CN108340528A - 吐出装置、吐出方法、成形装置和成形品的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种吐出装置、吐出方法、成形装置和成形品的制造方法。本发明缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间。作为吐出装置的点胶机(15)具备：针筒(20)，其为蓄积作为流动性树脂的液状树脂(32)的蓄积部；至少包含活塞(27)的机构，其为挤出液状树脂(32)的挤出机构；吐出部(17)，与针筒(20)连接，且吐出液状树脂(32)；管(36)，安装在吐出部(17)上，且可弹性变形；夹持器(18)，可夹持管(36)而移动；以及控制部(31)，控制夹持器(18)的移动量。

Description

吐出装置、吐出方法、成形装置和成形品的制造方法
技术领域
本发明涉及一种将液状树脂等流动性树脂吐出到吐出对象物上的吐出装置、吐出方法、树脂成形装置和树脂成形品的制造方法。
背景技术
一直以来，使用颗粒状树脂、片状树脂等固体状树脂或液状树脂对安装在基板上的半导体芯片进行树脂密封。例如在专利文献1中，作为使用液状树脂进行树脂密封的技术，记载了使用作为液状树脂的吐出装置的点胶机(dispenser)，从安装在点胶机前端的喷嘴中对基板吐出液状树脂。而且，像专利文献1的图3～图6所示那样，提出了使用重量测定装置来测量液状树脂吐出前后的基板的重量。可通过测量吐出前后的基板重量而算出所吐出的树脂重量。若吐出树脂重量在容许值范围内，则进入下一工序。在吐出树脂重量偏离容许值范围的情况下，算出修正树脂吐出量(＝目标吐出树脂重量-吐出树脂重量)并进行追加吐出。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2003-165133号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
但是，专利文献1所公开的吐出装置存在如下问题。在使用液状树脂的情况下，可能会在停止吐出液状树脂的时刻，从喷嘴的吐出口产生液状树脂的垂液现象。特别是在使用高粘度的液状树脂的情况下，显著产生垂液现象。垂液状态的液状树脂作为残留树脂而从吐出口向下方垂落。在产生了垂液现象的情况下，要等残留树脂自然落下直到垂液状态消除为止。因此，视树脂的性状或硬化进展状态不同而有时垂液消除时间变长，因此直到液状树脂的吐出工序完成为止需要非常长的时间。为了测量液状树脂吐出后的基板重量，必须等到液状树脂的吐出工序完成为止。因此，判断是否吐出了目标吐出树脂重量需要非常长的时间，吐出装置的生产性明显降低。
本发明的目的在于解决所述问题，提供一种可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间的吐出装置、吐出方法、树脂成形装置和树脂成形品的制造方法。
[解决问题的技术手段]
为了解决所述问题，本发明的吐出装置包括：蓄积流动性树脂的蓄积部、挤出流动性树脂的挤出机构、与蓄积部连接且吐出流动性树脂的吐出部、安装在吐出部上的可弹性变形的管、可夹持管而移动的夹持器、以及控制夹持器的移动量的控制部。
为了解决所述问题，本发明的吐出方法包括：挤出工序，将蓄积部中蓄积的流动性树脂挤出，由此从与蓄积部连接的吐出部上安装的可弹性变形的管中吐出流动性树脂；以及捋出工序，利用夹持器夹持管并使夹持器向下方移动，由此将管内残留的残留树脂捋出。
为了解决所述问题，本发明的树脂成形装置具备所述吐出装置。
为了解决所述问题，本发明的树脂成形品的制造方法包括以下工序：在将通过所述吐出方法而吐出的所述流动性树脂供给于成形模的状态下，进行树脂成形。
[发明的效果]
根据本发明，可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间。
附图说明
图1为表示实施方式1的树脂成形装置的装置概要的平面图。
图2的(a)为图1所示的树脂成形装置中使用的点胶机的概略平面图，图2的(b)为图2的(a)所示的吐出部的放大图。
图3的(a)为图2的(a)、图2的(b)所示的点胶机的A-A线截面图，图3的(b)为B-B线截面图。
图4的(a)～图4的(d)为表示使用图2的(a)、图2的(b)所示的点胶机吐出液状树脂的动作及将管内的残留树脂捋出的动作的概略截面图。
图5的(a)～图5的(c)为表示使用图1所示的树脂成形装置进行树脂成形的工序的概略截面图。
图6的(a)～图6的(b)为表示实施方式2中使用的点胶机的变形例的概略截面图。
图7的(a)～图7的(c)为表示实施方式3中使用的点胶机的变形例及动作的概略截面图。
图8的(A)～图8的(C)为分别表示在现有的点胶机中残留在针筒内的液状树脂的树脂量的概略图。
图9的(A)～图9的(C)为分别表示在实施方式4中残留在本发明的点胶机的针筒内的液状树脂的树脂量的概略图。
图10的(a)～图10的(c)为表示在实施方式4中使用实施方式1所示的点胶机，对应于针筒内残留的液状树脂的树脂量而使夹持器移动的冲程量的概略图。
图11为表示实施方式5的树脂成形装置的装置概要的平面图。
图12的(a)～图12的(d)为表示使用图11所示的树脂成形装置将液状树脂吐出到脱模膜上的工序的概略截面图。
图13的(a)、图13的(b)为表示吐出至脱模膜上的液状树脂的状态的概略图，图13的(a)为平面图，图13的(b)为C-C线截面图。
图14的(a)～图14的(c)为表示将图13的(a)、图13的(b)所示的脱模膜上的液状树脂供给于成形模并进行树脂成形的工序的概略截面图。
[符号的说明]
1、68：树脂成形装置；
2：基板供给/收容模块；
3A、3B、3C：成形模块；
4：树脂供给模块；
5：密封前基板；
6：密封前基板供给部；
7：密封后基板；
8：密封后基板收容部；
9：基板载置部；
10：基板搬送机构；
11：下模；
12：锁模机构；
13、76：模腔(吐出对象物)；
14：脱模膜供给机构；
15、58、64：点胶机(吐出装置)；
16：树脂搬送机构；
17、65：吐出部；
18、59、67：夹持器；
19：挤出机构；
20：针筒(蓄积部)；
21：连结部；
22：喷嘴；
23：伺服马达；
24：滚珠螺杆；
25：滑块；
26：杆；
27：活塞(挤出机构)；
28：滚珠螺杆轴承；
29：导轨；
30：编码器；
31：控制部；
32、85：液状树脂(流动性树脂)；
33：螺杆；
34：吐出口；
35：接头；
36：管；
37、38：滚筒支持构件；
37a、37b、37c、38a、38b、38c：棒状构件；
39、40：滚筒；
41、44：连接构件；
42、45：移动机构(第一移动机构)；
43、46：移动机构(第二移动机构)；
47：树脂通路；
48：残留树脂；
49：垂液树脂；
50：拉丝状的残留树脂；
51、86：半导体芯片；
52：上模；
53：成形模；
54：脱模膜；
55、87：流动性树脂；
56、88：硬化树脂；
57、89：树脂成形品；
60、61：滚筒支持构件；
60a、60b、60c、61a、61b、61c：棒状构件；
62、63：连接构件；
66：固定板；
69：晶片供给/收容模块；
70：密封前晶片；
71：密封前晶片供给部；
72：密封后晶片；
73：密封后晶片收容部；
74：晶片载置部；
75：晶片搬送机构；
77：平台；
78：脱模膜供给机构；
79：树脂收容框；
80：移动机构；
81：树脂搬送机构；
82：脱模膜(吐出对象物)；
83：贯穿孔；
84：树脂收容部(吐出对象物)；
S1、R1、M1、C1：既定位置；
CTL：控制部；
A、B、C：针筒内的液状树脂的状态；
P1、P2、P3、P4：位置；
L1、L2、L3：冲程量(移动量)。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。本申请文档中的任一图均是以容易理解为目的而适当省略或夸张地示意性描述。对相同的构成要素标注相同的符号而适当省略说明。此外，本申请文档中，“液状”这一术语是指在常温下为液状且具有流动性，而无关流动性的高低，换言之无关粘度的程度。另外，本申请文档中所谓“树脂成形品”，是指至少包含经树脂成形的树脂部分的产品，且为包括后述那样的密封后基板的概念的表述，所述密封后基板为利用成形模对安装在基板上的芯片进行树脂成形实施树脂密封而成的形态。
[实施方式1]
(树脂成形装置的构成)
参照图1对本发明的实施方式1的树脂成形装置的构成进行说明。图1所示的树脂成形装置1为使用压缩成形法的树脂成形装置。实施方式1中例如示出以下情况：将安装有半导体芯片的基板作为进行树脂成形的对象，且使用流动性树脂即液状树脂来作为树脂材料。此外，关于“基板”，可举出玻璃环氧基板、陶瓷基板、树脂基板、金属基板等一般的基板及导线架(lead frame)等。
树脂成形装置1分别具备基板供给/收容模块2、三个成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C以及树脂供给模块4作为构成要素。作为构成要素的基板供给/收容模块2、成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C以及树脂供给模块4可分别相对于其他构成要素而彼此装卸，且可更换。
基板供给/收容模块2中，设有供给密封前基板5的密封前基板供给部6、收容密封后基板7的密封后基板收容部8、交接密封前基板5及密封后基板7的基板载置部9、以及搬送密封前基板5及密封后基板7的基板搬送机构10。既定位置S1为在基板搬送机构10不动作的状态下待机的位置。
各成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C中设有可升降的下模11和与下模11相向而配置的上模(未图示，参照图5的(a)～图5的(c))。上模和下模11一起构成成形模。各成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C具有将上模和下模11锁模及开模的锁模机构12(以图的二点划线所示的圆形部分)。在下模11中设有模腔13，所述模腔13为被供给作为树脂材料的液状树脂并进行硬化的空间。下模11中设有供给长条状的脱模膜的脱模膜供给机构14。此外，这里对在下模11中设有模腔13的构成进行了说明，但模腔也可设置在上模中，也可设置在上模和下模两者中。
在树脂供给模块4中，设有作为向成形模(模腔13)吐出液状树脂的吐出装置的点胶机15和搬送点胶机15的树脂搬送机构16。点胶机15在前端部具备吐出液状树脂的吐出部17。在吐出部17上设有夹持器18，所述夹持器18可夹持吐出部17上安装的可弹性变形的管(参照图2的(a)、图2的(b)～图3的(a)、图3的(b))而移动。关于点胶机15、吐出部17及夹持器18的构成，将在后述参照图2的(a)、图2的(b)～图3的(a)、图3的(b)的部分中进行详细说明。既定位置R1为在树脂搬送机构16(包含点胶机15)不动作的状态下待机的位置。
图1所示的点胶机15为使用将主剂和硬化剂预先混合而成的液状树脂的一液型点胶机。关于主剂，例如使用具有热硬化性的硅酮树脂或环氧树脂。也可使用在吐出液状树脂时将主剂和硬化剂混合而使用的二液混合型点胶机。
在树脂供给模块4中，设有控制树脂成形装置1的动作的控制部CTL。控制部CTL控制密封前基板5及密封后基板7的搬送、点胶机15的搬送、液状树脂的吐出、成形模的加热、成形模的开闭等。换言之，控制部CTL进行基板供给/收容模块2、成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C、树脂供给模块4中的各动作的控制。
配置控制部CTL的位置可为任意位置，可配置在基板供给/收容模块2、成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C、树脂供给模块4中的至少一个中，也可配置在各模块的外部。另外，控制部CTL也可根据成为控制对象的动作而以使至少一部分分离的多个控制部的形式构成。
(点胶机的构成)
参照图2的(a)、图2的(b)～图3的(a)、图3的(b)，对图1所示的树脂成形装置1中使用的点胶机15的构成进行说明。如图2的(a)、图2的(b)所示，点胶机15具备挤出液状树脂的挤出机构19、蓄积液状树脂的针筒20、将针筒20与喷嘴连接的连结部21、以及吐出液状树脂的喷嘴22。通过将挤出机构19、针筒20、连结部21以及喷嘴22连接而一体地构成点胶机15。针筒20或喷嘴22可根据各自的用途而更换成其他针筒或喷嘴。
挤出机构19具备伺服马达23、通过伺服马达23而旋转的滚珠螺杆24、安装在滚珠螺杆螺母(未图示)上且将旋转运动转换为直线运动的滑块25、固定在滑块25的前端且在内部具有插入孔的杆26、以及安装在杆26的前端的活塞27。滚珠螺杆24由滚珠螺杆轴承28支持。滑块25例如沿着设于挤出机构19的基台上的导轨29在Y方向上移动。通过伺服马达23旋转，分别经由滚珠螺杆24、滑块25、杆26而活塞27在Y方向上移动。
伺服马达23为可控制马达的旋转的马达。伺服马达23具有编码器30，所述编码器30为监视马达的旋转的旋转检测器。编码器30检测伺服马达23的旋转角、旋转速度并反馈给控制部31。控制部31根据来自编码器30的反馈信号而控制伺服马达23的旋转。通过控制伺服马达23的旋转，可高精度地进行活塞27的位置控制、速度控制、转矩控制等。此外，控制部31可并入到图1所示的树脂成形装置1的控制部CTL中，也可与控制部CTL无关而独立地设置。
蓄积有液状树脂32的针筒20通过针筒安装用的螺杆33而与挤出机构19连接。以活塞27的外径与针筒20的内径一致的方式，将活塞27插入到针筒20内。在活塞27的周围安装有作为密封材料的O环(未图示)。通过控制伺服马达23的旋转而控制活塞27的移动量(冲程量)。根据针筒20的内截面积与活塞27的移动量之积，来设定从点胶机15(吐出部17)中吐出的液状树脂32的吐出量。通过更换针筒20，可任意地设定点胶机15中蓄积的液状树脂32的树脂量。
像图2的(b)、图3的(a)、图3的(b)所示那样，吐出部17具备具有吐出口34的喷嘴22、安装在吐出口34上的接头35、以及套在接头35上的可弹性变形的管36。关于接头35的材质，例如使用具有耐热性的聚乙烯、聚丙烯、聚偏二氟乙烯(PolyVinylidene DiFluoride，PVDF)等。关于管36，例如使用具有柔软性及耐热性的硅酮橡胶、氟橡胶等。
像图2的(a)、图3的(a)、图3的(b)所示那样，在点胶机15中，在管36的两侧设有可夹持管36而移动的夹持器18。夹持器18是由一对滚筒支持构件37、滚筒支持构件38所构成。滚筒支持构件37例如是由沿着Y方向的一根棒状构件37a、与棒状构件37a的两端连接且沿着X方向的两根棒状构件37b、以及与各棒状构件37b连接且沿着Z方向的两根棒状构件37c所构成。同样地，滚筒支持构件38是由沿着Y方向的一根棒状构件38a、与棒状构件38a的两端连接且沿着X方向的两根棒状构件38b、以及与各棒状构件38b连接且沿着Z方向的两根棒状构件38c所构成。
构成夹持器18的滚筒支持构件37、滚筒支持构件38上，分别以可旋转的方式安装有滚筒39、滚筒40。即，滚筒39、滚筒40是分别由滚筒支持构件37、滚筒支持构件38以可旋转的方式支持。滚筒39套在构成夹持器18的棒状构件37a上，通过棒状构件37b在X方向上移动，且通过棒状构件37c在Z方向上移动。同样地，滚筒40套在构成夹持器18的棒状构件38a上，通过棒状构件38b在X方向上移动，且通过棒状构件38c在Z方向上移动。
像图3的(a)、图3的(b)所示那样，构成夹持器18的两根棒状构件37c与连接构件41连接。连接构件41与使滚筒支持构件37在X方向上移动的移动机构42连接，并且与使滚筒支持构件37在Z方向上移动的移动机构43连接。同样地，构成夹持器18的两根棒状构件38c与连接构件44连接。连接构件44与使滚筒支持构件38在X方向上移动的移动机构45连接，并且与使滚筒支持构件38在Z方向上移动的移动机构46连接。
移动机构42、移动机构43、移动机构45、移动机构46是由驱动源与传输构件的组合所构成。例如关于移动机构，使用伺服马达与滚珠螺杆的组合、液压缸与杆的组合等。此外，移动机构不限于所述构成，只要为可使滚筒支持构件37、滚筒支持构件38分别在X方向及Z方向上移动的构成即可。
像图2的(a)、图3的(a)、图3的(b)所示那样，针筒20内蓄积的液状树脂32通过活塞27而被挤出，分别经由形成在连结部21中的树脂通路47、形成在喷嘴22中的吐出口34、套在接头35上的管36而从吐出部17中向下方吐出。
(液状树脂的吐出方法和树脂成形品的制造方法)
以下，对液状树脂的吐出方法和树脂成形品的制造方法进行说明，兼作包含作为吐出装置的点胶机15的树脂成形装置1的动作的说明。在对使用点胶机15的吐出方法进行记载之后，记载使用整个树脂成形装置1的树脂成形品的制造方法。
(液状树脂的吐出方法(挤出工序及捋出工序)
参照图2的(a)、图2的(b)～图4的(a)、图4的(b)、图4的(c)、图4的(d)、，对在点胶机15中挤出液状树脂32的工序及利用夹持器18将管36内残留的残留树脂捋出的工序、即包括液状树脂的挤出工序及捋出工序的吐出方法(吐出工序)进行说明。
像图2的(a)所示那样，在挤出工序中，通过使伺服马达23旋转，而经由滚珠螺杆24、滑块25、杆26使活塞27向-Y方向移动。通过使活塞27向-Y方向移动而将针筒20内蓄积的液状树脂32挤压，将液状树脂32向-Y方向挤出。
像图3的(a)、图3的(b)、图4的(a)所示那样，由活塞27挤出的液状树脂32分别经由连结部21、喷嘴22、管36而从吐出部17(管36的前端)中向下方吐出。
通过开始点胶机15的吐出(开始活塞27的挤出动作)，而将液状树脂从吐出部17(管36的前端)中向吐出对象物吐出。通过活塞27挤压液状树脂32，而对针筒20内的液状树脂32施加压力，液状树脂32的树脂压力变高。即便停止点胶机15的吐出(停止活塞27的挤出动作)，针筒20内的液状树脂32也保持树脂压力已变高的状态。在针筒20内的液状树脂32的树脂压力达到大气压之前，因液状树脂32的树脂压力而继续从吐出部17中向吐出对象物吐出液状树脂。作为所谓的垂液现象而液状树脂从吐出部17中向吐出对象物垂落(继续吐出)。
为了容易地理解液状树脂的吐出工序中的捋出工序，像图4的(a)所示那样，在刚停止活塞27的挤出动作后的状态下，为方便起见而将针筒20内蓄积的液状树脂称为液状树脂32，将管36内残留的液状树脂称为残留树脂48，将从管36的前端垂落的液状树脂称为垂液树脂49。
参照图4的(a)～图4的(d)对捋出工序进行说明，所述捋出工序通过使用设置在点胶机15的吐出部17的夹持器18，而将管36内残留的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49捋出，尽早完成吐出。
首先，像图4的(a)所示那样，在停止点胶机15的吐出(停止活塞27的挤出动作)而产生垂液现象的状态下，例如在停止活塞27的挤出动作5秒钟后，使夹持器18下降到管36的外侧的既定位置。具体来说，使用移动机构43、移动机构46(参照图3的(b))使滚筒支持构件37、滚筒支持构件38下降，由此使滚筒39、滚筒40停止在管36的外侧的既定位置。
其次，像图4的(b)所示那样，利用夹持器18将管36从两侧夹住。具体来说，使用移动机构42(参照图3的(b))使滚筒支持构件37向-X方向移动，且使用移动机构45(参照图3的(b))使滚筒支持构件38向+X方向移动。借此，利用滚筒39和滚筒40将管36从两侧夹住，阻塞管36内的液状树脂(残留树脂48)的通路。
然后，像图4的(c)所示那样，在利用夹持器18(滚筒39、滚筒40)将管36从两侧夹持的状态下，使夹持器18下降既定的冲程量。具体来说，使用移动机构43、移动机构46(参照图3的(b))使滚筒支持构件37、滚筒支持构件38下降。在利用滚筒39、滚筒40夹持管36的状态下，使滚筒39、滚筒40一面旋转一面下降。借此，利用夹持器18将残留于由滚筒39、滚筒40夹持管36的位置的下方的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49强制捋出。
通过利用夹持器18的液状树脂的捋出工序，例如在使用低粘度的液状树脂的情况下，可通过使夹持器18下降而将管36内残留的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49几乎全部捋出。另外，在使用高粘度的液状树脂的情况下，有时像图4的(c)所示那样，拉丝状的残留树脂50稍许残留。然而，所述拉丝状的残留树脂50在短时间内落下，因此时间损耗不会那么大。通过进行利用夹持器18的液状树脂的捋出工序，可尽早吐出液状树脂。可像以上那样而完成吐出工序。
此外，也可在拉丝状的残留树脂50接触吐出对象物的状态消除之后，在拉丝状的残留树脂50的下方配置皿状的树脂承接构件，在由树脂承接构件承接拉丝状的残留树脂50的状态下，像后述那样使点胶机15相对于吐出对象物相对地移动而避开。
然后，像图4的(d)所示，使夹持器18远离管36而回到原本的位置。借此，管36从经弹性变形的状态解放，回到初始状态。随着时间经过，管36内回到由液状树脂32填满的初始状态。此外，有时在管36下端部附近出现因液状树脂32的表面张力而不存在液状树脂32的空间。
(树脂成形品的制造方法)
参照图1、图5的(a)～图5的(c)，对在树脂成形装置1中对安装在基板上的半导体芯片进行树脂密封的情况的树脂成形品的制造方法进行说明。关于树脂成形装置1的动作，对使用成形模块3B的情况进行说明。
首先，像图1所示那样，对于安装有多个半导体芯片51(参照图5的(a))的密封前基板5，以安装有半导体芯片51的一面为下侧，将密封前基板5从密封前基板供给部6送出到基板载置部9。然后，使基板搬送机构10从既定位置S1向-Y方向移动而从基板载置部9接受密封前基板5。使基板搬送机构10回到既定位置S1。
然后，例如使基板搬送机构10向+X方向移动到成形模块3B的既定位置M1。继而，在成形模块3B中，使基板搬送机构10向-Y方向移动，在下模11的上方的既定位置C1停止。然后，使基板搬送机构10上升并通过吸附或夹紧等将密封前基板5固定在上模52的模面(参照图5的(a))。上模52与下模11一起构成成形模53。使基板搬送机构10回到基板供给/收容模块2的既定位置S1。
接着，在成形模块3B中，从脱模膜供给机构14将长条状的脱模膜54(参照图5的(a))供给于下模11。然后，通过设于下模11的吸附机构(未图示)沿着模腔13的模面吸附脱模膜54。
然后，使用树脂搬送机构16使点胶机15向-X方向移动到成形模块3B的既定位置M1。继而，在成形模块3B中，使树脂搬送机构16向-Y方向移动，使点胶机15停止在下模11的上方的既定位置C1(参照图5的(a))。
像图5的(a)所示那样，通过树脂搬送机构16将点胶机15配置在上模52和下模11之间的既定位置。从设于点胶机15前端的吐出部17中将液状树脂32吐出到模腔13中。所述情况下，下模11的模腔13成为吐出液状树脂32的吐出对象物。利用夹持器18将安装在吐出部17中的管36内的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49捋出(参照图4的(a)～图4的(d))。可通过所述吐出工序将液状树脂尽早吐出到模腔13中。使用树脂搬送机构16使点胶机15回到既定位置M1。
然后，像图5的(b)所示那样，将液状树脂32加热而使其熔融，生成粘度降低的流动性树脂55。使用锁模机构12(参照图1)使下模11上升，将上模52和下模11锁模。通过进行锁模，而使安装在密封前基板5上的半导体芯片51浸渍在模腔13中生成的流动性树脂55中。此时，可使用设于下模11的模腔底面构件(未图示)，对模腔13内的流动性树脂55施加既定的树脂压力。
此外，在进行锁模的过程中，也可使用真空抽吸机构(未图示)对模腔13内进行抽气。借此，将模腔13内残留的空气或流动性树脂55中所含的气泡等排出到成形模53的外部。此外，将模腔13内设定为既定的真空度。
然后，使用设于下模11的加热器(未图示)，以使流动性树脂55硬化所需要的时间将流动性树脂55加热。使流动性树脂55硬化而成形硬化树脂56。借此，利用对应于模腔13的形状而成形的硬化树脂56对安装在密封前基板5上的半导体芯片51进行树脂密封。可像这样而进行树脂成形工序。
然后，像图5的(c)所示那样，使流动性树脂55硬化后，使用锁模机构12将上模52和下模11开模。经树脂密封的树脂成形品57(密封后基板7)被固定于上模52的模面。
接着，使基板搬送机构10从基板供给/收容模块2的既定位置S1移动到下模11的上方的既定位置C1，接受密封后基板7。然后，使基板搬送机构10移动，将密封后基板7交接给基板载置部9。从基板载置部9将密封后基板7收容到密封后基板收容部8中。在所述阶段中，树脂密封完成。
此外，树脂成形品57(密封后基板7)有时将安装有半导体芯片51的区域逐一切断，由此经切断而成的区域分别成为产品。另外，有时也将安装有半导体芯片51的一部分区域切断，由此所述一部分区域成为产品。进而，也有时树脂成形品57本身成为一个产品。
(作用效果)
作为本实施方式的吐出装置的点胶机15是设定为具备以下部分的构成：针筒20，其为蓄积流动性树脂即液状树脂32的蓄积部；至少包含活塞27的机构，其为挤出液状树脂32的挤出机构；吐出部17，与针筒20连接且吐出液状树脂32；管36，安装在吐出部17上且可弹性变形；夹持器18，可夹持管36而移动；以及控制部31，控制夹持器18的移动量。
通过设定为这种构成，可通过利用夹持器18夹持安装在点胶机15的吐出部17上的管36并使夹持器18下降，而利用夹持器18将管36内残留的残留树脂48强制捋出。借此，可从点胶机15的吐出部17中将液状树脂尽早吐出。即，可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间。因此，可提高进行流动性树脂的吐出工序而制造的树脂成形品的生产性。
本实施方式的吐出方法包括：挤出工序，将蓄积部即针筒20中蓄积的流动性树脂即液状树脂32挤出，由此从与针筒20连接的吐出部17上安装的可弹性变形的管36中吐出液状树脂32；以及捋出工序，利用夹持器18夹持管36并使夹持器18向下方移动，由此将管36内残留的残留树脂48捋出。
根据所述方法，可通过利用夹持器18夹持安装在点胶机15的吐出部17上的管36并使夹持器18下降，而利用夹持器18将管36内残留的残留树脂48强制捋出。借此，可从点胶机15的吐出部17中将液状树脂尽早吐出。即，可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间。因此，可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的生产性。
根据本实施方式，在点胶机15的吐出部17上安装可弹性变形的管36。在管36的两侧设置可夹持管36而移动的夹持器18。即便从点胶机15的吐出部17中产生垂液现象，也可通过利用夹持器18夹持管36并使夹持器18下降，而利用夹持器18将管36内残留的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49强制捋出。
根据本实施方式，无需等待点胶机15的吐出部17中残留并垂落的液状树脂自然落下，而是使用夹持器18强制捋出。借此，可缩短吐出液状树脂的时间。因此，可提高点胶机15的生产效率。并且，可提高树脂成形装置1的生产性。
根据本实施方式，可利用夹持器18将管36内残留的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49强制捋出，缩短吐出工序所需要的时间。借此，可抑制因放置垂液树脂49而垂液树脂49飞散到作为吐出对象物的模腔13的周围的要素零件等。因此，可抑制树脂成形装置1因飞散的树脂而被污染。另外，可抑制飞散的树脂硬化而产生树脂成形装置1的动作不良。
根据本实施方式，可使用夹持器18在不长时间放置垂液树脂49的情况下将液状树脂尽早吐出到模腔13中。因此，可抑制供给到模腔13内的液状树脂的分布不均及厚度不均。借此，可减少经树脂密封的树脂成形品57的树脂厚度的不均。另外，亦可减少流痕(flowmark)等轮廓不良的产生。
本实施方式中，示出了在点胶机15停止吐出动作(活塞27停止挤出动作)之后，夹持器18夹持管36并将管36内的残留树脂48捋出的情况。不限于此，也可在活塞27停止挤出动作的同时进行夹持器18夹持管36的动作，也可在活塞27停止挤出动作稍前的阶段中进行夹持器18夹持管36的动作。
此外，本实施方式中，关于树脂成形装置1，对具备基板供给/收容模块2、三个成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C以及树脂供给模块4的构成进行了说明。但树脂成形装置不限定于所述构成，只要为至少具备成形模、吐出液状树脂的吐出装置以及将成形模锁模的锁模机构，且具有进行树脂成形的功能的装置即可。
[实施方式2]
(点胶机的变形例1)
参照图6的(a)～图6的(b)，对实施方式2中使用的点胶机进行说明。与实施方式1的不同之处在于在点胶机中变更夹持器的构成。除此以外的构成与实施方式1相同，因此对相同的构成要素标注相同的符号而省略说明。
像图6的(a)～图6的(b)所示那样，在点胶机58中，在管36的两侧设有可夹持管36而移动的夹持器59。夹持器59是由一对滚筒支持构件60、滚筒支持构件61所构成。滚筒支持构件60是由沿着Y方向的一根棒状构件60a、与棒状构件60a的一端连接且沿着X方向的一根棒状构件60b、以及与棒状构件60b连接且沿着Z方向的一根棒状构件60c所构成。同样地，滚筒支持构件61是由沿着Y方向的一根棒状构件61a、与棒状构件61a的一端连接且沿着X方向的一根棒状构件61b、以及与棒状构件61b连接且沿着Z方向的一根棒状构件61c所构成。
与实施方式1同样地，在构成夹持器59的滚筒支持构件60、滚筒支持构件61上，分别以可旋转的方式安装有滚筒39、滚筒40。即，滚筒39、滚筒40分别由滚筒支持构件60、滚筒支持构件61以可旋转的方式支持。滚筒39套在构成夹持器59的棒状构件60a上，通过棒状构件60b在X方向上移动，且通过棒状构件60c在Z方向上移动。同样地，滚筒40套在构成夹持器59的棒状构件61a上，通过棒状构件61b在X方向上移动，且通过棒状构件61c在Z方向上移动。
构成夹持器59的一根棒状构件60c与连接构件62连接。连接构件62与使滚筒支持构件60在X方向上移动的移动机构42连接，且与使滚筒支持构件60在Z方向上移动的移动机构43连接。同样地，构成夹持器59的一根棒状构件61c与连接构件63连接。连接构件63与使滚筒支持构件61在X方向上移动的移动机构45连接，且与使滚筒支持构件61在Z方向上移动的移动机构46连接。
利用夹持器59将管36从两侧夹住，并使滚筒39、滚筒40一面旋转一面下降的动作与实施方式1相同。因此，与实施方式1同样地，可利用夹持器59将管36内残留的残留树脂48强制捋出。借此，可从点胶机58的吐出部17中将液状树脂尽早吐出。
根据本实施方式，在点胶机58中，构成夹持器59的滚筒支持构件60及滚筒支持构件61是分别由一根棒状构件60a、棒状构件60b、棒状构件60c及棒状构件61a、棒状构件61b、棒状构件61c构成。因此，可进一步简化夹持器59的构成，可降低点胶机58的成本。
本实施方式中，在点胶机58中，设定为将构成夹持器59的滚筒支持构件60及滚筒支持构件61(具体来说是滚筒39及滚筒40)平行配置，并从两侧夹持管36的构成。不限于此，例如也可利用像剪刀那样以支点为中心且向两侧打开的滚筒支持构件(滚筒)来夹持管36。通过设定为这种构成，可使夹持器的动作简单，进一步简化夹持器的移动机构。
[实施方式3]
(点胶机的变形例2)
参照图7的(a)～图7的(c)对实施方式3中使用的点胶机进行说明。与实施方式1的不同之处在于：在点胶机中，关于夹持器，在一侧设置滚筒支持构件及滚筒，在另一侧设置固定于吐出部的固定板。除此以外的构成与实施方式1相同，因此对相同的构成要素标注相同的符号而省略说明。
像图7的(a)～图7的(c)所示那样，在点胶机64中，吐出部65具备：具有吐出口34的喷嘴22、安装在吐出口34上的接头35、套在接头35上的可弹性变形的管36、以及固定在喷嘴22上的固定板66。固定板66与管36是以接触的方式配置于吐出部65。
在固定板66的相反侧设有可夹持管36而移动的夹持器67。夹持器67是使用与实施方式1所示的滚筒支持构件37相同的滚筒支持构件而构成。滚筒支持构件37是由沿着Y方向的一根棒状构件37a、与棒状构件37a的两端连接且沿着X方向的两条棒状构件37b、以及与各棒状构件37b连接且沿着Z方向的两条棒状构件37c所构成。此外，也可认为固定板66作为夹持器而工作。
在构成夹持器67的滚筒支持构件37上以可旋转的方式安装有滚筒39。即，滚筒39是由滚筒支持构件37以可旋转的方式支持。滚筒39套在构成夹持器67的棒状构件37a上，通过棒状构件37b在X方向上移动，且通过棒状构件37c在Z方向上移动。连接构件41、移动机构42、移动机构43的构成及动作与实施方式1相同，因此省略说明。
参照图7的(c)，对利用夹持器67将管36内残留的残留树脂捋出的工序进行说明。首先，使用移动机构43使夹持器67下降到管36的外侧的既定位置。然后，使用移动机构42使夹持器67向-X方向移动，利用夹持器67(滚筒39)和固定板66夹住管36。接着，在利用夹持器67和固定板66夹持管36的状态下使夹持器67下降。借此，利用滚筒39从夹持管36的位置开始向下方将残留的残留树脂及从管36的前端垂落的垂液树脂强制捋出。
根据本实施方式，在点胶机64中，将固定板66固定于吐出部65，在固定板66的相反侧设置可夹持管36而移动的夹持器67。通过利用固定板66和夹持器67夹住管36，并使滚筒39一面旋转一面下降，可利用夹持器67将管36内残留的残留树脂强制捋出。借此，可从点胶机64的吐出部65中将液状树脂尽早吐出。
根据本实施方式，在点胶机64中，在吐出部65设置固定板66和可夹持管36而移动的夹持器67。由于仅在一侧设置夹持器67，因此与实施方式1相比可将移动机构的个数减半。因此，可将包含夹持器的夹紧机构的构成进一步简化，可进一步降低点胶机64的成本。
[实施方式4]
关于实施方式4，在所述实施方式中，对利用控制部对应于蓄积部内的流动性树脂的余量而控制使夹持器移动的移动量的构成进行说明。另外，对在捋出工序中对应于蓄积部内的流动性树脂的余量而控制夹持器的移动量的方法进行说明。
另外，所述实施方式中，对向多个吐出对象物进行吐出的情况、换言之将一系列挤出工序及捋出工序重复多次的情况进行说明。这里，成为利用控制部对应于蓄积部内的流动性树脂的余量而控制使夹持器移动的移动量的构成。另外，成为以下方法：蓄积部内的流动性树脂的蓄积量为对应于多个吐出对象物的量，由控制部所致的夹持器的移动量是针对多个吐出对象物中的至少两个而不同。
(比较例)
在本实施方式的说明之前，作为比较例，对现有的点胶机中的吐出树脂量的不均进行说明。
在现有的点胶机中，若调查从吐出开始经过一定时间后的吐出树脂量，则吐出到吐出对象物上的吐出树脂量根据针筒内的液状树脂的树脂量而不同。
参照图8的(A)～图8的(C)对所述现象进行说明。像图8的(A)～图8的(C)所示那样，现有的点胶机中并未设置管36及夹持器18。图8的(A)为针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比而较大的状态，图8的(B)为针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比为中等程度的状态，图8的(C)为针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比而较小的状态。
图8的(A)～图8的(C)中，均以相同的移动量将活塞27挤出，将针筒20内的液状树脂32从吐出部17的吐出口中吐出，若经过充分的时间，则吐出与活塞27的移动量相对应的树脂量。
然而，在活塞27的挤出动作停止后，调查经过相对较短的时间后的吐出树脂量，结果例如若为图8的(A)～图8的(C)的情况，则(A)最少，(C)最多，(B)为(A)与(C)之间。
关于所述现象，像以下那样进行考察。例如在图8的(A)～图8的(C)的任一状态下，若以相同的移动量将活塞27挤出，则针筒20内的液状树脂32被压缩，在针筒20内产生应力。所述应力因从吐出部17的吐出口中吐出液状树脂32而减小。即便停止活塞27的挤出动作，液状树脂32也欲从经压缩的状态还原，因此继续从吐出部17中吐出树脂。
这里，经压缩的液状树脂32还原为止的时间、即因活塞27的挤出动作而产生的针筒20内的应力消除为止的时间依存于针筒20内残留的液状树脂32的树脂量。关于所述时间，例如若为图8的(A)～图8的(C)的情况，则(A)最长，(C)最短，(B)为(A)与(C)之间。
因此，从活塞27的挤出动作开始到因所述动作而产生的针筒20内的应力消失之前的时刻为止的一定时间内，从吐出部17的吐出口中吐出的液状树脂32的树脂量也依存于针筒20内残留的液状树脂32的树脂量。关于所述一定时间内的吐出树脂量，例如若为图8的(A)～图8的(C)的情况，则(A)最少，(C)最多，(B)为(A)与(C)之间。
像以上那样，可知在使用比较例的现有的点胶机的情况下，即便将因活塞27的挤出动作所引起的活塞27的移动量设定为一定，实际的吐出树脂量也依存于针筒20内的液状树脂32的余量。而且得知，由于产生垂液现象，因此将所设定的吐出量(重量)吐出需要相当长的时间。像这样，在使用现有的点胶机的情况下，吐出所设定的液状树脂的吐出量为止需要非常长的时间成为问题。
(预备实验)
然后，作为预备实验，参照图9的(A)、图9的(B)、图9的(C)～图10的(a)、10(b)、图10的(c)例如对以下方法进行说明，即，使用图1所示的点胶机15，即便在针筒20内残留的液状树脂32的树脂量变化的情况下，也从吐出部17中将所设定的一定的吐出量尽早吐出。
像实施方式1所示那样，通过利用夹持器18夹持安装在点胶机15的吐出部17上的管36并使夹持器18下降，可利用夹持器18将管36内残留的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49强制捋出。
然而，像参照图8的(A)～图8的(C)所说明那样，可知从点胶机的吐出部17中吐出的液状树脂的吐出量依存于针筒20内残留的液状树脂32的树脂量。本实施方式中对以下方法进行说明，即，对应于针筒20内残留的液状树脂32的树脂量，而控制利用夹持器18夹住管36的位置、及使夹持器18移动的冲程量，由此从吐出部17中将所设定的一定的吐出量尽早吐出。
像图9的(A)、图9的(B)、图9的(C)～图10的(a)、10(b)、图10的(c)所示那样，例如在点胶机15中，与针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比而较大的状态(A)、针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比为中等程度的状态(B)、针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比而较小的状态(C)分别对应，来调整使夹持器18下降而夹住管36的位置、及使夹持器18移动的冲程量。图9的(A)～图9的(C)分别与图8的(A)～图8的(C)相对应。
像图10的(a)所示那样，在针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比而较大的状态(A)下，使夹持器18下降到P1的位置并夹住管36。在所述状态下使夹持器18从P1的位置以既定的冲程量L1下降到管36的下端的P4的位置，利用夹持器18将管36内残留的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49强制捋出。
同样地，像图10的(b)所示那样，在针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比为中等程度的状态(B)下，使夹持器18下降到P2的位置并夹住管36。在所述状态下使夹持器18从P2的位置以既定的冲程量L2下降到管36的下端的P4的位置，利用夹持器18将管36内的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49强制捋出。所述情况下，使夹持器18下降的冲程量L2与冲程量L1的关系成为L2＜L1。
同样地，像图10的(c)所示那样，在针筒20内残留的液状树脂32的树脂量的值与其他情况相比而较小的状态(C)下，使夹持器18下降到P3的位置并夹住管36。在所述状态下使夹持器18从P3的位置以既定的冲程量L3下降到管36的下端的P4的位置，利用夹持器18将管36内的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49强制捋出。所述情况下，使夹持器18下降的冲程量L3、冲程量L2和冲程量L1的关系成为L3＜L2＜L1。
这里，较佳为使夹持管36的状态的夹持器18的下降停止的位置P4相同，并使利用夹持器18夹住管36的位置变化，由此使夹持器18移动的冲程量变化。若像这样设定，则可减少捋出动作后的状态不均，可进行稳定的吐出工序。因此，可从点胶机15的吐出部17中将所设定的一定的吐出量(重量)尽早吐出。借此，即便针筒20内残留的液状树脂32的树脂量变化，也可稳定地将一定的吐出量尽早吐出。
(装置构成)
本实施方式中，可采用所述实施方式1～实施方式3的任一构成，此处与预备实验的说明相对应，对使用实施方式1的点胶机15的情况进行记载。
关于装置构成，与实施方式1不同的方面在于控制部31(参照图2的(a)、图2的(b))对应于蓄积部即针筒20内的流动性树脂即液状树脂32的余量，来控制使夹持器18移动的移动量。进而，在以下方面也与实施方式1不同：针筒20内的液状树脂32的蓄积量为对应于多个吐出对象物的量，由控制部31所致的夹持器18的移动量是针对多个吐出对象物中的至少两个而不同。
(液状树脂的吐出方法)
关于液状树脂的吐出方法，与实施方式1不同的方面首先例如为预先像所述预备实验那样，以实验方式预先设定对应于针筒20内的液状树脂32的余量的使夹持器18移动的移动量。
然后，在对多个吐出对象物进行吐出工序时，例如与所述预备实验同样地，与图9的(A)、图9的(B)、图9的(C)～图10的(A)、(B)、(C)相对应而吐出到各不相同的吐出对象物上。
由于对多个吐出对象物进行液状树脂32的吐出，因此将液状树脂32的挤出工序及捋出工序重复多次。此时，例如与所述预备实验同样地，与图9的(A)、图9的(B)、图9的(C)～图10的(A)、(B)、(C)相对应，而使多次捋出工序中的夹持器18的冲程量不同。
这里，在高精度地控制吐出树脂量的情况下，只要针对每个吐出对象物、即每次吐出工序使夹持器18的冲程量不同即可。若吐出树脂量的控制不需要精度，则无需针对每个吐出对象物、即每次吐出工序使夹持器18的冲程量不同，只要针对至少两个吐出对象物、即至少两次吐出工序使夹持器18的冲程量不同即可。
此外，关于树脂成形品的制造方法，基本上与实施方式1相同，只要像这里所说明那样来进行与多个吐出对象物相对应的多次吐出工序即可。此时，进行树脂成形工序的次数可设为与吐出对象物的个数或进行吐出工序的次数相同。
本实施方式中，对应于蓄积部即针筒内的流动性树脂的余量而控制使夹持器移动的移动量。进而，蓄积部即针筒内的流动性树脂的余量即蓄积量成为对应于多个吐出对象物的量，由控制部所致的夹持器的移动量是针对多个吐出对象物中的至少两个而不同。
另外，本实施方式中，在捋出工序中对应于蓄积部即针筒内的流动性树脂的余量而控制夹持器的移动量。进而，将挤出工序及捋出工序重复多次，且针对多次捋出工序中的至少两次使夹持器的移动量不同。
更详细来说，根据本实施方式，在点胶机15的吐出部17上安装可弹性变形的管36，在管36的两侧设置可夹持管36而移动的夹持器18。根据针筒20内残留的液状树脂32的树脂量，来分别控制夹持器18夹住管36的位置P1、位置P2、位置P3及使夹持器18移动的冲程量L1、冲程量L2、冲程量L3。借此，即便针筒20内残留的液状树脂32的树脂量变化，也可将一定的液状树脂从吐出部17中吐出。因此，可不依存于针筒20内残留的液状树脂32的树脂量，而将一定的液状树脂从吐出部17中尽早稳定地吐出。即，可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间，而且可实现流动性树脂的吐出量的高精度化。因此，可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的生产性及品质的稳定性。
本实施方式中，将针筒20内残留的液状树脂32的树脂量分为(A)、(B)、(C)三个阶段，并分别分三个阶段来控制夹持器18夹住管36的位置P1、位置P2、位置P3及使夹持器18移动的冲程量L1、冲程量L2、冲程量L3。不限于此，也可对应于针筒20内蓄积的液状树脂的蓄积量而更精细地划分针筒20内残留的液状树脂32的树脂量，由此分别更精细地控制夹持器18夹住管36的位置及使夹持器18移动的冲程量。
此外，安装在点胶机15的吐出部17上的管36的口径及长度可任意设定。若管36的口径大，则可尽早吐出液状树脂。通过减小管36的口径并延长管36的长度而增大使夹持器18移动的冲程量，可更高精度地控制将管36压扁的体积。因此，可更高精度地控制吐出的液状树脂的吐出量。关于管36的口径及长度，可考虑生产性对应于液状树脂的粘度及吐出量等而最优化。
[实施方式5]
参照图11～图14的(a)、图14的(b)、图14的(c)，对实施方式5的树脂成形装置的构成和树脂成形品的制造方法进行说明。与实施方式1的树脂成形装置1的不同之处在于：进行树脂成形的对象为圆形状的晶片；以及将液状树脂吐出到吐出对象物上，并从吐出对象物向成形模供给液状树脂。除此以外的构成及动作与实施方式1相同，因此对相同的构成要素标注相同的符号而省略说明。
(树脂成形装置的构成)
参照图11，对实施方式5的树脂成形装置的构成进行说明。像图11所示那样，树脂成形装置68分别具备晶片供给/收容模块69、三个成形模块3A、成形模块3R、成形模块3C以及树脂供给模块4作为构成要素。作为构成要素的晶片供给/收容模块69、成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C以及树脂供给模块4可分别相对于其他构成要素而彼此装卸，且可更换。
在晶片供给/收容模块69中，设有供给密封前晶片70的密封前晶片供给部71、收容密封后晶片72的密封后晶片收容部73、交接密封前晶片70及密封后晶片72的晶片载置部74、以及搬送密封前晶片70及密封后晶片72的晶片搬送机构75。此外，关于密封前晶片，例如有在成为支持构件的晶片上安装有多个半导体芯片的晶片、完成了半导体前工序(扩散工序及布线工序)的晶片、在完成了半导体前工序的晶片上形成有再布线的晶片等。
在各成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C中设有可升降的下模11和与下模11相向而配置的上模52(参照图14的(a)～图14的(c))。上模52和下模11一起构成成形模53。各成形模块3A、成形模块3B、成形模块3C具有将上模52和下模11锁模及开模的锁模机构12(以图的二点划线所表示的圆形部分)。在下模11中设有圆形状的模腔76，所述圆形状的模腔76成为被供给液状树脂并进行硬化的空间。
在树脂供给模块4中设有平台77和对平台77供给脱模膜(参照图12的(a)～图12的(d))的脱模膜供给机构78。在供给于平台77的脱模膜上，载置有具有圆形状的贯穿孔的树脂收容框79。脱模膜和树脂收容框79成一体而构成树脂收容部(参照图12的(a)～图12的(d))，所述树脂收容部收容从点胶机15(参照图2的(a)、图2的(b))中吐出的液状树脂。在树脂供给模块4中，设有向树脂收容部吐出液状树脂的点胶机15、使点胶机15移动的移动机构80以及搬送树脂收容部的树脂搬送机构81。点胶机15与实施方式1中所示的点胶机相同。与实施方式1同样地，在点胶机15的吐出部17设有夹持器18。本实施方式中，载置在平台77上的脱模膜或树脂收容部成为吐出液状树脂的吐出对象物。
关于脱模膜供给机构78，使用将长条状(卷状)的脱模膜供给于平台77的脱模膜供给机构、或将经切割成短条状的脱模膜供给于平台77的脱模膜供给机构。
晶片供给/收容模块69中，设有控制树脂成形装置68的动作的控制部CTL。控制部CTL控制密封前晶片70及密封后晶片72的搬送、点胶机15的移动及液状树脂的吐出、成形模的加热、成形模的开闭等。
(树脂成形品的制造方法)
参照图12的(a)、图12的(b)、图12的(c)、图12的(d)～图14的(a)、图14的(b)、图14的(c)对以下方法进行说明，即，向作为吐出对象物的树脂收容部(脱模膜)吐出液状树脂，并将被吐出到树脂收容部中的液状树脂供给于成形模而制造树脂成形品。
首先，像图12的(a)所示那样，从脱模膜供给机构78(参照图11)将例如长条状的脱模膜82供给于平台77，并切割成既定的大小。然后，将具有圆形状的贯穿孔83的树脂收容框79载置在脱模膜82上。在所述状态下，脱模膜82和树脂收容框79成一体而构成收容液状树脂的树脂收容部84。然后，使用移动机构80使点胶机15移动到树脂收容部84的上方的既定位置。在所述情况下，示出使用移动机构80使点胶机15移动到树脂收容部84的上方的情况，但也可使平台77移动到点胶机15的下方。只要是使点胶机15与树脂收容部84相对地移动的构成即可。
然后，像图12的(b)所示那样，从点胶机15的树脂吐出部17(管36)向树脂收容部84(脱模膜82)吐出液状树脂85。液状树脂85被吐出到树脂收容部84所具有的贯穿孔83中。关于吐出液状树脂85的图案形状，例如优选的是像图13的(a)所示那样，以与圆形状的贯穿孔83相对应的方式以螺旋状的图案形状吐出液状树脂85。在所述情况下，从中央部向外周部以螺旋状吐出液状树脂85。反之，也可从外周部向中央部以螺旋状吐出液状树脂85。
吐出液状树脂85的图案形状不限定于螺旋状的图案形状。除此以外，也可为同心圆状、分散的点等，与树脂收容部84所具有的贯穿孔83的形状相对应而任意设定。液状树脂85优选的是在树脂收容部84中尽可能均等地配置的图案形状。
然后，像图12的(c)所示那样，停止点胶机15的吐出(停止活塞27的挤出动作)之后，使用夹持器18将安装在点胶机15的吐出部17上的管36内的残留树脂48及从管36的前端垂落的垂液树脂49捋出(参照图4的(a)～图4的(d))。在脱模膜82上配置有以螺旋状吐出的液状树脂85(参照图13的(a))。在所述情况下，底面由脱模膜82所构成的树脂收容部84成为吐出对象物。
继而，像图12的(d)所示那样，通过设于树脂收容框79的底面的吸附槽(未图示)将脱模膜82吸附于树脂收容框79。使用树脂搬送机构81，将树脂收容框79、脱模膜82和以螺旋状经吐出的液状树脂85成一体的状态的树脂收容部84从平台77提起。
然后，像图14的(a)所示那样，使用晶片搬送机构75(参照图11)，通过吸附或夹紧等将安装有半导体芯片86的密封前晶片70固定于上模52的模面。然后使用树脂搬送机构81，将树脂收容部84搬送到上模52和下模11之间的既定位置。在树脂收容部84中，液状树脂85被收容在由树脂收容框79和脱模膜82所封闭的贯穿孔83中。接着，使树脂搬送机构81下降，将树脂收容部84载置在下模11上。在所述状态下，经吐出到脱模膜82上的螺旋状的液状树脂85是配置在模腔76的上方。
然后，像图14的(b)所示那样，通过设于下模11的吸附机构(未图示)沿着模腔76的模面吸附脱模膜82。借此，脱模膜82和液状树脂85一起被供给于模腔76。然后，使用设于下模11的加热器(未图示)将液状树脂85加热而使其熔融，生成粘度降低的流动性树脂87。
然后，像图14的(c)所示那样，通过锁模机构12(参照图11)使下模11上升，将上模52和下模11锁模。通过进行锁模，使安装在密封前晶片70上的半导体芯片86浸渍在流动性树脂87中。
然后，使用设于下模11的加热器，使流动性树脂87硬化而成形硬化树脂88。借此，利用与模腔76的形状相对应而成形的硬化树脂88对安装在密封前晶片70上的半导体芯片86进行树脂密封。在所述阶段中，制造经树脂密封的树脂成形品89(密封后晶片72)。使用晶片搬送机构75(参照图11)将树脂成形品89收容到密封后晶片收容部73(参照图11)中。
根据本实施方式，在点胶机15的吐出部17上安装可弹性变形的管36。在管36的两侧设置可夹持管36而移动的夹持器18。通过利用夹持器18夹持管36并使夹持器18下降，可利用夹持器18将管36内残留的残留树脂及从管36的前端垂落的垂液树脂强制捋出。
根据本实施方式，向作为吐出对象物的树脂收容部84(脱模膜82)吐出液状树脂85，并将树脂收容部84中收容的液状树脂85供给于设于下模11的模腔76进行树脂成形。由于并未将液状树脂85直接吐出到模腔76中，因此吐出到脱模膜82上的液状树脂85不会受到来自设于成形模的加热器的热影响。因此，可在将液状树脂85吐出到脱模膜82上的期间中，抑制液状树脂85开始硬化。借此，可抑制吐出到脱模膜82上的液状树脂85的硬化不均，可减少树脂成形品的树脂厚度的不均。
各实施方式中，从设于点胶机的吐出部中向吐出对象物吐出液状树脂。实施方式1中，对将设于下模11的模腔13作为吐出对象物而向模腔13吐出液状树脂32的形态进行了说明。实施方式5中，对将载置在平台77上的脱模膜82(树脂收容部84)作为吐出对象物而向脱模膜82吐出液状树脂85的形态进行了说明。
关于吐出对象物，除了模腔或脱模膜以外，可向安装有半导体芯片的基板、安装有半导体芯片的晶片、完成了半导体前工序的晶片等吐出液状树脂。在这些情况下，将经液状树脂吐出的吐出对象物供给于成形模进行树脂成形。液状树脂在设于成形模的模腔中熔融，并与模腔的形状相对应而硬化。
各实施方式中，示出了使用将主剂和硬化剂预先混合而生成的液状树脂的一液型点胶机。不限于此，在实际使用时使用在点胶机中将主剂和硬化剂混合而使用的二液混合型点胶机的情况下，也发挥与各实施方式相同的效果。
各实施方式中，说明了对半导体芯片进行树脂密封时所使用的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。进行树脂密封的对象也可为集成电路(Integrated Circuit，IC)、晶体管等半导体芯片，也可为不使用半导体的非半导体芯片，也可为半导体芯片与非半导体芯片混合存在的芯片群。可在利用硬化树脂对安装在基板或晶片等上的一个或多个芯片进行树脂密封时应用本发明。
此外，不限于对电子零件进行树脂密封的情况，在通过树脂成形来制造透镜、反射板(reflector)、导光板、光学模块等光学零件、其他树脂成形品的情况下，可应用本发明。
像以上那样，所述实施方式的吐出装置是设定为具备以下部分的构成：蓄积流动性树脂的蓄积部、挤出流动性树脂的挤出机构、与蓄积部连接且吐出流动性树脂的吐出部、安装在吐出部上的可弹性变形的管、可夹持管而移动的夹持器、以及控制夹持器的移动量的控制部。
根据所述构成，可通过利用夹持器夹持安装在吐出装置的吐出部上的可弹性变形的管并使夹持器下降，而利用夹持器将管内残留的残留树脂捋出。因此，可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间，从而可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的生产性。
进而，所述实施方式的吐出装置是设定为以下构成：控制部对应于蓄积部内的流动性树脂的余量而控制使夹持器移动的移动量。
根据所述构成，即便蓄积部内残留的流动性树脂的余量变化，也可吐出一定的流动性树脂。因此，可实现流动性树脂的吐出量的高精度化，从而可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的品质的稳定性。
进而，所述实施方式的吐出装置是设定为以下构成：蓄积部内的流动性树脂的蓄积量为对应于多个吐出对象物的量，由控制部所致的夹持器的移动量是针对多个吐出对象物中的至少两个而不同。
根据所述构成，即便蓄积部内的流动性树脂的余量变化，也可吐出一定的流动性树脂。因此，可实现流动性树脂的吐出量的高精度化，从而可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的品质的稳定性。
进而，所述实施方式的吐出装置是设定为以下构成：具有使夹持器在水平方向上移动的第一驱动机构、和使夹持器在铅垂方向上移动的第二驱动机构。
根据所述构成，可使用第一驱动机构利用夹持器夹持管。可使用第二驱动机构使夹持器移动既定量。因此，可利用夹持器将管内残留的残留树脂捋出。
进而，所述实施方式的吐出装置是设定为以下构成：夹持器具备旋转的滚筒，通过在夹持器夹持管的状态下滚筒一面旋转一面下降，而将管内残留的残留树脂捋出。
根据所述构成，可通过滚筒一面旋转一面下降而将管内残留的残留树脂捋出。
所述实施方式的树脂成形装置是设定为具备所述任一吐出装置的构成。
根据所述构成，可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间，从而可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的生产性。
所述实施方式的吐出方法包括：挤出工序，将蓄积部中蓄积的流动性树脂挤出，由此从与蓄积部连接的吐出部上安装的可弹性变形的管中吐出流动性树脂；以及捋出工序，利用夹持器夹持管并使夹持器向下方移动，由此将管内残留的残留树脂捋出。
根据所述方法，可利用夹持器将流动性树脂尽早吐出。因此，可缩短液状树脂等流动性树脂的吐出工序所需要的时间，从而可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的生产性。
进而，所述实施方式的吐出方法在捋出工序中，对应于蓄积部内的流动性树脂的余量而控制夹持器的移动量。
根据所述方法，即便蓄积部内残留的流动性树脂的余量变化，也可吐出一定的流动性树脂。因此，可实现流动性树脂的吐出量的高精度化，从而可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的品质的稳定性。
进而，所述实施方式的吐出方法将挤出工序及捋出工序重复多次，并针对多次捋出工序中的至少两次使夹持器的移动量不同。
根据所述方法，即便蓄积部内的流动性树脂的余量变化，也可吐出一定的流动性树脂。因此，可实现流动性树脂的吐出量的高精度化，从而可提高进行流动性树脂的吐出而制造的树脂成形品的品质的稳定性。
所述实施方式的树脂成形品的制造方法包括以下锁模工序，即，在将通过所述任一吐出方法所吐出的流动性树脂供给于成形模的状态下，将成形模锁模。
根据所述方法，可稳定地制造树脂成形品，从而可提高生产性。
本发明不限定于所述各实施方式，可于不偏离本发明主旨的范围内，视需要任意且适当地组合、变更或选择采用。

Claims (11)

1.一种吐出装置，其特征在于具备：
蓄积部，蓄积流动性树脂；
挤出机构，挤出所述流动性树脂；
吐出部，与所述蓄积部连接，且吐出所述流动性树脂；
管，安装在所述吐出部上，且可弹性变形；以及
夹持器，可夹持所述管而移动。
2.根据权利要求1所述的吐出装置，其特征在于还具备控制所述夹持器的移动量的控制部。
3.根据权利要求2所述的吐出装置，其特征在于：所述控制部对应于所述蓄积部内的所述流动性树脂的余量而控制使所述夹持器移动的移动量。
4.根据权利要求2或3所述的吐出装置，其特征在于：所述蓄积部内的所述流动性树脂的蓄积量为对应于多个吐出对象物的量，
由所述控制部所致的所述夹持器的移动量是针对所述多个吐出对象物中的至少两个而不同。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的吐出装置，其特征在于具有：
第一驱动机构，使所述夹持器在水平方向上移动；以及
第二驱动机构，使所述夹持器在铅垂方向上移动。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的吐出装置，其特征在于：所述夹持器具备旋转的滚筒，
在所述夹持器夹持所述管的状态下所述滚筒一面旋转一面下降，由此将所述管内残留的残留树脂捋出。
7.一种树脂成形装置，其特征在于具备根据权利要求1至6中任一项所述的吐出装置。
8.一种吐出方法，其特征在于包括：
挤出工序，将蓄积部中蓄积的流动性树脂挤出，由此从与所述蓄积部连接的吐出部上安装的可弹性变形的管中吐出所述流动性树脂；以及
捋出工序，利用夹持器夹持所述管并使所述夹持器向下方移动，由此将所述管内残留的残留树脂捋出。
9.根据权利要求8所述的吐出方法，其特征在于：在所述捋出工序中，对应于所述蓄积部内的所述流动性树脂的余量而控制所述夹持器的移动量。
10.根据权利要求8或9所述的吐出方法，其特征在于：将所述挤出工序及所述捋出工序重复多次，针对所述多次捋出工序中的至少两次使所述夹持器的移动量不同。
11.一种树脂成形品的制造方法，其特征在于包括以下工序：在将通过权利要求8至10中任一项所述的吐出方法而吐出的所述流动性树脂供给于成形模的状态下，进行树脂成形。
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