传送组件。

本申请提供的技术方案带来的有益效果是：

由于传送组件中的传送本体上设置有载台，且该载台在预设传送方向上的长度小于传送本体在预设传送方向上的长度。所以，载台的承载面小于传送本体的承载面，载台的承载面上附着杂质颗粒的概率小于传送本体的承载面上附着杂质颗粒的概率，且在载台置于基板上时，基板与载台的接触面积较小，因此，当基板置于载台上，且传送本体驱动载台和基板移动时，基板被划伤的概率较小。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种传送组件的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种传送本体的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种载台的俯视图；

图4为本发明实施例提供的一种载台的截面示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。

在制造显示面板的过程中需要多次对显示面板进行传送，示例的，在湿法刻蚀前，需要使用传送装置将待刻蚀的基板传送至刻蚀区域进行刻蚀。

图1为本发明实施例提供的一种传送组件的结构示意图，如图1所示，该传送组件0可以包括：传送本体01和载台02。

载台02设置在传送本体01上，且传送本体01能够驱动载台02沿预设传送方向X移动；载台02在预设传送方向X上的长度小于传送本体01在预设传送方向X上的长度。

综上所述，本发明实施例提供的传送组件中，由于传送本体上设置有载台，且该载台在预设传送方向上的长度小于传送本体在预设传送方向上的长度。所以，载台的承载面小于传送本体的承载面，载台的承载面上附着杂质颗粒的概率小于传送本体的承载面上附着杂质颗粒的概率，且在载台置于基板上时，基板与载台的接触面积较小，因此，当基板置于载台上，且传送本体驱动载台和基板移动时，基板被划伤的概率较小。

可选的，图2为本发明实施例提供的一种传送本体的结构示意图，如图2所示，在图1的基础上，该传送本体01可以包括：平行设置的多个滚轮011，滚轮011的轴向方向垂直于预设传送方向X，多个滚轮011在预设传送方向X上的长度相等。也即是，多个滚轮011并排设置。

图3为本发明实施例提供的一种载台的俯视图，图4为本发明实施例提供的一种载台的截面示意图，且图4为图3中的截面YY’的截面示意图。请结合图3和图4，在图1的基础上，载台02的底部可以设置有多个卡接槽021，每个卡接槽021的长度方向均垂直于预设传送方向X，且卡接槽021沿预设传送方向X贯通载台02的两侧，载台02通过多个卡接槽021与图2中传送本体01上的多个滚轮011卡接。

示例的，该多个卡接槽021可以与多个滚轮011一一对应，在需要将载台02设置在传送本体01上时，可以将载台02放在传送本体01上方，并将传送本体01中的多个滚轮011一一放入载台02的多个卡接槽021内，从而使得载台02通过多个卡接槽021与图2中传送本体01上的多个滚轮011卡接。例如，传送本体01包括四个滚轮011，载台02的底部设置有四个卡接槽021，四个滚轮011分别设置在四个滚轮011中。传送本体可以通过控制所有的滚轮均沿同一方向转动，从而使得位于多个滚轮上的载台在与滚轮之间的摩擦力的作用下移动。

可选的，为了保证载台与多个滚轮的有效卡接，本发明实施例中可以设置每个卡接槽021的深度均大于该卡接槽的宽度。

可选的，载台02远离传送本体01的表面为载台02的承载面A，待传送物体(如基板)可以置于载台02的承载面A上。请继续结合图3和图4，该承载面A上设置有至少三个容置槽022，且每个容置槽022内设置有一个支撑针023，每个支撑针023能够伸出容置槽022以及缩回容置槽022，且每个支撑针023伸出容置槽022的部分的高度均相等，且载台中的所有支撑针023均伸出容置槽022后，能够对待传送物体进行支撑。且为了保证支撑针023能够有效的对待传送物体进行支撑，并防止待传送物体上与支撑针023接触的位置压力过大，本发明实施例中可以设置支撑针023远离传送本体一端的横截面积，大于该支撑针023靠近传送本体一端的横截面积。

示例的，承载面A上可以设置有沿预设传送方向X排布的三组容置槽022，每组容置槽022包括沿垂直于预设传送方向X的方向排布的至少三个容置槽022。卡接槽021在承载面A上的正投影可以与容置槽022不重合。

进一步的，传送本体的第一端到第二端的方向为预设传送方向，每个容置槽022内还可以设置有控制单元。假设多个容置槽中的任一容置槽为目标容置槽，目标容置槽内设置有目标控制单元和目标支撑针，则目标控制单元用于：在检测到载台位于传送本体的第一端时，若目标支撑针的伸出方向上未放置有待传送物体，则控制目标支撑针伸出目标容置槽，若目标支撑针的伸出方向上放置有待传送物体，则控制目标支撑针缩回目标容置槽；在检测到载台位于传送本体的第二端时，若目标支撑针的伸出方向上放置有待传送物体，则控制目标支撑针伸出目标容置槽，若目标支撑针的伸出方向上未放置有待传送物体，则控制目标支撑针缩回目标容置槽。

示例的，目标容置槽内还可以设置有与目标控制单元连接的第一传感器和第二传感器。传送本体的第一端可以设置有第一标记块，传送本体的第二端可以设置有第二标记块，该第一传感器可以用于感应第一标记块和第二标记块，第二传感器可以用于感应目标支撑针的伸出方向上的障碍物。

目标控制单元可以用于通过第一传感器检测载台在传送本体上的位置；例如，当该第一传感器感应到第一标记块时，目标控制单元可以确定此时载台位于传送本体的第一端；当该第一传感器感应到第二标记块时，目标控制单元可以确定此时载台位于传送本体的第二端。目标控制单元可以用于通过第二传感器检测目标支撑针的伸出方向上是否放置有待传送物体；例如，当该第二传感器感应到目标支撑针的伸出方向上的障碍物时，目标控制单元可以确定此时目标支撑针的伸出方向上放置有待传送物体；当该第二传感器未感应到目标支撑针的伸出方向上的障碍物时，目标控制单元可以确定此时目标支撑针的伸出方向上并未放置有待传送物体。

示例的，载台沿预设传送方向的长度可以为2500毫米，载台的宽度可以为2200毫米，载台的厚度可以为320毫米。载台中的每个容置槽均可以呈圆孔状，且容置槽的直径可以为40毫米。卡接槽可以呈方孔状，且卡接槽的宽度可以为150毫米，任意两个相邻的卡接槽的最短边缘距离为410毫米。

综上所述，本发明实施例提供的传送组件中，由于传送本体上设置有载台，且该载台在预设传送方向上的长度小于传送本体在预设传送方向上的长度。所以，载台的承载面小于传送本体的承载面，载台的承载面上附着杂质颗粒的概率小于传送本体的承载面上附着杂质颗粒的概率，且在载台置于基板上时，基板与载台的接触面积较小，因此，当基板置于载台上，且传送本体驱动载台和基板移动时，基板被划伤的概率较小。

本发明实施例提供了一种传送装置，该传送装置可以包括传送组件和机械手，且传送组件可以为图1、图2、图3或图4所示的传送组件。该机械手可以用于抓取待传送物体，并将该待传送物体放置在传送组件中载台的承载面上，以及从该承载面上卸下该待传送物体。

示例的，假设待传送物体为位于第一卡夹中的基板，且需要使用本发明实施例提供的传送装置将第一卡夹中的基板移动至第二卡夹中，第一卡夹靠近传送本体的第一端，第二卡夹靠近传送本体的第二端。

此时，可以通过传送本体驱动该载台移动至传送本体的第一端，以使得载台中的每个控制单元均控制位于同一容置槽中的支撑针伸出容置槽，并控制机械手从第一卡夹中夹取基板，以及将基板置于伸出的支撑针上。需要说明的是，每个支撑针伸出容置槽的部分均相等，因此基板能够平稳的置于所有伸出的支撑针上。在基板置于伸出的支撑针上后，每个容置槽内的控制单元均可以控制位于该容置槽内的支撑针缩回容置槽，以使得基板置于载台的承载面上。之后，就可以控制该传送本体驱动载台沿预设传送方向移动，直至移动至传送本体的第二端。

当载台位于传送本体的第二端时，载台中的每个控制单元均控制位于同一容置槽中的支撑针伸出容置槽，此时，可以控制机械手从载台上取下基板，并将基板放置在第二卡夹内，从而实现了将基板从第一卡夹移动至第二卡夹。且在基板从载台上取下后，载台中的每个控制单元均控制位于同一容置槽中的支撑针缩回容置槽。且由于本发明实施例中在将基板放置在载台上，以及从载台上取下基板时，每个控制单元均会控制位于同一容置槽中的支撑针伸出容置槽，以便于机械手方便的将基板放置在载台上，以及从载台上取下基板。

以上所述仅为本申请的可选实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种传送组件，其特征在于，所述传送组件包括：传送本体和载台，

所述载台设置在所述传送本体上，且所述传送本体能够驱动所述载台沿预设传送方向移动；所述载台在所述预设传送方向上的长度小于所述传送本体在所述预设传送方向上的长度；

所述传送本体的第一端到第二端的方向为所述预设传送方向，所述载台远离所述传送本体的表面为承载面，所述承载面上设置有至少三个容置槽，所述容置槽内设置有控制单元和支撑针，所述控制单元用于：

在检测到所述载台位于所述传送本体的所述第一端时，若所述支撑针的伸出方向上未放置有待传送物体，则控制所述支撑针伸出所述容置槽，若所述支撑针的伸出方向上放置有所述待传送物体，则控制所述支撑针缩回所述容置槽；

在检测到所述载台位于所述传送本体的所述第二端时，若所述支撑针的伸出方向上放置有所述待传送物体，则控制所述支撑针伸出所述容置槽，若所述支撑针的伸出方向上未放置有所述待传送物体，则控制所述支撑针缩回所述容置槽。

2.根据权利要求1所述的传送组件，其特征在于，所述传送本体包括：平行设置的多个滚轮，所述滚轮的轴向方向垂直于所述预设传送方向，所述多个滚轮在所述预设传送方向上的长度相等；

所述载台的底部设置有多个卡接槽，每个所述卡接槽的长度方向均垂直于所述预设传送方向，且所述卡接槽沿所述预设传送方向贯通所述载台的两侧，所述载台通过所述多个卡接槽与所述多个滚轮卡接。

3.根据权利要求2所述的传送组件，其特征在于，每个所述容置槽内设置有控制单元和一个支撑针，

所述控制单元能够控制所述一个支撑针伸出所述容置槽以及缩回所述容置槽，且每个所述支撑针伸出所述容置槽的部分的高度均相等，且所述载台中的所有支撑针均伸出容置槽后，能够对待传送物体进行支撑。

4.根据权利要求3所述的传送组件，其特征在于，

所述支撑针远离所述传送本体一端的横截面积，大于所述支撑针靠近所述传送本体一端的横截面积。

5.根据权利要求1至4任一所述的传送组件，其特征在于，所述容置槽内设置有与所述控制单元连接的第一传感器和第二传感器，所述传送本体的第一端设置有第一标记块，所述传送本体的第二端设置有第二标记块，

所述第一传感器用于感应所述第一标记块和所述第二标记块，所述第二传感器用于感应所述支撑针的伸出方向上的障碍物；

所述控制单元用于通过所述第一传感器检测所述载台在所述传送本体上的位置，以及通过所述第二传感器检测所述支撑针的伸出方向上是否放置有所述待传送物体。

6.根据权利要求3所述的传送组件，其特征在于，

所述承载面上设置有沿所述预设传送方向排布的三组容置槽，每组所述容置槽包括沿垂直于所述预设传送方向的方向排布的至少三个容置槽。

7.根据权利要求3所述的传送组件，其特征在于，

所述卡接槽在所述承载面上的正投影与所述容置槽不重合。

8.根据权利要求2所述的传送组件，其特征在于，

所述传送本体包括四个所述滚轮，所述载台的底部设置有四个所述卡接槽。

9.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括传送组件和机械手，所述传送组件为权利要求1至8任一所述的传送组件。

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