CN108027565A - 感光性树脂组合物、固化膜、触摸面板及触摸面板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了利用光刻法，即使是8μm以上的厚膜也可以以低倾斜形状进行图案加工，并且可以形成高耐热且高耐化学品的遮光性固化膜图案的感光性树脂组合物、由其固化物构成的固化物以及具有该固化物的触摸面板。感光性树脂组合物含有(A)白色颜料、和(B)有机硅树脂衍生物，所述有机硅树脂衍生物具有碱溶性基团，(B)有机硅树脂衍生物的熔点为80～180℃。固化膜由该感光性树脂组合物的固化物构成。触摸面板具有该固化膜。

Description

感光性树脂组合物、固化膜、触摸面板及触摸面板的制造方法

技术领域

本发明涉及感光性着色组合物、由其形成的固化膜、包含该固化膜的触摸面板以及该触摸面板的制造方法。

背景技术

近年来，智能手机、平板PC等使用了投影型静电容量式触摸面板的移动设备正在迅速普及。一般而言，投影型静电容量式触摸面板在画面区域形成有ITO(Indium TinOxide，氧化铟锡)膜的图案，在其周边部进一步形成有钼等的金属配线部。于是为了隐藏这样的金属配线部，往往在投影型静电容量式触摸面板的盖板玻璃的内侧形成有黑色或白色等的遮光图案。

触摸面板的方式大致区分为：在盖板玻璃与液晶面板之间形成有触摸面板层的Out-cell型；在液晶面板上形成有触摸面板层的On-cell型；在液晶面板的内部形成有触摸面板层的In-cell型；和盖板玻璃上直接形成有触摸面板层的OGS(One Glass Solution，单片玻璃方案)型。随着触摸面板搭载终端的多样化，要求比迄今为止更高精细的遮光图案，代替以往的印刷法式，需要能够进行更高析像度的加工的光刻法。

从与以往型的Out-cell型相比谋求薄型化和轻量化考虑，OGS型的触摸面板的开发盛行，但关于OGS型的触摸面板，也要求利用光刻法形成遮光图案(专利文献1)。例如感光性黑色遮光材(专利文献2)被实用化，对于白色、蓝色这样的着色装饰层所使用的感光性遮光材(专利文献3)也进行了开发。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-242928号公报

专利文献2：日本特开2012-145699号公报

专利文献3：国际公开第2014/126013号

发明内容

发明所要解决的课题

然而，着色装饰层用的感光性树脂组合物的实用化还很困难。这是因为着色装饰层所含有的着色颜料与黑色颜料相比遮光性低，因此需要厚膜加工。特别是在白色遮光材的情况下，与黑色遮光材相比，要求10倍以上的膜厚。另一方面，在使用了光刻的图案形成工序中，白色遮光材将曝光光散射，因此对于8μm以上的膜厚而言，曝光光未充分到达底部，在负感光型的情况下，在显影工序中产生凹坑，而在图案端部产生陡峭的高低差。在通常的触摸面板工艺中，具有在遮光材的上部形成ITO配线的工序，但由于图案端部的陡峭的高低差，存在发生ITO配线的断线这样的课题。因此，现状是，多次重复进行8μm以下的膜厚的加工，形成没有陡峭的高低差的平稳的白色装饰层，成本非常高，生产性低。进一步，与黑色遮光材相比，在热处理、化学溶液处理和配线加工等触摸面板制造工艺中，易于黄变等着色也是课题。基于这样的情况，谋求利用光刻法，即使是8μm以上的厚膜也可以以低倾斜形状(tapered shape)进行图案加工，并且高耐热且高耐化学品的感光性树脂组合物。

用于解决课题的手段

本发明人等为了解决上述课题而进行了深入研究，结果发现下述感光性树脂组合物对触摸面板用的装饰图案的形成是极其有用的，该感光性树脂组合物含有(A)白色颜料、和(B)有机硅树脂衍生物，所述有机硅树脂衍生物具有碱溶性基团，(B)有机硅树脂衍生物的熔点为80～180℃。

即，本发明提供感光性树脂组合物，其含有(A)白色颜料、和(B)有机硅树脂衍生物，所述有机硅树脂衍生物具有碱溶性基团，上述(B)有机硅树脂衍生物的熔点为80～180℃。

此外，本发明提供由上述本发明的感光性树脂组合物的固化物构成的固化膜。进一步，本发明提供具有上述本发明的固化膜的触摸面板。进一步本发明提供固化膜的制造方法，其具有下述工序：(i)涂布工序，将上述本发明的感光性树脂组合物涂布在基板上而获得涂布膜，(ii)干燥工序，将上述涂布膜干燥而获得干燥膜，(iii)曝光工序，将上述干燥膜曝光而获得曝光膜，(iv)显影工序，将上述曝光膜显影而获得图案，和(v)硬化工序，将上述图案硬化而获得固化图案。进一步，本发明提供固化图案，是利用上述本发明的制造方法制作的固化图案，其在图案截面的端部具有仅上述(B-1)成分固化而成的部位，图案截面中的基板与仅上述(B-1)成分固化而成的部位所成的角度的最大值为60°以下。进一步本发明提供触摸面板的制造方法，其利用上述本发明的方法制造固化图案，并具有(vi)金属配线形成工序：在所得的固化图案上，形成与上述固化图案相接的金属的配线。

发明的效果

根据本发明的感光性树脂组合物，即使在8μm以上的厚膜加工时，也可以以一层形成高析像度且低倾斜的图案。此外，可以获得粘接力优异、不发生后续工序中的化学品处理后的剥落、由加热处理引起的着色少的遮光性固化膜图案。

附图说明

图1是对在利用本发明的固化图案的制造方法制造的固化图案中，仅(B-1)成分固化而成的部位出现的情况进行说明的示意图。

具体实施方式

本发明的感光性树脂组合物含有(A)白色颜料。这里所谓白色颜料，是指在可见区域不具有特定的吸收，并且，折射率大的不透明的颜料。作为白色颜料，可举出例如，二氧化钛、氧化镁、硫酸钡、氧化锆、氧化锌或铅白。优选为遮蔽性优异、容易工业利用的二氧化钛。更优选为以分散性的提高和光催化活性的抑制作为目的的、进行了表面处理的二氧化钛。

在二氧化钛的晶体结构中有锐钛矿型、金红石型、板钛矿型。其中，金红石型氧化钛没有光催化活性，是优选的。此外，为了使在感光性树脂组合物中的分散性、和固化膜的耐光性、耐热性提高，更优选为粒子的表面进行了处理的二氧化钛。

作为表面处理剂，优选为金属氧化物和/或金属氧化物的水合物，更优选为Al₂O₃、SiO₂和/或ZrO₂。其中，从耐光性、耐热性的观点考虑，优选含有SiO₂。进行了表面处理的氧化钛粒子之中，表面处理剂所占的质量为10质量％以下从遮蔽性的观点考虑是优选的。

为了使遮蔽性提高，二氧化钛等白色颜料的平均粒径优选为100～500nm。为了提高反射率，更优选为170～310nm。为了提高遮光性，特别优选为350～500nm。这里所谓平均粒径，是指利用激光衍射法测定的粒度分布的中位径。

白色颜料的添加量在固体成分中优选为10～80质量％。更优选为20～70质量％。进一步优选为35～65质量％。如果白色颜料的量为10质量％以上，则可获得充分的遮蔽性、设计性，另一方面，如果为80质量％以下，则所得的固化膜的耐化学品性和图案加工性良好。此外，作为白色颜料，可以使用1种或2种以上的白色颜料。

本发明的感光性树脂组合物可以含有(A)白色颜料以外的着色剂。作为白色颜料以外的着色剂，可举出例如，染料、有机颜料或无机颜料，从耐热性的观点考虑，优选为酞菁系的有机颜料、炭黑或无机颜料。

作为有机颜料的例子，可举出颜料黄12、13、17、20、24、83、86、93、95、109、110、117、125、129、137、138、139、147、148、150、153、154、166、168或185等黄色有机颜料、颜料橙13、36、38、43、51、55、59、61、64、65或71等橙色有机颜料、颜料红9、48、97、122、123、144、149、166、168、177、179、180、192、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240或254等红色有机颜料、颜料紫19、23、29、30、32、37、40或50等紫色有机颜料、颜料蓝15、15：3、15：4、15：6、22、60或64等蓝色有机颜料、颜料绿7、10或36等绿色有机颜料、或炭黑、苝黑或苯胺黑等黑色有机颜料(数值都是染料索引(CI)号)，从通用性和耐热性的观点考虑，优选为颜料蓝15：3、颜料蓝15：4、颜料蓝15：6、颜料绿7、颜料绿36或炭黑。

这些有机颜料根据需要可以进行松香处理、酸性基处理或碱性处理等表面处理。

作为无机颜料，可举出例如，氧化铁、硫化镉、钛镍锑、钛镍钡、铬酸锶、铬绿(viridian)、氧化铬、铝酸钴或氮化钛等金属微粒、金属氧化物、复合氧化物、金属硫化物、金属氮化物或金属氧氮化物。这些无机颜料可以用其它无机成分或有机成分进行表面处理，从耐热性的观点考虑，优选用其它无机成分进行表面处理。

为了使(A)白色颜料的分散性提高，本发明的感光性树脂组合物可以含有颜料分散剂。颜料分散剂可以根据使用的白色颜料的种类、表面状态而适当选择。优选含有酸性基和/或碱性基。作为市售的颜料分散剂，可举出例如，“Disperbyk-106”、“Disperbyk-108”、“Disperbyk-110”、“Disperbyk-180”、“Disperbyk-190”、“Disperbyk-2001”、“Disperbyk-2155”、“Disperbyk-140”或“Disperbyk-145”(以上，都是ビックケミー制)或“SNディスパーサント9228”或“SNスパース2190”(以上，都是三洋化成制)。或者，可以使用接下来说明的有机硅树脂衍生物作为分散树脂。

本发明的感光性树脂组合物含有(B)有机硅树脂衍生物，所述有机硅树脂衍生物具有碱溶性基团。有机硅树脂衍生物耐热性高，可以获得后续工序中的高温处理时的黄变少、耐热性高的感光性树脂组合物。这里，所谓“有机硅树脂”，是指其骨架由Si-O键构成的树脂之中的具有三维网状结构的树脂。有机硅树脂如后述那样有各种商品市售，此外，也能够通过后述的方法合成。此外，本发明中的所谓“有机硅树脂衍生物”，是指上述有机硅树脂之中的至少含有碱溶性基团的物质。作为使有机硅树脂含有碱溶性基团的方法，可以通过对市售的有机硅树脂以包含碱溶性基团的方式进行修饰，或在有机硅树脂合成时将包含碱溶性基团的化合物进行共聚而获得。

本发明所使用的(B)有机硅树脂衍生物具有碱溶性基团。通过具有碱溶性基团，从而在碱性显影液中的溶解性飞跃地提高。一般所使用的甲基有机硅树脂、甲基苯基有机硅树脂、苯基有机硅树脂等有机硅树脂的疏水性高，不显示在碱性显影液中的溶解性，但本发明的有机硅树脂衍生物通过具有碱溶性基团，从而在碱性显影液中的溶解性提高，光刻加工变得容易。

作为碱溶性基团，没有特别限定，但从适度的碱溶性的赋予和耐热性、保存稳定性的观点考虑，优选具有选自羧基、酚性羟基中的1种以上官能团。作为上述羧基，进一步优选为琥珀酸基和/或马来酸基。通过选择琥珀酸基和/或马来酸基，从而工业上易于获得，并且不会在聚合中作为反应催化剂起作用而引起凝胶化，可以容易地导入到有机硅树脂(后述)。有机硅树脂衍生物所具有的碱溶性基团的量优选为1×10^-4～20×10^-4摩尔/g，更优选为2×10^-4～15×10^-4摩尔/g。通过使碱溶性基团的量在该范围内，可以良好地控制碱溶性，并且可以保持固化膜的特性。

本发明所使用的(B)有机硅树脂衍生物优选进一步具有自由基聚合性基团。这里，所谓自由基聚合性基团，为例如(甲基)丙烯酰基、(甲基)丙烯酰氧基、(甲基)丙烯酰氨基、乙烯基芳基、乙烯基醚基、乙烯基氧基羰基等，作为优选的具体例，可以举出(甲基)丙烯酰基、乙烯基醚基等。

本发明的(B)有机硅树脂衍生物优选包含多种有机硅树脂衍生物成分，其至少一种进一步含有自由基聚合性基团。特别是，

优选包含(B-1)自由基聚合性基团的含量少的成分(也可以不包含自由基聚合性基团)、和(B-2)自由基聚合性基团的含量多的成分。通过包含(B-1)自由基聚合性基团的含量少的成分，可以抑制曝光时的玻璃化转变温度(Tg)变化，并引起之后的硬化工序中的形状变化、即回流。进一步，通过包含(B-2)自由基聚合性基团的含量多的成分，从而可以在曝光时适度地促进交联而使图案加工性良好。优选上述(B-1)成分的自由基聚合性基团的含量为4×10^-4摩尔/g以下，并且，上述(B-2)成分与上述(B-1)成分的自由基聚合性基团的含量之差为2×10^-4摩尔/g以上(优选为50×10^-4摩尔/g以下)。通过使(B-1)成分、(B-2)成分的自由基聚合性基团的量在该范围内，可以扩大兼有图案加工性和回流性的范围，即可以使工艺裕量充分。进一步优选的是，上述(B)有机硅树脂衍生物的上述(B-1)成分的自由基聚合性基团的含量为3×10^-4摩尔/g以下，特别优选为2.8×10^-4摩尔/g以下，上述(B-2)成分的自由基聚合性基团的含量为5×10^-4～20×10^-4摩尔/g。(B-1)成分和(B-2)成分分别可以单独使用，也可以并用2种以上。

进一步，(B)有机硅树脂衍生物中，优选(B-1)成分的含量为50～97质量％，(B-2)成分的含量为3～50质量％。进一步优选(B-1)成分的含量为60～80质量％，(B-2)成分的含量为5～40质量％。通过使(B-1)和(B-2)成分的含量在该范围内，可以扩大兼有图案加工性和回流性的范围。

本发明中使用的有机硅树脂衍生物的重均分子量优选为1000～100000，更优选为1500～50000，特别优选为2000～10000。通过使重均分子量为1000以上，在涂布本发明的感光性树脂组合物时，可以降低涂布膜表面的发粘，即粘性。通过使重均分子量为100000以下，可以使在显影液中的溶解性充分，缩短显影时间。

本发明中使用的(B)有机硅树脂衍生物的熔点为80～180℃。在(B)有机硅树脂衍生物包含上述(B-1)成分和(B-2)成分两者的情况下，两者的熔点都为80～180℃。在使用大量包含白颜料的感光性树脂组合物利用光刻法形成图案的情况下，曝光光在白颜料处散射，难以充分地使膜底部光固化，因此形成的图案的底部在显影工序中凹陷，变为底切(undercut)形状。在这样的底切形状的图案上形成了裱褙的遮光材的情况下，遮光材进入到底切部分，变得外观不良。进一步，在形成了ITO、Mo这样的金属配线的情况下，在底切部分发生金属配线的断线，生产性大幅降低。因此，通过使(B)有机硅树脂衍生物的熔点为180℃以下，从而在硬化时软化而表现流动性，即回流，从而底切形状向良好的倾斜形状变化，可以抑制残渣、断线这样的缺陷，可以提高生产性。进一步，(B)有机硅树脂衍生物在硬化初期软化、流动后，在硬化后期硅烷醇基的缩合充分促进，可以使化学品耐性、耐热性良好。

通过使熔点为80℃以上，在涂布了本发明的树脂组合物时，可以降低涂布膜表面的发粘，即粘性，能够用辊进行连续生产，可以大幅减少成本。优选为90～160℃，进一步优选为100～140℃。通过使(B)有机硅树脂衍生物的熔点在该范围内，不表现粘性，且使热硬化时的有机硅树脂衍生物的流动性充分，可获得良好的倾斜形状。

以下示出有机硅树脂衍生物的熔点测定方法。将有机硅树脂衍生物1g装到直径5cm的铝杯中，在电热板上从25℃以5℃/分钟的速度加热，将有机硅树脂衍生物完全变为液体的温度设为熔点。

本发明的感光性树脂组合物优选在固体成分中含有(B)有机硅树脂衍生物5～45质量％。通过使含量在该范围内，可以不损害感光特性，而使倾斜形状良好。更优选为10～40质量％，进一步优选为15～33质量％。

(B)有机硅树脂衍生物不限定于此，可以通过(i)使成为有机硅树脂的原料的硅烷化合物、与含有碱溶性基团的硅烷化合物共聚而制作的方法，(ii)使含有碱溶性基团的化合物与市售的有机硅树脂反应而制作的方法等方法来合成。从合成的容易性和成本的观点考虑，更优选为(ii)使含有碱溶性基团的化合物与市售的有机硅树脂反应而制作的方法。

作为(i)使含有碱溶性基团的硅烷化合物共聚而制作有机硅树脂的方法，可以使用一般已知的聚硅氧烷聚合技术。例如，通过使一般的烷氧基硅烷化合物与具有碱溶性基团的烷氧基硅烷化合物进行共水解物缩合，即，水解和部分缩合来获得。共水解物缩合可以使用一般的方法。可以使用例如，在硅烷化合物的混合物中添加有机溶剂、水和根据需要的催化剂，在50～150℃加热搅拌0.5～100小时左右的方法。需要说明的是，在加热搅拌中，根据需要，可以通过蒸馏进行水解副产物(甲醇等醇)、缩合副产物(水)的蒸馏除去。

作为共水解物缩合所使用的有机溶剂，在本发明的感光性树脂组合物含有有机溶剂的情况下，优选为相同的有机溶剂。有机溶剂的添加量相对于供于共水解物缩合的烷氧基硅烷化合物100重量份优选为10～1000重量份。此外，水的添加量相对于水解性基团1摩尔优选为0.5～5摩尔。

作为共水解物缩合中根据需要添加的催化剂，优选为酸催化剂或碱催化剂。作为酸催化剂，可举出例如，乙酸、三氟乙酸、甲酸或多元羧酸或其酸酐、盐酸、硝酸、硫酸、氢氟酸、磷酸或离子交换树脂。作为碱催化剂，可举出例如，三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、三己胺、三庚胺、三辛胺、二乙胺、三乙醇胺、二乙醇胺、氢氧化钠、氢氧化钾、具有氨基的烷氧基硅烷或离子交换树脂。催化剂的添加量相对于供于共水解物缩合的烷氧基硅烷化合物100重量份优选为0.01～10重量份。

进一步根据需要，可以除去添加的催化剂。作为催化剂的除去方法，可举出例如，水洗涤或采用离子交换树脂进行的除去。这里所谓水洗涤，是指将(B)有机硅树脂衍生物的溶液用适当的疏水性溶剂稀释后，用水多次洗涤，将所得的有机层用蒸发器进行浓缩的方法。此外所谓采用离子交换树脂进行的除去，是指使(B)有机硅树脂衍生物的溶液与适当的离子交换树脂接触的方法。

作为烷氧基硅烷化合物，可以使用2官能、3官能、4官能的烷氧基硅烷化合物。

作为4官能烷氧基硅烷化合物，可举出例如，四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷、四正丙氧基硅烷、四异丙氧基硅烷、四正丁氧基硅烷、四异丁氧基硅烷。

作为3官能烷氧基硅烷化合物，可举出甲基三甲氧基硅烷、甲基三乙氧基硅烷、甲基三乙酰氧基硅烷、甲基三丁氧基硅烷、乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷、异丁基三甲氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、苯基三乙氧基硅烷、苯基三乙酰氧基硅烷、枯基三甲氧基硅烷、甲苯基三甲氧基硅烷、3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、γ-巯基丙基三甲氧基硅烷、γ-巯基丙基三乙氧基硅烷、N-β(氨基乙基)-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-β(氨基乙基)-γ-氨基丙基三乙氧基硅烷、β-氰基乙基三乙氧基硅烷、甲基三苯氧基硅烷、环氧丙氧基甲基三甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基三乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基三乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三丙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三丁氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三甲氧基乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基三苯氧基硅烷、α-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、δ-环氧丙氧基丁基三甲氧基硅烷、δ-环氧丙氧基丁基三乙氧基硅烷、(3,4-环氧环己基)甲基三甲氧基硅烷、(3,4-环氧环己基)甲基三乙氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三丙氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三丁氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三苯氧基硅烷、γ-(3,4-环氧环己基)丙基三甲氧基硅烷、γ-(3,4-环氧环己基)丙基三乙氧基硅烷、δ-(3,4-环氧环己基)丁基三乙氧基硅烷、2-(三氟甲基)乙基三氯硅烷、2-(三氟甲基)乙基三甲氧基硅烷、2-(三氟甲基)乙基三乙氧基硅烷、2-(三氟甲基)乙基三正丙氧基硅烷、2-(三氟甲基)乙基三异丙氧基硅烷、2-(三氟甲基)乙基三正丁氧基硅烷、2-(三氟甲基)乙基三仲丁氧基硅烷、2-(全氟-正己基)乙基三氯硅烷、2-(全氟-正己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(全氟-正己基)乙基三乙氧基硅烷、2-(全氟-正己基)乙基三正丙氧基硅烷、2-(全氟-正己基)乙基三异丙氧基硅烷、2-(全氟-正己基)乙基三正丁氧基硅烷、2-(全氟-正己基)乙基三仲丁氧基硅烷、2-(全氟-正辛基)乙基三氯硅烷、2-(全氟-正辛基)乙基三甲氧基硅烷、2-(全氟-正辛基)乙基三乙氧基硅烷、2-(全氟-正辛基)乙基三正丙氧基硅烷、2-(全氟-正辛基)乙基三异丙氧基硅烷、2-(全氟-正辛基)乙基三正丁氧基硅烷、2-(全氟-正辛基)乙基三仲丁氧基硅烷、羟基甲基三氯硅烷、羟基甲基三甲氧基硅烷、羟基乙基三甲氧基硅烷、羟基甲基三正丙氧基硅烷、羟基甲基三异丙氧基硅烷、羟基甲基三正丁氧基硅烷、羟基甲基三仲丁氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三氯硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三正丙氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三异丙氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三正丁氧基硅烷、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基三仲丁氧基硅烷、3-巯基丙基三氯硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三乙氧基硅烷、3-巯基丙基三正丙氧基硅烷、3-巯基丙基三异丙氧基硅烷、3-巯基丙基三正丁氧基硅烷、3-巯基丙基三仲丁氧基硅烷、乙烯基三氯硅烷、乙烯基三正丙氧基硅烷、乙烯基三异丙氧基硅烷、乙烯基三正丁氧基硅烷、乙烯基三仲丁氧基硅烷、烯丙基三氯硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、烯丙基三正丙氧基硅烷、烯丙基三异丙氧基硅烷、烯丙基三正丁氧基硅烷、烯丙基三仲丁氧基硅烷、苯基三氯硅烷、苯基三正丙氧基硅烷、苯基三异丙氧基硅烷、苯基三正丁氧基硅烷、苯基三仲丁氧基硅烷、三酰氧基或三苯氧基硅烷类等。

作为2官能烷氧基硅烷化合物，可举出苯基甲基二甲氧基硅烷、苯基甲基二乙氧基硅烷、二甲基二乙酰氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-巯基丙基甲基二甲基二甲氧基硅烷、γ-巯基丙基二乙氧基硅烷、γ-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、环氧丙氧基甲基二甲氧基硅烷、环氧丙氧基甲基二乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基甲基二甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基乙基二乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基甲基二甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基乙基甲基二乙氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、α-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、β-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二丙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二丁氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基甲基二苯氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙基二丙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙烯基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基乙烯基二乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基苯基二甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧基丙基苯基二乙氧基硅烷、甲基二氯硅烷、甲基二乙氧基硅烷、甲基二正丙氧基硅烷、甲基二异丙氧基硅烷、甲基二正丁氧基硅烷、甲基二仲丁氧基硅烷、二甲基二氯硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、二甲基二乙氧基硅烷、二甲基二正丙氧基硅烷、二甲基二异丙氧基硅烷、二甲基二正丁氧基硅烷、二甲基二仲丁氧基硅烷、(甲基)〔2-(全氟-正辛基)乙基〕二氯硅烷、(甲基)〔2-(全氟-正辛基)乙基〕二甲氧基硅烷、(甲基)〔2-(全氟-正辛基)乙基〕二乙氧基硅烷、(甲基)〔2-(全氟-正辛基)乙基〕二正丙氧基硅烷、(甲基)〔2-(全氟-正辛基)乙基〕二异丙氧基硅烷、(甲基)〔2-(全氟-正辛基)乙基〕二正丁氧基硅烷、(甲基)〔2-(全氟-正辛基)乙基〕二仲丁氧基硅烷、(甲基)(γ-环氧丙氧基丙基)二氯硅烷、(甲基)(γ-环氧丙氧基丙基)二甲氧基硅烷、(甲基)(γ-环氧丙氧基丙基)二乙氧基硅烷、(甲基)(γ-环氧丙氧基丙基)二正丙氧基硅烷、(甲基)(γ-环氧丙氧基丙基)二异丙氧基硅烷、(甲基)(γ-环氧丙氧基丙基)二正丁氧基硅烷、(甲基)(γ-环氧丙氧基丙基)二仲丁氧基硅烷、(甲基)(3-巯基丙基)二氯硅烷、(甲基)(3-巯基丙基)二甲氧基硅烷、(甲基)(3-巯基丙基)二乙氧基硅烷、(甲基)(3-巯基丙基)二正丙氧基硅烷、(甲基)(3-巯基丙基)二异丙氧基硅烷、(甲基)(3-巯基丙基)二正丁氧基硅烷、(甲基)(3-巯基丙基)二仲丁氧基硅烷、(甲基)(乙烯基)二氯硅烷、(甲基)(乙烯基)二甲氧基硅烷、(甲基)(乙烯基)二乙氧基硅烷、(甲基)(乙烯基)二正丙氧基硅烷、(甲基)(乙烯基)二异丙氧基硅烷、(甲基)(乙烯基)二正丁氧基硅烷、(甲基)(乙烯基)二仲丁氧基硅烷、二乙烯基二氯硅烷、二乙烯基二甲氧基硅烷、二乙烯基二乙氧基硅烷、二乙烯基二正丙氧基硅烷、二乙烯基二异丙氧基硅烷、二乙烯基二正丁氧基硅烷、二乙烯基二仲丁氧基硅烷、二苯基二氯硅烷、二苯基二甲氧基硅烷、二苯基二乙氧基硅烷、二苯基二正丙氧基硅烷、二苯基二异丙氧基硅烷、二苯基二正丁氧基硅烷、二苯基二仲丁氧基硅烷、氯二甲基硅烷、等的烷氧基硅烷或二酰氧基硅烷类。但是，本发明并不限定于这些具体例。

2官能烷氧基硅烷化合物的添加量优选为全部硅烷化合物中的1～50摩尔％。通过为1摩尔％以上，可以提高柔软性，即使在8μm以上的厚膜加工中也可以抑制裂缝等缺陷，通过为50摩尔％以下，从而容易将熔点设计为80～180℃。更优选为2～35摩尔％，进一步优选为5～30摩尔％。

此外，全部硅烷化合物中，优选含有具有苯基的化合物5～70摩尔％。通过为5摩尔％以上，可以提高耐热性，并且可以提高与其它的感光性树脂组合物成分的相容性，通过为70摩尔％以下，可以提高柔软性，即使在8μm以上的厚膜加工中也可以抑制裂缝等缺陷。更优选为20～60摩尔％，进一步优选为30～50摩尔％。

作为具有碱溶性基团的烷氧基硅烷化合物，可举出例如，3-三甲氧基甲硅烷基丙酸、3-三乙氧基甲硅烷基丙酸、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙酸、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙酸、4-三甲氧基甲硅烷基丁酸、4-三乙氧基甲硅烷基丁酸、4-二甲基甲氧基甲硅烷基丁酸、4-二甲基乙氧基甲硅烷基丁酸、5-三甲氧基甲硅烷基戊酸、5-三乙氧基甲硅烷基戊酸、5-二甲基甲氧基甲硅烷基戊酸、5-二甲基乙氧基甲硅烷基戊酸、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三甲氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-三甲氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐或3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐等。

本发明中使用的有机硅树脂衍生物也优选具有自由基聚合性基团。作为用于合成具有自由基聚合性基团的有机硅树脂衍生物的含有自由基聚合性基团的烷氧基硅烷化合物，可举出例如，乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、烯丙基甲基二甲氧基硅烷、烯丙基甲基二乙氧基硅烷、苯乙烯基三甲氧基硅烷、苯乙烯基三乙氧基硅烷、苯乙烯基甲基二甲氧基硅烷、苯乙烯基甲基二乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷或γ-丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷。

接着，对(ii)使含有碱溶性基团的化合物与市售的有机硅树脂反应而制作的方法进行具体说明。作为市售的有机硅树脂的具体例，可以使用由具有碳原子数1～20的烷基和烷氧基的烷氧基硅烷化合物的缩合调制的烷基系有机硅树脂(甲基系有机硅树脂等)、甲基苯基等烷基-芳基系有机硅树脂、苯基等芳基系有机硅树脂、甲基-氢等氢系有机硅树脂。更优选为甲基系有机硅树脂、甲基苯基系有机硅树脂、苯基系有机硅树脂。这些有机硅树脂可以单独使用，也可以并用2种以上，通过将它们以任意的比率混合可以控制膜物性。

作为具体的有机硅树脂，可举出例如KC-89、KC-89S、X-21-3153、X-21-5841、X-21-5842、X-21-5843、X-21-5844、X-21-5845、X-21-5846、X-21-5847、X-21-5848、X-22-160AS、X-22-170B、X-22-170BX、X-22-170D、X-22-170DX、X-22-176B、X-22-176D、X-22-176DX、X-22-176F、X-40-2308、X-40-2651、X-40-2655A、X-40-2671、X-40-2672、X-40-9220、X-40-9225、X-40-9226、X-40-9227、X-40-9246、X-40-9247、X-40-9250、X-40-9323、X-40-2460M、X-41-1053、X-41-1056、X-41-1805、X-41-1810、KF6001、KF6002、KF6003、KR212、KR-213、KR-217、KR220L、KR242A、KR271、KR282、KR300、KR311、KR400、KR251、KR255、KR401N、KR500、KR510、KR5206、KR5230、KR5235、KR9218、KR9706、KR165、KR(以上，信越化学工业社)；グラスレジン(昭和电工社)；SH804、SH805、SH806A、SH840、SR2400、SR2402、SR2405、SR2406、SR2410、SR2411、SR2416、SR2420、804RESIN、805RESIN、806ARESIN、840RESIN、Z-6018、217FLAKE、220FLAKE、233FLAKE、249FLAKE、QP8-5314、AY-42-163、AY-42-182(以上，東レ·ダウコーニング社)；FZ3711、FZ3722(以上，日本ユニカー社)；DMS-S12、DMS-S15、DMS-S21、DMS-S27、DMS-S31、DMS-S32、DMS-S33、DMS-S35、DMS-S38、DMS-S42、DMS-S45、DMS-S51、DMS-227、PSD-0332、PDS-1615、PDS-9931、XMS-5025(以上，チッソ社)；硅酸甲酯MS51、硅酸甲酯MS56(以上，三菱化学社)；硅酸乙酯28、硅酸乙酯40、硅酸乙酯48(以上，コルコート社)；GR100、GR650、GR908、GR950(以上，昭和电工社)等部分缩合物。但是，本发明不受这些具体例限定。

作为使含有碱溶性基团的化合物反应的方法，可举出有机硅树脂中的残存硅烷醇基与羟基的酯交换反应、与环氧基的开环缩合反应、硅烷醇基彼此的缩合反应等。其中，使用硅烷醇基缩合反应由于碱溶性基团的导入量容易控制因此优选。作为硅烷醇基彼此的缩合反应，可以使用具有碱溶性基团的烷氧基硅烷化合物，通过上述的方法进行。作为具有碱溶性基团的烷氧基硅烷化合物，可举出例如，3-三甲氧基甲硅烷基丙酸、3-三乙氧基甲硅烷基丙酸、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙酸、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙酸、4-三甲氧基甲硅烷基丁酸、4-三乙氧基甲硅烷基丁酸、4-二甲基甲氧基甲硅烷基丁酸、4-二甲基乙氧基甲硅烷基丁酸、5-三甲氧基甲硅烷基戊酸、5-三乙氧基甲硅烷基戊酸、5-二甲基甲氧基甲硅烷基戊酸、5-二甲基乙氧基甲硅烷基戊酸、3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基琥珀酸酐、3-三甲氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基环己基二甲酸酐、3-三甲氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、3-三乙氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐、3-二甲基甲氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐或3-二甲基乙氧基甲硅烷基丙基邻苯二甲酸酐等。

作为使含有自由基聚合性基团的化合物反应的方法，同样地，可举出有机硅树脂中的残存硅烷醇基与羟基的酯交换反应、与环氧基的开环缩合反应、硅烷醇基彼此的缩合反应等。其中，使用硅烷醇基缩合反应由于自由基聚合性基团的导入量容易控制因此是优选的。作为硅烷醇基彼此的缩合反应，可以使用具有自由基聚合性基团的烷氧基硅烷化合物，通过上述的方法进行。作为具有自由基聚合性基团的烷氧基硅烷化合物，可举出例如，乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、烯丙基三乙氧基硅烷、烯丙基甲基二甲氧基硅烷、烯丙基甲基二乙氧基硅烷、苯乙烯基三甲氧基硅烷、苯乙烯基三乙氧基硅烷、苯乙烯基甲基二甲氧基硅烷、苯乙烯基甲基二乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷、γ-丙烯酰基丙基甲基二甲氧基硅烷或γ-丙烯酰基丙基甲基二乙氧基硅烷。

本发明的感光性树脂组合物优选进一步含有固化性化合物。这里作为固化性化合物，可举出含有(甲基)丙烯酰基、乙烯基的化合物等，从反应速度的观点考虑，优选为(甲基)丙烯酸系单体，进一步优选为多官能(甲基)丙烯酸系单体。

作为多官能(甲基)丙烯酸系单体，可举出例如，双酚A二缩水甘油基醚(甲基)丙烯酸酯、聚(甲基)丙烯酸酯氨基甲酸酯、改性双酚A环氧(甲基)丙烯酸酯、己二酸1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸酐氧化丙烯(甲基)丙烯酸酯、偏苯三甲酸二甘醇(甲基)丙烯酸酯、松香改性环氧二(甲基)丙烯酸酯或醇酸改性(甲基)丙烯酸酯等低聚物、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A二缩水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、1,3,5-三丙烯酰基六氢-1,3,5-三嗪、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、[9,9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]芴、乙氧基化异氰脲酸二丙烯酸酯、乙氧基化异氰脲酸三丙烯酸酯或ε-己内酯改性三-(2-丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯，为了使所得的固化膜的耐裂性提高，优选为下述通式(1)所示的化合物。作为通式(1)所示的化合物，可举出例如，乙氧基化异氰脲酸二丙烯酸酯、乙氧基化异氰脲酸三丙烯酸酯或ε-己内酯改性三-(2-丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯。

(R⁸表示碳原子数1～4的亚烷基，n各自独立地表示0～5的整数，R⁹各自独立地表示丙烯酰基、甲基丙烯酰基或氢。然而，并非全部的R⁹为氢。)

固化性化合物的含量在固体成分中优选为1～30质量％。通过使固化性化合物的含量在该范围内，从而可以使感光特性适当。更优选为3～15质量％，进一步优选为5～12质量％。此外，固化性化合物可以为1种，也可以并用2种以上。

本发明的感光性树脂组合物优选含有光自由基聚合引发剂。这里所谓光自由基聚合引发剂，是指通过光(包含紫外线、电子射线)进行分解和/或反应，产生自由基的物质。

作为光自由基聚合引发剂，可举出例如，2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-(2,4,4-三甲基戊基)-氧化膦、1,2-辛烷二酮,1-[4-(苯硫基)-2-(O-苯甲酰肟)]、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙酮1-(O-乙酰肟)、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮或1-羟基-环己基-苯基-酮等，在本发明的感光性树脂组合物不含有白色颜料以外的着色剂的情况下，为了抑制光自由基聚合引发剂引起的着色，优选为2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦或双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-(2,4,4-三甲基戊基)-氧化膦等酰基氧化膦系光聚合引发剂。光自由基聚合引发剂的含量在固体成分中优选为0.1～10质量％。通过使光自由基聚合引发剂的含量在该范围内，可以使感光特性适当。更优选为1～5质量％。在使用光自由基聚合引发剂的情况下，光自由基聚合引发剂可以为1种，也可以并用2种以上。

本发明的感光性树脂组合物可以含有有机溶剂。关于有机溶剂，为了均匀地溶解感光性树脂组合物的各成分，优选为醇性化合物、酯系化合物或醚系化合物，但从颜料分散性的观点考虑，更优选为酯系化合物或醚系化合物。此外，优选大气压下的沸点为110℃～250℃以下的化合物。关于本发明的感光性着色组合物，由于设想以旋转涂布机、狭缝涂布机、丝网印刷、喷墨或棒式涂布机等印刷方式涂布，因此如果沸点为110℃以上则有机溶剂的干燥速度不会过快，涂布均匀性良好，另一方面，如果沸点为250℃以下，则所得的固化膜不残存有机溶剂，固化膜的耐热性不恶化。

作为有机溶剂，可举出例如，丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、双丙酮醇、乙二醇单正丁基醚、乙酸2-乙氧基乙酯、1-甲氧基丙基-2-乙酸酯、3-甲氧基-3-甲基丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、1,3-丁二醇二乙酸酯、乙二醇单丁基醚乙酸酯、二甘醇单丁基醚乙酸酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、乙酰乙酸乙酯或γ-丁内酯。

在使用有机溶剂的情况下，感光性树脂组合物中的有机溶剂的含量没有特别限定，通常为20～80质量％左右，优选为35～60质量％左右。此外，在使用有机溶剂的情况下，有机溶剂可以为1种，也可以并用2种以上。

本发明的感光性树脂组合物中，为了使涂布性提高，可以含有表面活性剂。作为表面活性剂，可举出例如，氟系表面活性剂、有机硅系表面活性剂、聚氧化烯系表面活性剂或聚(甲基)丙烯酸酯系表面活性剂。

在使用表面活性剂的情况下，感光性树脂组合物中的表面活性剂的含量没有特别限定，通常为0.001～10质量％左右，优选为0.01～5质量％左右。此外，在使用表面活性剂的情况下，表面活性剂可以为1种，也可以并用2种以上。

本发明的感光性树脂组合物可以含有多官能硫醇化合物作为链转移剂。通过含有多官能硫醇化合物，图案边缘的倾斜形状变得平缓。此外，与玻璃的密合性提高，可以抑制显影剥落。进一步，也可以使对后续工序中的化学品处理的耐性提高。多官能硫醇化合物的添加量在本发明的感光性树脂组合物的固体成分中，优选为0.1质量％以上5质量％以下。如果多官能硫醇化合物的添加量低于0.1质量％，则有不能充分获得耐化学品性的提高效果的可能性，如果超过5质量％，则曝光时硫醇化合物特有的臭气变强。作为多官能硫醇化合物，从组合物的保存稳定性的观点考虑，优选为多元醇化合物与含有仲巯基或叔巯基的羧酸化合物的酯化合物。作为多元醇化合物，可举出例如，亚烷基二醇(其中，亚烷基的碳原子数为2～10，可以分支。)、二甘醇、双丙甘醇、甘油、三羟甲基丙烷、三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯、季戊四醇或二季戊四醇。作为含有仲巯基或叔巯基的羧酸化合物，可举出例如，2-巯基丙酸、3-巯基丁酸、2-巯基异丁酸、4-巯基戊酸或3-巯基戊酸。作为它们的硫醇化合物，可举出例如，季戊四醇四(2-巯基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(2-巯基丙酸酯)、三羟甲基乙烷三(2-巯基丙酸酯)、甘油三(2-巯基丙酸酯)、三(2-巯基丙酸酯)乙氧基异氰脲酸酯、乙二醇双(2-巯基丙酸酯)、1,2-丙二醇(2-巯基丙酸酯)、1,4-丁二醇(2-巯基丙酸酯)、二甘醇双(2-巯基丙酸酯)、双丙甘醇双(2-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丁酸酯)、三羟甲基乙烷三(3-巯基丁酸酯)、甘油三(3-巯基丁酸酯)、三(3-巯基丁酸酯)乙氧基异氰脲酸酯、乙二醇双(3-巯基丁酸酯)、1,2-丙二醇(3-巯基丁酸酯)、1,4-丁二醇(3-巯基丁酸酯)、二甘醇双(3-巯基丁酸酯)、双丙甘醇双(3-巯基丁酸酯)、季戊四醇四(2-巯基异丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(2-巯基异丁酸酯)、三羟甲基乙烷三(2-巯基异丁酸酯)、甘油三(2-巯基异丁酸酯)、三(2-巯基异丁酸酯)乙氧基异氰脲酸酯、乙二醇双(2-巯基异丁酸酯)、1,2-丙二醇双(2-巯基异丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(2-巯基异丁酸酯)、1,2-丙二醇(2-巯基异丁酸酯)、1,4-丁二醇(2-巯基异丁酸酯)、二甘醇双(2-巯基异丁酸酯)或双丙甘醇双(2-巯基异丁酸酯)，从臭气、保存稳定性和反应性的平衡优异考虑，优选为季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丁酸酯)、三羟甲基乙烷三(3-巯基丁酸酯)、甘油三(3-巯基丁酸酯)或三(3-巯基丁酸酯)乙氧基异氰脲酸酯。

作为其它硫醇化合物，可举出例如，1,4-丁烷二硫醇、1,5-戊烷二硫醇、1,6-己烷二硫醇、1,9-壬烷二硫醇、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、三羟甲基乙烷三(3-巯基丙酸酯)、甘油三(3-巯基丙酸酯)、三(3-巯基丙酸酯)乙氧基异氰脲酸酯、乙二醇双(3-巯基丙酸酯)、1,2-丙二醇(3-巯基丙酸酯)、1,4-丁二醇(3-巯基丙酸酯)、二甘醇双(3-巯基丙酸酯)或双丙甘醇双(3-巯基丙酸酯)。在将(F)多官能硫醇化合物添加到本发明的感光性树脂组合物时，可以单独使用，也可以混合。需要说明的是，在使用多官能硫醇化合物的情况下，多官能硫醇化合物可以为1种，也可以并用2种以上。

本发明的感光性树脂组合物中，为了使耐化学品性进一步提高，可以具有环氧化合物。通过具有环氧化合物，可以提高耐化学品性。环氧化合物的添加量在本发明的感光性树脂组合物的固体成分中，优选为0.1质量％以上15质量％以下。如果环氧化合物的添加量低于0.1质量％，则可能不能充分获得密合性的提高效果，如果超过15质量％，则可能组合物的保存稳定性下降，组合物的操作变难。从耐热性的观点考虑，进一步优选为脂环式环氧化合物，可举出例如，3’,4’-环氧环己基甲基3,4-环氧环己烷甲酸酯、2,2-双(羟基甲基)-1-丁醇的1,2-环氧-4-(2-环氧乙烷基)环己烷加成物、ε-己内酯改性3’,4’-环氧环己基甲基3’,4’-环氧环己烷甲酸酯、1,2-环氧-4-乙烯基环己烷、丁烷四甲酸四(3,4-环氧环己基甲基)修饰ε-己内酯、3,4-环氧环己基甲基甲基丙烯酸酯、氢化双酚A二缩水甘油基醚、氢化双酚F二缩水甘油基醚、氢化双酚E二缩水甘油基醚、氢化双酚A双(丙二醇缩水甘油基醚)醚、氢化双酚A双(乙二醇缩水甘油基醚)醚、1,4-环己烷二甲酸二缩水甘油基酯、1,4-环己烷二甲醇二缩水甘油基醚等。在将环氧化合物添加到本发明的感光性树脂组合物时，可以单独使用，也可以混合。

本发明的树脂着色组合物中，为了使密合性提高，可以具有通式(2)所示的硅烷偶联剂。通式(2)所示的硅烷偶联剂的添加量在本发明的感光性树脂组合物的固体成分中，优选为0.1质量％以上15质量％以下。如果通式(2)所示的硅烷偶联剂的添加量低于0.1质量％，则可能不能充分获得密合性的提高效果，如果超过15质量％，则固化膜可能黄变。

(各R¹²分别可以相同也可以不同，表示碳原子数1～6的烷基、或它们的取代体。n表示0或1。R¹³表示碳原子数3～30的3价有机基团。R¹⁴分别可以相同也可以不同，表示碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基、苯基、苯氧基、或它们的取代体。)

这里，作为R¹²，优选为甲基、乙基、丁基，特别是从原料获得方面考虑，优选为甲基、乙基。作为R¹³，优选为烷基，特别是从在有机溶剂中的溶解性方面考虑，优选为碳原子数3～10的烷基。

作为通式(6)所示的硅烷偶联剂，可举出例如，3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、3-(异丙基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(异丙基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、3-(异丁基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(异丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、3-(叔戊基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔戊基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三乙氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三乙氧基甲硅烷基)戊酸、6-(二甲氧基(甲基)甲硅烷基)-3-(叔丁基氨基甲酰基)己酸、5-(二甲氧基(甲基)甲硅烷基-2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)戊酸、3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)丁酸、2-(叔丁基氨基甲酰基)-4-(2-(三甲氧基甲硅烷基)乙基)环己烷己烷甲酸、2-(叔丁基氨基甲酰基)-5-(2-(三甲氧基甲硅烷基)乙基)环己烷己烷甲酸等。

其中特别是3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、3-(异丙基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、3-(叔戊基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔戊基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三乙氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三乙氧基甲硅烷基)戊酸、6-(二甲氧基(甲基)甲硅烷基)-3-(叔丁基氨基甲酰基)己酸、5-(二甲氧基(甲基)甲硅烷基-2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)戊酸、3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)丁酸、2-(叔丁基氨基甲酰基)-4-(2-(三甲氧基甲硅烷基)乙基)环己烷己烷甲酸、2-(叔丁基氨基甲酰基)-5-(2-(三甲氧基甲硅烷基)乙基)环己烷己烷甲酸在通式(1)中n为0，从ITO粘接性提高的效果变高方面考虑是优选的。

在将通式(2)所示的硅烷偶联剂等硅烷偶联剂添加到本发明的感光性树脂组合物时，可以单独使用，也可以混合。

虽然没有特别限定，但通式(2)所示的硅烷偶联剂可以通过含有三甲氧基甲硅烷基丙基的酸酐与烷基胺的反应来容易地合成。因此优选以合成时产生的对，例如，3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸等的组合使用。

作为更优选的组合，从原料获得的容易性的观点考虑，优选为3-(叔丁基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔丁基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸、或3-(叔戊基氨基甲酰基)-6-(三甲氧基甲硅烷基)己酸、2-(2-(叔戊基氨基)-2-氧代乙基)-5-(三甲氧基甲硅烷基)戊酸的组合。

本发明的感光性树脂组合物可以含有紫外线吸收剂。通过含有紫外线吸收剂，可以在维持图案边缘部的倾斜形状的状态下，使析像度良好。紫外线吸收剂的添加量在本发明的感光性树脂组合物的固体成分中，优选为0.005质量％以上10质量％以下，更优选为0.01质量％以上5质量％以下。如果紫外线吸收剂的添加量低于0.005重量份，则可能不能充分获得图案形状控制的提高效果，如果超过10重量份，则固化膜可能黄变。作为紫外线吸收剂，没有特别限定，可以使用公知的紫外线吸收剂，但从透明性、非着色性方面考虑，优选使用苯并三唑系化合物、二苯甲酮系化合物、三嗪系化合物。其中，从耐热性的观点考虑，优选为三嗪系化合物。作为苯并三唑系化合物的紫外线吸收剂，可举出2-(2H苯并三唑-2-基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4,6-叔戊基苯酚、2-(2H苯并三唑-2-基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯酚、2(2H-苯并三唑-2-基)-6-十二烷基-4-甲基苯酚、2-(2’-羟基-5’-甲基丙烯酰氧基乙基苯基)-2H-苯并三唑、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4,6-双(1-甲基-1-苯基乙基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4-甲基-6-(3,4,5,6-四氢邻苯二甲酰亚胺-基-甲基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-6-(1-甲基-1-苯基乙基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯酚等。其中从耐热性的观点考虑，优选为2-(2H-苯并三唑-2-基)-4-甲基-6-(3,4,5,6-四氢邻苯二甲酰亚胺-基-甲基)苯酚。作为二苯甲酮系化合物的紫外线吸收剂，可举出2-羟基-4-甲氧基二苯甲酮等。作为三嗪系化合物的紫外线吸收剂，可举出2-(4,6-二苯基-1,3,5三嗪-2-基)-5-[(己基)氧基]-苯酚、2-(4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪-2-基-5-羟基苯基与环氧乙烷[(C10-C16主要为C12-C13烷基氧基)甲基]环氧乙烷的反应生成物、2-[2-羟基-4-[3-(2-乙基己基-1-氧基)-2-羟基丙基氧基]苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双[2-羟基-4-丁氧基苯基]-6-(2,4-二丁氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2-乙基己基-2-(4-(4,6-二([1,1’-联苯基]-4-基)-1,3,5-三嗪-2-基)-3-羟基苯氧基)丙酸酯、三辛基-2,2’,2”-(((1,3,5-三嗪-2,4,6-甲苯基)三(3-羟基苯-4,1-二基))三(氧基))三丙酸酯等。需要说明的是，在使用紫外线吸收剂的情况下，紫外线吸收剂可以为1种，也可以并用2种以上。

本发明的感光性树脂组合物可以含有自由基捕获剂。通过自由基捕获剂的氧化防止效果，抑制后续工序的加热处理后的黄变，耐光性提高。自由基捕获剂的添加量在本发明的感光性树脂组合物的固体成分中，优选为0.005质量％以上10质量％以下，更优选为0.01质量％以上5质量％以下。如果自由基捕获剂的添加量低于0.005质量％，则可能不能充分获得图案形状控制的提高效果，如果超过10质量％，则固化膜可能黄变。由于作为抗氧化剂，固化膜的变色抑制效果优异，因此优选为MW＝300以上或具有自由基聚合性基团的受阻酚化合物和受阻胺化合物。在Mw小于300、并且不含有自由基聚合性基团的情况下，在热固化时升华，有时得不到充分的氧化防止效果。此外，作为1分子中的苯酚基或氨基的量，从易于获得自由基捕获效果考虑，优选为2以上，更优选为4以上。

作为受阻酚化合物，可举出例如，叔丁基焦儿茶酚、二丁基羟基甲苯、十八烷基3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯、六亚甲基双[3(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基丙酸酯、硫代二亚乙基双[3(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基丙酸酯、亚乙基双(氧乙烯基)双(3-(5-叔丁基-4-羟基-间甲苯基)丙酸酯、三-(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)-异氰脲酸酯、1,3,5-三甲基-2,4,6-三(3,5-二叔丁基-4-羟基苄基)苯、季戊四醇四(3-(3,5-二叔丁基-4-羟基苯基)丙酸酯、2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苄基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羟基3,5-二叔戊基苯基)乙基]-4,6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、2,2’-亚甲基双(6-叔丁基-4-甲基苯酚或4,4’-亚丁基双(6-叔丁基-3-甲基苯酚)。

作为受阻胺化合物，可举出双(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)[[3,5-双(1,1-二甲基乙基)-4-羟基苯基]甲基]丁基丙二酸酯、双(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、甲基-1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基癸二酸酯、1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基甲基丙烯酸酯、2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基甲基丙烯酸酯、癸二酸双(2,2,6,6-四甲基-1-(辛基氧基)-4-哌啶基)酯与1,1-二甲基乙基氢过氧化物与辛烷的反应生成物、四(1,2,2,6,6-五甲基-4-吡啶基)丁烷-1,2,3,4-四甲酸酯、四(2,2,6,6-四甲基-4-吡啶基)丁烷-1,2,3,4-四甲酸酯等。需要说明的是，在使用自由基捕获剂的情况下，自由基捕获剂可以为1种，也可以并用2种以上。

以下对本发明的感光性树脂组合物的代表性制造方法进行说明。首先，使用填充了氧化锆珠的磨机型分散机使白色颜料、有机硅树脂衍生物和有机溶剂的混合液分散，获得颜料分散液。另一方面，将剩下的有机硅树脂衍生物、多官能丙烯酸系单体、光自由基聚合引发剂、有机溶剂和其它添加物进行搅拌使其溶解，获得稀释液。进而，通过将分散液与稀释液进行混合、搅拌、过滤，获得感光性树脂组合物。

使本发明的感光性树脂组合物固化而成的固化膜的形成方法经过以下(i)～(v)的5个工序时，能够直接使用显示器和半导体的制造装置，因此优选。

(i)将感光性树脂组合物涂布在基板上的工序

作为涂布方式，可举出旋转涂布机、狭缝涂布机、喷涂、丝网印刷、喷墨或棒式涂布机

(ii)将涂布后的基板通过减压和/或加热进行干燥(预烘烤)的工序。

作为加热方法，可举出电热板或烘箱等加热装置。作为加热条件，一般为在60～15℃进行30秒～3分钟。此外，干燥后的预烘烤后的膜厚优选为10～60μm。

(iii)隔着掩模对干燥后的基板曝光的工序

作为曝光方法，可举出步进曝光机、镜像投影掩模曝光机(MPA)或平行光掩模曝光机(以下，“PLA”)等曝光机。作为曝光条件，一般为曝光强度10～4000J/m²左右(波长365nm曝光量换算)。作为曝光光源，可举出例如，i射线、g射线或h射线等紫外线、KrF(波长248nm)激光或ArF(波长193nm)激光。

(iv)将曝光后的基板使用显影液进行显影从而形成图案的工序

作为显影方法，优选通过喷淋、浸渍或搅拌等方法在显影液中浸渍5秒～10分钟。作为显影液，可举出例如，碱金属的氢氧化物、碳酸盐、磷酸盐、硅酸盐或硼酸盐等无机碱、2-二乙基氨基乙醇、单乙醇胺或二乙醇胺等胺类或四甲基氢氧化铵或胆碱等季铵盐的水溶液。显影后，优选用水冲洗，接着可以在50～140℃进行干燥烘烤。

(v)通过加热使显影后的基板固化的工序

作为加热方法，可举出电热板或烘箱等加热装置。作为加热条件，优选为在120～280℃进行15分钟～2小时。加热温度优选为比(B-1)有机硅树脂衍生物的熔点高20℃以上的温度。通过使温度在该范围，从而使仅曝光工序中没有充分交联的(B-1)成分在硬化时软化、流动，可以使图案截面中的基板与上述(B-1)成分所成的角度，即倾斜角平缓地变化。倾斜角的最大值为90°以下从在后续工序中的ITO电极形成时不发生断线、收率提高的观点考虑是特别优选的。进一步优选为60℃以下，特别优选为40℃以下。进一步，通过使硬化温度为120℃以上，从而可以使结束流动的(B-1)成分的硅烷醇基充分缩合，提高化学品耐性、耐热性。另一方面，通过为280℃以下，可以抑制白颜料的着色。

这里，基于图1对上述在硬化时仅(B-1)成分软化、流动的情况进行说明。图1中，10表示基板，12表示图案，白圈14表示(B-1)成分，黑圈16表示(B-2)成分。如图1的上部分所示，显影后，通过曝光而仅(B-2)成分固化，(B-1)成分未固化，固化了的图案的形状变为底切。需要说明的是，图1的上部分左侧为此时的图案的截面的扫描电子显微镜照片。接着如果开始硬化，则如图1的中部分所示，超过玻璃化转变温度(Tg)而软化了的(B-1)成分流动(回流)，以填埋底切部分的方式移动。在该状态下硬化进行，在硬化后半，(B-1)成分的残存硅烷醇基缩合而固化，在硬化完成时，如图1的下部分所示，在固化图案的截面两侧，形成仅(B-1)成分固化而成的部位18。需要说明的是，图1的下部分左侧为此时的图案的截面的扫描电子显微镜照片。“倾斜角”为基板与仅(B-1)成分固化而成的部位所成的角度(图1中的角度θ)，即，为仅(B-1)成分固化而成的部位18的最外侧的部分的切线与基板所成的角度。此外，“倾斜角的最大值”是指各种截面中的各个倾斜角之中的最大的值。

本发明的感光性树脂组合物的固化膜的膜厚优选为8～70μm。通过为8μm以上，从而获得适度的遮光性、设计性，通过为70μm以下，即使在减小倾斜角而进行了平缓图案加工的情况下，也可以实现高析像度。更优选为10～60μm，进一步优选为12～40μm。固化膜的膜厚可以用サーフコム1400D(东京精密(株)制)等触针型台阶仪(step profiler)来测定。

由本发明的感光性树脂组合物经过上述(i)～(v)的5个工序来形成固化膜的方法，由于图案尺寸和图案直线性优异，因此作为OGS触摸面板的制造方法是适合的，所得的固化膜由于遮光性和反射色特性优异，因此作为OGS型的触摸面板中的遮光图案是适合的。作为遮光图案的OD值，为了可以遮蔽在遮光图案的上部形成的配线，优选为0.6以上，更优选为0.7以上。

在制造具有通过上述方式由本发明的感光性树脂组合物形成的固化膜的触摸面板的情况下，可以进一步设置(vi)金属配线形成工序：形成与上述固化图案相接的金属的配线。金属配线的形成可以通过常规方法进行。

实施例

以下，举出实施例和比较例，进一步详细地说明本发明。各实施例和比较例中的评价方法如下所述。

＜A.图案加工性的评价＞

在10cm见方的无碱玻璃基板上，以任意的转速旋转涂布感光性树脂组合物，将基板使用电热板(SCW-636；大日本スクリーン制造(株)制)在100℃预烘烤2分钟，形成了膜厚16μm的涂布膜。使用膜基于以下判断基准评价涂布膜的表面的粘性。

×：在使膜与涂布膜表面接触的时刻粘住。

△：在使膜与涂布膜表面接触的时刻不会粘住，但如果从上方施加10g/cm2的荷重则粘住。

○：即使使膜与涂布膜表面接触，从上方施加10g/cm2的荷重也不会粘住，但如果施加50g/cm2的荷重则粘住。

◎：即使使膜与涂布膜表面接触，从上方施加50g/cm2的荷重也不会粘住。

接下来，使用PLA(PLA-501F；キヤノン(株)制)以超高压水银灯作为光源，隔着具有150μm宽度、100μm宽度和80μm宽度的线&间隙图案的掩模，以曝光量200mJ(i射线)、掩模间隔150μm进行曝光。然后，使用自动显影装置(泷泽产业(株)制；AD-2000)，用0.045质量％KOH水溶液(将CD-150CR；JSR(株)制稀释100倍而得)进行60秒喷淋显影，接着用水冲洗30秒。此时，将未曝光部溶解即使基板露出一部分为止的时间设为显影时间，基于以下判断基准来评价。

◎：20～40秒

○：40～50秒

△：50～60秒

×：60秒以上

将显影后的图案用光学显微镜观察，将未曝光部没有残渣的最窄线宽设为析像度，基于以下判断基准来评价。

◎：＜50μm

○：50～100μm

△：100～150μm

×：＞150μm

接着将显影后的基板使用烘箱(IHPS-222；エスペック(株)制)在空气中在230℃硬化30分钟，形成了固化膜。切出所得的固化膜的、150μm宽度的线&间隙图案的截面，使用扫描型电子显微镜进行观察，基于以下判断基准来评价图案形状。其中，在析像度“＞150μm”的情况下不进行评价。

◎：倾斜角小于40°

○：倾斜角40°以上且小于60°

△：倾斜角60°以上且小于90°

×：倾斜角90°以上(底切形状)

＜B.膜特性评价用的固化膜的形成＞

在10cm见方的无碱玻璃基板上，以硬化后的膜厚成为16μm的方式利用旋转涂布机分别涂布感光性树脂组合物，将基板使用电热板在100℃预烘烤2分钟，形成了固化膜。接下来，使用PLA以超高压水银灯作为光源，以曝光量150mJ(i射线)进行整面曝光。然后，使用自动显影装置，用0.045质量％KOH水溶液(将CD-150CR；JSR(株)制稀释100倍而得)进行60秒喷淋显影，接着用水冲洗30秒。最后，使用烘箱(IHPS-222；エスペック(株)制)在空气中在230℃硬化1小时，形成了固化膜。

＜C.颜色特性的评价＞

在感光性树脂组合物仅含有白色颜料作为着色剂的情况下，评价了颜色特性。将膜特性评价用的固化膜，使用分光光度计(CM-2600d；コニカミノルタ株式会社制)，测定硬化后的固化膜的从玻璃基板侧的全反射光的反射率，以CIE(L＊，a＊，b＊)颜色空间评价颜色特性。需要说明的是，作为光源，使用了D65光源。

＜D.耐化学品性的评价用的ITO蚀刻液的调制＞

将500g的36％氯化钠水溶液、100g的60％硝酸水溶液和400g的纯水混合而得的混合物作为ITO蚀刻液。

＜E.耐化学品性的评价＞

分别使用割刀将膜特性评价用的固化膜以1mm间隔纵横切断，制作100个1mm×1mm的方格。

接下来，将200g的ITO蚀刻液加入到500cc的玻璃烧杯，通过汤煎进行调整使得内温成为50℃。在其中，将制作了100个方格的固化膜连同玻璃基板一起浸渍2分钟，进一步在准备于其它的容器中的纯水中浸渍30秒。

进一步，将200g的抗蚀剂剥离液(N-300；ナガセケムテックス(株)制)加入到玻璃烧杯，通过汤煎进行调整使得内温成为70℃。在其中，将用ITO蚀刻液处理了的固化膜连同玻璃基板一起浸渍4分钟，进一步在准备于其它容器中的纯水中浸渍30秒。

对于进行了上述处理的固化膜，与上述的“粘接性的评价”同样地操作而实施评价。

＜F.触摸面板基板的制作＞

通过以下步骤，制作触摸面板基板。

(1)白色装饰层的制作

在10cm×10cm、厚度0.7mm的强化玻璃上，将调制例1中获得的感光性树脂组合物(W-1)以硬化后的膜厚成为15μm的方式旋转涂布，将基板使用电热板在100℃预烘烤3分钟。接下来，使用PLA以超高压水银灯作为光源，隔着具有触摸面板用的遮光图案(线宽＝3000μm)的掩模，以曝光量150mJ(i射线)、掩模间隔200μm进行曝光。然后，使用自动显影装置，用0.045wt％KOH水溶液(将“CD-150CR”(JSR(株)制)用纯水稀释100倍而得)进行100秒喷淋显影，接着用水冲洗30秒。最后使用烘箱将基板在空气中在240℃硬化30分钟，制作具有白色遮光图案的玻璃基板(相当于图1的a)。

(2)图案ITO的制作

对上述(1)中获得的玻璃基板，使用溅射装置HSR-521A((株)岛津制作所制)，以RF功率1.4kW、真空度6.65×10^-1Pa进行12.5分钟溅射，从而成膜膜厚为150nm的ITO，涂布正型光致抗蚀剂(OFPR-800；东京应化工业(株)制)，在80℃预烘烤20分钟而获得了膜厚1.1μm的抗蚀剂膜。使用PLA，对所得的膜使用超高压水银灯隔着掩模进行图案曝光后，使用自动显影装置用2.38wt％TMAH水溶液进行90秒喷淋显影，接着用水冲洗30秒。然后，在3.5wt％草酸水溶液中浸渍150秒从而将ITO进行蚀刻，用50℃的剥离液(4％氢氧化钾水溶液)处理120秒来除去光致抗蚀剂，在230℃施加30分钟退火处理，制作膜厚150nm的进行了图案加工的具有ITO(图1的符号3)的玻璃基板(相当于图1的b)。

(3)透明绝缘膜的制作

在上述(2)中获得的玻璃基板上使用绝缘膜用透明材料(NN-902“JSR(株)制”)，使膜厚为2μm，隔着图案掩模进行曝光，除此以外，与(1)同样地操作，制作透明绝缘膜(图1的符号4)(相当于图1的c)。

(4)MAM配线的制作

在上述(3)中获得的玻璃基板上，作为靶使用钼和铝，作为蚀刻液，使用了H₃PO₄/HNO₃/CH₃COOH/H₂O＝65/3/5/27(质量比)混合溶液，除此以外，与(1)同样地操作，制作膜厚250nm的MAM配线(图1的符号5)(相当于图1的d)，完成了触摸面板基板(图1的d、图2)。

对所得的触摸面板基板实施了导通试验。将缺陷数为0～1个设为◎，将缺陷数为2～5个设为○，将缺陷数为6～10个设为△，将缺陷数为10个以上设为×。此外，对白色固化膜部位的反射色度实施评价，将b＊值为1.0以下设为◎，将b＊值为1.1～2.0设为○，将b＊值为2.1～3.0设为△，将b＊值为3.1以上设为×。

接下来，举出合成例、调制例、实施例和比较例，进一步详细地说明本发明。

合成例1有机硅树脂衍生物溶液(RS-1)的合成

在500mL的三口烧瓶中加入100g的有机硅树脂“249FLAKE”(東レダウ·コーニング社制)、和138g的丙二醇甲基醚乙酸酯(以下，“PGMEA”)，浸渍于40℃的油浴一边搅拌一边溶解。确认溶解了之后，一边搅拌一边用滴液漏斗经10分钟添加在12g水中溶解了0.15g磷酸的磷酸水溶液。在40℃搅拌30分钟后，用滴液漏斗经10分钟添加20g的3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸(以下，“SuTMS”)，然后在40℃搅拌1小时。然后，将油浴温度设定为70℃并搅拌1小时，进一步设定为110℃并加热搅拌3小时(内温为100～110℃)。使用李比希冷却装置蒸馏除去反应中作为副生成物的甲醇和水。在所得的有机硅树脂衍生物的PGMEA溶液中，以聚合物浓度成为50wt％的方式加入PGMEA而获得了有机硅树脂衍生物溶液(RS-1)。需要说明的是，通过GPC测定所得的有机硅树脂衍生物的Mw，结果为3400(聚苯乙烯换算)。

合成例2～12

以表1所示的比例加入有机硅树脂和SuTMS，获得了有机硅树脂衍生物溶液(RS-2)～(RS-12)。

[表1]

各成分如下所述。

有机硅树脂R-1：“249FLAKE”(苯基甲基系有机硅树脂，東レダウ·コーニング社制)

有机硅树脂R-2：“233FLAKE”(苯基甲基系有机硅树脂，東レダウ·コーニング社制)

有机硅树脂R-3：“220FLAKE”(苯基甲基系有机硅树脂，東レダウ·コーニング社制)

有机硅树脂R-4：“3037”(苯基系有机硅树脂，東レダウ·コーニング社制)

有机硅树脂R-5：“217FLAKE”(苯基系有机硅树脂，東レダウ·コーニング社制)

合成例13

在500mL的三口烧瓶中加入27.24g(0.2mol)的甲基三甲氧基硅烷(以下，“S-6”)、99.15g(0.5mol)的苯基三甲氧基硅烷(以下，“S-7”)、24.04g(0.2mol)的二苯基二甲氧基硅烷(以下，“S-5”)、26.23g(0.1mol)的3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸(以下，“S-1”)和122.7g的丙二醇甲基醚乙酸酯(以下，“PGMEA”)，浸渍在40℃的油浴中一边搅拌一边用滴液漏斗经10分钟添加在52.2g水中溶解了1.77g磷酸的磷酸水溶液。在40℃搅拌1小时后，将油浴温度设定为70℃搅拌1小时，进一步将油浴经30分钟升温直到115℃。在升温开始1小时后溶液的内温达到100℃，从这里开始加热搅拌2小时(内温为100～110℃)。使用李比希冷却装置蒸馏除去反应中作为副生成物的甲醇和水。在所得的有机硅树脂衍生物的PGMEA溶液中，以聚合物浓度成为50wt％的方式加入PGMEA而获得了有机硅树脂衍生物溶液(RS-9)。需要说明的是，通过GPC测定所得的有机硅树脂衍生物的Mw，结果为2700(聚苯乙烯换算)。

合成例14～25

以表2所示的比例加入有机硅树脂和SuTMS，获得了有机硅树脂衍生物溶液(RS-14)～(RS-23)。

[表2]

各成分如下所述。

S-1：3-三甲氧基甲硅烷基丙基琥珀酸

S-2：甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷

S-3：二甲基二甲氧基硅烷

S-4：2,3-环氧环己基乙基三甲氧基硅烷

S-5：二苯基二甲氧基硅烷

S-6：甲基三甲氧基硅烷

S-7：苯基三甲氧基硅烷

接下来，以成为表3、4所示的颜料、有机硅树脂衍生物、固化性化合物、光自由基聚合引发剂、抗氧化剂、链转移剂的方式，与溶剂、其它添加物一起搅拌混合，获得了感光性树脂组合物。使用该感光性树脂组合物，评价了图案加工性(粘性、显影时间、析像度)、图案形状、颜色特性、耐化学品性。

[表3]

[表4]

各成分如下所述。

白色颜料P-1：R960(氧化铝/二氧化硅被覆二氧化钛颜料，粒径250nm，デュポン(株)制)

固化性化合物M-1：DPHA(日本化药(株)制)

固化性化合物M-2：M-315(东亚合成(株)制)

固化性化合物M-3：3002A(共荣社化学(株)制)

固化性化合物M-4：TMPA(共荣社化学(株)制)

光自由基聚合引发剂I-1：LUCIRIN TPO(BASFジャパン(株)制)

光自由基聚合引发剂I-2：イルガキュア819(BASFジャパン(株)制)

抗氧化剂X-1：IRG-1010(BASFジャパン(株)制)

抗氧化剂X-2：IRG-245(BASFジャパン(株)制)

链转移剂D-1：MT-PE1(昭和电工(株)制)

实施例1

使用表3所示的感光性树脂组合物，通过上述(A)～(E)的方法实施物性的评价，进一步，通过上述(F)的方法实施与触摸面板的制造有关的评价。将评价结果示于表3中。

图案加工性(涂布膜的粘性、显影时间、析像度、倾斜角)、固化膜特性(颜色特性、耐化学品性)全部良好。所得的触摸面板的特性(导通特性、反射色度)也良好，获得了高品质的触摸面板。

实施例2～14

使用了表3所示的感光性树脂组合物，除此以外，与实施例1同样地进行评价。将评价结果示于表3中。

比较例1

使用了有机硅树脂衍生物中未导入碱溶性基团的R-1，除此以外，重复实施例1。碱溶性不充分，因此未曝光部不溶解于显影液，不能进行图案加工。

比较例2

使用了熔点为25℃以下的有机硅树脂衍生物，除此以外，重复实施例1。由于涂布膜表现粘性，因此在曝光时污染了掩模。未发现硬化时的回流，倾斜形状变得不良。进一步，由于倾斜形状不良，因此在触摸面板的制造中，经常发生由ITO断线引起的导通不良。

比较例3

使用了熔点为185℃的有机硅树脂衍生物(RS-12)，除此以外，重复实施例1。由于熔点高，因此未出现硬化时的回流，倾斜形状变得不良。进一步，由于倾斜形状不良，因此在触摸面板的制造中，经常发生由ITO断线引起的导通不良。

实施例15

使用表4所示的感光性树脂组合物，通过上述(A)～(E)的方法实施物性的评价，进一步，通过上述(F)的方法实施与触摸面板的制造有关的评价。将评价结果示于表4中。

图案加工性(涂布膜的粘性、显影时间、析像度、倾斜角)、固化膜特性(颜色特性，耐化学品性)全部良好。所得的触摸面板的特性(导通特性、反射色度)也良好，获得了高品质的触摸面板。

实施例16～26

使用表4所示的感光性树脂组合物，通过上述(A)～(E)的方法实施物性的评价，进一步，通过上述(F)的方法实施与触摸面板的制造有关的评价。将评价结果示于表4中。

比较例4

使用了有机硅树脂衍生物中未导入碱溶性基团的RS-23，除此以外，重复实施例15。由于碱溶性不充分，因此未曝光部不溶解于显影液，不能进行图案加工。

比较例5

使用了熔点为25℃以下的有机硅树脂衍生物(RS-24)，除此以外，重复实施例15。由于涂布膜表现出粘性，因此在曝光时污染了掩模。进一步，未出现硬化时的回流，倾斜形状变得不良。进一步，由于倾斜形状不良，因此在触摸面板的制造中，经常发生由ITO断线引起的导通不良。

比较例6

使用了熔点为195℃的有机硅树脂衍生物(RS-25)，除此以外，重复实施例15。由于熔点高，因此未出现硬化时的回流，倾斜形状变得不良。进一步，由于倾斜形状不良，因此在触摸面板的制造中，经常发生由ITO断线引起的导通不良。

符号的说明

10 基板

12 图案

14 (B-1)成分

16 (B-2)成分

18 仅(B-1)成分固化而成的部位。

Claims (17)

1.一种感光性树脂组合物，其含有(A)白色颜料、和(B)有机硅树脂衍生物，所述(B)有机硅树脂衍生物具有碱溶性基团，

所述(B)有机硅树脂衍生物的熔点为80～180℃。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(B)有机硅树脂衍生物所具有的碱溶性基团的量为1×10^-4～20×10^-4摩尔/g。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，作为所述(B)有机硅树脂衍生物，包含多种有机硅树脂衍生物成分，其至少一种进一步含有自由基聚合性基团。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，作为所述(B)有机硅树脂衍生物，包含(B-1)成分和(B-2)成分，所述(B-1)成分是自由基聚合性基团的含量少的成分，也可以不包含自由基聚合性基团，所述(B-2)成分是自由基聚合性基团的含量多的成分，

所述(B-1)成分的自由基聚合性基团的含量为4×10^-4摩尔/g以下，并且，所述(B-2)成分与所述(B-1)成分的自由基聚合性基团的含量之差为2×10^-4摩尔/g以上。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，所述(B)有机硅树脂衍生物的所述(B-1)成分的自由基聚合性基团的含量为3×10^-4摩尔/g以下，所述(B-2)成分的自由基聚合性基团的含量为5×10^-4～20×10^-4摩尔/g。

6.根据权利要求4或5所述的感光性树脂组合物，所述(B)有机硅树脂衍生物中，所述(B-1)成分的含量为50～97质量％，所述(B-2)成分的含量为3～50质量％。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)有机硅树脂衍生物的重均分子量为1000～20000。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，作为所述碱溶性基团，具有选自羧基和酚性羟基中的至少1种官能团。

9.根据权利要求8所述的感光性树脂组合物，作为所述羧基，具有选自琥珀酸基和马来酸基中的至少1种官能团。

10.一种固化膜，其由权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物构成。

11.根据权利要求10所述的固化膜，膜厚为8～70μm。

12.一种触摸面板，其具有权利要求10或11所述的固化膜。

13.根据权利要求12所述的触摸面板，其具有与所述固化膜相接的金属配线。

14.一种固化图案的制造方法，其具有下述工序：

(i)涂布工序，将权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物涂布在基板上而获得涂布膜，

(ii)干燥工序，将所述涂布膜干燥而获得干燥膜，

(iii)曝光工序，将所述干燥膜曝光而获得曝光膜，

(iv)显影工序，将所述曝光膜显影而获得图案，和

(v)硬化工序，将所述图案硬化而获得固化图案。

15.根据权利要求14所述的方法，所述(iii)硬化工序在比(B)有机硅树脂衍生物的熔点高20℃以上、且120～280℃的温度范围内进行。

16.一种固化图案，是利用权利要求14或15所述的制造方法制作的固化图案，其在图案截面的端部具有仅所述(B-1)成分固化而成的部位，图案截面中的基板与仅所述(B-1)成分固化而成的部位所成的角度的最大值为60°以下。

17.一种触摸面板的制造方法，其利用权利要求14或15所述的方法制造固化图案，并具有(vi)金属配线形成工序：在所得的固化图案上，形成与所述固化图案相接的金属配线。