JP4407696B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
11…第1のフィルタ
12…第2のフィルタ
13…第1の圧電基板
14…第2の圧電基板
S11a〜S11c…直列腕共振子
P11a,P11b…並列腕共振子
L11a,L11b…インダクタンス素子
C11…コンデンサ素子
ANT…アンテナ
S12a〜S12c…直列腕共振子
P12a〜P12d…並列腕共振子
L12a,L12b…インダクタンス素子
C12a,C12b…コンデンサ素子
第1のフィルタにおける好ましい電極膜厚範囲=0.18×λ1/ρ1〜0.40×λ1/ρ1
第2のフィルタにおける好ましい電極膜厚範囲=0.27×λ2/ρ2〜0.53×λ2/ρ2
なお、本発明に係る弾性表面波装置は、上記PCS用のデュプレクサに限らず様々な分波器やデュプレクサに用いることができる。
Claims (6)
- 第1の圧電基板において複数の弾性表面波共振子がラダー型回路構成を有するように接続されており、相対的に通過帯域の周波数が低い第1のフィルタと、第2の圧電基板において複数の弾性表面波共振子がラダー型回路構成を有するように接続されており、相対的に通過帯域の周波数が高い第2のフィルタとを備えた弾性表面波装置において、
前記第1の圧電基板が、カット角が45°〜56°の回転YカットX伝搬LiTaO3基板からなり、前記第2の圧電基板が、カット角が32°〜45°の回転YカットX伝搬LiTaO3基板からなり、
前記第1,第2のフィルタが、それぞれ、第1,第2の圧電基板上に形成されたフィルタ構成用の第1,第2の電極を有し、
前記第1,第2の電極の密度を、それぞれ、ρ1,ρ2(g/cm3)とし、第1,第2のフィルタの電極の電極指の周期で測定される波長をそれぞれ、λ1、λ2(μm)としたとき、第1の電極の膜厚が、0.18×λ1/ρ1〜0.40×λ1/ρ1の範囲にあり、第2の電極の厚みが0.27λ2/ρ2〜0.53×λ2/ρ2の範囲にあることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 前記第1,第2の電極が、Cuからなり、前記第1の電極の厚みが、0.02λ1〜0.045λ1の範囲にあり、第2の電極の厚みが、0.03λ2〜0.06λ2の範囲にある、請求項1に記載の弾性表面波装置。
- 前記第1,第2の圧電基板上に形成されており、温度特性を改善するためのSiO2膜をさらに備える、請求項1または2に記載の弾性表面波装置。
- 前記SiO2の膜厚が、第1,第2のフィルタの波長の5〜50%の範囲にある、請求項3に記載の弾性表面波装置。
- 前記SiO2膜の上面が平坦化されていることを特徴とする、請求項3または4に記載の弾性表面波装置。
- デュプレクサである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性表面波装置。
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