CN107867075B - 喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置 - Google Patents

喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置 Download PDF

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Abstract

本发明的实施方式提供了喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置，需要通过保护膜绝缘电极，以使电极不与油墨接触。喷墨头包括：基板；喷嘴板，具有喷出油墨的喷嘴；压电体，具有倾斜面和多个槽，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面；导电膜，端部从所述第一面以及所述倾斜面离开，且形成在所述压电体的槽的内面；以及绝缘膜，覆盖所述导电膜。

Description

喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置
技术领域
本发明的实施方式涉及喷墨头的制造方法、喷墨头以及喷墨记录装置。
背景技术
已知使墨滴附着在纸等的介质形成图像或文字的喷墨打印机。喷墨打印机包括根据图像信号喷出墨滴的喷墨头。
喷墨头包括：喷嘴，喷出墨滴；油墨压力室，连通于喷嘴；以及压力产生元件，产生使压力室内的油墨从喷嘴喷出的压力。利用压电体作为压力产生元件。通过压电体动作的压电元件(Piezo元件)是将电压转换为力的电机械转换元件。利用压电元件的变形，使压力室内的油墨产生压力。通过油墨中产生的压力，从喷嘴喷出油墨。作为代表性的压电元件，使用锆钛酸铅(PZT)。
已知使用压电体的剪切变形的喷墨头。该喷墨头包括：压电体，形成有成为油墨流路的槽；电极，形成在槽内面；喷嘴板，形成有喷出油墨的喷嘴；以及保护膜，覆盖电极。以喷嘴对应于形成在压电体的槽的方式，喷嘴板抵接于压电体上表面。电极构成为没有延伸到压电体的上表面。通过不使电极延伸到压电体上表面，抑制抵接于压电体的喷嘴板的变形。
在上述喷墨头的构成中，覆盖电极的保护膜的绝缘性不充分。
在现有的喷墨头中，形成在油墨流路内的电极保护膜的绝缘性有时会在压电体的端部降低。保护膜在压电体端部容易变薄。因此，绝缘性降低。喷出水性油墨的喷墨头需要通过保护膜绝缘电极，以使电极不接触油墨。若保护膜的绝缘性降低，则由于使压电体动作的电场，油墨引起电分解。为了防止油墨的电分解，压电体端部的电极需要绝缘性。
发明内容
实施方式涉及的喷墨头的制造方法包括：将具有第一面和与第一面相对的第二面的压电体的第二面固定于基板的工序；以形成比所述第一面宽的第二面的方式，在所述压电体上制作跨所述第一面和所述第二面的倾斜面的工序；形成横穿所述压电体的倾斜面的槽的工序；在所述槽的内面形成导电膜的工序；以所述导电膜的端部从所述槽的所述第一面以及所述倾斜面的边离开的方式，除去所述导电膜的工序；以及在所述导电膜上形成绝缘膜的工序。
实施方式涉及的喷墨头包括：基板；喷嘴板，具有喷出油墨的喷嘴；压电体，具有倾斜面和多个槽，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面；以及导电膜，端部从所述第一面以及所述倾斜面离开，且形成在所述压电体的槽的内面；以及绝缘膜，覆盖所述导电膜。
实施方式涉及的喷墨头记录装置包括上述喷墨头。
附图说明
图1是概要性示出第一实施方式的喷墨打印机的侧视图。
图2是示出第一实施方式的喷墨头的外观的立体图，图2的(2-A)是A-A截面图。
图3是示出第一实施方式的喷墨头的构成的分解立体图。
图4是示出第一实施方式的喷墨头的压电驱动器的构成的图。
图5的(5-A)～(5-K)是示出第一实施方式的喷墨头的制造工序的图。
图6的(6-A)～(6-E)是示出第一实施方式的喷墨头的驱动方法的图。
图7是作为参考例示出保护膜的构成的图。
图8的(8-A)～(8-G)是示出第二实施方式的喷墨头的制造工序的图。
具体实施方式
下面，参照附图，对实施方式进行说明。在附图中，相同符号示出相同构成。
记录介质S是素色的纸张、铜版纸、涂料纸等。油墨是将作为着色剂的染料或者颜料溶解或分散在溶剂中的液体。作为油墨溶剂，有水性、油性溶剂等。
(第一实施方式)
图1示出承载了实施方式的喷墨头(1A、1B、1C、1D)的喷墨打印机100的截面。喷墨头1A至1D(印刷部109)喷出青、品红、黄、黑的油墨，基于从喷墨打印机100的外部输入的图像信号，在记录介质S(纸张)上记录图像。
喷墨打印机100具有箱型的箱体101。在箱体101的内部，从Y轴方向下部向上部，包括供纸盒102、上游输送路径104a、保持鼓105、印刷部109、下游输送路径104b、排纸托盘103。供纸盒102容纳用于在喷墨打印机100打印的纸张S。印刷部109包括四个青色用喷墨头1A、品红用喷墨头1B、黄色用喷墨头1C、黑色用喷墨头1D。喷墨头1A-1D是向被保持在保持鼓105上的纸张S喷出墨滴，记录图像的部分。
供纸盒102容纳纸张S，设置在箱体101的下部。供纸辊106从供纸盒102逐张向上游输送路径104a输送纸张S。上游输送路径104a由输送辊对115a、115b和限制纸张S的输送方向的纸张引导板116构成。纸张S通过输送辊对115a、115b的旋转而被输送，通过输送辊对115b后，由纸张引导板116向保持鼓105的外周面输送。图1中的虚线箭头示出纸张S的引导路径。
保持鼓105是在表面具有薄树脂制的绝缘层105a的铝制的圆筒。圆筒的周长比记录图像的纸张S的纵方向长度长，圆筒的轴方向长度长于纸张S的横方向的长度。通过电机118以一定的圆周速度在箭头R方向旋转。保持鼓105的绝缘层105a通过静电保持纸张S并旋转，将纸张S向印刷部109输送。沿绝缘层105a配置有使绝缘层105a带静电的带电辊108。
带电辊108具有金属制的旋转轴，在旋转轴周围具有导电橡胶层。带电辊108连接于高电压产生电路114。导电橡胶层表面与保持鼓105的绝缘层105a接触，以带电辊108的圆周速度与保持鼓105相同的圆周速度旋转的方式通过电机驱动带电辊108。保持鼓105的绝缘层105a和带电辊108的导电橡胶层接触，形成夹持部(nip)。纸张S通过输送辊对115b以及纸张引导板116输送到夹持部。在即将向夹持部输送纸张S前，向带电辊108的金属轴施加高电压产生电路114产生的高电压。绝缘层105a因高电压而带电，被输送到夹持部的纸张S也带电，被静电吸附在保持鼓105的外周面上。被静电吸附的纸张S通过保持鼓105的旋转，被输送到印刷部109。
印刷部109的喷墨头1A-1D的墨喷出面从保持鼓105的外周面离开1mm，固定于喷墨打印机100。各喷墨头1A-1D构成为在保持鼓105的轴方向(主扫描方向)长，在旋转方向(副扫描方向)短，在保持鼓105的圆周方向隔开间隔配置。喷墨头1A-1D为了形成图像而从喷嘴喷出被供给的油墨的一部分，将剩余的油墨排出至喷墨头外。回收排出的油墨，油墨再次被供给喷墨头。形成所谓的循环型喷墨头。将在后文叙述喷墨头1A-1D的详细结构。墨罐113是存储青油墨(油墨)的油墨容器。在墨罐113和喷墨头1A之间配置油墨循环装置120。
油墨循环装置120由墨供给泵121、供给用墨罐122、第一压力调整部123、回收用墨罐124、第二压力调整部125、墨回收泵126构成。根据图像信号，从喷墨头1A喷出油墨。墨供给泵121将相当于喷出的油墨量的油墨从墨罐113供给到供给用墨罐122。供给用墨罐122存储油墨，穿过流路127供给到喷墨头1A。并且，墨罐122具备第一压力调整部123。回收用墨罐124存储从喷墨头1A通过流路128排出的油墨。并且，回收用墨罐124具备第二压力调整部125。墨回收泵126将回收用墨罐124存储的油墨输送给供给用墨罐122。喷墨头1A在重力方向(-Y方向)喷出墨滴。因此，待机时为了不使油墨从喷墨头1A漏出，需要将喷墨头1A的喷嘴内维持在相对于大气压为负压。第一压力调整部123和第二压力调整部125将油墨压力调整为相对于大气压的负压，以使供给到喷墨头1A的油墨不从喷墨头1A的喷嘴漏出墨。油墨的喷嘴内压力设定成相对于大气压为-1KPa。喷墨头1B-1D也分别具备同样的墨罐113和油墨循环装置120。在图中，喷墨头1B-1D用的墨罐113或油墨循环装置120省略。
在印刷部109中，各喷墨头1A-1D向纸张S上喷出油墨的同时记录图像。记录的图像根据从喷墨打印机100的外部输入的图像信号描绘。喷墨头1A喷出青色油墨，形成青色图像。同样地，喷墨头1B喷出品红色油墨，喷墨头1C喷出黄色油墨，喷墨头1D喷出黑色油墨，记录各色的图像。除喷出的墨色外，喷墨头1A-1D为相同构造。
在印刷部109结束记录的纸张S被输送到除电装置110、剥离爪111。除电装置110截面作成“コ”状，是在与保持鼓105在轴方向的长度相同长度的不锈钢箱体内延伸钨丝的构成。除电装置110配置成“コ”状的箱体的开口朝向保持鼓105的外周面。高电压产生电路117产生与施加在带电辊108的电压相逆极性的高电压。若结束记录的纸张S的前端向除电装置110的下部输送，则在高电压产生电路117产生的高电压施加在箱体和钨丝之间。由于高电压，从除电装置110的开口侧产生电晕放电，对带电的纸张S除电。剥离爪111设置成能够在爪前端接触保持鼓105的外周面的位置和从外周面分开的位置移动。通常，剥离爪111保持在分开的位置。在从保持鼓105剥离纸张S的情况下，剥离爪111的前端接触保持鼓105的外周面，从绝缘层105a剥离除电后的纸张S的前端。从外周面剥离纸张S的前端后，剥离爪111返回从外周面分开的位置。
从保持鼓105离开的纸张S被输送到输送辊对115c。下游输送路104b由输送辊对115c、115d、115e和限制纸张S的输送方向的纸张引导板116构成。沿图中的虚线箭头，纸张S通过输送辊对115c、115d、115e，排出到排纸托盘103。
详细说明喷墨头1A的构成。如前所述，喷墨头1B-1D与1A为相同构造。
图2是示出喷墨头1的构成的外观立体图。并且，图2的(2-A)示出A-A截面图。图3为喷墨头1的分解立体图。图4是示出图3的C区域的扩大图。
图2示出的喷墨头1包括油墨喷出部200、电路模块300、盖400。图2的外观立体图的一部分示出油墨喷出部200的内部结构。油墨喷出部200包括歧管201、基板202、框部件203、喷嘴板204。
喷嘴板204具有多个喷出墨滴241的喷嘴240。喷嘴板204为聚酰亚胺树脂制。大小为宽度16mm(X轴方向)、长度60mm(Z轴方向)、厚度50μm(Y轴方向)。直径20μm的喷嘴240以间隔85μm呈两条直线状配置。
框部件203由不锈钢制作。外形为长度60mm、宽16mm、厚1mm。在内侧形成有长度56mm、宽12mm的开口。即，成为宽度2mm的框部件203。框部件203夹在基板202和喷嘴板204之间，防止油墨漏出外部。
盖400设置成保护喷嘴板204、油墨喷出部200、歧管201、电路模块300。盖400由厚度0.1mm的不锈钢制作。盖400具有开口401，该开口401露出形成有喷嘴240的区域。通过开口401喷出墨滴241。
基板202通过铝(Al2O3)制作。外形为宽20mm、长60mm、厚1mm。
基板202具有油油墨供给口205、第一油油墨排出口206、第二油油墨排出口207。在基板202上并列设置有第一压电驱动器列220和第二压电驱动器列230。框部件203以围住第一第二压电驱动器列220、230的方式固定在基板202上。在框部件203、第一第二压电驱动器列220、230的顶部通过聚酰亚胺粘结剂固定有喷嘴板204。
多个油油墨供给口呈一列配置在第一压电驱动器列220和第二压电驱动器列230之间。基板202、第一第二压电驱动器列220、230和喷嘴板204围住的区域成为共通油墨供给室208。各油墨供给口205从歧管201向共通油墨供给室208供给油墨。共通油墨供给室208向形成在第一驱动器列220的多个压力室221、形成在第二压电驱动器列230的多个压力室231供给油墨。在各压力室221、231的中心部配置有喷嘴240。
多个第一油墨排出口206在第一压电驱动器列220和框部件203之间长度方向(Z轴方向)上呈一列配置。由第一压电驱动器列220、框部件203、喷嘴板204围住的区域成为第一共通油墨排出室209。穿过多个压力室221排出的油墨通过第一共通油墨排出室209和各第一油墨排出口206输送到歧管201。多个第二油墨排出口207在第二压电驱动器列230和框部件203之间呈一列配置。由第二压电驱动器列230、框部件203、喷嘴板204围住的区域成为第二共通油墨排出室210。穿过多个压力室231而排出的油墨穿过第二共通油墨排出室210和各第二油墨排出口207输送到歧管201。如箭头所示，油墨从油墨供给口205穿过共通油墨供给室208、各压力室221、第一共通油墨排出室209、第一油墨排出口，输送到歧管201。同样地，油墨从油墨供给口205穿过共通油墨供给室208、各压力室231、第二共通油墨排出室210、第二油墨排出口，输送到歧管201。
如图3所示，歧管201具有固定基板202的上表面212、与上表面相对的下表面213。固定基板202的上表面宽20mm(X轴方向)、长60mm(Z轴方向)。歧管201为铝制。在上表面，沿Z轴方向上形成有三个长槽(214、215、216)。长槽214连通于多个油墨供给口205，连通于贯通歧管201的墨供给管217。墨供给管217连接于与油墨循环装置120连通的流路127。长槽215连通于多个第一油墨排出口206。长槽216连通于多个第二油墨排出口207。长槽215、216连通于贯通歧管201的油墨排出管218。油墨排出管218连接于油墨循环装置120的流路128。歧管201在长度方向的端部具有开口211。穿过开口211，喷墨头1通过螺丝固定于喷墨打印机100。
如图3所示，在歧管201上通过聚酰亚胺粘结剂重叠粘着基板202、框部件203、喷嘴板204。框部件203以围住第一压电驱动器列220、第二压电驱动器列230的方式固定于基板202。
说明第一压电驱动器列220和第二压电驱动器列230的构成。第一第二压电驱动器列220、230为相同构成。图4是由图3的圈围住的C区域的扩大图。
第二压电驱动器列230是第一压电体251、第二压电体252的层叠压电体(251、252)。第一压电体251、第二压电体252通过锆钛酸铅(PZT)制作。第一压电体251为宽3.5mm，长52mm、厚0.9mm的大小，在-Y方向分极。第二压电体252为宽3.5mm，长52mm、厚0.1mm的大小，在+Y方向分极。第一压电体251和第二压电体252的分极方向相反。第一压电体251和第二压电体252通过聚酰亚胺粘结剂253固定，合计厚度为1mm。层叠压电体(251、252)在X轴方向的两端形成有角度(θ)45度的倾斜面255。倾斜面255在Z轴方向上形成从基板202侧的一边到喷嘴板204侧的另一边。层叠压电体(251、252)的基板202侧的宽度W1为3.5mm，喷嘴板204侧的宽度W2为1.5mm。
在层叠压电体(251、252)以穿过倾斜面(X轴方向)的方式形成有多个槽254。槽254的宽度W3为0.04mm。槽254以0.085mm间隔，等间隔配置在Z轴方向上。层叠压电体(251、252)的宽度W4为0.045mm。槽254的深度为0.2mm。槽254的第一压电体251的深度D2为0.1mm，第二压电体252的深度D1为0.1mm。
在槽254的内面形成有厚2μm的电极膜260(导电膜)。电极膜260是镍·金(Ni·Au)的电镀膜。电极膜260通过无电解电镀法形成。形成在槽254内面的电极膜260形成为从层叠压电体(251、252)的上表面256的边分开距离W6，从倾斜面255的边分开距离W5形成。电极膜260回避层叠压电体(251、252)的角部成膜。在槽254内形成有电极膜260的层叠压电体(251、252)是压电致动器。第一、第二压电驱动器列220、230构成为该压电致动器多个呈直线状排列。形成在槽254内的电极连接于形成在倾斜面255的第一引出电极261、连接于第一引出电极261的基板202上的第二引出电极262。形成在倾斜面255上的第一引出电极261与槽254内电极260和第二引出电极262顺畅地连接。第二引出电极262电连接于承载在电路模块300的驱动电路301。作为电极膜260的其他材料，可利用金(Au)、铜(Cu)等。作为电镀膜厚，0.5μm到5μm是优选的范围。距离W5及W6作为5μm。优选距离W5及W6为1μm到15μm的范围。距离W5、W6若为1μm以下，则在边的附近残留电极膜260，若超过15μm，则向层叠压电体(251、252)施加电压的面积减少。若电极面积减少，则压力室的容积变化量减少，油墨喷出量降低。除去边附近的电极后，计算压电驱动器(251、252)的一端的壁面(槽内面的壁面)的电极面积。与在壁面整面形成电极的情况相比，在距离W5、W6为1μm的情况下，电极面积为99％。距离W5、W6为15μm的情况下，与在壁面整面形成电极的情况相比，电极面积为90％。
在槽254内的电极膜260、第一引出电极261、第二引出电极262上，通过电沉积法成膜聚酰亚胺树脂的第一绝缘膜275(图5的(5-J))。在电沉积法中，在电极膜260、第一引出电极261、第二引出电极262通电，在电极上成膜聚酰亚胺绝缘膜。聚酰亚胺树脂的膜厚为2μm。电极膜260从层叠压电体(251、252)的上表面256以及倾斜部255的边分开距离W5、W6。因此，通过电沉积法的聚酰亚胺绝缘膜能够覆盖到槽254内的电极260的端部。此外，在框部件203的外部，没有形成通过电沉积法的聚酰亚胺绝缘膜。在框部件203外部的第二引出电极262上，附着保护膜而没有形成电沉积膜。
代替电沉积法的聚酰亚胺绝缘膜，能够使用感光性聚酰亚胺。
在第一绝缘膜275上形成有第二绝缘膜276(图5的(5-K))。第二绝缘膜276是对二甲苯系聚合物。通过CVD(化学气相沉积)法成膜对二甲苯系聚合物。第二绝缘膜276的厚度为3μm。第二绝缘膜276的厚度在2至10μm的范围内可成膜。对二甲苯系聚合物膜厚的均匀性高而有效。第一绝缘膜275和第二绝缘膜276防止电极膜260、第一引出电极261、第二引出电极262接触油墨。即，在水性油墨的情况下，第一第二绝缘膜275、276保护电极膜260，防止水性油墨的电分解。
作为对二甲苯类聚合物的具体例，能够利用聚对二甲苯C(聚氯对二甲苯)、聚对二甲苯D(聚二氯对二甲苯)、聚对二甲苯N(聚对二甲苯)等。
如图4所示，一个槽254由两个层叠压电体(251、252)和喷嘴板204围住。喷嘴板204通过聚酰亚胺粘结剂固定在第一压电体251上表面256和框部件203，以使喷嘴240位于第一压电体251上表面的长度W2、槽宽W3的中心。由两个层叠压电体(251、252)和喷嘴板204围住的空间作为使油墨产生压力的压力室221、231发挥功能。
图5示出第一压电驱动器列220的制作工序。图5的(5-A)示出固定在基板202上的层叠压电体(251、252)。层叠压电体(251、252)为宽度3.5mm、长度52mm、厚1mm的大小。第一压电体251和第二压电体252在逆方向分极。图5的(5-B)示出通过金刚石刀270形成倾斜面255。在层叠压电体(251、252)的X轴方向的两端，以角度45度形成倾斜面255。由于在两端作成45度的倾斜面255，层叠压电体(251、252)的截面成为梯形。若能够电连接槽内电极膜260、第一引出电极261和第二引出电极262，则倾斜面的角度也可以是45度之外的角度。图5的(5-C)示出金刚石刀271的槽254加工。在X轴方向形成多个槽254。图5的(5-D)示出进行槽254加工的第一压电驱动器列220。第二压电驱动器列230也同样地加工。
参照图5的(5-E)到图5的(5-K)，说明从图5的(5-D)B-B方向观察的、槽254内的加工。图5的(5-E)示出电极形成前的槽254内。图5的(5-F)示出形成在槽254内面、第二压电体252的上表面256、倾斜面255、基板202上表面的、镍·金(Ni·Au)膜。镍·金通过无电解电镀法形成为厚2μm。图5的(5-G)示出镍·金膜的光蚀刻加工。将感光性抗蚀剂涂敷在槽254内、上表面256、倾斜面255、基板202上。使用掩膜273进行紫外线曝光277。在掩膜273形成有用于形成电极260、第一第二引出电极的图案。掩膜为平面，但由于曝光277的前进性良好，能够在倾斜面255以及上表面256、基板202上形成高精细的感光性抗蚀图案272。在槽254的倾斜面255以及第二压电体252的上表面256以宽度W7形成有感光性抗蚀图案272。图5的(5-H)示出镍·金膜的蚀刻。若增长镍·金膜的蚀刻时间，则形成在感光性抗蚀图案272的下部的镍·金膜被蚀刻。通过所谓的过蚀刻，槽254内的电极膜260形成在从倾斜面255的边到分开距离W5的位置。图5的(5-I)示出除去感光性抗蚀272，从倾斜面255的边分开距离W5的电极260。图5的(5-J)示出通过电沉积法形成在电极260上的聚酰亚胺绝缘膜275(第一绝缘膜)。图5的(5-K)示出形成在聚酰亚胺绝缘膜275上的对二甲苯系聚合物276。根据该形成过程，形成第一压电驱动器列220、第二压电驱动器列230。
电路模块300产生驱动压电驱动器(251、252)的电信号。如图2所示，电路模块300由承载驱动IC303的柔性布线基板(FPC：Flexible Printed Circuit)以及将从喷墨头1外部输入的信号转换为输入到驱动IC303的信号的电路基板构成。经由连接器305，从外部输入信号。在FPC上形成有连接于压电驱动器(251、252)的各第二引出电极262和连接驱动IC303的布线图案。第二引出电极262和FPC的布线图案通过各向异性导电膜302(ACF：Anisotropic Contact Film)连接。
图6的(6-A)示出使由电路模块300产生的油墨喷出部200动作的信号。另外，图6的(6-B)至图6的(6-E)示出驱动波形的压力室231的状态。说明从压力室P231喷出墨滴241的例子。如图6的(6-B)所示，向连接于与压力室P231相邻的压力室231的第二引出电极262发送驱动信号301。向喷出油墨的压力室P231的第二引出电极262发送驱动信号302。向连接于与压力室P231相邻的另一压力室231的第二引出电极262发送驱动信号303。
驱动波形301、303为相同波形。驱动波形302为接地电位。驱动波形301、303从时刻0到时刻T1为电压0V，在时刻T1升压为电压+V。直到时刻T1，并没有产生压力室P231的容积变化。在时刻T1升压为+V时，压电驱动器(251、252)以粘着层253为中心弯曲变形。为了PZT剪断变形，通过与PZT的分极方向正交的电压施加产生该变形。如图6的(6-C)所示，通过与压力室P231相邻的两个压电驱动器251、252弯曲变形，压力室P231的容积扩张。在从时刻T1到T2的扩张状态下，压力室P231的油墨量增加。在时刻T2回到0V，压力室P231的容积复原。此时，压力室P231内的压力上升，如图6的(6-D)所示，从喷嘴240喷出墨滴241。从时刻T3到T4施加-V电压。此时，如图6的(6-E)所示，压力室P231的容积减小。容积的减少抑制压力室P231内的残余振动。在时刻T4电压回到0V，成为待机状态。
在第一实施方式中，喷墨头具有：基板；喷嘴板，具有喷出油墨的喷嘴；压电体，设置在所述基板和喷嘴板之间，具有倾斜面和穿过倾斜面的多个槽；导电膜，从压电体的顶部及倾斜面分开，形成在压电体的槽的内面；以及绝缘膜，覆盖导电膜。即，在形成于压电体的直角部附近没有形成导电膜。
为了在层叠压电体(压电驱动器(251、252))形成槽254而产生直角部。如图7所示，保护膜275、276在直角部附近有变薄的倾向。另外，在直角部保护膜275、276上容易产生微小缺口(针孔)。若电极膜260形成到倾斜面或第二压电体上表面256的端部或边，则可能保护膜的厚度减少，或产生针孔。若产生针孔或厚度减少，则存在电极膜260接触油墨的可能性。油墨为水性的情况下，油墨具有导电性。若导电性的油墨接触电极，则根据使压电驱动器(251、252)动作的电信号，引起油墨的电分解。由于电分解，油墨劣化。另外，穿过油墨流经电流，使压电驱动器(251、252)不能动作，产生油墨喷出不良。
在第一实施方式的喷墨头1中，电极膜260从压电驱动器(251、252)的顶部或倾斜面的边分开形成。因此，保护膜275、276能够充分地覆盖电极膜260。通过保护膜275、276使电极膜260从油墨绝缘，能够减少油墨的电分解或压电驱动器(251、252)的动作不良。
(第二实施方式)
在第二实施方式中，喷墨头1的构成和第一实施方式相同。不同的点在于电极膜260的形成方法不同。
参照图8的(8-A)到图8的(8-G)，说明槽254内的电极膜260加工。图8的(8-A)示出电极形成前的槽254内。图8的(8-B)示出形成在槽254内面、第二压电体252的上表面256、倾斜面255、基板202上表面的、镍·金(Ni·Au)膜。镍·金通过无电解电镀法形成厚度2μm。图8的(8-C)示出镍·金膜的光蚀刻加工。将感光性抗蚀剂涂敷在槽254内、上表面256、倾斜面255、基板202上。使用掩膜273进行紫外线曝光277。在掩膜273形成有用于形成电极260、第一第二引出电极的图案。图8的(8-D)示出在示出镍·金膜的蚀刻后，剥离感光性抗蚀图案的槽254内电极膜260。图8的(8-E)示出通过激光280除去形成在第二压电体252的边、倾斜面255的边附近的镍·金的电极膜260的工序。使准分子激光器配合第二压电体252的边、倾斜面255的边的形状扫描，使电极膜260升华。槽254内的电极膜260形成在从倾斜面255的边分开距离W5的位置。图8的(8-F)示出通过电沉积法形成在电极260上的聚酰亚胺绝缘膜275(第一绝缘膜)。图8的(8-G)示出形成在聚酰亚胺绝缘膜275上的对二甲苯系聚合物276。根据该形成过程，形成第一压电驱动器列220、第二压电驱动器列230。
在第二实施方式中，电极膜260形成为从压电驱动器(251、252)的顶部或倾斜面的边分开。因此，保护膜275、276能够充分地覆盖电极膜260。通过保护膜275、276使电极膜260绝缘于油墨，能够减少油墨的电分解或压电驱动器(251、252)的动作不良。另外，由于通过激光加工除去电极膜260的一部分，能够测量电极膜260的除去量的同时进行加工。因此，能够使电极膜260的除去量尽可能少。除去量越少，电极膜260的面积越广，越能够增多压电驱动器(251、252)变形量。结果，能够增加油墨喷出量。
如上述，喷墨打印机100具有如下构成。
一种喷墨打印机，包括：喷墨头；油墨循环装置，向所述喷墨头供给油墨，回收没有通过槽从喷嘴喷出的油墨，再次将油墨供给喷墨头；以及输送装置，输送通过所述喷墨头形成图像的记录介质，所述喷墨头包括：基板；喷嘴板，具有喷出油墨的喷嘴；压电体，具有倾斜面和多个槽，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面；导电膜，端部从所述第一面以及所述倾斜面离开，且形成在所述压电体的槽的内面；以及绝缘膜，覆盖所述导电膜。
虽然说明了几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在本发明的保护范围所记载的发明及其均等的范围内。
符号说明
1、1A、1B、1C、1D喷墨头；100喷墨打印机；120油墨循环装置；200油墨喷出部；201歧管；202基板；203框部件；204喷嘴板；251第一压电体；252第二压电体；255倾斜面；260电极膜；300电路模块；400盖。

Claims (10)

1.一种喷墨头的制造方法，其特征在于，包括：
将具有第一面和与第一面相对的第二面的压电体的第二面固定于基板的工序；
以形成比所述第一面宽的第二面的方式，在所述压电体上制作跨所述第一面和所述第二面的倾斜面的工序；
形成横穿所述压电体的倾斜面的槽的工序；
在所述槽的内面形成导电膜的工序；
以所述导电膜的端部从所述第一面以及所述倾斜面的边离开的方式，除去所述导电膜的工序；以及
在所述导电膜上形成绝缘膜的工序。
2.根据权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，
通过倾斜面和多个槽形成所述压电体，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面。
3.根据权利要求2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，
所述压电体是第一压电体和第二压电体的层叠体，所述第一压电体在与所述第一方向正交的第二方向上分极，所述第二压电体在与所述第一压电体的分极方向的相反方向上分极。
4.根据权利要求2或3所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，
通过多个绝缘层形成所述绝缘膜。
5.一种喷墨头，其特征在于，包括：
基板；
喷嘴板，具有喷出油墨的喷嘴；
压电体，具有倾斜面和多个槽，所述倾斜面设置在所述基板和喷嘴板之间，第一面在第一方向上具有第一宽度，与所述第一面相对的第二面在所述第一方向上具有比所述第一宽度宽的第二宽度且所述倾斜面从所述第一面的边向所述第二面的边连接，多个所述槽形成在所述第一方向上，横穿所述倾斜面；
导电膜，端部从所述第一面以及所述倾斜面离开，且形成在所述压电体的槽的内面；以及
绝缘膜，覆盖所述导电膜。
6.根据权利要求5所述的喷墨头，其特征在于，
所述压电体是第一压电体和第二压电体的层叠体，所述第一压电体在与所述第一方向正交的第二方向上分极，所述第二压电体在与所述第一压电体的分极方向的相反方向上分极。
7.根据权利要求5所述的喷墨头，其特征在于，
形成在由两个所述槽夹着的所述压电体的一壁面且所述端部从所述第一面以及所述倾斜面分开的电极面积是所述壁面整体的面积的90％到99％的范围。
8.根据权利要求6所述的喷墨头，其特征在于，
形成在由两个所述槽夹着的所述压电体的一壁面且所述端部从所述第一面以及所述倾斜面分开的电极面积是所述壁面整体的面积的90％到99％的范围。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的喷墨头，其特征在于，
所述绝缘膜通过多个绝缘层形成。
10.一种喷墨记录装置，其特征在于，包括根据权利要求5至9中任一项所述的喷墨头。
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