CN108326385A - 钎焊装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的钎焊装置(100)包括：加热工具(51)，执行钎焊处理；摄像装置(6)，对被执行了钎焊处理的处理区域进行拍摄，生成图像数据；以及控制装置(1)，控制摄像装置(6)；其中，控制装置(1)包含：存储部(13)，将表示处理区域的位置的位置数据和从摄像装置(6)获得的图像数据相关联地存储。由此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够迅速地确认所被指出的异常部位的钎焊处理后的状态。

Description

钎焊装置
技术领域
本发明涉及拍摄钎焊处理的对象区域的钎焊装置。
背景技术
自以往已知有拍摄钎焊处理的对象区域的钎焊装置。例如，日本专利公开公报特开2010-29888号(以下称作专利文献)中记载了在基板内的各钎焊区域的钎焊作业中连续地拍摄钎焊区域的图像并且将该图像暂时存储于存储器的钎焊装置。该钎焊装置通过对基于从存储器取得的二个以上在时间上相近的拍摄图像而生成的合成图像和预先设定的判定基准区域进行比较，逐次判定焊料面积有无异常。由此，在判定到异常的时刻停止钎焊作业。基板内的所有钎焊区域的钎焊作业中未发现异常时，该基板被移送到后工序。
然而，在采用上述专利文献的技术的情况下，在出货或搬送等后工序中，有时会因基板受冲击而在钎焊执行部位中发生焊料脱离等异常情况。此外，钎焊异常的判定基准会因买主的不同而有所不同。因此，即使是采用所述判定基准区域而判定为无异常的基板也有可能被买主指出钎焊中存在着异常。这样，即使应用了上述专利文献的技术，也有可能在基板的出货后被指出存在着钎焊的异常部位。
此外，在采用上述专利文献的技术的情况下，拍摄各钎焊区域而得到的图像只被暂时存储。因此，即使被指出存在异常，也只能在基板退回来后才能够确认到钎焊的异常部位的状态。另外，即使欲根据买主的要求来改善异常的判定基准，也无法确认到钎焊作业后的钎焊区域的图像，因此，无法把握到当前的异常判定基准中所存在的问题，在问题的改善上需要时间。
发明内容
本发明鉴于上述的问题而作，其目的在于提供一种如下的钎焊装置：当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够迅速地确认所被指出的异常部位的钎焊处理后的状态。
本发明一个方面涉及钎焊装置，其包括：加热工具，执行钎焊处理；摄像装置，对被执行所述钎焊处理的处理区域进行拍摄，生成图像数据；以及控制装置，控制所述摄像装置；其中，所述控制装置包含：存储部，将表示所述处理区域的位置的位置数据和从所述摄像装置获得的所述图像数据相关联地存储。
根据上述的钎焊装置，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够迅速地确认所被指出的异常部位的钎焊处理后的状态。
本发明的上述的技术目的、特征及优点通过以下的详细说明及附图图示变得更为明了。
附图说明
图1是表示钎焊装置的功能结构的一个例子的方块图。
图2是烙铁单元的立体图。
图3是表示基板表面和三维坐标的关系的图。
图4是表示存储部所存储的信息及数据的一个例子的图。
图5是表示执行点钎焊处理的处理区域的一个例子的图。
图6是表示执行连续钎焊处理的处理区域的一个例子的图。
图7是表示以基板上的各处理区域为对象来进行钎焊处理时的动作的一个例子的流程图。
图8是表示以基板上的各处理区域为对象来进行钎焊处理时的动作的一个例子的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。在各图中，对于相同的结构要素采用相同的符号。
<功能结构>
图1是表示钎焊装置100的功能结构的一个例子的方块图。图2是烙铁单元5的立体图。图3是表示基板表面PL与三维坐标的关系的图。
如图1所示，钎焊装置100具备正交型四轴驱动机器人2和控制装置1。正交型四轴驱动机器人2具备保持部3和驱动部4。
保持部3保持烙铁单元5和摄像装置6。具体而言，保持部3由正交型四轴驱动机器人2所具备的图3所示的臂20构成。
如图2及图3所示，烙铁单元5具备：固定在正交型四轴驱动机器人的臂20上的烙铁单元基座50；连结于烙铁单元基座50的烙铁51(加热工具的一个例子)及钎料供应机构52。
烙铁51具备由金属线材形成的未图示的线圈加热器。线圈加热器被内置于插入在主体512内部的未图示的烙铁头加热器一体型组件中。线圈加热器在控制装置1的控制下将烙铁51的远端部511(下面表述为烙铁头511)加热至能够使钎料SL熔融的指定温度。
钎料供应机构52是能够送出从未图示的卷筒导入的钎料SL的公知的机构。钎料供应机构52在控制装置1的控制下执行将控制装置1所指示的量的钎料SL供应到被加热至所述指定温度的烙铁头511的钎料供应处理。即，烙铁51执行如下的钎焊处理：利用烙铁头511使基于钎料供应处理而供给的钎料SL熔融，在烙铁头511所存在的位置使熔融的钎料SL附着。下面，将基于钎焊处理而使钎料SL附着的对象区域表述为处理区域。
烙铁51及钎料供应机构52随着固定在臂20(保持部3)上的烙铁单元基座50的移动而一体地移动。由于烙铁51及钎料供应机构52为公知，因此省略其更具体的结构的说明。
摄像装置6在控制装置1的控制下拍摄所述处理区域，生成图像数据。摄像装置6以能够生成作为图像数据的表示静态图像的静态图像数据及表示动态图像的动态图像数据的方式而被构成。
如图3所示，摄像装置6为了拍摄处理区域，以拍摄方向朝向烙铁头511的方式而被支撑部件61支撑。支撑部件61被固定于钎料供应机构52。即，摄像装置6也与烙铁单元5同样地随着固定在臂20(保持部3)上的烙铁单元基座50的移动而一体地移动。由此，能够缩短使摄像装置6的拍摄方向朝向执行钎焊处理的处理区域的时间。其结果，能够让摄像装置6迅速地拍摄处理区域。此外，摄像装置6也可以采用在控制装置1的控制下能够改变拍摄方向的结构。
驱动部4在控制装置1的控制下如图3所示通过使臂20(保持部3)移动来使连结于烙铁单元基座50的烙铁51的烙铁头511移动到三维坐标上的指定的点(例：P1(x1，y1，z1))上。
三维坐标以沿着成为钎焊处理的对象的基板表面PL彼此正交的X轴和Y轴以及相对于基板表面PL向直角的方向延伸的Z轴这三轴作为坐标轴。下面，将沿X轴的方向表述为X轴方向，将沿Y轴的方向表述为Y轴方向，将沿Z轴的方向表述为Z轴方向。将沿着Z轴离开基板表面PL的方向表述为上方，将其相反方向表述为下方。此外，Z坐标为越是上方的位置越大而越是下方的位置越小的坐标。
烙铁51以烙铁头511存在于沿Z轴方向延伸的臂20的转轴21的延长线上的方式而连结于烙铁单元基座50，而且，烙铁单元基座50被固定于臂20。驱动部4通过使转臂20以转轴21为中心向θ方向(逆时针方向)转动，来使烙铁51以烙铁51的烙铁头511为中心向θ方向转动。图3中的符号5a表示烙铁单元5被投影到基板表面PL上的图。图3中，例示了驱动部4使烙铁51以烙铁头511为中心相对于X轴方向向θ方向转动了角度“θ1”的情况。
驱动部4作为第一驱动部41、第二驱动部42、第三驱动部43及第四驱动部44而发挥作用。
第一驱动部41使烙铁头511沿着X轴移动到由后述的移动控制部14所指定的X坐标(例：x1)的位置。第一驱动部41由使臂20沿着X轴移动的驱动马达构成。第二驱动部42使烙铁头511沿着Y轴移动到由后述的移动控制部14所指定的Y坐标(例：y1)的位置。第二驱动部42由使臂20沿着Y轴移动的驱动马达构成。第三驱动部43使烙铁头511沿着Z轴移动到由后述的移动控制部14所指定的Z坐标(例：z1)的位置。第三驱动部43由使臂20沿着Z轴移动的驱动马达构成。
第四驱动部44以使烙铁51的中心轴相对于X轴方向在θ方向(逆时针方向)上所成的角度成为由后述的处理控制部15所指定的角度(例：θ1)的方式而使烙铁51以烙铁头511为中心向θ方向转动。下面，将以下的情况亦即以使烙铁51的中心轴相对于X轴方向在θ方向上所成的角度成为角度“θx”的方式而使烙铁51以烙铁头511为中心向θ方向转动的情况简述为将烙铁51的方位调整为角度“θx”。第四驱动部44由使臂20以转轴21为中心向θ方向转动的驱动马达构成。
控制装置1具备显示部11、操作部12、存储部13、移动控制部14、处理控制部15、摄像控制部16、选择部17、输出部18及输入部19。
显示部11显示钎焊装置100的操作画面。显示部11由液晶显示器等构成。操作部12让作业者进行操作画面的操作。操作部12由触摸屏、用于让作业者输入信息的键盘、以及用于让作业者移动操作画面上所显示的光标或单击按键的鼠标等构成。
存储部13存储由操作部12输入的与钎焊处理的控制相关的信息及数据(下面，将其表述为控制相关信息)。此外，存储部13在利用了控制相关信息的钎焊处理的控制中存储从摄像装置6获得的图像数据及从后述的判定装置7获得的判定结果数据等数据。存储部13由具备CPU、RAM、ROM等的微电脑和存储器、HDD(Hard Disk Drive)及SSD(Solid StateDrive)等存储装置所构成。
具体而言，存储部13存储图4中所例示的信息及数据。图4是表示存储部13所存储的信息及数据的一个例子的图。作为由操作部12输入的控制相关信息，如图4所示，存储部13存储基板信息、顺序信息、处理区分信息、位置区分信息、位置数据、方位数据、条件数据、以及拍摄区分数据等。
基板信息是表示成为钎焊处理的对象的基板的种类(例：PL1，PL2)的信息。例如，基板信息中包含序号等。
顺序信息是表示在基板信息所表示的种类的基板上的各处理区域中进行钎焊处理的顺序(例：1，2…)的信息。
处理区分信息是表示在各处理区域中进行的钎焊处理是形成钎焊点的点钎焊处理(例：点钎焊)还是形成钎料SL的线段的连续钎焊处理(例：连续钎焊)的信息。
位置区分信息是表示为了在各处理区域中形成钎焊点或形成钎料SL的线段而使烙铁头511移动时的起点还是终点的信息。
当在各处理区域中形成钎焊点时，有必要使烙铁头511的移动结束，并使烙铁头511停止在形成钎焊点的对象位置。因此，在与表示钎焊处理为点钎焊处理(例：点钎焊)的处理区分信息相关联了的位置区分信息中包含表示位置为终点的信息。另一方面，当在各处理区域中形成钎料SL的线段时，有必要使烙铁头511从线段的起点移动到终点。因此，在与表示钎焊处理为连续钎焊处理(例：连续钎焊)的处理区分信息相关联了的位置区分信息中包含表示位置为起点及终点的信息。
位置数据是表示各处理区域的位置的数据。具体而言，在与表示钎焊处理为点钎焊处理(例：点钎焊)的处理区分信息相关联了的位置数据中包含表示在三维坐标(图3)上形成钎焊点的对象的位置为终点的位置的坐标数据(例：x11，y11，z11)。另一方面，在与表示钎焊处理为连续钎焊处理(例：连续钎焊)的处理区分信息相关联了的位置数据中包含表示在三维坐标(图3)上的钎料SL的线段的起点及终点的位置的坐标数据(例：表示起点的位置的坐标数据(x121，y121，z12)，表示终点的位置的坐标数据(x122，y122，z12))。
方位数据是表示在位置数据所表示的位置上烙铁51的中心轴相对于X轴方向在θ方向(图3)上所成的角度(例：θ11、θ12)的数据。
条件信息是表示以各处理区域为对象的钎焊处理的控制条件(例：条件信息11，条件信息12，···)的信息。控制条件中包含有在各处理区域中进行钎焊处理的次数及进行各钎焊处理的时期。此外，控制条件中包含有在点钎焊处理中的钎料SL的供应量等。此外，控制条件中包含有在连续钎焊处理中的烙铁头511的移动速度及烙铁51的转速、以及连续钎焊处理中每一次的钎料SL的供应量等。
拍摄区分数据是表示各处理区域为从摄像装置6获得的图像数据被相关联地存储的第一区分(例：1)、或各处理区域为从摄像装置6获得的图像数据不被存储的第二区分(例：2)的数据。
此外，存储部13在利用了控制相关信息的钎焊处理的控制中存储从摄像装置6获得的图像数据。
具体而言，存储部13在钎焊处理在各处理区域被执行后将摄像装置6拍摄各处理区域而生成的图像数据作为处理后图像数据(例：处理后图像数据11)而与表示各处理区域的位置的位置数据(例：x11，y11，z11)相关联地存储。此外，存储部13在针对各处理区域的钎焊处理的执行中将摄像装置6拍摄各处理区域而生成的图像数据作为处理中图像数据(例：处理中图像数据12)而与表示各处理区域的位置的位置数据(例：(x121，y121，z12)，(x122，y122，z12))相关联地存储。
此外，存储部13在以各处理区域为对象的钎焊处理后存储从判定装置7获得的判定结果数据。
具体而言，判定装置7输出表示根据所输入的图像数据而判定钎焊处理是否已被正常执行的判定结果的判定结果数据。例如，判定装置7通过进行公知的图像识别处理，对所输入的的图像数据和表示指定的判定基准的图像数据进行对比等，从而判定钎焊处理是否已被正常执行。
判定结果数据中包含例如表示钎焊处理已被正常执行的情况的数据(例：0)、以及表示钎焊处理未被正常执行的情况(异常)的数据(例：1)等。根据判定装置7中的图像数据进行判定的方法及判定结果数据并不限于所述的方式。
在以各处理区域为对象的钎焊处理后，后述的输出部18对判定装置7输出图像数据(例：处理后图像数据11)。其结果，存储部13从后述的输入部19接收判定装置7所输出的判定结果数据(例：0(正常))。存储部13将输出部18对判定装置7输出的图像数据(例：处理后图像数据11)和所接收的判定结果数据(例：0(正常))相关联地存储。
移动控制部14按照表示各处理区域的位置的位置数据(图4)来控制驱动部4，以使烙铁头511位于各处理区域。移动控制部14由具备CPU、RAM及ROM等的微电脑构成。
处理控制部15在烙铁头511位于各处理区域时控制烙铁单元5，并按照存储部13所存储的与各处理区域对应的处理区分信息(图4)及条件信息(图4)来使烙铁51进行钎焊处理。
摄像控制部16控制摄像装置6生成图像数据的时期及所生成的图像数据的种类(动态图像数据或静态图像数据)。摄像控制部16由具备CPU、RAM、ROM等的微电脑构成。摄像控制部16在摄像装置6采用能够控制拍摄方向的结构的情况下，还控制其拍摄方向。
选择部17受理将各处理区域区分为第一区分和第二区分的其中之一的选择，所述第一区分为图像数据被相关联地存储的区分，所述第二区分为图像数据不被存储的区分。选择部17由具备CPU、RAM及ROM等的微电脑构成。
具体而言，显示部11显示能够进行将进行钎焊处理的对象的基板上的各处理区域区分为第一区分或第二区分的选择操作的选择画面。在作业者通过该选择画面利用操作部12进行将各处理区域区分为第一区分或第二区分的选择时，选择部17受理该选择。
在处理区域被区分为第一区分的情况被受理时，存储部13如图4所示与表示处理区域的位置数据(例：x11，y11，z11)相关联地存储表示第一区分的拍摄区分数据“1”。在处理区域被区分为第二区分的情况被受理时，存储部13与表示处理区域的位置数据(例：x21，y21，z21)相关联地存储表示第二区分的拍摄区分数据“2”。
输出部18对判定装置7输出从摄像装置6获得的图像数据。输出部18由微电脑构成，该微电脑具备CPU、RAM、ROM以及与判定装置7进行通信的通信接口电路等。
输入部19接收判定装置7输出的判定结果数据。即，输入部19输入判定装置7所输出的判定结果数据。输入部19将所输入的判定结果数据输出给存储部13。输入部19由微电脑构成，该微电脑具备CPU、RAM、ROM以及与判定装置7进行通信的通信接口电路等。
<动作流程>
以下，参照图5至图7来说明以基板上的各处理区域为对象而进行钎焊处理时的动作。图5是表示被执行点钎焊处理的处理区域的一个例子的图。图6是表示被执行连续钎焊处理的处理区域的一个例子的图。图7及图8是表示以基板上的各处理区域为对象而进行钎焊处理时的动作的一个例子的流程图。
图5中例示了如下的情况：在存储部13中，与图4所示的基板信息“PL1”相关联的该基板信息“PL1”所表示的种类的基板上表示顺序“1”的处理区域(第一处理区域的一个例子)的位置的位置数据和与该位置数据相关联了的方位数据的组合“x11，y11，z11，θ11”。
图6中例示了如下的情况：在存储部13中，与图4所示的基板信息“PL1”相关联的该基板信息“PL1”所表示的种类的基板上表示与顺序“1”的处理区域在位置上彼此不同的顺序“2”的处理区域(第二处理区域的一个例子)的位置的位置数据和与该位置数据相关联了的方位数据的组合“(x121，y121，z12，θ12)，(x122，y122，z12，θ12)”。
在以下的说明中，利用图5及图6所例示的位置数据及方位数据的组合作为具体例子来说明以各处理区域为对象而进行钎焊处理的动作。
处理控制部15在图7所示的动作之前事先控制所述线圈加热器，以将烙铁头511(图3)加热至能够使钎料SL熔融的指定温度。如上所述，所述线圈加热器内置于被插入烙铁51的主体512(图3)内部的烙铁头加热器一体型组件中。此后，假设作业者利用操作部12对由显示部11所显示的未图示的操作画面输入了开始以基板信息“PL1”(图4)所示的种类的基板为对象的钎焊处理的控制的指示。
此情况下，如图7所示，处理控制部15首先判定以钎焊处理的对象的基板(下面，表述为对象基板)上的一处理区域为对象而进行的钎焊处理(下面，表述为对象钎焊处理)是否为点钎焊处理(S1)。下面，将进行对象钎焊处理的对象的一处理区域表述为对象处理区域。
具体而言，在S1中，处理控制部15从存储部13取得在与表示对象基板的种类的基板信息“PL1”关联了的顺序信息中，与未进行钎焊处理的处理区域关联了且表示最小的顺序的顺序信息(下面，表述为最小顺序信息)。存储部13中与所取得的最小顺序信息关联了的处理区分信息表示钎焊处理为点钎焊处理(例：“点钎焊”)时，处理控制部15判定为对象钎焊处理为点钎焊处理(S1；“是”)。另一方面，存储部13中与所取得的最小顺序信息关联了的处理区分信息表示钎焊处理为连续钎焊处理(例：“连续钎焊”)时，处理控制部15判定为对象钎焊处理不是点钎焊处理(S1；“否”)。
在S1中被判定为对象钎焊处理是点钎焊处理时(S1；“是”)，移动控制部14按照表示对象处理区域的位置的位置数据及方位数据来控制驱动部4，以使烙铁头511位于对象处理区域(S2)。
具体而言，假设S1中所取得的最小顺序信息为与表示对象基板的种类的基板信息“PL1”关联了的顺序信息“1”。此情况下，移动控制部14在S2中从存储部13取得与顺序信息“1”关联了的位置数据及方位数据的组合“x11，y11，z11，θ11”。
移动控制部14控制第一驱动部41、第二驱动部42及第三驱动部43，在使烙铁头511移动至所取得的位置数据所表示的终点的X、Y及Z坐标“x11，y11，z11”的位置之后，使烙铁头511停止。此外，移动控制部14控制第四驱动部44，将烙铁51的方位调整为所取得的方位数据所表示的角度“θ11”。
其次，处理控制部15控制烙铁单元5，按照存储部13中与在S1中所取得的最小顺序信息关联了的条件信息所表示的控制条件，使烙铁51执行作为对象钎焊处理的点钎焊处理(S3)。
另一方面，在S1中被判定为对象钎焊处理是连续钎焊处理时(S1；“否”)，如图8所示，移动控制部14控制驱动部4，按照表示对象处理区域的位置的位置数据及方位数据中表示起点的位置的位置数据及方位数据，使烙铁头511移动至起点的位置(S21)。
具体而言，假设在S1(图7)中所取得的最小顺序信息为与表示对象基板的种类的基板信息“PL1”关联了的顺序信息“2”。此情况下，移动控制部14在S21中从存储部13取得与顺序信息“2”关联了的位置数据中与位置区分信息“起点”关联了的位置数据及方位数据的组合“x121，y121，z12，θ12”。
移动控制部14控制第一驱动部41、第二驱动部42及第三驱动部43，在使烙铁头511移动至所取得的位置数据所表示的起点的X、Y及Z坐标“x121，y121，z12”的位置之后，使烙铁头511停止。此外，移动控制部14控制第四驱动部44，将烙铁51的方位调整为所取得的方位数据所表示的角度“θ12”。
其次，移动控制部14控制驱动部4，按照表示对象处理区域的位置的位置数据及方位数据中表示终点的位置的位置数据及方位数据，开始使烙铁头511从起点的位置移动至终点的位置(S22)。
具体而言，移动控制部14在S22中从存储部13取得与S1(图7)中所取得的最小顺序信息“2”关联了的位置数据中与位置区分信息“终点”关联了的位置数据及方位数据的组合“x122，y122，z12，θ12”。
而且，移动控制部14控制第一驱动部41、第二驱动部42及第三驱动部43，开始使烙铁头511从图6所示的在S21中移动后的起点的X、Y及Z坐标“x121，y121，z12”的位置移动至与上述所取得的位置区分信息“终点”关联了的位置数据所表示的终点的X、Y及Z坐标“x122，y122，z12”的位置。此外，移动控制部14控制第四驱动部44，开始将烙铁51的方位调整为与所取得的位置区分信息“终点”关联了的方位数据所表示的角度“θ12”。
存储部13所存储的与该位置数据关联了的条件信息“条件信息12”(图4)中包含有连续钎焊处理中的烙铁头511的移动速度及转速。移动控制部14在S22中的烙铁头511的移动中控制第一驱动部41、第二驱动部42及第三驱动部43，以条件信息“条件信息12”(图4)中所包含的移动速度来使烙铁头511在以起点和终点为两端的直线上移动。此外，移动控制部14在该烙铁51的方位的调整中控制第四驱动部44，以使烙铁51的中心轴以条件信息“条件信息12”(图4)中所包含的转速转动。
在该具体例中，起点的Z坐标“z12”和终点的Z坐标“z12”相同。此外，起点的方位数据所表示的角度“θ12”和终点的方位数据所表示的角度“θ12”相同。因此，移动控制部14在S22中不进行第三驱动部43及第四驱动部44的控制，仅控制第一驱动部41及第二驱动部42，开始使烙铁头511在以起点的X及Y坐标“x121，y121”的位置和终点的X及Y坐标“x122，y122”的位置为两端的直线上移动。
在S22中烙铁头511的移动开始后，摄像控制部16判定存储部13中与在S1中所取得的最小顺序信息关联了的拍摄区分数据是否表示对象处理区域为第一区分(例：“1”)(S23)。
摄像控制部16在S23中判定为拍摄区分数据表示对象处理区域为第一区分时(S23；“是”)，控制摄像装置6，以开始以对象处理区域为对象的动态图像的拍摄，开始动态图像数据的生成(S24)。
处理控制部15控制烙铁单元5，按照存储部13中与在S1(图7)中所取得的最小顺序信息关联了的条件信息所表示的控制条件，使烙铁51开始执行作为对象钎焊处理的连续钎焊处理(S25)。处理控制部15在烙铁头511未到达终点的期间(S26；“否”)反复执行S25。
另一方面，摄像控制部16在S23中判定为拍摄区分数据表示对象处理区域为第二区分时(例：“2”)(S23；“否”)，使摄像装置6不进行以对象处理区域为对象的动态图像的拍摄。此情况下，进行S25以后的处理。
烙铁头511到达终点后(S26；“是”)，处理控制部15、移动控制部14及摄像控制部16分别执行指定的结束处理(S27)。
具体而言，处理控制部15在S27的结束处理中控制烙铁单元5，使烙铁51结束作为对象钎焊处理的连续钎焊处理的执行。移动控制部14在S27的结束处理中让驱动部4结束烙铁头511的移动。摄像控制部16在S27的结束处理中控制摄像装置6，结束对象处理区域的拍摄，将摄像装置6在对象钎焊处理的执行中所生成的动态图像数据作为让存储部13存储的处理中图像数据(图4)，输出给控制装置1。
即，在S24中，摄像装置6在摄像控制部16的控制下且在连续钎焊处理的执行中，开始以对象处理区域为对象的动态图像拍摄以及生成作为让存储部13存储的处理中图像数据(图4)的动态图像数据。
其次，存储部13使从摄像装置6获得的处理中图像数据(例：处理中图像数据12(图4))与表示对象处理区域的位置的位置数据(例：“x121，y121，z12”，“x122，y122，z12”)相关联地存储(S28)。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于该被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据关联了的处理中图像数据亦即动态图像数据。其结果，通过参照所取得的动态图像数据，能够准确地把握在被指出的异常部位上执行钎焊处理的途中的状态。
S3(图7)中作为对象钎焊处理的点钎焊处理的执行结束后，以及S28结束后，移动控制部14如图7所示控制驱动部4，以使烙铁头511移动到指定的退避位置(第二位置的一个例子)(S4)。退避位置被预先设定在相对于对象钎焊处理的执行中的烙铁头511的位置(第一位置的一个例子)离开对象处理区域的位置。
例如，退避位置被预先设定在如下位置等：相比于作为对象钎焊处理的执行中的烙铁头511的位置的终点的位置(例：x11，y11，z11)，Z坐标大指定值“z0(z0＞0)”，且X、Y坐标分别与该终点的位置相同或相差指定值“x0(x0＞0或x0＜0)”，“y0(y0＞0或y0＜0))”的位置(例：(x11，y11，z11+z0)或(x11+x0，y11+y0，z11+z0))。
在S4之后，与S23同样地，摄像控制部16判定存储部13中与在S1中所取得的最小顺序信息关联了的拍摄区分数据是否表示对象处理区域为第一区分(例：“1”)(S5)。
在S5中判定为拍摄区分数据表示对象处理区域为第一区分时(S5；“是”)，摄像控制部16控制摄像装置6，以进行以对象处理区域为对象的静态图像拍摄，生成静态图像数据。而且，摄像控制部16控制摄像装置6，将所生成的静态图像数据作为让存储部13存储的处理后图像数据(图4)输出给控制装置1(S6)。
即，在S6中，摄像装置6在摄像控制部16的控制下且在对象钎焊处理之后，拍摄以对象处理区域为对象的静态图像，生成作为让存储部13存储的处理后图像数据(图4)的静态图像数据。
其次，存储部13使S6中从摄像装置6获得的处理后图像数据(例：处理后图像数据11(图4))与表示对象处理区域的位置的位置数据(例：“x11，y11，z1”)相关联地存储(S7)。因此，能够减少处理后图像数据所表示的静态图像中所包含的拍摄到在钎焊处理的执行中正在执行钎焊处理的烙铁头511或烙铁头511上产生的烟雾等的图像。由此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，便能够根据从存储部13取得的与被指出的异常部位对应的处理后图像数据，容易地确认所被指出的异常部位的钎焊处理后的状态。
输出部18将S6中从摄像装置6获得的处理后图像数据(例：处理后图像数据11(图4))，输出给判定装置7(S8)。输入部19待命至由判定装置7输出的判定结果数据被输入为止(S9；“否”)。在判定结果数据输入输入部19后(S9；“是”)，执行S10。
在S10中，输入部19将从判定装置7输入的判定结果数据输出给存储部13。存储部13使在S8中输出部18输出给判定装置7的处理后图像数据(例：处理后图像数据11(图4))和从输入部19接收的判定结果数据(例：0(正常))相关联地存储。
因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于该被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据关联了的处理后图像数据所关联的判定结果数据。
由此，通过参照该所取得的判定结果数据所表示的判定结果，能够容易地确认到在所被指出的异常部位是否正常地进行了钎焊处理。其结果，能够容易地判别是所被指出的异常部位的钎焊处理被判定为异常但错误地让基板出了货，还是其被判定为正常但在钎焊处理后的工序发生了异常。此外，在由存储部13存储判定结果数据的时刻，确认该判定结果数据是否表示钎焊处理为异常的情况，若表示为异常时，还能够预防基板被出货的情况。
另一方面，在S5中判定为拍摄区分数据表示对象处理区域是第二区分时(S5；“否”)，摄像控制部16不让摄像装置6拍摄以对象处理区域为对象的静态图像。此情况下，进行S11以后的处理。即，作业者通过将对象处理区域区分为第二区分的选择，能够避免存储部13存储拍摄该对象处理区域而生成的静态图像数据的情况。由此，能够避免不必要地存储图像数据的情况。
在S5中被判定为拍摄区分数据表示对象处理区域是第二区分时(S5；“否”)以及在S10之后，处理控制部15判定以对象基板上的各处理区域为对象的所有的钎焊处理是否已结束(S11)。
具体而言，在S11中，当对象基板上存在着一个以上还未进行钎焊处理的处理区域时，处理控制部15判定为以对象基板上的各处理区域为对象的所有的钎焊处理还未结束(S11；“否”)。此情况下，S1之后的处理被反复进行。
另一方面，在S11中，对象基板上不存在未进行钎焊处理的处理区域时，处理控制部15判定为以对象基板上的各处理区域为对象的所有的钎焊处理已结束(S11；“是”)。由此，图7及图8所示的动作结束。
根据本实施方式的结构，表示被执行了钎焊处理的处理区域的位置的位置数据和拍摄所述处理区域所获得的静态图像数据亦即处理后图像数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，无需等待基板的退货便能够迅速地取得与表示对应于所被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据关联了的静态图像数据。由此，通过参照所取得的静态图像数据，能够迅速地确认所被指出的异常部位的钎焊处理后的状态。
此外，对于已出货的多个种类的基板各者，能够将图像数据与表示处理区域的每一位置数据相关联地存储。由此，通过确定被指出的存在着钎焊的异常部位的基板的种类，不仅能够确认到对应于该被指出的异常部位的处理区域，而且还能够同时确认到该被指出的基板的其它的处理区域的钎焊处理后的状态。
此外，在S2(图7)中，烙铁头511位于对象处理区域后，摄像装置6拍摄对象处理区域，所生成的图像数据被存储。由此，在烙铁头511位于对象处理区域之前，能够避免如下的情况：拍摄还未进行钎焊处理的对象处理区域且存储所生成的图像数据。
<变形实施方式>
上述实施方式只不过是本发明所涉及的实施方式的例示，本发明并不限定于上述实施方式。本发明也可以采用例如以下所示的变形实施方式。
(1)所述实施方式中，在S24(图8)中，摄像装置6在摄像控制部16的控制下，在连续钎焊处理的执行中，拍摄以对象处理区域为对象的动态图像，生成作为让存储部13存储的处理中图像数据(图4)的动态图像数据。
但是，也可以取代上述的方式，而在S24(图8)中使摄像装置6在摄像控制部16的控制下，在连续钎焊处理的执行中，在多个不同的时刻(例：每隔指定时间)拍摄以对象处理区域为对象的静态图像。
而且，也可以在S27(图8)的结束处理中，使摄像装置6在摄像控制部16的控制下，生成表示连续钎焊处理的执行中所拍摄的多个静态图像的静态图像数据，以作为在S25(图8)中让存储部13存储的处理中图像数据(图4)。由此，也可以使摄像装置6在控制装置1的控制下，生成表示多个静态图像的静态图像数据，以作为让存储部13存储的处理中图像数据(图4)。
此情况下，在作为对象钎焊处理的连续钎焊处理的执行中，表示在多个不同的时刻拍摄对象处理区域而生成的多个静态图像的静态图像数据与表示该对象处理区域的位置数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于该被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据相关联了的静态图像数据。其结果，通过参照所取得的静态图像数据，能够准确地把握所被指出的异常部位上执行钎焊处理的途中的状态。
此外，也可以使控制装置1还包含合成部，该合成部通过进行公知的图像合成处理，来合成摄像装置6所生成的所述静态图像数据所表示的多个静态图像，生成全景图像等合成图像数据。合成部由具备CPU、RAM、ROM等的微电脑来构成便可。
与此相应地，也可以在S27(图8)中的结束处理中，使摄像装置6在摄像控制部16的控制下，生成了表示在连续钎焊处理的执行中所拍摄的多个静态图像的静态图像数据之后，使合成部利用该所生成的静态图像数据来生成合成图像数据。而且，在S28(图8)中，也可以使存储部13将由合成部所生成的合成图像数据作为处理中图像数据(图4)而与表示对象处理区域的位置的位置数据相关联地存储。
此情况下，在作为对象钎焊处理的连续钎焊处理的执行中，在多个不同的时刻拍摄处理区域而生成的静态图像数据所表示的多个静态图像被合成后得到的合成图像数据与表示对象处理区域的位置的位置数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于该被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据相关联了的合成图像数据。其结果，通过参照所取得的合成图像数据，能够准确地把握所被指出的异常部位上执行钎焊处理的途中的状态。
(2)上述实施方式及变形实施方式中，在S3(图7)的执行之前，也可以执行与S23及S24(图8)同样的处理。由此，摄像装置6在摄像控制部16的控制下，即使在点钎焊处理的执行中也能够拍摄以拍摄区分数据被区分为第一区分时的对象处理区域为对象的动态图像或多个静态图像，生成动态图像数据或静态图像数据，以作为让存储部13存储的处理中图像数据(图4)。
而且，也可以在S3(图7)的执行之后且在S4(图7)的执行之前，与S28(图8)同样地使存储部13将从摄像装置6获得的动态图像数据或静态图像数据作为处理中图像数据(图4)而与表示对象处理区域的位置的位置数据相关联地存储。此外，还可以使存储部13将由合成部利用从摄像装置6获得的静态图像数据所合成的合成图像数据作为处理中图像数据(图4)而与表示对象处理区域的位置的位置数据相关联地存储。
(3)控制装置1也可以不具备输出部18及输入部19。与此相应地，也可以省略图7所示的S8至S10。
(4)控制装置1也可以不具备选择部17。与此相应地，存储部13也可以不存储拍摄区分数据(图4)。而且，也可以省略S5(图7)而在S4之后进行S6以后的处理。同样地，也可以省略S23(图8)而在S22之后进行S24以后的处理。
(5)也可以省略S4(图7)。或者也可以在进行了S11(图7)的紧后，不依S11中的判定结果而执行S4。
(6)也可以采用使保持部3(臂20(图3))不保持摄像装置6的结构。而且，也可以将摄像装置6构成为在控制装置1的控制下能够改变拍摄方向，且在比对象基板都更上方的位置安装于正交型四轴驱动机器人2。
(7)钎焊装置100中也可以不具备正交型四轴驱动机器人2。与此相应地，也可以使控制装置1不具备移动控制部14及摄像控制部16。而且，作业者也可以利用由手动而能够进行钎焊处理的烙铁，在对基板上的对象处理区域进行了钎焊处理之后，利用操作部12进行让摄像装置6拍摄对象处理区域并生成静态图像数据的操作。与此相应地，作业者也可以利用操作部12进行使该所生成的静态图像数据与表示对象处理区域的位置的位置数据相关联地存储于存储部13的操作。
(8)在进行钎焊处理的对象基板只有一个种类的情况下，也可以使存储部13不存储基板信息(图4)。此外还有如下的情况：虽然进行钎焊处理的对象基板有多个种类，但各基板上进行钎焊处理的对象处理区域只有一个。此情况下，可采用如下的方式：存储部13能够与各基板信息相关联地存储针对一个处理区域的处理区分信息、位置区分信息、位置数据、方位数据、条件数据、拍摄区分数据、图像数据、判定结果(图4)。
(9)也可以取代烙铁51(图2、图3)，而将在控制装置1的控制下从远端部吹出能够使钎料SL熔融的热风的热风装置(加热工具的一个例子)配置于烙铁单元5(图2、图3)。于是，在S3(图7)及S25(图8)中执行钎焊处理时，处理控制部15控制热风装置而使热风从热风装置的远端部喷出。
上述的实施方式中主要包含具有以下构成的技术方案。
上述实施方式的一个方面涉及钎焊装置，其包括：加热工具，执行钎焊处理；摄像装置，对被执行所述钎焊处理的处理区域进行拍摄，生成图像数据；以及控制装置，控制所述摄像装置；其中，所述控制装置包含：存储部，将表示所述处理区域的位置的位置数据和从所述摄像装置获得的所述图像数据相关联地存储。
根据该结构，表示执行了钎焊处理的处理区域的位置的位置数据和拍摄所述处理区域而获得的图像数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，无需等待基板的退货便能够迅速地取得与表示对应于所被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据相关联了的图像数据。由此，能够参照所取得的图像数据而迅速地确认所被指出的异常部位的钎焊处理后的状态。
此外，较为理想的是，所述存储部存储表示被执行所述钎焊处理的基板的种类的基板信息，而且将表示所述基板上的第一处理区域的位置的所述位置数据和表示与所述第一处理区域在位置上彼此不同的第二处理区域的位置的所述位置数据与所述基板信息相关联地存储。
根据该结构，对于已出货的多个种类的基板各者，能够将图像数据与表示处理区域的每一位置数据相关联地存储。由此，通过确定被指出的存在着钎焊的异常部位的基板的种类，不仅能够确认到对应于该被指出的异常部位的处理区域，而且还能够同时确认到该被指出的基板的其它的处理区域的钎焊处理后的状态。
此外，所述钎焊装置还可以包括：保持部，保持所述加热工具；以及驱动部，在所述控制装置的控制下使所述保持部移动；其中，所述控制装置还可以包含：移动控制部，按照所述位置数据来控制所述驱动部，以使所述加热工具位于所述处理区域；以及摄像控制部，在所述加热工具位于所述处理区域后，使所述摄像装置生成所述图像数据。
根据该结构，在加热工具位于处理区域后，摄像装置拍摄处理区域，所生成的图像数据被存储。由此，在加热工具位于处理区域之前，能够避免如下的情况：拍摄还未进行钎焊处理的处理区域且存储所生成的图像数据。
此外，所述保持部还可以保持所述摄像装置。
根据该结构，通过保持部能够使加热工具和摄像装置一体地移动。由此，能够缩短使摄像装置的拍摄方向朝向由加热工具执行钎焊处理的处理区域的时间。其结果，能够让摄像装置迅速地拍摄处理区域。
此外，所述驱动部也可以在所述移动控制部的控制下，使所述加热工具在执行所述钎焊处理的所述处理区域上的第一位置和离开了所述处理区域的第二位置之间移动，也可以在所述加热工具从所述第一位置移动到所述第二位置后，所述摄像装置在所述摄像控制部的控制下生成所述图像数据。
根据该结构，在加热工具移动到离开处理区域的第二位置后，摄像装置拍摄处理区域，所生成的图像数据被存储。因此，能够减少如下的情况：图像数据表示的图像中包含有拍摄到在钎焊处理的执行中处于处理区域的加热工具或加热工具上产生的烟雾等的图像。由此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，便能够根据所取得的与被指出的异常部位对应的图像数据，容易地确认被指出的异常部位的钎焊处理后的状态。
此外，所述摄像装置也可以在所述控制装置的控制下，在所述钎焊处理的执行中拍摄所述处理区域并且生成作为所述图像数据的动态图像数据。
根据该结构，在钎焊处理的执行中，拍摄处理区域而生成的动态图像数据与位置数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于该被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据相关联了的动态图像数据。其结果，通过参照所取得的动态图像数据，能够准确地把握所被指出的异常部位上执行钎焊处理的途中的状态。
此外，所述摄像装置也可以在所述控制装置的控制下，在所述钎焊处理的执行中在多个不同的时刻拍摄所述处理区域并且生成作为所述图像数据的表示多个静态图像的静态图像数据。
根据该结构，在钎焊处理的执行中，表示在多个不同的时刻拍摄处理区域而生成的多个静态图像的静态图像数据与位置数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于所被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据相关联了的静态图像数据。其结果，通过参照所取得的静态图像数据，能够准确地把握所被指出的异常部位上执行钎焊处理的途中的状态。
此外，所述控制装置还可以包含：合成部，合成所述多个静态图像，以生成合成图像数据，所述存储部也可以将所述合成图像数据作为所述图像数据而与所述位置数据相关联地有储。
根据该结构，在钎焊处理的执行中，生成合成图像数据，该合成图像数据通过将在多个不同的时刻拍摄处理区域而生成的静态图像数据所表示的多个静态图像合成而成。而且，该合成图像数据与位置数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于该被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据相关联了的合成图像数据。其结果，通过参照所取得的合成图像数据，能够准确地把握所被指出的异常部位上执行钎焊处理的途中的状态。
此外，所述控制装置还可以包含：选择部，受理将所述处理区域区分为第一区分还是区分为第二区分的选择，所述第一区分为所述图像数据被相关联地存储的区分，所述第二区分为所述图像数据不被存储的区分，所述存储部也可以将表示被区分为所述第一区分的所述处理区域的位置的所述位置数据和所述图像数据相关联地存储，不存储被区分为所述第二区分的所述处理区域被拍摄而生成的所述图像数据。
根据该结构，通过选择将处理区域区分为第一区分，能够将表示该处理区域的位置的位置数据和图像数据相关联地存储。另一方面，通过选择将处理区域区分为第二区分，能够避免存储部存储基于拍摄该处理区域而生成的图像数据。由此，能够避免不必要地存储图像数据的情况。
此外，所述控制装置还可以包含：输出部，对判定装置输出从所述摄像装置获得的所述图像数据，所述判定装置输出表示根据所述图像数据判定所述钎焊处理是否被正常执行的判定结果的判定结果数据；以及输入部，输入所述判定结果数据，所述存储部也可以将所述输出部对所述判定装置输出的所述图像数据和从所述输入部接收的所述判定结果数据相关联地存储。
根据该结构，输出部输出给判定装置的图像数据和判定装置输出的判定结果数据被相关联地存储。因此，当被指出出货后的基板中存在着钎焊的异常部位时，能够取得与表示对应于该被指出的异常部位的处理区域的位置的位置数据关联了的图像数据所关联的判定结果数据。
由此，通过参照该所取得的判定结果数据所表示的判定结果，能够容易地确认到在所被指出的异常部位是否正常地进行了钎焊处理。其结果，能够容易地判别是所被指出的异常部位的钎焊处理被判定为异常但错误地让基板出了货，还是其被判定为正常但在钎焊处理后的工序中发生了异常。此外，在由存储部存储判定结果数据的时刻，确认该判定结果数据是否表示钎焊处理为异常的情况，若表示为异常时，还能够预防基板被出货的情况。

Claims (10)

1.一种钎焊装置，其特征在于包括：
加热工具，执行钎焊处理；
摄像装置，对被执行所述钎焊处理的处理区域进行拍摄，生成图像数据；以及
控制装置，控制所述摄像装置；其中，
所述控制装置包含：存储部，将表示所述处理区域的位置的位置数据和从所述摄像装置获得的所述图像数据相关联地存储。
2.根据权利要求1所述的钎焊装置，其特征在于：
所述存储部存储表示被执行所述钎焊处理的基板的种类的基板信息，而且将表示所述基板上的第一处理区域的位置的所述位置数据和表示与所述第一处理区域在位置上彼此不同的第二处理区域的位置的所述位置数据与所述基板信息相关联地存储。
3.根据权利要求2所述的钎焊装置，其特征在于还包括：
保持部，保持所述加热工具；以及
驱动部，在所述控制装置的控制下使所述保持部移动；其中，
所述控制装置还包含：移动控制部，按照所述位置数据来控制所述驱动部，以使所述加热工具位于所述处理区域；以及摄像控制部，在所述加热工具位于所述处理区域后，使所述摄像装置生成所述图像数据。
4.根据权利要求3所述的钎焊装置，其特征在于：
所述保持部还保持所述摄像装置。
5.根据权利要求3或4所述的钎焊装置，其特征在于：
所述驱动部在所述移动控制部的控制下，使所述加热工具在执行所述钎焊处理的所述处理区域上的第一位置和离开了所述处理区域的第二位置之间移动，
在所述加热工具从所述第一位置移动到所述第二位置后，所述摄像装置在所述摄像控制部的控制下生成所述图像数据。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的钎焊装置，其特征在于：
所述摄像装置在所述控制装置的控制下，在所述钎焊处理的执行中拍摄所述处理区域并且生成作为所述图像数据的动态图像数据。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的钎焊装置，其特征在于：
所述摄像装置在所述控制装置的控制下，在所述钎焊处理的执行中在多个不同的时刻拍摄所述处理区域并且生成作为所述图像数据的表示多个静态图像的静态图像数据。
8.根据权利要求7所述的钎焊装置，其特征在于：
所述控制装置还包含：合成部，合成所述多个静态图像，以生成合成图像数据，
所述存储部将所述合成图像数据作为所述图像数据而与所述位置数据相关联地存储。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的钎焊装置，其特征在于：
所述控制装置还包含：选择部，受理将所述处理区域区分为第一区分还是区分为第二区分的选择，所述第一区分为所述图像数据被相关联地存储的区分，所述第二区分为所述图像数据不被存储的区分，
所述存储部将表示被区分为所述第一区分的所述处理区域的位置的所述位置数据和所述图像数据相关联地存储，不存储被区分为所述第二区分的所述处理区域被拍摄而生成的所述图像数据。
10.根据权利要求1至4中任一项所述的钎焊装置，其特征在于：
所述控制装置还包含：输出部，对判定装置输出从所述摄像装置获得的所述图像数据，所述判定装置输出表示根据所述图像数据判定所述钎焊处理是否被正常执行的判定结果的判定结果数据；以及输入部，输入所述判定结果数据，
所述存储部将所述输出部对所述判定装置输出的所述图像数据和从所述输入部接收的所述判定结果数据相关联地存储。
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