CN106873506A - 校正装置、校正装置的控制方法、信息处理程序及记录介质 - Google Patents

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Abstract

本发明提供校正装置、校正装置的控制方法、信息处理程序及记录介质，实现控制系统的特别是上述反馈控制系统的对目标值的追随性能的提高。指令值校正装置(1)利用控制对象(3)的本次控制周期中的控制量，对反馈控制部(2)接收的本次控制周期的指令值进行校正。

Description

校正装置、校正装置的控制方法、信息处理程序及记录介质
技术领域
本发明涉及校正对伺服驱动器等反馈控制系统提供的指令值的校正装置等。
背景技术
已知有一种控制系统，其通过将从目标值(目标轨道)每控制周期生成的指令值向伺服驱动器等反馈控制系统提供，该反馈控制系统以使作为控制对象的伺服马达等的输出即控制量追随该指令值的方式进行反馈控制。在这种控制系统中，作为提高对上述目标值的追随性能的方法，目前已知有两种方法。第一种是通过利用上述反馈控制系统接收的指令值的信息和上述反馈控制系统的控制增益的信息的前馈控制，对指令值进行校正的方法。第二种是利用上述反馈控制系统和上述控制对象的总特性模型的反函数，对指令值进行校正的方法。
例如，下述专利文献1中记载有：通过利用马达(控制对象)和机械系统(负荷机械)的模型的前馈控制，来控制对伺服控制部(反馈控制系统)提供的指令值的方法。
专利文献1：(日本)特开2014-2474号公报(2014年1月9日公开)
第一种方法虽然通过采用了利用反馈控制系统所接收的指令值的信息和所述反馈控制系统的控制增益的信息的前馈控制的简单结构，对指令值进行了校正，但是不能说充分提高了对目标值的追随性能。
另外，就上述第二种方法而言，只要上述反馈控制系统和上述控制对象的总特性模型的精度良好，就能够实现相较于上述第一方法高的追随性能。但是，在上述第二种方法中，上述特性模型的模型误差的影响直接导致追随性能变差。其结果，上述第二方法在上述特性模型的精度差的情况下，有时反而降低对目标值的追随性能。
因此，目前所采用的上述第一方法和上述第二方法都存在不能充分提高控制系统的特别是反馈控制的对目标值的追随性能的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述问题点而提出的，其目的在于，实现控制系统的特别是反馈控制的对目标值的追随性能的提高。
为了解决上述课题，本发明一方面提供一种校正装置，对反馈控制系统接收的指令值进行校正，该指令值从目标轨道每控制周期生成，该反馈控制系统使控制对象的控制量追随该指令值，所述校正装置的特征在于，具备：控制量取得部，其取得所述控制对象的本次控制周期中的控制量；指令值校正部，其利用所述控制量取得部所取得的所述本次控制周期中的控制量，来校正所述反馈控制系统接收的本次控制周期的指令值。
根据上述技术方案，所述校正装置利用所述本次控制周期中的控制量，对向所述反馈控制系统提供的本次控制周期中的指令值进行校正。因此，所述校正装置能够实现的效果是：由于能够将所述校正后的指令值向所述反馈控制系统提供，所以能够实现包括所述校正装置的控制系统的特别是所述反馈控制系统的对所述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
优选的是，所述指令值校正部通过利用所述反馈控制系统和所述控制对象的模型的模型预测控制，利用所述本次控制周期中的控制量，进行所述本次控制周期的指令值的校正。
根据上述技术方案，所述指令值校正部通过模型预测控制对所述本次控制周期中的指令值进行校正，所述模型预测控制利用所述本次控制周期中的控制量作为输入，并且利用所述反馈控制系统和所述控制对象的模型。因此，所述校正装置能够利用所述模型，通过模型预测控制进行所述本次控制周期中的指令值的校正。由此，实现能够减轻对控制稳定性的坏影响的效果，所述坏影响是因由所述指令值校正部构成与所述反馈控制系统的控制回路相比延迟相对大的控制回路而产生的。
优选的是，所述反馈控制系统是以伺服马达为控制对象的伺服驱动器。
根据上述技术方案，所述校正装置利用所述本次控制周期中的控制量，对向所述伺服马达提供的本次控制周期中的指令值进行校正。因此，所述校正装置能够实现的效果是：由于能够将所述校正后的指令值向所述伺服马达提供，所以能够实现包括所述校正装置的控制系统对所述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
优选的是，所述控制量取得部进一步取得与所述目标轨道相对应的所述控制对象的控制量，所述校正装置还具备输出指令值的校正量的学习控制部，所述指令值的校正量是利用所述控制量取得部所取得的与所述目标轨道相对应的所述控制对象的控制量，对由与所述目标轨道相同的下次的目标轨道在每控制周期生成的指令值进行校正的量。
根据上述技术方案，所述校正装置通过所述学习控制部输出所述指令值的校正量，所述所述指令值的校正量是利用与所述目标轨道相对应的所述控制量，对由与所述目标轨道相同的下次的目标轨道生成的指令值进行校正的量。因此，所述校正装置能够实现的效果是：由于能够将通过指令值校正部和所述学习控制部的各自校正了的指令值向所述反馈控制系统提供，所以能够实现包括所述校正装置的控制系统对所述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
优选的是，所述控制量取得部取得多个反馈控制系统各自的控制对象的本次控制周期中的控制量，所述指令值校正部利用所述多个反馈控制系统各自的控制对象的本次控制周期中的控制量，对由所述多个反馈控制系统各自接收的本次控制周期的指令值进行校正。
根据上述技术方案，所述校正装置利用所述本次控制周期中的控制量，对向所述多个反馈控制系统中的每一个反馈控制系统提供的本次控制周期中的指令值进行校正。因此，所述校正装置实现的效果是：由于能够将所述校正后的指令值向所述多个反馈控制系统的每一个反馈控制系统提供，所以能够实现包括所述校正装置和所述多个反馈控制系统的每一个反馈控制系统的控制系统对所述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
另外，为了解决上述课题，本发明另一方面提供一种校正装置的控制方法，所述校正装置对反馈控制系统接收的指令值进行校正，该指令值从目标轨道每控制周期生成，该反馈控制系统使控制对象的控制量追随该指令值，所述校正装置的控制方法包括：控制量的步骤，取得所述控制对象的本次控制周期中控制量；指令值校正步骤，利用所述控制量取得步骤所取得的在所述本次控制周期中的控制量，来校正所述反馈控制系统接收的本次控制周期的指令值。
根据上述技术方案，所述校正装置的控制方法利用所述本次控制周期中的控制量，对向所述反馈控制系统提供的本次控制周期中的指令值进行校正。因此，所述校正装置的控制方法实现的效果是：由于能够将所述校正后的指令值向所述反馈控制系统提供，所以能够实现所述反馈控制系统的对所述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
本发明实现的效果是：能够实现控制系统的特别是上述反馈控制系统的对目标值的追随性能的提高。
附图说明
图1是表示本发明第一实施方式的指令值校正装置的主要部分结构的框图。
图2是表示包括图1的指令值校正装置的控制系统的概要的图。
图3是表示包括图1的指令值校正装置的不同于图2的控制系统的概要的图。
图4是表示包括图1的指令值校正装置的不同于图2和图3的控制系统的概要的图。
图5是表示本发明第二实施方式的指令值校正装置的主要部分结构的框图。
图6是表示包括图5的指令值校正装置的控制系统的概要的图。
图7是用于说明模型预测控制的算法的基本概念的图。
图8是表示成为利用图5的指令值校正装置校正的指令值的基础的轨道一例的图。
图9是表示由正交的两个轴构成利用图5的指令值校正装置校正的指令值、利用前馈控制校正的指令值及未进行校正的指令值各指令值时的、一轴的指令值、位置偏差、转矩的轨迹的图。
图10是图9所示的轨迹的放大图。
符号说明
1 指令值校正装置(校正装置)；
2 反馈控制部(反馈控制系统)；
3 控制对象；
5 学习控制部；
7 指令值校正装置(校正装置)；
12 控制量取得部；
13 指令值校正部；
21 位置-速度控制部(反馈控制系统)；
130 控制器(校正装置)；
131 模型预测控制部；
1000、1100、1200、1300、1400、1500 控制系统。
具体实施方式
〔第一实施方式〕
以下，参照图1～图4详细说明本发明的第一实施方式。对图中相同或相似的部分标注相同的符号，不再重复其说明。为了容易理解本发明一方面的指令值校正装置1(对反馈控制系统所接收的指令值进行校正的校正装置)，首先参照图2(特别是图2A)说明包括指令值校正装置1的控制系统1000的概要。
(控制系统的概要)
图2是表示包括指令值校正装置1的控制系统1000及控制系统1100的概要的图。图2A是表示控制系统1000的概要的图，该控制系统1000包括：包括反馈控制部2的下级控制器200(例如伺服驱动器)、对下级控制器200提供指令值的上级控制器100(例如可编程序逻辑控制器(PLC、Programmable Logic Controller))、控制对象3(机械，例如伺服马达及由该伺服马达驱动的机械要素)。控制系统1000中，指令值校正装置1包括于上级控制器100。
上级控制器100向下级控制器200发送用于对控制对象3进行驱动控制(例如“轨道追随控制”及“加工机的轨道控制”等)的指令值(控制信号)，进行下级控制器200的控制。上级控制器100包括目标轨道生成部4和指令值校正装置1。目标轨道生成部4从外部(例如用户)接收目标轨道数据(目标轨道)，从所接收的目标轨道数据，每个控制周期生成基准控制指令值。指令值校正装置1利用控制对象3的输出即控制量作为反馈信息，对目标轨道生成部4所生成的基准控制指令值进行校正，并输出校正后的指令值(校正后指令值)。即，上级控制器100向下级控制器200发送校正后指令值，该校正后指令值是指令值校正装置1利用控制对象3的控制量对从目标轨道数据(目标轨道)每控制周期生成的基准指令值进行校正而得的值。
下级控制器200自上级控制器100接收指令值(控制信号)，特别是指令值校正装置1利用控制对象3的控制量所校正的校正后指令值，基于所接收的校正后指令值控制控制对象3。例如，在控制对象3为伺服马达的情况下，下级控制器200基于上述校正后指令值驱动作为控制对象3的伺服马达，使得作为控制对象3的伺服马达以规定的转速旋转规定量。下级控制器200包括对控制对象3进行反馈控制的反馈控制部2。
反馈控制部2控制对控制对象3提供的操作量，以使控制对象3的输出即控制量追随由上级控制器100取得的指令值(特别是通过指令值校正装置1校正了的校正后的指令值)。反馈控制部2取得控制对象3的控制量作为反馈信息，并基于所取得的反馈信息(控制对象3的控制量)与上述指令值之差(偏差)来控制上述操作量。
控制对象3根据由下级控制器200提供的操作量进行驱动。控制对象3的输出即控制量作为反馈信息被提供给上级控制器100(特别是指令值校正装置1)及下级控制器200(特别是反馈控制部2)。
下级控制器200分别与上级控制器100及控制对象3可通信地连接，其连接方式为任意的有线连接方式或无线连接方式。例如，上级控制器100与下级控制器200通过任意的通信电缆连接。作为代表，也可以通过EtherIP、EtherCAT(注册商标)通信连接。另外，下级控制器200与控制对象3(例如伺服马达)也可以通过例如专用电缆连接。
指令值校正装置1利用下级控制器200(特别是反馈控制部2)所利用的反馈信息(控制对象3的控制量)，对提供给下级控制器200(特别是反馈控制部2)的指令值进行校正。指令值校正装置1通过利用反馈控制部2(反馈控制系统)所利用的反馈信息，对提供给反馈控制部2的指令值进行校正，来实现对目标轨道的高精度的追随性能。
在现有技术中，作为对提供给下级控制器200(特别是反馈控制部2)的指令值进行校正的方法，已知有以下两种方法。第一种，利用利用对反馈控制部2提供的(接收反馈控制部2的)指令值的信息和反馈控制部2(下级反馈控制系统)的控制增益的信息的前馈控制，对指令值进行校正的方法。第二种，利用反馈控制部2(下级反馈控制系统)与控制对象3(机械，例如伺服马达及由该伺服马达驱动的机械要素)的总特性模型的反函数，对指令值进行校正的方法。
就上述第二方法而言，只要反馈控制部2(下级反馈控制系统)与控制对象3(机械)的总特性模型的精度良好，就能够实现相较于上述第一方法高的追随性能。但是，上述第二方法的上述特性模型的模型误差的影响直接导致追随性能变差。即，上述第二方法在上述特性模型的精度差的情况下，反而有时降低追随性能。
与之相对，利用反馈控制部2(下级反馈控制系统)所利用的反馈信息对提供给反馈控制部2(下级反馈控制系统)的(反馈控制部2接收的)指令值进行校正的指令值校正装置1与上述第一方法及上述第二方法相比，实现以下的特异的效果：指令值校正装置1即使在利用反馈控制部2(下级反馈控制系统)与控制对象3(机械)的总特性模型的情况下，也能够吸收该特性模型的模型误差的影响。因此，指令值校正装置1能够缓和模型误差的影响，实现相较于现有方法高的追随性能。
在至此利用图2A进行说明的控制系统1000中，控制对象3的输出即控制量由控制对象3所附带的控制量检测装置(例如马达编码器)检测，并将其从该控制量检测装置作为反馈信息提供给指令值校正装置1及反馈控制部2。需要说明的是，控制对象3的控制量例如也可以通过外部标尺(スケール)来检测，并将其从该外部标尺作为反馈信息提供给指令值校正装置1及反馈控制部2。另外，反馈控制部2可以将由附带控制量检测装置(例如马达编码器)取得的控制对象3的控制量作为反馈信息利用，指令值校正装置1也可以将由外部标尺取得的控制对象3的控制量作为反馈信息利用。即，指令值校正装置1及反馈控制部2各自作为反馈信息利用的控制对象3的控制量的检测装置，也可以将控制对象3所附带的控制量检测装置和外部标尺组合而成，其中控制量的检测装置作为取得来源。
同样，利用图2B、图3、及图4后述的控制系统1100、1200、1300、及1400中，指令值校正装置1及反馈控制部2作为反馈信息利用的控制对象3的控制量，可以是由附带控制量检测装置(例如马达编码器)取得的信息，或者也可以是由外部标尺取得的信息。另外，反馈控制部2可以将由附带控制量检测装置取得的控制对象3的控制量作为反馈信息利用，指令值校正装置1也可以将由外部标尺取得的控制对象3的控制量作为反馈信息利用。
(指令值校正装置的概要)
利用图2A至此所说明的控制系统1000中所包括的指令值校正装置1为了提高对目标轨道数据的追随性能，利用反馈信息(控制对象3的控制量)，对从目标轨道数据每控制周期生成的基准指令值(控制指令值)进行校正了的指令值(校正后指令值)提供给反馈控制部2。为了容易理解指令值校正装置1，如下说明指令值校正装置1的概要：指令值校正装置1(校正装置)是对反馈控制部2(反馈控制系统)接收的指令值进行校正的装置，该指令值从目标轨道每控制周期生成，该反馈控制部2使控制对象3的控制量追随该指令值，该指令值校正装置1具备：取得控制对象3的本次控制周期中的控制量的控制量取得部12、利用控制量取得部12所取得的上述本次控制周期中的控制量来校正反馈控制部2接收的本次控制周期的指令值的指令值校正部13。
根据上述构成，指令值校正装置1利用上述本次控制周期中的控制量，对提供给反馈控制部2的本次控制周期中的指令值进行校正。因此，指令值校正装置1实现的效果是：由于能够将上述校正后的指令值(校正后指令值)提供给反馈控制部2，所以能够实现包括指令值校正装置1的控制系统(例如控制系统1000、1100、1200、1300、1400及1500)的特别是反馈控制部2的对上述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
(指令值校正装置的详情)
接着，利用图1对以上说明了概要的指令值校正装置1说明其详情。
图1是表示本发明第一实施方式的指令值校正装置1的主要部分结构的框图。如图1所示，指令值校正装置1具备基准指令值取得部11、控制量取得部12、指令值校正部13及校正后指令值输出部14。
基准指令值取得部11取得目标轨道生成部4从目标轨道数据(目标轨道)在每控制周期生成的基准控制指令值。控制量取得部12取得控制对象3的输出即控制量作为反馈信息。指令值校正部13利用控制量取得部12取得的控制量作为反馈信息，对基准指令值取得部11从目标轨道生成部4取得的基准控制指令值进行校正。校正后指令值输出部14将通过指令值校正部13校正了的指令值(校正后指令值)向下级控制器200(反馈控制部2)输出(发送)。
在此，为了容易理解指令值校正装置1，利用以下的事例说明指令值校正装置1执行的指令值的校正处理。需要说明的是，以下的事例终究只不过是用于容易理解的一例。对于指令值校正装置1而言，从一个目标轨道生成多个指令值不是必须的，另外，由一个目标轨道生成的多个指令值各自的控制周期也不是必须相同。例如，也可以从一个目标轨道生成各自的控制周期为4毫秒～8毫秒的多个指令值。
(指令值的校正处理的例子)
例如，从一个周期为1秒的目标轨道生成的一个控制周期为5毫秒的指令值(基准指令值)被基准指令值取得部11取得。即，基准指令值取得部11取得连续的200个指令值。
指令值校正装置1的校正后指令值输出部14在将连续的200个指令值中的第n个(例如第100个)指令值(即第n个控制周期的指令值)向下级控制器200(反馈控制部2)输出时，执行以下的处理：下级控制器200根据第n个控制周期的指令值控制控制对象3的驱动。
在此，根据第n个校正后指令值控制的控制对象的输出即控制量被作为第n+1个控制量用于对第n+1个指令值的校正。即，根据第n个基准指令值和第n个控制量计算第n个校正后指令值并将其输出，但此时的第n个控制量根据由其以前的(即第n-1个以前的)校正后指令值驱动的控制对象3(机械)的状态来确定。
即，根据第n-1个以前的控制周期的校正后指令值控制的控制对象3的输出即“第n个控制周期的控制量”被指令值校正装置1的控制量取得部12(及反馈控制部2)作为“第n个控制周期的反馈信息”取得。如上所述，指令值校正装置1在每一个控制周期取得控制对象3的控制量，并基于所取得的控制量校正基准指令值，且将其向反馈控制部2(下级控制器200)输出。
(包括指令值校正装置的控制系统的例示)
如图2A所示，至此所说明的指令值校正装置1包括在不同于包括反馈控制部2的下级控制器200的上级控制器100中。但是，包括指令值校正装置1的控制系统不一定构成为图2A所示的控制系统1000的那种结构。以下，作为包括指令值校正装置1的控制系统的例子，利用图2B、图3及图4对控制系统1000以外的结构进行说明。包括指令值校正装置1的控制系统中，指令值校正装置1位于反馈控制部2的上级，只要能够从反馈控制部2取得控制驱动的控制对象3的控制量作为反馈信息即可。
图2B是表示包括指令值校正装置1、反馈控制部2及目标轨道生成部4的控制器110控制控制对象3的驱动的控制系统1100的概要的图。控制系统1100中的指令值校正装置1、反馈控制部2及目标轨道生成部4分别与图2A的控制系统1000中的指令值校正装置1、反馈控制部2及目标轨道生成部4相同。控制系统1100是在一个控制器(即控制器110)的内部执行所有的控制处理(即，指令值校正装置1进行的利用反馈信息的指令值的校正、基于反馈控制部2进行的反馈处理)的结构。
图3是表示包括指令值校正装置1的控制系统1200及控制系统1300的概要的图。图3A是表示控制系统1200的概要的图，控制系统1200包括：包括作为反馈控制系统的位置-速度控制部21的下级控制器即伺服驱动器220、对伺服驱动器220提供指令值的上级控制器即控制器120(例如可编程序逻辑控制器(PLC、Programmable Logic Controller))、控制对象3(机械，例如伺服马达及由该伺服马达驱动的机械要素)。
控制器120与上级控制器100同样地将用于控制对象3的驱动控制的指令值(指令位置)发送给伺服驱动器220，进行伺服驱动器220的控制。控制器120包括目标轨道生成部4和指令值校正装置1。控制器120中的目标轨道生成部4和指令值校正装置1分别与上级控制器100中的指令值校正装置1和目标轨道生成部4相同。即，指令值校正装置1利用控制对象3的输出即控制量(检测位置、即反馈位置)作为反馈信息，对目标轨道生成部4所生成的基准控制指令值即指令位置(基准指令位置)进行校正，并将校正后的指令值(校正后指令位置)输出。
伺服驱动器220从控制器120接收指令值(指令位置)，特别是接收指令值校正装置1利用控制对象3的控制量所校正的校正后指令位置，基于所接收的校正后指令位置对控制对象3进行控制。伺服驱动器220包括对控制对象3进行反馈控制的位置-速度控制部21。
位置-速度控制部21是进行P-PI控制的反馈控制系统，控制对控制对象3提供的操作量，以使作为控制对象3的输出的控制量即检测位置(反馈位置)追随由控制器120(指令值校正装置1)取得的校正后的指令值(校正后指令位置)。位置-速度控制部21取得控制对象3的检测位置及检测速度作为反馈信息(反馈位置及反馈速度)。位置-速度控制部21基于所取得的反馈位置及反馈速度(控制对象3的检测位置及检测速度)和上述校正后指令位置之差(偏差)，控制上述操作量。
如以上所说明那样，在控制系统1200中，接收到通过指令值校正装置1校正了的校正后的指令值(校正后指令位置)的反馈控制系统是以控制对象3(例如伺服马达及由该伺服马达驱动的機械要素)为控制对象的伺服驱动器220。
根据上述的构成，指令值校正装置1(校正装置)利用上述本次控制周期中的控制量，对提供给伺服驱动器220的本次控制周期中的指令值进行校正。因此，指令值校正装置1实现的效果是：由于能够对伺服驱动器220提供上述校正后的指令值，所以能够实现包括指令值校正装置1的控制系统1200对上述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
图3B是表示控制系统1300的概要的图，该控制系统1300包括：包括作为反馈控制系统的位置-速度控制部21的伺服驱动器230、对伺服驱动器230提供指令值的控制器130(例如可编程序逻辑控制器(PLC、Programmable Logic Controller))、控制对象3(机械，例如伺服马达及由该伺服马达驱动的机械要素)。控制系统1300的伺服驱动器230由于与控制系统1200的伺服驱动器220相同，所以省略详情。
控制器130在控制系统1200的控制器120的结构的基础上，还具备学习控制部5。除学习控制部5以外，控制器130所具备的结构与控制器120所具备的结构相同，所以省略详情。
学习控制部5根据基于上次控制结构(反馈信息)算出的偏差数据，计算出在下次的控制中利用的针对指令值的校正量。
需要说明的是，通常，上述偏差数据是作为基准指令值和作为反馈信息的控制量之差，由控制器130计算的。即，控制器130可以不直接将上述偏差数据作为反馈信息取得。
另外，学习控制部5在执行了规定次数的学习后，以该规定的次数停止学习，之后，利用直到该规定次数求出的校正量。即，如图3B所示，在学习控制部5之前设置开关，学习控制部5在上述规定次数之后不取得上次控制结果(反馈信息)。
在此，学习控制部5利用反馈信息，但其是为了下次的控制而利用的，不实时利用。
例如，从一个周期为1秒的目标轨道生成的一个控制周期为5毫秒的指令值(基准指令值)被基准指令值取得部11取得。即，基准指令值取得部11取得连续的200个指令值。
指令值校正装置1在将上述连续的200个指令值的组(一个周期为1秒的目标轨道)输出到下级控制器200(反馈控制部2)时，执行以下的处理：下级控制器200根据上述连续的200个指令值的组，来控制控制对象3的驱动。而且，根据上述连续的200个指令值的组被控制的控制对象3的输出即“一周期量的控制量(即与上述目标轨道相对应的制对象3的控制量)”由指令值校正装置1的控制量取得部12取得。
学习控制部5利用控制量取得部12所取得的与上述目标轨道相对应的“一周期量的(即与连续的200个指令值的组相对应)控制量”，对与上述目标轨道相同内容的从下次的目标轨道生成的指令值的组进行校正。即，学习控制部5利用与“本次的目标轨道”整体相对应的控制对象3的控制量整体(一周期量的控制量)，对与“本次的目标轨道”相同内容的下次的目标轨道生成的指令值的组(一周期量即连续的200个指令值的组)进行校正。
例如，学习控制部5在控制开始之前一并执行200个校正量的计算。但是，作为上级控制器的控制器130不一定将上述200个数据作为一组向下级控制器200一并传送。另外，上述200个控制量也不一定由作为上级控制器的控制器130一并取得。通常，在与不含学习控制部5的情况同样地，作为上级控制器的控制器130在控制器130的每个控制周期输出校正后指令值(即，从预先计算出的上述200个校正量一个一个地取出校正量，将其与基准指令值相加后输出)，且取得控制量(即，为了下次用的校正量计算，存储上述200个)。
此外，图3B所示的学习控制部5例如不执行指令值的校正自身，而进行用于指令值的校正的校正量的计算。由学习控制部5算出的校正量通过校正量的加算器等(未图示)被应用在基于指令值校正装置1进行的指令值的校正。
即，在控制系统1300的控制器130(指令值校正装置1)中，控制量取得部12进一步取得与上述目标轨道相对应的控制对象3的控制量，控制器130(指令值校正装置1)还具备学习控制部5，其输出指令值的校正量，该指令值的校正量是利用控制量取得部12所取得的与上述目标轨道相对应的控制对象3的控制量，对从与上述目标轨道相同的下次的目标轨道每控制周期生成的指令值进行校正的校正量。
根据上述的构成，控制器130(指令值校正装置1)通过学习控制部5输出利用与上述目标轨道相对应的上述控制量，对从与上述目标轨道相同的下次的目标轨道生成的上述指令值进行校正的校正量。因此，控制器130(指令值校正装置1)实现下述效果：由于能够将通过指令值校正部13及学习控制部5分别校正了的指令值提供给反馈控制部2，所以能够实现包括指令值校正装置1的控制系统1300对上述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
图4是表示包括指令值校正装置1的控制系统1400的概要的图。控制系统1400包括：与控制系统1000的上级控制器100相同的结构的上级控制器140、多个下级控制器200(1)～200(n)、通过多个下级控制器200(1)～200(n)中的每一个下级控制器驱动的多个控制对象3(1)～3(n)。需要说明的是，图4表示“n＝3”的情况的例子。多个下级控制器200(1)～200(n)的结构分别与控制系统1000的下级控制器200的结构相同，多个控制对象3(1)～3(n)的结构分别与控制系统1000的控制对象3的结构相同，因此省略详情。
在图4所例示的控制系统1400中，上级控制器140的控制量取得部12取得多个下级控制器200(1)～200(n)(即多个反馈控制系统)各自的控制对象即控制对象3(1)～3(n)的本次控制周期中的控制量，指令值校正部13利用控制对象3(1)～3(n)各自的本次控制周期中的控制量，对多个下级控制器200(1)～200(n)各自所接收的本次控制周期的指令值进行校正。
根据上述的构成，指令值校正装置1利用控制对象3(1)～3(n)各自在上述本次控制周期中的控制量，校正对多个下级控制器200(1)～200(n)分别提供的本次控制周期中的指令值。因此，指令值校正装置1实现下述效果：由于将上述校正后的指令值提供给多个下级控制器200(1)～200(n)中的每一个下级控制器，所以能够实现包括指令值校正装置1及多个下级控制器200(1)～200(n)中的每一个下级控制器的控制系统1400对上述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
需要说明的是，将控制对象3(k)的控制量不一定仅用于第k个回路的指令值的校正。例如，在多个控制回路之间存在干扰的情况(例如第k个回路和第k+1个回路之间存在干扰的情况)下，指令值校正装置1通过将控制对象3(k)的控制量也应用于其它回路的(例如第k+1个回路的)校正，能够期待进一步提高校正的效果。
(本发明一方面的指令值校正装置执行的处理)
说明了以上结构的详情等的指令值校正装置1执行的处理流程整理如下：一种指令值校正装置1(校正装置)的控制方法，该指令值校正装置1对由反馈控制系统(反馈控制部2、位置-速度控制部21)接收的指定值进行校正，该指令值从目标轨道每控制周期生成，该反馈控制系统使控制对象3的控制量追随该指令值，该校正装置的控制方法包括：控制量取得步骤，其中取得控制对象3的本次控制周期的控制量；指令值校正步骤，其中利用在上述控制量取得步骤取得的上述本次控制周期的控制量，来校正上述反馈控制系统接收的本次控制周期种的指令值。
根据上述的构成，指令值校正装置1的控制方法利用上述本次控制周期中的控制量，对提供给上述反馈控制系统的本次控制周期的指令值进行校正。因此，指令值校正装置1的控制方法实现下述效果：由于能够将上述校正后的指令值提供给上述反馈控制系统，所以能够实现上述反馈控制系统对上述目标轨道的追随性能的进一步的提高。
(关于指令值校正装置执行的处理的补充)
通常，上级控制器(例如上级控制器100、控制器120、控制器130、及上级控制器140。特别是指令值校正装置1)的控制周期比下级控制器(例如下级控制器200、伺服驱动器220、伺服驱动器230、多个下级控制器200(1)～200(n))的控制周期长。另外，为了在上述上级控制器的控制回路内追加通信等，所以上述上级控制器的控制动作相较于上述下级控制器的控制动作相对延迟。
具体而言，指令值校正装置1的控制周期(表示指令值的运算周期的时间间隔)比上述下级控制器(即反馈控制部2及位置-速度控制部21)的控制周期长。指令值校正装置1的控制动作相较于上述下级控制器的控制动作相对延迟。
因此，指令值校正装置1的控制方法(指令值的校正方法)优选为具备模型预测控制之类的预测机构的控制方式。在后述的本发明第二实施方式中，作为本发明一方面的指令值校正装置的控制方法(指令值的校正方法)，对具备模型预测控制之类的预测机构的控制方式进行说明。
需要说明的是，指令值校正装置1的控制方法不限于此。指令值校正装置1的控制方法也可以是例如状態反馈控制、内部模型控制等其它控制方式。
此外，关于指令值校正装置1的控制方法，利用基于模型的控制(模型预测控制等)对下级的反馈控制的指令值进行校正的方法与利用基于模型的控制直接计算操作量的方法相比，在以下方面具有优势。
即，基于模型的控制与PID控制等相比，运算负荷大，因此，与控制周期的高速化存在折衷的关系。在此，如果控制周期为低速，则产生对外扰的应对延迟等缺点。
另一方面，通过现有的简单的控制方式(PID控制等)，将高速控制周期的反馈控制回路例如作为下级的结构维持的状态下，将低速控制周期的基于模型的反馈控制配置于上级，并利用于进行下级的反馈控制回路接收的指令值的校正，由此，确保控制精度折衷组合是有效的。具体而言，在维持着现有的控制周期为高速且简单的控制方式的反馈控制系统即反馈控制部2及位置-速度控制部21的控制回路的状态下，进行低速控制周期的基于模型的反馈控制的指令值校正装置1配置于反馈控制部2及位置-速度控制部21的上级。指令值校正装置1通过低速控制周期的基于模型的反馈控制，对反馈控制部2及位置-速度控制部21接收的指令值进行校正，由此，能够提高对目标轨道的追随性，确保控制精度。
〔第二实施方式〕
以下，基于图5～图10说明本发明的其它实施方式。为了确保记载的简洁，仅对与第一实施方式不同的结构(处理的程序及处理的内容)进行说明。即，第一实施方式中记载的结构等均包括在本实施方式中。另外，第一实施方式中记载的术语的定义也相同。
为了便于理解本发明一方面的指令值校正装置7(对反馈控制系统接收的指令值进行校正的校正装置)，首先，利用图6说明包括指令值校正装置7的控制系统1500的概要。
图6是表示包括指令值校正装置7的控制系统1500的概要的图。图6示例的控制系统1500与图3A所示的控制系统1200大致相同。即，控制系统1500包括：包括作为反馈控制系统的位置-速度控制部21的下级控制器即伺服驱动器250、对伺服驱动器250提供指令值的上级控制器即控制器150(例如可编程序逻辑控制器(PLC、Programmable LogicController))、控制对象3(机械，例如伺服马达及由该伺服马达驱动的机械要素)。控制系统1500的伺服驱动器250及控制对象3分别与控制系统1200的伺服驱动器220及控制对象3相同，所以省略详情。
控制器150与控制系统1200的控制器120同样地，具备目标轨道生成部4，另外，包括指令值校正装置7来代替控制器120的指令值校正装置1。
(第二实施方式的指令值校正装置的概要)
将本发明第二实施方式的指令值校正装置7(校正装置)的概要预先说明如下：指令值校正装置7的指令值校正部13通过利用反馈控制部2和控制对象3的模型的模型预测控制，利用本次控制周期中的控制量进行本次控制周期的指令值的校正。
根据上述的构成，指令值校正装置7的指令值校正部13利用利用反馈控制系统即伺服驱动器250与控制对象3的模型的模型预测控制和上述本次控制周期中的控制量，校正上述本次控制周期的指令值。因此，指令值校正装置7可以利用上述模型并通过模型预测控制，来进行上述本次控制周期的指令值的校正。其结果实现下述效果：因配置于上级控制器的反馈控制回路而产生的延迟的影响利用模型预测控制抑制，能够提高追随性能。
指令值校正部13通过模型预测控制对上述本次控制周期的指令值进行校正，其中，模型预测控制将在述本次控制周期中的控制量用作输入，利用上述反馈控制系统(伺服驱动器250)和控制对象3的模型。因此，指令值校正装置7(校正装置)能够利用上述模型且通过模型预测控制，来进行上述本次控制周期的指令值的校正。由此，实现下述效果：能够减轻因通过由指令值校正部13构成相较于上述反馈控制系统的控制回路延迟相对较大的控制回路而产生的对控制稳定性产生的坏影响。
(指令值校正装置的详情)
接着，参照图5对以上说明了概要的指令值校正装置7说明其详情。
图5是表示指令值校正装置7的主要部分结构的框图。如图5所示，指令值校正装置7与指令值校正装置1同样地，具备基准指令值取得部11、控制量取得部12、指令值校正部13、校正后指令值输出部14，而且指令值校正部13包括模型预测控制部131。模型预测控制部131通过模型预测控制(MPC：Model Predictive Control)，将控制对象3的本次控制周期中的控制量用作反馈信息，对反馈控制部2接收的本次控制周期的指令值进行校正(控制)。
在此，MPC基于控制对象的内部模型来预测未来的输出的变化、即控制对象3的输出(＝控制量)的变化，并以使输出和目标值尽可能接近的方式确定输入。即，MPC利用将控制对象的举动模型化而成的内部模型来预测未来的状态，并以尽可能接近目标值的方式确定操作量。以下，参照图7～图10说明模型预测控制部131的处理的详情。
(模型预测控制的详情)
图7是用于说明模型预测控制的算法的基本概念的图。
模型预测控制部131利用伺服驱动器250(下级反馈控制部)和控制对象3(机械，例如伺服马达及由该伺服马达驱动的机械要素)的总特性模型(内部)。在此，模型预测控制部131所利用的“伺服驱动器250和控制对象3的总特性”可以由如下所示的离散时间传递函数表示。
【式1】
其中，
u：输入
y：输出(预测值)
d，a1-aN，b1-bM：特性参数。
需要说明的是，将上述模型也称作脉冲传递函数。
如图7所示，模型预测控制部131在当前时刻n测定控制量PV(n)，计算以当前时刻的控制量PV(n)为起点逐渐接近设定值SP的虚线所示的参照轨道。在此，为了方便，控制时域(horizon)Hu为1。
接着，利用内部模型，以预测时域(horizon)H后的控制量PV的预测值PV(n+H)与参照轨道一致的方式确定当前时刻n的操作量MV(n)。
将得到的操作量MV(n)实际加入下级控制器的反馈控制系统(本实施方式中为伺服驱动器250)，保持该值直至下一控制周期(采样时刻)n+1。
如果在时刻n+1测定控制量PV(n+1)，则再次将时刻t+1看作当前时刻，以未来的预测值与参照轨道在预测时域H后一致的方式确定操作量，将该操作量加入下级控制器的反馈控制系统(本实施方式中为伺服驱动器250)，直至下一控制周期(采样时刻)为止。以下重复该步骤。
接着，对本实施方式的模型预测控制部131的预测控制进行详细说明。
模型预测控制部131如上所述那样利用内部模型进行预测控制，本实施方式中，内部模型为在控制周期(采样时间)离散化了的由下式表示的N次的ARX模型。需要说明的是，控制对象的模型不一定是ARX模型，也可以利用阶跃响应模型及其它模型作为控制对象的模型。
【式2】
Y(n)＝-a1 *Y(n-1)-a2 *Y(n-2)-…-aN *Y(n-N)
+b1 *U(n-1)+b2 *U(n-2)+…+bM *U(n-M)
其中，
Y(n)：时刻n的内部模型输出值；
U(n)：时刻n的操作量；
a1～aN，b1～bM：内部模型的系数；
N，M：内部模型次数。
需要说明的是，上述模型中也可以包含浪费时间，但在本实施方式中，浪费时间从内部模型被除去，如后述那样作为其他处理。
该ARX模型的确定例如通过预先测量操作量MV及控制量PV的时间序列数据并利用最小二乘法等进行，上述时间序列数据为对下级控制器的反馈控制系统(本实施方式中为伺服驱动器250)及控制对象3输入输出的时间序列数据。
在本实施方式中，作为图7中用虚线所示的参照轨道，利用通过时间常数Tr使当前时刻n的偏差接近0的轨道。
即，预测时域H后的参照轨道上的目标值R(n+H)可以用下式求出。
R(n+H)＝SP(n+H)-λH＊{SP(n)-PV(n)}，
λ＝exp(-Tc/Tr)
其中，
PV(n)：时刻n的控制量；
SP(n)，SP(n+H)：时刻n，n+H的目标值；
R(n+H)：预测时域H前的参照轨道上的目标值；
Tc：控制周期(采样时间)。
因此，从当前时刻n的控制量PV(n)的增量、即预测时域H后，使控制量PV与参照轨道上的目标值R(n+H)一致所需的控制量PV的增量(偏差)为：
ΔP(n+H)＝ΔP(n+H)＝SP(n+H)-λH＊{SP(n)-PV(n)}
-PV(n)
＝(1-λH){SP(n)-PV(n)}+SP(n+H)-SP(n)。
接着，说明操作量MV的计算。
在线形的控制对象的情况下，模型输出的举动可以通过下面的两个加法求出。
(1)自由响应
以当前的状态为初始值，通过利用上述的ARX模型的式重复计算而求出未来的操作量MV为持续0的情况下的预测时域H后的模型输出Yf(n+H)。
【式3】
Yf(n+1)＝-a1 *Y(n)-a2 *Y(n-1)-…-aN *Y(n-N+1)
Yf(n+2)＝-a1 *Yf(n+1)-a2 *Y(n)-…-aN *Y(n-N+2)
…··
Yf(n+H)＝-a1 *Yf(n+H-1)-a2 *Yf(n+H-2)-…-aN *Y(n-N+H)
(2)以阶跃响应初期状态为0，求出MV＝1(100％)的阶跃响应中的时刻H的模型输出S(H)。
【式4】
S(1)＝b1
S(2)＝-a1 *S(1)+(b1+b2)
…··
S(H)＝-a1 *S(H-1)-a2 *S(H-2)-…-aN *S(H-N)+(b1+b2+…+bM)
在不是MV＝1(100％)而通常为MV(n)时，时刻H的阶跃响应输出成为MV(n)＊S(H)。
其中，
MV(n)：时刻n的操作量；
Yf(n+H)：预测时域H后的模型的自由响应输出；
S(H)：时刻H的模型的阶跃响应输出。
从前项，时刻n以后，继续操作量MV(n)的情况下，时刻n+H时间点的模型输出(控制量的预测值)为下式。
Y(n+H)＝Yf(n+H)+MV(n)＊S(H)
从Y(n)的增量、即预测时域H后所期待的模型输出的增量ΔM(n+H)为：
ΔM(n+H)＝Yf(n+H)+MV(n)＊S(H)-Y(n)。
只要以预测时域H后所期待的模型输出的增量ΔM(n+H)与用于使控制量PV在预测时域H后成为参照轨道上的目标值的上述控制量PV的增量ΔP(n+H)相等的方式求出操作量MV即可。
即，只要求出ΔM(n+H)＝ΔP(n+H)的操作量MV即可。
由ΔM(n+H)＝ΔP(n+H)
对Yf(n+H)+MV(n)＊S(H)-Y(n)＝(1-λH){SP(n)-PV(n)}+SP(n+H)-SP(n)MV(n)求解为，
MV(n)＝[(1-λH){SP(n)-PV(n)}+SP(n+H)-SP(n)-Yf(n+H)+Y(n)]/S(H)
本实施方式中，如上所述，由于浪费时间不包含在内部模型内，所以需要将前项的MV的计算式修正为考虑到浪费时间d的计算式。
因此，在本实施方式中，对于实际的处理数据，利用时刻n+d的数据来代替时刻n。
MV(n)＝[(1-λH){SP(n+d)-PV(n+d)}+SP(n+H
+d)-SP(n+d)-Yf(n+H)+Y(n)]/S(H)
在此，需要PV(n+d)的预测值，作为合理的近似，通常以如下的计算式求出。
PV(n+d)＝PV(n)+Y(n)-Y(n-d)
需要说明的是，在计算了时刻n的操作量MV(n)后，为了进行下次计算，求出下次的模型输出Y(n+1)。
【式5】
Y(n+1)＝-a1 *Y(n)-a2 *Y(n-1)-…-aN *Y(n-N+1)
+b1 *MV(n)+b2 *MV(n-1)+…+bM *MV(n-M+1)
其中，MV(n)利用操作量上限处理后的值。
需要说明的是，至上述为止所示的控制算法为了容易理解模型预测控制且简化说明，只推测目标值(＝指令值)的变化为阶跃状的情况。在参照图8～图10后述的追随性能的比较中，也包括指令值的斜坡状变化，是利用了模型预测控制部131也能够对应于斜坡状变化的控制算法的情况下的控制结果。另外，为了提高追随性，模型预测控制部131不利用参照轨道(参照轨道时间常数Tr＝0的意思)。
(模型预测控制的一例)
参照图8～图10说明执行以上说明了详情的模型预测控制的模型预测控制部131的效果。需要说明的是，在图8～图10所示的例子中，作为模型预测控制部131所利用的模型(表示伺服驱动器250和控制对象3的总特性的模型)，利用4次的传递函数模型。通常，模型预测控制部131进行的指令值的校正的效果(追随性能的提高率)依赖于模型预测控制部131所利用的模型的模型精度，通常模型次数提高至一定程度为止次数越高精度越高。
图8是表示成为利用指令值校正装置7校正的指令值的基础的目标轨道一例的图。即，以下，关于以XY工作台进行图8所示那样对菱形轨道(目标轨道)的追随控制的情况下的X轴控制，比较将指令值校正装置7和现有技术(利用前馈控制校正指令值的情况、未进行指令值的校正的情况)的追随性能。图8所示的目标轨道为从坐标(0，0)顺时针旋转一周的轨道，是由直线和圆弧的组合构成的轨道。
图9是对于利用指令值校正装置7校正的指令值、利用前馈控制校正的指令值、未进行校正的指令值，表示位置偏差及转矩的轨迹的图。图9中，实线表示指令位置，即表示作为基准指令值的基准指令位置。另外，虚线表示FB位置(反馈位置)。进而，点划线表示向伺服的指令位置，即对伺服驱动器250提供的指令位置。图9中，从纸面左侧起，依次表示对未进行校正值的指令的情况、利用前馈控制校正指令值的情况、利用指令值校正装置7校正指令值的情况的各个情况测量出的各种轨迹。上述测量出的各种轨迹从纸面上侧起，表示指令位置(基准指令位置、FB位置、向伺服的指令位置)、位置偏差、转矩。
关于图9所示的位置偏差未进行校正值的指令的情况下，位置偏差大幅偏离“0”，与之相对，在利用前馈控制校正指令值的情况下，位置偏差从“0”的偏离小。而且，在利用指令值校正装置7校正指令值的情况下，位置偏差为“0”。
关于图9所示的转矩，与未进行校正值的指令的情况相比，利用前馈控制校正指令值的情况的转矩的变动大。利用指令值校正装置7校正指令值的情况表示的是与未进行校正值的指令的情况相同的转矩的变动。
图9中，在指令值从下降转为上升的时机使转矩增加。在此，如图9所示，按照未进行校正值的指令的情况、利用前馈控制校正指令值的情况、利用指令值校正装置7校正指令值的情况的顺序，转矩增加的时机提前。这与校正后指令值从下降转为上升的时间提前相对应。即，由于指令值校正装置7具备作为预测机构的模型预测控制部131，所以指令值校正装置7可以对校正后指令值适宜确定从下降转为上升的时机，因此，可以适宜确定使转矩增加的时机。
图10是图9所示的轨迹的放大图，关于图10所示的位置偏差，表示的是，按照未进行校正值的指令的情况、利用前馈控制校正指令值的情况、利用指令值校正装置7校正指令值的情况的顺序，位置偏差从“0”的偏离小的情况。另外，关于图10所示的转矩，与未进行校正值的指令的情况相比，利用前馈控制校正指令值的情况的扭矩的变动大，利用指令值校正装置7校正指令值的情况表示的是与未进行校正值的指令的情况相同的扭矩的变动。
在此，利用前馈控制的校正基于指令值的微分值(即变动率)进行。因此，利用前馈控制的校正能够在指令值直线变化的区间实现顺畅的控制，但在从下降转为上升的情况下，成为急剧修正校正量的形式，因此，波形稍微浮动。
与之相对，基于MPC进行的校正(利用有指令值校正装置7的校正)利用内部模型和不久后的指令值预测未来的控制量。因此，利用指令值校正装置7的校正不会急速修正校正量，即能够没有无用的移动的情况下进行校正。
〔基于软件的实现例〕
指令值校正装置1及指令值校正装置7的控制块(特别是基准指令值取得部11、控制量取得部12、指令值校正部13、校正后指令值输出部14及模型预测控制部131)可以通过形成于集成电路(IC芯片)等的逻辑电路(硬件)实现，也可以利用CPU(Central ProcessingUnit)通过软件实现。
在后者的情况下，指令值校正装置1及指令值校正装置7具备执行实现各功能的软件即程序的命令的CPU、由计算机(或CPU)可读取地记录有上述程序及各种数据的ROM(ReadOnly Memory)或记录装置(将它们称为“记录介质”)、展开上述程序的RAM(Random AccessMemory)等。而且，通过计算机(或CPU)从上述记录介质读取并执行上述程序，实现本发明的目的。作为上述记录介质，可利用“非暂时性的有形介质”，例如磁带、盘、卡、半导体存储器、可编程的逻辑电路等。另外，上述程序也可以经由可传输该程序的任意的传输介质(通信网络或广播等)向上述计算机供给。此外，本发明也可以以上述程序通过电子传输而实现的包在输送波中的数据信号的方式实现。
本发明不限于上述的各实施方式，在权利要求书所示的范围内可以进行各种变更，将不同的实施方式中分别公开的技术方案适宜组合而得到的实施方式也包括在本发明的技术范围内。

Claims (8)

1.一种校正装置，对反馈控制系统接收的指令值进行校正，该指令值从目标轨道每控制周期生成，该反馈控制系统使控制对象的控制量追随该指令值，所述校正装置的特征在于，具备：
控制量取得部，取得所述控制对象的本次控制周期中的控制量；
指令值校正部，利用所述控制量取得部所取得的所述本次控制周期中的控制量，来校正所述反馈控制系统接收的本次控制周期的指令值。
2.根据权利要求1所述的校正装置，其特征在于，
所述指令值校正部通过利用所述反馈控制系统和所述控制对象的模型的模型预测控制，利用所述本次控制周期中的控制量，进行所述本次控制周期的指令值的校正。
3.根据权利要求1或2所述的校正装置，其特征在于，
所述反馈控制系统是以伺服马达为控制对象的伺服驱动器。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的校正装置，其特征在于，
所述控制量取得部进一步取得与所述目标轨道相对应的所述控制对象的控制量，
所述校正装置还具备输出指令值的校正量的学习控制部，所述指令值的校正量是利用所述控制量取得部所取得的与所述目标轨道相对应的所述控制对象的控制量，对从与所述目标轨道相同的下次的目标轨道每控制周期生成的指令值进行校正的量。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的校正装置，其特征在于，
所述控制量取得部取得多个反馈控制系统各自的控制对象的本次控制周期中的控制量，
所述指令值校正部利用所述多个反馈控制系统各自的控制对象的本次控制周期中的控制量，对由所述多个反馈控制系统各自接收的本次控制周期的指令值进行校正。
6.一种校正装置的控制方法，所述校正装置对反馈控制系统接收的指令值进行校正，该指令值从目标轨道每控制周期生成，该反馈控制系统使控制对象的控制量追随该指令值，所述控制方法的特征在于，包括：
控制量取得步骤，取得所述控制对象的本次控制周期中的控制量；
指令值校正步骤，利用所述控制量取得步骤所取得的所述本次控制周期中的控制量，来校正所述反馈控制系统接收的本次控制周期的指令值。
7.一种信息处理程序，用于使计算机作为权利要求1～5中任一项所述的校正装置发挥作用，其中，所述信息处理程序用于使计算机作为各部发挥作用。
8.一种计算机可读记录介质，其中，记录有权利要求7所述的信息处理程序。
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