CN108028212B - 用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层的连接层的装置和方法 - Google Patents

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Abstract

建议了一种用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层(2)的连接层(4)的装置(22)，带有如下特征：‑装置(22)具有至少一个环形物(1)，其中，衬底叠层(2)可被放置在至少一个环形物(1)内，‑至少一个环形物(1)具有多个喷嘴(1a)，其中，喷嘴(1a)至少在至少一个环形物(1)的周缘的部分上分布地布置，‑喷嘴(1a)朝向连接层(4)定向，‑装置(22)构造成，使得溶剂可由喷嘴(1a)被喷洒到连接层(4)的边缘区域上。此外建议了一种用于至少部分溶解连接层(4)的方法。

Description

用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层的连接层的装置和 方法
技术领域
产品衬底的减薄(Ruckdunnen)在半导体工业中经常是必要的且可机械地和/或化学地实现。为了减薄，产品衬底一般被暂时固定在支撑体上。
背景技术
已知各种不同的用于融解或破坏连接层的方法，例如UV光、激光束或温度作用的使用。其它的方式谋求通过溶剂的分离。
剥离日益增加地是最苛刻的过程步骤中的其中一个，因为带有若干μm衬底厚度的较薄的衬底在融解/抽出的情形中容易折断或由于对于剥离过程而言必要的力遭受损伤。
此外，较薄的衬底很少或不具有形状稳定性且通常在无支撑材料的情形中卷起。在手操作经减薄的衬底期间，因此衬底的固定和辅助是实际不可避免的。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层的连接层的经改善的装置或者经改善的方法。
该目的以根据本发明的装置或者以根据本发明的方法按照并列的权利要求来实现。
在从属权利要求中说明本发明的有利的改进方案。由至少两个由在说明书、权利要求和/或附图中所说明的特征构成的所有组合同样落入本发明的范畴中。在所说明的值范围的情形中，在所述界限内的值也应被公开为边界值且可以任意的组合要求被保护。
该装置根据本发明具有至少一个环形物，其中，衬底叠层可被放置在至少一个环形物内，其中，至少一个环形物具有多个喷嘴，其中，喷嘴至少在至少一个环形物的周缘的部分上分布地布置，其中，喷嘴朝向连接层定向，其中，该装置构造成，使得溶剂可由喷嘴被喷洒到连接层的边缘区域上。
通过呈环形布置的喷嘴可有利地实现连接层的至少一个部分的均匀融解。由此可有利地实现如下，即，衬底叠层的分离可相对完好且快速地实现。有利地，连接层仅被部分溶解(这也就是说仅部分溶解)，从而使得衬底叠层还保持足够牢固地相连接，从而使得其可不损伤地被供应给另一加工工位。如此可尤其地实现的是，连接层在第一步骤中仅被部分溶解且在紧接于此的第二步骤中才被完全融解。由此，衬底叠层的分离还可更完好地且更快速地实现。此外，衬底叠层的支架可被简化，因为衬底叠层的仅一侧须被固定。通过该简单的支架，装置的结构可被明显简化，从而可实现同时处理多个衬底叠层。此外，通过支架的简单的结构此外可实现衬底叠层在装置中的清洁。
然而原则上利用本发明也可行的是，在一个工序中完全融解连接层且完全分离衬底叠层。
本发明尤其具有如下优点：
- 可同时处理多个衬底叠层，
- 处理时间降低
- 旋转件不是必要的
- 相对简单的结构
- 还可清洁衬底叠层支撑体或者支架。
根据本发明的装置和方法尤其适合用于溶解、尤其部分溶解衬底叠层，其仅部分、优选地仅周缘地在其边缘区域中被压接。特别优选地，根据本发明的装置和根据本发明的方法被用于部分溶解两个衬底，其仅局部、尤其以ZoneBond®过程被彼此临时压接。
衬底垫层具有至少两个衬底，其经由连接层至少局部被临时彼此压接。两个衬底可以是支撑体、尤其是半导体晶片，且产品衬底尤其是半导体晶片。衬底叠层也可由三个或多个衬底和/或由多个层构成，尤其是3晶片堆叠(Triple Stack)。
产品衬底尤其被变薄到在0.5μm与250μm之间的厚度。作为支撑体，优选使用带有在50μm与5000μm之间、特别优选地在500μm与1000μm之间的厚度的支撑体衬底。
衬底可具有任意的形状，尤其原形的形状。衬底的直径尤其在工业上被标准化。对于晶片而言，工业上通用直径是1寸、2寸、3寸、4寸、5寸、6寸、8寸、12寸和18寸。
对于连接层而言考虑薄膜或粘合剂、尤其可解的粘合剂、优选热塑性塑料，其尤其地选择性地在支撑体衬底-产品衬底-复合物的边缘区域中优选被施用在0.1mm至20.0mm宽度的边缘区域中，特别优选地0.1至10.0mm、更优选地0.1至5mm、最优选地0.1至2.0mm、极为优选地0.1至1.0mm宽度的边缘区域中。备选地，粘合剂可尤其整面地施用，其中，粘合力优选在中心可通过减少附着的层、尤其含氟聚合物、优选特氟纶来降低。
连接层的尤其化学的部分溶解对于产品衬底而言是特别完好的且该部分溶解可非常快速地实现，尤其当仅产品衬底的边缘区域设有连接层，从而使得溶剂尤其由该侧起可快速起作用。在优选的根据本发明的一实施形式中，在边缘处实现部分溶解，从而随后尤其在单独的工位中可迅速地且在无较强的力的作用下直接地执行分离或者剥离。完全的剥离尤其通过化学溶解(融解)和机械作用的组合来实现。
该装置或者方法可尤其构造用于溶解、剥离且/或清洁衬底叠层或者产品衬底。该装置可模块状构造且尤其是整个设备的部分。该装置然而自身还可以是带有多个模块、例如部分溶解模块、剥离模块和/或清洁模块的整个设备。这些模块可尤其利用用于衬底或者衬底叠层的运动装置(例如机器人系统)来呈簇状且/或呈星形地围绕中央模块布置。
本发明尤其地基于如下思想，即，产品衬底完好地被支撑体衬底部分溶解，更确切地说尤其地对于多个衬底叠层而言是同时的。尤其地设置成，连接层的部分溶解优选在同中心的轨道、尤其对于圆而言中由连接层的周缘至连接层的中心实现。本发明尤其涉及一种用于多个衬底叠层同时快速部分溶解的装置和方法。过程时间通过尤其直接喷洒到连接层上(或者到粘合接口中)的喷嘴(喷嘴还包括裂缝和钻孔)来降低。尤其地，在该过程的情形中衬底叠层不被旋转，尤其地衬底叠层在连接层的溶解期间保持不动。一个特别的根据本发明的优点在于，连续新鲜的或至少再次准备的溶剂被用于溶解连接层。因此公开了一种新的且根据本发明的用于溶解连接层的装置，其明确地与如下装置不同，在该装置中衬底叠层完全被随着时间被连接层的成分污染的溶剂包围。
根据本发明，该装置具有至少一个环形物。该至少一个环形物相对衬底叠层且/或相对连接层优选以0.1至15mm、更优选地以0.1至10mm、最优选地以0.1至8mm、极为优选地以0.1至5mm的距离来安装。由此可实现连接层的特别高效的溶解或者部分溶解。
该至少一个环形物尤其装备有溶剂管道，其引导至多个喷嘴。这些喷嘴优选地尤其均匀地彼此间隔地分布地布置在该至少一个环形物的整个周缘上。由此可有利地实现连接层的特别均匀的溶解或者部分溶解。
该至少一个环形物尤其地在至少一个环形物的整个周缘处优选具有至少60个、更优选地多于70个、更优选地多于80个、更进一步优选地多于100个、非常特别优选地多于120个喷嘴。
优选设置成，喷嘴具有0.01至10mm、优选0.01至7mm、更优选地0.01至5mm、最优选地0.1至2mm的直径。由此可有利地实现连接层的特别高效的溶解或者部分溶解。
喷嘴的横截面和/或形状可变化且喷嘴流动尤其取决于喷嘴的结构形式。尤其地通过优选在水平面中可摆动的喷嘴或者喷嘴支架可实现连接层的均匀的且尤其完整的喷洒。喷嘴或者喷嘴支架的摆动度数尤其为1°至20°、优选地1°至15°。
在一特别的实施形式中，至少一个环形物具有恰一个喷嘴。由此，连接层仅局部受限制地被部分溶解。尤其通过一优选在水平面中可摆动的喷嘴或者喷嘴支架可实现连接层在喷嘴的局部受限制的角度范围中的均匀喷洒。由此，对于(此外机械的)分离或者对于产品衬底由支撑体衬底的剥离而言，被部分溶解的部位充当尤其在单独的工位中的理论断裂部位。
喷嘴可被径向移动。尤其地，喷嘴可被移动直至到衬底的边缘、尤其到连接层处且如果必要甚至接触该边缘。然而由于喷嘴通过连接层的成分所导致的污染危险，接触是不期望的。在此，喷嘴的最大移动距离(Verfahrweg)大于0mm、优选地大于0.5mm、更优选地大于1mm、最优选地大于5mm、极为优选地大于10mm。
为了将衬底叠层保持在至少一个环形物内的(部分溶解)溶解位置中，该至少一个环形物优选装备有至少一个、尤其可摆动的支架，尤其装备有至少一个用于固定衬底叠层的固定销。由此可有利地实现衬底叠层的经改善的固定。在另一示例的实施方案中，真空装置布置在支架上。
多个环形物、尤其与对应的支架一起可尤其垂直相叠地、尤其堆叠地布置且可尤其被安置在封闭的腔室中。相叠布置的环形物尤其彼此相连接且尤其地借助于连接管道或者供应管道被供以溶剂，尤其借助于(尤其功率较强的)循环泵来供应。
优选地，2至30个环形物、更优选地2至15个、最优选地2至10个、极为优选地2至5个环形物可相叠地布置，从而尤其有利地可同时处理多个衬底叠层。
本发明尤其通过环形物和溶剂管道系统(在下面也被称作共轨系统(Common RailSystem))使得尤其整个连接层周缘的均匀喷洒成为可能，而无须转动衬底叠层和/或环形物。在一备选的实施形式中，(多个)环形物和/或支架可移动、尤其可转动地构造。为了保持和运输衬底例如晶片或者衬底叠层，其被施用到容纳装置上。尤其样品架(英文：chuck)适合作为容纳装置。为了使得完整的且/或更快速的溶解或者部分溶解成为可能，执行衬底和/或喷嘴(即环形物)的旋转。在此实现在喷嘴与衬底叠层之间的相对旋转。优选地，衬底叠层支架处在可围绕其轴线被置于旋转中的轴上。作为转动的替代同样可实现衬底叠层支架围绕轴的摆动运动。在此，转动或者摆动运动可被如此地调整，即，通过摆动运动至少覆盖处在两个喷嘴之间的角度。由此，整个连接层周缘被覆盖且可使用较少的喷嘴。
通过根据本发明的装置和根据本发明的方法尤其可实现的是，将多个衬底叠层相继装载到该装置的相叠布置的、尤其堆叠的环形物中，以便于然后同时溶解或者至少部分溶解边缘区域(例如在边缘区域释放(Edge Zone Release)过程步骤中)。
特别优选地，该装置具有可摆入的屏蔽部，从而使得当溶解或者部分溶解结束且最下面的衬底叠层为了清洁被取出时，该屏蔽部防止最下面的衬底叠层被由上方的水滴污染。如果屏蔽部被摆入，衬底叠层可被清洁且然后被干燥。为了取出下一衬底叠层，屏蔽部再次打开。该屏蔽部充当防水滴或者防喷洒装置且被手动地、自动地且/或半自动地控制。该屏蔽部可例如借助于执行机构由摆入的保护位置被带到起始位置(未示出)中。落到其上的水滴例如经由斜面被排出。该屏蔽部可具有任意的形状，优选圆形、矩形或方形。该屏蔽部延伸经过装置的环形物或者以密封装置封闭，从而可不引起由上方的水滴的污染。
优选地，该装置具有尤其在垂直方向上可移动的、用于容纳衬底叠层的容纳装置。该容纳装置用于运输衬底叠层。容纳装置朝向环形物且/或远离环形物运输衬底叠层。容纳装置因此用于环形物的装载和/或卸载。有利地，衬底叠层可被固定在容纳装置上。尤其样品架(英文：chuck)适合作为容纳装置。容纳装置优选将各个衬底叠层带到(多个)(部分溶解)溶解位置中。在本发明的一个有利的实施方案中设置成，容纳装置或者装置具有装载销，其将衬底叠层放在支架上或者由支架容纳。
出于优点优选设置成，将最下面的衬底叠层以尤其在z方向上可移动的容纳装置如此程度从该装置中移出且以可摆动的屏蔽部来覆盖，即，使得可利用溶剂来清洁和干燥。该装置优选具有尤其可摆入的、带有至少一个喷嘴的臂，其可被用于清洁衬底叠层的顶侧。在另一实施形式中，该臂可将作为带有可液压移出的伸缩悬臂的臂被引入到在衬底叠层上的尤其封闭的空间中。
在容纳装置下方和/或上方且/或在最下面和/或最上面的环形物中可存在至少一个另外的喷嘴、尤其BSR(背面冲洗(back side rinse))喷嘴，其尤其指向衬底叠层的中心的方向，从而使得衬底叠层的下部的和/或上部的侧同样可被清洁。特别有利的是，存在至少两个用于(多个)喷嘴的溶剂管道。优选地，在容纳装置的下部的和/或上部的侧上且/或在最下部和/或最上部的环形物中放入1至60个喷嘴，更优选地布置1至10个、最优选地1至6个、极为优选地1至3个喷嘴。在另一优选的实施形式中，该喷嘴或者这些喷嘴可运动，尤其由容纳装置的中间朝向边缘运动，其中，其优选实施统一的、尤其线性的运动。(多个)喷嘴的其它运动过程(例如呈螺旋形的运动)是可能的。对于良好的面覆盖而言可使用(多个)旋转的和/或摆动的喷嘴。还可利用这些喷嘴清洁衬底支架自身。优选同样可调整在喷嘴与衬底表面之间的距离。在此，喷嘴的最大移动距离大于0mm、优选地大于1mm、更进一步优选地大于25mm、最优选地大于50mm、最最优选地大于100mm。
衬底叠层尤其在容纳装置上在清洁期间尤其在其周缘处优选被由15个、更优选地被由9个、最优选地被由6个、最最优选地被由3个固定销固定。由此可有利地实现特别高效的清洁。优选地，容纳装置设计成，使得机器人可移除衬底叠层。在另一根据本发明的实施方案中，在容纳装置中不使用装载销，以便于防止或将污染保持尽可能较小。
利用本发明，根据一优选的实施形式在清洁过程中累积的溶剂不再被清除，而是尤其地通过蒸馏被分离和再次使用。有机的以及含水的溶剂尤其通过分馏和紧接着的冷凝来回收。分离和循环可被集成在全自动的清洁器中。优点是成本的降低。此外，可使用已加热的溶剂，这使得清洁过程和/或(部分溶解)溶解过程加速。备选地，溶剂可通过另外的溶剂清洁方法例如精馏、过滤、离心清洁、吸附或诸如此类被清洁。
在本发明的另一有利的实施形式中设置成，用于在完全剥离(英文debonden)之后清洁衬底叠层和/或产品叠层的溶剂在被循环泵送，且在一改进方案中通过在喷嘴体中布置在尤其整个衬底表面上的喷嘴离开。这尤其地也可在单独的工位或者模块中发生。在另一实施形式中设置成，喷嘴布置在衬底表面的部分面上。因此可尤其地形成清洁三角。通过喷嘴体的呈蛋糕状的设计方案，在衬底或者衬底叠层的旋转的情形中可实现溶剂在衬底表面上的均匀分布。容纳装置在该另外的根据本发明的实施形式中通过马达(未示出)被置于旋转中。衬底在容纳装置上的被非常频繁使用的形式的固定借助于真空或者负压实现。衬底容纳装置具有在整个面上或者在面的定义区域(例如面的外部区域)上的真空轨道。有利地，负压通道同中心地、尤其呈圆形地伸延至容纳装置的中心Z，尤其全周缘地。由此实现均匀的固定。此外，在需要时容纳面的轮廓可相对容纳面的容纳平面被回置，从而形成缩小或者改变容纳面的凹槽。按照需求，容纳装置的容纳面可被减少，从而得出在衬底与样品架之间的较小的接触面。在样品架处的固定的另外的可行性方案是通过夹子的机械固定或静电式的固定。还使用带有销钉的样品架。还可使用特殊粘合剂。喷嘴在喷嘴体中的数量和分布影响清洁的质量和均匀性。优选地，使用多于一个喷嘴、更优选地多于5个喷嘴、最优选地多于10个喷嘴、极为优选地多于50个喷嘴。在喷嘴与衬底表面之间的喷洒距离优选为在0.1至100mm之间、更优选地在0.1至50mm之间、最优选地在0.2至20mm之间。喷洒角度和喷洒宽度可根据喷嘴形式和喷洒距离而变化。
溶剂在溶剂管道中或者在共轨中尤其对于粗略清洁而言被循环泵送。溶剂通过供应管道到达到喷嘴体中。优选地，使用1至60个、更优选地1至20个、最优选地1至10个、极为优选地1至6个供应管道。相叠堆叠的环形物尤其布置在封闭的腔室中且最下面的环形物在一优选的实施形式中被用于清洁衬底叠层。如果环形物被用于清洁在剥离之后的产品衬底，产品衬底尤其朝向粘合薄膜、优选利用膜架被夹紧且可在清洁模块中利用清洁环形物来清洁。利用该清洁环形物可明显缩短清洁时间。用于清洁步骤的喷嘴的直径尤其为0.1至5mm、优选地0.2至1mm。该清洁可在相同的模块中被执行且/或在单独的工位上。也可在整个过程中执行多个清洁步骤。在另一实施形式中，在需要时可旋转清洁环形物。
附图说明
本发明的另外的优点、特征和细节由优选的实施例的下面的说明以及借助附图得出；其中：
图1a：显示了带有截面线A-A的根据第一实施形式的根据本发明的装置的示意性的俯视图，
图1b：显示了图1a的装置沿着截面线A-A的部分截面的示意性的横截面视图，
图1c：显示了根据第二实施形式的根据本发明的装置的示意性的横截面视图，
图2a：显示了根据第三实施形式的根据本发明的装置的横截面视图，
图2b：显示了朝向根据一优选的实施形式的容纳装置的俯视图，
图3：显示了根据第四实施形式的根据本发明的装置的横截面视图，
图4a：显示了根据另一实施形式的容纳装置的横截面视图，
图4b：显示了图4a的容纳装置的俯视图，
图5a：显示了喷嘴体的示例性实施形式的示意性的俯视图，且
图5b：显示了另一示例性的喷嘴体的横截面视图。
具体实施方式
在附图中，相同的构件和带有相同功能的构件以相同的附图标记标明且因此分别仅标明一次。
图1a示意性地显示了带有截面线A-A的根据第一实施形式的根据本发明的装置22的俯视图。图1b显示了装置22沿着截面线A-A的横截面视图的示意性的半部分。另一半部分实施成镜像对称的。
如在根据图1a和1b的实施形式中所显示的那样，装置22具有环形物1。环形物1装备有带有固定销7的可摆动的支架3，以便于将衬底叠层2保持在部分溶解位置中。固定销7有利地呈圆柱形地或略微呈锥形地变尖，然而也可具有其它合适形状和/或大小。衬底叠层2由支撑体衬底5和产品衬底6构成，其经由连接层4(例如粘合层)被彼此临时压接。
环形物1相对衬底叠层2优选以0.1至15mm、更优选地以0.1至10mm、最优选地以0.1至8mm、极为优选地以0.1至5mm的距离来安装。
环形物1装备有溶剂管道9(在下面也被称作共轨9)，钻孔、优选喷嘴1a引导到溶剂管道中。钻孔、优选喷嘴1a优选具有0.01至10mm的直径，更优选地0.01至7mm、最优选地0.01至5mm、极为优选地0.1至2mm。喷嘴1a布置在环形物1的整个周缘处。喷嘴1a彼此的间距取决于材料和待剥离的边缘区域(下面也被称作边缘范围或英文边缘区域(Edge Zone))且处在1至50mm的范围中、优选地在3至20mm的范围中。喷嘴1a将溶剂喷洒到连接层4的边缘范围上(以溶剂射流8表示)。
产品衬底6的直径优选大致与支撑体衬底5的直径一致。产品衬底6的厚度尤其小于支撑体衬底5的厚度。
溶剂管道9被填充以溶剂且溶剂从喷嘴1a中以高压离开。在此，该压力大于等于1bar、优选地大于5bar、更进一步优选地大于10bar、最优选地大于20bar。如果设施在真空下被运行且环境压力小于1bar，则溶剂的压力如果必要同样可小于1bar。溶剂的压力然而须在所有情况中大于环境压力。溶剂被循环泵送(未示出)且被粗地过滤，以便于防止喷嘴1a的阻塞。对于根据本发明的在其中溶剂通过蒸馏被分离且被再次使用的一实施形式而言，溶剂已被加热。
例如在部分溶解过程(边缘区域释放(Edge Zone Release)(EZR)过程)中的过程时间取决于材料(即粘合剂)且取决于(粘胶剂)边缘区域的宽度。边缘区域可尽可能窄地设计，以便于降低过程时间或者部分溶解时间。
在相对图1b的一备选的实施形式中，环形物1和/或支架3’构造成可转动的。尤其样品架(英文：chuck)适合作为支架3’(即容纳装置)。为了使得完全的且/或更快速的溶解或者部分溶解成为可能，实现在喷嘴1a与衬底叠层2之间的相对旋转。优选地，衬底叠层支架3’处在可绕其轴线被置于旋转中的轴上。在该实施形式中，支架3’不可摆动，而是与轴同中心地引导(未示出)。有利地，使用容纳装置10(参见图2a)。容纳装置10首先尤其经由轴12驱动地在z方向上向上移动且将衬底叠层2带到运行位置中。该轴然后也可绕其轴线被置于旋转中(未示出)。代替转动还可实现支架3’绕轴的摆动运动。在此，转动或者摆动运动可被如此调整，即，通过摆动运动至少覆盖处在两个喷嘴1a之间的角度。由此，整个连接层周缘被覆盖且可使用较少的喷嘴1a。
图1c显示了根据第二实施形式的根据本发明的装置22的示意性横截面视图的一半部分。另一半部分实施成镜像对称的。在图1c中，三个尤其相同构造的环形物1以及对应的支架3垂直相叠地堆叠地布置。所有环形物1被安置在封闭的腔室中(未示出)。经堆叠的环形物1彼此相连接且借助于连接或者供应管道9借助于功率较强的循环泵供以溶剂。
多个环形物1可以任意数量相叠地布置，优选2至30个、更优选地2至15个、最优选地2至10个、极为优选地2至5个环形物1，从而可同时处理多个衬底叠层2。
图2a示意性地显示了根据第三实施形式的根据本发明的装置22的横截面视图。装置22可如在图1c中所描述的那样构造，其中，装置22额外地具有容纳装置10。上部的环形物1在该图示中已被加载以衬底叠层2。第二衬底叠层处在容纳装置10上。
衬底叠层2可事先由机器人(未示出)被加载到容纳装置(尤其Chuck)10上。容纳装置10如此构造，即，机器人可在溶解或者部分溶解之后再次移除衬底叠层2。有利地，衬底叠层2被固定在平行于z方向(垂直方向)可运动的容纳装置10上。容纳装置10尤其经由轴12驱动地在z方向上向上运动且将衬底叠层2带到中间支架3附近。其后，可运动的装载销11将衬底叠层2装载到中间支架3上。
在本发明的一有利的实施方案中设置成，支架3可被摆入且装载销11可将衬底叠层2放置在其上。固定销7防止衬底叠层2在支架3上的滑动。在另一示例性实施方案中，备选地或可选地布置有在尤其可摆动的支架3上的真空装置。
该过程被重复直至所有衬底叠层2被装载或者所有环形物1被装载。其后开始从喷嘴1a中喷洒溶剂。
图2b显示了朝向一优选的实施形式的容纳装置10的俯视图。为了由支架3容纳衬底叠层2或者放在支架3上，容纳装置10具有未示出的带有装载销11的升降机构。该升降机构可例如被集成在容纳装置10中且借助于控制网络来运行。容纳装置10如在图2b中所显示的那样具有三个用于装载销11的空隙13。另外地，容纳装置10的容纳面根据一示例性的实施形式具有呈圆形的、与中心同心地布置的空隙。这些空隙有利于可由下方执行衬底叠层2的清洁。这些空隙也可具有其它合适的形状，例如呈蜂巢状或呈圆形地构造，且/或具有其它的面盖板。
在喷洒过程之后，最下面的衬底叠层2被装载销11提高。其后，支架3被摆出且装载销11将衬底叠层2下放在容纳装置10上。容纳装置10移动到定义的下面的位置中，以便于执行或者使得衬底叠层2的清洁成为可能。
图3示意性地显示了根据第四种实施形式的根据本发明的装置22的横截面视图。图3显示了一实施形式，在其中衬底叠层2以溶剂(例如纯溶剂或溶剂混合物)来清洁且以快速干燥的溶剂来干燥。容纳装置10移动到定义的下面的位置中，以便于执行或者使得衬底叠层2的清洁成为可能。相叠地堆叠的环形物1以及容纳装置10布置在封闭的腔室16中。
在该下面的位置上方存在可摆入的臂14，其带有用于通过溶剂清洁衬底叠层的喷嘴141。特别优选的是可摆入的屏蔽部(未示出)在装置22中的使用，从而当溶解或者部分溶解结束且最下面的衬底叠层2为了清洁被取出时，该屏蔽部防止最下面的衬底叠层2通过由上方的水滴所造成的污染。如果屏蔽部被摆入，衬底叠层2可被清洁或者然后被干燥。为了容纳下一的衬底叠层2，屏蔽部再次打开。
出于优点设置成，将相应最下面的衬底叠层2以在z方向上可运动的容纳装置10如此程度地向下从环形物叠层中移出且利用可摆动的屏蔽部来覆盖，使得可利用容积来清洁和干燥。可摆入的带有喷嘴141的臂14被用于清洁衬底叠层2的上侧。在容纳装置10下显示出另一喷嘴15，其指向衬底叠层2的中心的方向，从而也可清洁衬底叠层2的下侧。在该示例性的实施形式中，衬底叠层2在清洁步骤期间仅被固定在三个固定销10a的周缘处。
容纳装置10利用机器人卸载衬底叠层2且将其例如引导到膜架安装者上或至下一模块(例如用于边界区域剥离(Edge Zone Debonding) EZD)。备选地，缓冲工位例如用于衬底叠层2的临时存放，在该衬底叠层在过程中被进一步处理之前，即例如直至用于在特别自动化的设备中的再加工的位置再次为空的。
图4a以侧视图形式示意性地显示了容纳装置10的另一示例性的实施形式。图4b显示了图4a的在z方向上可移动的容纳装置10的俯视图。衬底叠层2(未示出)仅在周缘处被以三个固定销10a固定。容纳装置10具有三个稍带长形的臂101，其由容纳装置10的中心径向向外延伸且在彼此120°的角度间隔中均匀地间隔开。臂101的端部处在圆K上。臂101相同长地构造。臂101呈棒状地构造有保持相同的横截面。在臂101的处在径向外部的端部处布置有用于衬底叠层2的水平布置的支承面。在该支承面上存在固定销10a。该实施形式使得衬底叠层2的特别高效的清洁成为可能。支承面的轮廓和容纳装置10的形状此外不受限于根据图2b和图4b的实施例。
图5a和5b显示了依照根据本发明的装置22的两个改进方案的喷嘴体17,19。喷嘴体17,19可布置在带有衬底表面6o的产品衬底6之上。由此，产品衬底6可特别高效地、尤其由上方被清洁，尤其地在衬底叠层2被完全分离之后。
根据第一实施形式，图5a显示了喷嘴体17(带有所谓的清洁三角)，其喷嘴18仅布置在喷嘴体17的部分区域或者喷嘴体17的表面上。该部分区域尤其包括圆面段，其由中心出发延伸经过大约90°的角度。喷嘴体17且/或产品衬底6可尤其被旋转，以便于实现表面6o的特别全面的清洁。
图5b显示了根据第二实施形式的喷嘴体19，其喷嘴18不仅在喷嘴体19的部分区域上而且在整个表面上分布地布置。喷嘴体19整面地装备有喷嘴18。
溶剂或者溶剂混合物在共轨9中尤其为了粗略清洁被循环泵送。溶剂通过供应管道20被泵送到喷嘴体17或者19中。
装置22具有喷嘴体17或19，其尤其用于产品衬底6在剥离(边缘区域剥离(EdgeZone Debonding EZD))之后的清洁。产品衬底6尤其朝向粘合薄膜21以膜架夹紧且尤其地在单独的清洁模块中被清洁。
附图标记清单
1 环形物
1a 喷嘴
2 衬底叠层
3,3’ 支架
4 连接层
5 支撑体衬底
6 产品衬底
6o 衬底表面
7 固定销
8 溶剂射流
9 溶剂管道
10 容纳装置
10a 固定销
101 臂
11 加载销
12 轴
13 空隙
14 臂
141 喷嘴
15 喷嘴
16 腔室
17 喷嘴体
18 喷嘴
19 喷嘴体
20 供应管道
21 薄膜
K 圆。

Claims (48)

1.用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层(2)的连接层(4)的装置(22)，带有如下特征：
-- 所述装置(22)具有至少一个环形物(1)，其中，所述衬底叠层(2)可被放置在所述至少一个环形物(1)内，
-- 所述至少一个环形物(1)具有多个喷嘴(1a)，其中，所述喷嘴(1a)至少在所述至少一个环形物(1)的周缘的部分上分布地布置，
-- 所述喷嘴(1a)朝向连接层(4)定向，
-- 所述装置(22)构造成，使得溶剂能由所述喷嘴(1a)被喷洒到所述连接层(4)的边缘区域上，其中，所述装置(22)具有多个相叠布置的环形物(1)，
-- 所述装置(22)具有容纳装置，其被配置为朝向且/或远离所述环形物中的每一个运输所述衬底叠层，其中，所述容纳装置被进一步配置为在垂直方向上移动，并且
-- 所述装置(22)还具有一个或多个另外的喷嘴，其被配置为清洁所述衬底叠层的下部的侧，其中，所述另外的喷嘴放置在所述容纳装置的下部的侧上且/或在最下部的环形物中，其中，所述另外的喷嘴指向所述衬底叠层的中心的方向。
2.根据权利要求1所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)相对于所述衬底叠层(2)且/或相对所述连接层(4)以0.1至15mm的距离来安装。
3.根据权利要求2所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)相对于所述衬底叠层(2)且/或相对所述连接层(4)以0.1至10mm的距离来安装。
4.根据权利要求2所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)相对于所述衬底叠层(2)且/或相对所述连接层(4)以0.1至8mm的距离来安装。
5.根据权利要求2所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)相对于所述衬底叠层(2)且/或相对所述连接层(4)以0.1至5mm的距离来安装。
6.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)具有0.01至10mm的直径。
7.根据权利要求6所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)具有0.01至7mm的直径。
8.根据权利要求6所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)具有0.01至5mm的直径。
9.根据权利要求6所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)具有0.1至2mm的直径。
10.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)具有溶剂管道(9)，其中，所述溶剂管道(9)引导至多个喷嘴(1a)。
11.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)在所述至少一个环形物(1)的整个周缘上分布地布置。
12.根据权利要求11所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)均匀地彼此间隔地在所述至少一个环形物(1)的整个周缘上分布地布置。
13.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)具有至少60个喷嘴(1a)。
14.根据权利要求13所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)具有至少70个喷嘴(1a)。
15.根据权利要求13所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)具有至少80个喷嘴(1a)。
16.根据权利要求13所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)具有至少100个喷嘴(1a)。
17.根据权利要求13所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)具有至少120个喷嘴(1a)。
18.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个环形物(1)具有至少一个支架(3)，其构造用于将所述衬底叠层(2)容纳在所述至少一个环形物(1)内的溶解位置和/或部分溶解位置中。
19.根据权利要求18所述的装置(22)，其特征在于，所述支架(3)是可摆动的。
20.根据权利要求18所述的装置(22)，其特征在于，所述至少一个支架(3)具有至少一个固定销(7)，其构造用于固定所述衬底叠层(2)。
21.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)，其特征在于，所述环形物(1)垂直相叠地布置。
22.根据权利要求21所述的装置(22)，其特征在于，所述环形物(1)垂直相叠地堆叠。
23.根据权利要求21所述的装置(22)，其特征在于，所述环形物(1)被安置在封闭的腔室中。
24.根据权利要求21所述的装置(22)，其特征在于，2至30个环形物(1)相叠地布置。
25.根据权利要求24所述的装置(22)，其特征在于，2至15个环形物(1)相叠地布置。
26.根据权利要求24所述的装置(22)，其特征在于，2至10个环形物(1)相叠地布置。
27.根据权利要求24所述的装置(22)，其特征在于，2至5个环形物(1)相叠地布置。
28.根据权利要求1所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)能摆动地构造。
29.根据权利要求28所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴(1a)在水平面中能摆动地构造。
30.根据权利要求28或29所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴的摆动度数为1°至20°。
31.根据权利要求28或29所述的装置(22)，其特征在于，所述喷嘴的摆动度数为1°至15°。
32.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)，其特征在于，所述装置(22)具有可移动的用于运输所述衬底叠层(2)的容纳装置(10)。
33.根据权利要求32所述的装置(22)，其特征在于，所述装置(22)具有在垂直方向上可移动的用于运输所述衬底叠层(2)的容纳装置(10)。
34.根据权利要求32所述的装置(22)，其特征在于，在所述容纳装置(10)之下且/或在最下面的环形物中存在一个或多个用于清洁所述衬底叠层(2)的底侧的喷嘴(15)。
35.根据权利要求34所述的装置(22)，其特征在于，一个或多个所述喷嘴(15)指向所述衬底叠层(2)的中心的方向。
36.根据权利要求34所述的装置(22)，其特征在于，在所述容纳装置(10)之下且/或在最下面的环形物中布置有1至60个喷嘴。
37.根据权利要求34所述的装置(22)，其特征在于，在所述容纳装置(10)之下且/或在最下面的环形物中布置有1至10个喷嘴。
38.根据权利要求34所述的装置(22)，其特征在于，在所述容纳装置(10)之下且/或在最下面的环形物中布置有1至6个喷嘴。
39.根据权利要求34所述的装置(22)，其特征在于，在所述容纳装置(10)之下且/或在最下面的环形物中布置有1至3个喷嘴。
40.根据权利要求34所述的装置(22)，其特征在于，在清洁所述衬底叠层(2)期间所述衬底叠层(2)以15个固定销(7)来固定。
41.根据权利要求40所述的装置(22)，其特征在于，在清洁所述衬底叠层(2)期间所述衬底叠层(2)在其周缘处以15个固定销(7)来固定。
42.根据权利要求40或41所述的装置(22)，其特征在于，在清洁所述衬底叠层(2)期间所述衬底叠层(2)以9个固定销(7)来固定。
43.根据权利要求40或41所述的装置(22)，其特征在于，在清洁所述衬底叠层(2)期间所述衬底叠层(2)以6个固定销(7)来固定。
44.根据权利要求40或41所述的装置(22)，其特征在于，在清洁所述衬底叠层(2)期间所述衬底叠层(2)以3个固定销(7)来固定。
45.根据权利要求1到5中任一项所述的装置(22)具有带有至少一个喷嘴的臂，其构造用于清洁所述衬底叠层(2)的顶侧。
46.根据权利要求45所述的装置(22)具有能摆入的、带有至少一个喷嘴的臂，其构造用于清洁所述衬底叠层(2)的顶侧。
47.一种利用权利要求1到46中任一项所述的装置(22)以用于至少部分溶解临时压接的衬底叠层(2)的连接层(4)的方法，带有如下步骤：
-- 将所述衬底叠层(2)放置在带有多个喷嘴(1a)的至少一个环形物(1)内，其中，所述喷嘴(1a)至少在所述至少一个环形物(1)的周缘的部分上分布地布置，
-- 所述喷嘴(1a)朝向所述连接层(4)定向，
-- 将溶剂喷洒到所述连接层(4)的边缘区域上。
48.根据权利要求47所述的方法，带有如下流程：
-- 将所述衬底叠层(2)放置在带有多个喷嘴(1a)的至少一个环形物(1)内，其中，所述喷嘴(1a)至少在所述至少一个环形物(1)的周缘的部分上分布地布置，
-- 所述喷嘴(1a)朝向所述连接层(4)定向，
-- 将溶剂喷洒到所述连接层(4)的边缘区域上。
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