CN105706544A - 对基板作业装置及喷出头 - Google Patents

Abstract

在元件装配装置(100)中，喷出头(220)具备阀机构(90)，阀机构(90)能够在经由收容室(71)推压喷出口(14a)的粘接剂使其喷出的第一切换状态和不使粘接剂喷出的第二切换状态、及喷出口(14a)经由收容室(71)与大气连通的第三切换状态之间切换。并且，当圆筒齿轮(72)被输入来自头保持体的操作时，基于所输入的操作，切换部(73)切换阀机构(90)。另外，在吸附头的操作和喷出头(220)的圆筒齿轮(72)的操作中共用头保持体的离合器部件。另外，头保持体的离合器部件能够操作使吸附头的吸附嘴进行轴旋转的机构。另外，圆筒齿轮(72)在喷出头(220)保持于头保持体时的与头保持体的连接面上露出。

Description

对基板作业装置及喷出头

技术领域

本发明涉及对基板作业装置及喷出头。

背景技术

以往，已知在基板上进行粘性流体的涂布和元件的装配的对基板作业装置。例如，在专利文献1中，记载了一种电子元件保持装置，具备：喷出粘性流体的点胶头(喷出头)；吸附并保持元件的喷嘴头；及对点胶头及喷嘴头择一地进行保持的头保持体。在该电子元件保持装置中，在头保持体的内部形成有通路。该通路在头保持体保持有点胶头时与点胶头的流体收容部和喷嘴连通。另外，头保持体的内部的通路连接有切换装置。切换装置向通路择一地供给正压和负压。并且，在头保持体保持有点胶头的状态下切换装置向通路供给正压，由此经由通路向点胶头的液体收容部供给正压，从喷嘴喷出粘性流体。

专利文献1：日本特开2007－73981号公报

发明内容

但是，在专利文献1中，来自切换装置的压力经由头保持体的内部的通路被供给至喷出头。因此，在切换装置进行了动作时等向喷出头供给的压力被切换了时，存在喷出头侧的压力响应滞后的情况。

本发明是鉴于这样的课题而做出的，其主要目的是进一步提高喷出头对压力的切换的应答性。

本发明的对基板作业装置是在基板上涂布粘性流体的对基板作业装置，该对基板作业装置具备：喷出头，具备：粘性流体收容室，收容上述粘性流体；粘性流体喷出口，与上述粘性流体收容室连通；阀机构，能够在经由上述粘性流体收容室推压上述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出上述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于上述操作输入部所输入的操作来切换上述阀机构；及头保持单元，能够保持上述喷出头。

本发明的对基板作业装置具备喷出头和能够保持喷出头的头保持单元。喷出头具备能够在经由粘性流体收容室推压上述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出粘性流体的第二状态之间切换的阀机构。并且，当操作输入部输入来自外部的操作时，基于所输入的操作，切换部切换阀机构。如此，本发明的喷出头能够利用喷出头所具备的阀机构进行使粘性流体喷出或者不使粘性流体喷出的切换、即压力的切换。因此，例如，与在保持喷出头的头保持单元侧存在有阀机构的情况相比，由于阀机构的切换导致压力变化的点至粘性流体喷出口为止的距离减小。由此，能够进一步提高喷出头对压力的切换的响应性。在此，“来自外部的操作”包括机械操作和电气操作。“粘性流体”包括粘接剂、焊料、钎焊材料等。“不使粘性流体喷出”包括不经由粘性流体收容室对粘性流体喷出口施加压力(大气开放)的情况、以及经由粘性流体收容室对粘性流体喷出口施加负压的情况。

在本发明的对基板作业装置中，也可以是，上述头保持单元是对上述喷出头和安装头以能够更换的方式进行保持的单元，并具有对所保持的上述安装头进行操作的操作部，上述安装头能够保持元件及解除对元件的保持，上述操作输入部能够在上述喷出头保持于上述头保持单元的状态下输入来自上述操作部的操作。如此，头保持单元能够使用在安装头的操作中使用的操作部来切换喷出头的阀机构。即，能够在安装头的操作和喷出头的操作中共用头保持单元的操作部。由此，例如，与头保持单元具备在安装头的操作中不使用的喷出头用的操作部的情况相比，能够将头保持单元形成为更简单的结构。另外，能够将以对安装头可更换地进行保持的方式制作出的头保持单元也用于喷出头的保持，而无需设置新的操作部。此外，头保持单元能够保持安装头即可，该情况下的对基板作业装置可以不具备安装头，也可以具备安装头。

该情况下，也可以是，上述头保持单元的上述操作部在上述头保持单元保持有上述安装头的状态下能够对上述安装头所具有的轴旋转机构进行操作，上述轴旋转机构使能够保持上述元件及解除对上述元件的保持的多个元件保持件中的一个以上元件保持件进行轴旋转，上述头保持单元的上述操作部在上述头保持单元保持有上述喷出头的状态下能够对上述操作输入部进行操作。如此，头保持单元能够使用进行安装头的轴旋转机构的操作的操作部来操作喷出头。

在本发明的对基板作业装置中，也可以是，上述操作输入部露出于上述喷出头被保持在上述头保持单元上时与该头保持单元连接的连接面。由于操作输入部在连接面上露出，因此，喷出头被保持于头保持单元时操作输入部与头保持单元接触，由此容易从头保持单元侧对操作输入部进行操作。

在本发明的对基板作业装置中，也可以是，上述喷出头具备：第一开口，在上述喷出头保持于上述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向上述第一开口供给正压；及第二开口，在上述喷出头保持于上述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向上述第二开口供给负压，上述头保持单元具备：第一供给口，在该头保持单元保持有上述喷出头的状态下，上述第一供给口与上述第一开口连通而供给正压；及第二供给口，在该头保持单元保持有上述喷出头的状态下，上述第二供给口与上述第二开口连通而供给负压，上述阀机构能够在上述粘性流体喷出口经由上述粘性流体收容室而与上述第一开口连通且不与上述第二开口连通的上述第一状态和上述粘性流体喷出口经由上述粘性流体收容室而与上述第二开口连通且不与上述第一开口连通的上述第二状态之间切换。如此，通过切换使第一开口和第二开口中的任一开口与粘性流体收容室连通，能够进行压力的切换。

在本发明的对基板作业装置中，也可以是，上述阀机构能够在上述第一状态、上述第二状态及上述粘性流体喷出口经由上述粘性流体收容室而与大气连通的第三状态之间切换。

本发明的喷出头是能够由在基板上涂布粘性流体的对基板作业装置所具备的头保持单元保持并且能够喷出上述粘性流体的喷出头，该喷出头具备：粘性流体收容室，收容上述粘性流体；粘性流体喷出口，与上述粘性流体收容室连通；及阀机构，能够在经由上述粘性流体收容室推压上述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出上述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于上述操作输入部所输入的操作来切换上述阀机构。

本发明的喷出头能够利用喷出头所具备的阀机构进行使粘性流体喷出或者不使粘性流体喷出的切换、即压力的切换。因此，例如，与在保持喷出头的头保持单元侧存在有阀机构的情况相比，由于阀机构的切换导致压力变化的点至粘性流体喷出口为止的距离减小。由此，能够进一步提高喷出头对压力的切换的响应性。此外，在本发明的喷出头中，也可以采用上述的任一对基板作业装置所具备的喷出头的方式。

附图说明

图1是表示元件装配系统1的整体结构的说明图。

图2是头单元110的立体图。

图3是从下方向斜上方观察头保持体21时的立体图。

图4是从上方向斜下方观察吸附头120时的立体图。

图5是第一和第二杆夹持部41、51的周边部分的剖视图。

图6是喷出头220的立体图。

图7是喷出头220的阀机构90的立体图。

图8是表示第一切换状态的情形的说明图。

图9是表示第二切换状态的情形的说明图。

图10是表示第三切换状态的情形的说明图。

具体实施方式

参照附图在下面说明本发明的优选的实施方式。图1是表示元件装配系统1的整体结构的说明图。此外，在本实施方式中，左右方向(X轴)、前后方向(Y轴)及上下方向(Z轴)如图1所示。元件装配系统1具备元件装配装置100以及管理计算机200。

如图1所示，元件装配装置100具备：搭载于基台102上的基板搬运装置104；能够在XY平面上移动的头单元110；可拆装地安装于头单元110的吸附头120；用于收纳各种头的头收纳区域140；供给向基板101装配的元件的元件供给装置150；向头单元110分别供给正压及负压的正压源156及负压源158；以及执行各种控制的控制器160。

基板搬运装置104通过分别安装于前后一对支撑板106、106的传送带108、108(在图1中，仅示出一侧的传送带)从左向右搬运基板101。

头单元110安装于X轴滑动件112，伴随着X轴滑动件112沿着导轨114、114沿左右方向移动而沿左右方向移动，伴随着Y轴滑动件116沿着导轨118、118沿前后方向移动而沿前后方向移动。因此，头单元110能够在XY平面上移动。各滑动件112、116分别由未图示的伺服电动机驱动。

吸附头120可拆装地安装于头单元110。吸附嘴13利用压力将元件吸附于嘴前端，或者释放吸附于嘴前端的元件。吸附嘴13在吸附头120上安装有12个。

头收纳区域140设于基台102的上表面右侧，具有多个用于收纳吸附头120、喷出头220的收纳场所142。在前侧的收纳场所收纳有喷出头220，而后侧的收纳场所142处于空的状态。

喷出头220能够相对于头单元110进行拆装。喷出头220上安装有一个喷嘴14。喷嘴14是从嘴前端的喷出口喷出用于将元件粘接于基板101的粘接剂的装置。

元件供给装置150安装于元件装配装置100的前方。该元件供给装置150具有多个狭槽，供料器152能够插入到各狭槽中。供料器152上安装了卷绕有带的带盘154。元件在沿带的长度方向排列的状态下保持于带的表面。这些元件由覆盖带的表面的膜保护。这样的带通过未图示的带齿卷盘机构向后方被送出，并在膜被剥离而使元件露出的状态下配置于预定位置。预定位置是指吸附嘴13能够吸附该元件的位置。在该预定位置处吸附了元件的吸附嘴13能够将该元件安装于基板101上的所确定的位置上。

正压源156及负压源158例如被构成为压力泵或真空泵，并通过配管与头单元110连接。正源156供给的正压例如用作用于推压喷嘴14的粘接剂使其喷出的压力。负压源158供给的负压例如用作用于将元件吸附于吸附嘴13的压力。另外，负压源158供给的负压用作用于阻止来自喷嘴14的粘接剂的喷出的压力。

除此之外，元件装配装置100具备嘴储存部134等。嘴储存部134是储存多种吸附嘴13和多种喷嘴14的盒子，与元件供给装置150相邻地配置。吸附嘴13被更换为适于装配元件的基板的种类和元件的种类的嘴。喷嘴14被更换为适于要喷出的粘接剂的量(在基板101上涂布的粘接剂的直径)的直径的嘴。

控制器160具备执行各种控制的CPU162、存储控制程序等的ROM164、用作作业区域的RAM166以及存储大容量的数据的HDD168，这些部件通过未图示的总线连接。控制器160与基板搬运装置104、X轴滑动件112、Y轴滑动件116以及头单元110以能够进行信号的交换的方式连接。

管理计算机200是管理基板101的生产任务的计算机，存储操作者创建的生产任务数据。在生产任务数据中，规定了在元件装配装置100中从哪个狭槽位置的供料器将哪个元件按哪种顺序向哪个基板种类的基板101安装、制作多少个以上述方式安装好的基板101等。另外，在生产任务数据中，也规定了为了将所要安装的各元件粘接于基板101而在基板101上的哪个位置上按何种顺序涂布多少量的粘接剂等。管理计算机200与元件装配装置100的控制器160以能够双向通信的方式连接。

在此，对头单元110进行详细说明。图2是将罩部卸下后的状态的头单元110的立体图，具体而言，是相对于头保持体21的R轴22使吸附头120下降后的状态的立体图。图3是从下方向斜上方观察头保持体21时的立体图，图4是从上方向斜下方观察吸附头120时的立体图。

头单元110具备头保持体21和吸附头120。

头保持体21通过未图示的升降机构能够升降地安装于X轴滑动件112(参照图1)。该头保持体21在上部具有环状的两个齿轮、R轴齿轮24以及Q轴齿轮27，在下部具有圆柱状的R轴22。R轴齿轮24及Q轴齿轮27以相互独立地旋转的方式被安装。R轴齿轮24通过R轴电动机25被进行旋转驱动，并与R轴22一体地旋转。Q轴齿轮27通过Q轴电动机28被进行旋转驱动，并与环状的离合器部件61(参照图3)一体地旋转。R轴22具有多个(在此为四个)在下端具有钩部的卡合部件31。钩部的朝向以成为与R轴22进行正转的方向相同的方向进行对齐。这些卡合部件31等间隔地配置于R轴22的下表面的同一圆周上(该圆的中心与R轴22的中心轴一致)。另外，各卡合部件31通过未图示的气缸能够上下运动。在R轴22上，在下端形成有一个正压供给口32a和四个(在图3中，仅图示三个)负压供给口32b。正压供给口32a形成于与R轴22的中心轴一致的位置。负压供给口32b配置在比排列有卡合部件31的圆周靠内侧的位置，并以包围正压供给口32a的方式等间隔地配置于R轴22的下表面的同一圆周上。正压供给口32a及负压供给口32b经由头保持体21内部的压力供给通路分别与正压源156及负压源158连接。头保持体21还具有图5所示的第一和第二杆夹持部41、51，在下面对它们进行叙述。

吸附头120是外观为大致圆柱状的部件，在下方具有多个(在此为12个)吸附嘴13。吸附嘴13与沿上下方向延伸的吸嘴座12一体化。吸嘴座12在上端附近具有嘴操作杆39，被弹簧40向上方施力而定位在预定的固定位置(上方位置)。嘴操作杆39按照操作吸附嘴13的顺序存在有从第一个嘴操作杆39(A)至最后一个(第十二个)嘴操作杆39(L)。该顺序是从图2的上方观察时从第一个嘴操作杆逆时针数到最后一个嘴操作杆的顺序。当嘴操作杆39被压下时，吸嘴座12及吸附嘴13对抗弹簧40的弹力而下降，当嘴操作杆39的压下被解除时，吸嘴座12及吸附嘴13通过弹簧40的弹力向固定位置返回。吸嘴座12与配置成与吸嘴座12成为同轴的小齿轮34啮合。各小齿轮34以成为等间隔的方式配置在同一圆周上(该圆的中心与R轴22的中心轴一致)。圆筒齿轮33配置在比排列有小齿轮34的圆周靠内侧的位置，在侧面具有齿轮，并与各小齿轮34啮合。另外，圆筒齿轮33设计成能够插入R轴22的尺寸。该圆筒齿轮33的上端设有与头保持体21的离合器部件61(参照图3)嵌合的离合器部件62。

另外，吸附头120针对每个吸附嘴13具有对向嘴前端供给负压或者供给大气压进行切换的压力操作杆35。压力操作杆35是不具有复原功能的开关，当定位于上方时，向嘴前端供给负压，当定位于下方时，向嘴前端供给大气压。压力操作杆35也按照操作吸附嘴13的顺序存在有从第一个压力操作杆35(A)至最后一个压力操作杆35(L)。

另外，吸附头120在圆筒齿轮33的内侧具有圆盘状的基部36(参照图4)。基部36与支撑吸嘴座12和小齿轮34的支撑部件一体化，但是不与圆筒齿轮33一体化。因此，圆筒齿轮33能够与基部36独立地旋转。基部36上，圆弧状的卡合孔37形成为能够与R轴22的卡合部件31的钩部卡合。

在此，再次返回到头保持体21的说明。图5是第一和第二杆夹持部41、51的周边部分的剖视图。如图5所示，头保持体21具有的杆夹持部41安装于能够沿设于头保持体21的第一Z轴导轨45在上下方向上移动的第一Z轴滑动件46。此外，第一Z轴滑动件46由未图示的伺服电动机驱动。第一杆夹持部41是通过L字部件的水平部分42和安装于该水平部分42的上侧的辊44从上下夹持嘴操作杆39的部件。辊44以能够旋转的方式支撑于水平轴43。

头保持体21具有第二杆夹持部51。由于压力操作杆35位于比嘴操作杆39靠半径方向外侧的位置的关系，第二杆夹持部51位于比第一杆夹持部41靠半径方向外侧的位置。第二杆夹持部51与第一杆夹持部41同样地，安装于能够沿设于头保持体21的第二Z轴导轨55在上下方向上移动的第二Z轴滑动件56。此外，第二Z轴滑动件56通过未图示的伺服电动机驱动。第二杆夹持部51是通过L字部件的水平部分52和安装于该水平部分52的上侧的辊54从上下夹持压力操作杆35的部件。

接下来，对喷出头220进行说明。图6是喷出头220的立体图。图7是喷出头220的阀机构90的立体图。此外，图6的右上方的图表示从上方观察喷出头220时的情形，以透视的状态图示了切换部73。另外，图6的右下方的图是第一切换部74a的立体图。图7在透视基部80的内部的状态下图示了阀机构90。喷出头220是外观为大致圆柱状的部件，具备：在内部具备收容粘接剂的收容室71的主体部70；具备安装于主体部70的上侧的基部80的阀机构90；安装于基部80的上侧的圆筒齿轮72；以及安装于圆筒齿轮72的外周的切换部73。主体部70呈将圆板状的部件和比圆盘状的部件直径小的圆筒状的部件同轴地连接的形状，并在圆筒状的部件的下部具备一个喷嘴14。在主体部70的下部形成有与收容室71连通的主体下开口70a。喷嘴14在前端具备喷出口14a，并以使主体下开口70a和喷出口14a连通的方式安装于主体部70。

圆筒齿轮72为与吸附头120的圆筒齿轮33同样的部件。圆筒齿轮72设计成能够插入R轴22的尺寸。该圆筒齿轮72的上端设有与头保持体21的离合器部件61(参照图3)嵌合的能够输入来自离合器部件61的操作(旋转)的离合器部件63。该离合器部件63露出于喷出头220被保持于头保持体21时与头保持体21连接的连接面(图6的上表面)。圆筒齿轮72不与基部80一体化，能够与基部80独立地旋转。

切换部73是伴随着圆筒齿轮72的旋转对阀机构90进行切换的机构。如图6的右上方所示，切换部73具备第一切换部74a和第二切换部74b。第一、第二切换部74a、74b是分别使阀机构90的第一、第二阀芯91、95(参照图7)向前后移动而进行第一至第三切换状态的切换的机构。此外，第一切换状态是能够经由收容室71向喷嘴14供给正压的状态，第二切换状态是能够经由收容室71向喷嘴14供给负压的状态，第三切换状态是能够将收容室71及喷嘴14向大气开放的状态。第一切换部74a具备固定于圆筒齿轮72的外周面的第一连接部件75以及经由固定于第一连接部件75的销79a而与第一连接部件75连接的第二连接部件76。第二连接部件76具备通过螺栓92d连接固定于第一阀芯91(参照图7)的板状部76a。第二切换部74b具备固定于圆筒齿轮72的外周面的第三连接部件77以及经由固定于第三连接部件77的销79b而与第三连接部件77连接的第四连接部件78。第四连接部件78具备通过螺栓96d连接固定于第二阀92(参照图7)的板状部78a。

在该切换部73中，当圆筒齿轮72轴向旋转时，第一连接部件75、第三连接部件77分别向圆筒齿轮72的周向移动(参照图6的白色箭头)。当第一连接部件75、第三连接部件77移动时，伴随于此，第二连接部件76、第四连接部件78向预定方向(在本实施方式中为前后方向)进行直线移动(参照图6的涂黑箭头)，第一阀芯91、第二阀芯95向前后方向进行直线移动。如此，切换部73是将圆筒齿轮72的旋转运动转换为直线运动并传递给阀机构90的机构。此外，第二连接部件76及第四连接部件78中的供销79a、销79b插入的孔形成为径向比周向长的形状(例如，长边为径向的圆角的长方形等)。由此，在使第一连接部件75、第三连接部件77向圆筒齿轮72的周向移动时，第二连接部件76、第四连接部件78的直线移动不受妨碍。

如图7所示，阀机构90具备：形成有多个孔的基部80；能够在基部80内向前后移动的第一阀芯91；以及能够在基部80内向前后移动的第二阀芯95。

基部80是大致圆盘状的部件，并且如图6所示形成有多个(在本实施方式中为四个)卡合孔80a以及第一至第五上开口81a～81e。卡合孔80a呈与吸附头120的卡合孔37(参照图4)相同的形状，并且形成为能够与R轴22的卡合部件31的钩部卡合。第一上开口81a形成为在喷出头220保持于头保持体21的状态下能够与头保持体21的正压供给口32a(参照图3)连通，第二至第五上开口81b～81e形成为在喷出头220保持于头保持体21的状态下能够与头保持体21的负压供给口32b(参照图3)一对一地连通。另外，在基部80的前方右侧形成有第一台阶部83a，在前方左侧形成有第二台阶部83b。

如图7所示，基部80上形成有与从第二至第五上开口81b～81e分别向下方形成的纵孔连通的环状通路84、沿前后方向从第一台阶部83a贯穿至基部80的后侧的侧面的第一通孔85a以及沿前后方向从第二台阶部83b贯穿至基部80的后侧的侧面的第二通孔85b。另外，基部80上形成有与第一上开口81a连通的第一横孔86a、与第一横孔86a及第一通孔85a连通的第二横孔86b；与第一通孔85a连通的第三横孔86c以及与第三横孔86c连通并在基部80的下表面开口的第一纵孔88a。另外，基部80上形成有与环状通路84及第二通孔85b连通的第四横孔86d、与第二通孔85b连通的第五横孔86e以及与第五横孔86e连通并在基部80的下表面开口的第二纵孔88b。此外，以从第一上开口81a至第一横孔86a贯穿环状通路84的中心的方式在上下方向上形成有纵孔，第一横孔86a和环状通路84不连通。第一、第二纵孔88a、88b经由形成于主体部70的未图示的纵孔在收容室71的上部连通。形成于第一至第五横孔86a～86e的基部80侧面上的开口分别通过密封材料被密封。

第一阀芯91是在第一通孔85a内沿前后移动而对第二横孔86b和第三横孔86c之间的连通的有无等进行切换的部件。该第一阀芯91形成为圆柱的棒状体，具备第一圆柱部92a、第二圆柱部92b以及形成为比第一圆柱部92a和第二圆柱部92b细的小径圆柱部92c。第一圆柱部92a的前端从第一通孔85a中的第一台阶部83a侧的开口突出，通过插入到第一圆柱部92a的前端的螺栓92d，将第一圆柱部92a和第二连接部件76的板状部76a连接固定(参照下述的图8)。另外，第二圆柱部92b上形成有将从后端沿轴向形成的孔与从侧面向中心轴形成的孔连接而成的大气连通孔94(参照下述的图8)。大气连通孔94将第一通孔85a中的第二圆柱部92b的外周的空间与基部80的后侧的开口连通。第一圆柱部92a及第二圆柱部92b分别具备一个以上(在本实施方式中，在第一圆柱部92a上具备一个，在第二圆柱部92b上具备三个)O型圈，对第一阀芯91的外周面与第一通孔85a之间的间隙进行密封。

第二阀芯95是在第二通孔85b内沿前后移动而对第四横孔86d和第五横孔86e之间的连通的有无等进行切换的部件。该第二阀芯95形成为圆柱的棒状体，具备第一圆柱部96a、第二圆柱部96b以及形成为比第一圆柱部96a和第二圆柱部96b细的小径圆柱部96c。第一圆柱部96a的前端从第二通孔85b中的第二台阶部83b侧的开口突出，通过插入到第一圆柱部96a的前端的螺栓96d，将第一圆柱部96a和第四连接部件78的板状部78a连接固定(参照下述的图8)。另外，第二圆柱部96b形成有将从后端沿轴向形成的孔与从侧面向中心轴形成的孔连接而成的大气连通孔98(参照下述的图8)。大气连通孔98将第一通孔85b中的第二圆柱部96b的外周的空间与基部80的后侧的开口连通。第一圆柱部96a及第二圆柱部96b分别具备一个以上(在本实施方式中，在第一圆柱部96a上具备一个，在第二圆柱部96b具备三个)O型圈，并密封第二阀芯95的外周面与第二通孔85b之间的间隙。

在此，对阀机构90的动作进行说明。阀机构90通过圆筒齿轮72及切换部73使第一阀芯91、第二阀芯95沿前后移动，能够切换成第一至第三切换状态。图8至图10分别是表示第一切换状态、第二切换状态、第三切换状态的情形的说明图。此外，在图8～11中，在上图示出了从上方观察阀机构90的情形，在下图示出了表示压力的供给状态的概念图。

如图8的上图所示，第一切换状态是使圆筒齿轮72从上方观察逆时针旋转至第二连接部件76的板状部76a接触第一台阶部83a为止时的状态。在该第一切换状态下，第一阀芯91的小径圆柱部92c以从上方观察横跨于第二横孔86b和第三横孔86c之间的方式设置。由此，第二横孔86b和第三横孔86c经由第一通孔85a而连通。因此，第一上开口81a、第一横孔86a、第二横孔86b、第一通孔85a、第三横孔86c、第一纵孔88a成为按该顺序连通的状态。由此，如图8的下图所示，在喷出头220保持于头保持体21的状态下，能够从正压源156向收容室71及喷嘴14供给正压。另一方面，第二阀芯95通过第二圆柱部96b阻止第四横孔86d和第五横孔86e之间经由第二通孔85b的连通，来自负压源158的负压不向第五横孔86e(及其前部的收容室71、喷嘴14)供给。

如图9的上图所示，第二切换状态是使圆筒齿轮72从上方观察顺时针旋转至第四连接部件78的板状部78a接触第二台阶部83b为止时的状态。在该第二切换状态下，第二阀芯95的小径圆柱部96c以从上方观察横跨于第四横孔86d和第五横孔86e之间的方式设置。由此，第四横孔86d和第五横孔86e经由第二通孔85b而连通。第二至第五上开口81b～81e、环状通路84、第四横孔86d、第二通孔85b、第五横孔86e、第二纵孔88b成为按该顺序连通的状态。由此，如图9的下图所示，在喷出头220保持于头保持体21的状态下，能够从负压源158向收容室71及喷嘴14供给负压。另一方面，第一阀芯91通过第二圆柱部92b阻止第二横孔86b和第三横孔86c之间经由第一通孔85a的连通，来自正压源156的正压不向第三横孔86c(及其前部的收容室71、喷嘴14)供给。

如图10的上图所示，第三切换状态是圆筒齿轮72的旋转位置位于第一切换状态和第二切换状态的中间、第二、第四连接部件76、78的板状部76a、78a分别与第一、第二台阶部83a、83b分离时的状态。在该第三切换状态下，第一阀芯91的大气连通孔94中的形成于外周面的开口位于与第一通孔85a中的与第三横孔86c连通的部分。由此，第三横孔86c经由大气连通孔94而与第一通孔85a的后侧的开口连通，成为大气开放状态。同样地，第五横孔86e经由第二阀芯95的大气连通孔98而与第二通孔85b的后侧的开口连通，成为大气开放状态。由此，如图10的下图所示，与第三横孔86c及第五横孔86e连通的收容室71、喷嘴14成为大气开放状态。

此外，在第一至第三切换状态的任一状态下，第一阀芯91和第二阀芯95的O型圈都防止气体(压力)从第一、第二通孔85a、85b向外部泄漏。

在如此构成的元件装配系统1中，元件装配装置100的控制器160的CPU162基于从管理计算机200接收到的生产任务数据，利用头单元110进行安装处理。CPU162在安装处理中，分别多次执行将预定的塗布量的粘接剂涂布于基板101上的预定位置上的粘接剂涂布处理、将元件向基板101的涂布了粘接剂的位置装配的元件装配处理。另外，CPU162在粘接剂涂布处理和元件装配处理开始时，在头保持体21未保持适于处理的头时，进行头自动更换处理。以下，对粘接剂涂布处理、元件装配处理、头自动更换处理分别进行说明。

在粘接剂涂布处理中，CPU162首先在头保持体21保持有喷出头220的状态下，基于从管理计算机200接收到的生产任务数据，使头单元110向基板101上的预定位置移动。此外，CPU162在喷出头220的移动过程中调整圆筒齿轮72的旋转位置而使阀机构90处于第三切换状态，使收容室71和喷嘴14处于大气开放状态。此外，CPU162通过利用Q轴电动机28使Q轴齿轮27及离合器部件61旋转，使圆筒齿轮72旋转。另外，收容于收容室71中的粘接剂以在大气开放状态下不从喷出口14a喷出的方式，被预先调整了粘度。接下来，CPU162利用Q轴电动机28使圆筒齿轮72向左旋转而将阀机构90从第三切换状态向第一切换状态切换。由此，向喷嘴14供给正压而从喷出口14a喷出粘接剂，涂布在基板101上。CPU162维持第一切换状态直至经过基于粘接剂的涂布量所确定的预定时间为止，之后利用Q轴电动机28使圆筒齿轮72向右旋转而将阀机构90切换为第二切换状态。由此，向喷嘴14供给负压使来自喷出口14a的粘接剂的喷出停止。之后，CPU162使阀机构90返回到第三切换状态。如此，CPU162通过使离合器部件61旋转来使圆筒齿轮72旋转，由此操作喷出头220具备的阀机构90，进行压力的切换。此外，CPU162以基于生产任务数据在喷出头220装配适当种类的喷嘴14的方式，在粘接剂涂布处理开始时适当地使喷出头220在嘴储存部134上移动，进行喷嘴14的更换。

接下来，对元件装配处理进行说明。在元件装配处理中，首先，CPU162使吸附头120的吸附嘴13吸附元件。具体而言，首先，CPU162使头单元110移动，从而使第一个吸附嘴13向吸附元件供给装置150的元件的预定位置移动。接下来，CPU162进行吸附一个以上元件的处理。具体而言，CPU162通过第一杆夹持部41压下嘴操作杆39而使吸附嘴13下降。该状态下，CPU162通过第二杆夹持部51将压力操作杆35定位在上方，向吸附嘴13的前端供给来自负压源158的负压来吸附元件。之后，将嘴操作杆39的压下解除而使吸附嘴13上升。在要吸附的元件为两个以上时，重复与其相同的动作，使多个吸附嘴13吸附元件。在元件的吸附结束时，CPU162使吸附有装配对象的元件的吸附嘴13将元件向装配位置的上方移动。然后，CPU162压下嘴操作杆39而使吸附嘴13下降，解除吸附嘴13的负压而将元件装配于基板101上。之后，使吸附嘴13上升。在吸附有元件的吸附嘴13存在有多个时，CPU162重复进行如此将一个元件装配于基板101上的动作，将吸附于吸附头120的吸附嘴13的元件依次装配于基板101上。当将吸附嘴13吸附的所有元件装配于基板101上时，使元件装配处理结束。此外，CPU162在装配吸附嘴13所吸附的元件时，适当修正吸附嘴13所吸附的元件的朝向(角度)。具体而言，CPU162通过使Q轴齿轮27旋转来使离合器部件61、离合器部件62、小齿轮34以及吸嘴座12旋转，使吸附嘴13进行轴旋转。另外，CPU162以基于生产任务数据在吸附头220装配适当种类的吸附嘴13的方式，在元件装配处理开始时适当地使吸附头120移动到嘴储存部134上，进行吸附嘴13的更换。CPU162压下嘴操作杆39而使吸附嘴13逐个下降，从而进行吸附嘴13的更换。

接下来，对头自动更换处理进行说明。在头自动更换处理中，首先，CPU162使头单元110向头收纳区域140的空闲的收纳场所142的正上方移动，使头保持体21下降，从而将当前头保持体21所保持的头收纳于空闲的收纳场所142。接下来，CPU162使卡合部件31的钩部从对其进行保持的头的卡合孔(卡合孔37或卡合孔80a)脱离之后，使头保持体21上升。接下来，CPU162使头单元110向更换对象的头的收纳场所142的正上方移动。然后，CPU162使头保持体21下降，使卡合部件31与更换对象的头的卡合孔(卡合孔37或卡合孔80a)卡合，使头自动更换处理结束。由此，通过头保持体21保持更换对象的头。CPU162如此将头保持体21保持的头从吸附头120和喷出头220中的一方向另一方更换。

在此，明确本实施方式的构成要素和本发明的构成要素之间的对应关系。本实施方式的元件装配装置100相当于本发明的对基板作业装置，收容室71相当于粘性流体收容室，喷出口14a相当于粘性流体喷出口，第一切换状态相当于第一状态，第二切换状态相当于第二状态，阀机构90相当于阀机构，圆筒齿轮72相当于操作输入部，切换部73相当于切换部，喷出头220相当于喷出头，头保持体21相当于头保持单元。另外，吸附头120相当于安装头，离合器部件61相当于操作部，吸附嘴13相当于元件保持件，离合器部件62、小齿轮34及吸嘴座12相当于轴旋转机构，第一上开口81a相当于第一开口，第二至第五上开口81b～81e相当于第二开口，正压供给口32a相当于第一供给口，负压供给口32b相当于第二供给口，第三切换状态相当于第三状态。此外，在喷出头220未装配喷嘴14的状态下，主体下开口70a相当于粘性流体喷出口。

在以上所说明的本实施方式的元件装配装置100中，喷出头220具备阀机构90，阀机构90能够在经由收容室71推压喷出口14a的粘接剂而使其喷出的第一切换状态与不使粘接剂喷出的第二切换状态之间切换。并且，当圆筒齿轮72被输入来自外部的操作时，基于所输入的操作，切换部73切换阀机构90。如此，喷出头220能够利用喷出头220所具备的阀机构90进行使粘接剂喷出或者不使粘接剂喷出的切换、即压力的切换。因此，例如，与在保持喷出头220的头保持体21侧存在有阀机构90的情况相比，从由于阀机构90的切换导致压力变化的点至喷出口14a为止的距离减小。由此，能够进一步提高喷出头220对压力切换的响应性。

另外，头保持体21是对喷出头220和吸附头120以能够更换的方式进行保持的部件，并具有对所保持的吸附头120进行操作的离合器部件61。并且，圆筒齿轮72能够被输入来自离合器部件61的操作。因此，能够在吸附头120的操作和喷出头220的操作中共用头保持体21的离合器部件61。由此，例如，与头保持体21具备在吸附头120的操作中不使用的喷出头220用的操作部的情况相比，能够将头保持体21设为更简单的结构。另外，能够将以对喷出头220可更换地进行保持的方式制作出的头保持体21也用于喷出头220的保持，而无需设置新的操作部。

另外，头保持体21的离合器部件61能够操作使吸附头120的吸附嘴13进行轴旋转的离合器部件62、小齿轮34及吸嘴座12，并且能够操作喷出头220的圆筒齿轮72。在喷出头220中，由于不需要使吸附嘴13进行轴旋转，因此利用作为使吸附头120的吸附嘴13进行轴旋转的操作部的离合器部件61能够操作喷出头220的圆筒齿轮72具有重大意义。

另外，圆筒齿轮72漏出于在喷出头220被保持于头保持体21时与头保持体21连接的连接面。因此，喷出头220保持于头保持体21时圆筒齿轮72与头保持体21接触，由此容易从头保持体21侧操作圆筒齿轮72。

并且，阀机构90能够在喷出口14a经由收容室71与第一上开口81a连通且不与第二至第五上开口81b～81e连通的第一切换状态以及喷出口14a经由收容室71与第二至第五上开口81b～81e连通且不与第一上开口81a连通的第二切换状态之间切换。因此，通过切换使第一上开口81a和第二至第五上开口81b～81e中的任一开口与收容室71连通，能够进行压力的切换。另外，阀机构90还能够切换为喷出口14a经由收容室71与大气连通的第三切换状态，因此能够使喷出口14a处于大气开放状态。在此，例如，存在以下情况：当在喷出头220的移动过程中等不进行喷出的期间阀机构90保持第二切换状态时，喷嘴14内部的粘接剂过度返回到收容室71侧，导致接下来切换为第一切换状态至粘接剂被喷出为止的时间增大。CPU162通过在喷出头220的移动过程中使阀机构90预先处于第三切换状态，能够进一步抑制这样的直至喷出为止的时间的增大。

此外，本发明并不限于上述的实施方式，不言而喻，只要在属于本发明的技术范围的情况下，则能够以各种方式实施。

例如，在上述的实施方式中，使用使吸附嘴13进行轴旋转的离合器部件61来切换阀机构90，但是不限于此。例如，也可以使用第一杆夹持部41和第二杆夹持部51来切换阀机构90。在该情况下，可以在喷出头220的外周面，取代圆筒齿轮72，而具备压力操作杆75和嘴操作杆39那样的杆，利用杆夹持部切换该杆。

在上述的实施方式中，阀机构90具备第一阀芯91及第二阀芯95，但是不限于此，可以利用任意的机构来进行压力的切换。例如，不限于以机械方式动作的机构，也可以利用电磁阀等伴随着电气动作的阀机构来进行压力的切换。另外，阀机构90只要能够切换为推压喷出口14a的粘接剂使其喷出的第一状态和不使粘接剂喷出的第二状态的至少两个状态即可。例如，阀机构90能够不切换为第三切换状态，而切换为第一切换状态和第二切换状态这两个状态。或者，阀机构90也可以能够不切换为第二切换状态而切换为第一切换状态和第三切换状态这两个状态。该情况下，第三切换状态(喷出口14a经由收容室71与大气连通的状态)相当于“不使粘接剂喷出的第二状态”。

在上述的实施方式中，通过头保持体21中的离合器部件61的旋转来操作圆筒齿轮72而切换阀机构90，但是不限于离合器部件61的旋转，也可以利用任意的机械操作来切换阀机构90。另外，不限于机械操作，也可以从头保持体21向喷出头220输入电气操作来切换阀机构90等，利用任意的操作来切换阀机构90。

在上述的实施方式中，通过切换向收容室71供给正压或者供给负压或者使收容室71成为大气开放状态来切换作用于喷出口14a的压力，但是不限于此。例如，也可以通过利用阀的开闭等来切换收容室71和主体下开口70a之间等、收容室71和喷出口14a之间的粘接剂的通路的连通的有无，来切换作用于喷嘴14的压力。

在上述的实施方式中，吸附头120的吸附嘴13和喷出头220的喷嘴14能够拆装，但是也可以使吸附嘴13和喷嘴14中的至少一方相对于头不能拆装地被安装。

在上述的实施方式中，喷出头220是喷出粘接剂的装置，但是不限于粘接剂，只要是喷出焊锡和钎焊材料等粘性流体的装置即可。另外，吸附头120的吸附嘴13是吸附元件的装置，但是只要吸附头120是保持元件的装置，则不限于吸附。例如，吸附头120也可以是将元件卡于把持部进行保持的装置。另外，元件装配装置100各具备一个吸附头120和喷出头220，但是也可以具有多种(例如，嘴的可装配数不同)吸附头120和喷出头220。另外，元件装配装置100具备喷出头220即可，也可以不具备吸附头120。在该情况下，头保持体21能够保持喷出头220即可，也可以使头保持体21不能保持吸附头120。另外，在元件装配装置100具备吸附头120和喷出头220的情况下，也可以使头保持体21仅能够保持吸附头120和喷出头220中的一方，元件装配装置100另行具备保持另一头的头保持体。

工业实用性

本发明能够用于向基板涂布粘性流体或者安装元件的对基板作业装置的技术领域。

附图标记说明

1元件装配系统、12吸嘴座、13吸附嘴、14喷嘴、14a喷出口、21头保持体、22R轴、24R轴齿轮、25R轴电动机、27Q轴齿轮、28Q轴电动机、31卡合部件、32a正压供给口、32b负压供给口、33圆筒齿轮、34小齿轮、35压力操作杆、36基部、37卡合孔、39嘴操作杆、40弹簧、41第一杆夹持部、42水平部分、43水平轴、44辊、45第一Z轴导轨、46第一Z轴滑动件、51第二杆夹持部、52水平部分、54辊、55第二Z轴导轨、56第二Z轴滑动件、61离合器部件、62离合器部件、63离合器部件、70主体部、70a主体下开口、71收容室、72圆筒齿轮、73切换部、74a、74b第一、第二切换部、75第一连接部件、76第二连接部件、76a板状部、77第三连接部件、78第四连接部件、78a板状部、79a、79b插销螺栓、80基部、81a～81e第一～第五上开口、83a、83b第一、第二台阶部、84环状通路、85a、85b第一、第二通孔、86a～86e第一～第五横孔、88a、88b第一、第二纵孔、90阀机构、91第一阀芯、92a第一圆柱部、92b第二圆柱部、92c小径圆柱部、92d螺栓、94大气连通孔、95第二阀芯、96a第一圆柱部、96b第二圆柱部、96c小径圆柱部、96d螺栓、98大气连通孔、100元件装配装置、101基板、102基台、104基板搬运装置、106支撑板、108传送带、110头单元、112X轴滑动件、114导轨、116Y轴滑动件、118导轨、120吸附头、134嘴储存部、140头收纳区域、142收纳场所、150带盘单元、152供料器、154带盘、156正压源、158负压源、160控制器、162CPU、164ROM、166RAM、168HDD、200管理计算机、220喷出头。

Claims (7)

1.一种对基板作业装置，在基板上涂布粘性流体，所述对基板作业装置具备：

喷出头，具备：粘性流体收容室，收容所述粘性流体；粘性流体喷出口，与所述粘性流体收容室连通；阀机构，能够在经由所述粘性流体收容室推压所述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出所述粘性流体的第二状态之间切换；操作输入部，输入来自外部的操作；及切换部，基于所述操作输入部所输入的操作来切换所述阀机构；及

头保持单元，能够保持所述喷出头。

2.根据权利要求1所述的对基板作业装置，其中，

所述头保持单元是对所述喷出头和安装头以能够更换的方式进行保持的单元，并具有对所保持的所述安装头进行操作的操作部，所述安装头能够保持元件及解除对元件的保持，

所述操作输入部能够在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下输入来自所述操作部的操作。

3.根据权利要求2所述的对基板作业装置，其中，

所述头保持单元的所述操作部在所述头保持单元保持有所述安装头的状态下能够对所述安装头所具有的轴旋转机构进行操作，所述轴旋转机构使能够保持所述元件及解除对所述元件的保持的多个元件保持件中的一个以上元件保持件进行轴旋转，

所述头保持单元的所述操作部在所述头保持单元保持有所述喷出头的状态下能够对所述操作输入部进行操作。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的对基板作业装置，其中，

所述操作输入部露出于所述喷出头被保持在所述头保持单元上时与该头保持单元连接的连接面。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的对基板作业装置，其中，

所述喷出头具备：第一开口，在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向所述第一开口供给正压；及第二开口，在所述喷出头保持于所述头保持单元的状态下，经由该头保持单元向所述第二开口供给负压，

所述头保持单元具备：第一供给口，在该头保持单元保持有所述喷出头的状态下，所述第一供给口与所述第一开口连通而供给正压；及第二供给口，在该头保持单元保持有所述喷出头的状态下，所述第二供给口与所述第二开口连通而供给负压，

所述阀机构能够在所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与所述第一开口连通且不与所述第二开口连通的所述第一状态和所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与所述第二开口连通且不与所述第一开口连通的所述第二状态之间切换。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的对基板作业装置，其中，

所述阀机构能够在所述第一状态、所述第二状态及所述粘性流体喷出口经由所述粘性流体收容室而与大气连通的第三状态之间切换。

7.一种喷出头，能够由在基板上涂布粘性流体的对基板作业装置所具备的头保持单元保持，并且能够喷出所述粘性流体，所述喷出头具备：

粘性流体收容室，收容所述粘性流体；

粘性流体喷出口，与所述粘性流体收容室连通；及

阀机构，能够在经由所述粘性流体收容室推压所述粘性流体喷出口的粘性流体而使该粘性流体喷出的第一状态和不喷出所述粘性流体的第二状态之间切换；

操作输入部，输入来自外部的操作；及

切换部，基于所述操作输入部所输入的操作来切换所述阀机构。