CN107078712A - 弹性波谐振器、弹性波滤波器、双工器以及弹性波装置 - Google Patents

弹性波谐振器、弹性波滤波器、双工器以及弹性波装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器。弹性波谐振器(1)具备压电基板(2)和形成在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具备：第1电极层(4)，具有配置在压电基板(2)侧的第1主面(4a)和与第1主面(4a)对置的第2主面(4b)，并由Al或以Al为主体的合金构成。利用SH波作为传播的弹性波。在弹性波谐振器(1)中，在将弹性波谐振器(1)的谐振频率设为fr并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的第1主面(4a)中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10‑3以下。f＝fr+0.06×bw…式(1)。式(1)中，bw是fa‑fr。

Description

弹性波谐振器、弹性波滤波器、双工器以及弹性波装置
技术领域
本发明涉及在压电基板上设置有IDT电极的弹性波谐振器、以及具有该弹性波谐振器的弹性波滤波器和双工器。
背景技术
以往，作为构成在便携式电话机等中使用的带通滤波器的谐振器，广泛使用了弹性波谐振器。例如，在下述专利文献1公开了一种具备压电基板和设置在该压电基板上的IDT电极的弹性波谐振器。在专利文献1中记载了上述IDT电极由Al膜形成。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平2-295212号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，在像专利文献1的弹性波谐振器那样由Al膜构成IDT电极的情况下，有时信号的线性度会下降。因此，在将专利文献1的弹性波谐振器用于双工器的发送滤波器的情况下，有时从发送滤波器产生的非线性信号的电平会增大，从而接收灵敏度下降。
本发明的目的在于，提供一种能够抑制非线性信号的产生的弹性波谐振器、以及具有该弹性波谐振器的弹性波滤波器和双工器。
用于解决课题的技术方案
本发明涉及的弹性波谐振器，具备压电基板和形成在上述压电基板上的IDT电极，其中，上述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在上述压电基板侧的第1主面和与上述第1主面对置的第2主面，并由Al或以Al为主体的合金构成，利用SH波作为传播的弹性波，在将上述弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的上述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。
f＝fr+0.06×bw…式(1)
(式(1)中，bw是fa-fr)
在本发明涉及的弹性波谐振器的某个特定的局面中，在上述频率f处，通过二维有限元法计算出的上述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。在该情况下，能够进一步抑制信号的线性度的下降。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个宽泛的局面中，弹性波谐振器具备压电基板和形成在上述压电基板上的IDT电极，其中，上述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在上述压电基板侧的第1主面和与上述第1主面对置的第2主面，并由Al或以Al为主体的合金构成，利用SH波作为传播的弹性波，在将上述弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的上述第1主面的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。
f＝fr+0.06×bw…式(1)
(式(1)中，bw是fa-fr)
在本发明涉及的弹性波谐振器的某个特定的局面中，上述IDT电极具备形成在上述压电基板上的第2电极层，在上述第2电极层上层叠有上述第1电极层，上述第2电极层通过从由Ti、Pt、Mo、W、Au、Cu、Ag以及NiCr构成的组中选择的至少一种金属而构成。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，上述第1电极层具有连结上述第1主面和上述第2主面的侧面，该侧面的至少一部分与上述第2电极层相接，上述第1电极层的侧面中的与上述第2电极层相接的部分的上述失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。在该情况下，能够更加可靠地抑制信号的线性度的下降。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，上述第1电极层具有连结上述第1主面和上述第2主面的侧面，该侧面的至少一部分与上述第2电极层相接，上述第1电极层的侧面中的与上述第2电极层相接的部分的上述失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。在该情况下，能够进一步抑制信号的线性度的下降。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，上述第2电极层设置为覆盖上述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面，上述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面的上述失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。在该情况下，能够更加可靠地抑制信号的线性度的下降。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，上述第2电极层设置为覆盖上述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面，上述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面的上述失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。在该情况下，能够更加可靠地抑制信号的线性度的下降。
在本发明涉及的弹性波谐振器的另一个特定的局面中，上述以Al为主体的合金是Al和Cu的合金。
本发明涉及的弹性波滤波器，具有多个弹性波谐振器，其中，上述多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是按照上述本发明构成的弹性波谐振器。
本发明涉及的双工器具备：带通型的第1滤波器，具有多个弹性波谐振器；以及第2滤波器，具有多个弹性波谐振器，并且通带与上述第1滤波器不同，其中，上述第1滤波器以及上述第2滤波器中的至少一方的多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是按照上述本发明构成的弹性波谐振器。
本发明涉及的弹性波装置具备：第1芯片部件，构成有多个发送滤波器；以及第2芯片部件，构成有多个接收滤波器，所述多个发送滤波器或所述多个接收滤波器具有多个弹性波谐振器，该多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是按照上述本发明构成的弹性波谐振器。
发明效果
在本发明涉及的弹性波谐振器中，如上所述，可降低构成IDT电极的第1电极层的第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值。因此，本发明涉及的弹性波谐振器能够抑制非线性信号的产生。
附图说明
图1(a)是本发明的第1实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图，图1(b)是示出其电极构造的示意性俯视图。
图2是示出第1电极层的第1主面内的各位置处的失真分量S4的绝对值(|S4|)的图。
图3是示出第1电极层的第1主面中的失真分量S4的绝对值(|S4|)的最小值与三次谐波的峰值电平的关系的图。
图4是示出第1电极层的第1主面中的失真分量S4的绝对值(|S4|)的最大值与三次谐波的峰值电平的关系的图。
图5是示出高次谐波产生频率与三次谐波电平的关系的图。
图6是本发明的第3实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。
图7是本发明的第4实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。
图8是本发明的第5实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。
图9是本发明的第6实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。
图10是本发明的一个实施方式涉及的双工器的概略电路图。
图11是示出在二维有限元法的计算中使用的压电基板的厚度(h＞30λ)的图。
图12是示出在二维有限元法的计算中使用的压电基板的厚度(h＞5λ)的图。
图13是本发明的另一个实施方式涉及的双工器的示意性俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。
另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式之间进行结构的部分置换或组合。
[弹性波谐振器]
(第1实施方式)
图1(a)是本发明的第1实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图，图1(b)是示出其电极构造的意性俯视图。弹性波谐振器1具有压电基板2。在压电基板2的主面上层叠有IDT电极3。IDT电极3具有第1电极层4、第2电极层5。更详细地，IDT电极3具有设置在压电基板2上的第2电极层5和层叠在第2电极层5上的第1电极层4。
第1电极层4具有第1主面4a、第2主面4b以及第1侧面4c、第2侧面4d。第1电极层4的第1主面4a设置在压电基板2侧。第1电极层4的第1主面4a与第2电极层5相接。即，第1电极层4的第1主面4a是第1电极层4和第2电极层5的边界面。此外，第1电极层4的第2主面4b与第1主面4a对置。第1侧面4c、第2侧面4d分别对第1主面4a和第2主面4b进行连结。
压电基板2是由LiTaO3构成的基板。不过，作为压电基板2，也可以使用由LiNbO3等其它压电单晶构成的基板，还可以使用由压电陶瓷构成的基板。
虽然在图1(a)中以简图方式示出，但是在压电基板2上形成有图1(b)所示的电极构造。即，形成有IDT电极3和配置在IDT电极3的声表面波传播方向两侧的反射器6、7。由此，构成单端口型声表面波谐振器。
IDT电极3具有第1汇流条、第2汇流条以及多根第1电极指、第2电极指。多根第1电极指和多根第2电极指彼此交叉插入。此外，多根第1电极指与第1汇流条连接，多根第2电极指与第2汇流条连接。
IDT电极3的第1电极层4由Al构成。IDT电极3的第1电极层4也可以由以Al为主体的合金构成。所谓以Al为主体的合金，是指包含50％以上的Al的合金，例如可举出Al和Cu的合金(AlCu合金)。
另一方面，IDT电极3的第2电极层5由Ti构成。作为构成第2电极层5的材料，除了Ti以外，还能够使用Pt、Mo、W、Au、Cu、Ag、Ni、Cr或它们的合金。这些可以是单层的金属膜，也可以是层叠有两种以上的金属的层叠金属膜。
在本实施方式中，利用SH波作为传播的弹性波，第1电极层4的第1主面4a，即，第1电极层4与第2电极层5的边界面中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。另外，在本说明书中，关于失真的S4分量，使用在频率f处通过二维有限元法计算出的值。
在将弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，频率f是由下述式(1)表示的频率。
f＝fr+0.06×bw…式(1)
(式(1)中，bw是fa-fr)
此外，失真的S4分量是将结晶嵌入坐标轴(x，y，z)时的、沿y轴方向的位移的z微分。更具体地，在将电极指的长度方向设为y方向、将厚度方向设为z方向且电极指的长度ly变化为ly+uy时，用表示。在基于二维有限元法的计算中，通过以下的条件计算出失真的S4分量。
关于构成第1电极层4以及第2电极层5的材料的弹性常数以及密度，使用记载在“化学便览 基础篇 II 修订 4 版 日本化学学会编 丸善 (1993)”的值。例如，Al的弹性常数为，杨氏模量：6.85×1010[Pa]，泊松比：3.4×10-1，密度为2.6989×103[kg/m3]。此外，Ti的弹性常数为，杨氏模量：1.157×1011[Pa]，泊松比：3.2×10-1，密度为4.5×103[kg/m3]。
关于压电基板2的参数，使用记载在“弹性波元件技术手册 日本学术振兴会弹性波元件技术第150委员会 欧姆公司，p542”的值。例如，构成压电基板2的LiTaO3的弹性常数为：c11＝2.298；c12＝0.44；c13＝0.812；c14＝-0.104；c22＝2.298；c23＝0.812；c24＝0.104；c33＝2.798；c44＝0.968；c55＝0.968；c56＝-0.104；c66＝0.929；c15＝c16＝c25＝c26＝c34＝c35＝c36＝c45＝c46＝0[×103Pa]；cij＝cji。LiTaO3的压电常数为：e15＝2.72；e16＝-1.67；e21＝-1.67；e22＝1.67；e24＝2.72；e31＝-0.38；e32＝-0.38；e33＝1.09；e11＝e12＝e13＝e14＝e23＝e25＝e26＝e34＝e35＝e36＝0[C/m2]。LiTaO3的相对介电常数为：ε11＝42.6；ε22＝42.6；ε33＝4.28；ε12＝ε13＝ε23＝0；εij＝εji。
计算模型设为使用了周期边界条件(相位差条件为2nπ)的电极指对的模型。参照图11以及图12对压电基板2的厚度进行说明。图11以及图12是示出在二维有限元法的计算中使用的压电基板的厚度的图。关于压电基板2的厚度(h)，如图11所示，设为h＞30λ。或者，如图12所示，设为h＞5λ以上，并在压电基板2的设置有IDT电极3侧的相反侧的主面，设置无反射吸收层(PML)15。由此，能够抑制来自压电基板2的设置有IDT电极3侧的相反侧的主面的波动的反射。
作为边界条件，在第2电极层5与压电基板2的边界面提供+1.0V的电位，在压电基板2的设置有IDT电极3侧的相反侧的主面提供0V的电位。此外，在压电基板2的设置有IDT电极3侧的相反侧的主面，设置位移ui(i＝1，2，3)的约束条件(ui＝0)。
图2是示出第1电极层4的第1主面4a内的各位置处的失真分量S4的绝对值(|S4|)的图。即，图2是示出在第1电极层4的第1主面4a中从第2侧面4d侧向第1侧面4c侧使测定|S4|的位置变化时的各位置处的|S4|的图。在图2中，x轴的负侧是第2侧面4d侧，正侧是第1侧面4c侧。
图3是示出第1电极层4的第1主面4a中的失真分量S4的绝对值(|S4|)的最小值与三次谐波的峰值电平的关系的图。在图3中，|S4|的最小值是图2中的|S4|的最小值。即，是在第1电极层4的第1主面4a中从第2侧面4d侧向第1侧面4c侧使测定|S4|的位置变化时的各位置处的|S4|的最小值。
另外，在图3记载了4个点的|S4|的最小值，分别是改变了第1电极层4以及第2电极层5的厚度时的值。更详细地，图3中的4个点的|S4|从左起为，第1电极层4和第2电极层5的膜厚为100nm和248nm、200nm和184nm、300nm和110nm、430nm和30nm时的值。此外，三次谐波的峰值电平是指，图5所示的三次谐波电平为峰值。
根据图3，在|S4|的最小值为1.4×10-3以下时，可抑制非线性信号的产生。
(第2实施方式)
在第1实施方式中，第1主面4a中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。在第2实施方式中，第1主面4a中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。其它方面与第1实施方式相同。以下，参照图4对上述失真的S4分量的绝对值的最大值进行更详细的说明。
图4是示出第1电极层4的第1主面4a中的失真分量S4的绝对值(|S4|)的最大值与三次谐波的峰值电平的关系的图。在图4中，|S4|的最大值是图3中的|S4|的最大值。即，是在第1电极层4的第1主面4a中从第2侧面4d侧向第1侧面4c侧使测定|S4|的位置变化时的各位置处的|S4|的最大值。
另外，在图4记载了4个点的|S4|的最大值，分别是改变了第1电极层4以及第2电极层5的厚度时的值。此外，三次谐波的峰值电平是指图5所示的三次谐波电平为峰值。
根据图4，在|S4|的最大值为2.7×10-3以下时，可抑制非线性信号的产生。
另外，在本发明中，也可以是，失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下，且失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。在该情况下，能够进一步抑制非线性信号的产生。
(第3实施方式)
图6是本发明的第3实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。在弹性波谐振器21中，第1电极层4的第1侧面4c、第2侧面4d的一部分分别与第2电极层5相接。
在弹性波谐振器21中，第1电极层4的第1侧面4c、第2侧面4d的与第2电极层5相接的部分处的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。或者，第1电极层4的第1侧面4c、第2侧面4d的与第2电极层5相接的部分处的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。其它方面与第1实施方式相同。
另外，作为第2电极层5的形成方法，例如，首先通过成膜等形成平坦的电极层。在上述平坦的电极层上，形成比上述平坦的电极层小一圈的抗蚀剂膜。接下来，形成材料与上述平坦的电极层相同的电极层，使得覆盖抗蚀剂膜以及上述平坦的电极层。接着，使用蚀刻装置进行各向异性蚀刻，使得仅在抗蚀剂膜的侧壁残留有电极层。之后，除去抗蚀剂膜。由此，能够形成第2电极层5。然后，层叠第1电极层4，形成IDT电极3。在这样形成的IDT电极3中，第1电极层4的与第2电极层5相接的部分是第1电极层4的第1主面4a以及第1侧面4c、第2侧面4d。
在第3实施方式中，可降低第1电极层4的第1主面4a以及第1侧面4c、第2侧面4d中的与第2电极层5相接的部分的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值。即，可降低第1电极层4和第2电极层5的边界面中的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值。因此，第3实施方式涉及的弹性波谐振器21能够抑制非线性信号的产生。
(第4实施方式)
图7是本发明的第4实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。在弹性波谐振器31中，第1电极层4的第1侧面4c、第2侧面4d分别与第2电极层5相接。与上述第3实施方式同样地形成具有第1侧面4c、第2侧面4d的第2电极层5。
在弹性波谐振器31中，第1电极层4的第1侧面4c、第2侧面4d中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。或者，第1电极层4的第1侧面4c、第2侧面4d中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。其它方面与第1实施方式相同。
在第4实施方式中，可降低第1电极层4的第1主面4a以及第1侧面4c、第2侧面4d的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值。即，可降低第1电极层4和第2电极层5的边界面中的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值。因此，第4实施方式涉及的弹性波谐振器31能够抑制非线性信号的产生。
(第5实施方式)
图8是本发明的第5实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。在弹性波谐振器41中，第1电极层4的第2主面4b以及第1侧面4c、第2侧面4d与第2电极层5相接。与上述第3、第4实施方式同样地形成具有第1侧面4c、第2侧面4d的第2电极层5。
在弹性波谐振器41中，第1电极层4的第2主面4b以及第1侧面4c、第2侧面4d中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。或者，第1电极层4的第2主面4b以及第1侧面4c、第2侧面4d中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。其它方面与第1实施方式相同。
在第5实施方式中，可降低第1电极层4的第1主面4a、第2主面4b以及第1侧面4c、第2侧面4d的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值。即，可降低第1电极层4和第2电极层5的边界面中的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值。因此，第5实施方式涉及的弹性波谐振器41能够抑制非线性信号的产生。
(第6实施方式)
图9是本发明的第6实施方式涉及的弹性波谐振器的示意性主视剖视图。在弹性波谐振器51中，未设置第2电极层。因此，第1电极层4的第1主面4a与压电基板2相接。其它方面与第1实施方式相同。
在第6实施方式中，第1电极层4的第1主面4a，即，第1电极层4与压电基板2的边界面的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。或者，失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。因此，第6实施方式涉及的弹性波谐振器51能够抑制非线性信号的产生。
[弹性波滤波器以及双工器]
图10是本发明的一个实施方式涉及的双工器的概略电路图。本实施方式涉及的双工器具有共同连接于天线8的第1滤波器9和第2滤波器10。
第1滤波器9是带通型的发送滤波器。第1滤波器9是梯型滤波器。第1滤波器9具有输出端子12b和作为发送端子的输入端子12a。在连结输入端子12a和输出端子12b的串联臂配置有多个串联臂谐振器S1～S4。在串联臂谐振器S1和串联臂谐振器S2之间的连接点与接地电位之间连接有并联臂谐振器P1。在串联臂谐振器S3和串联臂谐振器S4之间的连接点与接地电位之间连接有并联臂谐振器P2。
第2滤波器10是通带与第1滤波器9不同的接收滤波器。第2滤波器10具有纵向耦合谐振器型的弹性波滤波器14。第2滤波器10具有输入端子13a和作为接收端子的输出端子13b。在输入端子13a与纵向耦合谐振器型的弹性波滤波器14之间连接有弹性波谐振器11。输入端子13a经由与输出端子12b的公共连接点与天线8连接。另外，在本发明中，作为用于第1滤波器、第2滤波器的滤波器，分别可以使用梯型滤波器、纵向耦合谐振器型滤波器、格型滤波器等。
通常，在双工器中的发送滤波器中产生的非线性信号的电平增大的情况下，接收滤波器的接收灵敏度会下降。
对此，在本实施方式中，第1滤波器9的串联臂谐振器S4是上述本发明涉及的弹性波谐振器。即，与作为接收滤波器的第2滤波器10连接的串联臂谐振器S4的、第1电极层4的第1主面4a中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。或者，失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。因此，可抑制在串联臂谐振器S4中产生的非线性信号的电平，因此本实施方式涉及的双工器的接收灵敏度难以下降。
不过，在本发明中，只要构成弹性波滤波器的多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器的、第1电极层的第1主面的失真的S4分量的绝对值的最小值或绝对值的最大值处于上述各范围内即可。
此外，在本发明涉及的双工器中，在具有通带互不相同的发送滤波器和接收滤波器的情况下，只要发送滤波器的至少一个弹性波谐振器的失真的S4分量的绝对值的最小值或最大值处于上述各范围内即可。由此，能够抑制双工器的接收灵敏度的下降。
此外，在具备发送滤波器、接收滤波器的单芯片的双工器中，存在需要仅在发送滤波器、接收滤波器中的任一方的滤波器中抑制非线性信号的电平的情况。在该情况下，虽然想仅对要抑制非线性信号的电平的滤波器应用本发明的构造，但是在单芯片的双工器中难以制造本发明的构造。
另一方面，在便携式电话机等中，多数情况下搭载有多个双工器。因此，在需要仅在发送滤波器以及接收滤波器中的任一方的滤波器中抑制非线性信号的电平的情况下，优选采用图13所示的实施方式。在图13中，发送滤波器21a和发送滤波器21b构成为第1芯片部件21。此外，接收滤波器22a和接收滤波器22b作为第2芯片部件22。在此，发送滤波器21a以及发送滤波器21b分别具有多个弹性波谐振器。此外，在本实施方式中，在发送滤波器21a、21b中，要求抑制非线性信号的电平。在该情况下，只要发送滤波器21a、21b分别具有的多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器按照本发明构成即可。即，在由上述的式(1)表示的频率f处，第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下即可。因此，在需要仅在发送滤波器21a、21b中抑制非线性信号的电平的情况下，能够容易地将发送滤波器21a、21b制造为一个第1芯片部件21。另一方面，对于不需要抑制非线性信号的电平的接收滤波器22a、22b，能够在第2芯片部件22中抑制设计自由度的下降。
像这样，在具有多个双工器的通信设备的情况下，期望将多个发送滤波器作为第1芯片部件，并将多个接收滤波器作为第2芯片部件。此外，在需要仅在多个接收滤波器而不是多个发送滤波器抑制非线性信号的电平的情况下，只要构成接收滤波器的多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器按照本发明构成即可。在该情况下，也能够容易地将多个接收滤波器制造为一个芯片部件。
附图标记说明
1、11、21、31、41、51：弹性波谐振器；
2：压电基板；
3：IDT电极；
4：第1电极层；
4a、4b：第1主面、第2主面；
4c、4d：第1侧面、第2侧面；
5：第2电极层；
6、7：反射器；
8：天线；
9：第1滤波器；
10：第2滤波器；
12a、13a：输入端子；
12b、13b：输出端子；
14：纵向耦合谐振器型的弹性波滤波器；
15：无反射吸收层(PML)；
21、22：第1芯片部件、第2芯片部件；
21a、21b：发送滤波器；
22a、22b：接收滤波器；
S1～S4：串联臂谐振器；
P1、P2：并联臂谐振器。

Claims (12)

1.一种弹性波谐振器，具备压电基板和形成在所述压电基板上的IDT电极，其中，
所述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在所述压电基板侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，并由Al或以Al为主体的合金构成，
利用SH波作为传播的弹性波，
在将所述弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下，
f＝fr+0.06×bw …式(1)
式(1)中，bw是fa-fr。
2.根据权利要求1所述的弹性波谐振器，其中，
在所述频率f处，通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。
3.一种弹性波谐振器，具备压电基板和形成在所述压电基板上的IDT电极，其中，
所述IDT电极具备：第1电极层，具有配置在所述压电基板侧的第1主面和与所述第1主面对置的第2主面，并由Al或以Al为主体的合金构成，
利用SH波作为传播的弹性波，
在将所述弹性波谐振器的谐振频率设为fr，并将反谐振频率设为fa时，在由下述式(1)表示的频率f处，通过二维有限元法计算出的所述第1主面中的失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下，
f＝fr+0.06×bw …式(1)
式(1)中，bw是fa-fr。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波谐振器，其中，
所述IDT电极具备形成在所述压电基板上的第2电极层，
在所述第2电极层上层叠有所述第1电极层，
所述第2电极层通过从由Ti、Pt、Mo、W、Au、Cu、Ag以及NiCr构成的组中选择的至少一种金属而构成。
5.根据权利要求4所述的弹性波谐振器，其中，
所述第1电极层具有连结所述第1主面和所述第2主面的侧面，该侧面的至少一部分与所述第2电极层相接，
所述第1电极层的侧面中的与所述第2电极层相接的部分的所述失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。
6.根据权利要求4或5所述的弹性波谐振器，其中，
所述第1电极层具有连结所述第1主面和所述第2主面的侧面，该侧面的至少一部分与所述第2电极层相接，
所述第1电极层的侧面中的与所述第2电极层相接的部分的所述失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。
7.根据权利要求4～6中的任一项所述的弹性波谐振器，其中，
所述第2电极层设置为覆盖所述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面，
所述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面的所述失真的S4分量的绝对值的最小值为1.4×10-3以下。
8.根据权利要求4～7中的任一项所述的弹性波谐振器，其中，
所述第2电极层设置为覆盖所述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面，
所述第1电极层的第1主面、第2主面以及侧面的所述失真的S4分量的绝对值的最大值为2.7×10-3以下。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的弹性波谐振器，其中，
所述以Al为主体的合金是Al和Cu的合金。
10.一种弹性波滤波器，具有多个弹性波谐振器，其中，
所述多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是权利要求1～9中的任一项所述的弹性波谐振器。
11.一种双工器，具备：带通型的第1滤波器，具有多个弹性波谐振器；以及第2滤波器，具有多个弹性波谐振器，并且通带与所述第1滤波器不同，其中，
所述第1滤波器以及所述第2滤波器中的至少一方的多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是权利要求1～9中的任一项所述的弹性波谐振器。
12.一种弹性波装置，具备：
第1芯片部件，构成有多个发送滤波器；以及
第2芯片部件，构成有多个接收滤波器，
所述多个发送滤波器或所述多个接收滤波器具有多个弹性波谐振器，
该多个弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是权利要求1～9中的任一项所述的弹性波谐振器。
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