JP2000088701A - 基板支持具 - Google Patents
基板支持具Info
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- JP2000088701A JP2000088701A JP10262909A JP26290998A JP2000088701A JP 2000088701 A JP2000088701 A JP 2000088701A JP 10262909 A JP10262909 A JP 10262909A JP 26290998 A JP26290998 A JP 26290998A JP 2000088701 A JP2000088701 A JP 2000088701A
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- glass substrate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、基板面を安定した状態で支持できる
基板支持具を提供する。 【解決手段】ガラス基板１０の平面度を維持するように
該ガラス基板１０面を下方から支持するもので、土台ピ
ン１６１に回転ピン１６２を回転可能に支持するととも
に、この回転ピン１６２の先端に、該回転ピン１６２の
回転軸上で、この回転軸と直交する方向に設けられたロ
ーラピン１６３によりガラス基板１０の面に当接される
ローラ１６４を回転可能に支持している。
基板支持具を提供する。 【解決手段】ガラス基板１０の平面度を維持するように
該ガラス基板１０面を下方から支持するもので、土台ピ
ン１６１に回転ピン１６２を回転可能に支持するととも
に、この回転ピン１６２の先端に、該回転ピン１６２の
回転軸上で、この回転軸と直交する方向に設けられたロ
ーラピン１６３によりガラス基板１０の面に当接される
ローラ１６４を回転可能に支持している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ガラス
基板の製造や検査などの際に、基板裏面を支持する基板
支持具に関するものである。
基板の製造や検査などの際に、基板裏面を支持する基板
支持具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、表示装置として液晶表示装置（以
下、ＬＣＤと称する。）が多く用いられる傾向にあり、
このようなＬＣＤに用いられる液晶ガラス基板は、生産
コストの低減などを考慮して大型化している。
下、ＬＣＤと称する。）が多く用いられる傾向にあり、
このようなＬＣＤに用いられる液晶ガラス基板は、生産
コストの低減などを考慮して大型化している。
【０００３】そして、このような大形の液晶ガラス基板
の製造工程を始め、基板表面の傷などの検査に際して
は、液晶ガラス基板を基板保持装置に保持した安定した
状態で行なうようにしている。
の製造工程を始め、基板表面の傷などの検査に際して
は、液晶ガラス基板を基板保持装置に保持した安定した
状態で行なうようにしている。
【０００４】図５は、従来の基板保持装置の一例を示す
もので、透過照明光用開口１ａを有する基板ホルダー１
の周縁部に沿ってガラス基板２を基板ホルダー１上に吸
着させる吸着部３と、ガラス基板２を当て付けピン４方
向に押圧して所定位置に位置付け保持させる押付ピン５
を配置し、また、透過照明光用開口１ａを横断するよう
に一対の透明板６を設け、これら透明板６上に複数の支
持ピン７を突設し、これら支持ピン７の先端をガラス基
板２裏面に当接させることで、ガラス基板２の中央部を
保持できるようにしたものがある。
もので、透過照明光用開口１ａを有する基板ホルダー１
の周縁部に沿ってガラス基板２を基板ホルダー１上に吸
着させる吸着部３と、ガラス基板２を当て付けピン４方
向に押圧して所定位置に位置付け保持させる押付ピン５
を配置し、また、透過照明光用開口１ａを横断するよう
に一対の透明板６を設け、これら透明板６上に複数の支
持ピン７を突設し、これら支持ピン７の先端をガラス基
板２裏面に当接させることで、ガラス基板２の中央部を
保持できるようにしたものがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように構成したも
のでは、支持ピン７先端を基板裏面に当接させ、ガラス
基板２の中央部分を支持しているため、基板ホルダー１
上にガラス基板２を供給したり、取り除いたりする一連
の作業のたびに、支持ピン７先端がガラス基板２面に突
き当たることになる。このことは、常に支持ピン７先端
がガラス基板２裏面を擦るため、基板面に重大な傷を付
けるおそれがある。また、長い間の使用により支持ピン
７先端が摩耗して支持ピン７の高さが変化してしまい、
ガラス基板２の上下方向に設けられる観察装置および加
工装置の距離が変化してＬＣＤ製造過程に悪影響を及ぼ
すおそれもある。さらに、支持ピン７先端が摩耗してガ
ラス基板２面との接触面積が大きくなると、基板ホルダ
ー１上に保持した状態で、ガラス基板２を当て付けピン
４方向に押圧して僅かに移動させる場合に、かなりの力
量が必要となり、この基板整列動作が力量不足によりで
きなくなるというおそれもあった。本発明は、上記事情
に鑑みてなされたもので、基板面を安定した状態で支持
できる基板支持具を提供することを目的とする。
のでは、支持ピン７先端を基板裏面に当接させ、ガラス
基板２の中央部分を支持しているため、基板ホルダー１
上にガラス基板２を供給したり、取り除いたりする一連
の作業のたびに、支持ピン７先端がガラス基板２面に突
き当たることになる。このことは、常に支持ピン７先端
がガラス基板２裏面を擦るため、基板面に重大な傷を付
けるおそれがある。また、長い間の使用により支持ピン
７先端が摩耗して支持ピン７の高さが変化してしまい、
ガラス基板２の上下方向に設けられる観察装置および加
工装置の距離が変化してＬＣＤ製造過程に悪影響を及ぼ
すおそれもある。さらに、支持ピン７先端が摩耗してガ
ラス基板２面との接触面積が大きくなると、基板ホルダ
ー１上に保持した状態で、ガラス基板２を当て付けピン
４方向に押圧して僅かに移動させる場合に、かなりの力
量が必要となり、この基板整列動作が力量不足によりで
きなくなるというおそれもあった。本発明は、上記事情
に鑑みてなされたもので、基板面を安定した状態で支持
できる基板支持具を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基板の平面度を維持するように基板面を支持する基板支
持具において、固定部材と、この固定部材に回転可能に
支持された回転部材と、この回転部材の先端部にあって
該回転部材の回転軸と直交する回転軸を中心に回転可能
に支持されるとともに、前記基板面に当接されるローラ
とにより構成している。
基板の平面度を維持するように基板面を支持する基板支
持具において、固定部材と、この固定部材に回転可能に
支持された回転部材と、この回転部材の先端部にあって
該回転部材の回転軸と直交する回転軸を中心に回転可能
に支持されるとともに、前記基板面に当接されるローラ
とにより構成している。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記ローラは、前記回転部材の回転軸に対
し所定距離偏心した位置に、前記回転軸と直交する回転
軸を中心に回転可能に支持されることを特徴としてい
る。
明において、前記ローラは、前記回転部材の回転軸に対
し所定距離偏心した位置に、前記回転軸と直交する回転
軸を中心に回転可能に支持されることを特徴としてい
る。
【０００８】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載の発明において、前記固定部材に対する前記回転部
材の回転支持部に高さ調整部材を挿入可能にしたことを
特徴としている。
記載の発明において、前記固定部材に対する前記回転部
材の回転支持部に高さ調整部材を挿入可能にしたことを
特徴としている。
【０００９】この結果、請求項１記載の発明によれば、
基板面に対してローラが回転しながら接触するので、基
板面に傷を付けることを防止できるとともに、ローラ面
の摩耗による高さ寸法の変化も防止でき、さらに基板整
列動作も少ない力量で操作できる。
基板面に対してローラが回転しながら接触するので、基
板面に傷を付けることを防止できるとともに、ローラ面
の摩耗による高さ寸法の変化も防止でき、さらに基板整
列動作も少ない力量で操作できる。
【００１０】請求項２記載の発明によれば、ローラの基
板面に対する回転をスムーズにでき、ローラの摩耗をさ
らに少なくすることができる。請求項３記載の発明によ
れば、基板に撓みを生じさせない平面度を維持するため
の高さ寸法の微調整を行なうことができる。
板面に対する回転をスムーズにでき、ローラの摩耗をさ
らに少なくすることができる。請求項３記載の発明によ
れば、基板に撓みを生じさせない平面度を維持するため
の高さ寸法の微調整を行なうことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の基板支持具が適
用される基板保持装置の概略構成を示している。図にお
いて、１１は基板ホルダーで、この基板ホルダー１１
は、中央部に矩形状の透過照明光用開口部１１１を形成
した枠状をなすもので、この透過照明光用開口部１１１
上にガラス基板１０を載置するようになっている。
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１は、本発明の基板支持具が適
用される基板保持装置の概略構成を示している。図にお
いて、１１は基板ホルダーで、この基板ホルダー１１
は、中央部に矩形状の透過照明光用開口部１１１を形成
した枠状をなすもので、この透過照明光用開口部１１１
上にガラス基板１０を載置するようになっている。
【００１２】基板ホルダー１１上には、透過照明光用開
口部１１１を挟んで相対向する整列基準ピン１２１およ
び整列押付けピン１２２を配置し、また、これら整列基
準ピン１２１および整列押付けピン１２２の並び方向と
直交する方向に透過照明光用開口部１１１を挟んで相対
向する整列基準ピン１３１および整列押付けピン１３２
を配置している。ここで、整列基準ピン１２１および整
列押付けピン１２２は、整列押付けピン１２２の図示矢
印方向の移動により基板ホルダー１１上のガラス基板１
０を整列基準ピン１２１側に押圧して、基板ホルダー１
１上でのＸ方向の位置決めを行ない、整列基準ピン１３
１および整列押付けピン１３２は、整列押付けピン１３
２の図示矢印方向の移動により基板ホルダー１１上のガ
ラス基板１０を整列基準ピン１３１側に押圧して、基板
ホルダー１１上でのＹ方向の位置決めを行なうようにな
っている。
口部１１１を挟んで相対向する整列基準ピン１２１およ
び整列押付けピン１２２を配置し、また、これら整列基
準ピン１２１および整列押付けピン１２２の並び方向と
直交する方向に透過照明光用開口部１１１を挟んで相対
向する整列基準ピン１３１および整列押付けピン１３２
を配置している。ここで、整列基準ピン１２１および整
列押付けピン１２２は、整列押付けピン１２２の図示矢
印方向の移動により基板ホルダー１１上のガラス基板１
０を整列基準ピン１２１側に押圧して、基板ホルダー１
１上でのＸ方向の位置決めを行ない、整列基準ピン１３
１および整列押付けピン１３２は、整列押付けピン１３
２の図示矢印方向の移動により基板ホルダー１１上のガ
ラス基板１０を整列基準ピン１３１側に押圧して、基板
ホルダー１１上でのＹ方向の位置決めを行なうようにな
っている。
【００１３】基板ホルダー１１の透過照明光用開口部１
１１の周縁に沿って複数（図示例では８個）の吸着パッ
ド１４を配置している。これら吸着パッド１４は、整列
基準ピン１２１および整列押付けピン１２２、整列基準
ピン１３１および整列押付けピン１３２により位置決め
されたガラス基板１０を基板ホルダー１１上に吸着し固
定するものである。
１１の周縁に沿って複数（図示例では８個）の吸着パッ
ド１４を配置している。これら吸着パッド１４は、整列
基準ピン１２１および整列押付けピン１２２、整列基準
ピン１３１および整列押付けピン１３２により位置決め
されたガラス基板１０を基板ホルダー１１上に吸着し固
定するものである。
【００１４】基板ホルダー１１の透過照明光用開口部１
１１には、透明部材として台ガラス１５が嵌め込まれて
いる。この場合、台ガラス１５表面は、基板ホルダー１
１表面より所定高さｈだけ低位置に配置されている。
１１には、透明部材として台ガラス１５が嵌め込まれて
いる。この場合、台ガラス１５表面は、基板ホルダー１
１表面より所定高さｈだけ低位置に配置されている。
【００１５】このような台ガラス１５表面に、本発明の
基板支持具として複数（図示例では２本）の支持ピン１
６を直立して設けている。この支持ピン１６は、図２
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように固定部材である土台ピ
ン１６１と回転部材である回転ピン１６２を有するもの
で、土台ピン１６１の先端に突起１６１ａを形成し、こ
の突起１６１ａを回転ピン１６２の基端面に形成した凹
部１６２ａに嵌め込むことで、回転ピン１６２を同図
（ｂ）の矢印方向に回転可能に支持するようにしてい
る。また、回転ピン１６２の先端には、回転ピン１６２
の回転軸上で、この回転軸と直交する方向に設けられた
ローラピン１６３によりローラ１６４を同図（ａ）の矢
印方向に回転可能に支持している。ローラ１６４は、ガ
ラス基板１０の裏面に当接され、ガラス基板１０を下方
から支持するものである。
基板支持具として複数（図示例では２本）の支持ピン１
６を直立して設けている。この支持ピン１６は、図２
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように固定部材である土台ピ
ン１６１と回転部材である回転ピン１６２を有するもの
で、土台ピン１６１の先端に突起１６１ａを形成し、こ
の突起１６１ａを回転ピン１６２の基端面に形成した凹
部１６２ａに嵌め込むことで、回転ピン１６２を同図
（ｂ）の矢印方向に回転可能に支持するようにしてい
る。また、回転ピン１６２の先端には、回転ピン１６２
の回転軸上で、この回転軸と直交する方向に設けられた
ローラピン１６３によりローラ１６４を同図（ａ）の矢
印方向に回転可能に支持している。ローラ１６４は、ガ
ラス基板１０の裏面に当接され、ガラス基板１０を下方
から支持するものである。
【００１６】この場合、支持ピン１６の高さ寸法は、基
板ホルダー１１上に保持されたガラス基板１０に、ロー
ラ１６４先端を当接させた状態で、ガラス基板１０に撓
みを生じさせない平面度を維持できるように設定されて
いる。
板ホルダー１１上に保持されたガラス基板１０に、ロー
ラ１６４先端を当接させた状態で、ガラス基板１０に撓
みを生じさせない平面度を維持できるように設定されて
いる。
【００１７】このように構成された基板保持装置では、
基板ホルダー１１の上方から支持ピン１６上にガラス基
板１０が供給されると、ガラス基板１０は、整列押付け
ピン１２２により整列基準ピン１２１側に押圧されると
ともに、整列押付けピン１３２により整列基準ピン１３
１側に押圧され、基板ホルダー１１上でＸおよびＹ方向
の位置決めが行なわれる。
基板ホルダー１１の上方から支持ピン１６上にガラス基
板１０が供給されると、ガラス基板１０は、整列押付け
ピン１２２により整列基準ピン１２１側に押圧されると
ともに、整列押付けピン１３２により整列基準ピン１３
１側に押圧され、基板ホルダー１１上でＸおよびＹ方向
の位置決めが行なわれる。
【００１８】この場合、ガラス基板１０は、支持ピン１
６上を移動されるが、支持ピン１６は、土台ピン１６１
に回転ピン１６２が回転可能に支持され、さらに回転ピ
ン１６２先端部にローラ１６４が回転可能に支持されて
いるので、これら回転ピン１６２とローラ１６４は、ガ
ラス基板１０の移動方向に従って回転される。
６上を移動されるが、支持ピン１６は、土台ピン１６１
に回転ピン１６２が回転可能に支持され、さらに回転ピ
ン１６２先端部にローラ１６４が回転可能に支持されて
いるので、これら回転ピン１６２とローラ１６４は、ガ
ラス基板１０の移動方向に従って回転される。
【００１９】これにより、支持ピン１６先端がガラス基
板１０の面を擦ることがなくなるので、ガラス基板１０
の面に傷が付くのを防止することができる。また、ガラ
ス基板１０の面に対して常に支持ピン１６のローラ１６
４が回転しながら接触するので、ローラ１６４が摩耗し
て支持ピン１６の高さ寸法を変化するようなこともなく
なり、ＬＣＤ製造過程などへの悪影響も回避できる。さ
らに、支持ピン１６のローラ１６４の回転によりガラス
基板１０をスムーズに移動できるので、基板整列動作の
際も少ない力量でガラス基板１０を操作することができ
る。さらにまた、支持ピン１６のローラピン１６３およ
びローラ１６４の部分を黒色などにして支持ピン１６先
端部全体が光らないようにすれば、さらにガラス基板１
０面の観察の妨げとなるのを防止することもできる。
板１０の面を擦ることがなくなるので、ガラス基板１０
の面に傷が付くのを防止することができる。また、ガラ
ス基板１０の面に対して常に支持ピン１６のローラ１６
４が回転しながら接触するので、ローラ１６４が摩耗し
て支持ピン１６の高さ寸法を変化するようなこともなく
なり、ＬＣＤ製造過程などへの悪影響も回避できる。さ
らに、支持ピン１６のローラ１６４の回転によりガラス
基板１０をスムーズに移動できるので、基板整列動作の
際も少ない力量でガラス基板１０を操作することができ
る。さらにまた、支持ピン１６のローラピン１６３およ
びローラ１６４の部分を黒色などにして支持ピン１６先
端部全体が光らないようにすれば、さらにガラス基板１
０面の観察の妨げとなるのを防止することもできる。
【００２０】なお、上述した実施の形態では、台ガラス
１５上に２４本の支持ピン１６を配置した例を述べた
が、この支持ピン１６の数は、支持されるガラス基板１
０の厚さや大きさによって変更することができる。ま
た、回転ピン１６２の回転をよくするために土台ピン１
６１と回転ピン１６２との間に低摩擦部材を介在させる
こともできる。 （第２の実施の形態）第１の実施の形態では、土台ピン
１６１と回転ピン１６２を有する支持ピン１６は、高さ
寸法を一定にしているが、この第２の実施の形態では、
高さ寸法を調整できるようにしている。
１５上に２４本の支持ピン１６を配置した例を述べた
が、この支持ピン１６の数は、支持されるガラス基板１
０の厚さや大きさによって変更することができる。ま
た、回転ピン１６２の回転をよくするために土台ピン１
６１と回転ピン１６２との間に低摩擦部材を介在させる
こともできる。 （第２の実施の形態）第１の実施の形態では、土台ピン
１６１と回転ピン１６２を有する支持ピン１６は、高さ
寸法を一定にしているが、この第２の実施の形態では、
高さ寸法を調整できるようにしている。
【００２１】図３は、本発明の第２の実施の形態の概略
構成を示すもので、図２と同一部分には、同符号を付し
ている。この場合、支持ピン１６は、土台ピン１６１と
回転ピン１６２との間に高さ調整用のスペーサ１７を挿
入可能にしている。
構成を示すもので、図２と同一部分には、同符号を付し
ている。この場合、支持ピン１６は、土台ピン１６１と
回転ピン１６２との間に高さ調整用のスペーサ１７を挿
入可能にしている。
【００２２】このような構成とすれば、支持ピン１６
は、スペーサ１７の挿入により所望する高さ寸法を設定
できるので、支持ピン１６先端をガラス基板１０の面に
当接させた状態で、ガラス基板１０に撓みを生じさせな
い平面度を維持するための微調整を各支持ピン１６ごと
に行なうことができる。勿論、この場合も第１の実施の
形態で述べたと同様な効果を期待できる。 （第３の実施の形態）第１の実施の形態では、回転ピン
１６２の先端には、回転ピン１６２の回転軸上で、この
回転軸と直交する方向に設けられたローラピン１６３に
よりローラ１６４を回転可能に支持しているが、この第
３の実施の形態では、回転ピン１６２の回転軸に対して
偏心させてローラ１６４を支持するようにしている。
は、スペーサ１７の挿入により所望する高さ寸法を設定
できるので、支持ピン１６先端をガラス基板１０の面に
当接させた状態で、ガラス基板１０に撓みを生じさせな
い平面度を維持するための微調整を各支持ピン１６ごと
に行なうことができる。勿論、この場合も第１の実施の
形態で述べたと同様な効果を期待できる。 （第３の実施の形態）第１の実施の形態では、回転ピン
１６２の先端には、回転ピン１６２の回転軸上で、この
回転軸と直交する方向に設けられたローラピン１６３に
よりローラ１６４を回転可能に支持しているが、この第
３の実施の形態では、回転ピン１６２の回転軸に対して
偏心させてローラ１６４を支持するようにしている。
【００２３】図４（ａ）（ｂ）は、本発明の第３の実施
の形態の概略構成を示すもので、図２と同一部分には、
同符号を付している。この場合、支持ピン１６の回転ピ
ン１６２の先端には、回転ピン１６２の回転軸に対し所
定距離偏心した位置に、回転軸と直交する方向にローラ
ピン１６３を設け、このローラピン１６３によりローラ
１６４を回転可能に支持している。
の形態の概略構成を示すもので、図２と同一部分には、
同符号を付している。この場合、支持ピン１６の回転ピ
ン１６２の先端には、回転ピン１６２の回転軸に対し所
定距離偏心した位置に、回転軸と直交する方向にローラ
ピン１６３を設け、このローラピン１６３によりローラ
１６４を回転可能に支持している。
【００２４】このような構成とすれば、支持ピン１６先
端のローラ１６４は、回転ピン１６２の回転軸に対し偏
心して設けられており、ガラス基板１０の移動方向に応
じて回転ピン１６２が瞬時に回転し、次いでローラ１６
４が回転されるようになるので、さらにローラ１６４の
ガラス基板１０面に対する回転をスムーズにでき、ロー
ラ１６４の摩耗をさらに少なくすることができる。勿
論、この場合も第１の実施の形態で述べたと同様な効果
を期待できるとともに、土台ピン１６１と回転ピン１６
２との間に低摩擦部材を介在させることにより、回転ピ
ン１６２の回転がスムーズになり、基板１０の移動方向
に対するローラ１６４の追従性がさらに向上する。な
お、この第３の実施の形態の支持ピン１６についても、
第２の実施の形態で述べたスペーサ１７を用いて、その
高さ寸法を調整できるようにできる。
端のローラ１６４は、回転ピン１６２の回転軸に対し偏
心して設けられており、ガラス基板１０の移動方向に応
じて回転ピン１６２が瞬時に回転し、次いでローラ１６
４が回転されるようになるので、さらにローラ１６４の
ガラス基板１０面に対する回転をスムーズにでき、ロー
ラ１６４の摩耗をさらに少なくすることができる。勿
論、この場合も第１の実施の形態で述べたと同様な効果
を期待できるとともに、土台ピン１６１と回転ピン１６
２との間に低摩擦部材を介在させることにより、回転ピ
ン１６２の回転がスムーズになり、基板１０の移動方向
に対するローラ１６４の追従性がさらに向上する。な
お、この第３の実施の形態の支持ピン１６についても、
第２の実施の形態で述べたスペーサ１７を用いて、その
高さ寸法を調整できるようにできる。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、基
板面に対してローラが回転しながら接触するので、基板
面に傷を付けることを防止できるとともに、ローラ面の
摩耗による高さ寸法の変化も防止でき、さらに基板整列
動作も少ない力量で操作できる。
板面に対してローラが回転しながら接触するので、基板
面に傷を付けることを防止できるとともに、ローラ面の
摩耗による高さ寸法の変化も防止でき、さらに基板整列
動作も少ない力量で操作できる。
【００２６】また、ローラの基板面に対する回転をスム
ーズにできるので、ローラの摩耗をさらに少なくするこ
とができる。さらに、基板に撓みを生じさせない平面度
を維持するための高さ寸法の微調整を行なうことができ
る。
ーズにできるので、ローラの摩耗をさらに少なくするこ
とができる。さらに、基板に撓みを生じさせない平面度
を維持するための高さ寸法の微調整を行なうことができ
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態の基板支持具が用い
られる基板保持装置の概略構成を示す図。
られる基板保持装置の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態の基板支持具の概略構成を示
す図。
す図。
【図３】本発明の第２の実施の形態の基板支持具の概略
構成を示す図。
構成を示す図。
【図４】本発明の第３の実施の形態の基板支持具の概略
構成を示す図。
構成を示す図。
【図５】従来の基板保持装置の一例の概略構成を示す
図。
図。
１０…ガラス基板 １１…基板ホルダー １１１…透過照明光用開口部 １２１…整列基準ピン １２２…整列押付けピン １３１…整列基準ピン １３２…整列押付けピン １４…吸着パッド １５…台ガラス １６…支持ピン １６１…土台ピン １６１ａ…突起 １６２…回転ピン １６２ａ…凹部 １６３…ローラピン １６４…ローラ １７…スペーサ
Claims (3)
- 【請求項１】 基板の平面度を維持するように基板面を
支持する基板支持具において、 固定部材と、 この固定部材に回転可能に支持された回転部材と、 この回転部材の先端部にあって該回転部材の回転軸と直
交する回転軸を中心に回転可能に支持されるとともに、
前記基板面に当接されるローラとを具備したことを特徴
とする基板支持具。 - 【請求項２】 前記ローラは、前記回転部材の回転軸に
対し所定距離偏心した位置に、前記回転軸と直交する回
転軸を中心に回転可能に支持されることを特徴とする請
求項１記載の基板支持具。 - 【請求項３】 前記固定部材に対する前記回転部材の回
転支持部に高さ調整部材を挿入可能にしたことを特徴と
する請求項1 または２記載の基板支持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10262909A JP2000088701A (ja) | 1998-09-17 | 1998-09-17 | 基板支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
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-
1998
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